JPH07226642A - 弾性表面波素子 - Google Patents
弾性表面波素子Info
- Publication number
- JPH07226642A JPH07226642A JP1907894A JP1907894A JPH07226642A JP H07226642 A JPH07226642 A JP H07226642A JP 1907894 A JP1907894 A JP 1907894A JP 1907894 A JP1907894 A JP 1907894A JP H07226642 A JPH07226642 A JP H07226642A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- acoustic wave
- surface acoustic
- piezoelectric substrate
- wave element
- Prior art date
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- Pending
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- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 電子デバイスに利用される弾性表面波素子に
関し、膜の密着性が良好であり、周波数調整範囲が狭く
てすみ、しかも、少ない製造工程で製造可能な弾性表面
波素子を提供することを目的とする。 【構成】 圧電基板１上に電極２が形成され、電極２の
形成された圧電基板１上に絶縁膜３が形成され、絶縁膜
３上に、密度が（３〜９）×１０3 ｋｇ／ｍ3 であり、
抵抗値が１０5 オーム／ｍｍ2 台である放電防止・周波
数調整膜７が形成されるように構成される。
関し、膜の密着性が良好であり、周波数調整範囲が狭く
てすみ、しかも、少ない製造工程で製造可能な弾性表面
波素子を提供することを目的とする。 【構成】 圧電基板１上に電極２が形成され、電極２の
形成された圧電基板１上に絶縁膜３が形成され、絶縁膜
３上に、密度が（３〜９）×１０3 ｋｇ／ｍ3 であり、
抵抗値が１０5 オーム／ｍｍ2 台である放電防止・周波
数調整膜７が形成されるように構成される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電子デバイスに利用さ
れる弾性表面波素子に関する。
れる弾性表面波素子に関する。
【０００２】
【従来の技術】図２に従来の弾性表面波素子の構成図を
示す。図において、１はリチウムタンタレート等からな
る圧電基板であり、２は電極であり、３は絶縁膜であ
り、４はクロムシリコン（ＣｒＳｉ）等からなる放電防
止膜であり、５は五酸化二タンタル（Ｔａ2 Ｏ5 ）等か
らなる周波数調整膜であり、６はチタン等からなる導電
性膜である。
示す。図において、１はリチウムタンタレート等からな
る圧電基板であり、２は電極であり、３は絶縁膜であ
り、４はクロムシリコン（ＣｒＳｉ）等からなる放電防
止膜であり、５は五酸化二タンタル（Ｔａ2 Ｏ5 ）等か
らなる周波数調整膜であり、６はチタン等からなる導電
性膜である。
【０００３】弾性表面波素子に温度変化が発生すると焦
電効果によって圧電基板１の表面に電荷が発生する。こ
の電荷によって電極間に放電が発生するのを防止するた
め、電極２間で短絡が生じない程度の高抵抗値を有する
導電性の放電防止膜４を形成して発生した電荷を除去し
ている。また、圧電基板１に荷重を加えると、圧電基板
１の表面を伝播する弾性表面波の伝播速度が変化して弾
性表面波の周波数が変化する性質があるので、質量の大
きい周波数調整膜５を形成し、その厚さを調整すること
によって圧電基板１に加わる荷重を変化させて周波数を
調整している。なお、導電性膜６は放電防止膜４と同様
に焦電効果により発生した電荷を除去する作用を有す
る。
電効果によって圧電基板１の表面に電荷が発生する。こ
の電荷によって電極間に放電が発生するのを防止するた
め、電極２間で短絡が生じない程度の高抵抗値を有する
導電性の放電防止膜４を形成して発生した電荷を除去し
ている。また、圧電基板１に荷重を加えると、圧電基板
１の表面を伝播する弾性表面波の伝播速度が変化して弾
性表面波の周波数が変化する性質があるので、質量の大
きい周波数調整膜５を形成し、その厚さを調整すること
によって圧電基板１に加わる荷重を変化させて周波数を
調整している。なお、導電性膜６は放電防止膜４と同様
に焦電効果により発生した電荷を除去する作用を有す
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】絶縁膜３上に放電防止
膜４と周波数調整膜５とを２層積層形成しているため、
膜の密着性が悪くなり、何らかのストレスが加わると剥
離しやすいという問題がある。また、放電防止膜４にも
多少周波数調整機能があるので、放電防止膜４の膜厚に
ばらつきがあると周波数調整膜５による周波数調整範囲
が広くなるという問題が発生する。さらには、膜の蒸着
工程が２回必要であるので、生産効率が低いという問題
がある。
膜４と周波数調整膜５とを２層積層形成しているため、
膜の密着性が悪くなり、何らかのストレスが加わると剥
離しやすいという問題がある。また、放電防止膜４にも
多少周波数調整機能があるので、放電防止膜４の膜厚に
ばらつきがあると周波数調整膜５による周波数調整範囲
が広くなるという問題が発生する。さらには、膜の蒸着
工程が２回必要であるので、生産効率が低いという問題
がある。
【０００５】本発明の目的は、これらの欠点を解消する
ことにあり、膜の密着性が良好であり、周波数調整範囲
が狭くてすみ、しかも、少ない製造工程で製造可能な弾
性表面波素子を提供することにある。
ことにあり、膜の密着性が良好であり、周波数調整範囲
が狭くてすみ、しかも、少ない製造工程で製造可能な弾
性表面波素子を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の目的は、圧電基板
（１）上に電極（２）が形成され、この電極（２）の形
成された前記の圧電基板（１）上に絶縁膜（３）が形成
され、この絶縁膜（３）上に、密度が（３〜９）×１０
3 ｋｇ／ｍ3 であり、抵抗値が１０5 オーム／ｍｍ2 台
である放電防止・周波数調整膜（７）が形成されている
弾性表面波素子によって達成される。
（１）上に電極（２）が形成され、この電極（２）の形
成された前記の圧電基板（１）上に絶縁膜（３）が形成
され、この絶縁膜（３）上に、密度が（３〜９）×１０
3 ｋｇ／ｍ3 であり、抵抗値が１０5 オーム／ｍｍ2 台
である放電防止・周波数調整膜（７）が形成されている
弾性表面波素子によって達成される。
【０００７】（３〜９）×１０3 ｋｇ／ｍ3 の密度が好
適である理由は、（イ）３×１０3ｋｇ／ｍ3 以下であ
ると、軽くはなるが大きな膜厚が必要になり、プロセス
上困難であると云う工程的な不具合があり、（ロ）９×
１０3 ｋｇ／ｍ3 以上であると、重くなるので膜厚を薄
くする必要が生じ、その結果、放電防止効果がなくなり
機能的な不具合があると云う理由である。また、１０5
オーム／ｍｍ2 台の抵抗値が好適である理由は、この範
囲より抵抗が低いと短絡の原因となって不具合であり、
この範囲より抵抗が高いと放電効果がなくなり、やは
り、不具合だからである。
適である理由は、（イ）３×１０3ｋｇ／ｍ3 以下であ
ると、軽くはなるが大きな膜厚が必要になり、プロセス
上困難であると云う工程的な不具合があり、（ロ）９×
１０3 ｋｇ／ｍ3 以上であると、重くなるので膜厚を薄
くする必要が生じ、その結果、放電防止効果がなくなり
機能的な不具合があると云う理由である。また、１０5
オーム／ｍｍ2 台の抵抗値が好適である理由は、この範
囲より抵抗が低いと短絡の原因となって不具合であり、
この範囲より抵抗が高いと放電効果がなくなり、やは
り、不具合だからである。
【０００８】なお、前記の放電防止・周波数調整膜
（７）は、タンタルと二酸化シリコンとの組成物、五酸
化二タンタルとチタンとの組成物、五酸化二タンタルと
タンタルとの組成物または五酸化二タンタルとタングス
テンとの組成物であることが好ましい。
（７）は、タンタルと二酸化シリコンとの組成物、五酸
化二タンタルとチタンとの組成物、五酸化二タンタルと
タンタルとの組成物または五酸化二タンタルとタングス
テンとの組成物であることが好ましい。
【０００９】
【作用】放電防止機能と周波数調整機能との２つの機能
を有する単一の膜が得られれば、従来技術の問題点を解
決することができるとの着想のもとに研究した結果、上
記の理由により、抵抗値が１０5 オーム／ｍｍ2 台であ
り、密度が（３〜９）×１０3 ｋｇ／ｍ3 である膜を形
成すればよいとの結論に達した。そして、具体的な物質
としては、タンタルと二酸化シリコンとの組成物、また
は、五酸化二タンタルとチタンもしくはタンタルもしく
はタングステンとの組成物がこれら二つの条件を満足す
ることを確認した。
を有する単一の膜が得られれば、従来技術の問題点を解
決することができるとの着想のもとに研究した結果、上
記の理由により、抵抗値が１０5 オーム／ｍｍ2 台であ
り、密度が（３〜９）×１０3 ｋｇ／ｍ3 である膜を形
成すればよいとの結論に達した。そして、具体的な物質
としては、タンタルと二酸化シリコンとの組成物、また
は、五酸化二タンタルとチタンもしくはタンタルもしく
はタングステンとの組成物がこれら二つの条件を満足す
ることを確認した。
【００１０】この結果、積層膜数が減少することによっ
て膜の密着性が向上するとゝもに生産効率が向上する。
また、周波数調整機能を有する膜７が直接絶縁膜３上に
形成されるので、従来のように放電防止膜４が介在する
ことによって周波数調整範囲が広くなるという問題は解
消する。
て膜の密着性が向上するとゝもに生産効率が向上する。
また、周波数調整機能を有する膜７が直接絶縁膜３上に
形成されるので、従来のように放電防止膜４が介在する
ことによって周波数調整範囲が広くなるという問題は解
消する。
【００１１】
【実施例】以下、図面を参照して、本発明の一実施例に
係る弾性表面波素子について説明する。
係る弾性表面波素子について説明する。
【００１２】図１参照 リチウムタンタレート等からなる圧電基板１上に、真空
蒸着法またはスパッタ法を使用してアルミニウム膜を形
成し、これをパターニングして、例えば図１（ｂ）の平
面図に示すように、電極２と反射器８とを形成する。
蒸着法またはスパッタ法を使用してアルミニウム膜を形
成し、これをパターニングして、例えば図１（ｂ）の平
面図に示すように、電極２と反射器８とを形成する。
【００１３】ＣＶＤ法を使用して全面に二酸化シリコン
絶縁膜３を形成し、次いで、真空蒸着法またはスパッタ
法を使用して、圧電基板１の側面と裏面とにチタンより
なる導電性膜６を形成する。次に、真空蒸着法またはス
パッタ法を使用して、五酸化二タンタル（Ｔａ2 Ｏ5 ）
とチタンとの組成物よりなる放電防止・周波数調整膜７
を８００Å厚に形成する。
絶縁膜３を形成し、次いで、真空蒸着法またはスパッタ
法を使用して、圧電基板１の側面と裏面とにチタンより
なる導電性膜６を形成する。次に、真空蒸着法またはス
パッタ法を使用して、五酸化二タンタル（Ｔａ2 Ｏ5 ）
とチタンとの組成物よりなる放電防止・周波数調整膜７
を８００Å厚に形成する。
【００１４】形成された放電防止・周波数調整膜７の抵
抗値は８×１０5 オーム／ｍｍ2 であり、密度は（３〜
９）×１０3 ｋｇ／ｍ3 であった。また、この例におい
ては、五酸化二タンタルとチタンとの組成物を１０分間
蒸着することによって、１４００ｐｐｍの周波数調整が
可能であった。そして、完成した弾性表面波素子の温度
を１５分間で１２０℃変化させたところ、焦電効果によ
る放電は認められず、また、ピーリング試験において膜
の剥離は認められなかった。
抗値は８×１０5 オーム／ｍｍ2 であり、密度は（３〜
９）×１０3 ｋｇ／ｍ3 であった。また、この例におい
ては、五酸化二タンタルとチタンとの組成物を１０分間
蒸着することによって、１４００ｐｐｍの周波数調整が
可能であった。そして、完成した弾性表面波素子の温度
を１５分間で１２０℃変化させたところ、焦電効果によ
る放電は認められず、また、ピーリング試験において膜
の剥離は認められなかった。
【００１５】
【発明の効果】以上説明したとおり、本発明に係る弾性
表面波素子においては、焦電効果によって発生する放電
の防止作用と周波数調整作用とを兼ね具えた放電防止・
周波数調整膜を１層のみ形成しているので、膜の密着性
が良好となって信頼性が向上するとゝもに周波数調整範
囲が狭くてすみ、しかも、製造工程数が減少して生産効
率が向上する効果が得られた。
表面波素子においては、焦電効果によって発生する放電
の防止作用と周波数調整作用とを兼ね具えた放電防止・
周波数調整膜を１層のみ形成しているので、膜の密着性
が良好となって信頼性が向上するとゝもに周波数調整範
囲が狭くてすみ、しかも、製造工程数が減少して生産効
率が向上する効果が得られた。
【図１】本発明に係る弾性表面波素子の構成図である。
（ａ）は断面図であり、（ｂ）は電極の配置例を示す平
面図である。
（ａ）は断面図であり、（ｂ）は電極の配置例を示す平
面図である。
【図２】従来技術に係る弾性表面波素子の構成図であ
る。
る。
１ 圧電基板 ２ 電極 ３ 絶縁膜 ４ 放電防止膜 ５ 周波数調整膜 ６ 導電性膜 ７ 放電防止・周波数調整膜 ８ 反射器
Claims (2)
- 【請求項１】 圧電基板（１）上に電極（２）が形成さ
れ、 該電極（２）の形成された前記圧電基板（１）上に絶縁
膜（３）が形成され、 該絶縁膜（３）上に、密度が（３〜９）×１０3 ｋｇ／
ｍ3 であり、抵抗値が１０5 オーム／ｍｍ2 台である放
電防止・周波数調整膜（７）が形成されてなることを特
徴とする弾性表面波素子。 - 【請求項２】 前記放電防止・周波数調整膜（７）は、
タンタルと二酸化シリコンとの組成物、五酸化二タンタ
ルとチタンとの組成物、五酸化二タンタルとタンタルと
の組成物または五酸化二タンタルとタングステンとの組
成物であることを特徴とする請求項１記載の弾性表面波
素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1907894A JPH07226642A (ja) | 1994-02-16 | 1994-02-16 | 弾性表面波素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1907894A JPH07226642A (ja) | 1994-02-16 | 1994-02-16 | 弾性表面波素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07226642A true JPH07226642A (ja) | 1995-08-22 |
Family
ID=11989412
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1907894A Pending JPH07226642A (ja) | 1994-02-16 | 1994-02-16 | 弾性表面波素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07226642A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1206035A2 (en) * | 2000-11-09 | 2002-05-15 | Nec Corporation | Saw filter device and package for accommodating the same |
| US7863801B2 (en) | 2006-05-30 | 2011-01-04 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Acoustic wave device |
| WO2011132443A1 (ja) * | 2010-04-21 | 2011-10-27 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波装置及びその製造方法 |
| JP2012209841A (ja) * | 2011-03-30 | 2012-10-25 | Kyocera Corp | 弾性波素子およびそれを用いた弾性波装置 |
| JP5163805B2 (ja) * | 2009-03-04 | 2013-03-13 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波素子とその製造方法 |
-
1994
- 1994-02-16 JP JP1907894A patent/JPH07226642A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1206035A2 (en) * | 2000-11-09 | 2002-05-15 | Nec Corporation | Saw filter device and package for accommodating the same |
| EP1206035A3 (en) * | 2000-11-09 | 2008-10-22 | Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. | Saw filter device and package for accommodating the same |
| US7863801B2 (en) | 2006-05-30 | 2011-01-04 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Acoustic wave device |
| JP5163805B2 (ja) * | 2009-03-04 | 2013-03-13 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波素子とその製造方法 |
| WO2011132443A1 (ja) * | 2010-04-21 | 2011-10-27 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波装置及びその製造方法 |
| JP2012209841A (ja) * | 2011-03-30 | 2012-10-25 | Kyocera Corp | 弾性波素子およびそれを用いた弾性波装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20020402 |