JPH05267981A - 弾性表面波共振子 - Google Patents
弾性表面波共振子Info
- Publication number
- JPH05267981A JPH05267981A JP9494392A JP9494392A JPH05267981A JP H05267981 A JPH05267981 A JP H05267981A JP 9494392 A JP9494392 A JP 9494392A JP 9494392 A JP9494392 A JP 9494392A JP H05267981 A JPH05267981 A JP H05267981A
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- JP
- Japan
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- electrode
- surface acoustic
- acoustic wave
- small
- resonator
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】圧電基板上に重い金属によってすだれ状変換器
電極が形成されたラブ波型弾性表面波共振子の実用化の
上限周波数を高め、しかも価格を低減すること。 【構成】圧電基板１の表面上にアルミニウムまたは銅等
の軽い金属材料を蒸着してすだれ状変換器電極２を形成
したことを特徴とする。 【効果】すだれ状変換器電極の膜厚精度が高くなり、従
来に比べて約２倍の周波数の共振子が実用化された。
電極が形成されたラブ波型弾性表面波共振子の実用化の
上限周波数を高め、しかも価格を低減すること。 【構成】圧電基板１の表面上にアルミニウムまたは銅等
の軽い金属材料を蒸着してすだれ状変換器電極２を形成
したことを特徴とする。 【効果】すだれ状変換器電極の膜厚精度が高くなり、従
来に比べて約２倍の周波数の共振子が実用化された。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、通信機器の高周波機能
部品として用いられる弾性表面共振子に関し、特に、ラ
ブ波型弾性表面波共振子に関するものである。
部品として用いられる弾性表面共振子に関し、特に、ラ
ブ波型弾性表面波共振子に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図４は従来のラブ波型弾性表面波共振子
の部分拡大断面図であり、単結晶圧電基板１の上に金な
どの重い金属をすだれ状変換器（ＩＤＴ：Inter Digita
l Transducer）４の電極を蒸着形成することによってラ
ブ波型弾性表面波を励振させている。このような弾性表
面波共振子を製作する場合、例えば２３０ＭＨｚの共振
子の場合、直径３インチの単結晶圧電基板ウエハに約２
５００個分の共振子のＩＤＴ電極を蒸着により形成し、
その後分割して製品とする。このとき蒸着により形成さ
れるＩＤＴ電極の膜厚は約３０００Åであり、その製造
偏差はウエハ全体で±２％程度である。従って、ＩＤＴ
電極が金などの重い金属の場合電極膜厚が薄いため膜厚
を薄くする限界があり約１８００Åである。そしてそれ
に対応する周波数の上限は約５００ＭＨｚである。
の部分拡大断面図であり、単結晶圧電基板１の上に金な
どの重い金属をすだれ状変換器（ＩＤＴ：Inter Digita
l Transducer）４の電極を蒸着形成することによってラ
ブ波型弾性表面波を励振させている。このような弾性表
面波共振子を製作する場合、例えば２３０ＭＨｚの共振
子の場合、直径３インチの単結晶圧電基板ウエハに約２
５００個分の共振子のＩＤＴ電極を蒸着により形成し、
その後分割して製品とする。このとき蒸着により形成さ
れるＩＤＴ電極の膜厚は約３０００Åであり、その製造
偏差はウエハ全体で±２％程度である。従って、ＩＤＴ
電極が金などの重い金属の場合電極膜厚が薄いため膜厚
を薄くする限界があり約１８００Åである。そしてそれ
に対応する周波数の上限は約５００ＭＨｚである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】一方、無線通信機の高
周波化が進み、９００ＭＨｚ帯の通信機が実用化され、
弾性表面波共振子に対しても高周波化が求められるよう
になった。例えば９００ＭＨｚの弾性表面波共振子を実
用化するためには約１０００Åの電極膜厚が要求され
る。しかしながら、膜厚が薄くなると電極のボンディン
グ強度が劣化し、強度を保つための処理等を行なわなけ
ればならない。さらに膜厚の寸法偏差が周波数偏差に及
ぼす影響が大であるため電極の加工精度を上げることが
一層困難になるなどの問題点がある。本発明の目的は、
上記の問題点を解消し、安価でかつ周波数の製造偏差の
少ない高周波用の弾性表面波共振子を提供することにあ
る。
周波化が進み、９００ＭＨｚ帯の通信機が実用化され、
弾性表面波共振子に対しても高周波化が求められるよう
になった。例えば９００ＭＨｚの弾性表面波共振子を実
用化するためには約１０００Åの電極膜厚が要求され
る。しかしながら、膜厚が薄くなると電極のボンディン
グ強度が劣化し、強度を保つための処理等を行なわなけ
ればならない。さらに膜厚の寸法偏差が周波数偏差に及
ぼす影響が大であるため電極の加工精度を上げることが
一層困難になるなどの問題点がある。本発明の目的は、
上記の問題点を解消し、安価でかつ周波数の製造偏差の
少ない高周波用の弾性表面波共振子を提供することにあ
る。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明の弾性表面波共振
子は、圧電基板の表面上に、比重の小さい軽い金属によ
るすだれ状変換器電極、または、比重の大きい重い金属
による層と比重の小さい軽い金属による層を重ねて形成
したすだれ状変換器電極が設けられ、電気機械結合係数
の大きいラブ波型弾性表面波を励振するように構成した
ことを特徴とするものである。以下図面により本発明を
詳細に説明する。
子は、圧電基板の表面上に、比重の小さい軽い金属によ
るすだれ状変換器電極、または、比重の大きい重い金属
による層と比重の小さい軽い金属による層を重ねて形成
したすだれ状変換器電極が設けられ、電気機械結合係数
の大きいラブ波型弾性表面波を励振するように構成した
ことを特徴とするものである。以下図面により本発明を
詳細に説明する。
【０００５】
【実施例】図１は本発明の実施例の全体を示す平面図で
あり、図２は本発明の第１の実施例を示す部分拡大断面
図である。図において、１は圧電基板、２は軽い金属を
用いたＩＤＴ電極である。図３は本発明の第２の実施例
を示す部分拡大断面図であり、３は軽い金属の電極２と
圧電基板１との間に設けられた重い金属の電極部分であ
る。
あり、図２は本発明の第１の実施例を示す部分拡大断面
図である。図において、１は圧電基板、２は軽い金属を
用いたＩＤＴ電極である。図３は本発明の第２の実施例
を示す部分拡大断面図であり、３は軽い金属の電極２と
圧電基板１との間に設けられた重い金属の電極部分であ
る。
【０００６】図２の第１の実施例では、軽い金属たとえ
ばアルミニウム（Ａｌ）や銅（Ｃｕ）等の比重の小さい
金属を厚く蒸着してＩＤＴ電極を形成することによりラ
ブ波型弾性表面波を励振するように構成したものであ
る。この場合の電極の膜厚は、重い金属の場合とほぼ等
しい質量になるように設定される。９００ＭＨｚの場合
膜厚は１０μｍ程度となる。従ってウエハ内の厚み偏差
が±２％あっても周波数に及ぼす影響は極めて小さくな
り実用化が可能になる。ただこの場合の難点は、蒸着時
間がかかることと、電極指の間隔が小さいため電極形成
に注意を要することである。図３の第２の実施例は、上
記の第１の実施例の難点を軽減したものであり、圧電基
板１の上にまず重い金属を蒸着した電極部分３を設け、
その上に軽い金属を蒸着した電極部分２を設ける。この
場合も総合質量は重い金属のみのときとほぼ等しくなる
ように設定される。このように多層化することによって
膜厚の増大を抑え蒸着時間を短くすることができる。
ばアルミニウム（Ａｌ）や銅（Ｃｕ）等の比重の小さい
金属を厚く蒸着してＩＤＴ電極を形成することによりラ
ブ波型弾性表面波を励振するように構成したものであ
る。この場合の電極の膜厚は、重い金属の場合とほぼ等
しい質量になるように設定される。９００ＭＨｚの場合
膜厚は１０μｍ程度となる。従ってウエハ内の厚み偏差
が±２％あっても周波数に及ぼす影響は極めて小さくな
り実用化が可能になる。ただこの場合の難点は、蒸着時
間がかかることと、電極指の間隔が小さいため電極形成
に注意を要することである。図３の第２の実施例は、上
記の第１の実施例の難点を軽減したものであり、圧電基
板１の上にまず重い金属を蒸着した電極部分３を設け、
その上に軽い金属を蒸着した電極部分２を設ける。この
場合も総合質量は重い金属のみのときとほぼ等しくなる
ように設定される。このように多層化することによって
膜厚の増大を抑え蒸着時間を短くすることができる。
【０００７】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明を実
施することにより、比較的安価な軽い金属を使用するこ
とで経済性に優れている。また、膜厚の偏差が周波数に
与える偏差の度合が重い金属にくらべ小さいので、所望
の共振周波数を得ることが容易である。さらに弾性表面
波共振子を高周波化するとき、ワイヤボンディングする
ための十分なボンディング強度をもつ膜厚にすることが
できる。
施することにより、比較的安価な軽い金属を使用するこ
とで経済性に優れている。また、膜厚の偏差が周波数に
与える偏差の度合が重い金属にくらべ小さいので、所望
の共振周波数を得ることが容易である。さらに弾性表面
波共振子を高周波化するとき、ワイヤボンディングする
ための十分なボンディング強度をもつ膜厚にすることが
できる。
【図１】本発明の実施例を示す平面図である。
【図２】本発明の第１の実施例の部分拡大断面図であ
る。
る。
【図３】本発明の第２の実施例の部分拡大断面図であ
る。
る。
【図４】従来の弾性表面波共振子の部分拡大断面図であ
る。
る。
１ 圧電基板 ２ 軽い金属のすだれ状変換器（ＩＤＴ）電極 ３ 重い金属のＩＤＴ電極 ４ 重い金属のすだれ状変換器（ＩＤＴ）電極
Claims (2)
- 【請求項１】 圧電基板の表面上に比重の小さい軽い金
属によるすだれ状変換器電極が設けられ、電気機械結合
係数の大きいラブ波型弾性表面波を励振するように構成
したことを特徴とする弾性表面波共振子。 - 【請求項２】 圧電基板の表面上に、比重の大きい重い
金属による層と比重の小さい軽い金属による層を重ねて
形成したすだれ状変換器電極が設けられ、電気機械結合
係数の大きいラブ波型弾性表面波を励振するように構成
したことを特徴とする弾性表面波共振子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9494392A JPH05267981A (ja) | 1992-03-23 | 1992-03-23 | 弾性表面波共振子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9494392A JPH05267981A (ja) | 1992-03-23 | 1992-03-23 | 弾性表面波共振子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05267981A true JPH05267981A (ja) | 1993-10-15 |
Family
ID=14124033
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9494392A Pending JPH05267981A (ja) | 1992-03-23 | 1992-03-23 | 弾性表面波共振子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05267981A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2350000A (en) * | 1999-05-14 | 2000-11-15 | Murata Manufacturing Co | Electrode material for a surface acoustic wave device |
| US6545388B2 (en) | 2000-07-31 | 2003-04-08 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Surface acoustic wave device and method of producing the same |
| US6603371B2 (en) * | 2000-09-20 | 2003-08-05 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Surface acoustic wave device having a small acoustic velocity distribution and method of producing the same |
| JP2008148338A (ja) * | 2001-03-04 | 2008-06-26 | Kazuhiko Yamanouchi | 弾性表面波機能素子 |
| JP2009284554A (ja) * | 2009-09-03 | 2009-12-03 | Hitachi Media Electoronics Co Ltd | 弾性表面波装置、通信用フィルタ及び移動通信装置 |
-
1992
- 1992-03-23 JP JP9494392A patent/JPH05267981A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2350000A (en) * | 1999-05-14 | 2000-11-15 | Murata Manufacturing Co | Electrode material for a surface acoustic wave device |
| GB2350000B (en) * | 1999-05-14 | 2001-08-01 | Murata Manufacturing Co | Surface acoustic wave device and communication device |
| US6369667B1 (en) | 1999-05-14 | 2002-04-09 | Murata Manufacturing Co., Ltd | Surface acoustic wave device and communication device utilizing shear horizontal waves |
| US6545388B2 (en) | 2000-07-31 | 2003-04-08 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Surface acoustic wave device and method of producing the same |
| US6898831B2 (en) | 2000-07-31 | 2005-05-31 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Method of producing a surface acoustic wave device |
| US6603371B2 (en) * | 2000-09-20 | 2003-08-05 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Surface acoustic wave device having a small acoustic velocity distribution and method of producing the same |
| JP2008148338A (ja) * | 2001-03-04 | 2008-06-26 | Kazuhiko Yamanouchi | 弾性表面波機能素子 |
| JP2009284554A (ja) * | 2009-09-03 | 2009-12-03 | Hitachi Media Electoronics Co Ltd | 弾性表面波装置、通信用フィルタ及び移動通信装置 |
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