JPH03190409A - 弾性表面波装置 - Google Patents
弾性表面波装置Info
- Publication number
- JPH03190409A JPH03190409A JP33209589A JP33209589A JPH03190409A JP H03190409 A JPH03190409 A JP H03190409A JP 33209589 A JP33209589 A JP 33209589A JP 33209589 A JP33209589 A JP 33209589A JP H03190409 A JPH03190409 A JP H03190409A
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- JP
- Japan
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- bus bar
- thin film
- surface acoustic
- electrodes
- acoustic wave
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- Pending
Links
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 title claims description 9
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 6
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 abstract description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 abstract description 4
- 238000001459 lithography Methods 0.000 abstract description 4
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 abstract description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 3
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 abstract description 2
- 229910012463 LiTaO3 Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は弾性表面波装置に関し、特に高周波帯でＩ Ｄ
Ｔ （Ｉｎｔｅｒ Ｄｉｇｔａｌ Ｔｒａｍｓｄｕｃ
ｅｒ）部を構成するバスバ一部に酸化物超電導薄膜を使
用した弾性表面波装置に関する。
Ｔ （Ｉｎｔｅｒ Ｄｉｇｔａｌ Ｔｒａｍｓｄｕｃ
ｅｒ）部を構成するバスバ一部に酸化物超電導薄膜を使
用した弾性表面波装置に関する。
従来の弾性表面波装置では、数百ＭＨｚ以上の高周波帯
になると、交叉指状電極群とバスバー電極とは、一体化
してアルミニウム薄膜で形成される。このアルミニウム
膜は、音響インピーダンスの整合および電気的特性の面
から、厚みを数百〜数千オングストローム以内におさえ
なければならない。
になると、交叉指状電極群とバスバー電極とは、一体化
してアルミニウム薄膜で形成される。このアルミニウム
膜は、音響インピーダンスの整合および電気的特性の面
から、厚みを数百〜数千オングストローム以内におさえ
なければならない。
上述した従来の弾性表面波装置では、電極薄膜を極めて
薄くせねばならないので、電極抵抗特にバスバー電極の
抵抗の影響による特性劣化が顕著で、高周波になればな
るほど特性上の問題がある。
薄くせねばならないので、電極抵抗特にバスバー電極の
抵抗の影響による特性劣化が顕著で、高周波になればな
るほど特性上の問題がある。
本発明の弾性表面波装置は、弾性表面波を励振する少く
とも１対の交叉指状電極と、各対の該交叉指状電極を連
結接続するための酸化物高温超電導材の薄膜から成るバ
スバー電極とを備えている。
とも１対の交叉指状電極と、各対の該交叉指状電極を連
結接続するための酸化物高温超電導材の薄膜から成るバ
スバー電極とを備えている。
第１図（ａ）及び（ｂ）は本発明の一実施例の平面図及
び側面図である。水晶、ＬｉＴａ０３ＬｉＮｂ０３等の
圧電材の基板１１の面上に、リソグラフィ技術によりア
ルミニウム薄膜の交叉指状の電極１．２．１３を形成す
る。これを連結し接続するバスバーの電４ｋ１４〜１７
は、第２図に示す温度−抵抗特性を持つ（臨界温度８６
Ｋ）の超電導材（ＢａＹＣｕ○）をパルスレーザ蒸着と
りソグラフィ技術によって薄膜形成したものである。臨
界温度が高温なので、容易にバスバー電極の電気抵抗を
ゼロにでき、従来装置において特に高周波帯で問題点で
あるバスバー電極の抵抗分布に起因するウェーティング
ロスを完全に除去できる。
び側面図である。水晶、ＬｉＴａ０３ＬｉＮｂ０３等の
圧電材の基板１１の面上に、リソグラフィ技術によりア
ルミニウム薄膜の交叉指状の電極１．２．１３を形成す
る。これを連結し接続するバスバーの電４ｋ１４〜１７
は、第２図に示す温度−抵抗特性を持つ（臨界温度８６
Ｋ）の超電導材（ＢａＹＣｕ○）をパルスレーザ蒸着と
りソグラフィ技術によって薄膜形成したものである。臨
界温度が高温なので、容易にバスバー電極の電気抵抗を
ゼロにでき、従来装置において特に高周波帯で問題点で
あるバスバー電極の抵抗分布に起因するウェーティング
ロスを完全に除去できる。
以上説明したように本発明は、電気抵抗がゼロになる完
全導電薄膜でバスバーを形成することにより、高周波帯
での特性劣化を除去できる効果がある。
全導電薄膜でバスバーを形成することにより、高周波帯
での特性劣化を除去できる効果がある。
第１図（ａ）および（ｂ）は本発明の実施例の平面図お
よび側面図、第２図は本発明の実施例に使用する超電導
材の特性図である。
よび側面図、第２図は本発明の実施例に使用する超電導
材の特性図である。
１１・・・基板、１２〜２７・・・電極。
Claims (1)
- 弾性表面波を励振する少くとも１対の交叉指状電極と
、各対の該交叉指状電極を連結接続するための酸化物高
温超電導材の薄膜から成るバスバー電極とを備えている
ことを特徴とする弾性表面波装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33209589A JPH03190409A (ja) | 1989-12-20 | 1989-12-20 | 弾性表面波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33209589A JPH03190409A (ja) | 1989-12-20 | 1989-12-20 | 弾性表面波装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03190409A true JPH03190409A (ja) | 1991-08-20 |
Family
ID=18251088
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33209589A Pending JPH03190409A (ja) | 1989-12-20 | 1989-12-20 | 弾性表面波装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03190409A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0548371A (ja) * | 1991-08-12 | 1993-02-26 | Mitsubishi Electric Corp | 弾性表面波回路 |
| FR2747863A1 (fr) * | 1996-04-23 | 1997-10-24 | Lewiner Jacques | Filtre analogique pour signaux electriques |
-
1989
- 1989-12-20 JP JP33209589A patent/JPH03190409A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0548371A (ja) * | 1991-08-12 | 1993-02-26 | Mitsubishi Electric Corp | 弾性表面波回路 |
| FR2747863A1 (fr) * | 1996-04-23 | 1997-10-24 | Lewiner Jacques | Filtre analogique pour signaux electriques |
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