JP3256953B2 - モノリシック圧電フィルタ - Google Patents
モノリシック圧電フィルタInfo
- Publication number
- JP3256953B2 JP3256953B2 JP07147696A JP7147696A JP3256953B2 JP 3256953 B2 JP3256953 B2 JP 3256953B2 JP 07147696 A JP07147696 A JP 07147696A JP 7147696 A JP7147696 A JP 7147696A JP 3256953 B2 JP3256953 B2 JP 3256953B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- metal film
- input
- output
- electrodes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は水晶板等を用いたモ
ノリシック圧電フィルタに関するものであり、特に周波
数等の電気的特性を微調整するにあたり、信頼性を向上
させたモノリシック圧電フィルタに関するものである。
ノリシック圧電フィルタに関するものであり、特に周波
数等の電気的特性を微調整するにあたり、信頼性を向上
させたモノリシック圧電フィルタに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】水晶板等を用いたモノリシック圧電フィ
ルタは、例えばハンディタイプの小型通信機器等の周波
数選択手段として用いられている。従来のモノリシック
圧電フィルタの一般的な構成を図１１、図１２とともに
説明する。図１１はモノリシック圧電フィルタの側面図
で、電極構成を模式的に表しており、図１２は図１１に
ついてより詳しく示した裏面図である。圧電振動板９０
の表面には入力電極９１，出力電極９２が並列に形成さ
れており、裏面にはこれら入，出力電極に対応した共通
電極９３，９４が同じく並列に形成されている。これら
電極膜はクロムを下地金属とし、その上部に銀を蒸着し
た構成が用いられている。周波数あるいは周波数通過帯
域等の電気的特性の微調整を行う場合は、共通電極側の
各電極部分ｄ，ｆ並びに各電極間ｅの領域に適宜所定量
の金属材料（例えば銀）をパーシャル蒸着する。これに
より所望の電気的特性を有するモノリシック圧電フィル
タを得る。なお、図示していないが、上記入出力電極９
１，９２はそれぞれ入，出力端子に接続され、共通電極
９３，９４は共通接続してアース端子に接続され、気密
封止されている。
ルタは、例えばハンディタイプの小型通信機器等の周波
数選択手段として用いられている。従来のモノリシック
圧電フィルタの一般的な構成を図１１、図１２とともに
説明する。図１１はモノリシック圧電フィルタの側面図
で、電極構成を模式的に表しており、図１２は図１１に
ついてより詳しく示した裏面図である。圧電振動板９０
の表面には入力電極９１，出力電極９２が並列に形成さ
れており、裏面にはこれら入，出力電極に対応した共通
電極９３，９４が同じく並列に形成されている。これら
電極膜はクロムを下地金属とし、その上部に銀を蒸着し
た構成が用いられている。周波数あるいは周波数通過帯
域等の電気的特性の微調整を行う場合は、共通電極側の
各電極部分ｄ，ｆ並びに各電極間ｅの領域に適宜所定量
の金属材料（例えば銀）をパーシャル蒸着する。これに
より所望の電気的特性を有するモノリシック圧電フィル
タを得る。なお、図示していないが、上記入出力電極９
１，９２はそれぞれ入，出力端子に接続され、共通電極
９３，９４は共通接続してアース端子に接続され、気密
封止されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、電極間ｅの
領域にパーシャル蒸着する場合は、水晶板等の圧電板に
直接パーシャル蒸着を行うために、水晶板と金属膜（金
属材料）との密着性が良好ではなく、後工程にて行う安
定化のためのアニール処理、あるいはリフローソルダリ
ング時に熱エネルギーが運動エネルギーと化し、当該金
属膜の一部が剥がれたり、金属が粉体化して飛散し、調
整後の所望の周波数が変動する等の電気的特性が変動し
てしまうことがあった。
領域にパーシャル蒸着する場合は、水晶板等の圧電板に
直接パーシャル蒸着を行うために、水晶板と金属膜（金
属材料）との密着性が良好ではなく、後工程にて行う安
定化のためのアニール処理、あるいはリフローソルダリ
ング時に熱エネルギーが運動エネルギーと化し、当該金
属膜の一部が剥がれたり、金属が粉体化して飛散し、調
整後の所望の周波数が変動する等の電気的特性が変動し
てしまうことがあった。
【０００４】このような問題を解決するために、図１３
に示すように共通電極９７を一体化し、中央部分にも金
属膜の形成された構成も広く用いられているが、後述の
比較データの項でも示すように周波数通過帯域近傍にス
プリアスが生じることがあった。なお、９０は圧電振動
板、９５は入力電極、９６は出力電極である。
に示すように共通電極９７を一体化し、中央部分にも金
属膜の形成された構成も広く用いられているが、後述の
比較データの項でも示すように周波数通過帯域近傍にス
プリアスが生じることがあった。なお、９０は圧電振動
板、９５は入力電極、９６は出力電極である。
【０００５】本発明は上記問題点を解決するためになさ
れたもので、周波数調整等の電気的特性の微調整のため
に金属膜等の電気的特性調整用材料をパーシャル蒸着し
た場合において、この金属膜が強固に形成され、後工程
のアニール処理、リフローソルダリング等においても、
電極膜が損傷する等の問題の生じない、またスプリアス
の発生しにくい、品質の安定したモノリシック圧電フィ
ルタを提供することを目的とするものである。
れたもので、周波数調整等の電気的特性の微調整のため
に金属膜等の電気的特性調整用材料をパーシャル蒸着し
た場合において、この金属膜が強固に形成され、後工程
のアニール処理、リフローソルダリング等においても、
電極膜が損傷する等の問題の生じない、またスプリアス
の発生しにくい、品質の安定したモノリシック圧電フィ
ルタを提供することを目的とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに、本発明によるモノリシック圧電フィルタは、圧電
振動板の表面に入力電極、出力電極を所定の間隔で近接
させて形成し、かつ当該裏面に前記入力電極、出力電極
にそれぞれ対応した２つの共通電極を設け、これら共通
電極間に予め、金属膜を形成しておき、この部分に周波
数調整等の電気的特性調整用材料を形成したことを特徴
としている。金属膜は島状金属膜を複数設ける構成でも
よいし、あるいは薄肉の金属膜でもよい。
めに、本発明によるモノリシック圧電フィルタは、圧電
振動板の表面に入力電極、出力電極を所定の間隔で近接
させて形成し、かつ当該裏面に前記入力電極、出力電極
にそれぞれ対応した２つの共通電極を設け、これら共通
電極間に予め、金属膜を形成しておき、この部分に周波
数調整等の電気的特性調整用材料を形成したことを特徴
としている。金属膜は島状金属膜を複数設ける構成でも
よいし、あるいは薄肉の金属膜でもよい。
【０００７】これら各金属膜の存在により、金属膜を中
心にパーシャル蒸着による電気的特性調整用材料の膜形
成がなされるので、膜強度が低下することはない。すな
わち島状金属膜が圧電振動板と強固に形成されているの
で、この島状電極膜がアンカーとなり、パーシャル蒸着
によって形成された金属膜（電気的特性調整用材料）が
強固な膜形成をするとともに、アニール処理等において
熱エネルギーがこの金属膜に加わっても、金属間結合の
エネルギーが大きいため、金属粒子の飛散が最小限とな
るためと考えられる。
心にパーシャル蒸着による電気的特性調整用材料の膜形
成がなされるので、膜強度が低下することはない。すな
わち島状金属膜が圧電振動板と強固に形成されているの
で、この島状電極膜がアンカーとなり、パーシャル蒸着
によって形成された金属膜（電気的特性調整用材料）が
強固な膜形成をするとともに、アニール処理等において
熱エネルギーがこの金属膜に加わっても、金属間結合の
エネルギーが大きいため、金属粒子の飛散が最小限とな
るためと考えられる。
【０００８】請求項１に示すように、圧電振動板の表面
に入力電極、出力電極を所定の間隔で近接させて形成
し、かつ当該裏面に前記入力電極、出力電極にそれぞれ
対応した２つの共通電極を設けることにより共振領域を
形成したモノリシック圧電フィルタにおいて、前記共通
電極間に複数の島状金属膜を設け、当該島状金属膜部分
を中心に電気的特性調整用材料を形成したものである。
島状金属膜の形状は円形、楕円形、長円形、多角形等い
ろんな形状を選ぶことができ、共通電極形成時に同時に
形成すればよい。これにより共通電極と同じ電極材料，
層構成で、同様の膜強度の電極膜を形成することができ
る。なお、これら島状金属膜は共通電極と同じ厚さであ
ってもよいし、薄くてもよい。
に入力電極、出力電極を所定の間隔で近接させて形成
し、かつ当該裏面に前記入力電極、出力電極にそれぞれ
対応した２つの共通電極を設けることにより共振領域を
形成したモノリシック圧電フィルタにおいて、前記共通
電極間に複数の島状金属膜を設け、当該島状金属膜部分
を中心に電気的特性調整用材料を形成したものである。
島状金属膜の形状は円形、楕円形、長円形、多角形等い
ろんな形状を選ぶことができ、共通電極形成時に同時に
形成すればよい。これにより共通電極と同じ電極材料，
層構成で、同様の膜強度の電極膜を形成することができ
る。なお、これら島状金属膜は共通電極と同じ厚さであ
ってもよいし、薄くてもよい。
【０００９】複数の島状金属膜が点在しているので、こ
の島状金属膜部分にパーシャル蒸着した場合、島状金属
膜を中心に電極膜形成がなされるので、膜強度が低下す
ることはない。しかも、従来のように共通電極が一体化
された構成でないので、パーシャル蒸着後もスプリアス
が励起されにくい。
の島状金属膜部分にパーシャル蒸着した場合、島状金属
膜を中心に電極膜形成がなされるので、膜強度が低下す
ることはない。しかも、従来のように共通電極が一体化
された構成でないので、パーシャル蒸着後もスプリアス
が励起されにくい。
【００１０】請求項２に示すように、圧電振動板の表面
に入力電極、出力電極を所定の間隔で近接させて形成
し、かつ当該裏面に前記入力電極、出力電極にそれぞれ
対応した２つの共通電極を設けることにより共振領域を
形成したモノリシック圧電フィルタにおいて、前記共通
電極間に共通電極より薄い薄肉金属膜を形成し、当該薄
肉金属膜を中心に電気的特性調整用材料を形成したこと
を特徴とする構成としてもよい。
に入力電極、出力電極を所定の間隔で近接させて形成
し、かつ当該裏面に前記入力電極、出力電極にそれぞれ
対応した２つの共通電極を設けることにより共振領域を
形成したモノリシック圧電フィルタにおいて、前記共通
電極間に共通電極より薄い薄肉金属膜を形成し、当該薄
肉金属膜を中心に電気的特性調整用材料を形成したこと
を特徴とする構成としてもよい。
【００１１】上記構成において、例えば共通電極が下地
金属クロム、上部金属銀という電極層構成である場合、
この薄肉金属膜をクロムのみとしてもよい。この薄肉金
属の厚さは５００オングストローム以下が好ましく、１
０〜１００オングストローム程度の完全には電極膜を形
成していないような微視的に見て島状構造であってもよ
い。
金属クロム、上部金属銀という電極層構成である場合、
この薄肉金属膜をクロムのみとしてもよい。この薄肉金
属の厚さは５００オングストローム以下が好ましく、１
０〜１００オングストローム程度の完全には電極膜を形
成していないような微視的に見て島状構造であってもよ
い。
【００１２】また請求項３に示すように、圧電振動板の
表面に入力電極、出力電極を所定の間隔で近接させて形
成し、かつ当該裏面に前記入力電極、出力電極にそれぞ
れ対応した２つの共通電極を設けることにより共振領域
を形成してなるモノリシック圧電フィルタにおいて、圧
電振動板の表裏面の少なくとも一面の一部あるいは全面
に極薄金属膜を形成し、前記各電極並びに前記極薄金属
膜部分に電気的特性調整用材料を形成したこと特徴とす
る構成としてもよい。また、請求項４に示すように圧電
振動板の表面に入力電極、出力電極を所定の間隔で近接
させて形成し、かつ当該裏面に前記入力電極、出力電極
にそれぞれ対応した２つの共通電極を設けることにより
共振領域を形成してなるモノリシック圧電フィルタにお
いて、圧電振動板の表裏面の少なくとも一面において、
少なくとも前記入力電極と出力電極間及び共通電極間の
両者あるいはいずれか一方含む一部あるいは全面に極薄
金属膜を形成し、当該入力電極と出力電極間及び共通電
極間の両者あるいはいずれか一方を中心として電気的特
性調整用材料を形成したことを特徴とする構成としても
よい。
表面に入力電極、出力電極を所定の間隔で近接させて形
成し、かつ当該裏面に前記入力電極、出力電極にそれぞ
れ対応した２つの共通電極を設けることにより共振領域
を形成してなるモノリシック圧電フィルタにおいて、圧
電振動板の表裏面の少なくとも一面の一部あるいは全面
に極薄金属膜を形成し、前記各電極並びに前記極薄金属
膜部分に電気的特性調整用材料を形成したこと特徴とす
る構成としてもよい。また、請求項４に示すように圧電
振動板の表面に入力電極、出力電極を所定の間隔で近接
させて形成し、かつ当該裏面に前記入力電極、出力電極
にそれぞれ対応した２つの共通電極を設けることにより
共振領域を形成してなるモノリシック圧電フィルタにお
いて、圧電振動板の表裏面の少なくとも一面において、
少なくとも前記入力電極と出力電極間及び共通電極間の
両者あるいはいずれか一方含む一部あるいは全面に極薄
金属膜を形成し、当該入力電極と出力電極間及び共通電
極間の両者あるいはいずれか一方を中心として電気的特
性調整用材料を形成したことを特徴とする構成としても
よい。
【００１３】上記構成において、例えば共通電極が下地
金属クロム、上部金属銀という電極層構成である場合、
この極薄金属膜をクロムのみとしてもよい。この薄肉金
属の厚さは１０〜１００オングストロームが好ましく、
完全な電極膜を形成していないような微視的に見て島状
構造であることが必要である。厚くなりすぎると励起エ
ネルギーが低損失で供給され、周波数通過帯域近傍にス
プリアスが形成されやすくなったり、入出力電極側にお
いては、入力信号が電磁波となって出力電極に到達する
直達波の発生が多くなり、電気的特性の悪化をまねくの
で注意が必要である。なお、電気的特性調整用材料は、
島状金属膜あるいは薄肉金属膜あるいは極薄金属膜の上
面の金属材料と密着性の高い材料を用いるとより信頼性
が向上する。また、この電気的特性調整用材料は、金属
膜のみならずフッ化マグネシウム等の絶縁膜であっても
よい。
金属クロム、上部金属銀という電極層構成である場合、
この極薄金属膜をクロムのみとしてもよい。この薄肉金
属の厚さは１０〜１００オングストロームが好ましく、
完全な電極膜を形成していないような微視的に見て島状
構造であることが必要である。厚くなりすぎると励起エ
ネルギーが低損失で供給され、周波数通過帯域近傍にス
プリアスが形成されやすくなったり、入出力電極側にお
いては、入力信号が電磁波となって出力電極に到達する
直達波の発生が多くなり、電気的特性の悪化をまねくの
で注意が必要である。なお、電気的特性調整用材料は、
島状金属膜あるいは薄肉金属膜あるいは極薄金属膜の上
面の金属材料と密着性の高い材料を用いるとより信頼性
が向上する。また、この電気的特性調整用材料は、金属
膜のみならずフッ化マグネシウム等の絶縁膜であっても
よい。
【００１４】
【実施例】本発明の第１の実施例につき、モノリシック
水晶フィルタを例にとり、図面を参照して説明する。図
１は本発明の第１の実施例を示す水晶板の側面図、図２
は同裏面の平面図、図３は図２の要部拡大図である。水
晶板（圧電振動板）１０はＡＴカット水晶板であり、矩
形に加工されている。表面には真空蒸着、スパッタリン
グ等の公知のＰＶＤ（PHYSICAL VAPOR DEPOSITION）法
により、入力電極１１、出力電極１２が並列に並んで所
定の間隔で近接して設けられ、それぞれの電極から水晶
板１０の端面に引出電極（図示せず）が引き出されてい
る。裏面には前記入力電極、出力電極１１，１２に対応
する２つの共通電極１３，１４が設けられ、それぞれの
電極から水晶板の端面に引出電極１３ａ，１４ａが引き
出されている。これら共通電極は外部で共通接続されて
いる。共通電極間には長円形の島状金属膜１５が複数形
成されている。これら島状金属膜は入出力電極、および
共通電極形成時に同時に形成すればよく、蒸着マスクに
入出力電極用、共通電極用のほかに島状金属膜用の蒸着
窓を形成しておけば、同時に形成することができる。な
お、これら各電極に用いられる電極材料は、例えば下地
金属がクロム、上部金属が銀の例を挙げることができる
が、もちろん金、アルミニウム、ニッケル等他の公知の
電極構成を用いてもよい。
水晶フィルタを例にとり、図面を参照して説明する。図
１は本発明の第１の実施例を示す水晶板の側面図、図２
は同裏面の平面図、図３は図２の要部拡大図である。水
晶板（圧電振動板）１０はＡＴカット水晶板であり、矩
形に加工されている。表面には真空蒸着、スパッタリン
グ等の公知のＰＶＤ（PHYSICAL VAPOR DEPOSITION）法
により、入力電極１１、出力電極１２が並列に並んで所
定の間隔で近接して設けられ、それぞれの電極から水晶
板１０の端面に引出電極（図示せず）が引き出されてい
る。裏面には前記入力電極、出力電極１１，１２に対応
する２つの共通電極１３，１４が設けられ、それぞれの
電極から水晶板の端面に引出電極１３ａ，１４ａが引き
出されている。これら共通電極は外部で共通接続されて
いる。共通電極間には長円形の島状金属膜１５が複数形
成されている。これら島状金属膜は入出力電極、および
共通電極形成時に同時に形成すればよく、蒸着マスクに
入出力電極用、共通電極用のほかに島状金属膜用の蒸着
窓を形成しておけば、同時に形成することができる。な
お、これら各電極に用いられる電極材料は、例えば下地
金属がクロム、上部金属が銀の例を挙げることができる
が、もちろん金、アルミニウム、ニッケル等他の公知の
電極構成を用いてもよい。
【００１５】図２に示すような裏面の電極構成におい
て、電気的特性を所望値範囲内に追い込むために、モノ
リシック水晶フィルタの周波数等電気的特性をモニタリ
ングしながら、必要に応じていずれか一方あるいは両方
の共通電極あるいは島状金属膜部分に例えば電極材料と
して銀をパーシャル蒸着する。図３に示すように、島状
金属膜部分にパーシャル蒸着を行った場合は、パーシャ
ル蒸着された金属材料ｇ（銀）が島状金属膜の複数の部
分並びに水晶板におよぶが、島状金属膜で既に強固な電
極膜が形成されているので、パーシャル蒸着された金属
材料がこの島状金属膜上の電極材料と強固に結合する。
これにより信頼性の高い電極膜形成を行うことができ
る。なお、圧電振動板として水晶板を取り上げたが、圧
電セラミックス、あるいはタンタル酸リチウム等の圧電
単結晶材料を用いてもよい。
て、電気的特性を所望値範囲内に追い込むために、モノ
リシック水晶フィルタの周波数等電気的特性をモニタリ
ングしながら、必要に応じていずれか一方あるいは両方
の共通電極あるいは島状金属膜部分に例えば電極材料と
して銀をパーシャル蒸着する。図３に示すように、島状
金属膜部分にパーシャル蒸着を行った場合は、パーシャ
ル蒸着された金属材料ｇ（銀）が島状金属膜の複数の部
分並びに水晶板におよぶが、島状金属膜で既に強固な電
極膜が形成されているので、パーシャル蒸着された金属
材料がこの島状金属膜上の電極材料と強固に結合する。
これにより信頼性の高い電極膜形成を行うことができ
る。なお、圧電振動板として水晶板を取り上げたが、圧
電セラミックス、あるいはタンタル酸リチウム等の圧電
単結晶材料を用いてもよい。
【００１６】上記実施例では、共通電極間に複数の島状
金属膜が形成された例を示したが、当該構成に限定され
るものではない。第１の実施例の他の電極構成例を図４
の各図に示す。各図はすべて２つの共通電極２３，２４
とその間に形成された島状金属膜の例を示している。図
４（ａ）は共通電極間に縦長の長円形の島状金属膜２５
ｂを複数配置した例、図４（ｂ）は共通電極間に円形の
島状金属膜２５ｃを複数配置した例、図４（ｃ）は共通
電極の対向面に凹凸部分を設けるとともに、共通電極間
に円形の島状金属膜２５ｄを複数配置した例、図４
（ｄ）は共通電極間に複数の円形の島状金属膜２５ｅを
周状に配置した例、図４（ｅ）は共通電極間に複数の円
形の島状金属膜２５ｆをＸ字状に配置した例である。
金属膜が形成された例を示したが、当該構成に限定され
るものではない。第１の実施例の他の電極構成例を図４
の各図に示す。各図はすべて２つの共通電極２３，２４
とその間に形成された島状金属膜の例を示している。図
４（ａ）は共通電極間に縦長の長円形の島状金属膜２５
ｂを複数配置した例、図４（ｂ）は共通電極間に円形の
島状金属膜２５ｃを複数配置した例、図４（ｃ）は共通
電極の対向面に凹凸部分を設けるとともに、共通電極間
に円形の島状金属膜２５ｄを複数配置した例、図４
（ｄ）は共通電極間に複数の円形の島状金属膜２５ｅを
周状に配置した例、図４（ｅ）は共通電極間に複数の円
形の島状金属膜２５ｆをＸ字状に配置した例である。
【００１７】本発明の第２の実施例につきモノリシック
水晶フィルタを例示して、図５、図６とともに説明す
る。図５は第２の実施例を示す側面図、図６は同裏面の
平面図である。水晶板（圧電振動板）３０はＡＴカット
水晶板であり、矩形に加工されている。表面には入力電
極３１、出力電極３２が並列に並んで所定の間隔で近接
して設けられ、それぞれの電極から水晶板３０の端面に
引出電極（図示せず）が引き出されている。裏面には前
記入力電極３１，出力電極３２に対応する２つの共通電
極３３，３４が設けられ、それぞれの電極から水晶板の
端面に引出電極３３ａ，３４ａが引き出されている。こ
れら共通電極は外部で共通接続されている。これら各電
極に用いられる電極材料は、例えば下地金属がクロム、
その上部にクロムと銀の合金層、そして最上部に銀が蒸
着あるいはスパッタリングにより形成されている。共通
電極間には共通電極よりも薄い薄肉金属膜３５が共通電
極と電気的に独立して形成されている。この薄肉金属膜
３５は、上述の電極層構成のうちクロム層のみを形成し
ている。それ以上の電極層については、蒸着等の金属被
膜形成時に金属材料の通過を遮断する蒸着マスクに取り
替えることにより、当該薄肉金属膜に形成されないよう
にすればよい。通常、入出力電極および共通電極の厚さ
は５００オングストローム〜３０００オングストローム
程度であるのに対して、この金属膜電極はクロム層のみ
の１０オングストローム〜１００オングストローム程度
の薄肉電極としている。
水晶フィルタを例示して、図５、図６とともに説明す
る。図５は第２の実施例を示す側面図、図６は同裏面の
平面図である。水晶板（圧電振動板）３０はＡＴカット
水晶板であり、矩形に加工されている。表面には入力電
極３１、出力電極３２が並列に並んで所定の間隔で近接
して設けられ、それぞれの電極から水晶板３０の端面に
引出電極（図示せず）が引き出されている。裏面には前
記入力電極３１，出力電極３２に対応する２つの共通電
極３３，３４が設けられ、それぞれの電極から水晶板の
端面に引出電極３３ａ，３４ａが引き出されている。こ
れら共通電極は外部で共通接続されている。これら各電
極に用いられる電極材料は、例えば下地金属がクロム、
その上部にクロムと銀の合金層、そして最上部に銀が蒸
着あるいはスパッタリングにより形成されている。共通
電極間には共通電極よりも薄い薄肉金属膜３５が共通電
極と電気的に独立して形成されている。この薄肉金属膜
３５は、上述の電極層構成のうちクロム層のみを形成し
ている。それ以上の電極層については、蒸着等の金属被
膜形成時に金属材料の通過を遮断する蒸着マスクに取り
替えることにより、当該薄肉金属膜に形成されないよう
にすればよい。通常、入出力電極および共通電極の厚さ
は５００オングストローム〜３０００オングストローム
程度であるのに対して、この金属膜電極はクロム層のみ
の１０オングストローム〜１００オングストローム程度
の薄肉電極としている。
【００１８】図６に示すような裏面の電極構成におい
て、電気的特性を所望値範囲内に追い込むために、モノ
リシック水晶フィルタの周波数等の電気的特性をモニタ
リングしながら、必要に応じていずれか一方あるいは両
方の共通電極あるいは薄肉金属膜に例えば電極材料とし
て銀をパーシャル蒸着する。薄肉金属膜部分にパーシャ
ル蒸着を行った場合は、パーシャル蒸着された金属材料
（銀）が薄肉金属膜部分を中心として行われ、場合によ
っては金属材料が水晶板におよぶが、薄肉金属膜で既に
下地金属膜が形成されているので、パーシャル蒸着され
た金属材料がこの薄肉金属膜の電極材料と強固に結合す
る。これにより信頼性の高い電極膜形成を行うことがで
きる。
て、電気的特性を所望値範囲内に追い込むために、モノ
リシック水晶フィルタの周波数等の電気的特性をモニタ
リングしながら、必要に応じていずれか一方あるいは両
方の共通電極あるいは薄肉金属膜に例えば電極材料とし
て銀をパーシャル蒸着する。薄肉金属膜部分にパーシャ
ル蒸着を行った場合は、パーシャル蒸着された金属材料
（銀）が薄肉金属膜部分を中心として行われ、場合によ
っては金属材料が水晶板におよぶが、薄肉金属膜で既に
下地金属膜が形成されているので、パーシャル蒸着され
た金属材料がこの薄肉金属膜の電極材料と強固に結合す
る。これにより信頼性の高い電極膜形成を行うことがで
きる。
【００１９】本発明の第３の実施例につきモノリシック
水晶フィルタを例示して、図７、図８とともに説明す
る。図７は第３の実施例を示す側面図、図８は同裏面の
平面図である。水晶板（圧電振動板）４０はＡＴカット
水晶板であり、矩形に加工されている。表面には入力電
極４１、出力電極４２が並列に並んで所定の間隔で近接
して設けられ、それぞれの電極から水晶板の端面に引出
電極（図示せず）が引き出されている。裏面には前記入
力電極、出力電極４１，４２に対応する２つの共通電極
４３，４４が設けられ、それぞれの電極から水晶板の端
面に引出電極４３ａ，４４ａが引き出されている。これ
ら共通電極は共通接続されている。これら各電極に用い
られる電極材料は、例えば下地金属がクロム、その上部
に銀、そして最上部に金が、蒸着あるいはスパッタリン
グにより形成されている。共通電極間には共通電極より
も格段に薄い極薄金属膜４５が形成されている。この極
薄金属膜４５は、上述の電極層構成のうちクロム層の一
部のみを共用している。それ以上の電極層については、
蒸着等の金属被膜形成時に金属材料の通過を遮断する蒸
着マスクに取り替えることにより、当該極薄金属膜４５
に形成されないようにすればよい。通常、入出力電極お
よび共通電極の厚さは５００オングストローム〜３００
０オングストローム程度であるのに対して、この金属膜
電極はクロム層のみの１０オングストローム〜１００オ
ングストローム程度の極薄金属膜であり、完全な電極膜
を形成していないような微視的に見て島状構造で電気的
に浮遊状態であることが必要である。このような構成に
より、極薄金属膜４５は共通電極４３，４４間を導通さ
せる能力を持たない程度に抵抗が高い状態となってお
り、励振エネルギーが供給されにくく、周波数通過帯域
近傍にスプリアスが形成しにくくなっている。
水晶フィルタを例示して、図７、図８とともに説明す
る。図７は第３の実施例を示す側面図、図８は同裏面の
平面図である。水晶板（圧電振動板）４０はＡＴカット
水晶板であり、矩形に加工されている。表面には入力電
極４１、出力電極４２が並列に並んで所定の間隔で近接
して設けられ、それぞれの電極から水晶板の端面に引出
電極（図示せず）が引き出されている。裏面には前記入
力電極、出力電極４１，４２に対応する２つの共通電極
４３，４４が設けられ、それぞれの電極から水晶板の端
面に引出電極４３ａ，４４ａが引き出されている。これ
ら共通電極は共通接続されている。これら各電極に用い
られる電極材料は、例えば下地金属がクロム、その上部
に銀、そして最上部に金が、蒸着あるいはスパッタリン
グにより形成されている。共通電極間には共通電極より
も格段に薄い極薄金属膜４５が形成されている。この極
薄金属膜４５は、上述の電極層構成のうちクロム層の一
部のみを共用している。それ以上の電極層については、
蒸着等の金属被膜形成時に金属材料の通過を遮断する蒸
着マスクに取り替えることにより、当該極薄金属膜４５
に形成されないようにすればよい。通常、入出力電極お
よび共通電極の厚さは５００オングストローム〜３００
０オングストローム程度であるのに対して、この金属膜
電極はクロム層のみの１０オングストローム〜１００オ
ングストローム程度の極薄金属膜であり、完全な電極膜
を形成していないような微視的に見て島状構造で電気的
に浮遊状態であることが必要である。このような構成に
より、極薄金属膜４５は共通電極４３，４４間を導通さ
せる能力を持たない程度に抵抗が高い状態となってお
り、励振エネルギーが供給されにくく、周波数通過帯域
近傍にスプリアスが形成しにくくなっている。
【００２０】第２の実施例と同様に、図８に示すような
裏面の電極構成において、電気的特性を所望値範囲内に
追い込むために、モノリシック水晶フィルタの周波数等
電気的特性をモニタリングしながら、必要に応じていず
れか一方あるいは両方の共通電極あるいは極薄金属膜に
例えば電極材料として銀をパーシャル蒸着する。極薄金
属膜部分にパーシャル蒸着を行った場合は、パーシャル
蒸着された金属材料（銀）が極薄金属膜部分並びに水晶
板におよぶが、極薄金属膜で既に下地金属膜が形成され
ているので、パーシャル蒸着された金属材料がこの極薄
金属膜の電極材料と強固に結合する。このため信頼性の
高い電極膜形成を行うことができる。
裏面の電極構成において、電気的特性を所望値範囲内に
追い込むために、モノリシック水晶フィルタの周波数等
電気的特性をモニタリングしながら、必要に応じていず
れか一方あるいは両方の共通電極あるいは極薄金属膜に
例えば電極材料として銀をパーシャル蒸着する。極薄金
属膜部分にパーシャル蒸着を行った場合は、パーシャル
蒸着された金属材料（銀）が極薄金属膜部分並びに水晶
板におよぶが、極薄金属膜で既に下地金属膜が形成され
ているので、パーシャル蒸着された金属材料がこの極薄
金属膜の電極材料と強固に結合する。このため信頼性の
高い電極膜形成を行うことができる。
【００２１】本発明の第４の実施例につきモノリシック
水晶フィルタを例示して、図９、図１０とともに説明す
る。図９は第４の実施例を示す表面の平面図、図１０は
裏面の平面図である。水晶板（圧電振動板）５０はＡＴ
カット水晶板であり、矩形に加工されている。水晶板５
０の表裏面には、各全面に極薄金属膜５５が形成されて
いる。この極薄金属膜は真空蒸着、スパッタリング等の
公知のＰＶＤ（PHYSICAL VAPOR DEPOSITION）法により
形成されており、その厚さは１０〜５０オングストロー
ム程度で、完全な電極膜を形成していないような微視的
に見て島状構造で各島状構造は電気的に浮遊状態である
ことが必要である。そして、水晶板５０の表面には入力
電極５１、出力電極５２が並列に並んで所定の間隔で近
接して設けられ、それぞれの電極から水晶板の端面に引
出電極が引き出されている。裏面には前記入力電極、出
力電極５１，５２に対応する２つの共通電極５３，５４
が設けられ、それぞれの電極から水晶板の端面に引出電
極が引き出されている。これら共通電極は外部で共通接
続されている。電気的特性を調整する場合は、周波数等
電気的特性をモニタリングしながら、例えば表裏面の楕
円で示す部分ｇ１，ｇ２，ｇ３，ｇ４，ｇ５，ｇ６の少
なくとも一カ所にパーシャル蒸着を施す。このときパー
シャル蒸着は精度誤差からどうしても有る範囲を持って
行われてしまうが、このような場合でも、各電極の周囲
には極薄金属膜５５が形成されているためにこのパーシ
ャル蒸着は強固にかつ信頼性が高い状態で形成すること
ができる。
水晶フィルタを例示して、図９、図１０とともに説明す
る。図９は第４の実施例を示す表面の平面図、図１０は
裏面の平面図である。水晶板（圧電振動板）５０はＡＴ
カット水晶板であり、矩形に加工されている。水晶板５
０の表裏面には、各全面に極薄金属膜５５が形成されて
いる。この極薄金属膜は真空蒸着、スパッタリング等の
公知のＰＶＤ（PHYSICAL VAPOR DEPOSITION）法により
形成されており、その厚さは１０〜５０オングストロー
ム程度で、完全な電極膜を形成していないような微視的
に見て島状構造で各島状構造は電気的に浮遊状態である
ことが必要である。そして、水晶板５０の表面には入力
電極５１、出力電極５２が並列に並んで所定の間隔で近
接して設けられ、それぞれの電極から水晶板の端面に引
出電極が引き出されている。裏面には前記入力電極、出
力電極５１，５２に対応する２つの共通電極５３，５４
が設けられ、それぞれの電極から水晶板の端面に引出電
極が引き出されている。これら共通電極は外部で共通接
続されている。電気的特性を調整する場合は、周波数等
電気的特性をモニタリングしながら、例えば表裏面の楕
円で示す部分ｇ１，ｇ２，ｇ３，ｇ４，ｇ５，ｇ６の少
なくとも一カ所にパーシャル蒸着を施す。このときパー
シャル蒸着は精度誤差からどうしても有る範囲を持って
行われてしまうが、このような場合でも、各電極の周囲
には極薄金属膜５５が形成されているためにこのパーシ
ャル蒸着は強固にかつ信頼性が高い状態で形成すること
ができる。
【００２２】
【比較データ】従来品と本発明品の周波数特性の比較検
証データを図１４（従来品Ａ），図１５（従来品Ｂ），
図１６（本発明品Ａ），図１７（本発明品Ｂ）に示す。
比較検証に用いた水晶板は縦３．５mm、横５．０mmのＡ
Ｔカット水晶板であり、中心周波数を２１．４ＭＨｚに
設定しており、パーシャル蒸着後の周波数特性を示して
いる。入出力電極、共通電極の電極構成は下地電極にク
ロム、上部に銀が形成された構成であり、全電極厚は２
０００オングストロームである。従来品Ａは図１１，図
１２に示した構成で、共通電極が分割された構成であ
り、入出力電極の電極サイズは縦１．５mm、横１．０m
m、共通電極も同サイズとなっている。従来品Ｂは図１
３に示した構成で、共通電極が一体化された構成であ
り、入出力電極のサイズは従来品Ａと同様で、共通電極
は縦１．５mm、横１．０mmである。本発明品Ａは第１の
実施例に示した構成の電極構造であり、入出力電極、共
通電極のサイズは従来品Ａと同じである。共通電極間に
は長円形の島状金属膜１５が８つ縦列配置されている。
本発明品Ｂは第３の実施例に示した構成の電極構造であ
り、入出力電極、共通電極のサイズは従来品Ａと同じで
ある。共通電極間には厚さ約３０オングストロームの極
薄金属膜（クロム層）が形成されている。
証データを図１４（従来品Ａ），図１５（従来品Ｂ），
図１６（本発明品Ａ），図１７（本発明品Ｂ）に示す。
比較検証に用いた水晶板は縦３．５mm、横５．０mmのＡ
Ｔカット水晶板であり、中心周波数を２１．４ＭＨｚに
設定しており、パーシャル蒸着後の周波数特性を示して
いる。入出力電極、共通電極の電極構成は下地電極にク
ロム、上部に銀が形成された構成であり、全電極厚は２
０００オングストロームである。従来品Ａは図１１，図
１２に示した構成で、共通電極が分割された構成であ
り、入出力電極の電極サイズは縦１．５mm、横１．０m
m、共通電極も同サイズとなっている。従来品Ｂは図１
３に示した構成で、共通電極が一体化された構成であ
り、入出力電極のサイズは従来品Ａと同様で、共通電極
は縦１．５mm、横１．０mmである。本発明品Ａは第１の
実施例に示した構成の電極構造であり、入出力電極、共
通電極のサイズは従来品Ａと同じである。共通電極間に
は長円形の島状金属膜１５が８つ縦列配置されている。
本発明品Ｂは第３の実施例に示した構成の電極構造であ
り、入出力電極、共通電極のサイズは従来品Ａと同じで
ある。共通電極間には厚さ約３０オングストロームの極
薄金属膜（クロム層）が形成されている。
【００２３】各比較検証データから理解できるように、
従来品Ａでは中心周波数の右横に現れているスプリアス
は比較的小さいが、従来品Ｂではこのスプリアスがかな
り強く現れている。これに対して本発明品Ａ，Ｂともこ
のスプリアスは比較的小さく実用上主振動に悪影響を与
えない程度に抑制されている。なお各図の横軸の周波数
のスパンは２ＭＨｚである。
従来品Ａでは中心周波数の右横に現れているスプリアス
は比較的小さいが、従来品Ｂではこのスプリアスがかな
り強く現れている。これに対して本発明品Ａ，Ｂともこ
のスプリアスは比較的小さく実用上主振動に悪影響を与
えない程度に抑制されている。なお各図の横軸の周波数
のスパンは２ＭＨｚである。
【００２４】次に、これら各製品（従来品Ｂを除く）に
ついて、アニール処理、リフロソルダリング、エージン
グ等の加熱を伴う処理（工程）を行った場合の周波数変
動状況について各製品を検証した。サンプル数は５０個
であり、検証データを図１８（従来品Ａ），図１９（本
発明品Ａ），図２０（本発明品Ｂ）に示す。これら検証
データから、従来品Ａは最初のアニール処理時から大き
く周波数変動が生じており、周波数調整等の電気的特性
の調整効果がなくなっている。これに対して、各本発明
品はいずれも周波数変動が極めて小さく、品質が安定し
ていることが理解できる。
ついて、アニール処理、リフロソルダリング、エージン
グ等の加熱を伴う処理（工程）を行った場合の周波数変
動状況について各製品を検証した。サンプル数は５０個
であり、検証データを図１８（従来品Ａ），図１９（本
発明品Ａ），図２０（本発明品Ｂ）に示す。これら検証
データから、従来品Ａは最初のアニール処理時から大き
く周波数変動が生じており、周波数調整等の電気的特性
の調整効果がなくなっている。これに対して、各本発明
品はいずれも周波数変動が極めて小さく、品質が安定し
ていることが理解できる。
【００２５】以上各検証データから、従来品Ａは、周波
数変動が生じており、周波数調整等の電気的特性の調整
効果がなくなっている。従来品Ｂは所望の周波数に追い
込むことに成功しているが、周波数通過帯域部分に比較
的大きなスプリアスが発生しており、実用に供すること
ができない状態となっている。本発明品Ａ、Ｂともに所
望の周波数に追い込むことに成功しており、後工程に伴
う加熱等の影響を受けず、電気的特性が安定しているこ
とが理解できる。
数変動が生じており、周波数調整等の電気的特性の調整
効果がなくなっている。従来品Ｂは所望の周波数に追い
込むことに成功しているが、周波数通過帯域部分に比較
的大きなスプリアスが発生しており、実用に供すること
ができない状態となっている。本発明品Ａ、Ｂともに所
望の周波数に追い込むことに成功しており、後工程に伴
う加熱等の影響を受けず、電気的特性が安定しているこ
とが理解できる。
【００２６】
【発明の効果】請求項１によれば、複数の島状金属膜が
点在しているので、この島状金属膜部分にパーシャル蒸
着した場合、島状金属膜をアンカーとして電極膜が金属
間結合されるので、膜強度が低下することはない。従っ
て、後工程のアニール処理、リフローソルダリング等に
おいても、電極膜が損傷する等の問題の生じない、品質
の安定したモノリシック圧電フィルタを得ることができ
る。しかも、従来のように共通電極が一体化された構成
でないので、上記比較データの項で示したようにパーシ
ャル蒸着後もスプリアスが励起されにくく、所望の電気
的特性を得ることができる。
点在しているので、この島状金属膜部分にパーシャル蒸
着した場合、島状金属膜をアンカーとして電極膜が金属
間結合されるので、膜強度が低下することはない。従っ
て、後工程のアニール処理、リフローソルダリング等に
おいても、電極膜が損傷する等の問題の生じない、品質
の安定したモノリシック圧電フィルタを得ることができ
る。しかも、従来のように共通電極が一体化された構成
でないので、上記比較データの項で示したようにパーシ
ャル蒸着後もスプリアスが励起されにくく、所望の電気
的特性を得ることができる。
【００２７】請求項２によれば、共通電極間に独立した
薄肉金属膜を形成しているので、パーシャル蒸着が極め
て行いやすくなり、しかも従来一体型の共通電極により
発生していたスプリアスが形成されにくくなる。従って
電気的特性並びに品質の安定したモノリシック圧電フィ
ルタを得ることができる。
薄肉金属膜を形成しているので、パーシャル蒸着が極め
て行いやすくなり、しかも従来一体型の共通電極により
発生していたスプリアスが形成されにくくなる。従って
電気的特性並びに品質の安定したモノリシック圧電フィ
ルタを得ることができる。
【００２８】請求項３または４によれば、圧電振動板の
全面あるいは特定の位置に完全な電極膜を形成していな
いような島状構造の極薄金属膜を形成しているので、パ
ーシャル蒸着等の電気的特性調整材料が、入出力電極間
及び共通電極間あるいはこれら各電極の周囲に形成され
るような場合でも、極薄金属膜のアンカー効果により膜
形成が極めて強固に行われ、かつ後工程の加熱等の影響
を受けず、電気的特性が安定する。もちろん従来見られ
たような実用に悪影響を与えるようなスプリアスの発生
も生じない。
全面あるいは特定の位置に完全な電極膜を形成していな
いような島状構造の極薄金属膜を形成しているので、パ
ーシャル蒸着等の電気的特性調整材料が、入出力電極間
及び共通電極間あるいはこれら各電極の周囲に形成され
るような場合でも、極薄金属膜のアンカー効果により膜
形成が極めて強固に行われ、かつ後工程の加熱等の影響
を受けず、電気的特性が安定する。もちろん従来見られ
たような実用に悪影響を与えるようなスプリアスの発生
も生じない。
【００２９】請求項５によれば、電気的特性調整用材料
について、島状金属膜あるいは薄肉金属膜あるいは極薄
金属膜の上面の金属材料と密着性の高い材料を用いるこ
とによりパーシャル蒸着が確実に行えるので、より信頼
性が向上する。
について、島状金属膜あるいは薄肉金属膜あるいは極薄
金属膜の上面の金属材料と密着性の高い材料を用いるこ
とによりパーシャル蒸着が確実に行えるので、より信頼
性が向上する。
【図１】第１の実施例を示す側面図。
【図２】第１の実施例を示す裏面の平面図。
【図３】第１の実施例を示す要部拡大図。
【図４】第１の実施例の他の例を示す図。
【図５】第２の実施例を示す側面図。
【図６】第２の実施例を示す裏面の平面図。
【図７】第３の実施例を示す側面図。
【図８】第１の実施例を示す裏面の平面図。
【図９】第４の実施例を示す平面図。
【図１０】第４の実施例を示す平面図。
【図１１】従来例を示す図。
【図１２】従来例を示す図。
【図１３】従来例を示す図。
【図１４】比較データを示す図。
【図１５】比較データを示す図。
【図１６】比較データを示す図。
【図１７】比較データを示す図。
【図１８】比較データを示す図。
【図１９】比較データを示す図。
【図２０】比較データを示す図。
１０，２０，３０，４０ 水晶板 １１，２１，３１，４１ 入力電極 １２，２２，２３，２４ 出力電極 １３，１４，２３，２４，３３，３４，４３，４４ 共
通電極 １５ 島状金属膜 ３５ 薄肉金属膜 ４５，５５ 極薄金属膜
通電極 １５ 島状金属膜 ３５ 薄肉金属膜 ４５，５５ 極薄金属膜
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H03H 9/00 - 9/215 H03H 9/54 - 9/60
Claims (5)
- 【請求項１】 圧電振動板の表面に入力電極、出力電極
を所定の間隔で近接させて形成し、かつ当該裏面に前記
入力電極、出力電極にそれぞれ対応した２つの共通電極
を設けることにより共振領域を形成するとともに、前記
入力電極と出力電極間及び共通電極間の両者あるいはい
ずれか一方の間に複数の島状金属膜を設け、当該島状金
属膜部分を中心に電気的特性調整用材料を形成したこと
を特徴とするモノリシック圧電フィルタ。 - 【請求項２】 圧電振動板の表面に入力電極、出力電極
を所定の間隔で近接させて形成し、かつ当該裏面に前記
入力電極、出力電極にそれぞれ対応した２つの共通電極
を設けることにより共振領域を形成するとともに、前記
入力電極と出力電極間及び共通電極間の両者あるいはい
ずれか一方の間に共通電極より薄い薄肉金属膜を形成
し、当該薄肉金属膜を中心に電気的特性調整用材料を形
成したことを特徴とするモノリシック圧電フィルタ。 - 【請求項３】 圧電振動板の表面に入力電極、出力電極
を所定の間隔で近接させて形成し、かつ当該裏面に前記
入力電極、出力電極にそれぞれ対応した２つの共通電極
を設けることにより共振領域を形成してなるモノリシッ
ク圧電フィルタにおいて、圧電振動板の表裏面の少なく
とも一面の一部あるいは全面に極薄金属膜を形成し、前
記各電極並びに前記極薄金属膜部分に電気的特性調整用
材料を形成したことを特徴とするモノリシック圧電フィ
ルタ。 - 【請求項４】 圧電振動板の表面に入力電極、出力電極
を所定の間隔で近接させて形成し、かつ当該裏面に前記
入力電極、出力電極にそれぞれ対応した２つの共通電極
を設けることにより共振領域を形成してなるモノリシッ
ク圧電フィルタにおいて、圧電振動板の表裏面の少なく
とも一面において、少なくとも前記入力電極と出力電極
間及び共通電極間の両者あるいはいずれか一方を含む一
部あるいは全面に極薄金属膜を形成し、当該入力電極と
出力電極間及び共通電極間の両者あるいはいずれか一方
を中心として電気的特性調整用材料を形成したことを特
徴とするモノリシック圧電フィルタ。 - 【請求項５】 前記電気的特性調整用材料に、島状金属
膜あるいは薄肉金属膜あるいは極薄金属膜の上面の金属
材料と密着性の高い材料を用いたことを特徴とする請求
項１乃至４項いずれかに記載のモノリシック圧電フィル
タ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07147696A JP3256953B2 (ja) | 1996-02-29 | 1996-02-29 | モノリシック圧電フィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07147696A JP3256953B2 (ja) | 1996-02-29 | 1996-02-29 | モノリシック圧電フィルタ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09238045A JPH09238045A (ja) | 1997-09-09 |
| JP3256953B2 true JP3256953B2 (ja) | 2002-02-18 |
Family
ID=13461728
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP07147696A Expired - Fee Related JP3256953B2 (ja) | 1996-02-29 | 1996-02-29 | モノリシック圧電フィルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3256953B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4697622B2 (ja) * | 2000-11-24 | 2011-06-08 | 和幸 大内 | 圧電素子 |
| JP5216210B2 (ja) | 2006-12-28 | 2013-06-19 | 日本電波工業株式会社 | 水晶振動片および水晶振動デバイス |
| JP5172844B2 (ja) | 2007-08-24 | 2013-03-27 | 太陽誘電株式会社 | 圧電薄膜共振子、それを用いたフィルタ、そのフィルタを用いたデュプレクサおよびそのフィルタまたはそのデュプレクサを用いた通信機 |
-
1996
- 1996-02-29 JP JP07147696A patent/JP3256953B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH09238045A (ja) | 1997-09-09 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN100563100C (zh) | 表面声波装置 | |
| US4320365A (en) | Fundamental, longitudinal, thickness mode bulk wave resonator | |
| US7240410B2 (en) | Method for manufacturing a piezoelectric resonator | |
| US7602099B2 (en) | Surface acoustic wave device and method of manufacturing the same | |
| JP5175780B2 (ja) | スパッタターゲットの製造方法 | |
| US5844347A (en) | Saw device and its manufacturing method | |
| EP1385265A2 (en) | Piezoelectric filter, duplexer, composite piezoelectric resonator, communication device and method for adjusting frequency of piezoelectric filter | |
| JP2006510296A (ja) | 電気音響共振器 | |
| US6437668B1 (en) | Surface acoustic wave resonator, surface acoustic wave device, and communication device using shear horizontal waves | |
| EP1184978B1 (en) | Surface acoustic wave device and method of producing the same | |
| EP1081853A2 (en) | Surface acoustic wave device and method for manufacturing the same | |
| JPH0653768A (ja) | 音波デバイスの製法 | |
| JP3256953B2 (ja) | モノリシック圧電フィルタ | |
| JPH036912A (ja) | 弾性表面波素子 | |
| JP3449013B2 (ja) | 横波トランスデューサ | |
| JP4513150B2 (ja) | 高周波圧電振動子 | |
| JPH04313906A (ja) | 弾性表面波素子の製造方法 | |
| JPH025329B2 (ja) | ||
| JPH06224678A (ja) | 多段接続型弾性表面波フィルタの周波数調整方法 | |
| JPH025331B2 (ja) | ||
| CN100517963C (zh) | 电子部件以及采用该电子部件的电子器械 | |
| JPS60130910A (ja) | 弾性表面波共振子の周波数調整方法 | |
| JPH1056354A (ja) | 弾性表面波フィルタおよびその製造方法 | |
| JPH025330B2 (ja) | ||
| JPS5912816Y2 (ja) | 弾性表面波フイルタ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071207 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081207 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081207 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091207 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091207 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101207 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101207 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111207 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111207 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121207 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121207 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131207 Year of fee payment: 12 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |