JPS598420A - 弾性表面波素子及びその製造方法 - Google Patents
弾性表面波素子及びその製造方法Info
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- JPS598420A JPS598420A JP11748782A JP11748782A JPS598420A JP S598420 A JPS598420 A JP S598420A JP 11748782 A JP11748782 A JP 11748782A JP 11748782 A JP11748782 A JP 11748782A JP S598420 A JPS598420 A JP S598420A
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- electrodes
- acoustic wave
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- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
- H03H3/007—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks
- H03H3/08—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of resonators or networks using surface acoustic waves
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- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、弾性表面波素子及びその製造方法に関するも
のである。
のである。
一般に、ウェハー状態における弾性表面波素子は、第１
図のようになっている。第１図の破線で示す切断線７に
清って切断すると、第３図に示すような弾性表面波素子
が得られる。第１図の太線５で示す部分を拡大して第２
図に示す。
図のようになっている。第１図の破線で示す切断線７に
清って切断すると、第３図に示すような弾性表面波素子
が得られる。第１図の太線５で示す部分を拡大して第２
図に示す。
第２図において、例えば、弾性表面波素子１１０機能に
必要な電極２１．２２．２６および２４はそれぞれ互い
に電気的に接続されていない。
必要な電極２１．２２．２６および２４はそれぞれ互い
に電気的に接続されていない。
また、一つの弾性表面波素子の機能に必要な電極は、周
囲の弾性表面波素子の機能に必要な電極とそれぞれ互い
に電気的に接続されていない。
囲の弾性表面波素子の機能に必要な電極とそれぞれ互い
に電気的に接続されていない。
例えば、電極２１と電極６１、電極２１と電極３８、電
極２２と電極６７、電極２２と電極３６、電極２ろと電
極３２、電極２３と電極６６、電極２４と電極６５、お
よび電極２４と電極６４はそれぞれ互いに電気的に接続
されていない。
極２２と電極６７、電極２２と電極３６、電極２ろと電
極３２、電極２３と電極６６、電極２４と電極６５、お
よび電極２４と電極６４はそれぞれ互いに電気的に接続
されていない。
そのために、従来のウエノ・−状態における弾性表面波
素子では、製造工程中に急激にウエノ・−の温度が変化
すると、例えば第２回に示す弾性表面波素子１１におい
て、向かい合っている機能に必要な電極、すなわち電極
２１と電極２２ある（・は電極２６と電極２４に、焦電
効果によってそれぞれ互いに反対符号の電荷が誘起され
る。その結果、電極２１と電極２２０問および電極２６
と電極２４０間にそれぞれ電圧がかかり、ウェハー４に
ひずみが生じてウェハーや電極を損なうことがある。ま
た、上記の現象は、ある弾性表面波素子の機能に必要な
電極と、隣りの弾性表面波素子の機能に必要ね電極との
間にも起こる。
素子では、製造工程中に急激にウエノ・−の温度が変化
すると、例えば第２回に示す弾性表面波素子１１におい
て、向かい合っている機能に必要な電極、すなわち電極
２１と電極２２ある（・は電極２６と電極２４に、焦電
効果によってそれぞれ互いに反対符号の電荷が誘起され
る。その結果、電極２１と電極２２０問および電極２６
と電極２４０間にそれぞれ電圧がかかり、ウェハー４に
ひずみが生じてウェハーや電極を損なうことがある。ま
た、上記の現象は、ある弾性表面波素子の機能に必要な
電極と、隣りの弾性表面波素子の機能に必要ね電極との
間にも起こる。
例えば、第２図に示す弾性表面波素子１１の電極と周囲
の弾性表面波素子の電極との間、すなわち電極２１と電
極６１との間、電極２１と電極６８との間、電極２２と
電極６７との間、電極２にと電極６６との間、電極２６
と電極６２との間、電極２６と電極６３との間、電極２
４と電極６５との間、電極２４と電極３４との間に、焦
電効果によってそれぞれ電圧がかかり、ウエノ・−４に
ひずみを生じてウェハーや電極を損なうことがある。
の弾性表面波素子の電極との間、すなわち電極２１と電
極６１との間、電極２１と電極６８との間、電極２２と
電極６７との間、電極２にと電極６６との間、電極２６
と電極６２との間、電極２６と電極６３との間、電極２
４と電極６５との間、電極２４と電極３４との間に、焦
電効果によってそれぞれ電圧がかかり、ウエノ・−４に
ひずみを生じてウェハーや電極を損なうことがある。
それゆえに、従来のウエノ・−状態における弾性表面波
素子では電極が破損して、設計した電極形状と異なって
、特性が劣化するという欠点があり、ウェハーが割れや
すいので歩止まりが悪くなるという欠点もある。
素子では電極が破損して、設計した電極形状と異なって
、特性が劣化するという欠点があり、ウェハーが割れや
すいので歩止まりが悪くなるという欠点もある。
さらに、従来のウエノ・−状態における弾性表面波素子
では、ジグなどでウェハーをおさえた場合、その部分の
電極がすべて同電位でないときには、放電を起こしてウ
ェハーや電極を破損することがあるという欠点がある。
では、ジグなどでウェハーをおさえた場合、その部分の
電極がすべて同電位でないときには、放電を起こしてウ
ェハーや電極を破損することがあるという欠点がある。
本発明の目的は、焦電効果によるウェハーおよび電極の
破損を防いだ弾性表面波素子の提供にある。以下図面に
基づいて詳細に説明する。
破損を防いだ弾性表面波素子の提供にある。以下図面に
基づいて詳細に説明する。
第４図は、本発明のウェハー状態における部分図で弾性
表面波素子の第一の実施例を示したものである。第１図
の如く太線５に囲まれた部分を拡大して示したものであ
る。
表面波素子の第一の実施例を示したものである。第１図
の如く太線５に囲まれた部分を拡大して示したものであ
る。
第１図および第４図の破線に示す切断線７に沿って切断
すると第５図に示すような弾性表面波素子が得られる。
すると第５図に示すような弾性表面波素子が得られる。
第４図において、ある弾性表面波素子の機能に必要な電
極は、その素子内の他の機能に必要な電極と電気的に接
続され、かつ、周囲の弾性表面波素子の機能に必要な電
極とも電気的に接続されている。例えば、第４図に示す
ウェハー状態の弾性表面波素子において、２１．２２．
２６．２４．３１．３２．３３．６４．３５．３６．６
７および３８はそれぞれ機能に必要な電極であるが、電
極２１と電極２６は接続電極６０によって、電極２１と
電極６１は接続電極６１によゲヘ電極２２と電極６６は
接続電極６２によって、電極２６と電極６２は接続電極
６６によって、電極２４と電極３５は接続電極６４によ
って、電極２１と電極２２と電極３７と電極６８とは接
続電極６５によって、電極２６と電極２４と電極６３と
電極６４は接続電極６６によってそれぞれ互いに電気的
に接続されている。弾性表面波素子１１以外の素子につ
いても同様に構成されているので、ウエノ・−４上に形
成された弾性表面波素子の機能に必要な電極は、接続電
極によってすべてそれぞれ互いに電気的に接続されてい
る。
極は、その素子内の他の機能に必要な電極と電気的に接
続され、かつ、周囲の弾性表面波素子の機能に必要な電
極とも電気的に接続されている。例えば、第４図に示す
ウェハー状態の弾性表面波素子において、２１．２２．
２６．２４．３１．３２．３３．６４．３５．３６．６
７および３８はそれぞれ機能に必要な電極であるが、電
極２１と電極２６は接続電極６０によって、電極２１と
電極６１は接続電極６１によゲヘ電極２２と電極６６は
接続電極６２によって、電極２６と電極６２は接続電極
６６によって、電極２４と電極３５は接続電極６４によ
って、電極２１と電極２２と電極３７と電極６８とは接
続電極６５によって、電極２６と電極２４と電極６３と
電極６４は接続電極６６によってそれぞれ互いに電気的
に接続されている。弾性表面波素子１１以外の素子につ
いても同様に構成されているので、ウエノ・−４上に形
成された弾性表面波素子の機能に必要な電極は、接続電
極によってすべてそれぞれ互いに電気的に接続されてい
る。
例えば、機能に必要な電極をすべて接続電極によって接
続された状態のマスクを作成し、スクライビングによっ
て各弾性表面波素子に切断すれば、第５図に示す素子が
得られる。スクライビングの際、周囲の弾性表面波素子
との間の接続電極は切断される。また、接続電極６０も
切断されるので、機能に必要な電極２１と２３は電気的
に接続されていない状態となる。又接続電極６５も切断
されるので、機能に必要な電極２１と２２は電気的に接
続されていない状態となる。接続電極６６は切断される
ので、機能に必要な電極２３と２４は電気的に接続され
ていない状態となる。従って、電極２１．２２．２６．
２４はそれぞれ互いに電気的に接続されていない状態と
なっている。
続された状態のマスクを作成し、スクライビングによっ
て各弾性表面波素子に切断すれば、第５図に示す素子が
得られる。スクライビングの際、周囲の弾性表面波素子
との間の接続電極は切断される。また、接続電極６０も
切断されるので、機能に必要な電極２１と２３は電気的
に接続されていない状態となる。又接続電極６５も切断
されるので、機能に必要な電極２１と２２は電気的に接
続されていない状態となる。接続電極６６は切断される
ので、機能に必要な電極２３と２４は電気的に接続され
ていない状態となる。従って、電極２１．２２．２６．
２４はそれぞれ互いに電気的に接続されていない状態と
なっている。
第６図は、本発明のウエノ・−状態にお１ける弾性表面
波素子の接続を示す第二の実施例を示したものである。
波素子の接続を示す第二の実施例を示したものである。
第６図において、接続電極の形状が第４図と異なってい
るが、やはりウエノ・−４上に形成された弾性表面波素
子の機能に必要な電極は、接続電極によってすべてそれ
ぞれ互いに電気的に接続されている。第１図および第６
図の破線に示す切断線７に沿って切断すると第７図に示
すような弾性表面波素子が得られる。
るが、やはりウエノ・−４上に形成された弾性表面波素
子の機能に必要な電極は、接続電極によってすべてそれ
ぞれ互いに電気的に接続されている。第１図および第６
図の破線に示す切断線７に沿って切断すると第７図に示
すような弾性表面波素子が得られる。
以上のような本発明のウエノ・−状態における弾性表面
波素子の構成によれば、製造工程中に急激に基板の温度
が変化しても弾性表面波素子の機能に必要な各電極の間
に焦電効果による電圧がかからず、従ってウェハーにひ
ずみが生ずることがないので、ウエノ・−や電極を破損
することがないと □いう、効果がある。
波素子の構成によれば、製造工程中に急激に基板の温度
が変化しても弾性表面波素子の機能に必要な各電極の間
に焦電効果による電圧がかからず、従ってウェハーにひ
ずみが生ずることがないので、ウエノ・−や電極を破損
することがないと □いう、効果がある。
また、本発明のウエノ・−状態における弾性表面波素子
の構成によれば、ウェハー上に電極を形成した後に、ジ
グなどでおさえた場合、機能に必要な電極すべてが電気
的に接続されて同電位となっているので、放電を起こし
てウエノ・−や電極を破損したりすることがないという
効果もある。
の構成によれば、ウェハー上に電極を形成した後に、ジ
グなどでおさえた場合、機能に必要な電極すべてが電気
的に接続されて同電位となっているので、放電を起こし
てウエノ・−や電極を破損したりすることがないという
効果もある。
電極が破損することがないので、設計上の特性を満足す
る特性の良い弾性表面波素子を作成することができ、ま
た、ウエノ・−の割れることがないので弾性表面波素子
作成における歩止まりを良くすることができる。
る特性の良い弾性表面波素子を作成することができ、ま
た、ウエノ・−の割れることがないので弾性表面波素子
作成における歩止まりを良くすることができる。
なお、接続電極は、ウエノ・−から各弾性表面波素子に
切断した後にも、弾性表面波素子の機能には何ら悪い影
響を与えることはない。例えば、第５図において、接続
電極６５．６６はそれぞれ弾性表面波吸収体におおわれ
るので、接続電極６５および６６の存在によって弾性表
面波素子の機能を劣化させることはない。また、接続電
極６０．６１．６２．６６．６４はそれぞれ、弾性表面
波の伝搬路上にないのでやはり弾性表面波素子の機能を
劣化させることはない。又接続電極はウェハー切断後取
去り機能電極のみ残しても何ら本発明とは異るものでは
ない。
切断した後にも、弾性表面波素子の機能には何ら悪い影
響を与えることはない。例えば、第５図において、接続
電極６５．６６はそれぞれ弾性表面波吸収体におおわれ
るので、接続電極６５および６６の存在によって弾性表
面波素子の機能を劣化させることはない。また、接続電
極６０．６１．６２．６６．６４はそれぞれ、弾性表面
波の伝搬路上にないのでやはり弾性表面波素子の機能を
劣化させることはない。又接続電極はウェハー切断後取
去り機能電極のみ残しても何ら本発明とは異るものでは
ない。
弾性表面波素子の機能に必要な電極とともに、ウェハー
状態ではその電極間を短絡し、チップ切断後ではその電
極間を開放する接続電極を、切断線をまたいで設置した
ために、電極や基板を損なうことなく、特性の良い弾性
表面波素子を歩止まり良く得ることができる。
状態ではその電極間を短絡し、チップ切断後ではその電
極間を開放する接続電極を、切断線をまたいで設置した
ために、電極や基板を損なうことなく、特性の良い弾性
表面波素子を歩止まり良く得ることができる。
第１図は、ウェハー状態における弾性表面波素子を示す
略図の平面図。第２図は、従来のウェハー状態における
弾性表面波素子を示す部分拡月第４図および第６図は、
それぞれ本発明のウェハー状態における弾性表面波素子
を示す部分域Ａであり、第３図は、切断後における従来
の弾性表面波素子を示す斜視図であり、第５図および第
７図は、それぞれ切断後における本発明の弾性表面波素
子を示す斜視図である。 ４・・・・・ウエノ・−７・・・・・・切断線１１・・
・・・・弾性表面波素子 ２１．２２．２６．２４．３１．６２．６６．６４．６
５．６６．３７．６８・・・・・・弾性表面波素子の機
能に必要な電極 ６０．６１．６２．６６．６４．６５．６６・・・・・
・接続電極 才１団 才２Ｍ ］１ ．１−３団 矛４団 矛５図 矛６圏 矛７肥
略図の平面図。第２図は、従来のウェハー状態における
弾性表面波素子を示す部分拡月第４図および第６図は、
それぞれ本発明のウェハー状態における弾性表面波素子
を示す部分域Ａであり、第３図は、切断後における従来
の弾性表面波素子を示す斜視図であり、第５図および第
７図は、それぞれ切断後における本発明の弾性表面波素
子を示す斜視図である。 ４・・・・・ウエノ・−７・・・・・・切断線１１・・
・・・・弾性表面波素子 ２１．２２．２６．２４．３１．６２．６６．６４．６
５．６６．３７．６８・・・・・・弾性表面波素子の機
能に必要な電極 ６０．６１．６２．６６．６４．６５．６６・・・・・
・接続電極 才１団 才２Ｍ ］１ ．１−３団 矛４団 矛５図 矛６圏 矛７肥
Claims (2)
- （１） 弾性表面波素子電極と該弾性表面波素子電極
をウェハー状態で短絡した電極とが形成されていること
を特徴とする弾性表面波素子。 - （２）弾性表面波素子の製造工程に於て、ウェハーに弾
性表面波素子電極と該弾性表面波素子電極を接続する電
極を形成し、前記ウェハーから個々の弾性表面波素子に
切断することにより前記弾性表面波素子電極を分離形成
することを特徴とする弾性表面波素子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11748782A JPS598420A (ja) | 1982-07-06 | 1982-07-06 | 弾性表面波素子及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11748782A JPS598420A (ja) | 1982-07-06 | 1982-07-06 | 弾性表面波素子及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS598420A true JPS598420A (ja) | 1984-01-17 |
Family
ID=14712927
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11748782A Pending JPS598420A (ja) | 1982-07-06 | 1982-07-06 | 弾性表面波素子及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS598420A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6120409A (ja) * | 1984-07-09 | 1986-01-29 | Oki Electric Ind Co Ltd | 表面弾性波素子の製造方法 |
| JPS61257008A (ja) * | 1985-05-10 | 1986-11-14 | Toshiba Corp | 弾性表面波装置の製造方法 |
| JPS6343390A (ja) * | 1986-08-08 | 1988-02-24 | 日本電気株式会社 | 混成集積回路用基板 |
| JPH01319313A (ja) * | 1988-06-20 | 1989-12-25 | Mitsubishi Electric Corp | 弾性表面波素子の製造方法 |
| EP0452105A2 (en) * | 1990-04-11 | 1991-10-16 | Fujitsu Limited | Saw device having a plurality of electrodes and a fabrication method thereof |
| JPH04321310A (ja) * | 1991-01-22 | 1992-11-11 | Nec Corp | 弾性表面波装置 |
| JPH05299960A (ja) * | 1992-04-21 | 1993-11-12 | Sanyo Electric Co Ltd | 弾性表面波素子の製造方法 |
| DE10118408B4 (de) * | 2000-04-13 | 2012-03-01 | Murata Mfg. Co., Ltd. | Verfahren zum Herstellen eines Oberflächenwellenbauelements |
-
1982
- 1982-07-06 JP JP11748782A patent/JPS598420A/ja active Pending
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6120409A (ja) * | 1984-07-09 | 1986-01-29 | Oki Electric Ind Co Ltd | 表面弾性波素子の製造方法 |
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| JPS6343390A (ja) * | 1986-08-08 | 1988-02-24 | 日本電気株式会社 | 混成集積回路用基板 |
| JPH0515318B2 (ja) * | 1986-08-08 | 1993-03-01 | Nippon Electric Co | |
| JPH01319313A (ja) * | 1988-06-20 | 1989-12-25 | Mitsubishi Electric Corp | 弾性表面波素子の製造方法 |
| EP0452105A2 (en) * | 1990-04-11 | 1991-10-16 | Fujitsu Limited | Saw device having a plurality of electrodes and a fabrication method thereof |
| US5243249A (en) * | 1990-04-11 | 1993-09-07 | Fujitsu Limited | Saw device having a plurality of electrodes |
| US5325573A (en) * | 1990-04-11 | 1994-07-05 | Fujitsu Limited | Method of fabricating a saw device |
| JPH04321310A (ja) * | 1991-01-22 | 1992-11-11 | Nec Corp | 弾性表面波装置 |
| JPH05299960A (ja) * | 1992-04-21 | 1993-11-12 | Sanyo Electric Co Ltd | 弾性表面波素子の製造方法 |
| DE10118408B4 (de) * | 2000-04-13 | 2012-03-01 | Murata Mfg. Co., Ltd. | Verfahren zum Herstellen eines Oberflächenwellenbauelements |
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