JPH02149114A - 弾性表面波装置 - Google Patents
弾性表面波装置Info
- Publication number
- JPH02149114A JPH02149114A JP30372788A JP30372788A JPH02149114A JP H02149114 A JPH02149114 A JP H02149114A JP 30372788 A JP30372788 A JP 30372788A JP 30372788 A JP30372788 A JP 30372788A JP H02149114 A JPH02149114 A JP H02149114A
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- Japan
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- piezoelectric substrate
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- electrodes
- electrical short
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Links
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 title claims description 10
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 21
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 7
- 238000003466 welding Methods 0.000 abstract description 7
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 4
- 238000005530 etching Methods 0.000 abstract description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 10
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 10
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は表面波用圧電基板(以下、圧電基板とする)に
交差f1極を設けて構成した弾性表面波装置を利用分野
とし、特に塵等による交差電極間の電気的短絡を防+h
した弾性表面波装置に関する。
交差f1極を設けて構成した弾性表面波装置を利用分野
とし、特に塵等による交差電極間の電気的短絡を防+h
した弾性表面波装置に関する。
(発明の背景)
弾性表面波装置は例えばフィルタ、遅延線、発振器等に
利用される。例えばフィルタとしての弾性表面波装置(
以下、表面波フィルタとする)は小型、軽量、無調整等
の特長を有し、通信機器等に多用される。近年では、製
造工程−ヒで生ずる塵等による交差電極間の電気的短絡
を防止して生産性を向上することが望まれている。
利用される。例えばフィルタとしての弾性表面波装置(
以下、表面波フィルタとする)は小型、軽量、無調整等
の特長を有し、通信機器等に多用される。近年では、製
造工程−ヒで生ずる塵等による交差電極間の電気的短絡
を防止して生産性を向上することが望まれている。
(従来技術)
第3図は、表面波フィルタの一従来例を説明する図であ
る。なお、第3図(n)は分解斜視図、同図(h)は断
面図である。
る。なお、第3図(n)は分解斜視図、同図(h)は断
面図である。
表面波フィルタは例えばニオブ酸リチウムを圧電基板1
とする。そして、一方の板面上には入出力側となる交叉
電極2.3が形成される。交差電極2.3は通常伝送周
波数のλ/4又はλ/8の間隔で配置される。例えば伝
送周波数を200MHt、 M Hy、以上とするとλ
/8の場合ではその間隔を2.0μ以下とする。
とする。そして、一方の板面上には入出力側となる交叉
電極2.3が形成される。交差電極2.3は通常伝送周
波数のλ/4又はλ/8の間隔で配置される。例えば伝
送周波数を200MHt、 M Hy、以上とするとλ
/8の場合ではその間隔を2.0μ以下とする。
また、他方の板面側は金属製としたベース4の表面上に
接着剤により固着される。ベース4は入出力用のリード
端子5.6が絶縁貫通し、アース電位用の共通リード端
子7が底面に接続する。交差電極2.3のそれぞれ一方
とリード端子5.6とは、及びそれぞれ他方とベース表
面とはリード線8のボンデングにより接続する。
接着剤により固着される。ベース4は入出力用のリード
端子5.6が絶縁貫通し、アース電位用の共通リード端
子7が底面に接続する。交差電極2.3のそれぞれ一方
とリード端子5.6とは、及びそれぞれ他方とベース表
面とはリード線8のボンデングにより接続する。
そして、図示しない金属カバーとベース4のフランジ部
9とを、例えば抵抗溶接や冷間圧接により封止して圧電
基板1を密閉封入した構成とする。
9とを、例えば抵抗溶接や冷間圧接により封止して圧電
基板1を密閉封入した構成とする。
(従来技術の問題点)
17かしながら、上記表面波フィルタでは、例えば抵抗
溶接による封1F時等にベース4 (カバー)の金属屑
が内部に発生することがある。そして、第4図の一部拡
大平面図に示したように、金属屑は例えば衝撃(振動)
等により内部を浮遊して圧電基板1上に付着し、交差M
極2(3)間を電気的に短絡して生産性を低下する。ま
た、後日になって電気的短絡が生じた場合には信頼性を
著しく損なう問題があった。
溶接による封1F時等にベース4 (カバー)の金属屑
が内部に発生することがある。そして、第4図の一部拡
大平面図に示したように、金属屑は例えば衝撃(振動)
等により内部を浮遊して圧電基板1上に付着し、交差M
極2(3)間を電気的に短絡して生産性を低下する。ま
た、後日になって電気的短絡が生じた場合には信頼性を
著しく損なう問題があった。
(発明の目的)
本発明は、塵等による交差t4電極の電気的短絡を防止
して生産性を良好とするとともに信頼性を向上した弾性
表面波装置を提供することを目的とする。
して生産性を良好とするとともに信頼性を向上した弾性
表面波装置を提供することを目的とする。
(解決手段)
本発明は、圧電基板に溝を設け、この溝に交差電極を埋
没させたことを解決手段とする。以下、本発明の一実施
例を説明する。
没させたことを解決手段とする。以下、本発明の一実施
例を説明する。
(実施例)
第1図は、本発明の一実施例を説明する表面波フィルタ
の一部拡大平面図である。なお、前従来例と同一部分に
は同番号を付与17てその説明は簡略する。
の一部拡大平面図である。なお、前従来例と同一部分に
は同番号を付与17てその説明は簡略する。
表面波フィルタは前述同様にニオブ酸リチウムを圧電基
板1とする。圧電基板1は一方の板面側に例えばエツチ
ングにより複数の溝11が形成される。そして、溝11
内に交差電fiN2 (3)のそれぞれを対応させ、写
真印刷等によ炒埋没して形成する。
板1とする。圧電基板1は一方の板面側に例えばエツチ
ングにより複数の溝11が形成される。そして、溝11
内に交差電fiN2 (3)のそれぞれを対応させ、写
真印刷等によ炒埋没して形成する。
圧電基板1の他方の板面側は金属ベース4の表面上に取
着される。そして、金属ベース4のリード端子5.6.
7は入出力電1li2.3とを前述通り接続した後、例
えば抵抗溶接により図示しないカバーを封着する(前第
3図参照)。
着される。そして、金属ベース4のリード端子5.6.
7は入出力電1li2.3とを前述通り接続した後、例
えば抵抗溶接により図示しないカバーを封着する(前第
3図参照)。
このようなものでは、交差電極2 (3)が溝内に埋没
するので、第2図の一部拡大断面図に示したように金属
屑10が圧電基板1上に付着したとしても、溝幅より充
分に大きくて溝内に侵入することがない。したがって、
金属屑10と交差電極2(3)とは直接接触することな
く電気的短絡を防fトし、生産性を良好として信頼性を
向上することができろ。
するので、第2図の一部拡大断面図に示したように金属
屑10が圧電基板1上に付着したとしても、溝幅より充
分に大きくて溝内に侵入することがない。したがって、
金属屑10と交差電極2(3)とは直接接触することな
く電気的短絡を防fトし、生産性を良好として信頼性を
向上することができろ。
(他の事項)
なお、上記実施例では、交差電極間の電気的短絡は抵抗
溶接時の金属屑としたが、それ以外の例えば洗浄漏れに
よる塵による電気的短絡を防止できる。また、基本的に
は溝幅以上の塵を対象としたが、溝幅以下の塵であって
もその場合は溝内に落下するので同様に電気的短絡を防
止することが期待できろ。また、高周波数になるに従い
交差電極間隔は狭くなり例えば交差電極の不均一等によ
り接触するおそれがあるが、このような場合においても
その効果を発揮する。
溶接時の金属屑としたが、それ以外の例えば洗浄漏れに
よる塵による電気的短絡を防止できる。また、基本的に
は溝幅以上の塵を対象としたが、溝幅以下の塵であって
もその場合は溝内に落下するので同様に電気的短絡を防
止することが期待できろ。また、高周波数になるに従い
交差電極間隔は狭くなり例えば交差電極の不均一等によ
り接触するおそれがあるが、このような場合においても
その効果を発揮する。
また、弾性表面波装置は表面波フィルタとして圧電基板
はニオブ酸リチウムとして説明したが、これに限らず弾
性表面波装置を例えば発振器、共振子、遅延線等として
圧電基板1を他の圧電体としてもよいことは勿論である
。
はニオブ酸リチウムとして説明したが、これに限らず弾
性表面波装置を例えば発振器、共振子、遅延線等として
圧電基板1を他の圧電体としてもよいことは勿論である
。
また、溝11に交差電極2(3)のそれぞれを対応させ
て埋没したが、率の大きさ等によゆ−っの溝に複数本の
交差電極を埋没させてもよい。
て埋没したが、率の大きさ等によゆ−っの溝に複数本の
交差電極を埋没させてもよい。
また、ベース4を金属製として抵抗溶接によろ封止とj
7たが、ベースを例えばセラミックス等とした場合であ
っても上述から本発明を適用できることはいうまでもな
い。
7たが、ベースを例えばセラミックス等とした場合であ
っても上述から本発明を適用できることはいうまでもな
い。
(発明の効果)
本発明は、圧電基板に溝を設けて交差f4極を埋没させ
たので、塵等による交差電極間の電気的短絡を防止して
生産性を良好とするとともに信頼性を向−ヒした弾性表
面波装置を提供できる。
たので、塵等による交差電極間の電気的短絡を防止して
生産性を良好とするとともに信頼性を向−ヒした弾性表
面波装置を提供できる。
第1図は本発明の一実施例を説明する表面波フィルタの
一部拡大断面図、第2図は同実施例の作用効果を説明す
る表面波フィルタの一部拡大断面図である。 第3図(Il)は従来例を説明する表面波フィルタの分
解斜視図、同図(b)は同図(a)のA −A#断面図
、第4図は同従来例の一部拡大平面図である。 1・・圧電基板、2.3・・・交差’!極、4・・・ベ
ース、5.6.7・・・端子、8・・リード線、9・・
フランジ部、10・・・金属屑、11 溝。
一部拡大断面図、第2図は同実施例の作用効果を説明す
る表面波フィルタの一部拡大断面図である。 第3図(Il)は従来例を説明する表面波フィルタの分
解斜視図、同図(b)は同図(a)のA −A#断面図
、第4図は同従来例の一部拡大平面図である。 1・・圧電基板、2.3・・・交差’!極、4・・・ベ
ース、5.6.7・・・端子、8・・リード線、9・・
フランジ部、10・・・金属屑、11 溝。
Claims (1)
- 表面波用圧電基板の一方の板面に交叉電極を形成して構
成した弾性表面装置において、前記交差電極を表面波用
圧電基板に設けた溝内に埋没したことを特徴とする弾性
表面波装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30372788A JPH02149114A (ja) | 1988-11-30 | 1988-11-30 | 弾性表面波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30372788A JPH02149114A (ja) | 1988-11-30 | 1988-11-30 | 弾性表面波装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02149114A true JPH02149114A (ja) | 1990-06-07 |
Family
ID=17924541
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP30372788A Pending JPH02149114A (ja) | 1988-11-30 | 1988-11-30 | 弾性表面波装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02149114A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6414414B1 (en) * | 1998-05-29 | 2002-07-02 | Thomson-Csf | Unidirectional transducer etched with surface acoustic waves |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5232650A (en) * | 1975-09-08 | 1977-03-12 | Kinsekishiya Kenkyusho:Kk | Surface elastic wave element |
JPS5636604A (en) * | 1979-08-31 | 1981-04-09 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Single core optical fiber cable |
JPS5715514A (en) * | 1980-07-01 | 1982-01-26 | Nec Corp | Manufacture for reed screen electrode for elastic surface wave |
JPS63238708A (ja) * | 1987-03-26 | 1988-10-04 | Toyo Commun Equip Co Ltd | リ−キ−saw共振子 |
-
1988
- 1988-11-30 JP JP30372788A patent/JPH02149114A/ja active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5232650A (en) * | 1975-09-08 | 1977-03-12 | Kinsekishiya Kenkyusho:Kk | Surface elastic wave element |
JPS5636604A (en) * | 1979-08-31 | 1981-04-09 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Single core optical fiber cable |
JPS5715514A (en) * | 1980-07-01 | 1982-01-26 | Nec Corp | Manufacture for reed screen electrode for elastic surface wave |
JPS63238708A (ja) * | 1987-03-26 | 1988-10-04 | Toyo Commun Equip Co Ltd | リ−キ−saw共振子 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6414414B1 (en) * | 1998-05-29 | 2002-07-02 | Thomson-Csf | Unidirectional transducer etched with surface acoustic waves |
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