JPH11312943A - 弾性表面波装置の製造方法 - Google Patents
弾性表面波装置の製造方法Info
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- JPH11312943A JPH11312943A JP11893298A JP11893298A JPH11312943A JP H11312943 A JPH11312943 A JP H11312943A JP 11893298 A JP11893298 A JP 11893298A JP 11893298 A JP11893298 A JP 11893298A JP H11312943 A JPH11312943 A JP H11312943A
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- connection pad
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Abstract
(57)【要約】
【課題】同一基板上に膜厚の異なる二種類の電極を形成
してなる弾性表面波装置において、ワイヤボンディング
による剥がれが生じないようにし、信頼性の高い弾性表
面波装置を提供する。 【解決手段】膜厚の異なる二種類の電極を同一基板上に
形成する弾性表面波装置の製造方法において、基板11上
に、第一電極群30および第二外部接続用パッド16を第一
導電層の膜厚で形成する工程と、レジスト22bを付与す
る工程と、第二櫛形電極15および第二引き出し電極17形
成部のレジスト22bを除去する工程と、前記基板11上
に、前記第二導電層の膜厚で、第二櫛形電極15と、少な
くとも一部が前記第二外部接続用パッド16に積層される
第二引き出し電極17を形成する工程と、レジストおよび
レジスト上の導電層をリフトオフする工程とを備える製
造方法を用いる。
してなる弾性表面波装置において、ワイヤボンディング
による剥がれが生じないようにし、信頼性の高い弾性表
面波装置を提供する。 【解決手段】膜厚の異なる二種類の電極を同一基板上に
形成する弾性表面波装置の製造方法において、基板11上
に、第一電極群30および第二外部接続用パッド16を第一
導電層の膜厚で形成する工程と、レジスト22bを付与す
る工程と、第二櫛形電極15および第二引き出し電極17形
成部のレジスト22bを除去する工程と、前記基板11上
に、前記第二導電層の膜厚で、第二櫛形電極15と、少な
くとも一部が前記第二外部接続用パッド16に積層される
第二引き出し電極17を形成する工程と、レジストおよび
レジスト上の導電層をリフトオフする工程とを備える製
造方法を用いる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、基板上に膜厚の異
なる二種類の電極を形成してなる弾性表面波装置の製造
方法に関する。
なる二種類の電極を形成してなる弾性表面波装置の製造
方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、移動体通信機器などにおいては、
小型化が進んでおり、使用される弾性表面波装置につい
ても小型化が要求されている。それに応じて、一つの基
板上に複数種の機能を持たせることが考えられてきてお
り、一つの基板上に膜厚の異なる二種類の電極を形成す
ることで、二種類の異なる周波数に対応する弾性表面波
装置が考えられている。
小型化が進んでおり、使用される弾性表面波装置につい
ても小型化が要求されている。それに応じて、一つの基
板上に複数種の機能を持たせることが考えられてきてお
り、一つの基板上に膜厚の異なる二種類の電極を形成す
ることで、二種類の異なる周波数に対応する弾性表面波
装置が考えられている。
【０００３】以下、公知ではないが、本出願人が先に特
願平08-345478号で提案している弾性表面波装置の製造
方法を、図6〜8に基づいて説明する。なお、図6は弾性
表面波装置の概略平面図であり、図7は、そのY−Ｙ線概
略断面図である。
願平08-345478号で提案している弾性表面波装置の製造
方法を、図6〜8に基づいて説明する。なお、図6は弾性
表面波装置の概略平面図であり、図7は、そのY−Ｙ線概
略断面図である。
【０００４】図6に示すように、従来の弾性表面波装置1
10は、圧電基板111上に第一櫛形電極112と、第一外部接
続用パッド113と、両者を接続するための第一引き出し
電極114の三つからなる第一電極群130、および第二櫛形
電極115と、第二外部接続用パッド116と、両者を接続す
るための第二引き出し電極117の三つからなる第二電極
群131が形成されている。
10は、圧電基板111上に第一櫛形電極112と、第一外部接
続用パッド113と、両者を接続するための第一引き出し
電極114の三つからなる第一電極群130、および第二櫛形
電極115と、第二外部接続用パッド116と、両者を接続す
るための第二引き出し電極117の三つからなる第二電極
群131が形成されている。
【０００５】次に、上記弾性表面波装置110の製造工程
を、図8に基づいて説明する。まず、圧電基板111上に所
定の膜厚を有する第一導電層120を形成する。そして第
一導電層120を含む圧電基板111上にレジスト122aを付与
する。第一櫛形電極112、第一引き出し電極114、第一外
部接続用パッド113すなわち第一電極群130を遮蔽部とす
るマスクを用いて露光し、現像して露光部分のレジスト
122aを除去する。その結果、露光しなかった所定パター
ンのレジスト122aが残る（図8a） さらに、レジスト122aを侵さないが、第一導電層120を
除去し得るエッチャントによりエッチングを行う。その
後、レジスト122aを除去して第一電極群130を形成す
る。（図8b） 次に、第一電極群130を含む圧電基板111上にレジスト12
2bを付与する。（図8c） さらに、第二櫛形電極115、第二引き出し電極117、第二
外部接続用パッド116すなわち第二電極群131を開口部と
するマスクを用いて露光し、現像して露光部分のレジス
ト122bを除去する。その結果、露光しなかった部分のレ
ジスト122bが残る。（図8d） そして、第一導電層120の膜厚より小さい膜厚を有する
第二導電層121を形成する。（図8e） さらに、レジスト122bおよびレジスト122b上に形成され
た第二導電層121をリフトオフし、第二電極群131を形成
する。（図8f）
を、図8に基づいて説明する。まず、圧電基板111上に所
定の膜厚を有する第一導電層120を形成する。そして第
一導電層120を含む圧電基板111上にレジスト122aを付与
する。第一櫛形電極112、第一引き出し電極114、第一外
部接続用パッド113すなわち第一電極群130を遮蔽部とす
るマスクを用いて露光し、現像して露光部分のレジスト
122aを除去する。その結果、露光しなかった所定パター
ンのレジスト122aが残る（図8a） さらに、レジスト122aを侵さないが、第一導電層120を
除去し得るエッチャントによりエッチングを行う。その
後、レジスト122aを除去して第一電極群130を形成す
る。（図8b） 次に、第一電極群130を含む圧電基板111上にレジスト12
2bを付与する。（図8c） さらに、第二櫛形電極115、第二引き出し電極117、第二
外部接続用パッド116すなわち第二電極群131を開口部と
するマスクを用いて露光し、現像して露光部分のレジス
ト122bを除去する。その結果、露光しなかった部分のレ
ジスト122bが残る。（図8d） そして、第一導電層120の膜厚より小さい膜厚を有する
第二導電層121を形成する。（図8e） さらに、レジスト122bおよびレジスト122b上に形成され
た第二導電層121をリフトオフし、第二電極群131を形成
する。（図8f）
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】従来の弾性表面波装置
の製造方法においては、第一電極群形成後に、第一電極
群を含む圧電基板上にレジストを付与していた。そして
第二電極群形成部のレジストを除去し、第二導電層を形
成して、レジストおよびレジスト上に形成された第二導
電層をリフトオフするという方法を用いていた。すなわ
ち、第二電極群を形成する前に、圧電基板の第二電極群
形成部表面にレジストが付与されていた。そして、露
光、現像して、第二電極群形成部のレジストを除去して
いた。
の製造方法においては、第一電極群形成後に、第一電極
群を含む圧電基板上にレジストを付与していた。そして
第二電極群形成部のレジストを除去し、第二導電層を形
成して、レジストおよびレジスト上に形成された第二導
電層をリフトオフするという方法を用いていた。すなわ
ち、第二電極群を形成する前に、圧電基板の第二電極群
形成部表面にレジストが付与されていた。そして、露
光、現像して、第二電極群形成部のレジストを除去して
いた。
【０００７】したがって、第二電極群形成部の圧電基板
上には、レジストが残っていたり、現像液によって圧電
基板が汚染されたりしていた。このように、レジストが
残っていたり、現像液によって圧電基板が汚染される
と、圧電基板に形成される第二電極群と、圧電基板との
密着強度が弱まる。密着強度が弱まると、ワイヤなどに
より、第二外部接続用パッドと弾性表面波装置を収納す
るケースとを接続しても、必要な接続強度が得られず、
剥がれが生じるなど、弾性表面波装置の信頼性が悪化す
るなどの問題があった。
上には、レジストが残っていたり、現像液によって圧電
基板が汚染されたりしていた。このように、レジストが
残っていたり、現像液によって圧電基板が汚染される
と、圧電基板に形成される第二電極群と、圧電基板との
密着強度が弱まる。密着強度が弱まると、ワイヤなどに
より、第二外部接続用パッドと弾性表面波装置を収納す
るケースとを接続しても、必要な接続強度が得られず、
剥がれが生じるなど、弾性表面波装置の信頼性が悪化す
るなどの問題があった。
【０００８】本発明の弾性表面波装置の製造方法は、上
述の問題を鑑みてなされたものであり、これらの問題を
解決し、剥がれなどが生じず、信頼性の高い弾性表面波
装置の製造方法を提供することを目的としている。
述の問題を鑑みてなされたものであり、これらの問題を
解決し、剥がれなどが生じず、信頼性の高い弾性表面波
装置の製造方法を提供することを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明の弾性表面波装置は、第一櫛形電極、第一引き出
し電極、第一外部接続用パッドから構成される第一電極
群、および第二櫛形電極、第二引き出し電極、第二外部
接続用パッドから構成される第二電極群が基板上に形成
され、第一櫛形電極、第一引き出し電極、第一外部接続
用パッド、第二外部接続用パッドが所定の膜厚を有する
第一導電層で形成され、第二櫛形電極、第二引き出し電
極が、前記第一導電層の膜厚より小さい膜厚の第二導電
層で形成されてなる弾性表面波素子の製造方法におい
て、基板上に、第一電極群および第二外部接続用パッド
を第一導電層の膜厚で形成する工程と、前記第一電極群
および前記第二外部接続用パッドを含む前記基板上に、
レジストを付与する工程と、第二櫛形電極および第二引
き出し電極形成部のレジストを除去する工程と、前記基
板上に、前記第二導電層の膜厚で、第二櫛形電極と、少
なくとも一部が前記第二外部接続用パッドに積層される
第二引き出し電極を形成する工程と、レジストおよびレ
ジスト上の導電層をリフトオフする工程とを備える製造
方法を用いている。
本発明の弾性表面波装置は、第一櫛形電極、第一引き出
し電極、第一外部接続用パッドから構成される第一電極
群、および第二櫛形電極、第二引き出し電極、第二外部
接続用パッドから構成される第二電極群が基板上に形成
され、第一櫛形電極、第一引き出し電極、第一外部接続
用パッド、第二外部接続用パッドが所定の膜厚を有する
第一導電層で形成され、第二櫛形電極、第二引き出し電
極が、前記第一導電層の膜厚より小さい膜厚の第二導電
層で形成されてなる弾性表面波素子の製造方法におい
て、基板上に、第一電極群および第二外部接続用パッド
を第一導電層の膜厚で形成する工程と、前記第一電極群
および前記第二外部接続用パッドを含む前記基板上に、
レジストを付与する工程と、第二櫛形電極および第二引
き出し電極形成部のレジストを除去する工程と、前記基
板上に、前記第二導電層の膜厚で、第二櫛形電極と、少
なくとも一部が前記第二外部接続用パッドに積層される
第二引き出し電極を形成する工程と、レジストおよびレ
ジスト上の導電層をリフトオフする工程とを備える製造
方法を用いている。
【００１０】また、前記レジストおよびレジスト上の導
電層をリフトオフする工程に続いて、前記第二外部接続
用パッドと前記第二引き出し電極の双方に接続されるよ
うにワイヤがボンディングされる工程を備える製造方法
を用いている。
電層をリフトオフする工程に続いて、前記第二外部接続
用パッドと前記第二引き出し電極の双方に接続されるよ
うにワイヤがボンディングされる工程を備える製造方法
を用いている。
【００１１】これらにより、基板と第二外部接続用パッ
ドとの密着強度が増す。
ドとの密着強度が増す。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例である弾性
表面波装置の製造方法を図1〜3に基づいて説明する。な
お、図1は本発明の弾性表面波装置の概略平面図であ
り、図2は、そのＸ−Ｘ線概略断面図である。
表面波装置の製造方法を図1〜3に基づいて説明する。な
お、図1は本発明の弾性表面波装置の概略平面図であ
り、図2は、そのＸ−Ｘ線概略断面図である。
【００１３】図1に示すように、本発明の弾性表面波装
置10は、圧電基板11上に第一櫛形電極12と、第一外部接
続用パッド13と、両者を接続するための第一引き出し電
極14の三つからなる第一電極群30、および第二櫛形電極
15と、第二外部接続用パッド16と、両者を接続するため
の第二引き出し電極17の三つからなる第二電極群31が形
成されている。
置10は、圧電基板11上に第一櫛形電極12と、第一外部接
続用パッド13と、両者を接続するための第一引き出し電
極14の三つからなる第一電極群30、および第二櫛形電極
15と、第二外部接続用パッド16と、両者を接続するため
の第二引き出し電極17の三つからなる第二電極群31が形
成されている。
【００１４】次に、本発明の弾性表面波装置の製造工程
を、図3に基づいて説明する。LiTaO3、LiNbO3、水晶な
どの圧電基板、あるいはアルミナなどの絶縁基板上にZn
Oなどの圧電性薄膜を形成した圧電基板11上に、Alから
なり、所定の膜厚を有する第一導電層20を形成する。そ
の後、第一導電層20が形成された圧電基板11上にレジス
ト22aを付与する。そして、第一櫛形電極12、第一引き
出し電極14、第一外部接続用パッド13、第二外部接続用
パッド16を遮蔽部とするマスクを用いて露光し、現像し
て露光部分のレジスト22aを除去する。その結果、露光
しなかった所定パターンのレジスト22aが残る（図3a） 次に、レジスト22aは侵さないが、第一導電層20を除去
し得るエッチャントを用いてエッチングする。そして、
レジスト22aを除去し、第一櫛形電極12、第一引き出し
電極14、第一外部接続用パッド13、および第二外部接続
用パッド16を形成する。（図3b） その後、第一櫛形電極12、第一引き出し電極14、第一外
部接続用パッド13、第二外部接続用パッド16が形成され
た、圧電基板11上にレジスト22bを付与する。（図3c） そして、第二櫛形電極15、第二引き出し電極17を開口部
とするマスクを用いて露光し、現像して露光部分のレジ
スト22bを除去する。その結果、露光しなかった部分の
レジスト22bが残る。このとき、第二外部接続用パッド1
6の少なくとも一部分は、レジスト22bが付与されていな
い状態である。（図3d） さらに、Alからなる第一導電層20より膜厚の小さい第二
導電層21を、圧電基板11上に形成する。このとき、第二
引き出し電極17の一部は、第二外部接続用パッド16の少
なくとも一部に積層される。（図3e） そして、レジスト22bおよびレジスト22b上に形成された
第二導電層21をリフトオフし、圧電基板11上に第一櫛形
電極12、第一引き出し電極14、第一外部接続用パッド1
3、第二櫛形電極15、第二引き出し電極17、第二外部接
続用パッド16を形成する。（図3f） このような弾性表面波装置10は、ここでは図示しないケ
ースに収納される。このとき、ケースの外部端子と弾性
表面波装置10の第一外部接続用パッド13、第二外部接続
用パッド16とはワイヤなどにより接続される。第一外部
接続用パッド13、第二外部接続用パッド16は、レジスト
22bを付与する前の第一導電層20で形成されているた
め、ワイヤボンディングなどによる接続においても、十
分な接合強度が得られる。
を、図3に基づいて説明する。LiTaO3、LiNbO3、水晶な
どの圧電基板、あるいはアルミナなどの絶縁基板上にZn
Oなどの圧電性薄膜を形成した圧電基板11上に、Alから
なり、所定の膜厚を有する第一導電層20を形成する。そ
の後、第一導電層20が形成された圧電基板11上にレジス
ト22aを付与する。そして、第一櫛形電極12、第一引き
出し電極14、第一外部接続用パッド13、第二外部接続用
パッド16を遮蔽部とするマスクを用いて露光し、現像し
て露光部分のレジスト22aを除去する。その結果、露光
しなかった所定パターンのレジスト22aが残る（図3a） 次に、レジスト22aは侵さないが、第一導電層20を除去
し得るエッチャントを用いてエッチングする。そして、
レジスト22aを除去し、第一櫛形電極12、第一引き出し
電極14、第一外部接続用パッド13、および第二外部接続
用パッド16を形成する。（図3b） その後、第一櫛形電極12、第一引き出し電極14、第一外
部接続用パッド13、第二外部接続用パッド16が形成され
た、圧電基板11上にレジスト22bを付与する。（図3c） そして、第二櫛形電極15、第二引き出し電極17を開口部
とするマスクを用いて露光し、現像して露光部分のレジ
スト22bを除去する。その結果、露光しなかった部分の
レジスト22bが残る。このとき、第二外部接続用パッド1
6の少なくとも一部分は、レジスト22bが付与されていな
い状態である。（図3d） さらに、Alからなる第一導電層20より膜厚の小さい第二
導電層21を、圧電基板11上に形成する。このとき、第二
引き出し電極17の一部は、第二外部接続用パッド16の少
なくとも一部に積層される。（図3e） そして、レジスト22bおよびレジスト22b上に形成された
第二導電層21をリフトオフし、圧電基板11上に第一櫛形
電極12、第一引き出し電極14、第一外部接続用パッド1
3、第二櫛形電極15、第二引き出し電極17、第二外部接
続用パッド16を形成する。（図3f） このような弾性表面波装置10は、ここでは図示しないケ
ースに収納される。このとき、ケースの外部端子と弾性
表面波装置10の第一外部接続用パッド13、第二外部接続
用パッド16とはワイヤなどにより接続される。第一外部
接続用パッド13、第二外部接続用パッド16は、レジスト
22bを付与する前の第一導電層20で形成されているた
め、ワイヤボンディングなどによる接続においても、十
分な接合強度が得られる。
【００１５】次に、本発明の請求項2に係る実施例につ
いて説明する。なお、先の実施例と同位置には同符号を
付し、詳細な説明は省略する。また、外部接続用パッド
の接続部分の拡大図4、5を用いて説明する。
いて説明する。なお、先の実施例と同位置には同符号を
付し、詳細な説明は省略する。また、外部接続用パッド
の接続部分の拡大図4、5を用いて説明する。
【００１６】この実施例においては、先の実施例と同様
の製造方法で、第二引き出し電極の一部が、第二外部接
続用パッドの一部に積層された弾性表面波装置を製造す
る。しかしながら図4、5に示すように、先の実施例とは
異なってワイヤ19は、第二外部接続用パッド16と第二引
き出し電極17の両者に接続されている。このようにする
ことで、接合強度に関しては第二外部接続用パッド16で
得られる。さらに、全て第二外部接続用パッド16を介し
て接続されているわけではなく、第二引き出し電極17に
接続されているので、電極膜間での抵抗によって影響さ
れ、特性にばらつきが生じる度合いも小さくなる。
の製造方法で、第二引き出し電極の一部が、第二外部接
続用パッドの一部に積層された弾性表面波装置を製造す
る。しかしながら図4、5に示すように、先の実施例とは
異なってワイヤ19は、第二外部接続用パッド16と第二引
き出し電極17の両者に接続されている。このようにする
ことで、接合強度に関しては第二外部接続用パッド16で
得られる。さらに、全て第二外部接続用パッド16を介し
て接続されているわけではなく、第二引き出し電極17に
接続されているので、電極膜間での抵抗によって影響さ
れ、特性にばらつきが生じる度合いも小さくなる。
【００１７】
【発明の効果】以上のように本発明の製造方法によれ
ば、圧電基板上に第一櫛形電極、第一引き出し電極、第
一外部接続用パッドを形成する際、同時に第二外部接続
用パッドを形成した。そしてリフトオフにより第二櫛形
電極、第二引き出し電極を形成し、第二引き出し電極の
一部を、第二外部接続用パッドの少なくとも一部に積層
した。これにより、レジスト残さや、現像液により汚染
される前に第二外部接続用パッドを形成することができ
る。したがって、ワイヤなどにより、弾性表面波装置を
収納するケースと接続する際にも、十分な接合強度が得
られる。このため、剥がれなどが生じず、信頼性の高い
弾性表面波装置を製造することができる。
ば、圧電基板上に第一櫛形電極、第一引き出し電極、第
一外部接続用パッドを形成する際、同時に第二外部接続
用パッドを形成した。そしてリフトオフにより第二櫛形
電極、第二引き出し電極を形成し、第二引き出し電極の
一部を、第二外部接続用パッドの少なくとも一部に積層
した。これにより、レジスト残さや、現像液により汚染
される前に第二外部接続用パッドを形成することができ
る。したがって、ワイヤなどにより、弾性表面波装置を
収納するケースと接続する際にも、十分な接合強度が得
られる。このため、剥がれなどが生じず、信頼性の高い
弾性表面波装置を製造することができる。
【００１８】また、請求項2に係る製造方法によれば、
ワイヤで接続する際に、ワイヤは第二外部接続用パッ
ド、第二引き出し電極の両者に接続される。これによ
り、接合強度に加え、電気的特性も向上し、さらに特性
の良い弾性表面波装置を製造することができる。
ワイヤで接続する際に、ワイヤは第二外部接続用パッ
ド、第二引き出し電極の両者に接続される。これによ
り、接合強度に加え、電気的特性も向上し、さらに特性
の良い弾性表面波装置を製造することができる。
【図１】本発明の弾性表面波装置の概略平面図である。
【図２】本発明の弾性表面波装置のＸ−Ｘ線概略断面図
である。
である。
【図３】本発明の弾性表面波装置の製造工程を示す図で
ある。
ある。
【図４】本発明の第二の実施例の概略平面図である。
【図５】本発明の第二の実施例の概略断面図である。
【図６】従来の弾性表面波装置の概略平面図である。
【図７】従来の弾性表面波装置のＹ−Ｙ線概略断面図で
ある。
ある。
【図８】従来の弾性表面波装置の製造工程を示す図であ
る。
る。
10 弾性表面波装置 11 圧電基板 12 第一櫛形電極 13 第一外部接続用パッド 14 第一引き出し電極 15 第二櫛形電極 16 第二外部接続用パッド 17 第二引き出し電極 19 ワイヤ 20 第一導電層 21 第二導電層 30 第一電極群 31 第二電極群
Claims (2)
- 【請求項１】第一櫛形電極、第一引き出し電極、第一外
部接続用パッドから構成される第一電極群、および第二
櫛形電極、第二引き出し電極、第二外部接続用パッドか
ら構成される第二電極群が基板上に形成され、第一櫛形
電極、第一引き出し電極、第一外部接続用パッド、第二
外部接続用パッドが所定の膜厚を有する第一導電層で形
成され、第二櫛形電極、第二引き出し電極が、前記第一
導電層の膜厚より小さい膜厚の第二導電層で形成されて
なる弾性表面波素子の製造方法において、 基板上に、第一電極群および第二外部接続用パッドを第
一導電層の膜厚で形成する工程と、 前記第一電極群および前記第二外部接続用パッドを含む
前記基板上に、レジストを付与する工程と、 第二櫛形電極および第二引き出し電極形成部のレジスト
を除去する工程と、 前記基板上に、前記第二導電層の膜厚で、第二櫛形電極
と、少なくとも一部が前記第二外部接続用パッドに積層
される第二引き出し電極を形成する工程と、 レジストおよびレジスト上の導電層をリフトオフする工
程とを備えることを特徴とする弾性表面波装置の製造方
法。 - 【請求項２】前記レジストおよびレジスト上の導電層を
リフトオフする工程に続いて、 前記第二外部接続用パッドと前記第二引き出し電極の双
方に接続されるようにワイヤがボンディングされる工程
を備えることを特徴とする請求項1記載の弾性表面波装
置の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11893298A JPH11312943A (ja) | 1998-04-28 | 1998-04-28 | 弾性表面波装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11893298A JPH11312943A (ja) | 1998-04-28 | 1998-04-28 | 弾性表面波装置の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11312943A true JPH11312943A (ja) | 1999-11-09 |
Family
ID=14748794
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11893298A Pending JPH11312943A (ja) | 1998-04-28 | 1998-04-28 | 弾性表面波装置の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11312943A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1097670A2 (en) | 1999-11-02 | 2001-05-09 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Method and apparatus for displaying fluorescence information |
| GB2381976A (en) * | 2000-12-26 | 2003-05-14 | Murata Manufacturing Co | Electrode pad construction and connection for surface acoustic wave apparatus |
| US6792656B2 (en) | 2000-12-26 | 2004-09-21 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Surface acoustic wave apparatus and manufacturing method therefor |
| JP2011009882A (ja) * | 2009-06-23 | 2011-01-13 | Taiyo Yuden Co Ltd | 弾性波デバイスの製造方法 |
-
1998
- 1998-04-28 JP JP11893298A patent/JPH11312943A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1097670A2 (en) | 1999-11-02 | 2001-05-09 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Method and apparatus for displaying fluorescence information |
| GB2381976A (en) * | 2000-12-26 | 2003-05-14 | Murata Manufacturing Co | Electrode pad construction and connection for surface acoustic wave apparatus |
| GB2381976B (en) * | 2000-12-26 | 2003-12-24 | Murata Manufacturing Co | Surface acoustic wave apparatus and manufacturing method therefor |
| US6792656B2 (en) | 2000-12-26 | 2004-09-21 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Surface acoustic wave apparatus and manufacturing method therefor |
| US7112913B2 (en) | 2000-12-26 | 2006-09-26 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Surface acoustic wave apparatus and manufacturing method therefor |
| JP2011009882A (ja) * | 2009-06-23 | 2011-01-13 | Taiyo Yuden Co Ltd | 弾性波デバイスの製造方法 |
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