JPS60144013A - インタ−デイジタル型表面弾性波変換器 - Google Patents
インタ−デイジタル型表面弾性波変換器Info
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- JPS60144013A JPS60144013A JP9784A JP9784A JPS60144013A JP S60144013 A JPS60144013 A JP S60144013A JP 9784 A JP9784 A JP 9784A JP 9784 A JP9784 A JP 9784A JP S60144013 A JPS60144013 A JP S60144013A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode finger
- surface acoustic
- saw
- acoustic wave
- width
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
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- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
- H03H9/14544—Transducers of particular shape or position
- H03H9/14547—Fan shaped; Tilted; Shifted; Slanted; Tapered; Arched; Stepped finger transducers
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02818—Means for compensation or elimination of undesirable effects
- H03H9/02842—Means for compensation or elimination of undesirable effects of reflections
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
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- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
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- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
- H03H9/14544—Transducers of particular shape or position
-
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- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
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- H03H9/14544—Transducers of particular shape or position
- H03H9/14552—Transducers of particular shape or position comprising split fingers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（技術分野）
この発明はインターディジタル型の表面弾性波変換器に
関する。
関する。
（従来技術）
通信機器、電子機器等に使用される表面弾性波変換器（
以下ＳＡＷフィルタという）は、高周波域において小型
軽量のため注目されている。通常ＳＡＷフィルタは第１
図に示すごとく、圧電基板１の上に入力変換器２、出力
変換器３をメタルで構成して、人力変換器２で表面弾性
波（以ｌ−’ ＳＡＷと、いう）を発生して、出力変換
器３でＳＡＷを受け取シ、入力変換器２と出力変換器３
の持つ周波数特性の積すなわちコンゴリュージョンによ
って入出力間の周波数特性が決定される。通常の場合は
第１図に示すように１．アポタイト重み何度換器２と正
規型−、変換器３によ、ってＳＡＷフィルタが構成され
る。
以下ＳＡＷフィルタという）は、高周波域において小型
軽量のため注目されている。通常ＳＡＷフィルタは第１
図に示すごとく、圧電基板１の上に入力変換器２、出力
変換器３をメタルで構成して、人力変換器２で表面弾性
波（以ｌ−’ ＳＡＷと、いう）を発生して、出力変換
器３でＳＡＷを受け取シ、入力変換器２と出力変換器３
の持つ周波数特性の積すなわちコンゴリュージョンによ
って入出力間の周波数特性が決定される。通常の場合は
第１図に示すように１．アポタイト重み何度換器２と正
規型−、変換器３によ、ってＳＡＷフィルタが構成され
る。
第１図の変換器の構成は、通常は第２．第３図に示すよ
うに、インターディジタルタイプになる。
うに、インターディジタルタイプになる。
第２図は変換器の励振電極指の幅及び間隔ｄ１を中心周
波数４分の１波長（λ／４．λ：中心周波数の１波長）
とした場合であり、第：３図は変換器の励振電極指の幅
及び間隔ｄ２を１／８λとした場合である。
波数４分の１波長（λ／４．λ：中心周波数の１波長）
とした場合であり、第：３図は変換器の励振電極指の幅
及び間隔ｄ２を１／８λとした場合である。
、第２．第３図における斜線部はダミー電極指４であシ
、メタル部とメタルがない部分とをＳＡＷが伝播する際
の伝播速度の差異による波形の乱れを防止するだめのも
のである。第２図、第３図に示す通シ、表面弾性波の励
振を行う励振電極指５と前記ダミー電極指４とは別々に
設けられて構成されている。第２図の変換器の構成では
、メタルが存在することによる表面弾性波の反射波は中
心周波数では加算される。第２図の表面弾性波の反射を
打ち消すように改善しだのが第３図であり、スノリット
電極と呼ばれるものである。第３図のタイプの変換器で
実現されるＳＡＷフィルタは、第２図のタイプの変換器
にて実現したＳＡＷフィルタに比して通過域が平坦な減
衰を示し、優れたフィルタが構成できる。第２図の構成
の変換器のメタルによる反射波は第４図になシ、第４図
のＡの位置における反射波は第５図のように全て和にな
る。
、メタル部とメタルがない部分とをＳＡＷが伝播する際
の伝播速度の差異による波形の乱れを防止するだめのも
のである。第２図、第３図に示す通シ、表面弾性波の励
振を行う励振電極指５と前記ダミー電極指４とは別々に
設けられて構成されている。第２図の変換器の構成では
、メタルが存在することによる表面弾性波の反射波は中
心周波数では加算される。第２図の表面弾性波の反射を
打ち消すように改善しだのが第３図であり、スノリット
電極と呼ばれるものである。第３図のタイプの変換器で
実現されるＳＡＷフィルタは、第２図のタイプの変換器
にて実現したＳＡＷフィルタに比して通過域が平坦な減
衰を示し、優れたフィルタが構成できる。第２図の構成
の変換器のメタルによる反射波は第４図になシ、第４図
のＡの位置における反射波は第５図のように全て和にな
る。
第３図のスプリット型変換器の場合は、メタルによる反
射波は第６図になり、第６図のＡの位置における反射波
は第７図のように全て打ち消して零になる。電極メタル
による反射波の影響を消去するという観点からは、第３
図のスプリット型変換器が侵れているが、実現するＳＡ
Ｗフィルタが高周波域になるに従って構成する変換器の
電極指の幅及び間隔が第２図の変換器に比してちょうど
１／２となシ、メタル形成が極めて困難になるという難
点がある。
射波は第６図になり、第６図のＡの位置における反射波
は第７図のように全て打ち消して零になる。電極メタル
による反射波の影響を消去するという観点からは、第３
図のスプリット型変換器が侵れているが、実現するＳＡ
Ｗフィルタが高周波域になるに従って構成する変換器の
電極指の幅及び間隔が第２図の変換器に比してちょうど
１／２となシ、メタル形成が極めて困難になるという難
点がある。
（発明の目的）
この発明の目的は、上記問題点を解決し、ＳＡＷフィル
タのメタル加工の精度を上げずにメタルニップ効果によ
るＳＡＷ反射波を削減することを可能として、通過特性
の良い表面弾性波変換器を提供することにあり、以下詳
細に説明する。
タのメタル加工の精度を上げずにメタルニップ効果によ
るＳＡＷ反射波を削減することを可能として、通過特性
の良い表面弾性波変換器を提供することにあり、以下詳
細に説明する。
（発明の（・１１Ｉ成）
第８図はこの発明の第１の実施例を示したものであって
、アポタイト重み付のインタープイノクル型の表面弾性
波変換器である。
、アポタイト重み付のインタープイノクル型の表面弾性
波変換器である。
第８図において、４の斜線で示した部分はＳＡＷの励振
に関係ないダミー電極指部であり、５は励振電極指部で
ある。この幅λ／４の励振電極指部５と、それに隣シ合
５１つの幅λ／４のダミー電極指部４とが接合して一体
的に形成されて電極指を忰゛を成し、且つ隣接する電極
指の励振電極指部の間隔はλ／４となるように各電極指
は配置される。
に関係ないダミー電極指部であり、５は励振電極指部で
ある。この幅λ／４の励振電極指部５と、それに隣シ合
５１つの幅λ／４のダミー電極指部４とが接合して一体
的に形成されて電極指を忰゛を成し、且つ隣接する電極
指の励振電極指部の間隔はλ／４となるように各電極指
は配置される。
この発明の第１の実度例の如き構成をとったことによシ
、ＳＡＷのメタルによる反射波は第９図のようになシ、
第９図のＡにおける反射波の位相関係は第１０図のよう
になシ、第９図において■と■、■との各反射波は互い
に逆位相となり打消す方向に合成される。
、ＳＡＷのメタルによる反射波は第９図のようになシ、
第９図のＡにおける反射波の位相関係は第１０図のよう
になシ、第９図において■と■、■との各反射波は互い
に逆位相となり打消す方向に合成される。
したがって、この発明の構成を用いれば最小１／４λの
電極指の幅及び間隔を用いて励振電極によって発生する
反射波をＳＡＷ励振に関与しないダミー電極によって発
生する反射波によって打ち消すことができる。
電極指の幅及び間隔を用いて励振電極によって発生する
反射波をＳＡＷ励振に関与しないダミー電極によって発
生する反射波によって打ち消すことができる。
第１１図にこの発明の８ｇ ２の実施例を示す。この第
２の実施例に示す如く、１つの励振電極指部とその両側
に隣シ合う２つのダミー電極指部とを接合して一体的に
形成した電極指５ａ、５ｂと、１つの励振電極指部と１
つのダミー電極指部とを一体的に形成した電極指７ａ
、７ｂと、励振電極指部のみで成る電極指８ａ、８ｂと
が混在する素面弾性波変換器としても同様の効果が期待
できる。
２の実施例に示す如く、１つの励振電極指部とその両側
に隣シ合う２つのダミー電極指部とを接合して一体的に
形成した電極指５ａ、５ｂと、１つの励振電極指部と１
つのダミー電極指部とを一体的に形成した電極指７ａ
、７ｂと、励振電極指部のみで成る電極指８ａ、８ｂと
が混在する素面弾性波変換器としても同様の効果が期待
できる。
本発明は従来の設言１を変更することなく、最小の電極
指の幅及び間隔をλ／４で実現できるだめ、実現法は極
めて容易であり、しかもＳＡＷフィルタの帯域内のＳＡ
Ｗの反射による劣化を十分に補償することができる。
指の幅及び間隔をλ／４で実現できるだめ、実現法は極
めて容易であり、しかもＳＡＷフィルタの帯域内のＳＡ
Ｗの反射による劣化を十分に補償することができる。
（発明の効果）
この発明は以上説明したように、表面弾性波変換器の励
振に関与しないダミー電極の配置に］二夫を加え電極メ
タルによるＳＡＷの反射を打消すようにしたもので、高
周波域でＳＡＷ ７ イルタを実現する際に微細加工を
必要としない最小１／４波長の電極指幅及び間隔を用い
て通過帯域内に減衰・・ンプの小さい優れた特性を得る
ことができる。
振に関与しないダミー電極の配置に］二夫を加え電極メ
タルによるＳＡＷの反射を打消すようにしたもので、高
周波域でＳＡＷ ７ イルタを実現する際に微細加工を
必要としない最小１／４波長の電極指幅及び間隔を用い
て通過帯域内に減衰・・ンプの小さい優れた特性を得る
ことができる。
更に本発明は、従来の表面弾性波変換器の数値設計およ
びパターン設計をほとんど変更すること−なく上記効果
を実現できるため、広く電子機器。
びパターン設計をほとんど変更すること−なく上記効果
を実現できるため、広く電子機器。
通信機器に使用されるＳＡＷフィルタに利用することが
可能である。
可能である。
第１−はＳＡＷフィルタの構成を示した図、第２図は従
来の電極指の幅及び間隔が１／４λのインク−ディジタ
ル型表面弾性波変換器を示した図、第３図は従来の１／
８λのインターディジタル型表面弾性波変換器を示した
図、第４図は第２図の表面弾性波変換器における。メタ
ルによるＳＡＷの反射を示した図、第５図は第４図の反
射波の位相関係を示した図、第６図は第３図の表面弾性
波変換器のメタルによるＳＡＷの反射を示した図、第７
図は第６図の反射波の位相関係を示した図、第８図はこ
の発ＩＪＩＪの第１の実施例を示した図、第９図はこの
発明のメタルによるＳＡＷの反射を示しだ図、第１０図
は第９図の反射波の位相関係を示した図、第１１図はこ
の発明の第２の実施例を示した図。 １・・・正電基板、２・・・人力変換器１．・Ｉ・・・
出力変換器、４・・ダミー電極指、５・・・励振電極指
。 特許出願人 沖電気工業株式会社 第８図 第９図 第１０図
来の電極指の幅及び間隔が１／４λのインク−ディジタ
ル型表面弾性波変換器を示した図、第３図は従来の１／
８λのインターディジタル型表面弾性波変換器を示した
図、第４図は第２図の表面弾性波変換器における。メタ
ルによるＳＡＷの反射を示した図、第５図は第４図の反
射波の位相関係を示した図、第６図は第３図の表面弾性
波変換器のメタルによるＳＡＷの反射を示した図、第７
図は第６図の反射波の位相関係を示した図、第８図はこ
の発ＩＪＩＪの第１の実施例を示した図、第９図はこの
発明のメタルによるＳＡＷの反射を示しだ図、第１０図
は第９図の反射波の位相関係を示した図、第１１図はこ
の発明の第２の実施例を示した図。 １・・・正電基板、２・・・人力変換器１．・Ｉ・・・
出力変換器、４・・ダミー電極指、５・・・励振電極指
。 特許出願人 沖電気工業株式会社 第８図 第９図 第１０図
Claims (1)
- ｌ／４波長幅の励振電極指とｌ／４波長幅のダミー電極
指とを有し、各励振電極指間の間隔がｌ／４波長となる
如く形成されるアポタイト重み付のインターディジタル
型表面弾性波変換器において、前記ダミー電極指は隣り
合う前記励振電極指と接合して一体的に形成されている
ことを特徴とするインターディジタル型表面弾性波変換
器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9784A JPS60144013A (ja) | 1984-01-05 | 1984-01-05 | インタ−デイジタル型表面弾性波変換器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9784A JPS60144013A (ja) | 1984-01-05 | 1984-01-05 | インタ−デイジタル型表面弾性波変換器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60144013A true JPS60144013A (ja) | 1985-07-30 |
Family
ID=11464597
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9784A Pending JPS60144013A (ja) | 1984-01-05 | 1984-01-05 | インタ−デイジタル型表面弾性波変換器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60144013A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2006109591A1 (ja) * | 2005-04-08 | 2008-10-30 | 株式会社村田製作所 | 弾性波素子 |
| JP2009278429A (ja) * | 2008-05-15 | 2009-11-26 | Fujitsu Media Device Kk | 弾性表面波デバイス |
-
1984
- 1984-01-05 JP JP9784A patent/JPS60144013A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2006109591A1 (ja) * | 2005-04-08 | 2008-10-30 | 株式会社村田製作所 | 弾性波素子 |
| JP4650488B2 (ja) * | 2005-04-08 | 2011-03-16 | 株式会社村田製作所 | 弾性波素子 |
| JP2009278429A (ja) * | 2008-05-15 | 2009-11-26 | Fujitsu Media Device Kk | 弾性表面波デバイス |
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