JP2009278429A - 弾性表面波デバイス - Google Patents
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- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 title claims abstract description 70
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims abstract description 50
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 11
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 13
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 13
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 29
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 21
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 21
- 239000010408 film Substances 0.000 description 17
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 15
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 5
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 4
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 4
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 3
- 238000010295 mobile communication Methods 0.000 description 3
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-pyrazole-3-carboxylic acid Chemical compound CC1=CC(C(O)=O)=NN1 WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007743 anodising Methods 0.000 description 2
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 2
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 1
- 238000009751 slip forming Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
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- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
【解決手段】本発明は、圧電基板10上に形成され、それぞれ複数の電極指12と複数の電極指12を共通に接続するバスバー14を含み、互いの複数の電極指12が互い違いに配置された少なくとも1組の櫛型電極20と、複数の電極指12間には埋め込まれておらず、複数の電極指12の先端とバスバー14との間に埋め込まれ設けられた絶縁体18と、を具備する弾性表面波デバイスである。
【選択図】図1
Description
12 電極指
14 バスバー
16 ダミー電極指
18 絶縁体
20 櫛型電極
21 IDT
22 反射器
24 空隙部
30 空隙部
32 金属膜
32a、32b 金属パターン
34 領域
Claims (10)
- 圧電基板上に形成され、それぞれ複数の電極指と前記複数の電極指を共通に接続するバスバーを含み、互いの複数の電極指が互い違いに配置された少なくとも1組の櫛型電極と、
前記複数の電極指間には埋め込まれておらず、前記複数の電極指の先端と前記バスバーとの間に埋め込まれ設けられた絶縁体と、
を具備することを特徴とする弾性表面波デバイス。 - 前記絶縁体は、前記複数の電極指の先端と前記バスバーとの間に連続的に埋め込まれ設けられていることを特徴とする請求項1記載の弾性表面波デバイス。
- 前記複数の電極指の先端と前記バスバーとの間に前記絶縁体で埋め込まれていない空隙部を有するように前記絶縁体が設けられていることを特徴とする請求項1記載の弾性表面波デバイス。
- 前記複数の電極指の先端と前記バスバーとの距離は、前記複数の電極指のうち隣接する電極指間の距離より長いことを特徴とする請求項1から3のいずれか一項記載の弾性表面波デバイス。
- 圧電基板上に形成され、それぞれ複数の電極指と複数のダミー電極指と前記複数の電極指および複数のダミー電極指が互い違いに共通に接続するバスバーとを含み、互いの複数の電極指が互い違いに配置された少なくとも1組の櫛型電極と、
前記複数の電極指間には埋め込まれておらず、前記複数の電極指の先端と対応する前記複数のダミー電極指の先端との間に埋め込まれ設けられた絶縁体と、
を具備することを特徴とする弾性表面波デバイス。 - 前記絶縁体は、前記複数の電極指の先端と前記複数のダミー電極指との間に連続的に埋め込まれ設けられていることを特徴とする請求項5記載の弾性表面波デバイス。
- 前記複数の電極指の先端と前記複数のダミー電極指との間に前記絶縁体で埋め込まれていない空隙部を有するように前記絶縁体が設けられていることを特徴とする請求項5記載の弾性表面波デバイス。
- 前記複数の電極指の先端と前記複数のダミー電極との距離は、前記複数の電極指のうち隣接する電極指間の距離より長いことを特徴とする請求項5から7のいずれか一項記載の弾性表面波デバイス。
- 前記絶縁体は、前記複数の電極指を構成する金属の酸化物からなることを特徴とする請求項1から8のいずれか一項記載の弾性表面波デバイス。
- 前記絶縁体の膜厚は前記複数の電極指の膜厚以上であることを特徴とする請求項1から9のいずれか一項記載の弾性表面波デバイス。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008128368A JP5156478B2 (ja) | 2008-05-15 | 2008-05-15 | 弾性表面波デバイス |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008128368A JP5156478B2 (ja) | 2008-05-15 | 2008-05-15 | 弾性表面波デバイス |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009278429A true JP2009278429A (ja) | 2009-11-26 |
JP5156478B2 JP5156478B2 (ja) | 2013-03-06 |
Family
ID=41443427
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008128368A Active JP5156478B2 (ja) | 2008-05-15 | 2008-05-15 | 弾性表面波デバイス |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5156478B2 (ja) |
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- 2008-05-15 JP JP2008128368A patent/JP5156478B2/ja active Active
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Date | Code | Title | Description |
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A711 | Notification of change in applicant |
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