JP2008078981A - 弾性表面波共振器およびこれを用いた弾性表面波フィルタ、アンテナ共用器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の弾性表面波共振器は、ニオブ酸リチウムからなる基板1と、この基板1の上面に設けられアルミニウムまたはアルミニウム合金で構成された少なくとも1つの櫛型電極2と、この櫛型電極2を覆うとともに表面に凹凸形状を有する保護膜4とを備え、前記基板1の回転Y板のカット角を0〜+25度とし、かつ、前記櫛型電極2の膜厚をh、波長をλとしたときに、規格化電極膜厚(h/λ)を7.8〜9.8%としたものである。
【選択図】図1
Description
2 櫛型電極
2a 電極指
4 保護膜
Claims (6)
- ニオブ酸リチウムからなる基板と、この基板の上面に設けられアルミニウムまたはアルミニウム合金で構成された少なくとも1つの櫛型電極と、この櫛型電極を覆うとともに表面に凹凸形状を有する保護膜とを備え、前記基板の回転Y板のカット角を0〜+25度とし、かつ、前記櫛型電極の膜厚をh、波長をλとしたときに、規格化電極膜厚(h/λ)を7.8〜9.8%とした弾性表面波共振器。
- 規格化電極膜厚を8.5〜9.0%とした請求項1記載の弾性表面波共振器。
- 保護膜の凹凸形状の1ピッチあたりのピッチ幅をL、前記保護膜の凹凸形状の1ピッチあたりの凸部の幅をL1、凹部の幅をL2、櫛型電極の1ピッチあたりのピッチ幅をp、前記櫛型電極を構成する電極指1本あたりの幅をp1、前記電極指間の幅をp2としたとき、
L1≦p1かつL2≧p2
(ただし、p1+p2=p、L1+L2=Lの関係を満たす)である請求項1に記載の弾性表面波共振器。 - 請求項1記載の弾性表面波共振器を直並列に梯子型に接続した弾性表面波フィルタであって、少なくとも1つの前記弾性表面波共振器の規格化電極膜厚を7.8〜9.8%とした弾性表面波フィルタ。
- 請求項1記載の弾性表面波共振器を複数、弾性表面波の伝播方向に沿って位置させ、かつ前記複数の弾性表面波共振器を構成する櫛型電極同士を近接させ、少なくとも1つの前記弾性表面波共振器の規格化電極膜厚を7.8〜9.8%とした弾性表面波フィルタ。
- 請求項4または5記載の弾性表面波フィルタを、信号の入力側および出力側に配置したアンテナ共用器。
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