JP2017228945A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017228945A5 JP2017228945A5 JP2016123972A JP2016123972A JP2017228945A5 JP 2017228945 A5 JP2017228945 A5 JP 2017228945A5 JP 2016123972 A JP2016123972 A JP 2016123972A JP 2016123972 A JP2016123972 A JP 2016123972A JP 2017228945 A5 JP2017228945 A5 JP 2017228945A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode fingers
- wave resonator
- acoustic wave
- electrode
- resonator according
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 5
- 230000003334 potential Effects 0.000 claims 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 10
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 4
- 238000006011 modification reaction Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 3
- WKODDKLNZNVCSL-UHFFFAOYSA-N 1,3,2$l^{2},4$l^{2}-oxazadisiletidine Chemical compound N1[Si]O[Si]1 WKODDKLNZNVCSL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N Silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001902 propagating Effects 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Description
実施例１では、ピッチＰｇをλ／４と異ならせる。このとき弾性波の反射はブラッグ条件から外れる。Ｘ方向に伝搬する弾性波５０が隣接する電極指１４ｂで反射した弾性波５０ｃおよび５０ｄの位相は異なるが逆位相はなく同位相でもない。これにより、実施例１のグレーティング電極１６による弾性波の反射率は比較例１より小さくなる。このため、異方性係数γは比較例１より小さくなり、横モードスプリアスが抑制される。また、実施例１の弾性波の反射率は比較例２より大きくなる。これにより、弾性波のエネルギーがＩＤＴ２１内に閉じ込められ損失の増加が抑制される。
図１０（ｂ）に示すように、共振周波数ｆｒから反共振周波数ｆａにかけて１次から９次のスプリアスのサークルが生じている。スプリアスの大きさは比較例１および２より小さい。比較例２と比べＳ１１がスミスチャートの周縁付近となっている。このように、実施例２は比較例２より損失が小さい。よってＱ値が高くなる。このように、損失およびスプリアスを抑制できる。
図１１（ａ）から図１１（ｃ）は、実施例２の変形例に係る弾性波共振器のＩＤＴの一部を示す断面図である。図１１（ａ）に示すように、金属追加膜３０と圧電基板１０との間に絶縁膜３２は設けられていなくてもよい。図１１（ｂ）に示すように、金属追加膜３０を覆い空間３４に充填されるように絶縁膜３６が設けられていてもよい。図１１（ｃ）に示すように、絶縁膜３２は設けられず、絶縁膜３６が設けられていてもよい。絶縁膜３２および３６としては酸化シリコン以外にも、窒化シリコン、窒化酸化シリコン等を用いることができる。
Claims (9)
- 圧電基板と、
前記圧電基板上に形成され、互いに同電位の複数の第１電極指と前記複数の第１電極指の電位と異なり互いに同電位の複数の第２電極指とを含み、少なくとも一対の隣接する第１電極指の間に２本の第２電極指が設けられ、前記複数の第１電極指および前記複数の第２電極指が励振する弾性波の波長をλとし、前記２本の第２電極指の中心同士の間隔をＰｇとしたとき、Ｐｇはλ／４とは異なるグレーティング電極と、
を具備する弾性波共振器。 - λ／８＜Ｐｇ＜λ／４である請求項１記載の弾性波共振器。
- λ／４＜Ｐｇ＜３×λ／８である請求項１記載の弾性波共振器
- 少なくとも一対の隣接する第２電極指の間に２本の第１電極指が設けられ、前記２本の第１電極指の中心同士の間隔はλ／４とは異なる請求項１から３のいずれか一項記載の弾性波共振器。
- 圧電基板と、
前記圧電基板上に形成され、弾性波を励振する複数の電極指を有するグレーティング電極と、
前記圧電基板上にであって前記複数の電極指が交叉する交叉領域かつ前記複数の電極指の間に形成され、前記複数の電極指と電気的に接続されていない金属追加膜と、
を具備する弾性波共振器。 - 前記複数の電極指が励振する弾性波の波長をλとしたとき、前記金属追加膜と前記複数の電極指のうち前記金属追加膜に隣接する電極指との距離は、λ／１６より小さい請求項５記載の弾性波共振器。
- 前記複数の第１電極指と前記複数の第２電極指とが交叉する交叉領域における異方性係数は正である請求項１から３のいずれか一項記載の弾性波共振器。
- 請求項１から７のいずれか一項記載の弾性波共振器を含むフィルタ。
- 請求項８記載のフィルタを含むマルチプレクサ。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2016123972A JP6632481B2 (ja) | 2016-06-22 | 2016-06-22 | 弾性波共振器、フィルタおよびマルチプレクサ |
| US15/599,367 US10270425B2 (en) | 2016-06-22 | 2017-05-18 | Acoustic wave resonator, filter, and multiplexer |
| CN201710478055.7A CN107528564B (zh) | 2016-06-22 | 2017-06-21 | 声波谐振器、滤波器和多工器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2016123972A JP6632481B2 (ja) | 2016-06-22 | 2016-06-22 | 弾性波共振器、フィルタおよびマルチプレクサ |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2017228945A JP2017228945A (ja) | 2017-12-28 |
| JP2017228945A5 true JP2017228945A5 (ja) | 2018-03-22 |
| JP6632481B2 JP6632481B2 (ja) | 2020-01-22 |
Family
ID=60678012
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2016123972A Active JP6632481B2 (ja) | 2016-06-22 | 2016-06-22 | 弾性波共振器、フィルタおよびマルチプレクサ |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US10270425B2 (ja) |
| JP (1) | JP6632481B2 (ja) |
| CN (1) | CN107528564B (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2017038679A1 (ja) * | 2015-08-31 | 2017-03-09 | 京セラ株式会社 | 弾性表面波素子 |
| JP2020096226A (ja) * | 2018-12-10 | 2020-06-18 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波デバイス、フィルタおよびマルチプレクサ |
| WO2020121663A1 (ja) | 2018-12-13 | 2020-06-18 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
| JP2020123854A (ja) * | 2019-01-30 | 2020-08-13 | 太陽誘電株式会社 | フィルタおよびマルチプレクサ |
| CN113508495B (zh) * | 2019-03-06 | 2022-07-19 | 株式会社村田制作所 | 滤波器、多工器、高频前端电路以及通信装置 |
| WO2023085210A1 (ja) * | 2021-11-09 | 2023-05-19 | 京セラ株式会社 | 弾性波装置、フィルタ、分波器及び通信装置 |
Family Cites Families (22)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59214315A (ja) * | 1983-05-19 | 1984-12-04 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 弾性表面波装置 |
| JPS60208110A (ja) * | 1984-03-30 | 1985-10-19 | Kazuhiko Yamanouchi | 反射器内蔵型一方向性弾性表面波変換器 |
| JPS616917A (ja) * | 1984-06-20 | 1986-01-13 | Kazuhiko Yamanouchi | 電極幅の変化を用いた内部反射型一方向性弾性表面波変換器 |
| JP2600146B2 (ja) * | 1986-10-17 | 1997-04-16 | 松下電器産業株式会社 | 表面弾性波共振子 |
| JPH0422210A (ja) * | 1990-05-17 | 1992-01-27 | Canon Inc | 弾性表面波素子 |
| US5073763A (en) * | 1990-11-02 | 1991-12-17 | R.F. Monolithics, Inc. | Group single-phase unidirectional transducers with 3/8λand 5/8λ sampling |
| JP3040928B2 (ja) * | 1995-01-23 | 2000-05-15 | 和彦 山之内 | 弾性表面波トランスデューサ |
| DE69620134T2 (de) * | 1995-12-28 | 2002-07-18 | Murata Manufacturing Co | Akustisches Oberflächenwellenresonatorfilter mit longitudinaler Kopplung |
| JP3119579B2 (ja) | 1996-04-01 | 2000-12-25 | 弘明 佐藤 | 弾性表面波共振子 |
| JP2000124763A (ja) * | 1998-10-13 | 2000-04-28 | Toyo Commun Equip Co Ltd | Ｓａｗグレーティング導波路解析法 |
| JP3432492B2 (ja) * | 2000-09-28 | 2003-08-04 | 富士通株式会社 | 弾性表面波共振器及びこれを用いた弾性表面波フィルタ |
| JP4090250B2 (ja) * | 2001-12-10 | 2008-05-28 | 富士通メディアデバイス株式会社 | 弾性表面波フィルタ |
| JP3818195B2 (ja) * | 2002-03-29 | 2006-09-06 | 三菱マテリアル株式会社 | 表面弾性波素子 |
| JP3704131B2 (ja) * | 2003-04-10 | 2005-10-05 | 富士通株式会社 | 弾性表面波フィルタ |
| JP2005303893A (ja) * | 2004-04-15 | 2005-10-27 | Seiko Epson Corp | 共振子型ｓａｗフィルタ |
| JP4345768B2 (ja) * | 2006-04-05 | 2009-10-14 | 株式会社村田製作所 | 表面波装置 |
| JP5028926B2 (ja) | 2006-09-20 | 2012-09-19 | パナソニック株式会社 | 弾性表面波共振子 |
| EP2357729A4 (en) * | 2008-10-24 | 2015-03-25 | Seiko Epson Corp | SURFACE ACOUSTIC WAVE RESONATOR, SURFACE ACOUSTIC WAVE OSCILLATOR, AND SURFACE ACOUSTIC WAVE MODULE DEVICE |
| JP2011087282A (ja) * | 2009-09-15 | 2011-04-28 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性境界波フィルタ及びそれを備える分波器 |
| JP2013214954A (ja) * | 2012-03-07 | 2013-10-17 | Taiyo Yuden Co Ltd | 共振子、周波数フィルタ、デュプレクサ、電子機器及び共振子の製造方法 |
| JP6335473B2 (ja) * | 2013-11-01 | 2018-05-30 | 太陽誘電株式会社 | 弾性表面波デバイス及びフィルタ |
| KR101700840B1 (ko) * | 2014-11-13 | 2017-02-01 | (주)와이솔 | Saw 필터용 커패시터, saw 필터 및 그 제조 방법 |
-
2016
- 2016-06-22 JP JP2016123972A patent/JP6632481B2/ja active Active
-
2017
- 2017-05-18 US US15/599,367 patent/US10270425B2/en active Active
- 2017-06-21 CN CN201710478055.7A patent/CN107528564B/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2017228945A5 (ja) | ||
| US10009009B2 (en) | Elastic wave device including electrode fingers with elongated sections | |
| JP6284800B2 (ja) | 弾性表面波デバイス及びフィルタ | |
| WO2004095699A1 (ja) | 弾性境界波装置 | |
| JP6573836B2 (ja) | 弾性波共振器、フィルタ、及びデュプレクサ | |
| JP5338914B2 (ja) | 弾性波素子と、これを用いたデュプレクサおよび電子機器 | |
| US10312883B2 (en) | Elastic wave device | |
| JP2009027689A (ja) | 弾性表面波フィルタと、それを用いたアンテナ共用器 | |
| JP7466562B2 (ja) | 弾性波装置 | |
| JP5695191B2 (ja) | 弾性波デバイスおよびモジュール | |
| JP2017228945A (ja) | 弾性波共振器、フィルタおよびマルチプレクサ | |
| JP2005260833A (ja) | 弾性表面波共振子及び弾性表面波フィルタ | |
| JPS632414A (ja) | 弾性表面波共振子 | |
| JP5757369B2 (ja) | 弾性表面波装置 | |
| JP2017157944A (ja) | 弾性表面波装置およびそれを用いた送受信フィルタを有するデュプレクサ | |
| JP6335492B2 (ja) | 弾性波素子 | |
| JP6748010B2 (ja) | 弾性波デバイスの製造方法 | |
| JPWO2010125934A1 (ja) | 弾性波装置 | |
| KR102107393B1 (ko) | 탄성파 장치 | |
| US11606079B2 (en) | Transducer structure for source suppression in saw filter devices | |
| KR20220082034A (ko) | 탄성파 장치 | |
| JP2011041082A (ja) | 一ポート型弾性波共振子及び弾性波フィルタ装置 | |
| WO2018193933A1 (ja) | 弾性波装置、帯域通過型フィルタ及びマルチプレクサ | |
| WO2010125940A1 (ja) | 弾性波装置 | |
| JP7132841B2 (ja) | 弾性表面波素子、分波器および通信装置 |