JPS60208110A - 反射器内蔵型一方向性弾性表面波変換器 - Google Patents
反射器内蔵型一方向性弾性表面波変換器Info
- Publication number
- JPS60208110A JPS60208110A JP6484684A JP6484684A JPS60208110A JP S60208110 A JPS60208110 A JP S60208110A JP 6484684 A JP6484684 A JP 6484684A JP 6484684 A JP6484684 A JP 6484684A JP S60208110 A JPS60208110 A JP S60208110A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- surface acoustic
- acoustic wave
- electrodes
- unidirectional
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
- H03H9/14502—Surface acoustic wave [SAW] transducers for a particular purpose
- H03H9/14505—Unidirectional SAW transducers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、すだれ状電極を用いて弾性表面波を励振・
受信する変換器において、一方向性化することによつて
挿入損失と周波数特性の乱れを改良した弾性表面波変換
器に関するものである。
受信する変換器において、一方向性化することによつて
挿入損失と周波数特性の乱れを改良した弾性表面波変換
器に関するものである。
第１図のように、圧電・電歪物質基板上に周期がλｏ、
（λｏ：弾性表面波の中心周波数にほぼ等しい）電極幅
が約１／８λｏ、空隙が約１／８λｏ。のすだれ状電極
１を配置し、電極２、３に正負の高周波電界を印加する
と弾性表面波が発生する。この際電極４を他の電極より
附加された質量負荷をもつ電極とすると、この部分での
弾性表面波の反射効果が大きくなるため、励振された弾
性表面波が反射し、位相関係により、５の方向には強く
弾性表面波が励振され、逆に、６の方向では弾性表面波
が弱くなり一方向性の弾性表面波は変換器となることが
知られている。本発明は、附加された質量効果による反
射の代りに、電気機械結合係数の差による反射を利用し
た一方向性変換器に関するものである。
（λｏ：弾性表面波の中心周波数にほぼ等しい）電極幅
が約１／８λｏ、空隙が約１／８λｏ。のすだれ状電極
１を配置し、電極２、３に正負の高周波電界を印加する
と弾性表面波が発生する。この際電極４を他の電極より
附加された質量負荷をもつ電極とすると、この部分での
弾性表面波の反射効果が大きくなるため、励振された弾
性表面波が反射し、位相関係により、５の方向には強く
弾性表面波が励振され、逆に、６の方向では弾性表面波
が弱くなり一方向性の弾性表面波は変換器となることが
知られている。本発明は、附加された質量効果による反
射の代りに、電気機械結合係数の差による反射を利用し
た一方向性変換器に関するものである。
第２図は 本発明の１例である。第２図（ａ）は平面図
、第２図（ｂ）は断面図である。すだれ状電極のうちの
一方の電極７は１０の圧電性基板上に直接配置され、一
方、電極８は誘電体膜９の上に配置されている。このよ
うな配置にすると、基板上の電極の電気機械結合係数は
大きく。一方、誘電体膜上の電極の電気機械結合係数は
小さくなるので短絡効果が小さくなり。弾性表面波の反
射係数が小さくなる。これを図１の動作と対応させると
電極７が電極４と同じ働きをすることになるので。図１
の場合と同様の効果により、弾性表面波は５の方向に強
く励振され、一方、６の方向の弾性表面波は弱くなる。
、第２図（ｂ）は断面図である。すだれ状電極のうちの
一方の電極７は１０の圧電性基板上に直接配置され、一
方、電極８は誘電体膜９の上に配置されている。このよ
うな配置にすると、基板上の電極の電気機械結合係数は
大きく。一方、誘電体膜上の電極の電気機械結合係数は
小さくなるので短絡効果が小さくなり。弾性表面波の反
射係数が小さくなる。これを図１の動作と対応させると
電極７が電極４と同じ働きをすることになるので。図１
の場合と同様の効果により、弾性表面波は５の方向に強
く励振され、一方、６の方向の弾性表面波は弱くなる。
電気機械結合係数の電極下での大きさの差を得る方法と
して。第３図のように誘電体９の上に配置した電極を用
いることもできる。更に第４図のように、電極１３の上
の誘電体９の厚さをエツチングなどによつて薄くした構
造とすることによつても電気機械結合係数が変化するの
で一方向性電極を得ることができる。
して。第３図のように誘電体９の上に配置した電極を用
いることもできる。更に第４図のように、電極１３の上
の誘電体９の厚さをエツチングなどによつて薄くした構
造とすることによつても電気機械結合係数が変化するの
で一方向性電極を得ることができる。
以上は、λｏ／８電極構成について述べたが、他の電極
構成、例えば、λｏ／８、λｏ／４、３／８λｏ、λｏ
／２、５／８λｏ、７／８λｏなどの構成でかつ、電気
機械結合係数の変化を利用して一方向性を得ることが可
能である。また、グループ型の反射器を用いた電極構成
にもこの電気機械結合係数の差を利用して、一方向性に
することができる。
構成、例えば、λｏ／８、λｏ／４、３／８λｏ、λｏ
／２、５／８λｏ、７／８λｏなどの構成でかつ、電気
機械結合係数の変化を利用して一方向性を得ることが可
能である。また、グループ型の反射器を用いた電極構成
にもこの電気機械結合係数の差を利用して、一方向性に
することができる。
第１図は、従来の附加された質量負荷による反射を用い
た反射器内蔵型一方向性弾性表面波変換器である。１．
ダブル電極をもつすだれ状電極、２．正電極或は負電極
、３．負電極或は正電極、４．附加された質量負荷をも
つλｏ／８幅すだれ状電極、５．前進方向の弾性表面波
、６．後退方向の弾性表面波第２図は、本発明の反射器
内蔵型弾性表面波一方向性変換器で、（ａ）は平面図、
（ｂ）は断面図、７．圧電体基板上の電極、８．誘電体
膜上の電極、９．誘電体膜、１０．圧電体基板 第３図は、本発明の反射器内臓型一方向性変換器で、（
ａ）は平面図、（ｂ）は断面図、１１．誘電体上の電極
、１２．圧電体基板上の電極 第４図は、本発明の反射器内蔵型一方向性変換器で、（
ａ）は平面図、（ｂ）は断面図、１４．電極１３の上の
誘電体の溝。 特許出願人の氏名 山之内 和彦
た反射器内蔵型一方向性弾性表面波変換器である。１．
ダブル電極をもつすだれ状電極、２．正電極或は負電極
、３．負電極或は正電極、４．附加された質量負荷をも
つλｏ／８幅すだれ状電極、５．前進方向の弾性表面波
、６．後退方向の弾性表面波第２図は、本発明の反射器
内蔵型弾性表面波一方向性変換器で、（ａ）は平面図、
（ｂ）は断面図、７．圧電体基板上の電極、８．誘電体
膜上の電極、９．誘電体膜、１０．圧電体基板 第３図は、本発明の反射器内臓型一方向性変換器で、（
ａ）は平面図、（ｂ）は断面図、１１．誘電体上の電極
、１２．圧電体基板上の電極 第４図は、本発明の反射器内蔵型一方向性変換器で、（
ａ）は平面図、（ｂ）は断面図、１４．電極１３の上の
誘電体の溝。 特許出願人の氏名 山之内 和彦
Claims (1)
- 圧電 電歪物質の表面に正負交互となるすだれ状電極を
配置して弾性表面波を励振・受信する構造の変換器にお
いて、正電極及び負電極内の電極の一部を一方の電極下
の電気機械結合係数が他方の電極下の電気機械結合係数
より大きくなるように配置し、これらの電極からの反射
の位相と励振の位相とが、前進方向では同位相に、また
後退方向では逆位相となるようにした一方向性弾性表面
波変換器
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6484684A JPS60208110A (ja) | 1984-03-30 | 1984-03-30 | 反射器内蔵型一方向性弾性表面波変換器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6484684A JPS60208110A (ja) | 1984-03-30 | 1984-03-30 | 反射器内蔵型一方向性弾性表面波変換器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60208110A true JPS60208110A (ja) | 1985-10-19 |
Family
ID=13269981
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6484684A Pending JPS60208110A (ja) | 1984-03-30 | 1984-03-30 | 反射器内蔵型一方向性弾性表面波変換器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60208110A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0422637A2 (en) * | 1989-10-13 | 1991-04-17 | Hitachi, Ltd. | Surface acoustic wave device and communication apparatus |
| JPH05267974A (ja) * | 1990-11-02 | 1993-10-15 | Rf Monolithics Inc | ３／８λおよび５／８λのサンプリングによるグループの単相の単一方向性トランスジューサ |
| JP2017228945A (ja) * | 2016-06-22 | 2017-12-28 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波共振器、フィルタおよびマルチプレクサ |
-
1984
- 1984-03-30 JP JP6484684A patent/JPS60208110A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0422637A2 (en) * | 1989-10-13 | 1991-04-17 | Hitachi, Ltd. | Surface acoustic wave device and communication apparatus |
| US5202652A (en) * | 1989-10-13 | 1993-04-13 | Hitachi, Ltd. | Surface acoustic wave filter device formed on a plurality of piezoelectric substrates |
| JPH05267974A (ja) * | 1990-11-02 | 1993-10-15 | Rf Monolithics Inc | ３／８λおよび５／８λのサンプリングによるグループの単相の単一方向性トランスジューサ |
| JP2017228945A (ja) * | 2016-06-22 | 2017-12-28 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波共振器、フィルタおよびマルチプレクサ |
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