JPH07231238A - 弾性表面波変換器 - Google Patents
弾性表面波変換器Info
- Publication number
- JPH07231238A JPH07231238A JP5975594A JP5975594A JPH07231238A JP H07231238 A JPH07231238 A JP H07231238A JP 5975594 A JP5975594 A JP 5975594A JP 5975594 A JP5975594 A JP 5975594A JP H07231238 A JPH07231238 A JP H07231238A
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- JP
- Japan
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- electrode
- surface acoustic
- acoustic wave
- negative electrode
- different
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- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】本発明は電極間で膜厚差をもつ或いは電極材料
の異なる電極を用いた分散型の弾性表面波変換器を得る
方法とその方法を用いた電子装置を得ることを目的とし
ている。 【構成】圧電体基板上に作製された分散型のすだれ状電
極において、λ／８の電極幅の電極において、負電極の
間をλ／２の間隔とした構造、或はその間に浮き電極を
挿入した構造とすることにより、アップ方向に一方向性
を得る分散型の弾性表面波変換器が本特許の主構成であ
る。また、この変換器の作製法として、電源に接続され
た電極の一部を陽極酸化によりレジスト膜にする方法、
或いは電気分解法、或いは電気メッキ法などを用いて、
電極との間に膜厚差をもたせる作製法或いは電極間で一
部が異なる材料を得る方法により得られる弾性表面波一
方向性変換器が本特許の構成である。
の異なる電極を用いた分散型の弾性表面波変換器を得る
方法とその方法を用いた電子装置を得ることを目的とし
ている。 【構成】圧電体基板上に作製された分散型のすだれ状電
極において、λ／８の電極幅の電極において、負電極の
間をλ／２の間隔とした構造、或はその間に浮き電極を
挿入した構造とすることにより、アップ方向に一方向性
を得る分散型の弾性表面波変換器が本特許の主構成であ
る。また、この変換器の作製法として、電源に接続され
た電極の一部を陽極酸化によりレジスト膜にする方法、
或いは電気分解法、或いは電気メッキ法などを用いて、
電極との間に膜厚差をもたせる作製法或いは電極間で一
部が異なる材料を得る方法により得られる弾性表面波一
方向性変換器が本特許の構成である。
Description
【産業上の利用分野】本発明は電極幅及び電極間の異な
るすだれ状電極弾性表面波変換器で膜厚の一様な電極及
び膜厚差をもつ電極或いは材料の異なる電極を用いた弾
性表面波変換器とこの変換器を用いた電子装置に関す
る。
るすだれ状電極弾性表面波変換器で膜厚の一様な電極及
び膜厚差をもつ電極或いは材料の異なる電極を用いた弾
性表面波変換器とこの変換器を用いた電子装置に関す
る。
【従来技術】伝搬方向に周期の異なる分散型の弾性表面
波変換器として、伝搬方向にその周期が短くなるダウン
型の分散型変換器が電極幅がほぼλ／４の正負からなる
場合、ダウン方向に一方向性変換器となることが山之内
らにより、電子情報通信学会誌論文誌（Ｖｏｌ．Ｊ７６
−ＡＮＯ．２、１９９３年２月、ｐｐ．２５３−２５９
で発表されているが、伝搬方向にその周期が長くなるア
ップ型の分散型変換器では、アップ方向に一方向性特性
をもつ弾性表面波変換器は得られていない。このため、
周波数に対して、遅延時間が一定のデバイスであるコン
ボルバなどでは、分散型の変換器を用いる場合、ダウン
方向のみにしか一方向性変換器は用いられず、良好な特
性が得られなかった。また、膜厚差或は材料の一部が異
なる一方向性変換器の内、浮き電極を用いた特性の良い
λ／６の電極幅の一方向性変換器は得られていない。
波変換器として、伝搬方向にその周期が短くなるダウン
型の分散型変換器が電極幅がほぼλ／４の正負からなる
場合、ダウン方向に一方向性変換器となることが山之内
らにより、電子情報通信学会誌論文誌（Ｖｏｌ．Ｊ７６
−ＡＮＯ．２、１９９３年２月、ｐｐ．２５３−２５９
で発表されているが、伝搬方向にその周期が長くなるア
ップ型の分散型変換器では、アップ方向に一方向性特性
をもつ弾性表面波変換器は得られていない。このため、
周波数に対して、遅延時間が一定のデバイスであるコン
ボルバなどでは、分散型の変換器を用いる場合、ダウン
方向のみにしか一方向性変換器は用いられず、良好な特
性が得られなかった。また、膜厚差或は材料の一部が異
なる一方向性変換器の内、浮き電極を用いた特性の良い
λ／６の電極幅の一方向性変換器は得られていない。
【発明が解決しようとする課題】本方法は分散型弾性表
面波変換器において、アップ方向にも一方向性特性を示
す弾性表面波変換器に関するものである。また、浮き電
極を用いた、一方向性変換器に関する。
面波変換器において、アップ方向にも一方向性特性を示
す弾性表面波変換器に関するものである。また、浮き電
極を用いた、一方向性変換器に関する。
【課題を解決するための手段】本発明は上述したごとき
従来の欠陥を除去すべくなされたものであって、電極幅
及び電極間距離を考慮すると共に、膜厚差をもつ電極或
いは異なる材料からなる電極構成にすることにより、ア
ップ方向にも一方向性特性をもつ弾性表面波変換器、及
び浮き電極を用いた一方向性変換器が得られることを示
している。また、この電極の作製法として、電源に接続
された電極の表面のみを陽極酸化レジスト膜化する方
法、電気分解による方法、或いは電気メッキによる方法
により目的の膜厚差をもつ電極を作製する方法及びこの
作製法を用いて弾性表面波一方向性変換器を得る。
従来の欠陥を除去すべくなされたものであって、電極幅
及び電極間距離を考慮すると共に、膜厚差をもつ電極或
いは異なる材料からなる電極構成にすることにより、ア
ップ方向にも一方向性特性をもつ弾性表面波変換器、及
び浮き電極を用いた一方向性変換器が得られることを示
している。また、この電極の作製法として、電源に接続
された電極の表面のみを陽極酸化レジスト膜化する方
法、電気分解による方法、或いは電気メッキによる方法
により目的の膜厚差をもつ電極を作製する方法及びこの
作製法を用いて弾性表面波一方向性変換器を得る。
【実施例１】図１のように、圧電性基板１或いは圧電性
薄膜をもつ基板１上に作製されたすだれ状電極２（イン
タデジタル電極）において、基本波の動作周波数に対応
する弾性表面波の波長をλとして、電極の幅がλ／８か
らなる電極において、正電極３と負電極４との中心間距
離がλ／４、次に負電極４と負電極５の中心間距離がλ
／２、次に負電極５と正電極３の中心間距離がλ／４で
あり、しかもその周期長λが伝搬方向に短くなるダウン
型の分散型すだれ状電極或いはその周期長λが伝搬方向
に長くなるアップ型の分散型すだれ状電極、及びこの構
造の分散型すだれ状電極で正電極と負電極の電極膜厚が
異なる構造或いは正電極と負電極の電極の材料が一部異
なる構造からなる弾性表面波変換器であって、その電極
幅及び電極の中心間距離が、上記の値の±８０％からな
る分散型弾性表面波変換器及びそれを用いた電子装置
が、実施例の１である。
薄膜をもつ基板１上に作製されたすだれ状電極２（イン
タデジタル電極）において、基本波の動作周波数に対応
する弾性表面波の波長をλとして、電極の幅がλ／８か
らなる電極において、正電極３と負電極４との中心間距
離がλ／４、次に負電極４と負電極５の中心間距離がλ
／２、次に負電極５と正電極３の中心間距離がλ／４で
あり、しかもその周期長λが伝搬方向に短くなるダウン
型の分散型すだれ状電極或いはその周期長λが伝搬方向
に長くなるアップ型の分散型すだれ状電極、及びこの構
造の分散型すだれ状電極で正電極と負電極の電極膜厚が
異なる構造或いは正電極と負電極の電極の材料が一部異
なる構造からなる弾性表面波変換器であって、その電極
幅及び電極の中心間距離が、上記の値の±８０％からな
る分散型弾性表面波変換器及びそれを用いた電子装置
が、実施例の１である。
【実施例２】図２のように、圧電性基板１或いは圧電性
薄膜をもつ基板１上に作製されたすだれ状電極６（イン
タデジタル電極）において、基本波の動作周波数に対応
する弾性表面波の波長をλとして、電極幅がλ／８から
なる電極において、正電極３と負電極４と中心間距離が
λ／４、次に負電極４と正負電極に接続されていない浮
き電極７との中心間距離がλ／４、次に浮き電極７と負
電極５の中心間距離がλ／４、次に負電極５と正電極３
の中心間距離がλ／４であり、しかもその周期長λが伝
搬方向に短くなるダウン型の分散型すだれ状電極或いは
その周期長λが伝搬方向に長くなるアップ型の分散型す
だれ状電極弾性表面波変換器、及びこの構造の分散型す
だれ状電極で正電極と負電極の電極膜厚が異なる構造或
いは正電極と負電極の電極の材料が一部異なる構造から
なる分散型すだれ状電極弾性表面波変換器であって、そ
の電極幅及び電極の中心間距離が、上記の値の±８０％
からなる分散型弾性表面波変換器及びそれを用いた電子
装置が、実施例の２である。
薄膜をもつ基板１上に作製されたすだれ状電極６（イン
タデジタル電極）において、基本波の動作周波数に対応
する弾性表面波の波長をλとして、電極幅がλ／８から
なる電極において、正電極３と負電極４と中心間距離が
λ／４、次に負電極４と正負電極に接続されていない浮
き電極７との中心間距離がλ／４、次に浮き電極７と負
電極５の中心間距離がλ／４、次に負電極５と正電極３
の中心間距離がλ／４であり、しかもその周期長λが伝
搬方向に短くなるダウン型の分散型すだれ状電極或いは
その周期長λが伝搬方向に長くなるアップ型の分散型す
だれ状電極弾性表面波変換器、及びこの構造の分散型す
だれ状電極で正電極と負電極の電極膜厚が異なる構造或
いは正電極と負電極の電極の材料が一部異なる構造から
なる分散型すだれ状電極弾性表面波変換器であって、そ
の電極幅及び電極の中心間距離が、上記の値の±８０％
からなる分散型弾性表面波変換器及びそれを用いた電子
装置が、実施例の２である。
【実施例３】図３のように、圧電性基板１或いは圧電性
薄膜をもつ基板１上に作製されたすだれ状電極８（イン
タデジタル電極）において、基本波の動作周波数に対応
する弾性表面波の波長をλとして、電極の幅がλ／８か
らなる正電極３と電極幅が５λ／８からなる負電極９と
の中心間距離がλ／２、次に負電極と正電極３の中心間
距離がλ／２であり、しかもその周期長λが伝搬方向に
短くなるダウン型の分散型すだれ状電極或いはその周期
長λが伝搬方向に長くなるアップ型の分散型すだれ状電
極、及びこの構造の分散型すだれ状電極で正電極と負電
極の電極膜厚が異なる構造或いは正電極と負電極の電極
の材料が一部異なる構造からなる弾性表面波変換器であ
って、その電極幅及び電極の中心間距離が、上記の値の
±８０％からなる分散型弾性表面波変換器及びそれを用
いた電子装置が、実施例の３である。
薄膜をもつ基板１上に作製されたすだれ状電極８（イン
タデジタル電極）において、基本波の動作周波数に対応
する弾性表面波の波長をλとして、電極の幅がλ／８か
らなる正電極３と電極幅が５λ／８からなる負電極９と
の中心間距離がλ／２、次に負電極と正電極３の中心間
距離がλ／２であり、しかもその周期長λが伝搬方向に
短くなるダウン型の分散型すだれ状電極或いはその周期
長λが伝搬方向に長くなるアップ型の分散型すだれ状電
極、及びこの構造の分散型すだれ状電極で正電極と負電
極の電極膜厚が異なる構造或いは正電極と負電極の電極
の材料が一部異なる構造からなる弾性表面波変換器であ
って、その電極幅及び電極の中心間距離が、上記の値の
±８０％からなる分散型弾性表面波変換器及びそれを用
いた電子装置が、実施例の３である。
【実施例４】図４のように、圧電性基板１或いは圧電性
薄膜をもつ基板１上に作製されたすだれ状電極１０（イ
ンタデジタル電極）において、基本波の動作周波数に対
応する弾性表面波の波長をλとして、電極の幅がλ／６
からなる電極において、正電極１１と浮き電極１２との
中心間距離がλ／３、次に浮き電極１２と負電極１３の
中心間距離がλ／３、次に負電極１３と正電極１１の中
心間距離がλ／３である周期長λが一定のすだれ状電極
であって、正電極と浮き電極と負電極の電極の電極膜厚
が一部異なる或は全部異なる構造或は材料が一部異なる
構造からなる弾性表面波変換器であって、その電極幅及
び電極の中心間距離が、上記の値の±８０％からなる分
散型弾性表面波変換器及びそれを用いた電子装置が、実
施例の４である。特許請求の範囲第１から第４項におい
て、電極膜厚が異なる構造或いは電極の材料が一部異な
る構造からなる弾性表面波変換器の作製法として、電源
に接続された電極の一部が電気化学作用などにより、陽
極酸化レジスト膜にする方法、或いはエッチングする方
法、或いは物質を堆積する方法などにより、電極の膜厚
が異なる構造及び電極の材料の一部が異なる構造からな
る一方向性弾性表面波及びこの作製法により得られる電
子装置も本特許に含まれる。また、正負電極の極性が逆
の場合も本特許に含まれる。さらに、基本周波数動作の
他、高調波動作も本特許に含まれる。図１の構造のアッ
プ型の分散型一方向性変換器の方向性の計算結果が図
５、実験結果が図６である。図から、アップ方向に約３
ｄＢの方向性が得られていることが判る。
薄膜をもつ基板１上に作製されたすだれ状電極１０（イ
ンタデジタル電極）において、基本波の動作周波数に対
応する弾性表面波の波長をλとして、電極の幅がλ／６
からなる電極において、正電極１１と浮き電極１２との
中心間距離がλ／３、次に浮き電極１２と負電極１３の
中心間距離がλ／３、次に負電極１３と正電極１１の中
心間距離がλ／３である周期長λが一定のすだれ状電極
であって、正電極と浮き電極と負電極の電極の電極膜厚
が一部異なる或は全部異なる構造或は材料が一部異なる
構造からなる弾性表面波変換器であって、その電極幅及
び電極の中心間距離が、上記の値の±８０％からなる分
散型弾性表面波変換器及びそれを用いた電子装置が、実
施例の４である。特許請求の範囲第１から第４項におい
て、電極膜厚が異なる構造或いは電極の材料が一部異な
る構造からなる弾性表面波変換器の作製法として、電源
に接続された電極の一部が電気化学作用などにより、陽
極酸化レジスト膜にする方法、或いはエッチングする方
法、或いは物質を堆積する方法などにより、電極の膜厚
が異なる構造及び電極の材料の一部が異なる構造からな
る一方向性弾性表面波及びこの作製法により得られる電
子装置も本特許に含まれる。また、正負電極の極性が逆
の場合も本特許に含まれる。さらに、基本周波数動作の
他、高調波動作も本特許に含まれる。図１の構造のアッ
プ型の分散型一方向性変換器の方向性の計算結果が図
５、実験結果が図６である。図から、アップ方向に約３
ｄＢの方向性が得られていることが判る。
【発明の効果】本発明の方法の変換器を用いることによ
り、広い帯域幅をもつ分散特性の無いフィルタ、及びこ
の変換器を用いることにより高効率の弾性表面波コンボ
ルバ、及び広帯域の一方向性変換器を得ることができ
る。
り、広い帯域幅をもつ分散特性の無いフィルタ、及びこ
の変換器を用いることにより高効率の弾性表面波コンボ
ルバ、及び広帯域の一方向性変換器を得ることができ
る。
【図１】ダウン方向に一方向性を持つ弾性表面波変換器
の構造を示す図である。
の構造を示す図である。
【図２】浮き電極をもつダウン方向に一方向性を持つ弾
性表面波変換器の構造を示す図である。
性表面波変換器の構造を示す図である。
【図３】 λ／８と５λ／８の電極幅をもつダウン方向
に一方向性を持つ弾性表面波変換器の構造を示す図であ
る。
に一方向性を持つ弾性表面波変換器の構造を示す図であ
る。
【図４】λ／６の浮き電極をもつ一方向性変換器を示す
図である。
図である。
【図５】図１の弾性表面波変換器の計算結果を示す図で
ある。
ある。
【図６】図１の弾性表面波変換器の実験結果を示す図で
ある。
ある。
【符号の説明】 １…基板、２…スプリット型変換器、３…金属膜、４…
金属膜、５…金属膜、７…浮き電極金属膜、６…開放型
浮き電極変換器、８…変換器、９…金属膜、１０…浮き
電極変換器、１１…金属膜、１２…開放型浮き電極金属
膜、１３…金属膜、１４…アップ方向の挿入損失、１５
…ダウン方向の挿入損失、１６…アップ方向の挿入損
失、１７…ダウン方向の挿入損失。
金属膜、５…金属膜、７…浮き電極金属膜、６…開放型
浮き電極変換器、８…変換器、９…金属膜、１０…浮き
電極変換器、１１…金属膜、１２…開放型浮き電極金属
膜、１３…金属膜、１４…アップ方向の挿入損失、１５
…ダウン方向の挿入損失、１６…アップ方向の挿入損
失、１７…ダウン方向の挿入損失。
Claims (6)
- 【請求項１】圧電性基板１或いは圧電性薄膜をもつ基板
１上に作製されたすだれ状電極２（インタデジタル電
極）において、基本波の動作周波数に対応する弾性表面
波の波長をλとして、電極の幅がλ／８からなる電極に
おいて、正電極３と負電極４との中心間距離がλ／４、
次に負電極４と負電極５の中心間距離がλ／２、次に負
電極５と正電極３の中心間距離がλ／４であり、しかも
その周期長λが伝搬方向に短くなるダウン型の分散型す
だれ状電極或いはその周期長λが伝搬方向に長くなるア
ップ型の分散型すだれ状電極、及びこの構造の分散型す
だれ状電極で正電極と負電極の電極膜厚が異なる構造或
いは正電極と負電極の電極の材料が一部異なる構造から
なる弾性表面波変換器であって、その電極幅及び電極の
中心間距離が、上記の値の±８０％からなる分散型弾性
表面波変換器及びそれを用いた電子装置。 - 【請求項２】圧電性基板１或いは圧電性薄膜をもつ基板
１上に作製されたすだれ状電極６（インタデジタル電
極）において、基本波の動作周波数に対応する弾性表面
波の波長をλとして、電極幅がλ／８からなる電極にお
いて、正電極３と負電極４と中心間距離がλ／４、次に
負電極４と正負電極に接続されていない浮き電極７との
中心間距離がλ／４、次に浮き電極７と負電極５の中心
間距離がλ／４、次に負電極５と正電極３の中心間距離
がλ／４であり、しかもその周期長λが伝搬方向に短く
なるダウン型の分散型すだれ状電極或いはその周期長λ
が伝搬方向に長くなるアップ型の分散型すだれ状電極弾
性表面波変換器、及びこの構造の分散型すだれ状電極で
正電極と浮き電極及び負電極の電極膜厚が異なる構造或
いは正電極と負電極の電極の材料が一部異なる構造から
なる分散型すだれ状電極弾性表面波変換器であって、そ
の電極幅及び電極の中心間距離が、上記の値の±８０％
からなる分散型弾性表面波変換器及びそれを用いた電子
装置。 - 【請求項３】圧電性基板１或いは圧電性薄膜をもつ基板
１上に作製されたすだれ状電極８（インタデジタル電
極）において、基本波の動作周波数に対応する弾性表面
波の波長をλとして、電極の幅がλ／８からなる正電極
３と電極幅が５λ／８からなる負電極９との中心間距離
がλ／２、次に負電極９と正電極３の中心間距離がλ／
２であり、しかもその周期長λが伝搬方向に短くなるダ
ウン型の分散型すだれ状電極或いはその周期長λが伝搬
方向に長くなるアップ型の分散型すだれ状電極、及びこ
の構造の分散型すだれ状電極で正電極と負電極の電極膜
厚が異なる構造或いは正電極と負電極の電極の材料が一
部異なる構造からなる弾性表面波変換器であって、その
電極幅及び電極の中心間距離が、上記の値の±８０％か
らなる分散型弾性表面波変換器及びそれを用いた電子装
置。 - 【請求項４】圧電性基板１或いは圧電性薄膜をもつ基板
１上に作製されたすだれ状電極１０（インタデジタル電
極）において、基本波の動作周波数に対応する弾性表面
波の波長をλとして、電極の幅がλ／６からなる電極に
おいて、正電極１１と浮き電極１２との中心間距離がλ
／３、次に浮き電極１２と負電極１３の中心間距離がλ
／３、次に負電極１３と正電極１１の中心間距離がλ／
３である周期長λが一定のすだれ状電極電極であって、
正電極と浮き電極と負電極の電極の電極膜厚がそれぞれ
異なる或いはいずれかの電極の膜厚が異なる構造或は材
料が一部異なる構造からなる弾性表面波変換器であっ
て、その電極幅及び電極の中心間距離が、上記の値の±
８０％からなる分散型弾性表面波変換器及びそれを用い
た電子装置。 - 【請求項５】特許請求の範囲第１から第４項において、
電極膜厚が異なる構造或いは電極の材料が一部異なる構
造からなる弾性表面波変換器の作製法として、電源に接
続された電極の一部が電気化学作用などにより、陽極酸
化レジスト膜にする方法、或いはエッチングする方法、
或いは物質を堆積する方法などにより、電極の膜厚が異
なる構造及び電極の材料の一部が異なる構造からなる弾
性表面波及びこの作製法により得られる電子装置。 - 【請求項６】特許請求の範囲第１項から第４項におい
て、基本波の波長をλに対応する基本周波数をωｏとし
て、ωｏの整数倍で動作する弾性表面波及びこれを用い
た電子装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5975594A JPH07231238A (ja) | 1994-02-17 | 1994-02-17 | 弾性表面波変換器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5975594A JPH07231238A (ja) | 1994-02-17 | 1994-02-17 | 弾性表面波変換器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07231238A true JPH07231238A (ja) | 1995-08-29 |
Family
ID=13122396
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5975594A Pending JPH07231238A (ja) | 1994-02-17 | 1994-02-17 | 弾性表面波変換器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07231238A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007507189A (ja) * | 2003-09-29 | 2007-03-22 | エプコス アクチエンゲゼルシャフト | 表面弾性波トランスデューサ |
| JP2007508752A (ja) * | 2003-10-08 | 2007-04-05 | アールエフ ソウ コンポーネンツ，インコーポレーテッド | 単相一方向弾性表面波変換器および改良された反射器 |
| CN103368522A (zh) * | 2013-07-30 | 2013-10-23 | 四川九洲空管科技有限责任公司 | 一种能应用于l波段的射频声表面波延迟线 |
| WO2014019831A1 (de) * | 2012-08-01 | 2014-02-06 | Epcos Ag | Elektroakustischer wandler |
-
1994
- 1994-02-17 JP JP5975594A patent/JPH07231238A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007507189A (ja) * | 2003-09-29 | 2007-03-22 | エプコス アクチエンゲゼルシャフト | 表面弾性波トランスデューサ |
| JP4696068B2 (ja) * | 2003-09-29 | 2011-06-08 | エプコス アクチエンゲゼルシャフト | 表面弾性波トランスデューサ |
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