JPH09199973A - 弾性表面波変換器 - Google Patents
弾性表面波変換器Info
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- JPH09199973A JPH09199973A JP3703196A JP3703196A JPH09199973A JP H09199973 A JPH09199973 A JP H09199973A JP 3703196 A JP3703196 A JP 3703196A JP 3703196 A JP3703196 A JP 3703196A JP H09199973 A JPH09199973 A JP H09199973A
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】電極間に開放型の浮き電極をもつ分散型の一方
向性すだれ状電極弾性表面波変換器を得る方法とその方
法を用いた電子装置を得る。 【解決手段】圧電体基板１上に作製された分散型のすだ
れ状電極において、ほぼλ／１２の正電極７，９、及び
負電極１０，１２の間にほぼλ／１２の開放型の浮き電
極８，１１を配置した構成、及び電極幅がほぼλ／６或
いは僅かにそれより狭い電極幅のすだれ状電極の正電極
の間、及び負電極の間に電極幅がほぼλ／６の開放型の
浮き電極を配置することにより、アップ方向に一方向を
もつ分散型のすだれ状電極弾性表面波変換器２５が本特
許の主構成である。また、この変換器の作製法として、
ほぼλ／６の電極幅の場合、レジストの影を用いてこの
電極を作製する。
向性すだれ状電極弾性表面波変換器を得る方法とその方
法を用いた電子装置を得る。 【解決手段】圧電体基板１上に作製された分散型のすだ
れ状電極において、ほぼλ／１２の正電極７，９、及び
負電極１０，１２の間にほぼλ／１２の開放型の浮き電
極８，１１を配置した構成、及び電極幅がほぼλ／６或
いは僅かにそれより狭い電極幅のすだれ状電極の正電極
の間、及び負電極の間に電極幅がほぼλ／６の開放型の
浮き電極を配置することにより、アップ方向に一方向を
もつ分散型のすだれ状電極弾性表面波変換器２５が本特
許の主構成である。また、この変換器の作製法として、
ほぼλ／６の電極幅の場合、レジストの影を用いてこの
電極を作製する。
Description
【産業上の利用分野】本発明は周期の異なる分散型のす
だれ状電極において、アップ方向及びダウン方向に一方
向性をもつ弾性表面波変換器及びこの変換器を用いた電
子装置に関する。
だれ状電極において、アップ方向及びダウン方向に一方
向性をもつ弾性表面波変換器及びこの変換器を用いた電
子装置に関する。
【従来技術】伝搬方向に周期の異なる分散型の弾性表面
波変換器として、伝搬方向にその周期が短くなるダウン
型の分散型変換器が電極幅がほぼλ／４の正負からなる
場合、ダウン方向に一方向性変換器となることが山之内
らにより、電子情報通信学会論文誌（Ｖｏｌ．Ｊ７６−
Ａ ＮＯ．２、１９９３年２月、ｐｐ．２５３−２５
９）で発表されている。また、伝搬方向にその周期が長
くなるアップ型の分散型変換器でも、アップ方向に一方
向性特性をもつ弾性表面波変換器が得られている。しか
し、いずれもその方向性が小さいのが難点である。周波
数に対して、遅延時間が一定のデバイスであるコンボル
バなどでは、分散型の変換器を用いる場合、ダウン方向
とアッブ方向の変換器を組み合わせて用いる必要がある
が、いぞれの変換器も小さな一方向性しか得られず、効
率の良好なコンボルバが得られていないの現状である。
波変換器として、伝搬方向にその周期が短くなるダウン
型の分散型変換器が電極幅がほぼλ／４の正負からなる
場合、ダウン方向に一方向性変換器となることが山之内
らにより、電子情報通信学会論文誌（Ｖｏｌ．Ｊ７６−
Ａ ＮＯ．２、１９９３年２月、ｐｐ．２５３−２５
９）で発表されている。また、伝搬方向にその周期が長
くなるアップ型の分散型変換器でも、アップ方向に一方
向性特性をもつ弾性表面波変換器が得られている。しか
し、いずれもその方向性が小さいのが難点である。周波
数に対して、遅延時間が一定のデバイスであるコンボル
バなどでは、分散型の変換器を用いる場合、ダウン方向
とアッブ方向の変換器を組み合わせて用いる必要がある
が、いぞれの変換器も小さな一方向性しか得られず、効
率の良好なコンボルバが得られていないの現状である。
【発明が解決しようとする課題】本方法は分散型弾性表
面波変換器において、アップ方向及びダウン方向に大き
な一方向性特性を示す弾性表面波変換器に関するもので
ある。また、特に浮き電極を用いることにより大きな一
方向性変換器を得る方法に関する。
面波変換器において、アップ方向及びダウン方向に大き
な一方向性特性を示す弾性表面波変換器に関するもので
ある。また、特に浮き電極を用いることにより大きな一
方向性変換器を得る方法に関する。
【課題を解決するための手段】本発明は上述したごとき
従来の欠陥を除去すべくなされたものであって、電極幅
及び電極間距離を考慮すると共に、電極間に浮き電極を
配置することにより、ダウン方向に大きな一方向性を得
ると共に、アップ方向にも大きな一方向性をもつ弾性表
面波変換器が得られることを示している。
従来の欠陥を除去すべくなされたものであって、電極幅
及び電極間距離を考慮すると共に、電極間に浮き電極を
配置することにより、ダウン方向に大きな一方向性を得
ると共に、アップ方向にも大きな一方向性をもつ弾性表
面波変換器が得られることを示している。
【実施例１】図１のように、圧電性基板１或いは圧電性
薄膜をもつ基板１上に作製されたすだれ状電極２４（イ
ンタデジタル電極）において、基本波の動作周波数に対
応する弾性表面波の波長をλとして、電極の幅がλ／１
２からなる電極において、正電極３と正電極４との中心
間距離がλ／３、次に正電極４と負電極５の中心間距離
がλ／６、次に負電極５と負電極６との中心間距離がλ
／３、次に負電極６と正電極３の中心間距離がλ／６で
あり、しかもこれらの電極を繰り返す構造であり、しか
もその周期長λが伝搬方向に短くなるダウン型の分散型
すだれ状電極或いはその周期長λが伝搬方向に長くなる
アップ型の分散型すだれ状電極であって、その電極幅及
び電極の中心間距離が、上記の値の±８０％からなる分
散型弾性表面波変換器及びそれを用いた電子装置が実例
の１である。
薄膜をもつ基板１上に作製されたすだれ状電極２４（イ
ンタデジタル電極）において、基本波の動作周波数に対
応する弾性表面波の波長をλとして、電極の幅がλ／１
２からなる電極において、正電極３と正電極４との中心
間距離がλ／３、次に正電極４と負電極５の中心間距離
がλ／６、次に負電極５と負電極６との中心間距離がλ
／３、次に負電極６と正電極３の中心間距離がλ／６で
あり、しかもこれらの電極を繰り返す構造であり、しか
もその周期長λが伝搬方向に短くなるダウン型の分散型
すだれ状電極或いはその周期長λが伝搬方向に長くなる
アップ型の分散型すだれ状電極であって、その電極幅及
び電極の中心間距離が、上記の値の±８０％からなる分
散型弾性表面波変換器及びそれを用いた電子装置が実例
の１である。
【実施例２】図２にように、圧電性基板１或いは圧電性
薄膜をもつ基板１上に作製されたすだれ状電極２５（イ
ンタデジタル電極）において、基本波の動作周波数に対
応する弾性表面波の波長をλとして、電極幅がλ／１２
からなる電極において、正電極７と正負いずれの電極に
も接続されていない浮き電極８との中心間距離がλ／
６、次に浮き電極８と正電極９との中心間距離がλ／
６、次に正電極９と負電極１０との中心間距離がλ／
６、負電極１０と浮き電極１１との中心間距離がλ／
６、浮き電極１１と負電極１２との中心間距離がλ／
６、次に負電極１２と正電極７との中心間距離がλ／６
であり、しかもこれらの電極を繰り返す構造であり、し
かもその周期長λが伝搬方向に短くなるダウン型の分散
型すだれ状電極或いはその周期長λが伝搬方向に長くな
るアップ型の分散型すだれ状電極弾性表面波変換器であ
って、その電極幅及び電極の中心間距離が、上記の値の
±８０％からなる分散型弾性表面波変換器及びそれを用
いた電子装置が実施例の２である。
薄膜をもつ基板１上に作製されたすだれ状電極２５（イ
ンタデジタル電極）において、基本波の動作周波数に対
応する弾性表面波の波長をλとして、電極幅がλ／１２
からなる電極において、正電極７と正負いずれの電極に
も接続されていない浮き電極８との中心間距離がλ／
６、次に浮き電極８と正電極９との中心間距離がλ／
６、次に正電極９と負電極１０との中心間距離がλ／
６、負電極１０と浮き電極１１との中心間距離がλ／
６、浮き電極１１と負電極１２との中心間距離がλ／
６、次に負電極１２と正電極７との中心間距離がλ／６
であり、しかもこれらの電極を繰り返す構造であり、し
かもその周期長λが伝搬方向に短くなるダウン型の分散
型すだれ状電極或いはその周期長λが伝搬方向に長くな
るアップ型の分散型すだれ状電極弾性表面波変換器であ
って、その電極幅及び電極の中心間距離が、上記の値の
±８０％からなる分散型弾性表面波変換器及びそれを用
いた電子装置が実施例の２である。
【実施例３】圧電性基板１或いは圧電性薄膜をもつ基板
１上に作製されたすだれ状電極２６（インタデジタル電
極）において、基本波の動作周波数に対応する弾性表面
波の波長をλとして、電極の幅がλ／６より僅かに狭い
電極幅からなる電極において、正電極１３といずれの電
極にも接続されていない浮き電極１５との中心間距離が
λ／６、次にに浮き電極１４と正電極１５との中心間距
離がλ／６、次に正電極１５と負電極１６の中心間距離
がλ／６、次に負電極１６と浮き電極１７との中心間距
離がλ／６、次に浮き電極１７と負電極１８との中心間
距離がλ／６、次に負電極１８と正電極１３との中心間
距離がλ／６であり、しかもこれらの電極を繰り返す構
造であり、しかもその周期長λが伝搬方向に短くなるダ
ウン型の分散型すだれ状電極或いはその周期長λが伝搬
方向に長くなるアップ型の分散型すだれ状電極からなる
弾性表面波変換器であって、その電極幅及び電極の中心
間距離が、上記の値の±８０％からなる分散型弾性表面
波変換器及びそれを用いた電子装置が実施例の３であ
る。
１上に作製されたすだれ状電極２６（インタデジタル電
極）において、基本波の動作周波数に対応する弾性表面
波の波長をλとして、電極の幅がλ／６より僅かに狭い
電極幅からなる電極において、正電極１３といずれの電
極にも接続されていない浮き電極１５との中心間距離が
λ／６、次にに浮き電極１４と正電極１５との中心間距
離がλ／６、次に正電極１５と負電極１６の中心間距離
がλ／６、次に負電極１６と浮き電極１７との中心間距
離がλ／６、次に浮き電極１７と負電極１８との中心間
距離がλ／６、次に負電極１８と正電極１３との中心間
距離がλ／６であり、しかもこれらの電極を繰り返す構
造であり、しかもその周期長λが伝搬方向に短くなるダ
ウン型の分散型すだれ状電極或いはその周期長λが伝搬
方向に長くなるアップ型の分散型すだれ状電極からなる
弾性表面波変換器であって、その電極幅及び電極の中心
間距離が、上記の値の±８０％からなる分散型弾性表面
波変換器及びそれを用いた電子装置が実施例の３であ
る。
【実施例４】実施例３において、浮き電極１４と浮き電
極１７をエッチングなどにより取り除いた構造の弾性表
面波変換器であって、その電極幅及び電極の中心間距離
が、上記の値の±８０％からなる分散型弾性表面波変換
器及びそれを用いた電子装置が実施例の４である。
極１７をエッチングなどにより取り除いた構造の弾性表
面波変換器であって、その電極幅及び電極の中心間距離
が、上記の値の±８０％からなる分散型弾性表面波変換
器及びそれを用いた電子装置が実施例の４である。
【実施例５】圧電性基板１或いは圧電性薄膜をもつ基板
１上に作製されたすだれ状電極（インタデジタル電極）
において、基本波の動作周波数に対応する弾性表面波の
波長をλとして、電極の幅がλ／８からなる電極におい
て、正電極といずれの電極にも接続されていない浮き電
極との中心間距離がλ／４、次に浮き電極と負電極との
中心間距離がλ／４、次に負電極と浮き電極の中心間距
離がλ／４、次に浮き電極と正電極との中心間距離がλ
／４であり、しかもこれらの電極を繰り返す構造であ
り、しかもその周期長λが伝搬方向に短くなるダウン型
の分散型すだれ状電極或いはその周期長λが伝搬方向に
長くなるアップ型の分散型すだれ状電極からなる弾性表
面波変換器であって、その電極幅及び電極の中心間距離
が、上記の値の±８０％からなる分散型弾性表面波変換
器及びそれを用いた電子装置が実施例の５である。
１上に作製されたすだれ状電極（インタデジタル電極）
において、基本波の動作周波数に対応する弾性表面波の
波長をλとして、電極の幅がλ／８からなる電極におい
て、正電極といずれの電極にも接続されていない浮き電
極との中心間距離がλ／４、次に浮き電極と負電極との
中心間距離がλ／４、次に負電極と浮き電極の中心間距
離がλ／４、次に浮き電極と正電極との中心間距離がλ
／４であり、しかもこれらの電極を繰り返す構造であ
り、しかもその周期長λが伝搬方向に短くなるダウン型
の分散型すだれ状電極或いはその周期長λが伝搬方向に
長くなるアップ型の分散型すだれ状電極からなる弾性表
面波変換器であって、その電極幅及び電極の中心間距離
が、上記の値の±８０％からなる分散型弾性表面波変換
器及びそれを用いた電子装置が実施例の５である。
【実施例６】図４のように、圧電性基板１或いは圧電性
薄膜をもつ基板１上に作製されたすだれ状電極２７（イ
ンタデジタル電極）において、基本波の動作周波数に対
応する弾性表面波の波長をλとして、電極の幅がλ／４
より僅かに狭い電極幅からなる電極において、正電極１
９といずれの電極にも接続されていない浮き電極２０と
の中心間距離がλ／４、次に浮き電極２０と負電極２１
との中心間距離がλ／４、次に負電極２１と浮き電極２
２の中心間距離がλ／４、次に浮き電極２２と正電極１
９との中心間距離がλ／４であり、しかもこれらの電極
を繰り返す構造であり、しかもその周期長λが伝搬方向
に短くなるダウン型の分散型すだれ状電極或いはその周
期長λが伝搬方向に長くなるアップ型の分散型すだれ状
電極からなる弾性表面波変換器であって、その電極幅及
び電極の中心間距離が、上記の値の±８０％からなる分
散型弾性表面波変換器及びそれを用いた電子装置が実施
例の５である。
薄膜をもつ基板１上に作製されたすだれ状電極２７（イ
ンタデジタル電極）において、基本波の動作周波数に対
応する弾性表面波の波長をλとして、電極の幅がλ／４
より僅かに狭い電極幅からなる電極において、正電極１
９といずれの電極にも接続されていない浮き電極２０と
の中心間距離がλ／４、次に浮き電極２０と負電極２１
との中心間距離がλ／４、次に負電極２１と浮き電極２
２の中心間距離がλ／４、次に浮き電極２２と正電極１
９との中心間距離がλ／４であり、しかもこれらの電極
を繰り返す構造であり、しかもその周期長λが伝搬方向
に短くなるダウン型の分散型すだれ状電極或いはその周
期長λが伝搬方向に長くなるアップ型の分散型すだれ状
電極からなる弾性表面波変換器であって、その電極幅及
び電極の中心間距離が、上記の値の±８０％からなる分
散型弾性表面波変換器及びそれを用いた電子装置が実施
例の５である。
【実施例７】実施例の第３項第４項第６項において、電
極間の幅の狭い電極の作製法として、レジストに被われ
た電極表面の端部の被われていない部分を陽極酸化によ
り誘電体膜にすることにより電極間を分離する方法及び
斜め蒸着法により、レジストの影を用いて、ミアンダー
ライン構造の電極の一部が蒸着されない方法、或いはレ
ジストの影を用いてその部分以外にエッチングされにく
い膜を蒸着し、その後にエッチングにより蒸着されなか
ったミアンダーライン構造の電極の一部を切断する方法
により、電極を作製する方法を用いた弾性表面波変換器
及びそれを用いた電子装置が実施例の６である。
極間の幅の狭い電極の作製法として、レジストに被われ
た電極表面の端部の被われていない部分を陽極酸化によ
り誘電体膜にすることにより電極間を分離する方法及び
斜め蒸着法により、レジストの影を用いて、ミアンダー
ライン構造の電極の一部が蒸着されない方法、或いはレ
ジストの影を用いてその部分以外にエッチングされにく
い膜を蒸着し、その後にエッチングにより蒸着されなか
ったミアンダーライン構造の電極の一部を切断する方法
により、電極を作製する方法を用いた弾性表面波変換器
及びそれを用いた電子装置が実施例の６である。
【実施例８】実施例の第１から第７項において、電極膜
厚が異なる構造或いは電極の材料が一部異なる構造から
なる弾性表面波変換器及びそれを用いた電子装置が実施
例の７である。
厚が異なる構造或いは電極の材料が一部異なる構造から
なる弾性表面波変換器及びそれを用いた電子装置が実施
例の７である。
【実施例９】上記の実施例において、基本波の波長をλ
に対応する基本周波数をω０として、ω０の整数倍で動
作する弾性表面波及びこれを用いた電子装置が実施例の
８である。図５は実施例２の分散型アップ方向一方向性
変換器の等価回路による計算結果である。点線がアップ
方向であり、約１０ｄＢの大きな方向性がアップ方向に
得られている。また、図３は、実施例２の分散型アップ
方向一方向性変換器の等価回路による計算結果である。
この場合も点線がアップ方向であり、約１０ｄＢの大き
な方向性がアップ方向に得られている。この変換器の正
負電極の極性が逆になった場合も本特許に含まれる。
に対応する基本周波数をω０として、ω０の整数倍で動
作する弾性表面波及びこれを用いた電子装置が実施例の
８である。図５は実施例２の分散型アップ方向一方向性
変換器の等価回路による計算結果である。点線がアップ
方向であり、約１０ｄＢの大きな方向性がアップ方向に
得られている。また、図３は、実施例２の分散型アップ
方向一方向性変換器の等価回路による計算結果である。
この場合も点線がアップ方向であり、約１０ｄＢの大き
な方向性がアップ方向に得られている。この変換器の正
負電極の極性が逆になった場合も本特許に含まれる。
【発明の効果】本発明の方法の変換器を用いることによ
り、広い帯域幅をもつ分散特性の無いフィルタ、及びこ
の変換器を用いることにより高効率の弾性表面波コンボ
ルバ、及び広帯域の一方向性変換器を得ることができ
る。
り、広い帯域幅をもつ分散特性の無いフィルタ、及びこ
の変換器を用いることにより高効率の弾性表面波コンボ
ルバ、及び広帯域の一方向性変換器を得ることができ
る。
【図１】アップ方向に一方向性を持つ分散型弾性表面波
変換器の構造を示す図である。
変換器の構造を示す図である。
【図２】アップ方向に一方向性を持つ分散型弾性表面波
変換器の構造を示す図である。
変換器の構造を示す図である。
【図３】アップ方向に一方向性を持つ分散型弾性表面波
変換器の構造を示す図である。
変換器の構造を示す図である。
【図４】ダウン方向に一方向性を持つ分散型弾性表面波
変換器の構造を示す図である。
変換器の構造を示す図である。
【図５】図２の弾性表面波変換器の計算結果を示す図で
ある。
ある。
【図６】図３の弾性表面波変換器の計算結果を示す図で
ある。
ある。
１…基板、２…取り出し電極、３…正電極、４…正電
極、５…負電極、６…負電極、７…正電極、８…開放型
の浮き電極、９…正電極、１０…負電極、１１…開放型
の浮き電極、１２…負電極、１３…正電極、１４…開放
型の浮き電極、１５…正電極、１６…負電極、１７…開
放型の浮き電極、１８…負電極、１９…正電極、２０…
開放型の浮き電極、２１…負電極、２２…開放型の浮き
電極、２４…分散型すだれ状電極、２５…分散型すだれ
状電極、２６…分散型すだれ状電極、２７…分散型すだ
れ状電極。
極、５…負電極、６…負電極、７…正電極、８…開放型
の浮き電極、９…正電極、１０…負電極、１１…開放型
の浮き電極、１２…負電極、１３…正電極、１４…開放
型の浮き電極、１５…正電極、１６…負電極、１７…開
放型の浮き電極、１８…負電極、１９…正電極、２０…
開放型の浮き電極、２１…負電極、２２…開放型の浮き
電極、２４…分散型すだれ状電極、２５…分散型すだれ
状電極、２６…分散型すだれ状電極、２７…分散型すだ
れ状電極。
Claims (9)
- 【請求項１】圧電性基板１或いは圧電性薄膜をもつ基板
１上に作製されたすだれ状電極２４（インタデジタル電
極）において、基本波の動作周波数に対応する弾性表面
波の波長をλとして、電極の幅がλ／１２からなる電極
において、正電極３と正電極４との中心間距離がλ／
３、次に正電極４と負電極５の中心間距離がλ／６、次
に負電極５と負電極６との中心間距離がλ／３、次に負
電極６と正電極３の中心間距離がλ／６であり、しかも
これらの電極を繰り返す構造であり、しかもその周期長
λが伝搬方向に短くなるダウン型の分散型すだれ状電極
或いはその周期長λが伝搬方向に長くなるアップ型の分
散型すだれ状電極であって、その電極幅及び電極の中心
間距離が、上記の値の±８０％からなる分散型弾性表面
波変換器及びそれを用いた電子装置。 - 【請求項２】圧電性基板ｌ或いは圧電性薄膜をもつ基板
１上に作製されたすだれ状電極２５（インタデジタル電
極）において、基本波の動作周波数に対応する弾性表面
波の波長をλとして、電極幅がλ／１２からなる電極に
おいて、正電極７と正負いずれの電極にも接続されてい
ない浮き電極８との中心間距離がλ／６、次に浮き電極
８と正電極９との中心間距離がλ／６、次に正電極９と
負電極１０との中心間距離がλ／６、負電極１０と浮き
電極１１との中心間距離がλ／６、浮き電極１１と負電
極１２との中心間距離がλ／６、次に負電極１２と正電
極７との中心間距離がλ／６であり、しかもこれらの電
極を繰り返す構造であり、しかもその周期長λが伝搬方
向に短くなるダウン型の分散型すだれ状電極或いはその
周期長λが伝搬方向に長くなるアップ型の分散型すだれ
状電極弾性表面波変換器であって、その電極幅及び電極
の中心間距離が、上記の値の±８０％からなる分散型弾
性表面波変換器及びそれを用いた電子装置。 - 【請求項３】圧電性基板１或いは圧電性薄膜をもつ基板
１上に作製されたすだれ状電極２６（インタデジタル電
極）において、基本波の動作周波数に対応する弾性表面
波の波長をλとして、電極の幅がλ／６より僅かに狭い
電極幅からなる電極において、正電極１３といずれの電
極にも接続されていない浮き電極１５との中心間距離が
λ／６、次にに浮き電極１４と正電極１５との中心間距
離がλ／６、次に正電極１５と負電極１６の中心間距離
がλ／６、次に負電極１６と浮き電極１７との中心間距
離がλ／６、次に浮き電極１７と負電極１８との中心間
距離がλ／６、次に負電極１８と正電極１３との中心間
距離がλ／６であり、しかもこれらの電極を繰り返す構
造であり、しかもその周期長λが伝搬方向に短くなるダ
ウン型の分散型すだれ状電極或いはその周期長λが伝搬
方向に長くなるアップ型の分散型すだれ状電極からなる
弾性表面波変換器であって、その電極幅及び電極の中心
間距離が、上記の値の±８０％からなる分散型弾性表面
波変換器及びそれを用いた電子装置。 - 【請求項４】請求項３において、浮き電極１４と浮き電
極１７をエッチングなどにより取り除いた構造の弾性表
面波変換器であって、その電極幅及び電極の中心間距離
が、上記の値の±８０％からなる分散型弾性表面波変換
器及びそれを用いた電子装置。 - 【請求項５】圧電性基板１或いは圧電性薄膜をもつ基板
１上に作製されたすだれ状電極（インタデジタル電極）
において、基本波の動作周波数に対応する弾性表面波の
波長をλとして、電極の幅がλ／８からなる電極におい
て、正電極といずれの電極にも接続されていない浮き電
極との中心間距離がλ／４、次に浮き電極と負電極との
中心間距離がλ／４、次に負電極と浮き電極の中心間距
離がλ／４、次に浮き電極と正電極との中心間距離がλ
／４であり、しかもこれらの電極を繰り返す構造であ
り、しかもその周期長λが伝搬方向に短くなるダウン型
の分散型すだれ状電極或いはその周期長λが伝搬方向に
長くなるアップ型の分散型すだれ状電極からなる弾性表
面波変換器であって、その電極幅及び電極の中心間距離
が、上記の値の±８０％からなる分散型弾性表面波変換
器及びそれを用いた電子装置。 - 【請求項６】圧電性基板１或いは圧電性薄膜をもつ基板
１上に作製されたすだれ状電極２７（インタデジタル電
極）において、基本波の動作周波数に対応する弾性表面
波の波長をλとして、電極の幅がλ／４より僅かに狭い
電極幅からなる電極において、正電極１９といずれの電
極にも接続されていない浮き電極２０との中心間距離が
λ／４、次に浮き電極２０と負電極２１との中心間距離
がλ／４、次に負電極２１と浮き電極２２の中心間距離
がλ／４、次に浮き電極２２と正電極１９との中心間距
離がλ／４であり、しかもこれらの電極を繰り返す構造
であり、しかもその周期長λが伝搬方向に短くなるダウ
ン型の分散型すだれ状電極或いはその周期長λが伝搬方
向に長くなるアップ型の分散型すだれ状電極からなる弾
性表面波変換器であって、その電極幅及び電極の中心間
距離が、上記の値の±８０％からなる分散型弾性表面波
変換器及びそれを用いた電子装置。 - 【請求項７】特許請求の範囲第３項第４項第６項におい
て、電極間の幅の狭い電極の作製法として、レジストに
被われた電極表面の端部の被われていない部分を陽極酸
化により誘電体膜にすることにより電極間を分離する方
法及び斜め蒸着法により、レジストの影を用いて、ミア
ンダーライン構造の電極の一部が蒸着されない方法、或
いはレジストの影を用いてその部分以外にエッチングさ
れにくい膜を蒸着し、その後にエッチングにより蒸着さ
れなかったミアンダーライン構造の電極の一部を切断す
る方法により、電極を作製する方法を用いた弾性表面波
変換器及びそれを用いた電子装置。 - 【請求項８】特許請求の範囲第１から第７項において、
電極膜厚が異なる構造或いは電極の材料が一部異なる構
造からなる弾性表面波変換器及びそれを用いた電子装
置。 - 【請求項９】特許請求の範囲第１項から第６項におい
て、基本波の波長をλに対応する基本周波数をω０とし
て、ω０の整数倍で動作する弾性表面波及びこれを用い
た電子装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3703196A JPH09199973A (ja) | 1996-01-17 | 1996-01-17 | 弾性表面波変換器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3703196A JPH09199973A (ja) | 1996-01-17 | 1996-01-17 | 弾性表面波変換器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09199973A true JPH09199973A (ja) | 1997-07-31 |
Family
ID=12486275
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3703196A Pending JPH09199973A (ja) | 1996-01-17 | 1996-01-17 | 弾性表面波変換器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09199973A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20130063861A1 (en) * | 2011-09-09 | 2013-03-14 | Xilinx, Inc. | Interdigitated capacitor having digits of varying width |
| US9270247B2 (en) | 2013-11-27 | 2016-02-23 | Xilinx, Inc. | High quality factor inductive and capacitive circuit structure |
| US9524964B2 (en) | 2014-08-14 | 2016-12-20 | Xilinx, Inc. | Capacitor structure in an integrated circuit |
-
1996
- 1996-01-17 JP JP3703196A patent/JPH09199973A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20130063861A1 (en) * | 2011-09-09 | 2013-03-14 | Xilinx, Inc. | Interdigitated capacitor having digits of varying width |
| US8941974B2 (en) * | 2011-09-09 | 2015-01-27 | Xilinx, Inc. | Interdigitated capacitor having digits of varying width |
| US9270247B2 (en) | 2013-11-27 | 2016-02-23 | Xilinx, Inc. | High quality factor inductive and capacitive circuit structure |
| US9524964B2 (en) | 2014-08-14 | 2016-12-20 | Xilinx, Inc. | Capacitor structure in an integrated circuit |
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