JPH088680A - 弾性表面波一方向性変換器及び電子装置 - Google Patents
弾性表面波一方向性変換器及び電子装置Info
- Publication number
- JPH088680A JPH088680A JP17468494A JP17468494A JPH088680A JP H088680 A JPH088680 A JP H088680A JP 17468494 A JP17468494 A JP 17468494A JP 17468494 A JP17468494 A JP 17468494A JP H088680 A JPH088680 A JP H088680A
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- Japan
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- electrode
- electrodes
- interdigital
- lambda
- distance
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- Pending
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- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】正規型に等しいλ０／４の電極幅のすだれ状電
極で、膜厚の異なる電極、或いは材料の異なる電極を用
いて一方向性変換器を得ること、更にこの電極を用いて
低挿入損失のフィルタを得ることを目的としている。 【構成】Ｎ本のすだれ状電極を一単位として、各単位の
すだれ状電極の配置を＋λ０／４ずらした構成でかつ各
単位電極の膜厚の異なる、或いは材料の異なる電極を用
いた一方向性変換器がその構成図である。
極で、膜厚の異なる電極、或いは材料の異なる電極を用
いて一方向性変換器を得ること、更にこの電極を用いて
低挿入損失のフィルタを得ることを目的としている。 【構成】Ｎ本のすだれ状電極を一単位として、各単位の
すだれ状電極の配置を＋λ０／４ずらした構成でかつ各
単位電極の膜厚の異なる、或いは材料の異なる電極を用
いた一方向性変換器がその構成図である。
Description
【産業上の利用分野】本発明はすだれ状電極間で膜厚差
をもつ電極或は材料の異なる電極を用いたすだれ状一方
向性変換器或いはこの電極を用いた電子装置に関する。
をもつ電極或は材料の異なる電極を用いたすだれ状一方
向性変換器或いはこの電極を用いた電子装置に関する。
【従来技術】従来の一方向性変換器は、電極幅がえλ０
／４より狭い電極が用いられていたため、高周波では、
電極幅が狭くなり作製が困難であった。本特許はこれら
のの難点を解決した一方向性変換器とに関するものであ
る。
／４より狭い電極が用いられていたため、高周波では、
電極幅が狭くなり作製が困難であった。本特許はこれら
のの難点を解決した一方向性変換器とに関するものであ
る。
【発明が解決しようとする課題】電極配置をブループ毎
に＋λ０／４だけずらし、かつ膜厚差をもつ電極或い電
極材料の異なるすだれ状電極を用いることにより、一方
向性弾性表面波変換器を得る方法に関するものである。
に＋λ０／４だけずらし、かつ膜厚差をもつ電極或い電
極材料の異なるすだれ状電極を用いることにより、一方
向性弾性表面波変換器を得る方法に関するものである。
【課題を解決するためめ手段】本発明は上述したごとき
従来の欠陥を除去すべくなされたものであって、電極配
置を＋λ０／４だけずらし、かつ膜厚差をもつ電極或い
電極材料の異なるすだれ状電極を用いることにより、一
方向性弾性表面波変換器を得る方法に関するものであ
る。
従来の欠陥を除去すべくなされたものであって、電極配
置を＋λ０／４だけずらし、かつ膜厚差をもつ電極或い
電極材料の異なるすだれ状電極を用いることにより、一
方向性弾性表面波変換器を得る方法に関するものであ
る。
【実施例１】図２のように、圧電性基板１或いは圧電性
薄膜をもつ基板１上に作製されたすだれ状電極（インタ
デジタル電極）において、基本波の動作周波数に対応す
る弾性表面波の波長をλ０として、正電極２間の距離が
λ０、負電極３の間の距離がλ０であり、かつ正負電極
の中心間の距離がλ０／２であり、電極本数がＮのすだ
れ状電極でかつＮが偶数の場合において、このすだれ状
電極４の最後の負電極と電極本数がＮのすだれ状電極５
の最初の正電極との中心間距離が３λ０／４であり、次
にすだれ状電極５の最後の負電極と電極本数がＮのすだ
れ状電極６の最初の負電極との中心間距離が３λ０／４
であり、次にすだれ状電極６の最後の正電極と本数がＮ
のすだれ状電極７の最初の負電極との中心間距離が３λ
０／４であるすだれ状電極を一グループとしたすだれ状
電極において、電極４及び６と、電極５及び７の電極膜
厚或いは電極材料が異なる一方向性変換器であって、こ
れらのグループが、電極７の最後の正電極と次のグルー
プの電極４の最初の電極の中心間距離が、３λ０／４と
なるように、次のグループを配置した一方向性変換器で
あり、かつこれらのグループがＭ（整数）からなる一方
向性変換器及びこのすだれ状電極を用いた電子装置が、
実施例の１である。
薄膜をもつ基板１上に作製されたすだれ状電極（インタ
デジタル電極）において、基本波の動作周波数に対応す
る弾性表面波の波長をλ０として、正電極２間の距離が
λ０、負電極３の間の距離がλ０であり、かつ正負電極
の中心間の距離がλ０／２であり、電極本数がＮのすだ
れ状電極でかつＮが偶数の場合において、このすだれ状
電極４の最後の負電極と電極本数がＮのすだれ状電極５
の最初の正電極との中心間距離が３λ０／４であり、次
にすだれ状電極５の最後の負電極と電極本数がＮのすだ
れ状電極６の最初の負電極との中心間距離が３λ０／４
であり、次にすだれ状電極６の最後の正電極と本数がＮ
のすだれ状電極７の最初の負電極との中心間距離が３λ
０／４であるすだれ状電極を一グループとしたすだれ状
電極において、電極４及び６と、電極５及び７の電極膜
厚或いは電極材料が異なる一方向性変換器であって、こ
れらのグループが、電極７の最後の正電極と次のグルー
プの電極４の最初の電極の中心間距離が、３λ０／４と
なるように、次のグループを配置した一方向性変換器で
あり、かつこれらのグループがＭ（整数）からなる一方
向性変換器及びこのすだれ状電極を用いた電子装置が、
実施例の１である。
【実施例２】圧電性基板１或いは圧電性薄膜をもつ基板
１上に作製されたすだれ状電極（インタデジタル電極）
において、基本波の動作周波数に対応する弾性表面波の
波長をλ０として、正電極１６間の距離がλ０、負電極
１７の間の距離がλ０であり、かつ正負電極の中心間の
距離がλ０／２であり、電極本数がＰのすだれ状電極で
かつＰが奇数の場合において、このすだれ状電極１８の
最後の正電極と電極本数がＰのすだれ状電極１９の最初
の正電極との中心間距離が３λ０／４であり、次にすだ
れ状電極１９の最後の正電極と電極本数がＰのすだれ状
電極２０の最初の負電極との中心間距離が３λ０／４で
あり、次にすだれ状電極２０の最後の負電極と本数がＰ
のすだれ状電極２１の最初の負電極との中心間距離が３
λ０／４であるすだれ状電極を一グループとしたすだれ
状電極において、電極１８及び２０と、電極１９及び２
１の電極膜厚或いは電極材料が異なる一方向性変換器で
あって、これらのグループが、電極２１の最後の負電極
と次のグループの正電極１８の最初の電極の中心間距離
が、３λ０／４となるように、次のグループを配置した
一方向性変換器であり、かつこれらのグループがＲ（整
数）からなる一方向性変換器及びこのすだれ状電極を用
いた電子装置が実施例の２である。特許請求の範囲第１
項及び第２項において、正負電極８、９などの電極幅が
λ０／４を中心にその幅をλ０／１２からλ０／２の値
であり、かつ正負電極間の距離がλ０／２を中心にλ０
／１２からλ０の値である弾性表面波変換器及びこれを
用いた電子装置も本特許に含まれる。また、特許請求の
範囲の第１項から第３項において、その作製法として電
極の一部に電圧を印加することにより、金属電極膜がエ
ッチングされる、或はエッチングされないように処理す
る電気化学効果を用いて得られる弾性表面波変換器及び
これらの変換器を用いて得られる電子装置も本特許に含
まれる。本方法による一方向性弾性表面波変換器を用い
たフィルタの計算結果を図４に示す。図から３５ｄＢの
方向性と１．５ｄＢの挿入損失のフィルタが得られてい
ることが判る。
１上に作製されたすだれ状電極（インタデジタル電極）
において、基本波の動作周波数に対応する弾性表面波の
波長をλ０として、正電極１６間の距離がλ０、負電極
１７の間の距離がλ０であり、かつ正負電極の中心間の
距離がλ０／２であり、電極本数がＰのすだれ状電極で
かつＰが奇数の場合において、このすだれ状電極１８の
最後の正電極と電極本数がＰのすだれ状電極１９の最初
の正電極との中心間距離が３λ０／４であり、次にすだ
れ状電極１９の最後の正電極と電極本数がＰのすだれ状
電極２０の最初の負電極との中心間距離が３λ０／４で
あり、次にすだれ状電極２０の最後の負電極と本数がＰ
のすだれ状電極２１の最初の負電極との中心間距離が３
λ０／４であるすだれ状電極を一グループとしたすだれ
状電極において、電極１８及び２０と、電極１９及び２
１の電極膜厚或いは電極材料が異なる一方向性変換器で
あって、これらのグループが、電極２１の最後の負電極
と次のグループの正電極１８の最初の電極の中心間距離
が、３λ０／４となるように、次のグループを配置した
一方向性変換器であり、かつこれらのグループがＲ（整
数）からなる一方向性変換器及びこのすだれ状電極を用
いた電子装置が実施例の２である。特許請求の範囲第１
項及び第２項において、正負電極８、９などの電極幅が
λ０／４を中心にその幅をλ０／１２からλ０／２の値
であり、かつ正負電極間の距離がλ０／２を中心にλ０
／１２からλ０の値である弾性表面波変換器及びこれを
用いた電子装置も本特許に含まれる。また、特許請求の
範囲の第１項から第３項において、その作製法として電
極の一部に電圧を印加することにより、金属電極膜がエ
ッチングされる、或はエッチングされないように処理す
る電気化学効果を用いて得られる弾性表面波変換器及び
これらの変換器を用いて得られる電子装置も本特許に含
まれる。本方法による一方向性弾性表面波変換器を用い
たフィルタの計算結果を図４に示す。図から３５ｄＢの
方向性と１．５ｄＢの挿入損失のフィルタが得られてい
ることが判る。
【発明の効果】本発明の方法を用いることにより、低挿
入損失でかつＧＨｚ帯の弾性表面波フィルタ、及び弾性
表面波変換器を容易に得ることができる。
入損失でかつＧＨｚ帯の弾性表面波フィルタ、及び弾性
表面波変換器を容易に得ることができる。
【図１】本発明の基礎となる反射打ち消し型のすだれ状
電極を示す平面図（ａ）及び断面図である。
電極を示す平面図（ａ）及び断面図である。
【図２】本発明の一方向性変換器を示す図である。この
図はＮ＝４の場合の図である。
図はＮ＝４の場合の図である。
【図３】本発明の一方向性変換器を示す図である。この
図はＮ＝３の場合の図である。
図はＮ＝３の場合の図である。
【図４】Ｎ＝４を送信電極、Ｎ＝３を受信電極とした本
発明の一方向性変換器を用いたフィルタ特性の計算結果
である。
発明の一方向性変換器を用いたフィルタ特性の計算結果
である。
１…基板、２…正電極、３…負電極、４、５、６、７…
電極本数Ｎ（偶数）のすだれ状電極、８、１０、１３、
１５、１６…正電極、９、１１、１２、１４、１７…負
電極、１８、１９、２０、２１…電極本数Ｐ（奇数）の
すだれ状電極、２２…前進方向の周波数特性、２３…後
退方向の周波数特性。
電極本数Ｎ（偶数）のすだれ状電極、８、１０、１３、
１５、１６…正電極、９、１１、１２、１４、１７…負
電極、１８、１９、２０、２１…電極本数Ｐ（奇数）の
すだれ状電極、２２…前進方向の周波数特性、２３…後
退方向の周波数特性。
Claims (4)
- 【請求項１】圧電性基板１或いは圧電性薄膜をもつ基板
１上に作製されたすだれ状電極（インタデジタル電極）
において、基本波の動作周波数に対応する弾性表面波の
波長をλ０として、正電極２間の距離がλ０、負電極３
の間の距離がλ０であり、かつ正負電極の中心間の距離
がλ０／２であり、電極本数がＮのすだれ状電極でかつ
Ｎが偶数の場合において、このすだれ状電極４の最後の
負電極と電極本数がＮのすだれ状電極５の最初の正電極
との中心間距離が３λ０／４であり、次にすだれ状電極
５の最後の負電極と電極本数がＮのすだれ状電極６の最
初の負電極との中心間距離３λ０／４であり、次にすだ
れ状電極６の最後の正電極と本数がＮのすだれ状電極７
の最初の負電極との中心間距離が３λ０／４であるすだ
れ状電極を一グループとしたすだれ状電極において、電
極４及び６と、電極５及び７の電極膜厚或いは電極材料
が異なる一方向性変換器であって、これらのグループ
が、電極７の最後の正電極と次のグループの電極４の最
初の電極の中心間距離が、３λ０／４となるように、次
のグループを配置した一方向性変換器であり、かつこれ
らのグループがＭ（整数）からなる一方向性変換器及び
このすだれ状電極を用いた電子装置。 - 【請求項２】圧電性基板１或いは圧電性薄膜をもつ基板
１上に作製されたすだれ状電極（インタデジタル電極）
において、基本波の動作周波数に対応する弾性表面波の
波長をλ０として、正電極１６間の距離がλ０、負電極
１７の間の距離がλ０であり、かつ正負電極の中心間の
距離がλ０／２であり、電極本数がＰのすだれ状電極で
かつＰが奇数の場合において、このすだれ状電極１８の
最後の正電極と電極本数がＰのすだれ状電極１９の最初
の正電極との中心間距離が３λ０／４であり、次にすだ
れ状電極１９の最後の正電極と電極本数がＰのすだれ状
電極２０の最初の負電極との中心間距離３λ０／４であ
り、次にすだれ状電極２０の最後の負電極と本数がＰの
すだれ状電極２１の最初の負電極との中心間距離が３λ
０／４であるすだれ状電極を一グループとしたすだれ状
電極において、電極１８及び２０と、電極１９及び２１
の電極膜厚或いは電極材料が異なる一方向性変換器であ
って、これらのグループが、電極２１の最後の負電極と
次のグループの正電極１８の最初の電極の中心間距離
が、３λ０／４となるように、次のグループを配置した
一方向性変換器であり、かつこれらのグループがＲ（整
数）からなる一方向性変換器及びこのすだれ状電極を用
いた電子装置。 - 【請求項３】特許請求の範囲第１項及び第２項におい
て、正負電極８、９などの電極幅がλ０／４を中心にそ
の幅をλ０／１２からλ０／２の値であり、かつ正負電
極間の距離がλ０／２を中心にλ０／１２からλ０の値
である弾性表面波変換器及びこれを用いた電子装置。 - 【請求項４】特許請求の範囲の第１項から第３項におい
て、その作製法として電極の一部に電圧を印加すること
により、金属電極膜がエッチングされる、或はエッチン
グされないように処理する電気化学効果を用いて得られ
る弾性表面波変換器及びこれらの変換器を用いて得られ
る電子装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17468494A JPH088680A (ja) | 1994-06-21 | 1994-06-21 | 弾性表面波一方向性変換器及び電子装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17468494A JPH088680A (ja) | 1994-06-21 | 1994-06-21 | 弾性表面波一方向性変換器及び電子装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH088680A true JPH088680A (ja) | 1996-01-12 |
Family
ID=15982891
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17468494A Pending JPH088680A (ja) | 1994-06-21 | 1994-06-21 | 弾性表面波一方向性変換器及び電子装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH088680A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7692515B2 (en) * | 2004-08-04 | 2010-04-06 | Epcos Ag | Low-loss electro-acoustic component |
-
1994
- 1994-06-21 JP JP17468494A patent/JPH088680A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7692515B2 (en) * | 2004-08-04 | 2010-04-06 | Epcos Ag | Low-loss electro-acoustic component |
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