JPS5958907A - 弾性表面波装置 - Google Patents

弾性表面波装置

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JPS5958907A
JPS5958907A JP57168353A JP16835382A JPS5958907A JP S5958907 A JPS5958907 A JP S5958907A JP 57168353 A JP57168353 A JP 57168353A JP 16835382 A JP16835382 A JP 16835382A JP S5958907 A JPS5958907 A JP S5958907A
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JP
Japan
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electrode
width
surface acoustic
interdigital
widths
Prior art date
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JP57168353A
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JPH047127B2 (ja
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Toyoji Tabuchi
田渕　豊治
Mitsutaka Hikita
光孝 疋田
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
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    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
    • H03H3/007—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks
    • H03H3/08—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of resonators or networks using surface acoustic waves
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
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    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
    • H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
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    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
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    • H03H9/46—Filters
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    • H03H9/6423—Means for obtaining a particular transfer characteristic
    • H03H9/6426—Combinations of the characteristics of different transducers

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 弾性表面波フィルタの中心周波数調整法に係シ、特にホ
トマスク作成に好適な電極構成法に関する。
〔従来技術〕
弾性表面波フィルタは圧電基板上に設けた薄膜電極によ
シ構成する。フィルタの基本的な構成は第１図に示すよ
うに、圧電基板上に設けた送信側トランスデユーサ１と
受信側トランスデユーサ２からなる。フィルタの中心周
波数は圧電基板の音速と交差指電極３の電極ピッチで定
まシ、例えばＬｉＴａ０ｓ３６°Ｙ−Ｘ板では中心周波
数８７０ＭＨ２のとき波長λは４．８μｍとなシ、電極
指幅は１．２μｍ（λｏ／４）である。したがって、電
極指幅を適邑に選ぶことによシ、任意の中心周波数が得
られる。しかし、実際の素子化工程でノ（ター／形成の
ために用いるホトマスクは、装置の性能限界によシ、作
成可能な最小寸法きざみは現在のところ０．１μｍであ
る。前記の幅１．２μｍの電極指の場合、設定できる近
傍周波数は、低周波側で８００ＭＨ２（電極指幅；１．
３μｍ）、高周波側で９５０ＭＨｚ（電極指幅Ｈ１，１
μｍ）となる。
周波数間隔が７０〜８０ＭＨ２もあるために、設計自由
度が極端に制限され、現実の要求仕様にはほとんど対応
することができない。
以上に述べたように、従来の全ての電極指幅を同一ピッ
チ、同一線幅で設定する方法では、ホトマスクの作成上
の理由から、中心周波数の微調整ができない欠点があっ
た。
〔発明の目的〕
本発明の目的は、弾性表面波フィルタの中心周波数の微
調整が、現状のホトマスク作成精度によっても可能であ
る電極構造を提供することにある。
〔発明の詳細な説明〕
中心周波数の微調整は、いい換れば電極ピッチの微調整
である。ピッチの変化分を各電極指に等しく配分するの
が望ましいが、この方法は現状のホトマスク作成装置の
寸法設定能力が不十分なため限界がある。本発明は、電
極指の一定繰返し本数ごとに、そのうちの１本あるいは
複数本についてのみ電極指幅を従来のホトマスク精度内
で増加、−あるいは減少させて、実効的な平均ピッチを
微調整した。
〔実施例〕
以下、本発明の一実施例を第２図によシ説明する。同図
（ａ）は本発明を実施する前の状態、図（ｂ）。
（Ｃ）、　（ｄ）は実施後の状態である。図（ωにおい
て、１波長は２０１４分の１波長すなわち電極指幅はｔ
である。
電極指幅の変化分をΔｔとすると、Δｔの最小値は現状
のホトマスク作成装置では０．１μｍである。したがっ
て、本発明は０．１μｍ以下の桁までの精度を要求され
る場合に有効となる。
従来のように電極指および電極指間の絶縁部の全てにΔ
ｔの幅変化を与える場合のピッチの変化率ΔＰ、は 図（ｂ）は斜線で示したように、１波長ごとに１本の幅
変化を行っておシ、変化率は 同様に、図（Ｃ）の場合の変化率は また、図（ｄ）は一定周期中で複数本（図では２本）以
上に代表例を示したが、同様に各種の組合せが可能であ
シ、幅広い平均ピッチの選択が可能である。本実施例で
は電極指幅を変化させたが、電極指間の絶縁部の幅を変
化させても、等何回路の取扱いが若干具なるだけで同様
の効果が得られる。
幅に変化をつける電極指あるいは絶縁部の位置を限定す
る必要はなく、所定の区間内に所定の本数があればよい
。また、電極指幅の変化量が１μｍ以上の場合は、周波
数の微調整にはほとんど寄与しない。
以上に述べたように、本実施例によれば平均ピッチを微
細に設定でき、フィルタの中心周波数の微調整精度が上
がる効果がある。
実施例では交差指電極についてのみ説明したが、ストラ
イプ電極列で構成する反射器の周波数特性の微調整にも
本発明が有効である。また、ホトマスクを用いない、例
えば、電子ビームによる直接描画方式なばの場合におい
ても同様の利点がある。
また、請求の範囲において２種類の幅によシ構成すると
しているが、フィルタの構造設計時にすでに２種類以上
の幅を有する場合においては、本発明を適用することに
よシ３種類以上の幅になる。
〔発明の効果〕
電極ピッチが小さい高周波帯フィルタの素子化工程にお
いて、各種の要求仕様に合った周波数特性を現状のホト
リソグラフィ技術で実現することは容易でない。本発明
によれば現状のホトマスク作成仕様で中心周波数を１桁
以上精度よく設定することができるので、■フィルタの
周波数特性の設計が容易となる、■ホトマスクに関して
コスト的に有利となる効果がおる。
【図面の簡単な説明】
第１図は弾性表面波フィルタの基本構成図、第２図は所
定の電極指の幅を変えた本発明の実施例の図。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 圧電基板上に設けた薄膜導体の交差指電極で励振する弾
    性表面波を用いたフィルタ素子の電極ピッチを微少変化
    させる場合において、交差指電極および当該電極間の絶
    縁領域を２種類の幅によシ設定し、そのうちの一方の幅
    は他方の幅よ９１μｍ以下の変化幅を有するとともに、
    所定の電極ピッチを実現する２種類の幅の組合せの関係
    をフィルタ全体に繰返して設けるごとく構成することを
    特徴とする弾性表面波フィルタの電極構成法。
JP57168353A 1982-09-29 1982-09-29 弾性表面波装置 Granted JPS5958907A (ja)

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JP57168353A JPS5958907A (ja) 1982-09-29 1982-09-29 弾性表面波装置
US06/536,521 US4507581A (en) 1982-09-29 1983-09-28 Electrode structure for saw device

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JP9103294A Division JPH0715270A (ja) 1994-04-28 1994-04-28 弾性表面波装置

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JPS5958907A true JPS5958907A (ja) 1984-04-04
JPH047127B2 JPH047127B2 (ja) 1992-02-10

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US4507581A (en) 1985-03-26

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