RU2700374C1 - Пьезоэлектрический компонент для фильтра - Google Patents

Пьезоэлектрический компонент для фильтра Download PDF

Info

Publication number
RU2700374C1
RU2700374C1 RU2018143902A RU2018143902A RU2700374C1 RU 2700374 C1 RU2700374 C1 RU 2700374C1 RU 2018143902 A RU2018143902 A RU 2018143902A RU 2018143902 A RU2018143902 A RU 2018143902A RU 2700374 C1 RU2700374 C1 RU 2700374C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
plate
contact pads
width
electrode
piezoelectric
Prior art date
Application number
RU2018143902A
Other languages
English (en)
Inventor
Геннадий Юрьевич Виноградов
Марина Матвеевна Аникина
Татьяна Петровна Бочкова
Людмила Анатольевна Уварова
Original Assignee
Открытое акционерное общество "Межгосударственная Корпорация Развития" (ОАО "Межгосударственная Корпорация Развития")
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Открытое акционерное общество "Межгосударственная Корпорация Развития" (ОАО "Межгосударственная Корпорация Развития") filed Critical Открытое акционерное общество "Межгосударственная Корпорация Развития" (ОАО "Межгосударственная Корпорация Развития")
Priority to RU2018143902A priority Critical patent/RU2700374C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2700374C1 publication Critical patent/RU2700374C1/ru

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/15Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
    • H03H9/17Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/40Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and electrical output, e.g. functioning as transformers

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Abstract

Изобретение относится к пьезотехнике и может быть использовано в устройствах частотной селекции сигналов на объемных акустических волнах, в частности в качестве пьезоэлектрического компонента (ПЭК) для фильтра, содержащего серию акустически связанных резонаторов. Технический результат: увеличение полосы пропускания. Сущность: ПЭК выполнен из прямоугольной пьезоэлектрической пластины 1, на одной из поверхностей которой выполнены электроды 2 и 3 с контактными площадками 4 и 5 соответственно. На этой же поверхности пластины 1 в свободных углах расположены контактные площадки 6 и 7. На противоположной стороне пластины 1 выполнен сплошной электрод 8 с контактными площадками 9 и 10, расположенными по диагонали относительно друг друга, соединенные с контактными площадками 6 и 7 соответственно. На этой же поверхности пластины 1 в свободных углах расположены контактные площадки 11 и 12, соединенные соответственно с контактными площадками 4 и 5. По центру сплошного электрода выполнено напыление дополнительного слоя металла 13, ширина которого определяется соотношением W = E + 2 *k*B, где W – ширина напыления дополнительного слоя металла, мм; Е – ширина межэлектродного зазора с обратной стороны пластины, мм; k – величина, равная 0,1…0,3; B – длина электрода, мм. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.

Description

Изобретение относится к пьезотехнике и может быть использована в устройствах частотной селекции сигналов на объемных акустических волнах, в частности, в качестве пьезоэлектрического компонента для фильтра, содержащего серию акустически связанных резонаторов.
Известен пьезоэлемент (RU 2032252, МПК H01L 41/00, опубл. 27.03.1995 г.), выполненный из кристалла кварца среза yzb/35°ll'±5' в виде пластины прямоугольной формы с двумя сигнальными электродами, расположенными на одной поверхности пластины и двумя низкопотенциальными (заземляющими) электродами на противоположной поверхности пластины, причем каждый электрод имеет по одной контактной площадке в одной из угловых частей пластины, продольная ось симметрии пластины совмещена с кристаллографической осью Z', а ширина пластины выбрана в определенном соотношении. В современных пьезоэлектрических фильтрах все чаще возникает запрос на получение более широкой полосы пропускания фильтра при сохранении миниатюрности конструкции и высоких значений прочих параметров. Известно, что с уменьшением величины межэлектродного зазора полоса пропускания (при прочих равных условиях) будет увеличиваться. Однако уменьшение межэлектродного зазора имеет свои ограничения, обусловленные технологией изготовления (сложности в изготовлении оснастки для миниатюрных элементов) и высокой вероятностью подпыления металла в зазор, приводящие к смыканию электродов. Недостаток известного пьезоэлемента заключается в ограничении возможности расширения полосы пропускания.
Известен пьезоэлемент (RU 175586, МПК H01L 41/04, опубл. 11.12.2017 г.), принятый в качестве прототипа, выполненный из кристалла кварца среза yzb/(+35°15'…+35°17') в виде прямоугольной пластины, на одной поверхности которой расположен, по меньшей мере, один электрод, имеющий одну контактную площадку в угловой части поверхности, при этом электрод на другой поверхности пластины имеет две контактные площадки, расположенные по диагонали относительно друг друга, а в оставшихся угловых частях обеих поверхностей дополнительно расположены контактные площадки. Каждая контактная площадка, расположенная в каждой угловой части одной поверхности, электрически соединена с контактной площадкой, расположенной под ней на противоположной поверхности. При этом ширина пластины находится в определенном интервале значений, зависящем от толщины пластины.
В прототипе на одной из сторон пластины выполнен электрод с двумя контактными площадками (сплошной электрод). Такая конструкция пьезоэлемента позволяет несколько расширить полосу пропускания примерно на 10% в зависимости от величины межэлектродного зазора, размеров электродов и номинальной частоты. Недостаток известного пьезоэлемента заключается в ограничении возможности расширения полосы пропускания.
Технический результат, на достижение которого направлено изобретение, заключается в создании пьезоэлектрического компонента с расширенной полосой пропускания.
Указанный технический результат достигается тем, что в пьезоэлектрическом компоненте для фильтра, выполненном в виде прямоугольной пьезоэлектрической пластины, на одной из поверхностей которой расположены электроды, имеющие по одной контактной площадке в угловой части поверхности, а на другой поверхности пластины расположен сплошной электрод, имеющий две контактные площадки, расположенные по диагонали относительно друг друга, по центру сплошного электрода выполнено напыление дополнительного слоя металла, ширина которого определяется соотношением: W = E + 2 *k*B,
где W – ширина напыления дополнительного слоя металла, мм;
Е – ширина межэлектродного зазора с обратной стороны пластины, мм;
k – величина, равная 0,1… 0,3;
B – длина электрода, мм.
В оставшихся угловых частях обеих поверхностей пластины могут быть дополнительно расположены контактные площадки, при этом каждая контактная площадка электрически соединена с контактной площадкой, расположенной под ней на противоположной поверхности пластины. В качестве материала пластины может быть использован кварц среза YZb/+35°13´±2´ или танталат лития среза XYs/-49°±2´.
Изобретение поясняется чертежами, на которых на фиг.1 приведен вид пьезоэлектрического компонента (далее – ПЭК) с одной стороны пластины, на фиг.2 приведен вид ПЭК с другой стороны пластины.
ПЭК выполнен в виде прямоугольной пьезоэлектрической пластины 1, на одной из поверхностей которой выполнены электроды 2 и 3, являющиеся сигнальными, при этом электрод 2 является входным, а электрод 3 – выходным. Электроды 2 и 3 выполнены соответственно с контактными площадками 4 и 5 подачи/съема электрического сигнала. На этой же поверхности пластины 1 в свободных углах расположены контактные площадки 6 и 7 заземления. На противоположной стороне пластины 1 выполнен сплошной электрод 8 с контактными площадками 9 и 10, расположенными по диагонали относительно друг друга, соединенные с контактными площадками 6 и 7 соответственно. На этой же поверхности пластины 1 в свободных углах расположены контактные площадки 11 и 12, соединенные соответственно с контактными площадками 4 и 5. По центру сплошного электрода выполнено напыление дополнительного слоя металла 13.
ПЭК работает следующим образом.
При подаче на контактные площадки 4 и 11 электрода 2 входа, расположенного на пластине 1, и контактные площадки 9 и 6 электрода 8 высокочастотного напряжения с частотой, соответствующей основному колебанию сдвига по толщине, в подэлектродной области устанавливается сдвиговая стоячая волна. При определенном зазоре между электродами 2 и 3 между входным резонатором, образованным электродами 2 и 8, и выходным резонатором, образованным электродами 3 и 8, возникает электроакустическая связь, за счет которой сдвиговые колебания входного резонатора передаются в подэлектродную область выходного резонатора, с контактных площадок 5, 7, 10 и 12 которого снимается выходной высокочастотный сигнал.
Контактные площадки 6, 7, 11 и 12 обеспечивают надежное соединение при монтаже ПЭК в корпус фильтра, за счет того что адгезия клея или припоя к металлизированной контактной площадке выше, чем к материалу пьезоэлектрической пластины 1. Контактные площадки 9, 10, 11 и 12 могут быть соединены с соответствующими площадками 6, 7, 4 и 5 путем запыления боковой поверхности пьезоэлектрической пластины 1.
Для обеспечения окончательной подстройки после монтажа в корпус ПЭК монтируются вверх той поверхностью пластины 1, на которую нанесен сплошной электрод 8. В случае монтирования в корпус нескольких ПЭК используются пары ПЭК с зеркальным расположением электродов и контактных площадок, так как сплошной электрод 8 должен монтироваться только на заземленные контактные площадки корпуса.
Для обеспечения расширения полосы пропускания выполнено напыление дополнительного слоя металла 13 в области по центру сплошного электрода 8 шириной равной:
W = E + 2 *k*B,
где W – ширина напыления дополнительного слоя металла, мм;
Е – ширина межэлектродного зазора с обратной стороны пластины, мм;
k – величина, равная 0,1…0,3, подбирается экспериментально в зависимости от размеров и частоты ПЭК;
B – длина электрода, мм.
Выполнение сплошного электрода с напылением по центру дополнительного слоя металла позволяет расширить полосу пропускания в общей сложности на 25-45% в зависимости от частоты, размеров электродов, межэлектродного зазора и толщины напыления дополнительного слоя металла.
Толщина напыления дополнительного слоя металла и его ширина подбираются экспериментально, так как чрезмерное их увеличение может ухудшить другие параметры фильтра.
В качестве материала пьезоэлектрической пластины можно использовать кварц среза YZb/+35°13´±2´ или танталат лития среза XYs/-49°±2´.

Claims (6)

1. Пьезоэлектрический компонент для фильтра, выполненный в виде прямоугольной пьезоэлектрической пластины, в качестве материала которой использован кварц среза YZb/+35°13´±2´ или танталат лития среза XYs/-49°±2´, на одной из поверхностей которой расположены электроды, имеющие по одной контактной площадке в угловой части поверхности, а на другой поверхности пластины выполнен сплошной электрод, имеющий две контактные площадки, расположенные по диагонали относительно друг друга, отличающийся тем, что по центру сплошного электрода выполнено напыление дополнительного слоя металла, ширина которого определяется соотношением: W = E + 2 *k*B, где
W – ширина напыления дополнительного слоя металла, мм;
Е – ширина межэлектродного зазора с обратной стороны пластины, мм;
k – величина, равная 0,1…0,3;
B – длина электрода, мм.
2. Пьезоэлектрический компонент по п.1, отличающийся тем, что в оставшихся угловых частях обеих поверхностей дополнительно расположены контактные площадки, при этом каждая контактная площадка электрически соединена с контактной площадкой, расположенной под ней на противоположной поверхности пластины.
RU2018143902A 2018-12-11 2018-12-11 Пьезоэлектрический компонент для фильтра RU2700374C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2018143902A RU2700374C1 (ru) 2018-12-11 2018-12-11 Пьезоэлектрический компонент для фильтра

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2018143902A RU2700374C1 (ru) 2018-12-11 2018-12-11 Пьезоэлектрический компонент для фильтра

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2700374C1 true RU2700374C1 (ru) 2019-09-16

Family

ID=67989553

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2018143902A RU2700374C1 (ru) 2018-12-11 2018-12-11 Пьезоэлектрический компонент для фильтра

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2700374C1 (ru)

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3564463A (en) * 1966-04-11 1971-02-16 Bell Telephone Labor Inc Monolithic piezoelectric filter having mass loaded electrodes for resonation regions acoustically coupled together
WO1992019043A1 (en) * 1991-04-22 1992-10-29 Motorola, Inc. Surface mountable piezoelectric device with in situ finish plate mask
SU1780144A1 (ru) * 1990-07-31 1992-12-07 Nii Fonon Пьeзoэлemeht
SU1780147A1 (ru) * 1990-11-28 1992-12-07 Nii Fonon Mohoлиthый kpиctaлличeckий фильtp
RU2032252C1 (ru) * 1992-08-10 1995-03-27 Товарищество с ограниченной ответственностью фирма "ФОМОС" Пьезоэлемент
RU175586U1 (ru) * 2017-07-06 2017-12-11 Общество с ограниченной ответственностью НПП "МЕТЕОР-КУРС" Пьезоэлемент

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3564463A (en) * 1966-04-11 1971-02-16 Bell Telephone Labor Inc Monolithic piezoelectric filter having mass loaded electrodes for resonation regions acoustically coupled together
US3564463B1 (ru) * 1966-04-11 1986-02-18
SU1780144A1 (ru) * 1990-07-31 1992-12-07 Nii Fonon Пьeзoэлemeht
SU1780147A1 (ru) * 1990-11-28 1992-12-07 Nii Fonon Mohoлиthый kpиctaлличeckий фильtp
WO1992019043A1 (en) * 1991-04-22 1992-10-29 Motorola, Inc. Surface mountable piezoelectric device with in situ finish plate mask
RU2032252C1 (ru) * 1992-08-10 1995-03-27 Товарищество с ограниченной ответственностью фирма "ФОМОС" Пьезоэлемент
RU175586U1 (ru) * 2017-07-06 2017-12-11 Общество с ограниченной ответственностью НПП "МЕТЕОР-КУРС" Пьезоэлемент

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3378775B2 (ja) 圧電共振子およびその周波数調整方法
US7893793B2 (en) Film bulk acoustic wave resonator and method for manufacturing the same
JP2004147246A (ja) 圧電振動子、それを用いたフィルタ及び圧電振動子の調整方法
JPWO2020095586A1 (ja) 弾性波装置、分波器および通信装置
JP2000138554A (ja) エネルギー閉じ込め型圧電共振子
RU2700374C1 (ru) Пьезоэлектрический компонент для фильтра
RU175586U1 (ru) Пьезоэлемент
JP3262076B2 (ja) 圧電共振子、圧電共振子の周波数調整方法および通信機器
EP1320192A1 (en) Surface acoustic wave filter device
RU2073952C1 (ru) Монолитный кристаллический фильтр
JPS6357967B2 (ru)
JP3912394B2 (ja) 三重モード圧電フィルタの周波数調整方法
JP3595034B2 (ja) 三重モード圧電フィルタ及びその周波数調整方法
US6291923B1 (en) Surface acoustic wave device
WO2002101923A1 (fr) Lame vibrante piezo-electrique et filtre utilisant cette derniere
JPS58687B2 (ja) デンキキカイテキキヨウシンソウチ
WO2002067424A1 (fr) Vibrateur piezo-electrique, filtre de type echelle mettant en oeuvre celui-ci et filtre piezo-electrique a double mode
JPH03139009A (ja) 小型圧電共振子
KR0166579B1 (ko) 에너지 트래핑 압전세라믹필터
JPS58188917A (ja) 圧電フイルタ及びその製造方法
JPH1141057A (ja) 圧電振動部品
JPS62220012A (ja) 圧電振動素子
JPH08154032A (ja) 圧電共振子
RU2066089C1 (ru) Пьезоэлемент
JP3102872B2 (ja) 超薄肉圧電振動子