JP5695191B2 - 弾性波デバイスおよびモジュール - Google Patents
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Description
11a、11b バスバー
12a,12b 櫛型電極
13a、13b 電極指
14 誘電体膜
15 ギャップ
16 反射器
17a,17b ダミー電極指
20 傾斜領域
50 ギャップ領域
52 交差領域
54 バスバー領域
Claims (7)
- 基板と、
前記基板上に形成された誘電体膜と、
前記基板と前記誘電体膜との間に設けられ、それぞれ電極指を含み対向する櫛型電極と、
を備え、
前記基板および誘電体膜の少なくとも一方は圧電体であり、
前記対向する櫛型電極のうち一方の電極指の先端と、前記対向する櫛型電極のうち他方の櫛型電極の間のギャップの上方の前記誘電体膜の上面は、前記電極指の延伸方向に、前記基板の上面に対し傾斜しており、前記基板の上面に対する前記誘電体膜の上面の傾斜角度は30°以上かつ50°以下であることを特徴とする弾性波デバイス。 - 前記誘電体膜の上面は、前記ギャップの上方全体にわたり傾斜していることを特徴とする請求項1記載の弾性波デバイス。
- 前記対向する櫛型電極は、それぞれ前記電極指とバスバーとを含み、前記電極指上の前記誘電体膜の膜厚と、前記バスバー上の前記誘電体膜の膜厚とは異なることを特徴とする請求項1および2記載の弾性波デバイス。
- 前記誘電体膜の上面の傾斜により生じる前記誘電体膜の膜厚差は、前記対向する櫛型電極の膜厚より大きいことを特徴とする請求項1から3のいずれか一項記載の弾性波デバイス。
- 前記対向する櫛型電極を含むIDTを複数有し、前記複数のIDTは前記傾斜角度が異なることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項記載の弾性波デバイス。
- 前記複数のIDTは、ラダー型フィルタの直列共振器に含まれる第1IDTと並列共振器の含まれる第2IDTとを含み、
前記第1IDTと前記第2IDTとで、前記傾斜角度が異なることを特徴とする請求項5記載の弾性波デバイス。 - 前記請求項1から6のいずれか一項記載の弾性波デバイスを含むことを特徴とするモジュール。
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