JP7027079B2 - 弾性波デバイスおよびその製造方法 - Google Patents
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次に実施例1に係る弾性波共振器の製造方法を説明する。図5(a)から図6(b)は、実施例1に係る弾性波共振器の製造方法を示す断面図である。図5(a)に示すように、圧電基板10上に金属膜12を形成する。金属膜12により、IDT22および反射器24が形成される。IDT22および反射器24は、例えばスパッタリング法およびエッチング法、または、蒸着法およびリフトオフ法を用い形成する。
溝部を形成するエッチング条件について検討した。付加膜16を酸化ニオブ膜とし、ドライエッチング装置としてICP(Inductive Coupled Plasma)型エッチング装置を用いた。表1は、エッチング条件AからFにおけるエッチングレートと溝部17dから17fの深さD2を示す表である。
実験1の条件BおよびFを用い、複数のウエハを連続し、エッチングレートのウエハ面内のユニフォミティを測定した。ユニフォミティは(MAX-MIN)/AVR×100[%]である。MAX、MINおよびAVRは、それぞれウエハ面内の最大エッチングレート、ウエハ面内の最小エッチングレート、およびウエハ面内のエッチングレートの平均である。条件Bは溝部の深さD2が6nmの条件であり、条件Fは溝部がほとんど形成されない条件である。条件Fは、条件Bとエッチングレートをほぼ同じとするため、条件BよりICPパワーを大きくしている。
図10(a)から図13は、実施例1の変形例に係る弾性波共振器の断面図である。図10(a)に示すように、金属膜30は設けられていなくてもよい。バスバー領域58の付加膜16dの膜厚は、エッジ領域54の付加膜16bの膜厚と同じでもよい。その他の構成は実施例1の図2(a)と同じであり説明を省略する。
図14(b)は、実施例2の変形例1に係るデュプレクサの回路図である。図14(b)に示すように、共通端子Antと送信端子Txとの間に送信フィルタ70が接続されている。共通端子Antと受信端子Rxとの間に受信フィルタ72が接続されている。送信フィルタ70は、送信端子Txから入力された信号のうち送信帯域の信号を送信信号として共通端子Antに通過させ、他の周波数の信号を抑圧する。受信フィルタ72は、共通端子Antから入力された信号のうち受信帯域の信号を受信信号として受信端子Rxに通過させ、他の周波数の信号を抑圧する。送信フィルタ70および受信フィルタ72の少なくとも一方を実施例2のフィルタとすることができる。
12 金属膜
14 誘電体膜
16、16a-16c 付加膜
17a-17f 溝部
22 IDT
24 反射器
25 櫛歯電極
26 電極指
28 バスバー
50 交差領域
52 中央領域
54 エッジ領域
56 ギャップ領域
58 バスバー領域
60 マスク層
70 送信フィルタ
72 受信フィルタ
Claims (10)
- 圧電基板と、
前記圧電基板上に設けられ、少なくとも一部において各々の電極指が互い違いに配列方向に配列し、前記配列方向で前記各々の電極指が重なる交差領域を形成する一対の櫛歯電極と、
前記交差領域における前記一対の櫛歯電極上方に設けられ、前記各々の電極指の延伸方向における前記交差領域内の中央領域から前記中央領域の両側の前記交差領域のエッジにそれぞれ設けられた一対のエッジ領域にかけてそれぞれ設けられた一対の第1溝部を有し、前記一対の第1溝部の間の前記中央領域には溝部は設けられておらず、前記一対のエッジ領域の膜厚と前記中央領域の膜厚とが異なる付加膜と、
を備える弾性波デバイス。 - 前記一対のエッジ領域の前記付加膜の膜厚は前記中央領域の前記付加膜の膜厚より大きい請求項1記載の弾性波デバイス。
- 前記一対の第1溝部を前記延伸方向で断面視したとき、前記一対の第1溝部の少なくとも一部は傾斜によって形成されている請求項1または2に記載の弾性波デバイス。
- 前記付加膜は、前記延伸方向における前記交差領域の外側の領域における前記一対の櫛歯電極上方に設けられ、前記交差領域から前記外側の領域にかけて設けられた第2溝部を有する請求項1から3のいずれか一項に記載の弾性波デバイス。
- 前記一対の櫛歯電極と前記付加膜との間に誘電体膜を備える請求項1から4のいずれか一項に記載の弾性波デバイス。
- 前記一対の第1溝部は、前記付加膜を貫通する請求項1から5のいずれか一項に記載の弾性波デバイス。
- 前記一対の櫛歯電極を含む弾性波共振器を備える請求項1から6のいずれか一項に記載の弾性波デバイス。
- 前記弾性波共振器を含むフィルタを備える請求項7に記載の弾性波デバイス。
- 前記フィルタを含むマルチプレクサを備える請求項8に記載の弾性波デバイス。
- 少なくとも一部において各々の電極指が互い違いに配列方向に配列し、前記配列方向で前記各々の電極指が重なる交差領域を形成する一対の櫛歯電極を、圧電基板上に形成する工程と、
前記交差領域における前記一対の櫛歯電極上方に付加膜を形成する工程と、
マスク層をマスクに、前記付加膜をドライエッチングすることにより、前記各々の電極指の延伸方向における前記交差領域内の中央領域から前記中央領域の両側の前記交差領域のエッジにそれぞれ設けられた一対のエッジ領域にかけて前記付加膜に一対の第1溝部をそれぞれ形成し、前記一対の第1溝部の間の前記中央領域には溝部を形成せず、かつ前記中央領域の前記付加膜の膜厚と前記一対のエッジ領域の前記付加膜の膜厚とを異ならせる工程と、
を含む弾性波デバイスの製造方法。
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Citations (5)
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---|---|---|---|---|
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WO2012157101A1 (ja) | 2011-05-19 | 2012-11-22 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波デバイスおよびモジュール |
JP2013518455A (ja) | 2010-01-25 | 2013-05-20 | エプコス アーゲー | 横方向放射損失を低減させ,横方向モードの抑制により性能を高めた電気音響変換器 |
JP2016026444A (ja) | 2011-03-22 | 2016-02-12 | スカイワークス・パナソニック フィルターソリューションズ ジャパン株式会社 | 弾性波素子 |
WO2016095967A1 (en) | 2014-12-16 | 2016-06-23 | Epcos Ag | Electroacoustic transducer with improved suppression of unwanted modes |
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