JP2011101350A - ピストンモード音響波装置と高結合係数を提供する方法 - Google Patents
ピストンモード音響波装置と高結合係数を提供する方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011101350A JP2011101350A JP2010212543A JP2010212543A JP2011101350A JP 2011101350 A JP2011101350 A JP 2011101350A JP 2010212543 A JP2010212543 A JP 2010212543A JP 2010212543 A JP2010212543 A JP 2010212543A JP 2011101350 A JP2011101350 A JP 2011101350A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- transducer
- acoustic wave
- bus bar
- gap
- opposing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 title abstract description 14
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 title abstract description 14
- 230000008878 coupling Effects 0.000 title abstract description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 title abstract description 12
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 36
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 claims description 33
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 15
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 15
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 claims description 8
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 claims description 6
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 4
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 3
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 claims description 3
- 239000007769 metal material Substances 0.000 claims 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 11
- 230000005641 tunneling Effects 0.000 abstract description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 13
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 3
- 238000009966 trimming Methods 0.000 description 3
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 2
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-pyrazole-3-carboxylic acid Chemical compound CC1=CC(C(O)=O)=NN1 WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 229910001385 heavy metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N silicon monoxide Chemical compound [Si-]#[O+] LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02818—Means for compensation or elimination of undesirable effects
- H03H9/02858—Means for compensation or elimination of undesirable effects of wave front distortion
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02637—Details concerning reflective or coupling arrays
- H03H9/02685—Grating lines having particular arrangements
- H03H9/02724—Comb like grating lines
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
- H03H9/14517—Means for weighting
- H03H9/1452—Means for weighting by finger overlap length, apodisation
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
- H03H9/14544—Transducers of particular shape or position
- H03H9/1457—Transducers having different finger widths
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
【解決手段】すだれ状電極26は、ギャップ34、36によってトンネル効果を抑制又は排除するために十分に拡張されたエッジギャップ長を、電極の端部と対向するバスバー16,18との間に含む。結果として、長手方向に延びるエッジ領域54,56内での音響波の波速度がトランスデューサ中央領域46での波速度より遅く、対向するギャップ領域38,40での波速度がトランスデューサ中央領域での速度より速くなり、トランスデューサ26の開口部では本質的に均一な伝搬モードが生じる。高結合基板上のSAWトランスデューサ又はSAW共振器では、アポディゼーションを必要とせずにトランスデューサ領域でエネルギーを誘導する。等価結合係数が大きくなり損失が減少する。
【選択図】図8
Description
12 圧電基板
14 表面
16 第1のバスバー
18 第2のバスバー
20 長手方向
22 複数の第1の電極
24 複数の第2の電極
26 すだれ状電極(IDT)
26a アポタイズされたトランスデューサ
28 第1の端部
30 第2の端部
32 エッジ
34 ギャップ
36 ギャップ
38 ギャップ領域
40 ギャップ領域
42 ギャップ34、36の長さ寸法
44 速度
46 トランスデューサ中央領域
50 第1の直角方向に延びる電極部
52 第2の直角方向に延びる電極部
52t 先細り電極部
54 エッジ領域
54a アポタイズされたエッジ領域
56 エッジ領域
56a アポタイズされたエッジ領域
58 第3の直角方向に延びる電極部
60 電極部52の幅寸法
62 電極部50の幅寸法
64 電極部58の幅寸法
66 第1の格子
68 第2の格子
70 IDT26に対向する長手方向の端部
72 IDT26に対向する長手方向の端部
74 事前に選択された電極
76 事前に選択された電極
78 接続バー
80 格子内の電極
82 格子内の電極
84 誘電体層
86 金属層
88 誘電体層
88a 誘電体部
90 共振器
92 第1の誘電体層
94 第2の誘電体層
96 第3の誘電体層
98 ダミー電極
100 ダミー電極領域
102 ダミー電極領域
Claims (27)
- 音響波をサポートするための表面を有する圧電基板と、
第1の細長いバスバー及び対向する第2の細長いバスバーと、
前記第1のバスバーと電気的に接続され、前記第1のバスバーから直角方向に延びる複数の第1の電極と、
前記第2のバスバーと電気的に接続され、前記第2のバスバーから延びる複数の第2の電極と、を含む音響波装置であって、
前記対向するバスバーと前記複数の電極は、前記圧電基板の表面に担持されるすだれ状電極を形成し、
前記複数の電極のそれぞれは、前記第1及び第2のバスバーのうちの一方に電気的に接続された第1の端部と、前記対向するバスバーから隔てられたエッジを有する対向する第2の端部とを有することで各電極の前記エッジと前記対向するバスバーとの間にギャップを形成し、前記対向するバスバーに隣接する前記ギャップは前記トランスデューサに沿って長手方向に延びるギャップ領域を形成し、前記ギャップ長寸法は少なくとも一音響波長であり、
前記複数の電極内の各電極は、前記電気的に接続されたバスバーに隣接し前記ギャップ領域内に概ね含まれる第1の直角方向に延びる部分と、前記エッジに隣接し前記トランスデューサに沿って長手方向に延びるエッジ領域を形成する第2の直角方向に延びる部分と、前記第1及び前記第2の直角方向に延びる部分の間に延在し、トランスデューサ中央領域に含まれる第3の直角方向に延びる電極部分によって更に形成され、
前記長手方向に延びるエッジ領域内の前記音響波の波速度が前記トランスデューサ中央領域内の前記波速度より遅くなるように、前記エッジ領域内の前記第2の直角方向に延びる部分はそれぞれ、前記トランスデューサ中央領域内の前記第3の直角方向に延びる部分とは異なる物理特性を有し、前記対向するギャップ領域内の前記波速度が前記トランスデューサ中央領域での速度より速い、音響波装置。 - 前記対向するエッジ領域内の前記第2の直角方向に延びる部分の幅寸法は、デューティファクタが高まるように、前記ギャップ領域内の前記第1の直角方向に延びる部分及び前記トランスデューサ中央領域内の前記第3の直角方向に延びる部分の幅寸法より大きい請求項1に記載の音響波装置。
- 前記対向するバスバーからそれぞれ延びる複数のダミー電極を更に含み、前記対向するバスバーに隣接するダミー電極領域を形成する請求項1に記載の音響波装置。
- 前記すだれ状電極の対向する長手方向両端に前記基板の前記表面に担持される第1及び第2の格子を更に含む請求項1に記載の音響波装置。
- 前記格子内で事前に選択された、前記トランスデューサから最も隔たった電極が電気的に接続されて短絡される請求項4に記載の音響波装置。
- 前記第1及び第2の格子内にそれぞれ含まれる電極が前記トランスデューサ内の前記電極のように構成される請求項4に記載の音響波装置。
- 前記トランスデューサに沿って長手方向に延びて前記トランスデューサ中央領域内で前記電極部分のみを被覆する誘電体層及び金属層のうちの少なくとも1つを更に含み、前記層によって前記中央領域内の前記音響波の速度が増大する請求項1に記載の音響波装置。
- 前記ギャップ領域、前記エッジ領域、及び前記中央領域内の前記電極部分がアポザイズされたトランスデューサを形成する請求項1に記載の音響波装置。
- 前記中央領域内の電極部分の直角方向の長さ寸法は等しいが、前記エッジ領域の直角方向の長さ寸法は等しくなく、これにより前記トランスデューサ用にアポタイズされたエッジ領域構造が形成される請求項1に記載の音響波装置。
- 前記エッジ領域内のそれぞれの前記電極部分の幅寸法が先細りになっている請求項1に記載の音響波装置。
- 前記先細りの電極部分が、前記中央領域内の前記電極部分の前記幅寸法と等しい第1の幅寸法から、前記ギャップ領域の前記電極部分の前記幅寸法と等しい第2の幅寸法へ先細りになっている請求項10に記載の音響波装置。
- 前記ギャップの長さ寸法が3つの音響波長より長い請求項1に記載の音響波装置。
- 前記トランスデューサに沿って長手方向に延びて前記トランスデューサエッジ領域内の前記電極部分のみを被覆する誘電体層及び金属層のうちの少なくとも1つを更に含み、前記層によって前記エッジ領域内で前記音響波の速度が減少する請求項1に記載の音響波装置。
- 前記トランスデューサの感温性を低下させるために前記トランスデューサを十分に被覆する酸化ケイ素保護膜を更に含む請求項1に記載の音響波装置。
- 前記エッジ長が前記音響波長の1.5倍より短い請求項14に記載の音響波装置。
- 前記電極がアルミニウムより密度の高い金属によって形成される請求項1に記載の音響波装置。
- 前記電極が銅を含む請求項1に記載の音響波装置。
- 前記圧電基板がY+120°〜Y+136°の方位を有するニオブ酸リチウムを含む請求項1に記載の音響波装置。
- 前記エッジ領域内の電極部分のデューティファクタが70〜80%の範囲にある請求項1に記載の音響波装置。
- 弾性表面波装置であって、
音響波を伝搬するための表面を有する圧電基板と、
前記音響波の長手方向の経路に概ね沿って延びる第1の細長いバスバー及び対向する第2の細長いバスバーと、
前記第1のバスバーに電気的に接続され前記第1のバスバーから延びる複数の第1の電極と、
前記第2のバスバーに電気的に接続され前記第2のバスバーから延びる複数の第2の電極と、を含み、
前記対向するバスバーと前記複数の電極は前記音響波伝搬のための前記圧電基板に担持されるすだれ状電極を形成し、前記複数の電極のそれぞれは前記第1及び第2のバスバーのうちの一方に電気的に接続された第1の端部と、前記対向するバスバーから隔てられたエッジを有する対向する第2の端部とを有することで各電極の前記エッジと前記対向するバスバーとの間にギャップを形成し、前記対向するバスバーに隣接する前記ギャップは前記トランスデューサに沿って長手方向に延びるギャップ領域を形成し、前記ギャップ長寸法は少なくとも前記音響波伝搬における一波長であり、
更に、前記トランスデューサを被覆する第1の層と、前記トランスデューサに沿って長手方向に延びて前記エッジ領域内の前記電極部分を被覆する第2の層とを含み、
対向するギャップ領域での前記音響波の速度は前記ギャップ領域間に位置するトランスデューサ中央領域での速度より速く、前記エッジ領域での前記波速度は前記中央領域での波速度より遅く、前記層は誘電体材料及び金属材料のうちの少なくとも1つで形成される、弾性表面波装置。 - 弾性表面波装置であって、
音響波を伝搬するための表面を有する圧電基板と、
前記音響波の経路に概ね沿って延びる第1の細長いバスバー及び対向する第2の細長いバスバーと、
前記第1のバスバーに電気的に接続され前記第1のバスバーから延びる複数の第1の電極と、
前記第2のバスバーに電気的に接続され前記第2のバスバーから延びる複数の第2の電極と、を含み、
前記対向するバスバーと前記複数の電極は前記音響波伝搬のための前記圧電基板に担持されるすだれ状電極を形成し、前記複数の電極のそれぞれは前記第1及び第2のバスバーのうちの一方に電気的に接続された第1の端部と、前記対向するバスバーから隔てられたエッジを有する対向する第2の端部とを有することで各電極の前記エッジと前記対向するバスバーとの間にギャップを形成し、前記対向するバスバーに隣接する前記ギャップは前記トランスデューサに沿って長手方向に延びるギャップ領域を形成し、前記ギャップ長寸法は前記音響波伝搬における波長の少なくとも3倍であり、
更に、前記トランスデューサを被覆する第1の層及び前記トランスデューサに沿って長手方向に延びて前記トランスデューサ中央領域内の前記電極部分のみを被覆する第2の層と、前記トランスデューサを被覆する第1の層及び前記トランスデューサに沿って長手方向に延びて前記ギャップ領域、前記エッジ領域、及び前記中央領域内の前記電極部分を被覆する第2の層と、を含み
対向するギャップ領域での前記音響波の速度は前記ギャップ領域間に位置するトランスデューサ中央領域での速度より速く、前記エッジ領域での前記波速度は前記中央領域での波速度より遅い、前記層が誘電体材料及び金属材料のうちの少なくとも1つで形成される、弾性表面波装置。 - 前記第1及び第2の層を有する前記トランスデューサが、前記中央領域内の前記電極部分のみを被覆する第3の層を更に含む請求項21に記載の音響波装置。
- 前記第1及び第2の層を有する前記トランスデューサが、前記エッジ領域内の前記電極部分のみを被覆する第3の層を更に含む請求項21に記載の音響波装置。
- 音響波を伝搬するための表面を有する圧電基板と、
前記音響波の長手方向の経路に概ね沿って延びる第1の細長いバスバー及び対向する第2の細長いバスバーと、
前記第1のバスバーに電気的に接続され前記第1のバスバーから直角方向に延びる複数の第1の電極と、
前記第2のバスバーに電気的に接続され前記第2のバスバーから延びる複数の第2の電極と、を含む弾性表面波装置であって、
前記対向するバスバーと前記複数の電極は前記音響波伝搬のための前記圧電基板に担持されるすだれ状電極を形成し、
前記複数の電極のそれぞれは前記第1及び第2のバスバーのうちの一方に電気的に接続された第1の端部と、前記対向するバスバーから隔てられたエッジを有する対向する第2の端部とを有することで各電極の前記エッジと前記対向するバスバーとの間にギャップを形成し、前記対向するバスバーに隣接する前記ギャップは前記トランスデューサに沿って長手方向に延びる対向するギャップ領域を形成し、
前記ギャップ長寸法は前記音響波伝搬における波長の少なくとも3倍であり、
前記対向するギャップ領域での前記音響波の速度は前記ギャップ領域間に位置するトランスデューサ中央領域での速度より速く、
前記トランスデューサの開口部内で本質的に均一な伝搬モードが生じる弾性表面波装置。 - 音響波をサポートするための表面を有する圧電基板と、
前記圧電基板上に担持されるすだれ状電極と、
前記すだれ状電極の対向する長手方向両端に前記基板の前記表面に担持される第1及び第2の格子と、を含む音響波装置であって、
前記格子のそれぞれとトランスデューサは、
前記音響波の長手方向の経路に概ね沿って延びる第1の細長いバスバー及び対向する第2の細長いバスバーと、
前記第1のバスバーに電気的に接続され前記第1のバスバーから延びる複数の第1の電極と、
前記第2のバスバーに電気的に接続され前記第2のバスバーから延びる複数の第2の電極と、を含み、
前記複数の電極のそれぞれは前記第1及び第2のバスバーのうちの一方に電気的に接続された第1の端部と、前記対向するバスバーから隔てられたエッジを有する対向する第2の端部とを有することで各電極の前記エッジと前記対向するバスバーとの間にギャップを形成し、前記対向するバスバーに隣接する前記ギャップが、前記トランスデューサに沿って長手方向に延びる対向するギャップ領域内に形成され、
各ギャップの寸法が前記音響波の波長より長く、
対向するギャップ領域での前記音響波の速度は前記ギャップ領域間に位置するトランスデューサ中央領域での速度より速く、
前記トランスデューサの開口部内で伝播モード本質的に均一な伝搬モードが生じる音響波装置。 - 前記対向する格子内で事前に選択された、前記トランスデューサから最も隔たった電極が電気的に接続されて互いに短絡される請求項25に記載の音響波装置。
- 前記すだれ状電極に隣接し且つ前記格子の間で、前記圧電基板に担持される少なくとも1つの追加のすだれ状電極を更に含む請求項25に記載の音響波装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US12/564,305 | 2009-09-22 | ||
US12/564,305 US7939989B2 (en) | 2009-09-22 | 2009-09-22 | Piston mode acoustic wave device and method providing a high coupling factor |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011101350A true JP2011101350A (ja) | 2011-05-19 |
JP5221616B2 JP5221616B2 (ja) | 2013-06-26 |
Family
ID=43756015
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010212543A Active JP5221616B2 (ja) | 2009-09-22 | 2010-09-22 | ピストンモード音響波装置と高結合係数を提供する方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7939989B2 (ja) |
JP (1) | JP5221616B2 (ja) |
DE (1) | DE102010046087A1 (ja) |
Cited By (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012186808A (ja) * | 2011-03-07 | 2012-09-27 | Triquint Semiconductor Inc | トリミング効果とピストンモードでの不安定性を最小化する音響波導波装置および方法 |
KR20120120355A (ko) * | 2010-01-25 | 2012-11-01 | 에프코스 아게 | 횡방향 방출로 인한 손실 감소 및 횡방향 모드의 억제로 인해 개선된 성능을 갖는 전기 음향적 변환기 |
JP2013544041A (ja) * | 2011-03-25 | 2013-12-09 | パナソニック株式会社 | 高次横モード波を抑制した弾性波デバイス |
WO2014192755A1 (ja) | 2013-05-29 | 2014-12-04 | 株式会社村田製作所 | 弾性波フィルタ装置 |
US9035725B2 (en) | 2013-03-25 | 2015-05-19 | Panasonic Corporation | Acoustic wave device |
KR20150144799A (ko) | 2013-05-29 | 2015-12-28 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 탄성파 장치 |
WO2015198897A1 (ja) * | 2014-06-23 | 2015-12-30 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
KR20160075305A (ko) | 2014-12-19 | 2016-06-29 | 다이요 유덴 가부시키가이샤 | 탄성파 디바이스 |
US9413330B2 (en) | 2013-10-03 | 2016-08-09 | Skyworks Panasonic Filter Solutions Japan Co., Ltd. | Elastic wave resonator including a constant pitch region with a tapering width |
JP2016525311A (ja) * | 2013-07-18 | 2016-08-22 | エプコス アクチエンゲゼルシャフトEpcos Ag | 不要なモードの抑制が改善された電気音響変換器 |
KR20160104715A (ko) | 2014-02-04 | 2016-09-05 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 탄성파 장치 |
KR20160145742A (ko) | 2014-05-26 | 2016-12-20 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 탄성파 장치 |
KR20170002667A (ko) | 2014-06-27 | 2017-01-06 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 래더형 필터 |
KR20170068591A (ko) | 2014-11-28 | 2017-06-19 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 탄성파 장치 |
JP2017112603A (ja) * | 2015-12-14 | 2017-06-22 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波共振器、フィルタおよびデュプレクサ |
WO2017110586A1 (ja) * | 2015-12-25 | 2017-06-29 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
JP2018504816A (ja) * | 2014-12-16 | 2018-02-15 | スナップトラック・インコーポレーテッド | 不要なモードの抑制が改善された電気音響変換器 |
WO2018051597A1 (ja) * | 2016-09-13 | 2018-03-22 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置、高周波フロントエンド回路及び通信装置 |
WO2018131360A1 (ja) * | 2017-01-10 | 2018-07-19 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
JP2018125725A (ja) * | 2017-02-01 | 2018-08-09 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波デバイス |
KR20180123562A (ko) | 2016-06-28 | 2018-11-16 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 탄성파 장치 |
JP2019050544A (ja) * | 2017-09-12 | 2019-03-28 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波デバイスおよびその製造方法 |
WO2019123812A1 (ja) * | 2017-12-19 | 2019-06-27 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
US10355668B2 (en) | 2015-01-20 | 2019-07-16 | Taiyo Yuden Co., Ltd. | Acoustic wave device |
US10763822B2 (en) | 2018-01-12 | 2020-09-01 | Taiyo Yuden Co., Ltd. | Acoustic wave resonator, filter, and multiplexer |
US10938371B2 (en) | 2017-05-01 | 2021-03-02 | Taiyo Yuden Co., Ltd. | Acoustic wave resonator, filter, and multiplexer |
US11588469B2 (en) | 2017-10-20 | 2023-02-21 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Acoustic wave device |
Families Citing this family (44)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8294331B2 (en) * | 2009-09-22 | 2012-10-23 | Triquint Semiconductor, Inc. | Acoustic wave guide device and method for minimizing trimming effects and piston mode instabilities |
DE102010053674B4 (de) * | 2010-12-07 | 2017-08-24 | Snaptrack Inc. | Elektroakustischer Wandler |
KR101514742B1 (ko) * | 2010-12-29 | 2015-04-23 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 탄성 표면파 장치 |
US9136458B2 (en) | 2011-03-22 | 2015-09-15 | Skyworks Panasonic Filter Solutions Japan Co., Ltd. | Elastic wave element |
JP5833102B2 (ja) * | 2011-03-28 | 2015-12-16 | 京セラ株式会社 | 弾性波素子およびそれを用いた弾性波装置 |
US9496846B2 (en) * | 2013-02-15 | 2016-11-15 | Skyworks Filter Solutions Japan Co., Ltd. | Acoustic wave device and electronic apparatus including same |
JP6355328B2 (ja) * | 2013-12-19 | 2018-07-11 | 太陽誘電株式会社 | 弾性表面波デバイス及びフィルタ |
JP6441590B2 (ja) * | 2014-05-23 | 2018-12-19 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波デバイス |
WO2015182521A1 (ja) | 2014-05-26 | 2015-12-03 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置及びラダー型フィルタ |
US9484471B2 (en) * | 2014-09-12 | 2016-11-01 | Qorvo Us, Inc. | Compound varactor |
KR101652297B1 (ko) * | 2015-03-31 | 2016-08-31 | (주)와이솔 | Saw 필터 |
DE112016001894B4 (de) * | 2015-04-24 | 2022-02-03 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Vorrichtung für elastische Wellen |
US10284176B1 (en) | 2015-06-03 | 2019-05-07 | Qorvo Us, Inc. | Temperature compensated surface acoustic wave device and methods of manufacturing the same |
KR101989462B1 (ko) * | 2015-06-24 | 2019-06-14 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 필터 장치 |
DE102015118231A1 (de) * | 2015-10-26 | 2017-04-27 | Snaptrack, Inc. | Elektroakustischer Wandler mit reduzierten störenden Transversalmoden |
WO2017086004A1 (ja) | 2015-11-17 | 2017-05-26 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置及びその製造方法 |
KR102636251B1 (ko) * | 2016-02-24 | 2024-02-14 | (주)와이솔 | 횡모드 억제를 위한 표면 탄성파 디바이스 |
DE102016105118A1 (de) * | 2016-03-18 | 2017-09-21 | Snaptrack, Inc. | SAW-Bauelement mit verringerten Störungen durch transversale und SH-Moden und HF-Filter mit SAW-Bauelement |
JP6421899B2 (ja) | 2016-06-27 | 2018-11-14 | 株式会社村田製作所 | 弾性波フィルタ装置 |
JP6465441B2 (ja) * | 2016-07-29 | 2019-02-06 | 太陽誘電株式会社 | マルチプレクサ |
US10469050B2 (en) | 2016-08-19 | 2019-11-05 | Qorvo Us, Inc. | Guided acoustic wave device |
CN110114973B (zh) | 2016-12-26 | 2024-04-26 | 株式会社村田制作所 | 弹性波装置 |
CN110178307B (zh) * | 2017-01-17 | 2023-02-28 | 株式会社村田制作所 | 弹性波装置、高频前端电路以及通信装置 |
WO2018225650A1 (ja) | 2017-06-06 | 2018-12-13 | 株式会社村田製作所 | 弾性波フィルタ装置、マルチプレクサ及び複合フィルタ装置 |
US10840876B2 (en) | 2017-08-23 | 2020-11-17 | Resonant Inc. | Temperature compensated acoustic wave devices |
US10873313B2 (en) | 2017-09-01 | 2020-12-22 | Skyworks Solutions, Inc. | Piston mode lamb wave resonators |
US11316495B2 (en) * | 2017-11-15 | 2022-04-26 | Huawei Technologies Co., Ltd. | Surface acoustic wave device |
CN111492575B (zh) | 2017-12-19 | 2023-09-26 | 株式会社村田制作所 | 弹性波装置 |
DE102018109346B4 (de) * | 2018-04-19 | 2023-11-09 | Rf360 Singapore Pte. Ltd. | Elektroakustischer Resonator, HF-Filter mit vergrößerter benutzbarer Bandbreite und Verfahren zur Herstellung eines elektroakustischen Resonators |
CN109004914B (zh) * | 2018-07-11 | 2022-05-03 | 开元通信技术(厦门)有限公司 | 一种声表面波器件及其制备方法 |
JP7178881B2 (ja) | 2018-11-16 | 2022-11-28 | NDK SAW devices株式会社 | 弾性表面波素子 |
US11177791B2 (en) * | 2019-02-01 | 2021-11-16 | Qorvo Us, Inc. | High quality factor transducers for surface acoustic wave devices |
DE102019119762A1 (de) * | 2019-07-22 | 2021-01-28 | RF360 Europe GmbH | Elektroakustischer Resonator mit reduzierten Störmoden, HF-Filter und Multiplexer |
DE102019120942A1 (de) * | 2019-08-02 | 2021-02-04 | RF360 Europe GmbH | Elektroakustischer Resonator |
US11652466B2 (en) * | 2019-08-29 | 2023-05-16 | Skyworks Solutions, Inc. | Suppression of transverse mode spurious signals in surface acoustic wave devices utilizing a dense film above gap region of interdigital transducer electrodes |
US11677380B2 (en) * | 2019-08-29 | 2023-06-13 | Skyworks Solutions, Inc. | Suppression of transverse mode spurious signals in surface acoustic wave devices utilizing a gap hammer structure |
WO2021226826A1 (zh) * | 2020-05-12 | 2021-11-18 | 华为技术有限公司 | 声表面波滤波器的制作方法及声表面波滤波器 |
CN111934644B (zh) * | 2020-07-31 | 2021-11-02 | 见闻录(浙江)半导体有限公司 | 叉指电极结构及其制造方法和具有该结构的声表面波器件 |
CN115989635A (zh) * | 2020-11-03 | 2023-04-18 | 华为技术有限公司 | 谐振器、滤波器及电子设备 |
US11405020B2 (en) * | 2020-11-26 | 2022-08-02 | Resonant Inc. | Transversely-excited film bulk acoustic resonators with structures to reduce acoustic energy leakage |
CN113437947B (zh) * | 2021-07-06 | 2023-03-28 | 电子科技大学 | 一种基于声子晶体抑制侧边能量辐射的薄膜体声波谐振器 |
CN113839648B (zh) * | 2021-09-14 | 2023-08-29 | 常州承芯半导体有限公司 | 声表面波谐振装置及形成方法、滤波装置及射频前端装置 |
US20230133161A1 (en) * | 2021-10-29 | 2023-05-04 | Qorvo Us, Inc. | Surface acoustic wave (saw) structures with transverse mode suppression |
US20240097646A1 (en) * | 2022-09-21 | 2024-03-21 | RF360 Europe GmbH | Electroacoustic resonator |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0421206A (ja) * | 1990-05-15 | 1992-01-24 | Toshiba Corp | 弾性表面波フィルタ |
JPH11340774A (ja) * | 1998-05-26 | 1999-12-10 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性表面波フィルタ |
JP2000165197A (ja) * | 1998-11-25 | 2000-06-16 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性表面波フィルタ |
JP2000165186A (ja) * | 1998-11-24 | 2000-06-16 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性表面波フィルタ |
Family Cites Families (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20010034613A (ko) * | 1998-03-23 | 2001-04-25 | 에프코스 아게 | 표면파 음향 필터 |
DE10010089A1 (de) * | 2000-03-02 | 2001-09-06 | Epcos Ag | Oberflächenwellenwandler mit optimierter Reflexion |
US6791236B1 (en) * | 2000-10-11 | 2004-09-14 | Yuri Abramov | Method utilizing the saw velocity dispersion effect for weighting by shaping the electrode fingers of a saw interdigital transducer and apparatus produced thereby |
DE10059533A1 (de) | 2000-11-30 | 2002-06-06 | Epcos Ag | Oberflächenwellenbauelement mit Absorber und Verfahren zur Herstellung |
US6922547B2 (en) * | 2001-06-27 | 2005-07-26 | Flarion Technologies, Inc. | Methods and apparatus for supporting group communications |
DE10135871B4 (de) * | 2001-07-24 | 2012-10-25 | Epcos Ag | Wandler für Oberflächenwellen mit verbesserter Unterdrückung störender Anregung |
DE10302633B4 (de) * | 2003-01-23 | 2013-08-22 | Epcos Ag | SAW-Bauelement mit verbessertem Temperaturgang |
DE10309250B4 (de) * | 2003-03-03 | 2015-10-22 | Epcos Ag | Elektroakustischer Wandler für mit Oberflächenwellen arbeitendes Bauelement |
DE10314153A1 (de) * | 2003-03-28 | 2004-10-07 | Epcos Ag | Oberflächenwellen-Anordnung zur breitbandigen Signalübertragung |
DE10325798B4 (de) * | 2003-06-06 | 2015-06-18 | Epcos Ag | SAW-Filter mit verbesserter Selektion oder Isolation |
DE10331323B4 (de) * | 2003-07-10 | 2013-09-05 | Epcos Ag | Mit akustischen Wellen arbeitender Wandler mit Unterdrückung transversaler Moden |
DE10345239B4 (de) * | 2003-09-29 | 2013-09-05 | Epcos Ag | Mit Oberflächenwellen arbeitender Wandler |
DE10352640B4 (de) | 2003-11-11 | 2014-02-13 | Epcos Ag | DMS-Filter |
DE102004037821B4 (de) | 2004-08-04 | 2014-02-13 | Epcos Ag | Filter mit verbessertem symmetrischen Ausgang |
EP1871006B1 (en) * | 2005-04-08 | 2017-07-19 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Elastic wave element |
US7227293B2 (en) * | 2005-05-11 | 2007-06-05 | Tai-Saw Technology Co., Ltd. | Surface acoustic wave device with electro-static discharge protection |
DE102005061800A1 (de) * | 2005-12-23 | 2007-06-28 | Epcos Ag | Mit akustischen Wellen arbeitender Wandler und Filter mit dem Wandler |
EP2239846B1 (en) * | 2006-03-17 | 2016-02-10 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Acoustic wave resonator |
DE102006042546A1 (de) | 2006-09-11 | 2008-03-27 | Epcos Ag | Mit Oberflächenwellen arbeitendes elektrisches Bauelement |
US7576471B1 (en) * | 2007-09-28 | 2009-08-18 | Triquint Semiconductor, Inc. | SAW filter operable in a piston mode |
JP5156448B2 (ja) * | 2008-03-24 | 2013-03-06 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波素子、フィルタ、通信モジュール、および通信装置 |
-
2009
- 2009-09-22 US US12/564,305 patent/US7939989B2/en active Active
-
2010
- 2010-09-20 DE DE102010046087A patent/DE102010046087A1/de not_active Withdrawn
- 2010-09-22 JP JP2010212543A patent/JP5221616B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0421206A (ja) * | 1990-05-15 | 1992-01-24 | Toshiba Corp | 弾性表面波フィルタ |
JPH11340774A (ja) * | 1998-05-26 | 1999-12-10 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性表面波フィルタ |
JP2000165186A (ja) * | 1998-11-24 | 2000-06-16 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性表面波フィルタ |
JP2000165197A (ja) * | 1998-11-25 | 2000-06-16 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性表面波フィルタ |
Cited By (62)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9257960B2 (en) | 2010-01-25 | 2016-02-09 | Epcos Ag | Electroacoustic transducer having reduced losses due to transverse emission and improved performance due to suppression of transverse modes |
KR20120120355A (ko) * | 2010-01-25 | 2012-11-01 | 에프코스 아게 | 횡방향 방출로 인한 손실 감소 및 횡방향 모드의 억제로 인해 개선된 성능을 갖는 전기 음향적 변환기 |
JP2013518455A (ja) * | 2010-01-25 | 2013-05-20 | エプコス アーゲー | 横方向放射損失を低減させ,横方向モードの抑制により性能を高めた電気音響変換器 |
US9673779B2 (en) | 2010-01-25 | 2017-06-06 | Qualcomm Incorporated | Electroacoustic transducer having reduced losses due to transverse emission and improved performance due to suppression of transverse modes |
KR101753862B1 (ko) | 2010-01-25 | 2017-07-04 | 스냅트랙, 인코포레이티드 | 횡방향 방출로 인한 손실 감소 및 횡방향 모드의 억제로 인해 개선된 성능을 갖는 전기 음향적 변환기 |
KR101661796B1 (ko) | 2010-01-25 | 2016-10-10 | 에프코스 아게 | 횡방향 방출로 인한 손실 감소 및 횡방향 모드의 억제로 인해 개선된 성능을 갖는 전기 음향적 변환기 |
JP2012186808A (ja) * | 2011-03-07 | 2012-09-27 | Triquint Semiconductor Inc | トリミング効果とピストンモードでの不安定性を最小化する音響波導波装置および方法 |
JP2013544041A (ja) * | 2011-03-25 | 2013-12-09 | パナソニック株式会社 | 高次横モード波を抑制した弾性波デバイス |
US9035725B2 (en) | 2013-03-25 | 2015-05-19 | Panasonic Corporation | Acoustic wave device |
JPWO2014192755A1 (ja) * | 2013-05-29 | 2017-02-23 | 株式会社村田製作所 | 弾性波フィルタ装置 |
KR20170034939A (ko) | 2013-05-29 | 2017-03-29 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 탄성파 필터장치 |
US9712139B2 (en) | 2013-05-29 | 2017-07-18 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Elastic wave filter device |
KR20150144797A (ko) | 2013-05-29 | 2015-12-28 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 탄성파 필터장치 |
WO2014192755A1 (ja) | 2013-05-29 | 2014-12-04 | 株式会社村田製作所 | 弾性波フィルタ装置 |
US10009009B2 (en) | 2013-05-29 | 2018-06-26 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Elastic wave device including electrode fingers with elongated sections |
KR20150144799A (ko) | 2013-05-29 | 2015-12-28 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 탄성파 장치 |
JP2016525311A (ja) * | 2013-07-18 | 2016-08-22 | エプコス アクチエンゲゼルシャフトEpcos Ag | 不要なモードの抑制が改善された電気音響変換器 |
US10187034B2 (en) | 2013-07-18 | 2019-01-22 | Snaptrack, Inc. | Electroacoustic transducer with improved suppression of unwanted modes |
US9413330B2 (en) | 2013-10-03 | 2016-08-09 | Skyworks Panasonic Filter Solutions Japan Co., Ltd. | Elastic wave resonator including a constant pitch region with a tapering width |
KR20160104715A (ko) | 2014-02-04 | 2016-09-05 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 탄성파 장치 |
DE112015000642B4 (de) | 2014-02-04 | 2019-10-02 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Vorrichtung für elastische Wellen |
US9998092B2 (en) | 2014-02-04 | 2018-06-12 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Elastic wave device |
US10009003B2 (en) | 2014-05-26 | 2018-06-26 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Elastic wave device |
KR20160145742A (ko) | 2014-05-26 | 2016-12-20 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 탄성파 장치 |
DE112015002497B4 (de) | 2014-05-26 | 2022-01-13 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Vorrichtung für elastische Wellen |
US10454449B2 (en) | 2014-06-23 | 2019-10-22 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Elastic wave device |
JPWO2015198897A1 (ja) * | 2014-06-23 | 2017-04-20 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
KR102083803B1 (ko) | 2014-06-23 | 2020-03-03 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 탄성파 장치 |
DE112015002950B4 (de) | 2014-06-23 | 2023-06-29 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Vorrichtung für elastische Wellen |
KR20170007439A (ko) | 2014-06-23 | 2017-01-18 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 탄성파 장치 |
WO2015198897A1 (ja) * | 2014-06-23 | 2015-12-30 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
KR20170002667A (ko) | 2014-06-27 | 2017-01-06 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 래더형 필터 |
US10084431B2 (en) | 2014-06-27 | 2018-09-25 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Ladder filter |
US10171061B2 (en) | 2014-11-28 | 2019-01-01 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Elastic wave device |
DE112015005349B4 (de) | 2014-11-28 | 2023-05-04 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Vorrichtung für elastische Wellen |
KR20170068591A (ko) | 2014-11-28 | 2017-06-19 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 탄성파 장치 |
US10574207B2 (en) | 2014-12-16 | 2020-02-25 | Snaptrack, Inc. | Electroacoustic transducer with improved suppression of unwanted modes |
JP2018504816A (ja) * | 2014-12-16 | 2018-02-15 | スナップトラック・インコーポレーテッド | 不要なモードの抑制が改善された電気音響変換器 |
KR20160075305A (ko) | 2014-12-19 | 2016-06-29 | 다이요 유덴 가부시키가이샤 | 탄성파 디바이스 |
US9641152B2 (en) | 2014-12-19 | 2017-05-02 | Taiyo Yuden Co., Ltd. | Acoustic wave device |
US10355668B2 (en) | 2015-01-20 | 2019-07-16 | Taiyo Yuden Co., Ltd. | Acoustic wave device |
JP2017112603A (ja) * | 2015-12-14 | 2017-06-22 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波共振器、フィルタおよびデュプレクサ |
JPWO2017110586A1 (ja) * | 2015-12-25 | 2017-12-21 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
WO2017110586A1 (ja) * | 2015-12-25 | 2017-06-29 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
US11374550B2 (en) | 2015-12-25 | 2022-06-28 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Elastic wave device |
KR20180123562A (ko) | 2016-06-28 | 2018-11-16 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 탄성파 장치 |
US10707833B2 (en) | 2016-06-28 | 2020-07-07 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Elastic wave device |
KR20190018525A (ko) * | 2016-09-13 | 2019-02-22 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 탄성파 장치, 고주파 프론트 엔드 회로 및 통신 장치 |
WO2018051597A1 (ja) * | 2016-09-13 | 2018-03-22 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置、高周波フロントエンド回路及び通信装置 |
KR102132777B1 (ko) * | 2016-09-13 | 2020-07-10 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 탄성파 장치, 고주파 프론트 엔드 회로 및 통신 장치 |
US10749498B2 (en) | 2016-09-13 | 2020-08-18 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Elastic wave device, high-frequency front end circuit, and communication device |
WO2018131360A1 (ja) * | 2017-01-10 | 2018-07-19 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
JPWO2018131360A1 (ja) * | 2017-01-10 | 2019-11-07 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
JP2018125725A (ja) * | 2017-02-01 | 2018-08-09 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波デバイス |
US10938371B2 (en) | 2017-05-01 | 2021-03-02 | Taiyo Yuden Co., Ltd. | Acoustic wave resonator, filter, and multiplexer |
JP7027079B2 (ja) | 2017-09-12 | 2022-03-01 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波デバイスおよびその製造方法 |
JP2019050544A (ja) * | 2017-09-12 | 2019-03-28 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波デバイスおよびその製造方法 |
US11588469B2 (en) | 2017-10-20 | 2023-02-21 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Acoustic wave device |
JPWO2019123812A1 (ja) * | 2017-12-19 | 2020-11-26 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
US11611325B2 (en) | 2017-12-19 | 2023-03-21 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Acoustic wave device |
WO2019123812A1 (ja) * | 2017-12-19 | 2019-06-27 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
US10763822B2 (en) | 2018-01-12 | 2020-09-01 | Taiyo Yuden Co., Ltd. | Acoustic wave resonator, filter, and multiplexer |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20110068655A1 (en) | 2011-03-24 |
US7939989B2 (en) | 2011-05-10 |
DE102010046087A1 (de) | 2011-08-04 |
JP5221616B2 (ja) | 2013-06-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5221616B2 (ja) | ピストンモード音響波装置と高結合係数を提供する方法 | |
JP5936393B2 (ja) | トリミング効果とピストンモードでの不安定性を最小化する音響波導波装置および方法 | |
JP6477721B2 (ja) | 弾性波装置 | |
JP4943787B2 (ja) | 弾性波デバイス、共振器およびフィルタ | |
JP7178881B2 (ja) | 弾性表面波素子 | |
US8294331B2 (en) | Acoustic wave guide device and method for minimizing trimming effects and piston mode instabilities | |
JP6247377B2 (ja) | 弾性波素子、フィルタ素子および通信装置 | |
KR101753862B1 (ko) | 횡방향 방출로 인한 손실 감소 및 횡방향 모드의 억제로 인해 개선된 성능을 갖는 전기 음향적 변환기 | |
JP5187444B2 (ja) | 弾性表面波装置 | |
JPWO2007108269A1 (ja) | 弾性波共振子 | |
JP2008109413A5 (ja) | ||
JP5338914B2 (ja) | 弾性波素子と、これを用いたデュプレクサおよび電子機器 | |
JPWO2015156232A1 (ja) | 弾性波フィルタ装置 | |
JP2008109413A (ja) | 弾性波デバイスおよびフィルタ | |
JP2014187568A (ja) | 弾性波装置 | |
EP2068444A1 (en) | Acoustic wave filter | |
JP2017112603A (ja) | 弾性波共振器、フィルタおよびデュプレクサ | |
US20210408997A1 (en) | Surface acoustic wave device | |
KR20180123562A (ko) | 탄성파 장치 | |
JP4883089B2 (ja) | 弾性境界波装置 | |
JP7203578B2 (ja) | 弾性表面波素子 | |
JP4345768B2 (ja) | 表面波装置 | |
EP1883157A1 (en) | Boundary acoustic wave device | |
US20190372553A1 (en) | Surface acoustic wave device | |
JP7095745B2 (ja) | 弾性波装置、帯域通過型フィルタ、デュプレクサ及びマルチプレクサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120626 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20120925 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20120928 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20121025 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20121030 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20121126 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20121129 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121225 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130205 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130307 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160315 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 5221616 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |