JP2018125725A - 弾性波デバイス - Google Patents
弾性波デバイス Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018125725A JP2018125725A JP2017016863A JP2017016863A JP2018125725A JP 2018125725 A JP2018125725 A JP 2018125725A JP 2017016863 A JP2017016863 A JP 2017016863A JP 2017016863 A JP2017016863 A JP 2017016863A JP 2018125725 A JP2018125725 A JP 2018125725A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- insulating film
- oxide film
- substrate
- tantalum oxide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Abstract
Description
12 IDT
14 反射器
16 パッド
18 温度補償膜
20 絶縁膜
30、30a 櫛形電極
32 電極指
34 ダミー電極指
36 バスバー
40 交差領域
42 中央領域
44 エッジ領域
46 ギャップ領域
52 下部電極
54 圧電膜
56 上部電極
58 共振領域
60 空隙
100〜400 弾性波デバイス
Claims (8)
- 基板と、
前記基板上に設けられ、弾性波を励振する電極と、
前記電極上に設けられ、チタンが添加された酸化タンタル膜又はチタンが添加された酸化ニオブ膜からなる絶縁膜と、を備える弾性波デバイス。 - 前記絶縁膜は、前記チタンが添加された酸化タンタル膜であり、元素が添加されていない酸化タンタル膜よりもヤング率が大きい、又は、前記チタンが添加された酸化ニオブ膜であり、元素が添加されていない酸化ニオブ膜よりもヤング率が大きい、請求項1記載の弾性波デバイス。
- 前記基板は、圧電基板であり、
前記電極は、櫛形電極である、請求項1または2記載の弾性波デバイス。 - 前記櫛形電極上に設けられ、前記圧電基板の弾性定数の温度係数とは逆符号の温度係数の弾性定数を有する温度補償膜を備える、請求項3記載の弾性波デバイス。
- 前記櫛形電極に含まれる電極指が設けられた領域は、前記電極指の延伸方向における中央に位置する中央領域と、前記電極指の延伸方向におけるエッジに位置するエッジ領域と、を有し、
前記絶縁膜は、前記中央領域と前記エッジ領域とを覆って設けられ、前記中央領域における厚さと前記エッジ領域における厚さとが異なる、請求項3または4記載の弾性波デバイス。 - 前記圧電基板は、タンタル酸リチウム基板又はニオブ酸リチウム基板を含む、請求項3から5のいずれか一項記載の弾性波デバイス。
- 前記基板上に設けられた圧電膜を備え、
前記電極は、前記圧電膜を挟んで設けられた下部電極及び上部電極であり、
前記絶縁膜は、前記上部電極上に設けられている、請求項1または2記載の弾性波デバイス。 - 前記絶縁膜は、前記チタンが添加された酸化タンタル膜であり、チタンの添加量が0.1atom%以上且つ40atom%以下である、又は、前記チタンが添加された酸化ニオブ膜であり、チタンの添加量は0.1atom%以上且つ40atom%以下である、請求項1から7のいずれか一項記載の弾性波デバイス。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017016863A JP6941944B2 (ja) | 2017-02-01 | 2017-02-01 | 弾性波デバイス |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017016863A JP6941944B2 (ja) | 2017-02-01 | 2017-02-01 | 弾性波デバイス |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018125725A true JP2018125725A (ja) | 2018-08-09 |
JP6941944B2 JP6941944B2 (ja) | 2021-09-29 |
Family
ID=63111690
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017016863A Active JP6941944B2 (ja) | 2017-02-01 | 2017-02-01 | 弾性波デバイス |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6941944B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2020095586A1 (ja) * | 2018-11-05 | 2021-09-24 | 京セラ株式会社 | 弾性波装置、分波器および通信装置 |
CN116208119A (zh) * | 2023-04-19 | 2023-06-02 | 深圳新声半导体有限公司 | 声表面波装置及其制造方法 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001148380A (ja) * | 1999-09-24 | 2001-05-29 | Applied Materials Inc | 半導体デバイスにメタル窒化物膜を統合するための方法及び装置 |
JP2003347883A (ja) * | 2002-05-27 | 2003-12-05 | Mitsubishi Electric Corp | 圧電薄膜素子及びその製造方法 |
WO2007138844A1 (ja) * | 2006-05-30 | 2007-12-06 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 弾性波装置 |
JP2011101350A (ja) * | 2009-09-22 | 2011-05-19 | Triquint Semiconductor Inc | ピストンモード音響波装置と高結合係数を提供する方法 |
WO2012090698A1 (ja) * | 2010-12-29 | 2012-07-05 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波装置 |
JP2013055371A (ja) * | 2011-08-31 | 2013-03-21 | Taiyo Yuden Co Ltd | 弾性波デバイス |
JP2013544041A (ja) * | 2011-03-25 | 2013-12-09 | パナソニック株式会社 | 高次横モード波を抑制した弾性波デバイス |
JP2015160983A (ja) * | 2014-02-27 | 2015-09-07 | 新日鐵住金株式会社 | 低熱膨張合金 |
WO2016095967A1 (en) * | 2014-12-16 | 2016-06-23 | Epcos Ag | Electroacoustic transducer with improved suppression of unwanted modes |
-
2017
- 2017-02-01 JP JP2017016863A patent/JP6941944B2/ja active Active
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001148380A (ja) * | 1999-09-24 | 2001-05-29 | Applied Materials Inc | 半導体デバイスにメタル窒化物膜を統合するための方法及び装置 |
JP2003347883A (ja) * | 2002-05-27 | 2003-12-05 | Mitsubishi Electric Corp | 圧電薄膜素子及びその製造方法 |
WO2007138844A1 (ja) * | 2006-05-30 | 2007-12-06 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 弾性波装置 |
JP2011101350A (ja) * | 2009-09-22 | 2011-05-19 | Triquint Semiconductor Inc | ピストンモード音響波装置と高結合係数を提供する方法 |
WO2012090698A1 (ja) * | 2010-12-29 | 2012-07-05 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波装置 |
JP2013544041A (ja) * | 2011-03-25 | 2013-12-09 | パナソニック株式会社 | 高次横モード波を抑制した弾性波デバイス |
JP2013055371A (ja) * | 2011-08-31 | 2013-03-21 | Taiyo Yuden Co Ltd | 弾性波デバイス |
JP2015160983A (ja) * | 2014-02-27 | 2015-09-07 | 新日鐵住金株式会社 | 低熱膨張合金 |
WO2016095967A1 (en) * | 2014-12-16 | 2016-06-23 | Epcos Ag | Electroacoustic transducer with improved suppression of unwanted modes |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2020095586A1 (ja) * | 2018-11-05 | 2021-09-24 | 京セラ株式会社 | 弾性波装置、分波器および通信装置 |
CN116208119A (zh) * | 2023-04-19 | 2023-06-02 | 深圳新声半导体有限公司 | 声表面波装置及其制造方法 |
CN116208119B (zh) * | 2023-04-19 | 2023-07-14 | 深圳新声半导体有限公司 | 声表面波装置及其制造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6941944B2 (ja) | 2021-09-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6662490B2 (ja) | 弾性波装置 | |
TWI762832B (zh) | 聲表面波器件 | |
JP5904591B2 (ja) | 弾性波デバイス | |
JP6185292B2 (ja) | 弾性波デバイス | |
JP4629492B2 (ja) | 圧電薄膜共振子およびフィルタ | |
CN113632376B (zh) | 弹性波装置 | |
JP6368214B2 (ja) | 弾性波デバイス | |
JPWO2005093949A1 (ja) | 弾性境界波装置の製造方法及び弾性境界波装置 | |
CN102904546A (zh) | 一种温度补偿能力可调节的压电声波谐振器 | |
JP5045864B1 (ja) | 弾性波装置の製造方法 | |
CN113872562A (zh) | 表面声波元件 | |
JP2012065304A (ja) | 圧電振動デバイス及びその製造方法、共振周波数の調整方法 | |
CN115549639B (zh) | 一种声波滤波器 | |
CN114665840A (zh) | 弹性波装置 | |
JP7120441B2 (ja) | 弾性波装置 | |
JP6941944B2 (ja) | 弾性波デバイス | |
JP2014135568A (ja) | 圧電薄膜共振器およびフィルタ | |
CN113169725A (zh) | 弹性波装置 | |
JP5390431B2 (ja) | 弾性波デバイス | |
US11108375B2 (en) | Acoustic wave device, method of fabricating the same, filter, and multiplexer | |
JP2019121880A (ja) | 弾性波デバイス、フィルタおよびマルチプレクサ | |
JP2006238211A (ja) | 弾性表面波素子及びその製造方法 | |
JP7033010B2 (ja) | 弾性波デバイス、フィルタおよびマルチプレクサ | |
JP2016213903A (ja) | インタデジタルトランスデューサ | |
JP2015032889A (ja) | 弾性表面波素子、発振器及び電子部品 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200122 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20201117 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20201201 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210128 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210224 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210414 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210817 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210907 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6941944 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |