JP7120441B2 - 弾性波装置 - Google Patents
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Description
2…支持基板
3…エネルギー閉じ込め層
3a,3c,3e…低音響インピーダンス層
3b,3d…高音響インピーダンス層
4…圧電膜
4a…第1の主面
4b…第2の主面
5…第1の櫛型電極
5a…第1の電極指
5b…第1のバスバー
6…第2の櫛型電極
6a…第2の電極指
6b…第2のバスバー
7…IDT電極
8,9…反射器
11,12…音速調整膜
21,31,41,51,61…弾性波装置
52…高音速膜
53…低音速膜
54…エネルギー閉じ込め層
62…中間層
X…キャビティ
Claims (9)
- 支持基板と、
圧電膜と、
前記圧電膜上に設けられたIDT電極と、
前記圧電膜と前記支持基板との間に設けられており、前記圧電膜にエネルギーを閉じ込めるためのエネルギー閉じ込め層と、を備え、
前記エネルギー閉じ込め層が、前記圧電膜側に位置している第1の主面と、前記支持基板側に位置している第2の主面とを有し、
前記圧電膜と前記支持基板との間の少なくとも一部において、前記IDT電極の上方から平面視したときに、前記エネルギー閉じ込め層の前記第1の主面と部分的に重なるように設けられている音速調整膜をさらに備え、
前記音速調整膜が、前記エネルギー閉じ込め層のa)前記第1の主面に接するように、b)前記第2の主面に接するように、またはc)前記第1の主面と前記第2の主面との間に、設けられており、かつ前記圧電膜と異なる材料からなり、
前記IDT電極が、一対のバスバーと、間挿し合う第1及び第2の電極指とを有し、弾性波伝搬方向にみたときに前記第1の電極指と前記第2の電極指とが重なっている領域を交差領域とした場合に、該交差領域が、前記第1,第2の電極指の延びる方向において中央に位置している中央領域と、前記中央領域の両側に配置されたエッジ領域とを有し、前記音速調整膜が、前記エッジ領域の下方または前記バスバーの下方において、前記弾性波伝搬方向に延びるように設けられている、弾性波装置。 - 前記音速調整膜が、前記圧電膜に接するように設けられている、請求項1に記載の弾性波装置。
- 前記IDT電極が正規型のIDT電極である、請求項1または2に記載の弾性波装置。
- 前記エネルギー閉じ込め層が、相対的に音響インピーダンスが低い低音響インピーダンス層と、前記低音響インピーダンス層よりも前記支持基板側に配置されており、相対的に音響インピーダンスが高い、高音響インピーダンス層とを有する、請求項1~3のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記低音響インピーダンス層と、前記高音響インピーダンス層とが交互に複数層積層されている、請求項4に記載の弾性波装置。
- 前記エネルギー閉じ込め層が、伝搬するバルク波の音速が、前記圧電膜を伝搬する弾性波の音速よりも高い、高音速材料層と、
伝搬するバルク波の音速が、前記圧電膜を伝搬するバルク波の音速よりも低い、低音速材料からなる低音速材料層とを有する、請求項1~3のいずれか1項に記載の弾性波装置。 - 前記支持基板が高音速材料からなり、前記高音速材料層と前記支持基板とが同一材料により一体に構成されている、請求項6に記載の弾性波装置。
- 前記エネルギー閉じ込め層が、前記圧電膜側において、前記IDT電極が設けられている部分の下方に位置している開口部を有する、請求項1~3のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記エネルギー閉じ込め層に前記開口部を有する凹部が設けられている、請求項8に記載の弾性波装置。
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