JP2014135568A - 圧電薄膜共振器およびフィルタ - Google Patents
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Abstract
【課題】スプリアスを抑制すること。
【解決手段】基板と、前記基板上に設けられた圧電膜と、前記圧電膜を挟んで設けられた下部電極および上部電極と、前記圧電膜を挟み前記下部電極および上部電極が対向する共振領域50内に、複数のパターン52から形成された負荷膜28と、を具備し、前記複数のパターン52は、前記共振領域50の中央60から外周62に至る経路64において前記複数のパターンを横切りかつ前記中央を囲むように形成されている圧電薄膜共振器。
【選択図】図3
【解決手段】基板と、前記基板上に設けられた圧電膜と、前記圧電膜を挟んで設けられた下部電極および上部電極と、前記圧電膜を挟み前記下部電極および上部電極が対向する共振領域50内に、複数のパターン52から形成された負荷膜28と、を具備し、前記複数のパターン52は、前記共振領域50の中央60から外周62に至る経路64において前記複数のパターンを横切りかつ前記中央を囲むように形成されている圧電薄膜共振器。
【選択図】図3
Description
本発明は、圧電薄膜共振器およびフィルタに関し、例えば負荷膜を含む圧電薄膜共振器およびフィルタに関する。
圧電薄膜共振器を用いた弾性波デバイスは、例えば無線機器等のフィルタとして用いられている。圧電薄膜共振器は、圧電膜を挟み下部電極と上部電極が対向する構造を有している。圧電膜を挟み下部電極と上部電極が対向する領域が共振領域である。特許文献1および2には、共振領域内の一部に負荷膜を形成することが記載されている。
圧電薄膜共振器において、共振周波数の低周波数側または高周波数側にスプリアスが発生することがある。例えば、スプリアスが生じる圧電薄膜共振器を用いてフィルタを形成すると、通過帯域内にリップルが形成される。
本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、スプリアスを抑制することを目的とする。
本発明は、基板と、前記基板上に設けられた圧電膜と、前記圧電膜を挟んで設けられた下部電極および上部電極と、前記圧電膜を挟み前記下部電極および上部電極が対向する共振領域内に、複数のパターンから形成された負荷膜と、を具備し、前記複数のパターンは、前記共振領域の中央から外周に至る経路において前記複数のパターンを横切りかつ前記中央を囲むように形成されていることを特徴とする圧電薄膜共振器である。本発明によれば、スプリアスを抑制することができる。
上記構成において、前記複数のパターンは、前記中央を囲む閉線である構成とすることができる。
上記構成において、前記複数のパターンは、前記共振領域の前記外周の略相似形である構成とすることができる。
上記構成において、前記複数のパターンは、前記経路において、周期的に設けられている構成とすることができる。
上記構成において、前記共振領域は、点対称な形状を有する構成とすることができる。
上記構成において、前記負荷膜は、前記上部電極上に形成される構成とすることができる。
上記構成において、前記共振領域において、前記基板と前記下部電極との間に空隙が形成されている構成とすることができる。
上記構成において、前記共振領域において、前記下部電極下に前記圧電膜を伝搬する弾性波を反射する音響反射膜を具備する構成とすることができる。
本発明は、上記圧電薄膜共振器を含むことを特徴とするフィルタである。
上記構成において、1または複数の直列共振器と1または複数の並列共振器を含み、前記直列共振器の少なくとも1つは前記圧電薄膜共振器である構成とすることができる。
本発明によれば、スプリアスを抑制することができる。
以下、図面を参照に本発明に係る実施例について説明する。
まず、実施例に係る弾性波デバイスが用いられる例としてラダー型フィルタについて説明する。図1は、ラダー型フィルタを示す図である。図1のように、ラダー型フィルタ100は、1または複数の直列共振器S1〜S4および1または複数の並列共振器P1〜P3を備えている。直列共振器S1〜S4は、入出力端子T1とT2との間に直列に接続されている。並列共振器P1〜P3は、入出力端子T1とT2との間に並列に接続されている。
図2(a)は、実施例1の圧電薄膜共振器の上面図、図2(b)および図2(c)は、それぞれ直列共振器および並列共振器の断面図である。図2(a)および図2(b)を参照し、直列共振器Sの構造について説明する。基板10上に、下部電極12が形成されている。基板10の平坦主面と下部電極12との間にドーム状の膨らみを有する空隙30が形成されている。ドーム状の膨らみとは、例えば空隙30の周辺では空隙30の高さが小さく、空隙30の内部ほど空隙30の高さが大きくなるような形状の膨らみである。
下部電極12上に、圧電膜14が設けられている。圧電膜14上に上部電極16が設けられている。圧電膜14を挟み下部電極12と上部電極16とが対向する領域が共振領域50である。共振領域50は、楕円形状を有し、厚み縦振動モードの弾性波が共振する領域である。下部電極12と上部電極16とは圧電膜14の少なくとも一部を挟み対向する。図2(a)から図2(c)のように、下部電極12と上部電極16とは圧電膜14の一部を挟み対向してもよい。上部電極16は下層16aおよび上層16bを含んでいる。上部電極16上に負荷膜28が設けられている。
上部電極16上には周波数調整膜24が設けられている。共振領域50内の積層膜18は、下部電極12、圧電膜14、上部電極16、負荷膜28および周波数調整膜24を含む。周波数調整膜24はパッシベーション膜として機能してもよい。
図2(a)のように、下部電極12には犠牲層をエッチングするための導入路32が形成されている。犠牲層は空隙30を形成するための層である。導入路32の先端付近は圧電膜14で覆われておらず、下部電極12は導入路32の先端に孔部34を有する。図2(a)および図2(b)のように、圧電膜14には下部電極12と電気的に接続するための開口部36が設けられている。開口部36の底の下部電極12の引き出し配線上および/または上部電極16の引き出し配線上には外部接続用のAu等のバンプ用下地膜が設けられていてもよい。
図2(a)および図2(c)を参照し、並列共振器Pの構造について説明する。並列共振器Pは直列共振器Sと比較し、上部電極16の下層16aと上層16bとの間に、質量負荷膜20が設けられている。負荷膜28は設けられていない。よって、積層膜18は直列共振器Sの積層膜に加え、共振領域50内の全面に形成された質量負荷膜20を含み、負荷膜28を含まない。その他の構成は直列共振器Sの図1(b)と同じであり説明を省略する。
直列共振器Sと並列共振器Pとの共振周波数の差は、質量負荷膜20および負荷膜28を用い調整する。直列共振器Sと並列共振器Pとの両方の共振周波数の調整は、周波数調整膜24の膜厚を調整することにより行なう。
基板10としては、シリコン基板、石英基板、ガラス基板、セラミック基板またはGaAs基板等を用いることができる。下部電極12および上部電極16としては、Ru(ルテニウム)、Cr(クロム)、Al(アルミニウム)、Ti(チタン)、Cu(銅)、Mo(モリブデン)、W(タングステン)、Ta(タンタル)、Pt(白金)、Rh(ロジウム)またはIr(イリジウム)等の単層膜またはこれらの積層膜を用いることができる。圧電膜14としては、窒化アルミニウム(AlN)、ZnO(酸化亜鉛)、PZT(チタン酸ジルコン酸鉛)、PbTiO3(チタン酸鉛)等を用いることができる。
周波数調整膜24としては、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜または窒化アルミニウム等を用いることができる。質量負荷膜20および負荷膜28としては、Ti、Ru、Cr、Al、Cu、Mo、W、Ta、Pt、RhもしくはIr等の単層膜を用いることができる。また、例えば窒化シリコンまたは酸化シリコン等の窒化金属または酸化金属からなる絶縁膜を用いることもできる。質量負荷膜20および負荷膜28は、下部電極12の下、下部電極12の層間、上部電極16の上、上部電極16の層間、下部電極12と圧電膜14との間または圧電膜14と上部電極16との間に形成することができる。質量負荷膜20は、共振領域50を含むように形成されていれば、共振領域50より大きくてもよい。負荷膜28は、共振領域50内に複数のパターンを有する。
図3(a)および図3(b)は、負荷膜の例を示す平面図である。図3(a)を参照し、共振領域50は楕円形状を有している。共振領域50内に複数のパターン52を有する負荷膜28が設けられている。図3(b)を参照し、共振領域50は、四角形状を有している。共振領域50内に複数のパターン52を有する負荷膜28が設けられている。図3(a)および図3(b)において、複数のパターン52は、それぞれ共振領域50の相似(homothetic)形状であり、共振領域50の中央60から外周62に至る経路64において周期的に形成されている。
次に、シミュレーション結果について説明する。図4は、シミュレーションに用いた共振領域の断面図である。圧電膜14を挟み下部電極12および上部電極16が形成されている。上部電極16上に負荷膜28が形成されている。負荷膜28は複数のパターン52を有している。パターン52はピッチP0および幅W0を有している。
シミュレーションは、共振領域50の中心と端を結ぶ一次元直線について行なった。各膜の材料および膜厚を以下とした。
負荷膜28: Cu 150nm
上部電極16: Ru 300nm
圧電膜14: AlN 1600nm
下部電極12: Al 300nm
負荷膜28: Cu 150nm
上部電極16: Ru 300nm
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比較例1として負荷膜28を設けない構造についてもシミュレーションを行なった。
図5(a)は、比較例1におけるおける共振器の横方向に伝搬する板波の分散特性(シミュレーション結果)であり、X伝搬成分の波数に対する周波数を示す図、図5(b)は、規格化周波数に対するアドミッタンスを示す図である。図5(a)を参照し、横軸は図4の横方向の波数である。4つのモードが観測される。モードA0は、非対称モードの基底モードである。モードS0は、対称モードの基底モードである。モードA1は、非対称モードの1次モードである。モードS1は、対称モードの1次モードであり、圧電薄膜共振器の主モードである。波数が0において、厚み縦モードの応答が生じる。波数が0より大きい場合、横方向に弾性波が伝搬する。横方向に伝搬した弾性波は共振領域50の端において反射し、スプリアスが発生し易くなる。モードS1の波数が0の周波数が共振周波数fr(この例では約2.03GHz)に対応する。モードS1において、波数が0から大きくなると周波数が低くなる。周波数が約1.87GHzを越えると、周波数は波数にともない高くなる。周波数が1.87GHzと2.03GHzとの間の領域54においてスプリアスが発生しやすくなる。
図5(b)を参照し、規格化周波数は、(周波数f−共振周波数fr)/frにより計算される。共振周波数frと反共振周波数faが観測される。共振周波数frの低周波数側の領域56にスプリアスが発生する。このスプリアスは、図5(a)の領域54におけるスプリアスである。このように、比較例1においては、共振周波数の低周波数側にスプリアスが発生する。
図6(a)は、実施例1における波数に対する周波数、図6(b)は、規格化周波数に対するアドミッタンスを示す図である。シミュレーションしたサンプルは、ピッチP0=π/βとし、β=0.25rad/μm、W0/P0=0.5である。図6(a)を参照し、モードS1が0.5rad/μm周期の波状となる。これにより、領域54が狭くなる。モードS1以外のモードでは、負荷膜28の影響は小さい。図6(b)を参照し、共振周波数frの低周波数側の領域56におけるスプリアスが小さくなっている。
図7(a)から図7(c)は、実施例1における規格化周波数に対するアドミッタンスを示す図である。図7(a)から図7(c)はそれぞれβが0.167rad/μm、0.16rad/μmおよび0.154rad/μmのシミュレーション結果である。いずれの場合もW0/P0=0.5である。βが0.167rad/μmおよび0.16rad/μmでは、共振周波数の低周波数側にスプリアスは観測されない。βが0.154rad/μmでは、スプリアスが観測される。以上のように、βが0.16rad/μmから0.25rad/μmにおいて、スプリアスが抑制される。これは、弾性波の波長をλとしたとき、ピッチP0が2λから3.5λに対応する。
各膜の材料および膜厚を以下とし、その他の条件を実施例1と同じとしシミュレーションした。
負荷膜28: Ru 200nm
上部電極16: Ru 300nm
圧電膜14: AlN 1000nm
下部電極12: Ru 300nm
W0/P0=0.5
β=5/9
負荷膜28: Ru 200nm
上部電極16: Ru 300nm
圧電膜14: AlN 1000nm
下部電極12: Ru 300nm
W0/P0=0.5
β=5/9
図8は、実施例2における周波数に対するアドミッタンスを示す図である。図8を参照し、実施例2においては、共振周波数の低周波数側の領域56にスプリアスが観測されていない。
各膜の材料および膜厚を以下とし、その他の条件を実施例1と同じとしシミュレーションした。負荷膜28を設けず、その他の条件は実施例3と同じ比較例2についてもシミュレーションした。
負荷膜28: Mo 100nm
上部電極16: Mo 100nm
圧電膜14: ZnO 1520nm
下部電極12: Mo 100nm
W0/P0=0.5
β=0.25
負荷膜28: Mo 100nm
上部電極16: Mo 100nm
圧電膜14: ZnO 1520nm
下部電極12: Mo 100nm
W0/P0=0.5
β=0.25
図9(a)および図9(b)は、それぞれ比較例2および実施例3における周波数に対するアドミッタンスを示す図である。図9(a)を参照し、圧電膜14をZnOとすると、共振周波数と反共振周波数との間の領域58にスプリアスが形成される。図9(b)を参照し、負荷膜28を設けることにより、領域58のスプリアスを抑制することができる。
実施例1から3によれば、図3(a)および図3(b)のように、複数のパターン52が、共振領域50の中央60から外周62に至る経路64(例えば直線経路)において複数のパターン52を横切り、かつ中央60を囲むように形成されている。これにより共振領域50を横方向に伝搬する弾性波を抑制することができる。よって、スプリアスを抑制できる。
また、複数のパターン52は、各々一部が共振領域50の中央60を囲むように形成されていれば、横方向の弾性波の伝搬を抑制し、スプリアスを抑制できる。例えば、複数のパターン52のそれぞれは、共振領域50の中央を50%以上囲んでいることが好ましく、75%以上囲んでいることがより好ましい。よりスプリアスを抑制するため、図5(a)および図5(b)のように、複数のパターン52は、共振領域50の中央60を囲む閉線であることが好ましい。例えば、複数のパターン52のそれぞれは、共振領域50の中央60を100%囲んでいることが好ましい。共振領域50の中央60は、共振領域50の幾何学的中心でもよいが、幾何学的中心からずれていてもよい。
さらに、複数のパターン52は、共振領域50の外周の略相似形であることが好ましい。これにより、複数のパターン52は、共振領域50の中央60から外周62にかけて均一に設けられる。よって、よりスプリアスを抑制できる。
さらに、複数のパターン52は、共振領域50の中央60から外周62に向かう経路64において、周期的に設けられていることが好ましい。これにより、複数のパターン52は、共振領域50の中央60から外周62に均一に設けられる。よって、よりスプリアスを抑制できる。
さらに、共振領域50は、点対称な形状を有することが好ましい。これにより、よりスプリアスを抑制できる。共振領域50は、点対称でなくともよく、例えば五角形状等の多角形形状または円形状でもよい。
実施例4は、空隙の構成を変えた例である。図10(a)は、実施例4に係る圧電薄膜共振器の断面図である。図10(a)に示すように、基板10の上面に窪みが形成されている。下部電極12は、基板10上に略平坦に形成されている。これにより、空隙30が、基板10の窪みに形成されている。空隙30は共振領域50に形成されている。その他の構成は、実施例1と同じであり説明を省略する。空隙30は、基板10を貫通するように形成されていてもよい。
実施例4の変形例は、空隙の代わりに音響反射膜を設ける例である。図10(b)は、実施例4の変形例に係る圧電薄膜共振器の断面図である。図10(b)に示すように、共振領域50の下部電極12下に音響反射膜31が形成されている。音響反射膜31は、音響インピーダンスの低い膜30aと音響インピーダンスの高い膜30bとが交互に設けられている。膜30aおよび30bの膜厚は例えばそれぞれλ/4(λは弾性波の波長)程度である。膜30aと膜30bの積層数は任意に設定できる。その他の構成は、実施例1から3と同じであり説明を省略する。
実施例1から4のように、圧電薄膜共振器は、共振領域50において空隙30が基板10と下部電極12との間に形成されているFBAR(Film Bulk Acoustic Resonator)でもよい。また、実施例4の変形例のように、圧電薄膜共振器は、共振領域50において下部電極12下に圧電膜14を伝搬する弾性波を反射する音響反射膜31を備えるSMR(Solidly Mounted Resonator)でもよい。
図1のようなラダー型フィルタ100においては、直列共振器Sの共振周波数が通過帯域の高周波数端となり、並列共振器Pの反共振周波数が通過帯域の低周波数端となる。このため、圧電膜14をAlNとした場合、直列共振器Sにおいて、共振周波数の低周波数側にスプリアスが形成されると、通過帯域内にリップルが形成される。一方、並列共振器Pにおいて、共振周波数の低周波数側にスプリアスが形成されても通過帯域内にリップルは形成されない。よって、少なくとも1つの直接共振器Sは、実施例1または2の圧電薄膜共振器であることが好ましい。直列共振器Sの全てが実施例1、2、4およびその変形例の圧電薄膜共振器であることがより好ましい。並列共振器Pが実施例1、2、4およびその変形例の圧電薄膜共振器でもよい。
一方、圧電膜14をZnOとした場合、共振周波数と反共振周波数との間の領域にスプリアスが形成される。この場合、直列共振器Sおよび並列共振器Pの両方のスプリアスが通過帯域に形成される。よって、直列共振器Sおよび並列共振器Pの両方の全ての共振器を実施例3、4およびその変形例の圧電薄膜共振器とすることが好ましい。これにより、通過帯域内のリップルをより抑制できる。また、直列共振器Sおよび並列共振器Pの少なくとも1つの共振器を実施例3、4およびその変形例の圧電薄膜共振器としてもよい。
さらに、ラダー型フィルタ以外のフィルタに実施例1から4およびその変形例の圧電薄膜共振器を用いてもよい。
以上、本発明の実施例について詳述したが、本発明は係る特定の実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
10 基板
12 下部電極
14 圧電薄膜
16 上部電極
18 積層膜
20 質量負荷膜
24 周波数調整膜
28 負荷膜
50 共振領域
52 パターン
60 中央
62 外周
64 経路
12 下部電極
14 圧電薄膜
16 上部電極
18 積層膜
20 質量負荷膜
24 周波数調整膜
28 負荷膜
50 共振領域
52 パターン
60 中央
62 外周
64 経路
Claims (10)
- 基板と、
前記基板上に設けられた圧電膜と、
前記圧電膜を挟んで設けられた下部電極および上部電極と、
前記圧電膜を挟み前記下部電極および上部電極が対向する共振領域内に、複数のパターンから形成された負荷膜と、
を具備し、
前記複数のパターンは、前記共振領域の中央から外周に至る経路において前記複数のパターンを横切りかつ前記中央を囲むように形成されていることを特徴とする圧電薄膜共振器。 - 前記複数のパターンは、前記中央を囲む閉線であることを特徴とする請求項1記載の圧電薄膜共振器。
- 前記複数のパターンは、前記共振領域の前記外周の略相似形であることを特徴とする請求項2記載の圧電薄膜共振器。
- 前記複数のパターンは、前記経路において、周期的に設けられていることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項記載の圧電薄膜共振器。
- 前記共振領域は、点対称な形状を有することを特徴とする請求項1から4のいずれか一項記載の圧電薄膜共振器。
- 前記負荷膜は、前記上部電極上に形成されることを特徴とする請求項1から5のいずれか一項記載の圧電薄膜共振器。
- 前記共振領域において、前記基板と前記下部電極との間に空隙が形成されていることを特徴とする請求項1から6のいずれか一項記載の圧電薄膜共振器。
- 前記共振領域において、前記下部電極下に前記圧電膜を伝搬する弾性波を反射する音響反射膜を具備することを特徴とする請求項1から6のいずれか一項記載の圧電薄膜共振器。
- 請求項1から8のいずれか一項記載の圧電薄膜共振器を含むことを特徴とするフィルタ。
- 1または複数の直列共振器と1または複数の並列共振器を含み、
前記直列共振器の少なくとも1つは前記圧電薄膜共振器であることを特徴とする請求項9記載のフィルタ。
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