JP2016213903A - インタデジタルトランスデューサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】この目的を達成するために、本発明は、対向するくし電極の電極指が交互に配置された交差領域19を有するIDT電極12を含み、交差領域19は、交差領域19の弾性波伝搬方向の端部に向かうにつれて電極指延伸方向の幅が小さくなり、交差領域19は、中央部に電極指ピッチが実質的に一定である定ピッチ領域21と、定ピッチ領域21の両外側部に定ピッチ領域21の電極指ピッチよりも電極指ピッチの小さい狭ピッチ領域22とを含み、定ピッチ領域21の電極指延伸方向の幅が、定ピッチ領域21の弾性波伝搬方向の端部に向かうにつれて小さくなる構成を有する。
【選択図】図1
Description
11 圧電基板
12 IDT電極
13 反射器
14 間隙
15 くし電極
16 バスバー
17 交差電極指
18 ダミー電極指
19 交差領域
20 ダミー領域
21 定ピッチ領域
22 狭ピッチ領域
23、24、41 誘電体膜
Claims (16)
- 弾性波共振器における圧電基板の上で使用されるインタデジタルトランスデューサ(IDT)であって、
対向するくし電極の電極指が交互に配置された交差領域を有するIDT電極を含み、
前記交差領域は、前記交差領域の弾性波伝搬方向の端部に向かうにつれて電極指延伸方向の幅が小さくなり、
前記交差領域は、中央部に電極指ピッチが実質的に一定である定ピッチ領域と、前記定ピッチ領域の両外側部に前記定ピッチ領域の電極指ピッチよりも電極指ピッチの小さい狭ピッチ領域とを含み、
前記定ピッチ領域の電極指延伸方向の幅が、前記定ピッチ領域の弾性波伝搬方向の端部に向かうにつれて小さくなるインタデジタルトランスデューサ。 - 前記狭ピッチ領域の電極指ピッチは、前記狭ピッチ領域が前記定ピッチ領域に近づく方向に沿って前記定ピッチ領域の電極指ピッチに近づく請求項1のインタデジタルトランスデューサ。
- 前記IDT電極は、電極指の先端部に間隙を介して対向する先端部を有するダミー電極指を含み、
前記ダミー電極指は、前記交差領域の前記端部に向かうにつれて幅が小さくなる前記交差領域の一部分に存在する電極指に対向し、前記交差領域の前記端部に向かうにつれて幅が小さくなる前記交差領域の一部分には存在しない電極指に対向して設けられない請求項1のインタデジタルトランスデューサ。 - 前記IDT電極の弾性波伝播方向の両外側に反射器電極が設けられ、
前記反射器電極の電極指ピッチの平均が、前記IDT電極の電極指ピッチの平均よりも大きい請求項1のインタデジタルトランスデューサ。 - 前記圧電基板の上において前記IDT電極を覆う第1の誘電体と、
前記第1の誘電体を覆う、前記第1の誘電体よりも音速の速い第2の誘電体と
をさらに含み、
前記第2の誘電体は薄膜部と厚膜部を有し、
前記薄膜部は、前記交差領域の前記端部に向かうにつれて幅が小さくなる前記交差領域の一部分には存在しない電極指の先端部の上方に設けられる請求項1のインタデジタルトランスデューサ。 - 前記第2の誘電体は複数膜の層構成を含む請求項5のインタデジタルトランスデューサ。
- 前記定ピッチ領域の弾性波伝搬方向の幅が、前記定ピッチ領域の電極指延伸方向の端部に向かうにつれて小さくなる請求項1のインタデジタルトランスデューサ。
- 弾性波共振器における圧電基板の上で使用されるインタデジタルトランスデューサ(IDT)であって、
対向するくし電極の電極指が交互に配置された交差領域を有するIDT電極を含み、
前記交差領域は、前記交差領域の弾性波伝搬方向の端部に向かうにつれて電極指延伸方向の幅が小さくなり、
前記交差領域は、中央部に電極指ピッチが実質的に一定である定ピッチ領域と、前記定ピッチ領域の両外側部に前記定ピッチ領域の電極指ピッチよりも電極指ピッチの小さい狭ピッチ領域とを含み、
前記定ピッチ領域の弾性波伝搬方向の幅が、前記定ピッチ領域の電極指延伸方向の端部に向かうにつれて小さくなるインタデジタルトランスデューサ。 - 前記定ピッチ領域の電極指延伸方向の幅が、前記定ピッチ領域の弾性波伝搬方向の端部に向かうにつれて小さくなる請求項8のインタデジタルトランスデューサ。
- 前記IDT電極の弾性波伝搬方向の両外側に反射電極が設けられ、
前記反射電極の電極指ピッチの平均が、前記IDT電極の電極指ピッチの平均よりも大きい請求項8のインタデジタルトランスデューサ。 - 前記狭ピッチ領域の電極指ピッチは、弾性波伝搬方向において前記定ピッチ領域の電極指ピッチの100%から前記定ピッチ領域の電極指ピッチの98%まで低下する請求項8のインタデジタルトランスデューサ。
- 前記圧電基板の上において前記IDT電極を覆う第1の誘電体と、
前記第1の誘電体を覆う、前記第1の誘電体よりも音速の速い第2の誘電体と
をさらに含み、
前記第2の誘電体は薄膜部と厚膜部を有し、
前記薄膜部は、前記交差領域の電極指の先端部を覆う領域に設けられる請求項8のインタデジタルトランスデューサ。 - 前記厚膜部は、前記交差領域の弾性波伝搬方向の端部に向かうにつれて電極指延伸方向の幅が小さくなる前記交差領域の一部分に存在する電極指の先端部を覆うように設けられる請求項12のインタデジタルトランスデューサ。
- 前記狭ピッチ領域の電極指延伸方向の幅が、前記狭ピッチ領域の弾性波伝搬方向の端部に向かうにつれて小さくなる請求項1又は8のインタデジタルトランスデューサ。
- 前記狭ピッチ領域の弾性波伝搬方向の幅が、前記狭ピッチ領域の電極指延伸方向の端部に向かうにつれて小さくなる請求項1又は8のインタデジタルトランスデューサ。
- 前記狭ピッチ領域の電極指ピッチの平均が、前記定ピッチ領域の電極指ピッチの平均よりも小さい請求項1又は8のインタデジタルトランスデューサ。
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