JP2003032080A - Ｓａｗ共振子及びラダー型ｓａｗフィルタ - Google Patents
Ｓａｗ共振子及びラダー型ｓａｗフィルタInfo
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- JP2003032080A JP2003032080A JP2001217616A JP2001217616A JP2003032080A JP 2003032080 A JP2003032080 A JP 2003032080A JP 2001217616 A JP2001217616 A JP 2001217616A JP 2001217616 A JP2001217616 A JP 2001217616A JP 2003032080 A JP2003032080 A JP 2003032080A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ＳＡＷ共振子の共振周波数近傍の
低域側のスプリアスを抑圧すると共に、ラダー型ＳＡＷ
フィルタ構成した際の帯域内のリップルを低減する手段
を得る。 【解決手段】 圧電基板上にＩＤＴ電極と反射器
とで構成したＳＡＷ共振子の反射器のピッチＬｒに対す
るＩＤＴ電極のピッチＬｔの比Ｌｔ／Ｌｒを１より小さ
くすると共に、ＩＤＴ電極と反射器との相隣接する電極
指同士の中心間間隔Ｌｔｒを０．５λより小さくてＳＡ
Ｗ共振子を構成する。
低域側のスプリアスを抑圧すると共に、ラダー型ＳＡＷ
フィルタ構成した際の帯域内のリップルを低減する手段
を得る。 【解決手段】 圧電基板上にＩＤＴ電極と反射器
とで構成したＳＡＷ共振子の反射器のピッチＬｒに対す
るＩＤＴ電極のピッチＬｔの比Ｌｔ／Ｌｒを１より小さ
くすると共に、ＩＤＴ電極と反射器との相隣接する電極
指同士の中心間間隔Ｌｔｒを０．５λより小さくてＳＡ
Ｗ共振子を構成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はラダー型ＳＡＷフィ
ルタに関し、特に直列腕に用いるＳＡＷ共振子の共振周
波数近傍のスプリアスを抑圧することにより、帯域内の
リップルを低減したラダー型ＳＡＷフィルタに関する。
ルタに関し、特に直列腕に用いるＳＡＷ共振子の共振周
波数近傍のスプリアスを抑圧することにより、帯域内の
リップルを低減したラダー型ＳＡＷフィルタに関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、ＳＡＷデバイスは通信分野で広く
利用され、高性能、小型、量産性等の優れた特徴を有す
ることから特に携帯電話機等に多く用いられている。最
近、ＳＡＷデバイスの用途の１つとしてＧＰＳ（Global
Positioning System）受信機に用いられる例が多くな
ってきている。これはＳＡＷデバイスが上記の特徴に加
えて高周波化に適していること、低挿入損失であること
等の利点を有しているからである。ＧＰＳシステムは地
上のＧＰＳ無線機が複数のＧＰＳ衛星からの電波を受信
し、これに基づいて無線機の位置を精度よく検出するシ
ステムである。ＧＰＳ衛星から送信される搬送波は１５
７５．４２ＭＨｚ、信号の変調にスペクトラム拡散変調
方式を用いるために、その周波数占有帯域幅は±１．０
２３ＭＨｚである。ところが通過帯域幅±１．０２３Ｍ
Ｈｚを保証するには、温度変化による帯域幅の変化、製
造時においてそれぞれのＳＡＷ共振子の共振周波数のバ
ラツキ等を考慮すると、±１０ＭＨｚ程度の通過帯域幅
が必要であり、しかも帯域内の最大挿入損失は１．５ｄ
Ｂが要求される。そのため比較的広帯域化に適している
ラダー型ＳＡＷフィルタにてＧＰＳ受信機のＲＦ段フィ
ルタを設計することにした。
利用され、高性能、小型、量産性等の優れた特徴を有す
ることから特に携帯電話機等に多く用いられている。最
近、ＳＡＷデバイスの用途の１つとしてＧＰＳ（Global
Positioning System）受信機に用いられる例が多くな
ってきている。これはＳＡＷデバイスが上記の特徴に加
えて高周波化に適していること、低挿入損失であること
等の利点を有しているからである。ＧＰＳシステムは地
上のＧＰＳ無線機が複数のＧＰＳ衛星からの電波を受信
し、これに基づいて無線機の位置を精度よく検出するシ
ステムである。ＧＰＳ衛星から送信される搬送波は１５
７５．４２ＭＨｚ、信号の変調にスペクトラム拡散変調
方式を用いるために、その周波数占有帯域幅は±１．０
２３ＭＨｚである。ところが通過帯域幅±１．０２３Ｍ
Ｈｚを保証するには、温度変化による帯域幅の変化、製
造時においてそれぞれのＳＡＷ共振子の共振周波数のバ
ラツキ等を考慮すると、±１０ＭＨｚ程度の通過帯域幅
が必要であり、しかも帯域内の最大挿入損失は１．５ｄ
Ｂが要求される。そのため比較的広帯域化に適している
ラダー型ＳＡＷフィルタにてＧＰＳ受信機のＲＦ段フィ
ルタを設計することにした。
【０００３】図４はＧＰＳ受信機のＲＦ段に用いるべく
設計したラダー型ＳＡＷフィルタであって、圧電基板上
に形成した複数のＳＡＷ共振子を直列腕Ｘｓ、並列腕Ｘ
ｐ、直列腕Ｘｓと順次梯子状に接続して構成したフィル
タである。ＳＡＷ共振子Ｘｓ、Ｘｐは図５に示すよう
に、圧電基板（図示しない）の主表面上に表面波の伝搬
する方向に沿ってＩＤＴ電極１１を配置すると共に、該
ＩＤＴ電極１１の両側にグレーティング反射器（以下、
反射器と称す）１２ａ、１２ｂを配設して構成する。そ
して、ＩＤＴ電極１１は互いに間挿し合う複数の電極指
を有する一対のくし形電極から形成され、それぞれのく
し形電極から延在するリード電極にて一端子対ＳＡＷ共
振子を構成している。ここで、図５のようにＩＤＴ電極
１１の電極周期をλ、ピッチをＬｔ（Ｌｔ＝λ／２）、
電極指幅をＬ、スペース幅をＳ、交差幅をＷとし、反射
器１２ａ、１２ｂのピッチをＬｒ、ＩＤＴ電極１１と反
射器１２ａ、１２ｂとの相隣接する電極指同士の中心間
間隔をＬｔｒとする。
設計したラダー型ＳＡＷフィルタであって、圧電基板上
に形成した複数のＳＡＷ共振子を直列腕Ｘｓ、並列腕Ｘ
ｐ、直列腕Ｘｓと順次梯子状に接続して構成したフィル
タである。ＳＡＷ共振子Ｘｓ、Ｘｐは図５に示すよう
に、圧電基板（図示しない）の主表面上に表面波の伝搬
する方向に沿ってＩＤＴ電極１１を配置すると共に、該
ＩＤＴ電極１１の両側にグレーティング反射器（以下、
反射器と称す）１２ａ、１２ｂを配設して構成する。そ
して、ＩＤＴ電極１１は互いに間挿し合う複数の電極指
を有する一対のくし形電極から形成され、それぞれのく
し形電極から延在するリード電極にて一端子対ＳＡＷ共
振子を構成している。ここで、図５のようにＩＤＴ電極
１１の電極周期をλ、ピッチをＬｔ（Ｌｔ＝λ／２）、
電極指幅をＬ、スペース幅をＳ、交差幅をＷとし、反射
器１２ａ、１２ｂのピッチをＬｒ、ＩＤＴ電極１１と反
射器１２ａ、１２ｂとの相隣接する電極指同士の中心間
間隔をＬｔｒとする。
【０００４】図６は、圧電基板に４２°ＹカットＸ伝搬
ＬｉＴａＯ３を用い、図５に示すラダー型ＳＡＷ共振子
の諸定数を図６（ｂ）に示すように、直列腕ＳＡＷ共振
子Ｘｓ、並列腕ＳＡＷ共振子Ｘｐのそれぞれの電極対数
Ｎを共に７０対、反射器の本数Ｍを共に１３５本、電極
周期λをそれぞれ２．４５μm、２．５４μm、交差幅を
それぞれ２６λ、４５λに設定し、アルミニウム電極膜
厚を２３００Åとしてシミュレーションにより求めたフ
ィルタのパスバンド特性である。他の定数は図６（ｂ）
に示す通りである。
ＬｉＴａＯ３を用い、図５に示すラダー型ＳＡＷ共振子
の諸定数を図６（ｂ）に示すように、直列腕ＳＡＷ共振
子Ｘｓ、並列腕ＳＡＷ共振子Ｘｐのそれぞれの電極対数
Ｎを共に７０対、反射器の本数Ｍを共に１３５本、電極
周期λをそれぞれ２．４５μm、２．５４μm、交差幅を
それぞれ２６λ、４５λに設定し、アルミニウム電極膜
厚を２３００Åとしてシミュレーションにより求めたフ
ィルタのパスバンド特性である。他の定数は図６（ｂ）
に示す通りである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図６の
フィルタ特性では中心周波数の近傍にＲで示すリップル
があり、このリップルにより挿入損失が１．８ｄＢ程度
となって上述した要求を満たすことができない。このリ
ップルが生じる原因を解明すべくＳＡＷ共振子を試作し
て、その共振特性とリターンロスとを測定した。図７
（ａ）は共振特性、図７（ｂ）は周波数を横軸にしたと
きのリターンロス特性である。このように、共振特性よ
りもリターンロス特性の表示の方がスプリアスの検出が
容易であることが分かる。なお、このＳＡＷ共振子の諸
定数は図６とほぼ同じとしたが、電極膜厚を１８５０
Å、電極周期λを２μｍ、交差幅Ｗを２０λとしたとこ
ろだけが異なる。
フィルタ特性では中心周波数の近傍にＲで示すリップル
があり、このリップルにより挿入損失が１．８ｄＢ程度
となって上述した要求を満たすことができない。このリ
ップルが生じる原因を解明すべくＳＡＷ共振子を試作し
て、その共振特性とリターンロスとを測定した。図７
（ａ）は共振特性、図７（ｂ）は周波数を横軸にしたと
きのリターンロス特性である。このように、共振特性よ
りもリターンロス特性の表示の方がスプリアスの検出が
容易であることが分かる。なお、このＳＡＷ共振子の諸
定数は図６とほぼ同じとしたが、電極膜厚を１８５０
Å、電極周期λを２μｍ、交差幅Ｗを２０λとしたとこ
ろだけが異なる。
【０００６】図７（ａ）の共振特性に生じる共振周波数
の近傍の低域側スプリアスＲ１、あるいは図７（ｂ）の
リターンロス特性に現れるスプリアスＲ１が、ラダー型
ＳＡＷフィルタを構成した際に中心周波数近傍に生じる
リップルの原因であることが確かめられた。本発明は上
記問題を解決するためになされたものであって、ＳＡＷ
共振子の共振周波数近傍のスプリアスＲ１を抑圧するこ
とにより、ラダー型ＳＡＷフィルタを構成した際に中心
周波数近傍に生じるリップルを低減したフィルタを提供
することを目的とする。
の近傍の低域側スプリアスＲ１、あるいは図７（ｂ）の
リターンロス特性に現れるスプリアスＲ１が、ラダー型
ＳＡＷフィルタを構成した際に中心周波数近傍に生じる
リップルの原因であることが確かめられた。本発明は上
記問題を解決するためになされたものであって、ＳＡＷ
共振子の共振周波数近傍のスプリアスＲ１を抑圧するこ
とにより、ラダー型ＳＡＷフィルタを構成した際に中心
周波数近傍に生じるリップルを低減したフィルタを提供
することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明に係るＳＡＷ共振子及びラダー型ＳＡＷフィル
タの請求項１記載の発明は、圧電基板の主表面上に弾性
表面波の伝搬方向に沿ってＩＤＴ電極と、該ＩＤＴ電極
の両側にグレーティング反射器を配置したＳＡＷ共振子
において、前記グレーティング反射器のピッチＬｒに対
する前記ＩＤＴ電極のピッチＬｔの比Ｌｔ／Ｌｒを１よ
り小さくすると共に、ＩＤＴ電極とグレーティング反射
器との相隣接する電極指同士の中心間間隔Ｌｔｒを０．
５λ（λはＩＤＴ電極の電極周期）より小さくしたこと
を特徴とするＳＡＷ共振子である。請求項２記載の発明
は、Ｌｔ／Ｌｒを０．９８、Ｌｔｒを０．４５λとした
ことを特徴とする請求項１に記載のＳＡＷ共振子であ
る。請求項３記載の発明は、請求項１あるいは２に記載
のＳＡＷ共振子を用いて構成したことを特徴とするラダ
ー型ＳＡＷフィルタである。
に本発明に係るＳＡＷ共振子及びラダー型ＳＡＷフィル
タの請求項１記載の発明は、圧電基板の主表面上に弾性
表面波の伝搬方向に沿ってＩＤＴ電極と、該ＩＤＴ電極
の両側にグレーティング反射器を配置したＳＡＷ共振子
において、前記グレーティング反射器のピッチＬｒに対
する前記ＩＤＴ電極のピッチＬｔの比Ｌｔ／Ｌｒを１よ
り小さくすると共に、ＩＤＴ電極とグレーティング反射
器との相隣接する電極指同士の中心間間隔Ｌｔｒを０．
５λ（λはＩＤＴ電極の電極周期）より小さくしたこと
を特徴とするＳＡＷ共振子である。請求項２記載の発明
は、Ｌｔ／Ｌｒを０．９８、Ｌｔｒを０．４５λとした
ことを特徴とする請求項１に記載のＳＡＷ共振子であ
る。請求項３記載の発明は、請求項１あるいは２に記載
のＳＡＷ共振子を用いて構成したことを特徴とするラダ
ー型ＳＡＷフィルタである。
【０００８】
【発明の実施の形態】本発明についての理解を深めるた
めに、本発明の説明に先立って本発明に至るまでの経緯
を簡単に説明する。まず、ＳＡＷ共振子の諸定数を設定
してシミュレーションによって得られた共振特性、リタ
ーンロス特性が、実際に試作し測定したＳＡＷ共振子の
特性とどの程度一致するかのを確かめることにした。シ
ミュレーションによって得られた共振特性及びリターン
ロス特性を図８（ａ）、（ｂ）に示す。図７（ａ）、
（ｂ）のそれぞれの特性と比較すると、共振周波数近傍
とそれより低域側では比較的よく一致することが確認で
きた。
めに、本発明の説明に先立って本発明に至るまでの経緯
を簡単に説明する。まず、ＳＡＷ共振子の諸定数を設定
してシミュレーションによって得られた共振特性、リタ
ーンロス特性が、実際に試作し測定したＳＡＷ共振子の
特性とどの程度一致するかのを確かめることにした。シ
ミュレーションによって得られた共振特性及びリターン
ロス特性を図８（ａ）、（ｂ）に示す。図７（ａ）、
（ｂ）のそれぞれの特性と比較すると、共振周波数近傍
とそれより低域側では比較的よく一致することが確認で
きた。
【０００９】そこで、シミュレーションにより種々の電
極パターンについて、共振周波数近傍の低周波側に生じ
るスプリアスの挙動を調べることとした。周知のよう
に、Ｌｔ／Ｌｒを１より小さく設定することにより、Ｉ
ＤＴ電極が呈する放射コンダクタンス最大の周波数ｆｔ
が、反射器の呈するストップバンドの中心周波数ｆｒよ
り低域側に生じるために、反射器のピッチＬｒをＬｔよ
り大きくして、ストップバンドの中心周波数ｆｒをｆｔ
に近づけ、ＳＡＷデバイスのＱ値を改善するすることが
できる。そこで、ＳＡＷ共振子において反射器のピッチ
Ｌｒに対するＩＤＴ電極のピッチＬｔの比Ｌｔ／Ｌｒを
従来の値から小さくして０．９８とし、他の定数は図７
に使用した諸定数を用いた場合の共振特性及びリターン
ロス特性を測定した例が図９（ａ）、（ｂ）である。し
かしながら、図９（ａ）、（ｂ）より明らかなように測
定した共振近傍のスプリアスＲ１は改善ですず、むしろ
Ｌｔ＝Ｌｒの場合に比べて大きくなるという問題があっ
た。
極パターンについて、共振周波数近傍の低周波側に生じ
るスプリアスの挙動を調べることとした。周知のよう
に、Ｌｔ／Ｌｒを１より小さく設定することにより、Ｉ
ＤＴ電極が呈する放射コンダクタンス最大の周波数ｆｔ
が、反射器の呈するストップバンドの中心周波数ｆｒよ
り低域側に生じるために、反射器のピッチＬｒをＬｔよ
り大きくして、ストップバンドの中心周波数ｆｒをｆｔ
に近づけ、ＳＡＷデバイスのＱ値を改善するすることが
できる。そこで、ＳＡＷ共振子において反射器のピッチ
Ｌｒに対するＩＤＴ電極のピッチＬｔの比Ｌｔ／Ｌｒを
従来の値から小さくして０．９８とし、他の定数は図７
に使用した諸定数を用いた場合の共振特性及びリターン
ロス特性を測定した例が図９（ａ）、（ｂ）である。し
かしながら、図９（ａ）、（ｂ）より明らかなように測
定した共振近傍のスプリアスＲ１は改善ですず、むしろ
Ｌｔ＝Ｌｒの場合に比べて大きくなるという問題があっ
た。
【００１０】次に、Ｌｔ／Ｌｒ＝１．０としたまま、Ｉ
ＤＴ電極と反射器との相隣接する電極指同士の中心間間
隔Ｌｔｒを従来の０．５λから０．４５λに小さくした
場合の共振特性、リターンロス特性をシミュレーション
により求めたものが図１０（ａ）、（ｂ）である。この
場合も共振周波数近傍のスプリアスＲ１は改善できず、
むしろＬｔｒ＝０．５λのときよりも大きくなるという
問題があった。以上、周知の電極配置ではスプリアスを
低減することができないことが分かった。そして種々の
検討を重ねた結果、本発明を見出したのである。
ＤＴ電極と反射器との相隣接する電極指同士の中心間間
隔Ｌｔｒを従来の０．５λから０．４５λに小さくした
場合の共振特性、リターンロス特性をシミュレーション
により求めたものが図１０（ａ）、（ｂ）である。この
場合も共振周波数近傍のスプリアスＲ１は改善できず、
むしろＬｔｒ＝０．５λのときよりも大きくなるという
問題があった。以上、周知の電極配置ではスプリアスを
低減することができないことが分かった。そして種々の
検討を重ねた結果、本発明を見出したのである。
【００１１】以下本発明を図面に示した実施の形態に基
づいて詳細に説明する。図１（ａ）は本発明に係るＳＡ
Ｗ共振子の電極パターンの構成を示す平面図であって、
圧電基板（図示しない）の主表面上に表面波の伝搬する
方向に沿ってＩＤＴ電極１を配置すると共に、該ＩＤＴ
電極１の両側に反射器２ａ、２ｂを配設してＳＡＷ共振
子を構成する。そして、ＩＤＴ電極１は互いに間挿し合
う複数の電極指を有する一対のくし形電極から形成さ
れ、それぞれのくし形電極から延在するリード電極にて
一端子対ＳＡＷ共振子を構成している。なお、図１に示
すようにＩＤＴ電極１の対数をＮ、電極周期をλ、ピッ
チをＬｔ（Ｌｔ＝λ／２）、電極指幅をＬ、スペース幅
をＳ、交差幅をＷとし、反射器２ａ、２ｂの本数をＭ、
ピッチをＬｒ、ＩＤＴ電極１と反射器２ａ、２ｂとの相
隣接する電極指同士の中心間間隔をＬｔｒとする。
づいて詳細に説明する。図１（ａ）は本発明に係るＳＡ
Ｗ共振子の電極パターンの構成を示す平面図であって、
圧電基板（図示しない）の主表面上に表面波の伝搬する
方向に沿ってＩＤＴ電極１を配置すると共に、該ＩＤＴ
電極１の両側に反射器２ａ、２ｂを配設してＳＡＷ共振
子を構成する。そして、ＩＤＴ電極１は互いに間挿し合
う複数の電極指を有する一対のくし形電極から形成さ
れ、それぞれのくし形電極から延在するリード電極にて
一端子対ＳＡＷ共振子を構成している。なお、図１に示
すようにＩＤＴ電極１の対数をＮ、電極周期をλ、ピッ
チをＬｔ（Ｌｔ＝λ／２）、電極指幅をＬ、スペース幅
をＳ、交差幅をＷとし、反射器２ａ、２ｂの本数をＭ、
ピッチをＬｒ、ＩＤＴ電極１と反射器２ａ、２ｂとの相
隣接する電極指同士の中心間間隔をＬｔｒとする。
【００１２】反射器のピッチＬｒに対するＩＤＴ電極の
ピッチＬｔの比、Ｌｔ／Ｌｒを１より小さく設定して
も、あるいはＩＤＴ電極と反射器との相隣接する電極指
同士の中心間間隔Ｌｔｒを０．５λより小さく設定して
も共振周波数の近傍の低域側に生じるスプリアスが大き
くなることは前述の通りである。ところが種々の検討と
実験を重ねるうち、Ｌｔ／Ｌｒを０．９８、Ｌｔｒを
０．４５λ、他の定数は図１（ｂ）に示すように、ＩＤ
Ｔ電極１の対数Ｎを７０対、反射器２ａ、２ｂの本数Ｍ
を１３５本、電極周期λを２．０μm、交差幅Ｗを２０
λに設定したＳＡＷ共振子を試作し、その共振特性とリ
ターンロス特性を測定したところ、図２（ａ）、（ｂ）
にそれぞれＲ１で示すように、共振周波数近傍の低域側
のスプリアスが大幅に抑圧されることが判明した。周知
のように、ラダー型フィルタの基本区間は図１０（ａ）
に示すように、並列腕の共振子Ｘｐと直列腕の共振子Ｘ
ｓとから構成され、それぞれの腕のリアクタンス曲線は
同図（ｂ）のように設定される。即ち、並列腕共振子Ｘ
ｐの反共振周波数と直列腕共振子Ｘｓの共振周波数とを
ほぼ一致するように設定すると、その周波数を中心周波
数として、図１０（ｂ）に示すようにバンドパスフィル
タＦが形成される。つまり、直列腕のＳＡＷ共振子の共
振周波数近傍の低域側にスプリアスが存在すると、フィ
ルタの中心周波数近傍にリップルを生ずることになる。
ピッチＬｔの比、Ｌｔ／Ｌｒを１より小さく設定して
も、あるいはＩＤＴ電極と反射器との相隣接する電極指
同士の中心間間隔Ｌｔｒを０．５λより小さく設定して
も共振周波数の近傍の低域側に生じるスプリアスが大き
くなることは前述の通りである。ところが種々の検討と
実験を重ねるうち、Ｌｔ／Ｌｒを０．９８、Ｌｔｒを
０．４５λ、他の定数は図１（ｂ）に示すように、ＩＤ
Ｔ電極１の対数Ｎを７０対、反射器２ａ、２ｂの本数Ｍ
を１３５本、電極周期λを２．０μm、交差幅Ｗを２０
λに設定したＳＡＷ共振子を試作し、その共振特性とリ
ターンロス特性を測定したところ、図２（ａ）、（ｂ）
にそれぞれＲ１で示すように、共振周波数近傍の低域側
のスプリアスが大幅に抑圧されることが判明した。周知
のように、ラダー型フィルタの基本区間は図１０（ａ）
に示すように、並列腕の共振子Ｘｐと直列腕の共振子Ｘ
ｓとから構成され、それぞれの腕のリアクタンス曲線は
同図（ｂ）のように設定される。即ち、並列腕共振子Ｘ
ｐの反共振周波数と直列腕共振子Ｘｓの共振周波数とを
ほぼ一致するように設定すると、その周波数を中心周波
数として、図１０（ｂ）に示すようにバンドパスフィル
タＦが形成される。つまり、直列腕のＳＡＷ共振子の共
振周波数近傍の低域側にスプリアスが存在すると、フィ
ルタの中心周波数近傍にリップルを生ずることになる。
【００１３】図３（ａ）は、図４に示したラダー型ＳＡ
Ｗフィルタの直列腕Ｘｓに図２に示した本発明のＳＡＷ
共振子を用い、並列腕Ｘｐには従来の設計のＳＡＷ共振
子を用いて構成したラダー型ＳＡＷフィルタのパスバン
ド特性である。また、図３（ｂ）には直列腕Ｘｓ、並列
腕ＸｐそれぞれのＳＡＷ共振子の諸定数を示す。図３
（ａ）のフィルタ特性から明らかなように中心周波数１
５７５．４２ＭＨｚ±１０ＭＨｚの範囲内には、挿入損
失が１．５ｄＢ以上となるようなスプリアスは存在しな
いことが分かる。Ｒで示すスプリアスは±１０ＭＨｚの
帯域外にあり、何らＧＰＳ無線機の要求性能には差し支
えない。
Ｗフィルタの直列腕Ｘｓに図２に示した本発明のＳＡＷ
共振子を用い、並列腕Ｘｐには従来の設計のＳＡＷ共振
子を用いて構成したラダー型ＳＡＷフィルタのパスバン
ド特性である。また、図３（ｂ）には直列腕Ｘｓ、並列
腕ＸｐそれぞれのＳＡＷ共振子の諸定数を示す。図３
（ａ）のフィルタ特性から明らかなように中心周波数１
５７５．４２ＭＨｚ±１０ＭＨｚの範囲内には、挿入損
失が１．５ｄＢ以上となるようなスプリアスは存在しな
いことが分かる。Ｒで示すスプリアスは±１０ＭＨｚの
帯域外にあり、何らＧＰＳ無線機の要求性能には差し支
えない。
【００１４】以上のように、本発明の特徴はラダー型Ｓ
ＡＷフィルタを構成するＳＡＷ共振子のうち、少なくと
も直列腕のＳＡＷ共振子については、反射器のピッチＬ
ｒに対するＩＤＴ電極のピッチＬｔの比、Ｌｔ／Ｌｒを
１より小さくすると同時に、ＩＤＴ電極と反射器との相
隣接する電極指同士の中心間間隔Ｌｔｒを０．５λより
小さくしてＳＡＷ共振子を構成したことである。
ＡＷフィルタを構成するＳＡＷ共振子のうち、少なくと
も直列腕のＳＡＷ共振子については、反射器のピッチＬ
ｒに対するＩＤＴ電極のピッチＬｔの比、Ｌｔ／Ｌｒを
１より小さくすると同時に、ＩＤＴ電極と反射器との相
隣接する電極指同士の中心間間隔Ｌｔｒを０．５λより
小さくしてＳＡＷ共振子を構成したことである。
【００１５】以上の説明では圧電基板に４２°Ｙカット
Ｘ伝搬ＬｉＴａＯ３を用いて説明したが、この切断角度
に限定する必要はなく、他の切断角度でもよい。また、
圧電基板としてニオブ酸リチウム、ランガサイト、四硼
酸リチウム等に適用できることは説明するまでもない。
Ｘ伝搬ＬｉＴａＯ３を用いて説明したが、この切断角度
に限定する必要はなく、他の切断角度でもよい。また、
圧電基板としてニオブ酸リチウム、ランガサイト、四硼
酸リチウム等に適用できることは説明するまでもない。
【００１６】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成した
ので、請求項１に記載の発明は共振周波数近傍の低域側
のスプリアスを抑圧できるという優れた効果を表す。請
求項２に記載の発明はＬｔ／Ｌｒ及びＬｔｒの値を実用
に適した値に設定したという利点がある。請求項３に記
載の発明は請求項１あるいは２に記載の発明であるＳＡ
Ｗ共振子を用いてラダー型ＳＡＷフィルタを構成したの
で、要求される帯域内においての挿入損失変化が１．５
ｄＢより小さくできるという優れた効果を表す。
ので、請求項１に記載の発明は共振周波数近傍の低域側
のスプリアスを抑圧できるという優れた効果を表す。請
求項２に記載の発明はＬｔ／Ｌｒ及びＬｔｒの値を実用
に適した値に設定したという利点がある。請求項３に記
載の発明は請求項１あるいは２に記載の発明であるＳＡ
Ｗ共振子を用いてラダー型ＳＡＷフィルタを構成したの
で、要求される帯域内においての挿入損失変化が１．５
ｄＢより小さくできるという優れた効果を表す。
【図１】（ａ）は本発明に係るＳＡＷ共振子の構成を示
す平面図、（ｂ）は試作したＳＡＷ共振子の諸定数であ
る。
す平面図、（ｂ）は試作したＳＡＷ共振子の諸定数であ
る。
【図２】本発明のＳＡＷ共振子の（ａ）は共振特性、
（ｂ）はリターンロス特性である。
（ｂ）はリターンロス特性である。
【図３】（ａ）は本発明のＳＡＷ共振子を直列腕に用い
たラダー型ＳＡＷフィルタのパスバンド特性、（ｂ）は
そのときのＳＡＷ共振子の諸定数の一覧表である。
たラダー型ＳＡＷフィルタのパスバンド特性、（ｂ）は
そのときのＳＡＷ共振子の諸定数の一覧表である。
【図４】ラダー型ＳＡＷフィルタの回路構成を示す図で
ある。
ある。
【図５】ＳＡＷ共振子の構成を示す平面図である。
【図６】（ａ）はラダー型ＳＡＷフィルタのパスバンド
特性、（ｂ）はそのときのＳＡＷ共振子の諸定数の一覧
表である。
特性、（ｂ）はそのときのＳＡＷ共振子の諸定数の一覧
表である。
【図７】測定したＳＡＷ共振子の（ａ）は共振特性、
（ｂ）はリターンロス特性である。
（ｂ）はリターンロス特性である。
【図８】シミュレーションによって得られたＳＡＷ共振
子の（ａ）は共振特性、（ｂ）はリターンロス特性であ
る。
子の（ａ）は共振特性、（ｂ）はリターンロス特性であ
る。
【図９】測定したＳＡＷ共振子の（ａ）は共振特性、
（ｂ）はリターンロス特性である。
（ｂ）はリターンロス特性である。
【図１０】シミュレーションによって得られたＳＡＷ共
振子の（ａ）は共振特性、（ｂ）はリターンロス特性で
ある。
振子の（ａ）は共振特性、（ｂ）はリターンロス特性で
ある。
【図１１】（ａ）はラダー型基本区間の回路構成を示す
図、（ｂ）はそれぞれのリアクタンス曲線と構成される
フィルタのフィルタ特性を示す図である。
図、（ｂ）はそれぞれのリアクタンス曲線と構成される
フィルタのフィルタ特性を示す図である。
１・・ＩＤＴ電極
２ａ、２ｂ・・グレーティング反射器
λ・・ＩＤＴ電極の電極周期
Ｌｔ・・ＩＤＴ電極のピッチ
Ｌ・・ＩＤＴ電極の電極指幅
Ｓ・・ＩＤＴ電極のスペース幅
Ｌｒ・・グレーティング反射器のピッチ
Ｌｔｒ・・ＩＤＴ電極とグレーティング反射器との相隣
接する電極指同士の中心間隔 Ｒ・・ラダー型ＳＡＷフィルタの中心周波数近傍のスプ
リアス Ｒ１・・ＳＡＷ共振子の共振周波数近傍の低域側のスプ
リアス
接する電極指同士の中心間隔 Ｒ・・ラダー型ＳＡＷフィルタの中心周波数近傍のスプ
リアス Ｒ１・・ＳＡＷ共振子の共振周波数近傍の低域側のスプ
リアス
Claims (3)
- 【請求項１】 圧電基板の主表面上に弾性表面波の伝搬
方向に沿ってＩＤＴ電極と、該ＩＤＴ電極の両側にグレ
ーティング反射器を配置したＳＡＷ共振子において、 前記グレーティング反射器のピッチＬｒに対する前記Ｉ
ＤＴ電極のピッチＬｔの比Ｌｔ／Ｌｒを１より小さくす
ると共に、ＩＤＴ電極とグレーティング反射器との相隣
接する電極指同士の中心間間隔Ｌｔｒを０．５λ（λは
ＩＤＴ電極の電極周期）より小さくしたことを特徴とす
るＳＡＷ共振子。 - 【請求項２】 Ｌｔ／Ｌｒを０．９８、Ｌｔｒを０．４
５λとしたことを特徴とする請求項１に記載のＳＡＷ共
振子。 - 【請求項３】 請求項１あるいは２に記載のＳＡＷ共振
子を用いて構成したことを特徴とするラダー型ＳＡＷフ
ィルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001217616A JP2003032080A (ja) | 2001-07-18 | 2001-07-18 | Ｓａｗ共振子及びラダー型ｓａｗフィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001217616A JP2003032080A (ja) | 2001-07-18 | 2001-07-18 | Ｓａｗ共振子及びラダー型ｓａｗフィルタ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003032080A true JP2003032080A (ja) | 2003-01-31 |
| JP2003032080A5 JP2003032080A5 (ja) | 2005-02-24 |
Family
ID=19051903
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001217616A Pending JP2003032080A (ja) | 2001-07-18 | 2001-07-18 | Ｓａｗ共振子及びラダー型ｓａｗフィルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003032080A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100678797B1 (ko) | 2003-08-29 | 2007-02-05 | 세이코 엡슨 가부시키가이샤 | 표면 탄성파 소자 및 이를 포함한 전자 기기 |
| JP2009212572A (ja) * | 2008-02-29 | 2009-09-17 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 弾性波共振子及びラダー型フィルタ |
| JP2016213903A (ja) * | 2016-09-20 | 2016-12-15 | スカイワークスフィルターソリューションズジャパン株式会社 | インタデジタルトランスデューサ |
| JP2017229016A (ja) * | 2016-06-24 | 2017-12-28 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波フィルタ、デュプレクサおよびマルチプレクサ |
| WO2018003296A1 (ja) * | 2016-06-29 | 2018-01-04 | 株式会社村田製作所 | マルチプレクサ、高周波フロントエンド回路及び通信装置 |
| WO2018003297A1 (ja) * | 2016-06-29 | 2018-01-04 | 株式会社村田製作所 | マルチプレクサ、高周波フロントエンド回路及び通信装置 |
| JP2018207290A (ja) * | 2017-06-02 | 2018-12-27 | 株式会社村田製作所 | 弾性波共振子および弾性波フィルタ |
| WO2019177028A1 (ja) * | 2018-03-14 | 2019-09-19 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
| US11171630B2 (en) | 2016-10-28 | 2021-11-09 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Ladder filter, duplexer, and elastic wave filter device |
-
2001
- 2001-07-18 JP JP2001217616A patent/JP2003032080A/ja active Pending
Cited By (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100678797B1 (ko) | 2003-08-29 | 2007-02-05 | 세이코 엡슨 가부시키가이샤 | 표면 탄성파 소자 및 이를 포함한 전자 기기 |
| JP2009212572A (ja) * | 2008-02-29 | 2009-09-17 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 弾性波共振子及びラダー型フィルタ |
| JP2017229016A (ja) * | 2016-06-24 | 2017-12-28 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波フィルタ、デュプレクサおよびマルチプレクサ |
| US20190123720A1 (en) * | 2016-06-29 | 2019-04-25 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Multiplexer, radio-frequency front-end circuit, and communication apparatus |
| KR102091686B1 (ko) * | 2016-06-29 | 2020-03-20 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 멀티플렉서, 고주파 프론트 엔드 회로 및 통신 장치 |
| WO2018003297A1 (ja) * | 2016-06-29 | 2018-01-04 | 株式会社村田製作所 | マルチプレクサ、高周波フロントエンド回路及び通信装置 |
| CN109417380B (zh) * | 2016-06-29 | 2022-08-12 | 株式会社村田制作所 | 多工器、高频前端电路及通信装置 |
| KR20190010606A (ko) * | 2016-06-29 | 2019-01-30 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 멀티플렉서, 고주파 프론트 엔드 회로 및 통신 장치 |
| JPWO2018003297A1 (ja) * | 2016-06-29 | 2019-02-28 | 株式会社村田製作所 | マルチプレクサ、高周波フロントエンド回路及び通信装置 |
| CN109417380A (zh) * | 2016-06-29 | 2019-03-01 | 株式会社村田制作所 | 多工器、高频前端电路及通信装置 |
| US10917071B2 (en) | 2016-06-29 | 2021-02-09 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Multiplexer, radio-frequency front-end circuit, and communication apparatus |
| US10601570B2 (en) | 2016-06-29 | 2020-03-24 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Multiplexer, radio-frequency front-end circuit, and communication apparatus |
| WO2018003296A1 (ja) * | 2016-06-29 | 2018-01-04 | 株式会社村田製作所 | マルチプレクサ、高周波フロントエンド回路及び通信装置 |
| JP2016213903A (ja) * | 2016-09-20 | 2016-12-15 | スカイワークスフィルターソリューションズジャパン株式会社 | インタデジタルトランスデューサ |
| US11171630B2 (en) | 2016-10-28 | 2021-11-09 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Ladder filter, duplexer, and elastic wave filter device |
| JP2018207290A (ja) * | 2017-06-02 | 2018-12-27 | 株式会社村田製作所 | 弾性波共振子および弾性波フィルタ |
| WO2019177028A1 (ja) * | 2018-03-14 | 2019-09-19 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
| KR20200110412A (ko) * | 2018-03-14 | 2020-09-23 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 탄성파 장치 |
| US11444601B2 (en) | 2018-03-14 | 2022-09-13 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Acoustic wave device |
| KR102472455B1 (ko) * | 2018-03-14 | 2022-11-30 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 탄성파 장치 |
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