JP2009027689A - 弾性表面波フィルタと、それを用いたアンテナ共用器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明は、直列共振器7Aにおけるインターディジタルトランスデューサ電極10の交差幅重み付け係数を並列共振器8Aにおけるインターディジタルトランスデューサ電極12の交差幅重み付け係数よりも小さくしたものである。
この構成により、並列共振器8A、8Bにおける反共振点での高いQ値を担保したまま、直列共振器7A、7B、7Cにおける共振点でも高いQ値を得ることができ、弾性表面波フィルタの通過特性におけるロスの発生を抑制することができる。
【選択図】図2
Description
以下、本発明の実施の形態1における弾性表面波フィルタ及びそれを用いたアンテナ共用器について図面を参照しながら説明する。
図示せず)を形成しており、このSiO2薄膜の膜厚を弾性表面波の波長の15%以上の
厚みとすれば、弾性表面波のロスを低減でき、更に、温度特性も改善できるため望ましい。
電極10、12の電極指を覆う角柱状とするとともに、その上面から下方へ行くに従って広がる構成とし、その上面の幅をインターディジタルトランスデューサ電極10、12の上面の幅よりも細い構成とした。このような構成とすることにより、レイリー波によるスプリアスの低減を実現することができる。
8A 並列共振器
9 圧電基板
10 インターディジタルトランスデューサ電極
10A、10B 櫛形電極
12 インターディジタルトランスデューサ電極
12A、12B 櫛形電極
Claims (9)
- ニオブ酸リチウムからなる圧電基板と、
この圧電基板上方に設けられた第1のインターディジタルトランスデューサ電極を有する直列共振器と、
前記圧電基板上方に設けられた第2のインターディジタルトランスデューサ電極を有するとともに前記直列共振器に電気的に接続された並列共振器とを備え、
前記第1のインターディジタルトランスデューサ電極における交差幅重み付け係数を
前記第2のインターディジタルトランスデューサ電極における交差幅重み付け係数よりも小さくした
弾性表面波フィルタ。 - 前記ニオブ酸リチウムからなる基板は
回転Y板のカット角を−30度乃至+30度とし、
前記第1、第2のインターディジタルトランスデューサ電極の内少なくとも一方を
誘電体薄膜により覆った
請求項1に記載の弾性表面波フィルタ。 - 前記誘電体薄膜はSiO2薄膜とし、
この誘電体薄膜の厚みを
前記ニオブ酸リチウムからなる基板を伝搬する弾性表面波の波長の15%以上とした
請求項2に記載の弾性表面波フィルタ。 - 前記誘電体薄膜が
この誘電体薄膜に覆われた前記インターディジタルトランスデューサ電極の形状に沿った凹凸を有し、
前記誘電体薄膜の凸部上面の幅を
前記誘電体薄膜に覆われた前記インターディジタルトランスデューサ電極の電極指の幅よりも細くした
請求項2に記載の弾性表面波フィルタ。 - 前記第1のインターディジタルトランスデューサ電極の交差幅重み付け係数を
0より大きな値とした
請求項1に記載の弾性表面波フィルタ。 - 前記第2のインターディジタルトランスデューサ電極の交差幅重み付け係数を
0.5以上の値とした
請求項1に記載の弾性表面波フィルタ。 - 送信フィルタと受信フィルタとを有し、
前記送信フィルタ及び前記受信フィルタの内少なくとも一方が
請求項1乃至請求項6の内いずれかに記載の弾性表面波フィルタである
アンテナ共用器。 - ニオブ酸リチウムからなる第1の媒質層としての圧電基板と、
この圧電基板上方に設けられた第1のインターディジタルトランスデューサ電極を有する直列共振器と、
前記圧電基板上方に設けられた第2のインターディジタルトランスデューサ電極を有するとともに前記直列共振器に電気的に接続された並列共振器と、
前記圧電基板、及び前記第1、第2のインターディジタルトランスデューサ電極の上方に設けられた第2の媒質層とを備え、
前記第2の媒質層の横波の音速を前記第1の媒質層としての圧電基板の遅い横波の音速よりも遅くし、
前記第1のインターディジタルトランスデューサ電極における交差幅重み付け係数を
前記第2のインターディジタルトランスデューサ電極における交差幅重み付け係数よりも小さくした
弾性境界波フィルタ。 - 送信フィルタと受信フィルタとを有し、
前記送信フィルタ及び前記受信フィルタの内少なくとも一方が
請求項8に記載の弾性境界波フィルタである
アンテナ共用器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008091103A JP2009027689A (ja) | 2007-06-19 | 2008-03-31 | 弾性表面波フィルタと、それを用いたアンテナ共用器 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007161075 | 2007-06-19 | ||
JP2008091103A JP2009027689A (ja) | 2007-06-19 | 2008-03-31 | 弾性表面波フィルタと、それを用いたアンテナ共用器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009027689A true JP2009027689A (ja) | 2009-02-05 |
Family
ID=40135881
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008091103A Pending JP2009027689A (ja) | 2007-06-19 | 2008-03-31 | 弾性表面波フィルタと、それを用いたアンテナ共用器 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7812688B2 (ja) |
JP (1) | JP2009027689A (ja) |
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- 2008-06-06 US US12/134,854 patent/US7812688B2/en active Active
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US7812688B2 (en) | 2010-10-12 |
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