JPH09246913A - 共振器型弾性表面波フィルタ - Google Patents

共振器型弾性表面波フィルタ

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JPH09246913A
JPH09246913A JP8057150A JP5715096A JPH09246913A JP H09246913 A JPH09246913 A JP H09246913A JP 8057150 A JP8057150 A JP 8057150A JP 5715096 A JP5715096 A JP 5715096A JP H09246913 A JPH09246913 A JP H09246913A
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    • H03H9/14529Distributed tap
    • H03H9/14532Series weighting; Transverse weighting

Abstract

(57)【要約】 【課題】 すだれ状電極と該すだれ状電極の両側に距離
tを隔ててそれぞれ設けられた反射器とを具える弾性表
面波共振子により、直列腕弾性表面波共振子および並列
腕弾性表面波共振子がそれぞれ構成されている多段梯型
回路構成の共振器型弾性表面波フィルタであって、従来
より低損失でかつ高域側減衰域特性が改善され、さらに
従来より小型なフィルタを提供する。 【解決手段】 直列腕弾性表面波素子21a〜21nに
ついては前記距離tを(n/2+0.55)λ1 〜(n
/2+0.81)λ1 の範囲の値としてある。並列腕弾
性表面波素子23a〜23nについては前記距離tを
(n/2+0.5)λ2 としてある。nは0または正の
整数である。λ1 とλ2 はそれぞれ直列腕弾性表面波共
振子、並列腕弾性表面波共振子で励振される弾性表面波
の波長である。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、梯型回路構成の
共振器型弾性表面波フィルタに関するものである。
【0002】
【従来の技術】共振器型弾性表面波フィルタ(以下、共
振器型SAW(Surface Acoustic Wave )フィルタとも
いう。)は、梯型回路構成のタイプおよび二重モードタ
イプに分類できる。前者は、原理的に低損失、高減衰
量、狭帯域、そして整合回路不要という特徴を有する。
梯型回路構成の共振器型SAWフィルタは、SAW共振
子を梯(ラダー)型に接続し構成される。梯型に接続さ
れるSAW共振子のうち、SAWフィルタの入力端子お
よび出力端子間に直列な接続関係となるものは直列腕S
AW共振子と称され、一方、入力端子(出力端子)およ
び接地端子間に並列な接続関係となるものは並列腕SA
W共振子と称される。直列腕、並列腕いずれのSAW共
振子も、基本的には、圧電基板と、これに作製されたす
だれ状電極および反射器とで構成される。すだれ状電極
はIDTとも呼ばれるもので多数の電極指で構成されて
いる。反射器はすだれ状電極の両側に距離tを隔てて設
けられている。この反射器は典型的には多数の金属スリ
ットパタンを並置したグレーティング反射器で構成され
る。各電極指、各金属スリットパタンは一般にλ/2ピ
ッチで配置されている。さらにすだれ状電極と反射器と
の距離t(電極指および金属スリットパタン間のピッ
チ)も、一般に、λ/2とされている。また交差長が一
定であるSAW共振子は正規型のSAW共振子と呼ばれ
ている。ここでλは、直列腕、並列腕の各SAW共振子
それぞれで励振したい弾性表面波の波長であり、直列
腕、並列腕の各共振子で異なる波長である。
【0003】梯型回路構成の共振器型SAWフィルタで
あって一段構成のものでは、得られる減衰量が小さい。
減衰量を大きくするために、多段梯型にすることが行な
われている。あまり多段にすると挿入損失が増加した
り、またフィルタが大型化するのでそれを回避するため
に、梯型回路部分に高域側の減衰特性改善用のSAW共
振子をさらに縦続接続してSAWフィルタを構成する技
術が知られている(例えば文献I:IEEE TRANSACTIONS
ON ULTRASONICS, FERROELECTRICS,AND FREQUENCYCONTRO
L(アイイーイーイ トランサ゛クションス゛ オン ウルトラソニックス フェロエレクトリクス アント゛
フリケンシ コントロール),VOL.42,NO.4,JULY.1995,pp.495-508。
特に、Fig.15(a) 中やTABLE IV中の素子3,4)。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、梯型回
路部分に高域側の減衰特性改善用のSAW共振子を従属
接続した構成の共振器型SAWフィルタの場合、以下の
ような問題点があった。これについて図27を参照して
説明する。図27は、梯型回路部分に高域側の減衰特性
改善用のSAW共振子を従属接続した構成の共振器型S
AWフィルタ10についての回路構成図である。この図
27において、11はそれぞれ直列腕SAW共振子、1
3はそれぞれ並列腕SAW共振子、17は梯型回路部
分、17aは梯型回路部分における各段、19は高域側
の減衰特性改善用のSAW共振子である。
【0005】この従来技術では 第1に、高域側の減衰
特性改善用のSAW共振子19を設けた分だけ通過域の
挿入損失が増加するという問題が生じる。
【0006】第2に、高域側の減衰特性改善用のSAW
共振子19については、これを設ける目的上、その反共
振周波数が直列腕SAW共振子11の反共振周波数より
高くなるように設計する必要がある。そのため減衰特性
改善用のSAW共振子19は、これに具わるすだれ状電
極の電極指のピッチや、反射器の金属スリットパタンの
ピッチが、直列腕SAW共振子11の場合より短くされ
たものとなる。このため、減衰特性改善用のSAW共振
子19自身の共振周波数はSAWフィルタでの通過域よ
り高域になるから、当該SAWフィルタ10では、通過
域でのインピーダンス整合性が悪化するという問題が生
じる。
【0007】第3に、高域側の減衰特性改善用のSAW
共振子19を設ける分、SAWフィルタ10の大きさは
大きくなるという問題が生じる。
【0008】
【発明を解決するための手段】そこで、この発明によれ
ば、すだれ状電極と該すだれ状電極の両側に距離tを隔
ててそれぞれ設けられた反射器とを具える弾性表面波共
振子により、直列腕弾性表面波共振子および並列腕弾性
表面波共振子がそれぞれ構成されている、1段梯型回路
構成の共振器型弾性表面波フィルタにおいて、直列腕弾
性表面波素子については前記距離tを(n/2+0.5
5)λ1 〜(n/2+0.81)λ2 の範囲のいずれか
の値としてあることを特徴とする。ただし、nは0また
は任意の正の整数であり、λ1 は直列腕弾性表面波共振
子で励振される弾性表面波の波長である。
【0009】また、この発明であってかつ多段回路構成
の共振器型弾性表面波フィルタの場合は、少なくとも1
個の直列腕弾性表面波共振子について、すだれ状電極と
反射器との距離tを(n/2+0.55)λ1 〜(n/
2+0.81)λ1 の範囲の値としてあり、他の直列腕
弾性表面波共振子については(距離tを上記範囲の値に
しなかった直列腕弾性表面波共振子が残っている場合に
ついては)該距離tを(n/2+0.5)λ1 としてあ
ることを特徴とする。もちろん、ここでいう多段にはπ
型の2段構成のように直列腕弾性表面波共振子を1個有
するものも含む。
【0010】この発明によれば、距離tを(n/2+
0.55)λ1 〜(n/2+0.81)λ1 の範囲のい
ずれかの値としてある直列腕弾性表面波共振子によっ
て、通過域より高域側に新たに減衰極が生じるようにな
る(詳細は後の図4〜図6を用いた説明の項参照)。そ
のため、高域側の減衰特性改善用のSAW共振子を特別
に用いることなく、高域側の減衰特性の改善が図れる。
【0011】また、2個以上の直列腕弾性表面波共振子
を含む多段回路構成の共振器型弾性表面波フィルタに本
発明を適用する場合は、少なくとも2個の直列腕弾性表
面波共振子についての前記距離tを(n/2+0.5
5)λ1 〜(n/2+0.81)λ1 の範囲のいずれか
の値とすることもできる。その場合は、(a).そのように
した直列腕弾性表面波共振子の前記距離tを(n/2+
0.55)λ1 〜(n/2+0.81)λ1 の範囲の中
の全て同じ値とするか、(b).そのようにした複数個の直
列腕弾性表面波共振子のうちの一部の前記距離tは他の
ものと違えるか(例えば3個のうちの2個は同じで1個
は違える等)、(c).そのようにした複数個の直列腕弾性
表面波共振子それぞれの前記距離tを互いに異なる値と
するかの、いずれかの構成とすることが出来る。これら
(a) 〜(c) の構成のうちで、(b) および(c) それぞれの
構成は、(a) の構成に比べ、通過域より高域側であって
高域側減衰特性を改善させるに好適な複数の周波数位置
に減衰極をそれぞれ出現させることを可能にするので、
高域側の減衰特性を改善するうえでより好ましい。
【0012】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照していくつかの
実施の形態について説明する。しかしながら説明に用い
る各図は、この発明を理解出来る程度に概略的に示して
あるにすぎない。また、各図において同様な構成成分に
ついては同一の番号を付して示しその重複する説明を省
略する。なお、以下の説明では、説明を容易にするため
に、すだれ状電極と反射器との距離tについて考慮した
発明を第1の発明と称することにする。またこの第1の
発明の構成にさらにすだれ状電極についての重み付け技
術を付加した発明を第2の発明と称することにする。
【0013】1.第1の発明の説明 1−1.基本構成の説明 図1は第1発明の実施の形態の共振器型弾性表面波フィ
ルタ20の全体構成を説明するための図である。ただ
し、多段梯型回路構成した共振器型弾性表面波フィルタ
に本発明を適用した例について示してある。また、この
図1では奇数段の構成例を示しているが、本発明は偶数
段(T型、π型)の構成例にも適用出来る(第2の発明
において同じ)。また、図2(A)は該フィルタ20に
備わる個々のSAW共振子のうちの、この発明の特徴と
なるSAW共振子の構成を説明するための図である。ま
た、図2(B)は該フィルタ20に備わる個々のSAW
共振子のうちの、図2(A)に示したもの以外のSAW
共振子の構成を説明するための図である。また図3は該
フィルタ20に備わる個々のSAW共振子の周波数に関
する設計方法の説明図である。
【0014】この共振器型弾性表面波フィルタ20は、
所望の段数に応じた数のSAW共振子21a〜21n、
23a〜23nを梯(ラダー)型接続して構成してあ
る。ただし、該フィルタ20における直列腕SAW共振
子21a〜21nのうちの少なくとも1個は、後に図2
(A)を参照して詳述するように、すだれ状電極と反射
器との距離tを所定値としたSAW共振子で構成し、残
りのSAW共振子は既に説明した正規型のSAW共振子
で構成してある。以下、詳細に説明する。
【0015】先ず、SAW共振子21a〜21n、23
a〜23nいずれのものも、従来同様に、圧電基板31
と、これに作製されたすだれ状電極33および反射器3
5とで構成する。これらSAW共振子21a〜21n、
23a〜23nは、好ましくは共通な圧電基板31に作
製する。また直列腕SAW共振子21a〜21nそれぞ
れに備わるすだれ状電極33は、多数の電極指33aを
λ1 /2のピッチで配置した構成となっており、しか
も、多数の電極指33aのうちの例えば偶数番の電極指
同士は電気的に接続し、奇数番の電極指同士は電気的に
接続した構成となっている。また並列腕SAW共振子2
3a〜23nそれぞれに備わるすだれ状電極33は、電
極指33aをλ2 /2のピッチで配置したこと以外は直
列腕SAW共振子21a〜21nと同様な構成となって
いる。ここで、λ1 は直列腕SAW共振子で励振される
弾性表面波の波長、λ2 は並列腕SAW共振子で励振さ
れる弾性表面波の波長である。これら波長λ1 、λ2
は、周知のようにまた後に図3を用いて説明することか
らも理解出来るように、直列腕、並列腕で異なる(以
下、同様。)。奇数番の電極指同士の接続点33xや偶
数番の電極指同士の接続点33yは、他のSAW共振子
との接続端子、或は当該フィルタ20の入力端子、或は
当該フィルタ20の出力端子として使用される。また、
いずれのSAW共振子においても反射器35はすだれ状
電極33の両側に距離tを隔ててそれぞれ設けてある。
しかし、この距離tであるが、直列腕SAW共振子21
a〜21nのうちの少なくとも1個のSAW共振子につ
いては、(n/2+0.55)λ1 〜(n/2+0.8
1)λ1 の範囲の値としてあり(図2(A)参照)、そ
の他の直列腕SAW共振子については、λ1 /2(図2
(B)参照)としてある。なお、この場合の距離tは、
すだれ状電極33における最も反射器に近い電極指33
aと、反射器35における最もすだれ状電極に近い金属
スリットパタン35aとの中心間距離をいっている(以
下、特別の説明がない限り同様。)。また、いずれの反
射器35も、従来同様に、多数の金属スリットパターン
35aを、直列腕SAW共振子用のものにあってはλ1
/2、並列腕SAW共振子用のものにあってはλ2 /2
のピッチで、配置したグレーティング反射器で構成して
ある。すだれ状電極33や反射器35は、例えば、アル
ミニウム、または銅、またはシリコンを数%含むアルミ
ニウム合金により構成する。ここですだれ状電極33の
膜厚Hは、SSBW(Surface Skimming Bulk Wave)に
起因するスプリアスを抑制する意味から、従来公知の通
り、波長λとの関係においてH/λ≧Cなる関係を満足
する膜厚とする。このSSBWは励振された弾性表面波
の基本モードが疑似弾性表面波の場合に主に発生する。
例えば、圧電基板31として36°回転Y板LiTaO
3 を用いて通過帯域幅25MHzをもつ800MHz帯
の梯型構成の共振器型SAWフィルタを構成するとした
場合なら、H/λ≧0.08〜0.1なる関係を満足す
るような膜厚とする。
【0016】また、図3に示した様に、従来同様に、直
列腕SAW共振子21a〜21nそれぞれは、その共振
周波数がf1でかつ反共振周波数がf2となるように設
計する。また、並列腕SAW共振子23a〜23nそれ
ぞれは、その共振周波数がf3でかつ反共振周波数がf
4となるように設計する。しかも、上記f2とf3とが
一致するように(実質的に一致も含む)直列腕SAW共
振子21a〜21nおよび並列腕SAW共振子23a〜
23nをそれぞれ設計する。こうすると、バンドパスフ
ィルタを構成できる。
【0017】1−2.(n/2+0.55)λ1 〜(n
/2+0.81)λ1 の根拠 次に、梯型回路構成の共振器型SAWフィルタにおい
て、それに備わる直列腕SAW共振子のうちの少なくと
も1個の直列腕SAW共振子の、すだれ状電極と反射器
との距離tを、(n/2+0.55)λ1 〜(n/2+
0.81)λ1 とするのが良い理由について説明する。
【0018】このため、正規型のSAW共振子(例えば
図2(B)参照)についてすだれ状電極とその両側の反
射器とのそれぞれの距離t(以下、単に「距離t」と略
称することもある。)を0.5λ〜λ(λ:波長)まで
の範囲で種々に違え、それらSAW共振子の伝送特性を
それぞれ調べる。ここでは、距離tを0.500λ、
0.625λ、0.750λ、0.875λ、λの5水
準とした5つのSAW共振子を用いる。また、それぞれ
のSAW共振子について直列腕接続した状態(後の図2
2(C)に示した状態)での各SAW共振子ごとの伝送
特性を調べる。ただし、各SAW共振子のすだれ状電極
は、アルミニウム、または銅、またはシリコンを数%含
むアルミニウム合金で構成する。さらにすだれ状電極
は、その電極対数が120、交差長が100μm、静電
容量C0 が4.80pFのものとする。この静電容量C
0 は、基板として36°回転Y板LiTaO3 を用い、
かつ、単位長、単位対当たりの静電容量を4×102
Fとし、 C0 =(対(つい)数)×(交差長)×(単位長、単位
対当たり静電容量) の式で計算した。この静電容量C0 の算出法は、例えば
文献II(信学技報US95-25,EMD95-21,CPM95-33(1995-0
7),p42) に説明されているものである。
【0019】距離tを0.500λとしたSAW共振子
の伝送特性を図4(A)に、また距離tを0.625λ
としたSAW共振子の伝送特性を図4(B)に、また距
離tを0.750λとしたSAW共振子の伝送特性を図
5(A)に、また距離tを0.875λとしたSAW共
振子の伝送特性を図5(B)に、また距離tをλとした
SAW共振子の伝送特性を図6にそれぞれ示した。ただ
し、図4〜図6では、横軸1目盛りは20MHz、縦軸
1目盛りは5dBとしてある。また、各伝送特性では、
これら特性中に出現している減衰極やスプリアスに、マ
ーカーMx〜Mzを付してある。ここで、マーカーMx
で示される減衰極は、SAW共振子の反共振周波数に起
因する減衰極である。このマーカーMxの周波数位置を
説明の都合上、以下、「周波数位置f0 」ともいう。ま
た表1に、上記減衰極やスプリアスそれぞれについての
減衰量を示した。
【0020】
【表1】
【0021】図4〜図6の各伝送特性をみると、先ず、
すだれ状電極と反射器との距離tを0.625λにする
と、距離tを0.500λとした場合に見られたSSB
Wのスプリアスすなわち図4(A)にてマーカーMyの
位置に出現していたスプリアスが消えるが、代わりにマ
ーカーMzの位置に比較的帯域幅の広いスプリアスが発
生してくる。このスプリアスの発生する周波数位置はす
だれ状電極と反射器との距離tが広がっていくと低周波
数側(図5(A)、図5(B)中のマーカーMzの位置
参照)に移動して行き、距離tがλになると距離tが
0.500λであったときの特性に戻ることが分かる
(図4(A)と図6参照)。このような伝送特性の変化
からみて、このマーカーMzで示されるスプリアス(以
下、「距離tに起因するスプリアス」ともいう。)は、
それが周波数位置f0 から適性に高域側にあるなら、S
AW共振子の高域側の減衰域の減衰特性を改善するため
のポールとして使用できると考えられる。ここで適性に
高域側とは、距離tに起因するスプリアスの位置が周波
数位置f0 に対しあまりに近いと該スプリアスが減衰域
の特性改善用ポールとして意味をなさず、あまりに遠い
と(例えば高域側の減衰域の幅をあまり越えるようであ
ると)該スプリアスが減衰域の特性改善用ポールとして
意味をなさないから、これらを除いた範囲である。図4
〜図6の例でいえば、距離tを0.625λとした場
合、および距離tを0.750とした場合それぞれは、
スプリアスが適性に高域側にある例といえる。ここで周
波数位置f0と、距離tに起因するスプリアスの位置と
の周波数差をΔfとすると、距離tを0.625λとし
た場合ではΔfは20MHz、距離tを0.750λと
した場合ではΔfは10MHzとなっている。そこで、
このΔfの適性範囲が5〜25MHzであると仮定し、
そしてこのようにΔfを示させることができる距離t
を、上記の値から推定する。なおΔfの適性範囲が5〜
25MHzと仮定した根拠は次の通りである。通過帯域
25MHzの800MHz帯のSAWフィルタでは、一
般的な規格からして、高域の減衰域は25MHzは必要
である。このような減衰域を得たい場合に、距離tに起
因するスプリアスが減衰域の特性改善用ポールとして意
味をもつのは、周波数位置f0 より適性に高い範囲すな
わち周波数位置f0 から5〜25MHz高域側の範囲と
考えられるからである。距離tを0.625λ、距離t
を0.750λとした場合のΔfは、上述の通り20M
Hz、10MHzであるから、距離tが0.625λ〜
0.750λ近傍での距離tに対するΔfの変化率は、
(20−10)/(0.625−0.750)λ=−8
MHz/0.1λになる。実際には実験のバラツキの影
響によりΔfの変化率は−8MHz〜−10MHzと考
えられる。また、P=0.625λ付近のΔfの変化率
よりもt=0.750λ付近のΔfの変化率の方が大き
いと考えられるのでここでは、t=0.625λ付近で
のΔfの変化率を−8MHz/0.1λと考え、t=
0.750付近でのΔfの変化率を−10MHz/0.
1λと考える。そして、この前者の変化率を基に、Δf
を25MHzとし得る距離tを推定する。すなわち、
0.625λ−(25−20)×0.1λ÷8=0.6
25−0.0625≒0.56λと推定する。また、後
者の変化率を基に、Δfを5MHzとし得る距離tを推
定する。すなわち、0.750λ−(5−10)×0.
1λ÷10=0.750+0.050≒0.800λと
推定する。よって、この推定値に誤差も考慮に入れると
すだれ状電極と反射器との距離tに起因するスプリアス
がフィルタの高域減衰域の特性改善に意味を持つように
できるのは、当該距離tが0.55λ〜0.81λの範
囲といえる。さらに、この距離tに起因するスプリアス
の発生位置は図4〜図6をみて分かるようにλ/2の周
期で繰り返されるから、すだれ状電極と反射器との距離
tに起因するスプリアスがフィルタの高域減衰域の特性
改善に意味を持つようにできるのは、当該距離tが(n
/2+0.55)λ〜(n/2+0.81)λの範囲と
一般化できることが分かる(nは0または正の整数)。
ただし、nを1以上とすると、すだれ状電極と反射器と
の距離tがその分大きくなる。これは弾性表面波をSA
W共振子内に閉じ込めて伝送損失を少なくする意味から
は好ましくない。したがって、好ましくはn=0とする
のが良い。
【0022】1−3.実施例および比較例 次に、実施例として、4段T型梯型回路構成の共振器型
SAWフィルタであって、すべての直列腕SAW共振子
についてのすだれ状電極と反射器との距離tを17λ1
/24(0.708λ1 )とし、すべての並列腕SAW
共振子についての距離tを0.5λ2 としたSAWフィ
ルタを構成し、そしてその伝送特性を調べる。図7
(A)にこの実施例のSAWフィルタ37の回路構成図
を示し、図7(B)にその伝送特性を示した。なお、図
7(A)において、38はそれぞれすだれ状電極と反射
器との距離tを17λ1 /24としてある直列腕SAW
共振子、39はそれぞれすだれ状電極と反射器との距離
tをλ2 /2としてある並列腕SAW共振子である。各
直列腕SAW共振子38は静電容量が4.84pFのも
の、各並列腕SAW共振子39は静電容量が1.96p
Fのものを用いる。また、図7(B)では、マーカMa
〜Mb間は通過帯域、Mc〜Md間は高域側減衰域を示
している(図8(B)において同じ。)。また、図7
(B)において横軸1目盛りは20MHz、縦軸1目盛
りは10dBとしてある(図8(B)において同
じ。)。
【0023】また、比較例として、4段T型梯型回路構
成の共振器型SAWフィルタであって、直列腕、並列腕
それぞれ距離tをλ1 /2、λ2 /2としたSAW共振
子で構成した梯型回路部分を有し、かつ、この梯型回路
部分の後段に高域側の減衰特性改善用のSAW共振子を
さらに縦続接続してあるSAWフィルタを構成し、そし
てその伝送特性を調べる。図8(A)にこの比較例のS
AWフィルタ40の回路構成図を示し、図8(B)にそ
の伝送特性を示した。なお、図8(A)において、41
はそれぞれ距離tをλ1 /2とした直列腕SAW共振
子、43はそれぞれ距離tをλ2 /2とした並列腕SA
W共振子、45は距離tをλ3 /2とした高域側の減衰
特性改善用のSAW共振子である。ここで、λ3 は高域
側の減衰特性改善用のSAW共振子で励振される弾性表
面波の波長である。各直列腕SAW共振子41は静電容
量が4.84pFのもの、各並列腕SAW共振子43は
静電容量が1.96pFのもの、高域側の減衰特性改善
用のSAW共振子45は静電容量が5.76pFのもの
を用いる。また、図7(B)および図8(B)の各伝送
特性中のマーカーMa〜Mdについての減衰量を表2に
示す。
【0024】
【表2】
【0025】図7(B)および図8(B)それぞれの特
にマーカMc〜マーカMdに渡る高域側減衰域の特性同
士を比較することで分かるように、実施例のフィルタ3
7では、高域側の減衰特性改善用のSAW共振子を用い
ていないにもかかわらず、比較例のものと同様の減衰特
性改善効果が得られることが分かる。また、表2、図7
(B)および図8(B)それぞれの例えばマーカMaの
位置での挿入損失同士、マーカーMbの位置での挿入損
失同士をそれぞれ比較することで分かるように、実施例
のフィルタ37では高域側の減衰特性改善用のSAW共
振子を用いていない分、通過域の挿入損失が改善されて
いることが分かる。また、実施例のフィルタ30では高
域側の減衰特性改善用のSAW共振子を用いていない
分、フィルタの小型化が図れることが分かる。
【0026】上述の説明では、多段梯型構成の共振器型
SAWフィルタ中の全ての直列腕SAW共振子について
のすだれ状電極と反射器との距離tを(n/2+0.5
5)λ1 〜(n/2+0.81)λ1 の範囲の値でかつ
同じ値とした例を、説明した。しかし、この発明はこれ
に限られない。1段梯型構成の共振器型SAWフィルタ
にももちろん適用出来、その場合も実施例と同様の効果
が得られる。また、多段梯型構成の共振器型SAWフィ
ルタにおける全部の直列腕SAW共振子にではなく少な
くとも1個について距離tを(n/2+0.55)λ1
〜(n/2+0.81)λ1 の値としても高域側減衰域
改善用のポールは生じるから実施例と同様の効果が得ら
れる。また、多段梯型構成の共振器型SAWフィルタに
おける直列腕SAW共振子の少なくとも2個について上
記距離tを所定範囲の値とする思想を適用する際にそれ
ら共振子ごとの上記距離tを、(n/2+0.55)λ
1〜(n/2+0.81)λ1 の範囲において一部違え
たり全部違えても良い。このように距離tを違えた直列
腕共振子を含むようにした方が、減衰域改善用のポール
が複数個所に生じるので特性改善効果が高まる(これに
ついては後述の第2の発明の第1の実施の形態の実施例
2の結果説明において詳述する。)。
【0027】また、上述の説明では、特定の圧電基板材
料、特定の電極材料、特定の使用周波数、通過帯域幅に
おいて発明を説明した。しかし、すだれ状電極および反
射器を構成する金属材料を上記例示以外の他の金属に変
えた場合、また、圧電基板の材料、使用周波数および通
過帯域幅が上記例示以外のものであっても、すだれ状電
極膜厚H/λとスプリアスとの条件は若干変化するが、
この第1の発明を適用出来、その場合も実施の形態と同
様の効果が得られる。
【0028】2.第2の発明の説明 上述の第1の発明の実施の形態の説明から明らかよう
に、梯型回路構成の共振器型SAWフィルタにおける直
列腕SAW共振子のすだれ状電極と反射器との距離tを
(n/2+0.55)λ1 〜(n/2+0.81)λ1
の範囲とすることで、種々の利点が得られることが分か
る。このため、第1の発明によれば充分に実用に耐える
フィルタが実現できる。しかし、より特性に優れるフィ
ルタを構成しようとした場合、上記第1の発明の構成で
は、通過域に生じるリップルについて改善の余地がまだ
ある。この第2の発明はその対策を考慮したものであ
る。以下、詳細に説明する。
【0029】先ず、通過域のリップルについて説明す
る。例えば図7を用いて説明した第1の発明に係る多段
構成の共振器型SAWフィルタ37の伝送特性における
リップルに着目した場合、図9に概略的に示した伝送特
性図に示すように、通過域51中の低域側(低周波数
端)に生じるリップルRL と通過域51中の高域側(高
周波数端)に生じるリップRH と、高域側減衰域53よ
りさらに高域に生じるリップルRが比較的顕著である。
リップルRL は並列腕SAW共振子39(図7(A)参
照)の高次モードに起因して発生するもの、リップルR
H は直列腕SAW共振子38(図7(A)参照)の高次
モードに起因して発生するもの、リップルRは直列腕S
AW共振子38のSSBWに起因して発生するものであ
る。なお図9において、55は低域側減衰域、57は並
列腕SAW共振子39の共振周波数による減衰極、59
は直列腕SAW共振子38の反共振周波数による減衰
極、61はすだれ状電極と反射器との距離tを(n/2
+0.55)λ1 〜(n/2+0.81)λ1 の範囲と
してある直列腕SAW共振子のスプリアスによる減衰極
である。並列腕SAW共振子39のSSBWに起因して
発生するリップルは、減衰極59付近に存在するが、こ
こではそれは省略してある。
【0030】通過域におけるリップルRL およびRH
は、通過域の特性に悪影響を及ぼすのでそれらは抑制さ
れるのが好ましい。なかでも、並列腕SAW共振子の高
次モードによるリップルRL の影響が大きく、それが原
因で通過域中の低域側の挿入損失が高域側より増加し、
そのため、平坦な通過帯域特性が得られないという問題
が生じる。これらリップルRL 、RH の問題を解決する
ため、この第2発明では、第1発明の構成にさらに以下
に説明するような構成を付加する。
【0031】2−1.第2発明の第1の実施の形態 先ず、通過域における低域側のリップルRL を抑制する
例を説明する。図10(A)、(B)はその説明図であ
り、第2発明の第1の実施の形態の共振器型SAWフィ
ルタ70の回路構成図および概略的な伝送特性図であ
る。このSAWフィルタ70では、直列腕SAW共振子
71のうちの少なくとも1個については、図2(A)を
参照して既に説明したと同様に、すだれ状電極と反射器
との距離tを(n/2+0.55)λ〜(n/2+0.
81)λの範囲としてある。そのようにしない直列腕S
AW共振子が残っている場合は、それらは距離tがλ1
/2正規型のSAW共振子とする。また、すべての並列
腕SAW共振子73は、すだれ状電極を構成している電
極指のうちの50%以上の電極指に対しアポダイズ法に
従う重み付けを実施してある。すべての並列腕SAW共
振子73のすだれ状電極を構成している電極指のうちの
50%以上の電極指に対し、アポダイズ法に従う重み付
けを実施したフィルタでは、詳細な理由および特性は後
述するが、図10(B)に概略的に示した伝送特性図の
ように、通過域における低域側のリップルRL を抑制す
ることができる。以下、(a) 並列腕SAW共振子に対す
る重み付けの具体例、(b) 重み付けを50%以上とする
根拠、(c) 実験結果について順に説明する。
【0032】2−1−1.並列腕SAW共振子での重み
付け 並列腕SAW共振子に実施するアポダイズ法に従う重み
付けの具体例について図11、図12を参照して説明す
る。図11の例の場合、すだれ状電極を構成している電
極指33aのうちのすべて(すなわち100%)の電極
指に対しアポダイズ法に従う重み付けであって菱形の重
み付けを実施してある。すなわち、すだれ状電極33の
両端から中央に向かうに従い交差長が長くなるように重
み付けをしてある。図11の特に(A)図において菱形
状の破線で囲まれる領域内が重み付けにより出来たSA
W励振領域81であり、直角三角形状の破線で囲まれる
領域それぞれはダミー領域83a〜83dである。ただ
しダミー領域といえど、この領域にある電極指部分は実
質に反射器として機能する。重み付けがされた各電極指
における、ダミー領域83a〜83dに所属する部分
が、反射器として機能することについて図11(B)を
参照して説明する。ここで、図11(B)は図11
(A)に示したSAW共振子のs部分の拡大図である。
図11(B)においてI−I線を境にその上側の電極指
部分81x,81y,81zそれぞれはSAW励振領域
81内のもの、I−I線を境にその下側の電極指部分8
3x,83y,83zはダミー領域83d内のものであ
る。
【0033】図11(B)の構成においては、電極指部
分81xにより励振されたSAWは先ず電極指部分81
xからλ/2離れた位置にある電極指部分83yで反射
され(図中85参照)、この電極指部分83yで反射し
きれないSAWは次に電極指部分81xから2λ/2離
れた位置にある電極指部分83zで反射される(図中8
7参照)。このように電極指部分81xで励振されたS
AWは電極指部分81xからnλ/2(n=1,2,・
・)離れた位置にある他の電極指部分で反射される。同
様に電極指部分81yで励振されたSAW(図中89)
はこの電極指部分81yからnλ/2(n=1,2,・
・)離れた位置にある電極指部分83z、・・で反射さ
れる。このように重み付けにより出来たダミー領域中の
電極指部分はすだれ状電極内部では反射器の役割をする
ことになり、すだれ状電極両端部から外部へSAWが漏
れることを少なくする役割を果たす。したがって、重み
付けの程度によっては例えば上記の実験例では重み付け
を100%実施した並列腕SAW共振子では、すだれ状
電極両側に距離λ/2(本願発明の波長の記号で述べる
ならλ2 /2)隔てて反射器35(図2(B)参照)を
設けなくとも良い場合が生じる(図11(A)ではその
例を示している。)。もちろん、反射器35を設けなく
とも良い重み付けの程度は100%未満の場合もあり得
ると考える。
【0034】また、図12は、並列腕SAW共振子のす
だれ状電極における全電極指のうち50%程度の電極指
に対しアポダイズ法に従う重み付けを実施した例を示し
ている。50%程度の重み付けをする場合、一般には、
すだれ状電極の両端から25%程度ずつ電極指に対しア
ポダイズ法に従う重み付けをするのが一般的であるの
で、ここでもそうしている。このような場合では、図1
2中、略正三角形状の破線で囲まれた領域それぞれが重
み付けによりできたSAW励振領域91a,91bであ
り、直角三角形状の破線で囲まれた領域それぞれはダミ
ー領域93a〜93dである。重み付けされていないす
だれ状電極領域(四角形状の破線で囲まれた領域)もS
AW励振領域(正規領域)95である。このような重み
付けの場合もダミー領域93a〜93d内の電極指部分
それぞれは実質的に反射器として機能するが、この場合
は、重み付け率が少ない分ダミー領域が狭いから、ダミ
ー領域内の電極指部分だけではSAW励振領域で励振さ
れたSAWの反射効率が低下しSAWが外部に漏れてし
まう。従って、図12のようにすだれ状電極33の両端
に距離λ/2を隔てたグレーティング反射器35をそれ
ぞれ設ける。なお、この場合の反射器35は、金属スリ
ットパターン本数が50本程度の反射器で良い。
【0035】2−1−2.重み付けを50%以上とする
根拠 次に、梯型回路構成の共振器型SAWフィルタにおい
て、それに備わるすべての並列腕SAW共振子に50%
以上の重み付けをするのが良い理由について説明する。
【0036】このため、正規型でかつ距離tがλ/2の
SAW共振子(例えば図2(B)参照)におけるすだれ
状電極の電極指に対しアポダイズ法に従う重み付けを0
〜100%の範囲で種々に違えたSAW共振子を構成
し、そしてそれらの伝送特性および反射特性をそれぞれ
調べる。ここでは、重み付けなし(0%)、重み付け3
3%、重み付け50%、重み付け83%、重み付け10
0%の5水準とした5つのSAW共振子を用いる。ま
た、それぞれのSAW共振子について並列腕接続した状
態(図13(C)に示した状態)での伝送特性および反
射特性を調べる。ただし、重み付けは図12に例示した
と同様、すだれ状電極の両端から菱形状に行う。また、
各SAW共振子のすだれ状電極は、アルミニウム、また
は銅、またはシリコンを数%含むアルミニウム合金で構
成する。さらにすだれ状電極は、その電極対数が12
0、交差長が100μm、静電容量C0 が4.80pF
のものとする。この静電容量C0 は、基板として36°
回転Y板LiTaO3 を用い、かつ、単位長、単位対当
たりの静電容量を4×102 pFとし、 C0 =(対(つい)数)×(交差長)×(単位長、単位
対当たり静電容量) の式で計算した。この静電容量C0 の算出法は、例えば
文献II(信学技報US95-25,EMD95-21,CPM95-33(1995-0
7),p42) に説明されているものである。
【0037】重み付けなしのSAW共振子の伝送特性を
図13(A)にまたその反射特性を図13(B)に示し
た。また、重み付けを33%としたSAW共振子の伝送
特性を図14(A)にまたその反射特性を図14(B)
に示した。また、重み付けを50%としたSAW共振子
の伝送特性を図15(A)にまたその反射特性を図15
(B)に示した。また、重み付けを83%としたSAW
共振子の伝送特性を図16(A)にまたその反射特性を
図16(B)に示した。また、重み付けを100%とし
たSAW共振子の伝送特性を図17(A)にまたその反
射特性を図17(B)に示した。いずれの反射特性もス
ミスチャートで示している。高次モードに起因するスプ
リアスの変化はスミスチャートで見たほうが分かり易い
からである。また、各伝送特性および反射特性では、各
特性中に出現している減衰極、スプリアスにマーカーM
1〜M4(M4は図15以降)を付してある。ここで、
マーカーM1で示される減衰極は、SAW共振子の反共
振周波数に起因する減衰極である。マーカーM2で示さ
れるスプリアスは高次モードに起因するリップルであ
る。マーカーM3はマーカーM1より20MHz高い周
波数位置にありこの周波数位置はSAW共振子を梯型回
路構成した800MHz帯のSAWフィルタでは通過帯
域の低周波数端にあたる周波数である。また、表3にマ
ーカーM3の減衰量を示す。
【0038】
【表3】
【0039】図13〜図17の各特性を比較すると分か
るように、重み付けの割合を増加してゆくと、反射特性
(スミスチャート)上のマーカーM2付近の不連続なへ
こみがなくなっていく。詳細には、重み付けの割合が約
50%以上になると重み付けの効果が現れマーカーM2
付近の不連続なへこみがほとんどなくなり高次モードの
スプリアスが十分に抑制されることが分かる。同時に、
重み付けの割合が0〜100%へ増加してゆくと伝送特
性上のマーカーM3の損失が−1.9426dBから−
0.5201dBへ減少(表3参照)することから、通
過域での低損失化も図れることが分かる。ただし、50
%以上の菱形重み付けを実施した場合マーカーM2の周
波数位置以外に別の高次モード(図15〜図17のマー
カーM4)が生じる。しかし、この高次モードの周波数
位置はフィルタの通過帯域から低域にずれた位置である
ので、この高次モードによる通過帯域への影響はほとん
どない。
【0040】これらのことから、すだれ状電極を構成し
ている電極指のうちの50%以上の電極指に対しアポダ
イズ法に従う重み付けを実施してあるSAW共振子によ
って、梯型構成の共振器型SAWフィルタのすべての並
列腕共振子をそれぞれ構成すると、フィルタの通過帯域
中の低域側リップルRL (並列腕SAW共振子の高次モ
ードに起因するスプリアス)を抑制出来ることが理解出
来る。
【0041】2−1−3.実施例1、実施例2 次に、実施例1として、4段T型梯型回路構成の共振器
型SAWフィルタであって、すべての直列腕SAW共振
子についてすだれ状電極と反射器との距離tを17λ1
/24(0.708λ1 )とし、すべての並列腕SAW
共振子については距離tをλ2 /2としかつそれぞれの
すだれ状電極にアポダイズ法に従う100%の重み付け
(菱形重み付け)を実施したSAWフィルタを構成し、
そしてその伝送特性を調べる。図18(A)にこの実施
例1のSAWフィルタ100の回路構成図を示し、図1
8(B)にその伝送特性を示した。なお、図18(A)
において、101は距離tを17λ1 /24としてある
直列腕SAW共振子、103は距離tをλ2 /2として
ありかつすだれ状電極に100%菱形重み付けをした並
列腕SAW共振子である。各直列腕SAW共振子101
は静電容量が4.84pFのもの、各並列腕SAW共振
子103は静電容量が1.96pFのものを用いる。ま
た、図18(B)の伝送特性図中には、第1発明におけ
る図7(B)と同様、マーカーMa〜マーカーMdを付
してある(図19(B)において同じ。)。また、図1
8(B)において横軸1目盛りは20MHz、縦軸1目
盛りは10dBとしてある(図19(B)において同
じ。)。
【0042】また、実施例2として、実施例1の構成に
おける3個の直列腕SAW共振子について、すだれ状電
極と反射器との距離tを、1つは16λ1 /24(0.
667λ1 )とし、1つは17λ1 /24(0.708
λ1 )とし、1つは18λ/24(0.750λ
)とし、それ以外は実施例1と同様にして4段T型
梯型回路構成の共振器型SAWフィルタを構成する。そ
してその伝送特性を調べる。図19(A)にこの実施例
2のSAWフィルタ110の回路構成図を示し、図19
(B)にその伝送特性を示した。なお、図19(A)に
おいて、111a〜111cは、距離tをそれぞれ16
λ1 /24、17λ1 /24、18λ1 /24と互いに
違えた直列腕SAW共振子、113は距離tをλ2 /2
としてありかつすだれ状電極に100%菱形重み付けを
した並列腕SAW共振子である。各直列腕SAW共振子
111a〜111cは静電容量が4.84pFのもの
を、各並列腕SAW共振子113は静電容量が1.96
pFのものを用いる。
【0043】なお、図18(B)および図19(B)の
各伝送特性中のマーカーMa〜Mdの減衰量を表4に示
す。
【0044】
【表4】
【0045】第1発明の実施例で説明したフィルタ30
では、マーカーMaでの損失とマーカーMbでの損失の
差が、(−2.03−(−1.50))=−0.53で
あったのに対し(表2参照)、第2発明の実施例1のフ
ィルタ100ではそれが(−1.97−(−2.0
2))=0.05、第2発明の実施例2のフィルタ11
0ではそれが(−2.03−(−1.84))=−0.
19となることが分かる。これらのことから、第2発明
の実施の形態によれば、通過域特性の平坦化が達成でき
ることが分かる。これは、通過域中の低域側のリップR
L が抑制出来たことを意味する。ここで、第1発明の実
施例で説明したフィルタ30(図7参照)のマーカーM
a位置での損失と、第2発明の実施例1および実施例2
の各フィルタ100、110それぞれのマーカーMa位
置での損失を比較すると、両者に差が見られないので、
第2発明では通過域中の低域側のリップルRH が抑制さ
れていないように感じるかもしれない。しかし、これは
製造バラツキなどの他の要因によるものであるので、こ
れによって第2発明の第1の実施の形態が有する効果は
否定されない。
【0046】また、この実施例1と実施例2とから、次
の点も明らかになった。すなわち、第1発明についての
効果なのであるが、複数個の直列腕SAW共振子を具え
る多段梯型構成の共振器SAWフィルタでは、これら直
列腕SAW共振子それぞれのすだれ状電極と反射器との
距離tを違えた方が、高域側減衰特性が改善されるので
ある。これは、図18(B)、図19(B)それぞれの
マーカーMcとマーカーMdとの間の周波数域で、実施
例2の方が減衰量が大きくできている(山がつぶれた状
態になっている)ことから明確である。これは、実施例
2の方が減衰域特性改善用のポールが多数出現すること
に起因する。
【0047】2−2.第2発明の第2の実施の形態 次に、通過域における低域側のリップルRL および高域
側のリップルRH 双方を抑制する例を説明する。図20
(A)、(B)はその説明図であり、第2発明の第2の
実施の形態の共振器型SAWフィルタ120の回路構成
図および概略的な伝送特性図である。このSAWフィル
タ120では、直列腕SAW共振子121のうちの少な
くとも1個については、図2(A)を参照して既に説明
したと同様に、すだれ状電極と反射器との距離tを(n
/2+0.55)λ1 〜(n/2+0.81)λ1 の範
囲としてある。しかも、直列腕SAW共振子121のう
ちの少なくとも1個については、そのすだれ状電極を構
成している電極指のうちの30〜80%の電極指に対し
アポダイズ法に従う重み付けを実施してある。そのよう
にしない直列腕SAW共振子が残っている場合は、それ
らは距離tがλ1 /2のSAW共振子とする。なお、距
離tを(n/2+0.55)λ1 〜(n/2+0.8
1)λ1 の範囲とすることと、30〜80%の重み付け
をすることを、ある直列腕SAW共振子に対しそれぞれ
実施しても良いし、あるSAW共振子に対しては距離t
の工夫のみを実施し、別のSAW共振子には重み付けの
みを実施するというように、別々の直列腕SAW共振子
に対し実施しても良い。いずれをとるかは設計に応じ決
めることが出来る。後に、同じ直列腕共振子に対し、距
離tを(n/2+0.55)λ1 〜(n/2+0.8
1)λ1 の範囲とすることと、30〜80%の重み付け
をすることとを、実施した例(図21に示す例)説明す
る。また、第1の実施の形態と同様に、すべての並列腕
SAW共振子123は、すだれ状電極を構成している電
極指のうちの50%以上の電極指に対しアポダイズ法に
従う重み付けを実施してある。
【0048】直列腕SAW共振子121のうちの少なく
とも1個について、そのすだれ状電極を構成している電
極指のうちの30〜80%の電極指に対し、アポダイズ
法に従う重み付けを実施したフィルタでは、詳細な理由
および特性は後述するが、図20(B)に概略的に示し
た伝送特性図のように、通過域における高域側のリップ
ルRH を抑制することができる。また、該1の実施の形
態で説明したことであるが、すべての並列腕SAW共振
子123に対する重み付けにより、通過域における低域
側のリップルRL を抑制することができる。よって、こ
の第2の実施の形態のフィルタ120では、第1の発明
の効果に加え、通過域における低域側のリップルRL お
よび高域側のリップルRH 双方も抑制できる。以下、
(a) 直列腕SAW共振子に対しての重み付けの具体例、
(b) 重み付けを30〜80%とする根拠について順に説
明する。
【0049】2−2−1.直列腕SAW共振子での重み
付け 直列腕SAW共振子に実施するアポダイズ法に従う重み
付けの具体例について図21を参照して説明する。図2
1の例の場合、すだれ状電極を構成している電極指33
aのうちの30〜80%の電極指に対しアポダイズ法に
従う重み付けであって菱形の重み付けを実施してある。
すなわち、すだれ状電極33の両端から、全電極指数の
15〜40%ずつの電極指に対し中央に向かうに従い交
差長が長くなるように重み付けをしてある。なお、すだ
れ状電極の両端に設ける反射器35は、すだれ状電極の
両端からλ/2の距離を隔てて(図21(B)参照)設
けてある。この図21の特に(A)図において略二等辺
三角形状の破線で囲まれる領域内が重み付けにより出来
たSAW励振領域131a,131bであり、直角三角
形状の破線で囲まれる領域それぞれはダミー領域133
a〜133dである。ダミー領域といえど、この領域中
の電極指部分は実質的に反射器として機能する。その理
由は第1の実施の形態において図11を参照して説明し
た理由と同じであるので、図21(C)中にSAWの反
射を135として示すのみで、説明は省略する。ただ
し、この第2の実施の形態では重み付けされた電極指を
次のように工夫してある。これを特に図21(C)を参
照して説明する。ここで図21(C)は図21(A)に
示したSAW共振子のs部分の拡大図である。図21
(C)においてI−I線を境にその上側の電極指部分1
31x,131y,131zそれぞれはSAW励振領域
131a内のもの、I−I線を境にその下側の電極指部
分133x,133y,133zはダミー領域133d
内のものである。
【0050】重み付けされた各電極指において、それら
のSAW励振領域内に所属する電極指部分同士は従来同
様λ/2ピッチで配置された構造となっている。またダ
ミー領域内に所属する電極指部分同士も従来同様λ/2
ピッチで配置された構造となっている。しかし、電極指
部分131xと電極指部分133xとの関係、電極指部
分131yと電極指部分133yとの関係、電極指部分
131zと電極指部分133zとの関係から分かるよう
に、SAW励振領域に所属する電極指部分とダミー領域
に所属する電極指部分との位置関係を、電極指の並ぶ方
向に沿って、相対的に0.05λ〜0.31λの範囲の
任意の値分ずらしてある。従って、電極指の配置方向に
沿っての、電極指部分131xと電極指部分133xと
の距離(間隔)など(図21(B)中のt1)は、0.
05λ〜0.31λの範囲の任意の同値になる。しか
も、電極指部分131xと電極指部分133x、電極指
部分131zと電極指部分133zのように、同一電極
指のそれぞれ一部ずつがSAW励振領域或はダミー領域
に所属する電極指は、境界線I−Iのところで電極指の
一部が鍵状の形状になる。これらのことから、例えばあ
る電極指と、これに対しては反射器として機能する電極
指(例えば電極指部分131xと電極指部分133y)
との距離tは、λ/2+0.05λ〜λ/2+0.31
λ、すなわち0.55λ〜0.81λとなる。このこと
から分かるように、従来の正規型のSAW共振子におい
て距離tを(n/2+0.55)λ〜(n/2+0.8
1)λとした場合と、30〜80%の重み付けをしたS
AW共振子とでは同じ反射条件となり同じ反射効果があ
る。
【0051】2−2−2.重み付けを30%〜80%と
する根拠 次に、梯型回路構成の共振器型SAWフィルタにおい
て、それに備わる直列腕SAW共振子のうちの少なくと
も1個の直列腕SAW共振子のすだれ状電極に30〜8
0%の重み付けをするのが良い理由について説明する。
【0052】このため、正規型でかつ距離tがλ/2の
SAW共振子(例えば図2(B)参照)におけるすだれ
状電極の電極指に対しアポダイズ法に従う重み付けを0
〜100%の範囲で種々に違えたSAW共振子を構成
し、そしてこれらの伝送特性および反射特性をそれぞれ
調べる。ここでは、重み付けなし(0%)、重み付け3
3%、重み付け50%、重み付け83%、重み付け10
0%の5水準とした5つのSAW共振子を用いる。ま
た、それぞれのSAW共振子について直列腕接続した状
態(図22(C)の状態)での伝送特性および反射特性
を調べる。ただし、重み付けは図21に例示したと同
様、すだれ状電極の両端から菱形状に行う。また、各S
AW共振子のすだれ状電極は、アルミニウム、または
銅、またはシリコンを数%含むアルミニウム合金で構成
する。さらにすだれ状電極は、その電極対数が120、
交差長が100μm、静電容量C0 が4.80pFのも
のとする。この静電容量C0 は、基板として36°回転
Y板LiTaO3 を用い、かつ、単位長、単位対当たり
の静電容量を4×102 pFとし、 C0 =(対(つい)数)×(交差長)×(単位長、単位
対当たり静電容量) の式で計算した。この静電容量C0 の算出法は、例えば
文献II(信学技報US95-25,EMD95-21,CPM95-33(1995-0
7),p42) に説明されているものである。
【0053】重み付けなしのSAW共振子の伝送特性を
図22(A)にまたその反射特性を図22(B)に示し
た。また、重み付けを33%としたSAW共振子の伝送
特性を図23(A)にまたその反射特性を図23(B)
に示した。また、重み付けを50%としたSAW共振子
の伝送特性を図24(A)にまたその反射特性を図24
(B)に示した。また、重み付けを83%としたSAW
共振子の伝送特性を図25(A)にまたその反射特性を
図25(B)に示した。また、重み付けを100%とし
たSAW共振子の伝送特性を図26(A)にまたその反
射特性を図26(B)に示した。いずれの反射特性もス
ミスチャートで示している。高次モードに起因するスプ
リアスの変化はスミスチャートで見たほうが分かり易い
からである。また、各伝送特性および反射特性では、特
性中に出現している減衰極、スプリアスに、マーカーM
1〜M4(M4は図25以降)を付してある。ここで、
マーカーM1で示される減衰極は、SAW共振子の反共
振周波数に起因する減衰極である。マーカーM2で示さ
れるスプリアスは高次モードに起因するスプリアスであ
る。この高次モードによるスプリアスは反射特性上(ス
ミスチャート上)ではマーカーM2付近の不連続なへこ
みの点に対応している。またマーカーM3で示されるス
プリアスは、反共振周波数による減衰極の周波数位置か
ら20MHz低い周波数位置にあり、この周波数位置は
SAW共振子を梯型回路構成した800MHz帯の共振
器型SAWフィルタでは通過帯域の高周波数端にあたる
周波数である。また、表5に、マーカーM3の減衰量を
示す。
【0054】
【表5】
【0055】図22〜図26の各特性を比較すると分か
るように、重み付けの割合を増加してゆくと、反射特性
(スミスチャート)上のマーカーM2付近の不連続なへ
こみがなくなっていく。詳細には、重み付けの割合が約
30〜80%になると重み付けの効果が十分に現われる
のでマーカーM2の高次モードのスプリアスが抑制され
ることが分かる。また、約80%以上の菱形重み付けを
施すとマーカーM2以外に別のスプリアス(図25,図
26のマーカーM4)が生じる。このスプリアスの周波
数位置は、フィルタの通過帯域の中央付近になるだけで
なくM4のリップルの影響によりM3の損失も増加する
ので、菱形重み付けを80%以上施したSAW共振子
は、梯型構成の共振器型SAWフィルタの直列腕SAW
共振子としては利用出来ない。
【0056】これらのことから、すだれ状電極を構成し
ている電極指のうちの30〜80%の電極指に対しアポ
ダイズ法に従う重み付けを実施してあるSAW共振子に
よって、梯型構成の共振器型SAWフィルタの少なくと
も1個の直列腕共振子を構成すると、フィルタの通過帯
域中の高域側リップルRH (直列腕SAW共振子の高次
モードに起因するスプリアス)を抑制出来ることが理解
出来る。
【0057】2ー3.第2発明の第3の実施の形態 上述の第1の実施の形態では、直列腕SAW共振子につ
いての距離tと、並列腕共振子についての重み付けとを
考慮し例を説明し、また、第2の実施に形態では、直列
腕SAW共振子についての距離tと、並列腕共振子につ
いての重み付けと、直列腕共振子についての重み付けと
を考慮した例を説明した。しかし、この第2発明では、
梯型構成の共振器型SAWフィルタの少なくも1個の直
列腕共振子のすだれ状電極と反射器との距離tを(n/
2+0.55)λ1 〜(n/2+0.81)λ1 とし、
かつ、少なくとも1個の直列腕共振子のすだれ状電極に
30〜80%の重み付けを実施する構成をとっても良
い。すなわち、第2の実施の形態の構成から、並列腕S
AW共振子のすだれ状電極に対しての重み付けを行う構
成を除いた構成をとっても良い。この場合は、減衰域の
特性改善と、通過域中の高域側リップルRH の抑制とが
図れる。
【0058】上述の第2の発明の各実施の形態では、多
段型の例について説明したが、この第2の発明は1段梯
型回路構成の共振器型弾性表面波フィルタにももちろん
適用出来る。
【0059】また、この第2の発明を多段梯型回路構成
の共振器型弾性表面波フィルタに適用する場合におい
て、以下の様な構成をとる場合も上記の実施の形態と同
様な効果が得られる。
【0060】先ず、2個以上の並列腕SAW共振子を含
む多段フィルタ(2段T型は該当しない趣旨)において
は、これら並列腕SAW共振子に対し実施する重み付け
の割合が50%以上であれば、各並列腕SAW共振子ご
とで重み付け割合が一部違っても互いに違っていても良
い。
【0061】また、2個以上の直列腕SAW共振子を含
む多段フィルタ(2段π型は該当しない趣旨)において
少なくとも2個の直列腕SAW共振子に対し重み付けを
実施する場合は、重み付けの割合が30〜80%であれ
ば、これら直列腕SAW共振子ごとで重み付け割合が一
部違っても互いに違っていても良い。
【0062】また、2個以上の直列腕SAW共振子を含
む多段フィルタ(2段π型は該当しない趣旨)において
少なくとも2個の直列腕SAW共振子に距離tの工夫と
重み付けの工夫とをそれぞれ実施する場合は、重み付け
の割合が30〜80%の範囲であればこれら直列腕SA
W共振子ごとで重み付け割合が一部違っても互いに違っ
ていても良く、また、SAW励振領域に所属する電極指
部分とダミー領域に所属する電極指部分との相対的な位
置ずれ距離(図21(C)中のt1)が0.05λ〜
0.31λの範囲であればこれら直列腕SAW共振子ご
とで該距離t1が一部違っても互いに違っていても良
い。
【0063】また、上述の実施の形態では、直列腕SA
W共振子およびまたは並列腕SAW共振子に対しアポダ
イズ法であって重み付け軌跡が菱形になる方法で重み付
けをした。しかし、重み付け軌跡が他の形になるように
(例えばcosine状になるように)交差長に重み付けをす
るアポダイズ法であっても実施の形態と同様の効果が得
られる。
【0064】また、すだれ状電極および反射器を構成す
る金属材料を上記例示以外の他の金属に変えた場合、ま
た、圧電基板の材料、使用周波数および通過帯域幅が上
記例示以外のものであっても、すだれ状電極膜厚H/λ
とスプリアスとの条件は若干変化するが、この第2発明
を適用出来、その場合も実施の形態と同様の効果が得ら
れる。
【0065】
【発明の効果】上述した説明から明らかなように、この
発明の梯型回路構成の共振器型弾性表面波フィルタによ
れば、これに備わる直列腕弾性表面波共振子におけるす
だれ状電極と反射器との距離tを(n/2+0.55)
λ1 〜(n/2+0.81)λ1 の範囲の値としてあ
る。このため、当該直列腕SAW共振子自体が、通過域
より高域側に信号減衰用のポールを生じさせるようにな
る。そのため、高域側の減衰特性改善用のSAW共振子
を特別に用いることなく、高域側の減衰特性の改善が図
れる。したがって、高域側の減衰特性改善用のSAW共
振子を用いていた場合に生じていた問題を解決できる。
【0066】また、この発明の梯型回路構成の共振器型
弾性表面波フィルタであって、並列腕弾性表面波共振子
およびまたは直列腕弾性表面波共振子のすだれ状電極に
重み付けをさらに実施した構成のフィルタでは、該重み
付けによりフィルタの通過域中のリップル発生を抑制で
きる。このため、高域側の減衰特性改善用のSAW共振
子を特別に用いることなく、高域側の減衰特性の改善が
図れ、しかも、フィルタの通過域特性をさらに改善でき
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1の発明の説明図であり、第1の発明に係る
フィルタの回路構成を示した図である。
【図2】第1の発明の説明図であり、(A)は直列腕S
AW共振子として用いたSAW共振子の説明図、(B)
は並列腕SAW共振子として用いたSAW共振子の説明
図である。
【図3】第1の発明の説明図であり、各SAW共振子の
周波数についての設計法の説明図である。
【図4】第1の発明の説明図であり、距離tの好適範囲
の説明図(その1)である。
【図5】第1の発明の説明図であり、距離tの好適範囲
の説明図(その2)である。
【図6】第1の発明の説明図であり、距離tの好適範囲
の説明図(その3)である。
【図7】第1の発明の実施例の説明図である。
【図8】第1の発明の比較例の説明図である。
【図9】第2の発明の説明図であり、第2の発明が解決
しようとする課題の説明図である。
【図10】第2発明の第1の実施の形態の説明図であ
る。
【図11】第2発明の第1の実施の形態の説明図であ
り、並列腕SAW共振子に重み付けを100%する場合
の具体例の説明図である。
【図12】第2発明の第1の実施の形態の説明図であ
り、並列腕SAW共振子に重み付けを50%する場合の
具体例の説明図である。
【図13】並列腕SAW共振子に対する重み付けを0%
とした際の伝送特性および反射特性の説明図である。
【図14】並列腕SAW共振子に対する重み付けを33
%とした際の伝送特性および反射特性の説明図である。
【図15】並列腕SAW共振子に対する重み付けを50
%とした際の伝送特性および反射特性の説明図である。
【図16】並列腕SAW共振子に対する重み付けを83
%とした際の伝送特性および反射特性の説明図である。
【図17】並列腕SAW共振子に対する重み付けを10
0%とした際の伝送特性および反射特性の説明図であ
る。
【図18】第2発明第1実施形態の実施例1の説明図で
ある。
【図19】第2発明の第1実施形態の実施例2の説明図
である。
【図20】第2発明第2の実施の形態の説明図である。
【図21】第2発明第2の実施の形態の説明図であり、
直列腕SAW共振子に重み付けをする場合の具体例の説
明図である。
【図22】直列腕SAW共振子に対する重み付けを0%
とした際の伝送特性および反射特性の説明図である。
【図23】直列腕SAW共振子に対する重み付けを33
%とした際の伝送特性および反射特性の説明図である。
【図24】直列腕SAW共振子に対する重み付けを50
%とした際の伝送特性および反射特性の説明図である。
【図25】直列腕SAW共振子に対する重み付けを83
%とした際の伝送特性および反射特性の説明図である。
【図26】直列腕SAW共振子に対する重み付けを10
0%とした際の伝送特性および反射特性の説明図であ
る。
【図27】課題の説明図である。
【符号の説明】
20:多段梯型回路構成の共振器型弾性表面波フィルタ 21a〜21n:直列腕SAW共振子(少なくとも1個
はt=0.55λ1 〜0.81λ1 ) 23a〜23n:正規型の並列腕SAW共振子 33:すだれ状電極 33a:電極指 35:反射器 35a:金属スリットパタン 81:SAW(弾性表面波)励振領域 83a〜83d:ダミー領域 81x〜81z:SAW励振領域内の(SAW励振領域
に所属する)電極指部分 83x〜83z:ダミー領域内の(ダミー領域に所属す
る)電極指部分

Claims (22)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 すだれ状電極と該すだれ状電極の両側に
    距離tを隔ててそれぞれ設けられた反射器とを具える弾
    性表面波共振子により、直列腕弾性表面波共振子および
    並列腕弾性表面波共振子がそれぞれ構成されている、1
    段梯型回路構成の共振器型弾性表面波フィルタにおい
    て、 直列腕弾性表面波素子については前記距離tを(n/2
    +0.55)λ1 〜(n/2+0.81)λ1 の範囲の
    いずれかの値としてあることを特徴とする共振器型弾性
    表面波フィルタ(ただし、nは0または任意の正の整数
    であり、λ1 は前記直列腕弾性表面波共振子で励振され
    る弾性表面波の波長である。)。
  2. 【請求項2】 すだれ状電極と該すだれ状電極の両側に
    距離tを隔ててそれぞれ設けられた反射器とを具える弾
    性表面波共振子により、直列腕弾性表面波共振子および
    並列腕弾性表面波共振子がそれぞれ構成されている、1
    段梯型回路構成の共振器型弾性表面波フィルタにおい
    て、 直列腕弾性表面波共振子については前記距離tを(n/
    2+0.55)λ1 〜(n/2+0.81)λ1 の範囲
    のいずれかの値としてあり、 並列腕弾性表面波共振子についてはすだれ状電極を構成
    している電極指のうちの50%以上の電極指に対し、ア
    ポダイズ法に従う重み付けを実施してあることを特徴と
    する共振器型弾性表面波フィルタ(ただし、nは0また
    は任意の正の整数であり、λ1 は前記直列腕弾性表面波
    共振子で励振される弾性表面波の波長である。また、前
    記並列腕弾性表面波共振子については、前記重み付けの
    程度によって前記反射器を具えない場合があっても良
    い。)。
  3. 【請求項3】 すだれ状電極と該すだれ状電極の両側に
    距離tを隔ててそれぞれ設けられた反射器とを具える弾
    性表面波共振子により、直列腕弾性表面波共振子および
    並列腕弾性表面波共振子がそれぞれ構成されている、1
    段梯型回路構成の共振器型弾性表面波フィルタにおい
    て、 直列腕弾性表面波共振子についてはすだれ状電極を構成
    している電極指のうちの30〜80%の電極指に対し、
    アポダイズ法に従う重み付けを実施してあり、しかも、
    該重み付けした各電極指は、該重み付けで生じた弾性表
    面波励振領域内に所属する電極指部分とダミー領域内に
    所属する電極指部分との位置関係が電極指の並ぶ方向に
    沿って0.05λ1 〜0.31λ1 の範囲のいずれかの
    値だけ相対的にずれた構造のものとしてあることを特徴
    とする共振器型弾性表面波フィルタ(ただし、λ1 は前
    記直列腕弾性表面波共振子で励振される弾性表面波の波
    長である。また、前記直列腕弾性表面波共振子について
    は、前記重み付けの程度によって前記反射器を具えない
    場合があっても良い。)。
  4. 【請求項4】 すだれ状電極と該すだれ状電極の両側に
    距離tを隔ててそれぞれ設けられた反射器とを具える弾
    性表面波共振子により、直列腕弾性表面波共振子および
    並列腕弾性表面波共振子がそれぞれ構成されている、1
    段梯型回路構成の共振器型弾性表面波フィルタにおい
    て、 直列腕弾性表面波共振子についてはすだれ状電極を構成
    している電極指のうちの30〜80%の電極指に対し、
    アポダイズ法に従う重み付けを実施してあり、しかも、
    該重み付けした各電極指は、該重み付けで生じた弾性表
    面波励振領域内に所属する電極指部分とダミー領域内に
    所属する電極指部分との位置関係が電極指の並ぶ方向に
    沿って0.05λ1 〜0.31λ1 の範囲のいずれかの
    値だけ相対的にずれた構造のものとしてあり、 並列腕弾性表面波共振子についてはすだれ状電極を構成
    している電極指のうちの50%以上の電極指に対し、ア
    ポダイズ法に従う重み付けを実施してあることを特徴と
    する共振器型弾性表面波フィルタ(ただし、λ1 は前記
    直列腕弾性表面波共振子で励振される弾性表面波の波長
    である。また、前記直列腕弾性表面波共振子および並列
    腕弾性表面波共振子それぞれについては、前記重み付け
    の程度によって前記反射器を具えない場合があっても良
    い。)。
  5. 【請求項5】 すだれ状電極と、該すだれ状電極の両側
    に距離tを隔ててそれぞれ設けられた反射器とを具える
    弾性表面波共振子により、直列腕弾性表面波共振子およ
    び並列腕弾性表面波共振子がそれぞれ構成されている、
    多段梯型回路構成の共振器型弾性表面波フィルタにおい
    て、 少なくとも1個の直列腕弾性表面波共振子については前
    記距離tを(n/2+0.55)λ1 〜(n/2+0.
    81)λ1 の範囲のいずれかの値としてあることを特徴
    とする共振器型弾性表面波フィルタ(ただし、nは0ま
    たは任意の正の整数であり、λ1 は前記直列腕弾性表面
    波共振子で励振される弾性表面波の波長である。)。
  6. 【請求項6】 すだれ状電極と、該すだれ状電極の両側
    に距離tを隔ててそれぞれ設けられた反射器とを具える
    弾性表面波共振子により、直列腕弾性表面波共振子およ
    び並列腕弾性表面波共振子がそれぞれ構成されていて、
    かつ、2個以上の直列腕弾性表面波共振子を含む、多段
    梯型回路構成の共振器型弾性表面波フィルタにおいて、 少なくとも2個の直列腕弾性表面波共振子については前
    記距離tを(n/2+0.55)λ1 〜(n/2+0.
    81)λ1 の範囲のいずれかの値でかつ同じ値としてあ
    ることを特徴とする共振器型弾性表面波フィルタ(ただ
    し、nは0または任意の正の整数であり、λ1 は前記直
    列腕弾性表面波共振子で励振される弾性表面波の波長で
    ある。)。
  7. 【請求項7】 すだれ状電極と、該すだれ状電極の両側
    に距離tを隔ててそれぞれ設けられた反射器とを具える
    弾性表面波共振子により、直列腕弾性表面波共振子およ
    び並列腕弾性表面波共振子がそれぞれ構成されていて、
    かつ、2個以上の直列腕弾性表面波共振子を含む、多段
    梯型回路構成の共振器型弾性表面波フィルタにおいて、 少なくとも2個の直列腕弾性表面波共振子については前
    記距離tを(n/2+0.55)λ1 〜(n/2+0.
    81)λ1 の範囲のいずれかの値としてあり、かつ、そ
    のようにした複数個の直列腕弾性表面波共振子のうちの
    一部については前記距離tを他のものと違えてあること
    を特徴とする共振器型弾性表面波フィルタ(ただし、n
    は0または任意の正の整数であり、λ1 は前記直列腕弾
    性表面波共振子で励振される弾性表面波の波長であ
    る。)。
  8. 【請求項8】 すだれ状電極と、該すだれ状電極の両側
    に距離tを隔ててそれぞれ設けられた反射器とを具える
    弾性表面波共振子により、直列腕弾性表面波共振子およ
    び並列腕弾性表面波共振子がそれぞれ構成されていて、
    かつ、2個以上の直列腕弾性表面波共振子を含む、多段
    梯型回路構成の共振器型弾性表面波フィルタにおいて、 少なくとも2個の直列腕弾性表面波共振子については前
    記距離tを(n/2+0.55)λ1 〜(n/2+0.
    81)λ1 の範囲のいずれかの値でかつ互いに異なる値
    としてあることを特徴とする共振器型弾性表面波フィル
    タ(ただし、nは0または任意の正の整数であり、λ1
    は前記直列腕弾性表面波共振子で励振される弾性表面波
    の波長である。)。
  9. 【請求項9】 すだれ状電極と、該すだれ状電極の両側
    に距離tを隔ててそれぞれ設けられた反射器とを具える
    弾性表面波共振子により、直列腕弾性表面波共振子およ
    び並列腕弾性表面波共振子がそれぞれ構成されている、
    多段梯型回路構成の共振器型弾性表面波フィルタにおい
    て、 少なくとも1個の直列腕弾性表面波共振子については前
    記距離tを(n/2+0.55)λ1 〜(n/2+0.
    81)λ1 の範囲のいずれかの値としてあり、すべての
    並列腕弾性表面波共振子におけるすだれ状電極を構成し
    ている電極指のうちの50%以上の電極指に対しアポダ
    イズ法に従う重み付けを実施してあることを特徴とする
    共振器型弾性表面波フィルタ(ただし、nは0または任
    意の正の整数であり、λ1 は前記直列腕弾性表面波共振
    子で励振される弾性表面波の波長である。また、前記並
    列腕弾性表面波共振子については、前記重み付けの程度
    によってはすだれ状電極両側の反射器を具えない場合が
    あっても良い。)。
  10. 【請求項10】 すだれ状電極と、該すだれ状電極の両
    側に距離tを隔ててそれぞれ設けられた反射器とを具え
    る弾性表面波共振子により、直列腕弾性表面波共振子お
    よび並列腕弾性表面波共振子がそれぞれ構成されてい
    て、かつ、2個以上の直列腕弾性表面波共振子を含む、
    多段梯型回路構成の共振器型弾性表面波フィルタにおい
    て、 少なくとも2個の直列腕弾性表面波共振子については前
    記距離tを(n/2+0.55)λ1 〜(n/2+0.
    81)λ1 の範囲のいずれかの値でかつ同じ値としてあ
    り、 すべての並列腕弾性表面波共振子におけるすだれ状電極
    を構成している電極指のうちの50%以上の電極指に対
    しアポダイズ法に従う重み付けを実施してあることを特
    徴とする共振器型弾性表面波フィルタ(ただし、nは0
    または任意の正の整数であり、λ1 は前記直列腕弾性表
    面波共振子で励振される弾性表面波の波長である。ま
    た、前記並列腕弾性表面波共振子については、前記重み
    付けの程度によってはすだれ状電極両側の反射器を具え
    ない場合があっても良い。)。
  11. 【請求項11】 すだれ状電極と、該すだれ状電極の両
    側に距離tを隔ててそれぞれ設けられた反射器とを具え
    る弾性表面波共振子により、直列腕弾性表面波共振子お
    よび並列腕弾性表面波共振子がそれぞれ構成されてい
    て、かつ、2個以上の直列腕弾性表面波共振子を含む、
    多段梯型回路構成の共振器型弾性表面波フィルタにおい
    て、 少なくとも2個の直列腕弾性表面波共振子については前
    記距離tを(n/2+0.55)λ1 〜(n/2+0.
    81)λ1 の範囲のいずれかの値としてあり、かつ、そ
    のようにした複数個の直列腕弾性表面波共振子のうちの
    一部については前記距離tを他のものと違えてあり、 すべての並列腕弾性表面波共振子におけるすだれ状電極
    を構成している電極指のうちの50%以上の電極指に対
    しアポダイズ法に従う重み付けを実施してあることを特
    徴とする共振器型弾性表面波フィルタ(ただし、nは0
    または任意の正の整数であり、λ1 は前記直列腕弾性表
    面波共振子で励振される弾性表面波の波長である。ま
    た、前記並列腕弾性表面波共振子については、前記重み
    付けの程度によってはすだれ状電極両側の反射器を具え
    ない場合があっても良い。)。
  12. 【請求項12】 すだれ状電極と、該すだれ状電極の両
    側に距離tを隔ててそれぞれ設けられた反射器とを具え
    る弾性表面波共振子により、直列腕弾性表面波共振子お
    よび並列腕弾性表面波共振子がそれぞれ構成されてい
    て、かつ、2個以上の直列腕弾性表面波共振子を含む、
    多段梯型回路構成の共振器型弾性表面波フィルタにおい
    て、 少なくとも2個の直列腕弾性表面波共振子については前
    記距離tを(n/2+0.55)λ1 〜(n/2+0.
    81)λ1 の範囲のいずれかの値でかつ互いに異なる値
    としてあり、 すべての並列腕弾性表面波共振子におけるすだれ状電極
    を構成している電極指のうちの50%以上の電極指に対
    しアポダイズ法に従う重み付けを実施してあることを特
    徴とする共振器型弾性表面波フィルタ(ただし、nは0
    または任意の正の整数であり、λ1 は前記直列腕弾性表
    面波共振子で励振される弾性表面波の波長である。ま
    た、前記並列腕弾性表面波共振子については、前記重み
    付けの程度によってはすだれ状電極両側の反射器を具え
    ない場合があっても良い。)。
  13. 【請求項13】 すだれ状電極と、該すだれ状電極の両
    側に距離tを隔ててそれぞれ設けられた反射器とを具え
    る弾性表面波共振子により、直列腕弾性表面波共振子お
    よび並列腕弾性表面波共振子がそれぞれ構成されてい
    る、多段梯型回路構成の共振器型弾性表面波フィルタに
    おいて、 少なくとも1個の直列腕弾性表面波共振子についてはす
    だれ状電極を構成している電極指のうちの30〜80%
    の電極指に対しアポダイズ法に従う重み付けを実施して
    あり、しかも、該共振子における前記重み付けした各電
    極指は、該重み付けで生じた弾性表面波励振領域内に所
    属する電極指部分とダミー領域内に所属する電極指部分
    との位置関係が電極指の並ぶ方向に沿って0.05λ1
    〜0.31λ1 の範囲のいずれかの値だけ相対的にずれ
    た構造のものとしてあることを特徴とする共振器型弾性
    表面波フィルタ(ただし、λ1 は前記直列腕弾性表面波
    共振子で励振される弾性表面波の波長である。また、前
    記直列腕弾性表面波共振子については、前記重み付けの
    程度によってはすだれ状電極両側の反射器を具えない場
    合があっても良い。)。
  14. 【請求項14】 すだれ状電極と、該すだれ状電極の両
    側に距離tを隔ててそれぞれ設けられた反射器とを具え
    る弾性表面波共振子により、直列腕弾性表面波共振子お
    よび並列腕弾性表面波共振子がそれぞれ構成されてい
    て、かつ、2個以上の直列腕弾性表面波共振子を含む、
    多段梯型回路構成の共振器型弾性表面波フィルタにおい
    て、 少なくとも2個の直列腕弾性表面波共振子についてはす
    だれ状電極を構成している電極指のうちの30〜80%
    の電極指に対しアポダイズ法に従う重み付けをそれぞれ
    実施してあり、しかも、これら共振子ごとの前記重み付
    けした各電極指は、該重み付けで生じた弾性表面波励振
    領域内に所属する電極指部分とダミー領域内に所属する
    電極指部分との位置関係が電極指の並ぶ方向に沿って
    0.05λ1 〜0.31λ1 の範囲のいずれかの値であ
    って各共振子に共通な値だけ相対的にずれた構造のもの
    としてあることを特徴とする共振器型弾性表面波フィル
    タ(ただし、λ1 は前記直列腕弾性表面波共振子で励振
    される弾性表面波の波長である。また、前記直列腕弾性
    表面波共振子については、前記重み付けの程度によって
    はすだれ状電極両側の反射器を具えない場合があっても
    良い。)。
  15. 【請求項15】 すだれ状電極と、該すだれ状電極の両
    側に距離tを隔ててそれぞれ設けられた反射器とを具え
    る弾性表面波共振子により、直列腕弾性表面波共振子お
    よび並列腕弾性表面波共振子がそれぞれ構成されてい
    て、かつ、2個以上の直列腕弾性表面波共振子を含む、
    多段梯型回路構成の共振器型弾性表面波フィルタにおい
    て、 少なくとも2個の直列腕弾性表面波共振子についてはす
    だれ状電極を構成している電極指のうちの30〜80%
    の電極指に対しアポダイズ法に従う重み付けをそれぞれ
    実施してあり、しかも、これら共振子ごとの前記重み付
    けした各電極指は、該重み付けで生じた弾性表面波励振
    領域内に所属する電極指部分とダミー領域内に所属する
    電極指部分との位置関係が電極指の並ぶ方向に沿って
    0.05λ1 〜0.31λ1 の範囲のいずれかの値だけ
    (ただし一部の共振子については他の共振子と異なる値
    とする)相対的にずれた構造のものとしてあることを特
    徴とする共振器型弾性表面波フィルタ(ただし、λ1
    前記直列腕弾性表面波共振子で励振される弾性表面波の
    波長である。また、前記直列腕弾性表面波共振子につい
    ては、前記重み付けの程度によってはすだれ状電極両側
    の反射器を具えない場合があっても良い。)。
  16. 【請求項16】 すだれ状電極と、該すだれ状電極の両
    側に距離tを隔ててそれぞれ設けられた反射器とを具え
    る弾性表面波共振子により、直列腕弾性表面波共振子お
    よび並列腕弾性表面波共振子がそれぞれ構成されてい
    て、かつ、2個以上の直列腕弾性表面波共振子を含む、
    多段梯型回路構成の共振器型弾性表面波フィルタにおい
    て、 少なくとも2個の直列腕弾性表面波共振子についてはす
    だれ状電極を構成している電極指のうちの30〜80%
    の電極指に対しアポダイズ法に従う重み付けをそれぞれ
    実施してあり、しかも、これら共振子ごとの前記重み付
    けした各電極指は、該重み付けで生じた弾性表面波励振
    領域内に所属する電極指部分とダミー領域内に所属する
    電極指部分との位置関係が電極指の並ぶ方向に沿って
    0.05λ1 〜0.31λ1 の範囲のいずれかの値であ
    って各共振子ごとで異なる値だけずれた構造のものとし
    てあることを特徴とする共振器型弾性表面波フィルタ
    (ただし、λ1 は前記直列腕弾性表面波共振子で励振さ
    れる弾性表面波の波長である。また、前記直列腕弾性表
    面波共振子については、前記重み付けの程度によっては
    すだれ状電極両側の反射器を具えない場合があっても良
    い。)。
  17. 【請求項17】 すだれ状電極と、該すだれ状電極の両
    側に距離tを隔ててそれぞれ設けられた反射器とを具え
    る弾性表面波共振子により、直列腕弾性表面波共振子お
    よび並列腕弾性表面波共振子がそれぞれ構成されてい
    る、多段梯型回路構成の共振器型弾性表面波フィルタに
    おいて、 少なくとも1個の直列腕弾性表面波共振子についてはす
    だれ状電極を構成している電極指のうちの30〜80%
    の電極指に対しアポダイズ法に従う重み付けを実施して
    あり、しかも、該共振子における前記重み付けした各電
    極指は、該重み付けで生じた弾性表面波励振領域内に所
    属する電極指部分とダミー領域内に所属する電極指部分
    との位置関係が電極指の並ぶ方向に沿って0.05λ1
    〜0.31λ1 の範囲のいずれかの値だけ相対的にずれ
    た構造のものとしてあり、 すべての並列腕弾性表面波共振子におけるすだれ状電極
    を構成している電極指のうちの50%以上の電極指に対
    しアポダイズ法に従う重み付けを実施してあることを特
    徴とする共振器型弾性表面波フィルタ(ただし、λ1
    前記直列腕弾性表面波共振子で励振される弾性表面波の
    波長である。また、前記直列腕弾性表面波共振子および
    並列腕弾性表面波共振子それぞれについては、前記重み
    付けの程度によって前記反射器を具えない場合があって
    も良い。)。
  18. 【請求項18】 すだれ状電極と、該すだれ状電極の両
    側に距離tを隔ててそれぞれ設けられた反射器とを具え
    る弾性表面波共振子により、直列腕弾性表面波共振子お
    よび並列腕弾性表面波共振子がそれぞれ構成されてい
    て、かつ、2個以上の直列腕弾性表面波共振子を含む、
    多段梯型回路構成の共振器型弾性表面波フィルタにおい
    て、 少なくとも2個の直列腕弾性表面波共振子についてはす
    だれ状電極を構成している電極指のうちの30〜80%
    の電極指に対しアポダイズ法に従う重み付けをそれぞれ
    実施してあり、しかも、これら共振子ごとの前記重み付
    けした各電極指は、該重み付けで生じた弾性表面波励振
    領域内に所属する電極指部分とダミー領域内に所属する
    電極指部分との位置関係が電極指の並ぶ方向に沿って
    0.05λ1 〜0.31λ1 の範囲のいずれかの値であ
    って各共振子に共通な値だけ相対的にずれた構造のもの
    としてあり、 すべての並列腕弾性表面波共振子におけるすだれ状電極
    を構成している電極指のうちの50%以上の電極指に対
    しアポダイズ法に従う重み付けを実施してあることを特
    徴とする共振器型弾性表面波フィルタ(ただし、λ1
    前記直列腕弾性表面波共振子で励振される弾性表面波の
    波長である。また、前記直列腕弾性表面波共振子および
    並列腕弾性表面波共振子それぞれについては、前記重み
    付けの程度によって前記反射器を具えない場合があって
    も良い。)。
  19. 【請求項19】 すだれ状電極と、該すだれ状電極の両
    側に距離tを隔ててそれぞれ設けられた反射器とを具え
    る弾性表面波共振子により、直列腕弾性表面波共振子お
    よび並列腕弾性表面波共振子がそれぞれ構成されてい
    て、かつ、2個以上の直列腕弾性表面波共振子を含む、
    多段梯型回路構成の共振器型弾性表面波フィルタにおい
    て、 少なくとも2個の直列腕弾性表面波共振子についてはす
    だれ状電極を構成している電極指のうちの30〜80%
    の電極指に対しアポダイズ法に従う重み付けをそれぞれ
    実施してあり、しかも、これら共振子ごとの前記重み付
    けした各電極指は、該重み付けで生じた弾性表面波励振
    領域内に所属する電極指部分とダミー領域内に所属する
    電極指部分との位置関係が電極指の並ぶ方向に沿って
    0.05λ1 〜0.31λ1 の範囲のいずれかの値だけ
    (ただし一部の共振子については他の共振子と異なる値
    とする)相対的にずれた構造のものとしてあり、 すべての並列腕弾性表面波共振子におけるすだれ状電極
    を構成している電極指のうちの50%以上の電極指に対
    しアポダイズ法に従う重み付けを実施してあることを特
    徴とする共振器型弾性表面波フィルタ(ただし、λ1
    前記直列腕弾性表面波共振子で励振される弾性表面波の
    波長である。また、前記直列腕弾性表面波共振子および
    並列腕弾性表面波共振子それぞれについては、前記重み
    付けの程度によって前記反射器を具えない場合があって
    も良い。)。
  20. 【請求項20】 すだれ状電極と、該すだれ状電極の両
    側に距離tを隔ててそれぞれ設けられた反射器とを具え
    る弾性表面波共振子により、直列腕弾性表面波共振子お
    よび並列腕弾性表面波共振子がそれぞれ構成されてい
    て、かつ、2個以上の直列腕弾性表面波共振子を含む、
    多段梯型回路構成の共振器型弾性表面波フィルタにおい
    て、 少なくとも2個の直列腕弾性表面波共振子についてはす
    だれ状電極を構成している電極指のうちの30〜80%
    の電極指に対しアポダイズ法に従う重み付けをそれぞれ
    実施してあり、しかも、これら共振子ごとの前記重み付
    けした各電極指は、該重み付けで生じた弾性表面波励振
    領域内に所属する電極指部分とダミー領域内に所属する
    電極指部分との位置関係が電極指の並ぶ方向に沿って
    0.05λ1 〜0.31λ1 の範囲のいずれかの値であ
    って各共振子ごとで異なる値だけずれた構造のものとし
    てあり、 すべての並列腕弾性表面波共振子におけるすだれ状電極
    を構成している電極指のうちの50%以上の電極指に対
    しアポダイズ法に従う重み付けを実施してあることを特
    徴とする共振器型弾性表面波フィルタ(ただし、λ1
    前記直列腕弾性表面波共振子で励振される弾性表面波の
    波長である。また、前記直列腕弾性表面波共振子および
    並列腕弾性表面波共振子それぞれについては、前記重み
    付けの程度によって前記反射器を具えない場合があって
    も良い。)。
  21. 【請求項21】 すだれ状電極と、該すだれ状電極の両
    側に距離tを隔ててそれぞれ設けられた反射器とを具え
    る弾性表面波共振子により、直列腕弾性表面波共振子お
    よび並列腕弾性表面波共振子がそれぞれ構成されてい
    て、かつ、2個以上の直列腕弾性表面波共振子を含む、
    多段梯型回路構成の共振器型弾性表面波フィルタにおい
    て、 少なくとも1個の直列腕弾性表面波共振子については前
    記距離tを(n/2+0.55)λ1 〜(n/2+0.
    81)λ1 の範囲のいずれかの値としてあり、 距離tを前記範囲のいずれかの値とした直列腕弾性表面
    波共振子とは別の少なくとも1個の直列腕弾性表面波共
    振子についてはすだれ状電極を構成している電極指のう
    ちの30〜80%の電極指に対しアポダイズ法に従う重
    み付けをそれぞれ実施してあることを特徴とする共振器
    型弾性表面波フィルタ(ただし、nは0または任意の正
    の整数であり、λ1 は前記直列腕弾性表面波共振子で励
    振される弾性表面波の波長である。また前記直列腕弾性
    表面波共振子については、前記重み付けの程度によって
    前記反射器を具えない場合があっても良い。)。
  22. 【請求項22】 すだれ状電極と、該すだれ状電極の両
    側に距離tを隔ててそれぞれ設けられた反射器とを具え
    る弾性表面波共振子により、直列腕弾性表面波共振子お
    よび並列腕弾性表面波共振子がそれぞれ構成されてい
    て、かつ、2個以上の直列腕弾性表面波共振子を含む、
    多段梯型回路構成の共振器型弾性表面波フィルタにおい
    て、 少なくとも1個の直列腕弾性表面波共振子については前
    記距離tを(n/2+0.55)λ1 〜(n/2+0.
    81)λ1 の範囲のいずれかの値としてあり、 距離tを前記範囲のいずれかの値とした直列腕弾性表面
    波共振子とは別の少なくとも1個の直列腕弾性表面波共
    振子についてはすだれ状電極を構成している電極指のう
    ちの30〜80%の電極指に対しアポダイズ法に従う重
    み付けをそれぞれ実施してあり、 すべての並列腕弾性表面波共振子におけるすだれ状電極
    を構成している電極指のうちの50%以上の電極指に対
    しアポダイズ法に従う重み付けを実施してあることを特
    徴とする共振器型弾性表面波フィルタ(ただし、nは0
    または任意の正の整数であり、λ1 は前記直列腕弾性表
    面波共振子で励振される弾性表面波の波長である。ま
    た、前記直列腕弾性表面波共振子および並列腕共振子そ
    れぞれについては、前記重み付けの程度によって前記反
    射器を具えない場合があっても良い。)。
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