KR100735068B1 - 탄성표면파 공진기 및 이를 사용한 탄성표면파 필터 - Google Patents

Abstract

본 발명은 탄성표면파 공진기에 관한 것으로, 그의 공진(共振) 주파수와 반공진(反共振) 주파수를 접근시켜, 종래보다도 높은 각형비(角型比)의 래더(ladder) 타입의 탄성표면파 필터를 제공하는 것을 과제로 한다.

본 발명은, 압전기판(壓電基板)과, 압전기판 상에 형성되고 여진(勵振)해야 하는 탄성표면파의 파장과 대략 동일한 주기(pi)를 갖는 복수의 전극 핑거(electrode finger)로 이루어진 빗살형 전극부와, 빗살형 전극부에 근접 배치되며 빗살형 전극부에서 여진된 탄성표면파의 진행방향과 평행한 방향으로 상기 탄성표면파를 반사시키도록 배치된 적어도 1개 이상의 반사기로 구성되고, 상기 빗살형 전극부가 주기(pi) 중에 3개 이상의 전극 핑거를 구비하며, 상기 반사기가 반사기를 진행하는 탄성표면파의 파장의 반과 동일한 주기(pr)를 갖는 복수의 회절격자로 이루어지는 것을 특징으로 한다.

압전기판, 빗살형 전극, 탄성표면파, 전극 핑거, 공진주파수

Description

탄성표면파 공진기 및 이를 사용한 탄성표면파 필터{SURFACE ACOUSTIC WAVE RESONATOR AND SURFACE ACOUSTIC WAVE FILTER USING THE SAME}

도 1은 본 발명의 1 단자쌍의 탄성표면파 공진기의 일 실시예의 구성도.

도 2는 본 발명의 1 단자쌍의 탄성표면파 공진기의 일 실시예의 구성도.

도 3은 본 발명의 1 단자쌍의 탄성표면파 공진기의 일 실시예의 구성도.

도 4는 직렬 접속한 탄성표면파 공진기의 대역 통과 특성의 비교도.

도 5는 빗살형 전극과 반사기의 위치 관계를 설명하기 위한 부분구성도.

도 6은 빗살형 전극과 반사기의 위치 관계를 설명하기 위한 부분구성도.

도 7은 빗살형 전극과 반사기의 위치 관계를 설명하기 위한 부분구성도.

도 8은 본 발명의 직렬 접속한 탄성표면파 공진기의 대역 통과 특성도.

도 9는 본 발명의 직렬 접속한 탄성표면파 공진기의 대역 통과 특성도.

도 10은 본 발명의 직렬 접속한 탄성표면파 공진기의 대역 통과 특성도.

도 11은 본 발명의 병렬 접속한 탄성표면파 공진기의 대역 통과 특성도.

도 12는 본 발명의 병렬 접속한 탄성표면파 공진기의 대역 통과 특성도.

도 13은 본 발명의 탄성표면파 공진기를 사용한 래더(ladder) 타입 필터의 일 실시예의 구성도.

도 14는 본 발명의 탄성표면파 공진기를 사용한 래더 타입 필터의 일 실시예 의 통과 대역 특성도.

도 15는 본 발명의 탄성표면파 공진기를 직렬 공진기로서 사용한 래더 타입 필터의 일 실시예의 구성도.

도 16은 본 발명의 탄성표면파 공진기를 직렬 공진기로서 사용한 래더 타입 필터의 일 실시예의 통과 대역 특성도.

도 17은 종래의 1 단자쌍의 탄성표면파 공진기의 구성도.

도 18은 종래의 2 단자쌍의 탄성표면파 공진기의 구성도.

도 19는 종래의 1 단자쌍의 탄성표면파 공진기의 등가회로.

도 20은 종래의 직렬 접속된 1 단자쌍의 탄성표면파 공진기.

도 21은 종래의 병렬 접속된 1 단자쌍의 탄성표면파 공진기.

도 22는 종래의 1 단자쌍 탄성표면파 공진기를 직렬 접속했을 때의 통과 대역 특성도.

도 23은 종래의 1 단자쌍 탄성표면파 공진기를 직렬 접속했을 때의 임피던스(impedance) 특성도.

도 24는 종래의 래더 타입 필터의 통과 대역과 억압 대역을 나타낸 그래프.

도 25는 종래의 1 단자쌍 탄성표면파 공진기를 병렬 접속했을 때의 통과 대역 특성도.

도 26은 종래의 1 단자쌍 탄성표면파 공진기를 병렬 접속했을 때의 임피던스 특성도.

도 27은 종래의 래더 타입 필터의 직렬·병렬 접속의 구성도.

도 28은 일반적인 래더 타입 필터의 주파수 특성도.

도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 압전기판(壓電基板) 2 : 빗살형 전극

2-1 : 입력전극 2-2 : 출력전극

3-1, 3-2 : 반사기 3-3, 3-4 : 회절격자 전극 핑거

frs : 직렬 공진기의 공진 주파수 fas : 직렬 공진기의 반공진 주파수

frp : 병렬 공진기의 공진 주파수 fap : 병렬 공진기의 반공진 주파수

F1 : 종래의 공진기의 공진 주파수(frs)

F2 : 본 발명의 실시예의 공진 주파수(frs)

Ti : 입력단자 To : 출력단자

S1, S2, S1', S2' : 직렬 탄성표면파 공진기

R1, R2, R1', R2' : 병렬 탄성표면파 공진기

Pi : 빗살형 전극의 주기 Pr : 반사기의 주기

본 발명은 탄성표면파 공진기 및 이것을 사용한 탄성표면파 소자, 특히, 래더(ladder) 타입 필터에 관한 것이다.

탄성표면파 공진기를 사용한 탄성표면파 필터 또는 공진회로는 소형으로 저렴하게 제공할 수 있다. 따라서, 오늘날의 휴대전화를 비롯한 통신기기의 소형화 를 도모하기 위해, 탄성표면파 공진기는 필요 불가결한 구성요소로 되었다.

도 17에 종래의 일반적인 탄성표면파 공진기의 구성도를 나타낸다.

탄성표면파 공진기는 압전기판(1) 상에 알루미늄 합금 등으로 형성된 원하는 주파수에 대응한 주기의 빗살형 전극(2)과, 그 빗살형 전극(2)에 의해 여진(勵振)된 탄성표면파를 반사시키는 반사기(3-1, 3-2)로 구성된다. 빗살형 전극(2)의 전극 주기(pi)는, 기판의 빗살형 전극 부분에서의 탄성표면파 속도(vi)와 원하는 주파수(fi)로부터 pi=vi/fi로 구할 수 있다.

도 17에 나타낸 탄성표면파 공진기는 1 단자쌍의 공진기로서, 빗살형 전극(2)의 단부 중의 한쪽이 입력신호가 입력되는 입력전극(2-1)이고, 다른 쪽이 출력신호를 출력하는 출력전극(2-2)으로 된다. 반사기(3-1, 3-2)는 일반적으로 주기성을 갖는 회절격자 등으로 형성된다.

회절격자는 압전기판에 홈(groove)을 만드는 것에 의해 형성할 수도 있으나, 일반적으로는, 빗살형 전극과 동시에 형성할 수 있는 알루미늄 합금의 회절격자가 사용된다.

그 회절격자의 주기(pr)는, 빗살형 전극과 동일하게 반사기 부분에서의 탄성표면파 속도(vr)와 원하는 주파수(fr)로부터 2 ×pr=vr/fr로 구할 수 있다. 일반적으로, fi=fr로 하여, vi와 vr은 대략 동일하다고 생각되며, pi=2 ×pr로 설계되는 경우가 많다.

여기서, 회절격자의 주기(pr)의 2배를 반사기의 주기라고 부르는 경우도 있다. 이 경우의 반사기는 「1/2 주기의 반사기」라고도 불린다.

일반적으로, 빗살형 전극(2)은 전극 주기(pi) 중에 2개의 전극이 있는 단일 전극으로 형성되어 있었다. 또한, 반사기도 동일하게, pi와 동일한 회절격자 주기(pr)의 2배 중에 2개의 회절격자 전극(3-3)이 있기 때문에, 빗살형 전극(2)과 동일한 단일 전극으로 형성되어 있었다.

여기서, 단일 전극은 빗살형 전극의 전극 핑거가 입력전극(2-1)의 단부로부터 나온 1개의 전극 핑거와 출력전극(2-2)의 단부로부터 나온 1개의 전극 핑거가 번갈아 배치되어 있는 것을 의미한다. 즉, 입력전극(2-1)의 단부로부터 나온 인접하는 2개의 전극 핑거 사이에 출력전극(2-2)의 단부로부터 나온 1개의 전극 핑거가 반드시 배치되어 있다.

또한, 번갈아 배치된 전극 핑거의 각각을 단일 전극 핑거라고 한다.

도 18에 종래의 복수개의 빗살형 전극으로 이루어진 2 단자쌍 공진기의 구성도를 나타낸다. 여기서, 2-3 및 2-4는 접지단자이다.

도 19에 수정 및 LiTaO₃ 등의 압전기판(1) 상에 형성된 1 단자쌍의 탄성표면파 공진기의 가장 간단한 전기적 등가회로를 나타낸다. 1 단자쌍의 탄성표면파 공진기는, 도 20 및 도 21에 나타낸 바와 같이, 전기적으로 직렬 또는 병렬로 접속하여 사용된다.

도 19에 있어서, R1은 저항, C0 및 C1은 커패시턴스, L1은 인덕턴스, Ti는 입력전극(2-1)의 단자, To는 출력전극(2-2)의 단자이다.

여기서, R1, C1, L1은 압전기판의 재료에 의해 결정되는 값이고, C0는 빗살 형 전극의 대수(對數) 등에 의해 변화하는 값이다.

도 20a에 나타낸 바와 같이 직렬 접속의 경우는, 도 20b에 나타낸 등가회로와 같이, 입력(Ti)과 출력(To) 사이에 1 단자쌍의 탄성표면파 공진기(R)가 직렬로 배치된다. 도 21a에 나타낸 바와 같이 병렬 접속의 경우는, 도 21b에 나타낸 등가회로와 같이, 입력(Ti) 및 출력(To)과 그라운드(G)와의 사이에 1 단자쌍의 탄성표면파 공진기(R)가 배치된다.

도 22에 상기 1 단자쌍의 탄성표면파 공진기를 직렬 접속한 경우의 일반적인 대역 통과 특성을 나타낸다. 여기서, 횡축(橫軸)이 주파수 [㎐]이고, 종축(縱軸)이 감쇠량(減衰量) [㏈]이다. 이것에 의하면, 일정 주파수에서 감쇠량이 극대로 되고 있는데, 이 주파수는 반공진 주파수(fas)라고 불린다.

도 23에 상기 1 단자쌍의 탄성표면파 공진기를 직렬 접속한 경우의 임피던스 특성을 나타낸다. 여기서, 횡축이 주파수이고, 종축이 공진기의 임피던스의 절대값(log값)이다. 이것에 의하면, 주파수가 낮은 쪽에 임피던스가 최소로 되는 공진 주파수(frs)가 나타나고, 주파수가 높은 쪽에 임피던스가 최대로 되는 반공진 주파수(fas)가 나타난다는 이중(二重) 공진 특성을 가짐을 알 수 있다.

도 24에 도 22와 도 23을 중첩시킨 그래프를 나타낸다. 도 24에 있어서, 래더 타입 필터의 통과 대역으로 되는 부분과 래더 타입 필터의 억압 대역으로 되는 부분을 나타내고 있다.

도 25에 1 단자쌍의 탄성표면파 공진기를 병렬 접속한 경우의 대역 통과 특성을, 도 26에 1 단자쌍의 탄성표면파 공진기를 병렬 접속한 경우의 임피던스 특성 을 나타낸다. 여기서, 도25의 종축은 어드미턴스(admittance)의 절대값(log값)을 나타내고 있다.

이들 도면에 있어서, 감쇠량이 극소로 되는 주파수가 공진 주파수(frp)이고, 어드미턴스의 최대값을 나타내는 주파수가 공진 주파수(frp)이며, 어드미턴스의 최소값을 나타내는 주파수가 반공진 주파수(fap)이다. 이 병렬 접속의 경우도, 2개의 공진 주파수(frp, fap)를 갖는 이중 공진 특성을 나타낸다.

이러한 탄성표면파 공진기는 단체(單體)로서 사용되거나, 또는 래더 타입 필터와 같이 몇 개를 조합하여 사용된다. 도 27에 래더 타입 필터의 일 실시예의 구성도를 나타낸다. 래더 타입 필터의 경우, 도 27에 나타낸 바와 같이, 탄성표면파 공진기(S1, S2, R1, R2)를 병렬과 직렬로 몇 개 접속한다. 이 때, 병렬 공진기(R1, R2)의 반공진 주파수(fap)와 직렬 공진기(S1, S2)의 공진 주파수(frs)가 대략 일치하도록, 각 공진기의 빗살형 전극의 설계가 실행된다.

도 28에 래더 타입 필터의 일반적인 통과 대역 특성도를 나타낸다. 래더 타입 필터는 어느 특정 주파수 대역을 통과시키는 밴드 패스 필터이다.

밴드 패스 필터에 요구되는 특성값으로서는, 도 28에 나타낸 바와 같은 통과 대역 폭(BW1), 억압 대역의 폭(BWatt1, BWatt2), 억압 대역의 억압도(抑壓度)(ATT1, ATT2) 등이 있다.

또한, 일정 감쇠량에서의 대역 폭(BW2)과 대역 폭(BW1)의 비율(BW1/BW2)을 각형비(角型比)라고 부르는데, 이것은 대역의 급격한 특성을 요구할 경우의 특성값으로서 사용된다. 일반적으로, 각형비가 1에 가까울수록 좋으며, 높은 각형의 필 터이다.

또한, 필터의 통과 대역의 중심 주파수를 f0라고 하면, BW1 및 BW2를 중심 주파수(f0)에 의해 규격화한 값(BW1/f0, BW2/f0)을 비(比)대역 폭이라고 부른다.

도 24에 나타낸 바와 같이, 직렬 공진기의 특성도에서 보면, 반공진 주파수(fas)의 오른쪽 부분이 래더 필터의 억압 대역으로 되는 부분이며, 도 28의 BWatt2 부분에 상당한다.

또한, 도 24의 반공진 주파수(frs)의 왼쪽 부분에서 공진 주파수(frs) 근방의 통과 특성이 균일한 부분이 래더 필터의 통과 대역으로 되는 부분이며, 도 28의 BW1 부분에 상당한다.

래더 필터에서는, 도 24와, 도 22 및 도 25로부터 알 수 있듯이, 통과 대역 폭(BW1, BW2)은 직렬 공진기의 반공진 주파수(fas)와 병렬 공진기의 공진 주파수(frp)의 간격에 의해 대략 결정된다.

또한, 탄성표면파 공진기의 공진 주파수(frs)와 반공진 주파수(fas)는 압전기판(1)의 재료에 의해 대략 결정된다. 특히, 사용하는 압전기판 재료의 특성 중에서, 전기 기계 결합 계수에 의해 래더 타입 필터의 대역폭이 대략 결정되었다.

예를 들면, 미국의 AMPS(Advanced Mobile Phone Service)에서는, f0=836.5㎒의 주파수가 사용되고 있으나, 그 형태의 특성값으로서, 통과 대역은 25㎒이고, 비대역 폭이 약 3%인 것이 요구된다. 이러한 광(廣)대역 밴드 패스 필터는 36° Y-컷 X전파 LiTaO₃ 등과 같이 전기 기계 결합 계수가 큰 것에서만 실현되었다.

전기 기계 결합 계수가 큰 압전기판을 사용하면, 탄성표면파 공진기의 공진 및 반공진 주파수 간격이 멀어지고 있기 때문에, 광대역 밴드 패스 필터를 실현하는 것이 가능하다. 그러나, 이것과 동시에 각형비가 나빠진다. 즉, 비대역 폭이 커지면, 각형비가 작아지는 경향이 있다.

상기한 바와 같이 전기 기계 결합 계수는 물질 특유의 값이기 때문에, 압전기판에 의해 공진 및 반공진 주파수 간격으로 대략 결정하여, 임의의 값을 얻을 수 없다. 따라서, 비대역 폭과 각형비를 원하는 값으로 조정하는 것이 어려웠다.

본 발명은 이상과 같은 사정을 고려하여 안출된 것으로, 탄성표면파 공진기의 빗살형 전극 구조를 연구함으로써, 종래와 동일한 압전기판 재료를 사용한 경우일지라도, 탄성표면파 공진기의 공진 주파수와 반공진 주파수의 간격을 근접시키고, 래더 타입 필터에 있어서는, 요구되는 비대역 폭에서 보다 높은 각형의 필터를 실현하는 것을 과제로 한다.

본 발명은, 압전기판과, 압전기판 상에 형성되고 여진(勵振)해야 하는 탄성표면파의 파장과 대략 동일한 주기(pi)를 갖는 복수의 전극 핑거로 이루어진 빗살형 전극부와, 빗살형 전극부에 근접 배치되며 빗살형 전극부에서 여진된 탄성표면파의 진행방향과 평행한 방향으로 상기 탄성표면파를 반사시키도록 배치된 적어도 1개 이상의 반사기로 구성되고, 상기 빗살형 전극부가 주기(pi) 중에 3개 이상의 전극 핑거를 구비하며, 상기 반사기가 반사기를 진행하는 탄성표면파의 파장의 반 과 동일한 주기(pr)를 갖는 복수의 회절격자로 이루어지는 것을 특징으로 하는 탄성표면파 공진기를 제공하는 것이다.

여기서, 상기 빗살형 전극부의 전극 핑거와 반사기의 회절격자가 동일한 재료 및 동일한 막 두께의 전극으로 이루어지도록 할 수도 있다.

또한, 상기 주기(pr)가 주기(pi)의 반으로 되도록 할 수도 있다.

또한, 상기 빗살형 전극부의 전극 핑거 및 반사기의 회절격자 재료는 알루미늄 또는 알루미늄 합금 중의 어느 하나를 사용할 수 있다. 또한, 상기 압전기판은 42° Y-컷 LiTaO₃를 사용할 수도 있다. 또한, 반사기의 회절격자는 전극으로 구성한 회절격자 전극 이외에, 압전기판 상에 형성한 홈으로 형성할 수도 있다.

또한, 본 발명은, 상기 반사기의 회절격자 중에서 상기 빗살형 전극부에 가장 가까운 회절격자의 탄성표면파 전파방향의 폭의 중심 위치와, 빗살형 전극의 전극 핑거 중에서 상기 반사기의 가장 근방에 존재하는 전극 핑거가 단일 전극 핑거라고 가정했을 경우에, 그 단일 전극 핑거의 탄성표면파 전파방향의 폭의 중심 위치와의 거리를 빗살형 전극부에서 여진되는 탄성표면파의 파장(λ)의 (n/2+5/16)배 내지 (n/2+6/16)배(n은 0 및 양(+)의 정수)로 하는 것이 그의 통과 대역의 특성상 바람직하다.

또한, 본 발명은 탄성표면파 공진기를 직렬 접속 및/또는 병렬 접속하여 구성된 래더 타입의 탄성표면파 필터로서, 적어도 1개 이상의 탄성표면파 공진기가 상기한 바와 같은 구성을 갖는 탄성표면파 공진기로 이루어진 탄성표면파 필터를 제공하는 것이다.

또한, 상기 탄성표면파 공진기 중에서 직렬 접속된 탄성표면파 공진기만이 상기한 바와 같은 구성을 갖는 탄성표면파 공진기로 이루어진 래더 타입의 탄성표면파 필터를 제공하는 것이다.

이하, 도면에 나타낸 실시형태에 의거하여 본 발명을 상세하게 설명한다. 또한, 이것에 의해 본 발명이 한정되지는 않는다.

도 17에 종래 사용되었던 1 단자쌍 탄성표면파 공진기의 구성도를 나타냈으나, 이 종래의 구성에서는, 빗살형 전극의 주기(pi) 내에 존재하는 전극 핑거의 개수는 2개이다. 빗살형 전극(2)의 주기(Pi)와 반사기(3-1, 3-2)의 주기(Pr)는, 빗살형 전극과 반사기가 Al 박막 등의 동일한 구조로 되어 있을 경우, pi = 2 ×pr이라는 관계로 되도록 설계하였다.

또한, 반사기(3-1, 3-2)를 구성하는 회절격자 전극 중에서 빗살형 전극(2)에 가장 가까운 회절격자 전극(3-4)의 전파방향의 중심(A)과, 빗살형 전극(2)을 형성하는 전극 핑거 중에서 반사기에 가장 가까운 전극 핑거(2-3)의 전파방향의 중심에 상당하는 부분(B)과의 거리(L)가 전파하는 탄성표면파의 파장(λ)에 대하여 λ/2(여기서, λ=pi)이다. 또한, 빗살형 전극의 전극 핑거 및 반사기의 회절격자 전극의 폭은 pi/4이고, 각 전극 핑거 사이의 간격도 λ/4이다.

<제 1 실시예>

도 1에 본 발명의 빗살형 전극의 주기(pi) 내에 3개의 전극 핑거가 존재하는 1 단자쌍 공진기의 일 실시예의 구성도를 나타낸다.

여기서, 본 발명에서는, 반사기의 회절격자 전극의 주기(pr)는, 빗살형 전극 핑거에서 여진된 후, 반사기에 진행되어 온 탄성표면파의 파장(λr)의 반과 동일하게 한다(pr=λr/2).

일반적으로, 빗살형 전극에서 여진된 탄성표면파의 파장(λi)은, 빗살형 전극의 전극 핑거의 주기(pi)와 동일하게 설계된다(pi=λi). 또한, 빗살형 전극과 반사기가 동일한 재료 및 막 두께로 형성되어 있을 경우는, 이 파장(λi)과 반사기에 진행되어 온 탄성표면파의 파장(λr)은 동일하다(λi=λr). 따라서, 빗살형 전극과 반사기가 Al 박막 등의 동일한 구조로 형성되어 있을 경우, 빗살형 전극의 주기(pi)와 반사기의 주기(pr)는 pi = 2 ×pr이라는 관계에 있다.

또한, 반사기를 구성하는 회절격자 전극 중에서 빗살형 전극에 가장 가까운 회절격자 전극(3-4)의 탄성표면파 전파방향의 중심 위치(A)와, 빗살형 전극을 형성하는 전극 핑거 중에서 반사기에 가장 가까운 전극 핑거(2-4)에 관하여, 그 전극 핑거(2-4)가 단일 전극 핑거라고 가정했을 경우의 탄성표면파 전파방향의 폭의 중심 위치에 상당하는 부분(B)과의 거리(L)는, 여진된 탄성표면파의 파장을 λi라고 하면, λi/2이다. 여기서, 빗살형 전극의 주기(Pi)는 여진된 탄성표면파의 파장(λi)과 동일하게 설계되기 때문에, λi=Pi로부터 L=Pi/2이다.

도 1에 있어서, 반사기(3-1, 3-2)의 회절격자 전극(3-4)의 폭은 pi/4이고, 빗살형 전극(2)의 전극 핑거(2-4, 2-5, 2-6, 2-7)는 pi/6이다. 빗살형 전극(2)에 있어서, 그의 주기(pi) 중에 아래쪽의 전극 단부로부터 위로 나온 2개의 전극 핑거(2-5, 2-6)와, 위쪽의 전극 단부로부터 아래로 나온 2개의 전극 핑거(2-4, 2- 7)의 각각의 반에 상당하는 부분이 존재하여, 결국, 3개의 전극 핑거에 상당하는 부분이 빗살형 전극(2)의 주기(pi) 내에 존재하게 된다.

또한, 도 1에 있어서, 비교를 위해, 도면의 하부에 도 17에 나타낸 종래의 단일 전극 핑거로 이루어진 빗살형 전극(2)을 나타냈다. 여기서, 도 1의 상부의 빗살형 전극(2) 중에서 점선으로 나타낸 전극 핑거가 하부에 나타낸 종래의 단일 전극 핑거(2-3, 2-3')에 상당한다.

<제 2 실시예>

도 2에 빗살형 전극의 주기(pi) 내에 4개의 전극 핑거가 존재하는 1 단자쌍 공진기의 일 실시예의 구성도를 나타낸다. 본 실시예에서도, 반사기의 회절격자 전극의 주기(pr)는 반사기에 진행되어 온 탄성표면파의 파장(λr)의 반과 동일하게 한다(pr=λr/2).

또한, 빗살형 전극의 주기(pi)와 반사기의 주기(pr)는, 빗살형 전극과 반사기가 Al 박막 등의 동일한 구조로 되어 있을 경우, pi = 2 ×pr이라는 관계에 있다.

또한, 반사기(3-2)를 구성하는 회절격자 전극 중에서 빗살형 전극에 가장 가까운 회절격자 전극(3-4)의 탄성표면파 전파방향의 중심 위치(A)와, 빗살형 전극(2)을 형성하는 전극 핑거 중에서 반사기(3-2)에 가장 가까운 전극 핑거(2-8)에 관하여, 그 전극 핑거(2-8)가 단일 전극 핑거라고 가정했을 경우의 탄성표면파 전파방향의 중심 위치에 상당하는 부분(B)과의 거리(L)가 전파하는 탄성표면파의 파장(λ)에 대하여 λ/2(여기서, λ=pi)이다.

도 2에 있어서, 반사기(3-1, 3-2)의 회절격자 전극(3-4)의 폭은 pi/4이고, 빗살형 전극(2)의 전극 핑거(2-8, 2-9, 2-10, 2-11, 2-12)의 폭은 pi/8이다. 또한, 빗살형 전극에서는, 그의 주기(pi) 중에 4개의 전극 핑거(2-9, 2-10, 2-11, 2-12)가 존재한다.

본 실시예에서는, 전극 핑거를 단일 전극 핑거라고 가정했을 경우의 중심 위치(B)는, 인접한 2개의 전극 핑거(2-8, 2-9)의 탄성표면파 전파방향의 중심 위치와 일치한다. 즉, 본 실시예에서는, 반사기(3-2)의 가장 근방에 존재하는 인접한 2개의 전극 핑거(2-8, 2-9)를 이 2개의 전극 핑거가 점유하는 영역의 폭과 동일한 폭을 갖는 1개의 전극으로 치환한다고 가정했을 때에, 이 1개의 전극 핑거의 탄성표면파 전파방향의 폭의 중심 위치와, 인접한 2개의 전극 핑거(2-8, 2-9)의 탄성표면파 전파방향의 중심 위치가 일치한다.

또한, 도 2에 있어서, 전극 핑거(2-8, 2-9)를 타고넘는 것처럼 나타낸 점선은 도 1에 나타낸 종래예의 전극 핑거(2-3)에 상당하는 위치를 나타낸 것이고, 전극 핑거(2-10, 2-11)를 타고넘는 것처럼 나타낸 점선은 도 1에 나타낸 종래예의 전극 핑거(2-3')에 상당하는 위치를 나타낸 것이다.

또한, 반사기(3-1, 3-2)의 회절격자 전극의 간격은 pi/4이고, 빗살형 전극(2)의 전극 핑거의 간격은 pi/8이다.

그런데, 빗살형 전극의 전극 핑거와 반사기의 회절격자 전극이 서로 다른 재료의 박막으로 형성되거나, 동일한 재료일지라도 막 두께가 상이할 경우에는, 빗살형 전극에서 여진된 탄성표면파의 속도(vi)와 반사기에 진행되어 온 탄성표면파의 속도(vr)는 약간 상이하다(vi ≠vr).

즉, 빗살형 전극에서 여진된 탄성표면파의 파장(λi)과 반사기에 진행되어 온 탄성표면파의 파장(λr)은 약간 상이하다. 여기서 일반적으로 v=fλ로서, vi ≠vr이기 때문에, f가 일정하면, λi ≠λr로 되기 때문이다. 따라서, 본 발명에서는 λr = 2 ×pr이므로, 재료가 상이할 경우 등은, 빗살형 전극에서 여진된 탄성표면파의 파장(λi)과 동일한 빗살형 전극의 주기(pi)와 회절격자 전극의 주기(pr)의 2배와는 동일하지 않고, 약간 상이한 값으로 된다(pi=λi≠λr=2 ×pr).

예를 들면, 42° 회전 Y-컷 X전파 LT 기판 상에 주기(pi)=4.6㎛, 막 두께 300㎚의 Al 박막의 빗살형 전극을 형성한 경우, 직렬 공진기의 공진 주파수(f)는 819.5㎒이다. 이 때, vi=f ×Pi로부터, 빗살형 전극의 전극 핑거에서 여진된 탄성표면파의 속도(vi)는 3769.7m/s이다.

한편, 반사기의 회절격자 전극을 빗살형 전극과 동일한 재료의 Al 박막, 빗살형 전극과는 상이한 막 두께 230㎚로 형성한 경우, 반사기에 진행되어 온 탄성표면파의 반사기 내에서의 속도(vr)는 3808.8m/s로 된다. 따라서, vi ≠vr이다.

또한, 주기(pi)와 여진된 탄성표면파의 파장(λi)은 동일하다. 즉, pi=λi=vr/f(=4.6)이다. 한편, vr = f ×λr로부터, 반사기 내에서의 탄성표면파의 파장(λr)은 대략 4.6477㎛이며, 파장(λi)과 상이하다(λr ≠λi).

상기한 바와 같이, 본 발명에서는, 반사기의 회절격자 전극의 주기(pr)는 반사기를 진행하는 탄성표면파의 파장(λr)의 반으로 하는 것을 특징으로 하나, 주기(pr)=λr/2로부터, 주기(pr)=2.3239㎛ 정도로 하는 것이 좋다. 따라서, 빗살 형 전극과 반사기 전극의 막 두께가 상이할 경우에는, pi=2 ×pr로 되지 않을 경우도 있다.

<제 3 실시예>

도 3에 빗살형 전극의 주기(pi) 내에 6개의 전극 핑거가 존재하는 1 단자쌍 공진기의 일 실시예의 구성도를 나타낸다.

빗살형 전극의 주기(pi)와 반사기의 주기(pr)는, 빗살형 전극과 반사기가 Al 박막 등의 동일한 구조로 되어 있을 경우, pi=2 ×pr이다. 또한, 반사기(3-2)를 구성하는 회절격자 전극의 빗살형 전극에 가장 가까운 회절격자 전극(3-4)의 탄성표면파 전파방향의 중심 위치(A)와, 빗살형 전극(2)을 형성하는 전극 핑거 중에서 반사기(3-2)에 가까운 전극 핑거(2-13, 2-14, 2-15)에 관하여, 그 전극 핑거(2-13, 2-14, 2-15)가 1개의 단일 전극 핑거라고 가정했을 경우의 탄성표면파 전파방향의 중심 위치에 상당하는 부분(B)과의 거리(L)가 전파하는 탄성표면파의 파장(λ)에 대하여 λ/2(여기서, λ=pi)이다.

도 3에 있어서, 반사기(3-1, 3-2)의 회절격자 전극(3-4)의 폭은 pi/4이고, 빗살형 전극(2)의 전극 핑거(2-13 내지 2-20)의 폭은 pi/12이다. 반사기(3-1, 3-2)의 회절격자 전극의 간격은 pi/4이고, 빗살형 전극(2)의 전극 핑거의 간격은 pi/12이다. 여기서 전극 핑거를 단일 전극이라고 가정했을 경우의 중심 위치(B)는 인접하는 3개의 전극 핑거(2-13, 2-14, 2-15)의 전파방향의 중심 위치와 일치하고, 결국, 전극 핑거(2-14)의 중심 위치와 일치한다.

또한, 중심 위치(B)는, 반사기에 가장 가까운 인접하는 3개의 전극 핑거(2- 13, 2-14, 2-15)를 그 점유 영역의 폭과 동일한 폭을 갖는 1개의 전극 핑거로 치환한 경우에 있어서, 이 1개의 전극 핑거의 탄성표면파 전파방향의 폭의 중심 위치와 일치한다고 할 수 있다.

또한, 빗살형 전극(2)에서는, 그의 주기(pi) 중에 5개의 전극 핑거(2-15, 2-16, 2-17, 2-18, 2-19)와 2개의 전극 핑거(2-14, 2-20)의 반이 존재하여, 합계 6개분의 전극 핑거가 존재한다.

또한, 도 3의 하부에 나타낸 바와 같이, 종래예의 전극 핑거(2-3)의 중심 위치와 전극 핑거(2-14)의 중심 위치가 일치한다.

이상, 도 1, 도 2 및 도 3에 본 발명의 탄성표면파 공진기의 3개의 실시예의 구성도를 나타냈으나, 이러한 구성을 채용함으로써, 탄성표면파 공진기의 공진 주파수와 반공진 주파수의 간격을 접근시켜 종래의 래더 타입 필터와 동일한 대역 폭을 가지면서, 종래보다도 각형비가 높은 특성을 갖는 래더 타입 필터를 얻을 수 있다.

<본 발명의 구체적인 설계예>

이하, 이러한 효과가 생기는 것을 탄성표면파 공진기의 몇 개의 구체적인 설계예와 특성도에 의해 설명한다.

또한, 본 발명에 있어서는, 빗살형 전극의 주기(pi) 중에 3개 이상의 전극 핑거(n ≥3)가 존재하는 것이 좋으며, 상기한 바와 같이 전극 핑거의 개수가 n=3, 4, 6에 한정되는 것은 아니다.

도 4에 본 발명의 탄성표면파 공진기를 직렬 접속(도 20 참조)한 경우의 대 역 통과 특성도를 나타낸다.

도 4에 있어서, 실선은 주기(pi) 중에 전극 핑거를 4개 설치한 본 발명의 도 2의 경우의 특성 그래프이고, 점선은 주기(pi) 중에 전극 핑거를 2개 설치한 도 17의 경우의 종래의 특성 그래프이다.

여기서, 압전기판은 36° Y-컷 X전파 상당의 LiTaO₃ 기판을 사용했다. 빗살형 전극의 전극막은 Al-Cu 합금, 막 두께는 340㎚, 빗살형 전극의 주기(pi)는, pi 내의 전극 핑거가 2개일 경우는 pi=4.6㎛, pi 내의 전극 핑거가 4개일 경우는 pi=4.656㎛이다. 회절격자 반사기의 주기(pr)는, pi 내의 전극 핑거가 2개일 경우에 pr=2.3㎛, pi 내의 전극 핑거가 4개일 경우에 pr=2.328㎛이고, 빗살형 전극과 동일한 막 두께의 Al-Cu 합금으로 제작했다.

반사기를 구성하는 회절격자 전극 중에서 빗살형 전극에 가장 가까운 것의 전파방향의 중심 위치(A)와, 빗살형 전극을 형성하는 전극 핑거 중에서 반사기에 가장 가까운 전극 핑거에 관하여, 그 전극 핑거가 단일 전극 핑거라고 가정했을 경우의 전파방향의 중심에 상당하는 부분의 위치(B)와의 거리는 양쪽 모두 pi/2로 했다.

도 4에서는, 비교하기 쉽도록, 실선과 점선의 양 특성 그래프의 반공진 주파수(fas)가 일치하도록, pi 내의 전극 핑거가 2개일 경우의 특성 그래프를 고주파 측으로 50.3㎒ 시프트했다.

도 4에 있어서, 실선으로 나타낸 본 발명의 공진 주파수(frs)(도면의 F2)는 880.73㎒이다. 또한, 점선으로 나타낸 종래의 공진 주파수(frs)(도면의 F1)는 819.43㎒이나, 도 4의 그래프에서는 50.3㎒ 시프트하고 있기 때문에, 869.73㎒이다.

도 4에 의하면, 주기(pi) 내의 전극 핑거의 개수가 4개일 경우, 빗살형 전극의 여진 효율이 저감되고, 공진 주파수(frs)와 반공진 주파수(fas)가 접근하며, 2개인 경우에 비하여 그래프의 삽입 손실의 저감 쪽이 급격한 것, 즉, 각형비가 크다는 것을 알 수 있다.

그러나, 도 4의 특성을 갖는 공진기를 그대로 래더 타입 필터에 사용한 경우, 대역으로 되는 부분에 리플(ripple)이 나타나기 때문에, 대역 특성상 바람직하지는 않다.

그래서, 도 1 등에 기재한 위치(A)와 위치(B)와의 거리(L)(이하, 빗살형 반사기 거리 또는 AB간 거리라고 한다)가, 전파하는 탄성표면파의 파장(λ)에 대하여 (n/2+3/8)λ(n은 0 또는 양의 정수)로 하면, 리플이 없어진다. 이것은 빗살형 전극에 의한 사이드 커브와 반사기에 의한 공진의 사이드 로브(lobe)의 극이 대략 일치한다는 이유에 기인한다. 또한, L=(n/2+5/16)λ(n은 0 또는 양의 정수)로 하여도 상기와 마찬가지로 리플이 없어진다.

도 5에 본 발명의 탄성표면파 공진기에 있어서 n=1인 경우의 빗살형 전극과 반사기와의 위치 관계를 설명하기 위한 부분구성도를 나타낸다.

여기서, AB 사이의 거리(L)=(7/8)pi이다. 또한, 빗살형 전극의 전극 핑거 폭 및 그의 간격은 pi/8이고, 반사기의 전극 핑거 폭 및 그의 간격은 pi/4(=pr/2) 이다. 점선은 상기한 바와 같이 종래의 단일 전극의 경우의 전극 핑거의 위치이다.

또한, 도 6에 본 발명에 있어서 n=0인 경우의 빗살형 전극과 반사기와의 위치 관계를 설명하기 위한 부분구성도를 나타낸다. 여기서, AB간 거리(L)=(3/8)pi이다.

또한, 일반적으로 빗살형 전극의 가장 외부의 전극 핑거(2-30)는 탄성표면파의 여진과 무관하기 때문에, 제거하더라도 대역 특성에 영향을 미치지는 않는다. 도 7은 전극 핑거(2-30)를 제거하고, 가장 외부의 전극 핑거를 부호 2-31로 한 것이다.

따라서, 도 7에 나타낸 바와 같이, 빗살형 전극의 가장 외부의 전극 핑거(2-30)를 제거하더라도, 도 5 및 도 6과 동일하게 리플이 없는 급격한 대역 특성을 얻을 수 있다. 도 6 및 도 7의 경우는, AB간 거리(L)가 도 5에 비하여 짧기 때문에, 공진기 전체의 폭을 작게 할 수 있다.

도 8에 AB간 거리를 최적화했을 때의 직렬 접속한 탄성표면파 공진기의 대역 통과 특성도를 나타낸다. 여기서, 실선의 그래프는 빗살형 전극의 주기(pi) 내의 전극 핑거가 4개인 경우로서, AB간 거리(L)는 도 5에 나타낸 바와 같이 L=(7/8)pi로 했다. 점선의 그래프는, 종래와 동일하게, 빗살형 전극의 주기(pi) 내의 전극 핑거가 2개인 경우이다.

또한, 압전기판은 36° Y-컷 X전파 상당의 LiTaO₃ 기판을 사용했다. 빗살형 전극의 전극막은 Al-Cu 합금, 막 두께는 340㎚, 빗살형 전극의 주기(pi)는, pi 내의 전극 핑거가 2개일 경우는 pi=4.6㎛, pi 내의 전극 핑거가 4개일 경우는 pi=4.656㎛이다. 회절격자 반사기의 회절격자 전극의 주기(pr)는, pi 내의 전극 핑거가 2개일 경우는 pr=2.3㎛, pi 내의 전극 핑거가 4개일 경우는 pr=2.328㎛이고, 빗살형 전극과 동일한 막 두께의 Al-Cu 합금으로 제작했다. 또한, 비교하기 쉽도록, 양 그래프의 반공진 주파수(fas)가 일치하도록, pi 내의 전극 핑거가 2개일 경우의 특성을 고주파 측으로 50.3㎒ 시프트하고 있다.

이 실선 그래프에 의하면, 종래의 점선 그래프보다도 급격한 대역 통과 특성을 나타내고 있고, 도 4와 비교하여도 리플이 거의 나타나지 않음을 알 수 있다.

도 9에 AB간 거리(L)를 (6/16)pi로 했을 때의 직렬 접속한 탄성표면파 공진기의 대역 통과 특성도를 나타낸다.

도 10에 AB간 거리(L)를 (5/16)pi로 했을 때의 직렬 접속한 탄성표면파 공진기의 대역 통과 특성도를 나타낸다.

이것에 의하면, 양 그래프 모두 종래보다도 급격한 대역 통과 특성이 얻어지고 있다. 다만, 도 9와 도 10을 비교하면, 공진기를 직접 접속했을 때에, 래더 타입 필터의 패스 밴드를 규정하는 공진 주파수(frs) 부근의 리플이 작아지는 것은, 도 9의 AB간 거리(L)가 (6/16)pi인 경우이다.

또한, 도 11에 AB간 거리(L)를 (6/16)pi로 했을 때의 병렬 접속한 탄성표면파 공진기의 대역 통과 특성도, 도 12에 AB간 거리(L)를 (5/16)pi로 했을 때의 병렬 접속한 탄성표면파 공진기의 대역 통과 특성도를 나타낸다.

도 11과 도 12를 비교하면, 공진기를 병렬 접속했을 때에, 래더 타입 필터의 패스 밴드를 규정하는 반공진 주파수(fas) 부근의 리플이 작아지는 것은, 도 12의 AB간 거리(L)가 (5/16)pi인 경우이다.

다음으로, 도 13에 본 발명의 1 단자쌍의 탄성표면파 공진기를 직렬 및 병렬로 조합하여 구성한 래더 타입 필터의 일 실시예의 구성도를 나타낸다.

도 13은 종래의 도 27의 구성과 대응하는 것이나, 모든 공진기(S1', S2', R1', R2')에 도 1 내지 도 3에 나타낸 본 발명의 탄성표면파 공진기를 사용한 점이 상이하다. 또한, 직렬 공진기 및 병렬 공진기의 각각의 수가 2개뿐인 경우를 도시하고 있으나, 이것에 한정되는 것이 아니라 3개 이상일 수도 있다. 또한, 직렬 공진기와 병렬 공진기의 개수도 2개 이상인 것이 좋다.

압전기판(1)은 42° Y-컷 X전파 상당의 LiTaO₃ 기판을 사용하고, 모든 전극의 전극막은 막 두께 400㎚의 Al-Cu 합금을 사용한다. 다만, 도 13에서는 빗살형 전극의 주기(pi) 중에 4개의 전극 핑거를 갖는 공진기를 나타내고 있다.

도 14에 도 13에 나타낸 래더 타입 필터의 대역 통과 특성도를 나타낸다. 여기서, 실선은 본 발명에 있어서 빗살형 전극의 주기(pi) 내의 전극 핑거가 4개인 경우(도 2 참조)의 대역 통과 특성이고, 점선은 종래의 주기(pi) 내의 전극 핑거가 2개인 경우의 대역 통과 특성이다.

래더 타입 필터에서는, 일반적으로, 직렬로 접속한 공진기(직렬 공진기)와 병렬로 접속한 공진기(병렬 공진기)의 각각의 주기(pis, pip)를 시프트함으로써, 병렬 공진기의 반공진 주파수(fap)와 직렬 공진기의 공진 주파수(frs)를 대략 일치시켜, 패스 밴드를 형성한다. 이 때의 병렬 공진기와 직렬 공진기의 주기 차를 Δpi=pis-pip로 한다.

도 14의 실시예는 800㎒대의 필터로서, 손실이 3㏈에서의 대역폭을 23~25㎒로 되도록 설계한 예이다. pi 내의 전극 핑거가 2개일 경우는, pip=4.8㎛, pis=4.68㎛, Δpi=0.12㎛, 회절격자 반사기는 각각의 빗살형 전극 주기의 1/2의 주기이고, pi 내의 전극 핑거가 4개일 경우는, pip=4.94㎛, pis=4.82㎛, Δpi=0.12㎛, 회절격자 반사기는 각각의 빗살형 전극 주기의 1/2의 주기, AB간 거리는 직렬 공진기가 7pis/8, 병렬 공진기가 5pip/16이다.

도 14의 실선 그래프에 의하면, 삽입 손실 3㏈에서의 대역 폭(3㏈ 대역 폭)은 25.25㎒였다. 삽입 손실이 20㏈에서의 대역 폭(20㏈ 대역 폭)은 37.75㎒이고, 이 때의 각형비는 0.67이었다.

종래의 점선 그래프에서는, 3㏈ 대역폭이 23.25㎒, 20㏈ 대역폭이 47.25㎒, 각형비는 0.49이었다. 각형비에 의하면, 종래의 전극 구성의 공진기보다도 도 2의 본 발명의 공진기를 사용한 것이 동일한 대역폭에서 급격한 특성이 얻어졌음을 알 수 있다.

도 15에 본 발명에 있어서 직렬 접속된 직렬 공진기(S1', S2')로서 본 발명의 탄성표면파 공진기를 사용하고, 병렬 접속된 병렬 공진기(R1, R2)로서는 종래의 구성의 탄성표면파 공진기를 사용한 래더 타입 필터의 일 실시예의 구성도를 나타낸다.

도 15에 있어서, 직렬 공진기(S1', S2')는 빗살형 전극의 주기(pi) 중에 전극 핑거가 4개 있는 것이고, 병렬 공진기(R1, R2)는 주기(pi) 중에 전극 핑거가 2개 있는 것이다. 또한, 도 13과 동일하게, 직렬 공진기와 병렬 공진기의 수 및 대수(對數)는 도 15에 나타낸 것에 한정되지 않는다. 압전기판 및 전극막의 재료에 대해서는 도 13의 것과 동일하게 한다.

도 16에 도 15에 나타낸 본 발명의 래더 타입 필터의 대역 통과 특성도를 나타낸다.

실선은 도 15에 나타낸 본 발명의 래더 타입 필터의 그래프이고, 점선은 종래의 주기(pi) 내의 전극 핑거가 2개인 경우의 그래프이다.

병렬 공진기(R1, R2)는 pi 내의 전극 핑거가 4개이고, 주기(pip)=4.8㎛, 그의 회절격자 반사기는 빗살형 전극 주기의 1/2의 주기이며, 직렬 공진기(S1', S2')는 pi 내의 전극 핑거가 4개이고, pis=4.75㎛, Δpi=0.05㎛, 회절격자 반사기는 빗살형 전극 주기의 1/2의 주기이며, AB간 거리(L)는 직렬 공진기가 pis ×7/8, 병렬 공진기가 종래와 동일한 pip ×1/2이다.

본 발명의 실선의 그래프에서는, 3㏈ 대역폭이 38㎒, 20㏈ 대역폭이 50.50㎒이고, 각형비는 0.75였다.

한편, 종래의 전극 구성에 의한 점선의 그래프에서는, 38.75㎒, 20㏈ 대역폭이 56.25㎒이고, 각형비는 0.69이다. 이 경우에 있어서도 종래의 전극 구성에 비하여, 각형비가 커지고, 급격한 대역 통과 특성이 얻어진다.

본 발명에 의하면, 탄성표면파 공진기의 빗살형 전극을 구성하는 전극 핑거를 빗살형 전극의 1주기 중에 3개 이상 설치하고 있기 때문에, 그의 공진 주파수와 반공진 주파수가 접근한 대역 통과 특성을 얻을 수 있다.

또한, 공진 주파수와 반공진 주파수를 접근시킬 수 있기 때문에, 본 발명의 탄성표면파 공진기를 사용하여 구성한 래더 타입의 탄성표면파 필터에 있어서, 종래보다도 높은 각형비를 갖는 밴드 패스 필터를 실현할 수 있다.

Claims (7)

1. 압전기판(壓電基板)과, 압전기판 상에 형성되고 여진(勵振)될 탄성표면파(surface acoustic wave)의 파장과 실질적으로 동일한 주기(pi)를 갖는 복수의 전극 핑거(electrode finger)로 이루어진 빗살형 전극부(interdigital transducer part)와, 상기 빗살형 전극부에 근접 배치되며 상기 빗살형 전극부에서 여진된 탄성표면파를 상기 탄성표면파의 진행방향과 평행한 방향으로 반사하도록 배치된 적어도 하나의 반사기를 포함하고, 상기 빗살형 전극부가 상기 주기(pi)내에 3개 이상의 전극 핑거를 구비하며, 상기 반사기가 상기 반사기로 진행하는 탄성표면파의 파장의 반과 동일한 주기(pr)를 갖는 복수의 회절격자로 이루어지고,

   상기 빗살형 전극부의 전극 핑거 및 반사기의 회절격자는 동일한 재료 및 동일한 막 두께의 전극으로 이루어지며,

   상기 반사기의 회절격자 중에서 상기 빗살형 전극부에 가장 가까운 하나의 회절격자의 탄성표면파 진행방향의 폭의 중심 위치와 단일 전극 핑거의 탄성표면파 진행방향의 폭의 중심 위치 사이의 거리(L)가 빗살형 전극부에서 여진되는 탄성표면파의 파장(λ)의 (n/2+5/16)배 내지 (n/2+6/16)배(n은 0 또는 양(+)의 정수)이고,

   상기 단일 전극 핑거는 상기 빗살형 전극부의 전극 핑거 중에서 상기 반사기에 가장 가까운 전극 핑거인 탄성표면파 공진기.
2. 삭제
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 주기(pr)는 상기 주기(pi)의 반인 탄성표면파 공진기.
4. 제 1 항에 있어서,

   상기 빗살형 전극부의 전극 핑거 및 상기 반사기의 회절격자는 알루미늄 또는 알루미늄 합금 중 어느 하나의 재료로 이루어지는 탄성표면파 공진기.
5. 삭제
6. 직렬 접속 및/또는 병렬 접속된 탄성표면파 공진기들을 포함하고, 적어도 하나의 상기 탄성표면파 공진기가 청구항 1에 기재된 탄성표면파 공진기로 이루어지는 래더(ladder) 타입의 탄성표면파 필터.
7. 직렬 접속 및/또는 병렬 접속된 탄성표면파 공진기들을 포함하고, 직렬 접속된 탄성표면파 공진기만이 청구항 1에 기재된 탄성표면파 공진기로 이루어지는 래더 타입의 탄성표면파 필터.

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