CN115955210A - 一种周期渐变声表面波滤波器及多工器 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种周期渐变声表面波滤波器及多工器,涉及声表面波滤波器技术领域。其中周期渐变声表面波滤波器包括设置在压电基板上的叉指换能器以及所述叉指换能器的两侧的反射栅;所述叉指换能器被配置为具有至少两个不同波长的周期谐振结构;所述反射栅被配置为与周期谐振结构匹配的周期栅条结构;所述周期栅条结构与周期谐振结构形成谐振响应以产生至少两个传输零点。本发明可以使得叉指换能器中不同波长的周期谐振结构与反射栅形成多个谐振响应,使得单个叉指换能器结构产生多个传输零点,进而改善器件的带外抑制性能;并且可以不用增加多的谐振器结构,基本不改变滤波器版图的原本的面积,实现小型化。
Description
技术领域
本发明涉及声表面波滤波器技术领域,尤其是一种周期渐变声表面波滤波器及多工器。
背景技术
随着通信技术的不断发展,移动通讯设备对器件性能的选择性越来越高,因此对产品的带外抑制要求也会更加严格。尤其在声表面波滤波器方面,其使用场景多为终端设备。为了提高产品性能选择性,改善声表面波滤波器的带外抑制就至关重要,做如何保证不再增加产品电路结构且对带内性能影响不大,一直是重要的研究方向。
声表面波滤波器是通过压电材料逆压电效应,使叉指换能器(Interdigitaltransducer) IDT上的电信号转化成机械能,在IDT另一面在利用压电效应,将机械能转化为电信号,从而实现选频。常规声表滤波器的IDT一般是由某个频点对应的波长组成的周期结构,由于波长被限定,所反应出来的谐振频率和反谐振频率也为一个固定指,也就是只有一个谐振点与一个反谐振点,因此要实现带外抑制的加强,只能通过添加另外一个谐振器,从而产生新的谐振响应,这会导致器件尺寸过大,并且会对器件性能造成影响。
发明内容
为解决上述现有技术问题,本发明提供了一种周期渐变声表面波滤波器及多工器。
为了达到上述发明目的,本发明采用的技术方案为:
第一方面,本发明提出了一种周期渐变声表面波滤波器,包括:
设置在压电基板上的叉指换能器以及所述叉指换能器的两侧的反射栅;
所述叉指换能器被配置为具有至少两个不同波长的周期谐振结构;
所述反射栅被配置为与周期谐振结构匹配的周期栅条结构;所述周期栅条结构与周期谐振结构形成谐振响应以产生至少两个传输零点。
可选择地,所述叉指换能器具体包括:
平行设置的第一汇流条和第二汇流条,以及在第一汇流条和第二汇流条之间相对设置的第一叉指电极和第二叉指电极;
所述第一叉指电极和第二叉指电极形成的中央区域的周期谐振结构的波长向所述第一叉指电极和第二叉指电极形成的端部区域的周期谐振结构的波长逐渐变化。
可选择地,所述第一叉指电极和第二叉指电极形成的中央区域的周期谐振结构的波长向所述第一叉指电极和第二叉指电极形成的端部区域的周期谐振结构的波长逐渐变小。
可选择地,所述第一叉指电极和第二叉指电极形成的中央区域的周期谐振结构的波长向所述第一叉指电极和第二叉指电极形成的端部区域的周期谐振结构的波长的渐变比例的取值范围为[0.94,0.96]。
可选择地,所述叉指换能器被配置为呈中心对称结构。
可选择地,所述反射栅被配置为具有一个固定波长的周期栅条结构,且周期栅条结构的波长小于与该反射栅相邻周期谐振结构的波长。
可选择地,所述反射栅被配置为具有至少两个不同波长的周期栅条结构,且反射栅远离叉指换能器区域的周期栅条结构的波长向反射栅临近叉指换能器区域的周期栅条结构的波长逐渐变化。
可选择地,所述反射栅被配置为具有至少两个不同波长的周期栅条结构,且反射栅远离叉指换能器区域的周期栅条结构的波长向反射栅临近叉指换能器区域的周期栅条结构的波长逐渐减小。
可选择地,所述反射栅的周期栅条结构与所述叉指换能器的周期谐振结构的匹配系数的取值为0.95。
第二方面,本发明还提出了一种多工器,包括上述的一种周期渐变声表面波滤波器。
本发明的有益效果体现在,通过将叉指换能器被配置为具有至少两个不同波长的周期谐振结构,利用这种周期渐变叉指换能器设计的声表面波滤波器,可以使得叉指换能器中不同波长的周期谐振结构与反射栅形成多个谐振响应,使得单个叉指换能器结构产生多个传输零点,进而改善器件的带外抑制性能;并且可以不用增加多的谐振器结构,基本不改变滤波器版图的原本的面积,实现小型化。
附图说明
图1为本发明所提供的比较例的声表面波滤波器示意图;
图2为本发明所提供的比较例的声表面波滤波器的谐振频率响应示意图;
图3为本发明所提供的实施例3的一种周期渐变声表面波滤波器示意图;
图4为本发明所提供的实施例3与比较例的谐振频率响应对比图;
图5为本发明所提供的实施例3应用于电路结构中的串联谐振器与比较例的应用于电路结构中的串联谐振器的性能对比图;
图6为本发明所提供的实施例4的一种周期渐变声表面波滤波器示意图;
图7为本发明所提供的实施例4与比较例的谐振频率响应对比图;
图8为本发明所提供的实施例4应用于电路结构中的串联谐振器与比较例的应用于电路结构中的串联谐振器的性能对比图;
图9为本发明所提供的实施例5的一种周期渐变声表面波滤波器示意图;
图10为本发明所提供的实施例6的一种周期渐变声表面波滤波器示意图;
图11为本发明所提供的实施例7的一种周期渐变声表面波滤波器示意图;
图12为本发明所提供的实施例8的一种周期渐变声表面波滤波器示意图;
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
比较例:
下面首先对本发明实施例的比较例的声表面波滤波器进行描述。
如图1所示,比较例的声表面波滤波器包括设置在压电基板上的一个叉指换能器和两个反射栅,两个反射栅分别设置在叉指换能器两侧;其中叉指换能器包括一对平行设置的汇流条Bar,以及设置在一对汇流条之间彼此相对的一对叉指电极,使得这些叉指电极彼此啮合。压电基板通常采用钽酸锂、铌酸锂等压电材料,使得电信号能够通过一端的电极指在压电材料产生机械能,然后在另一端的电极指上通过压电效应在转化为电信号。谐振频率Fs和反谐振频率Fp由反射栅R和谐振周期T共同决定,静态电容Co由叉指换能器的叉指面积S决定。
如图2所示,比较例的叉指换能器所实现的谐振频率Fs与反谐振频率Fp,当声表面波在谐振器栅垂直传播时,在谐振器两端放置反射栅R,由此可以引发谐振。其中的周期长度决定了谐振频率Fs的位置,而反谐振频率Fp的大小则可以被反射栅R的周期Rp所影响。
实施例1:
如图3至图12所示,本发明实施例提供了一种周期渐变声表面波滤波器,包括:
设置在压电基板上的叉指换能器以及所述叉指换能器的两侧的反射栅;
所述叉指换能器被配置为具有至少两个不同波长的周期谐振结构;
所述反射栅被配置为与周期谐振结构匹配的周期栅条结构;所述周期栅条结构与周期谐振结构形成谐振响应以产生至少两个传输零点。
本实施例通过将叉指换能器被配置为具有至少两个不同波长的周期谐振结构,利用这种周期渐变叉指换能器设计的声表面波滤波器,可以使得叉指换能器中不同波长的周期谐振结构与反射栅形成多个谐振响应,使得单个叉指换能器结构产生多个传输零点,进而改善器件的带外抑制性能;并且可以不用增加多的谐振器结构,基本不改变滤波器版图的原本的面积,实现小型化。
在本实施例的一个可选实施方式中,所述叉指换能器具体包括:
平行设置的第一汇流条和第二汇流条,以及在第一汇流条和第二汇流条之间相对设置的第一叉指电极和第二叉指电极;
所述第一叉指电极和第二叉指电极形成的中央区域的周期谐振结构的波长向所述第一叉指电极和第二叉指电极形成的端部区域的周期谐振结构的波长逐渐变化。
具体而言,叉指换能器包括上下平行设置的第一汇流条和第二汇流条,以及在第一汇流条和第二汇流条之间相对设置的第一叉指电极和第二叉指电极;其中第一叉指电极包括多个垂直于第一汇流条且依次平行排列的电极指,第二叉指电极包括多个垂直于第二汇流条且依次平行排列的电极指,第一叉指电极的电极指与第二叉指电极的电极指依次交替排列。
本实施例将叉指换能器中叉指电极排列区域划分为多个区域,位于叉指换能器中心的区域即为中央区域,位于叉指换能器两端的区域即为端部区域,当然中央区域与端部区域之间可能还划分有多个中间区域,具体由叉指电极排列区域的划分数量决定。
本实施例进一步将叉指换能器中叉指电极排列区域划分的多个区域配置为波长不同的周期谐振结构,并且中央区域的周期谐振结构的波长向端部区域的周期谐振结构的波长逐渐变化,这样可以通过调整周期谐振结构的渐变波长,保证通带的平坦度,以及对原本电路结构的插损影响降到最低。
在本实施例的一个可选实施方式中,所述叉指换能器具体包括:
平行设置的第一汇流条和第二汇流条,以及在第一汇流条和第二汇流条之间相对设置的第一叉指电极和第二叉指电极;
所述第一叉指电极和第二叉指电极形成的中央区域的周期谐振结构的波长向所述第一叉指电极和第二叉指电极形成的端部区域的周期谐振结构的波长逐渐变小。
具体而言,叉指换能器包括上下平行设置的第一汇流条和第二汇流条,以及在第一汇流条和第二汇流条之间相对设置的第一叉指电极和第二叉指电极;其中第一叉指电极包括多个垂直于第一汇流条且依次平行排列的电极指,第二叉指电极包括多个垂直于第二汇流条且依次平行排列的电极指,第一叉指电极的电极指与第二叉指电极的电极指依次交替排列。
本实施例将叉指换能器中叉指电极排列区域划分为多个区域,位于叉指换能器中心的区域即为中央区域,位于叉指换能器两端的区域即为端部区域,当然中央区域与端部区域之间可能还划分有多个中间区域,具体由叉指电极排列区域的划分数量决定。
本实施例进一步将叉指换能器中叉指电极排列区域划分的多个区域配置为波长不同的周期谐振结构,并且中央区域的周期谐振结构的波长向端部区域的周期谐振结构的波长逐渐变小;利用本实施例配置的这种渐变周期谐振结构,可以通过中央区域的周期谐振结构与反射栅形成的谐振响应确定谐振频率的位置,而波长逐渐变小的各个区域的周期谐振结构与反射栅形成的反谐振响应确定反谐振频率的位置,由于谐振频率会变大,同时反谐振响应的迭代效应会使反谐振点与谐振点之间的距离变大,因此可以将通过反谐振响应所形成的传输零点位置向右移动,从而达到抑制改善的效果。
在本实施例的一个可选实施方式中,所述叉指换能器被配置为呈中心对称结构。当将叉指换能器中叉指电极排列区域划分为多个区域时,中央区域的周期谐振结构关于叉指换能器中心对称设置,并且由中央区域向端部区域划分的其它区域的周期谐振结构也均关于叉指换能器中心对称设置。通过本实施例的这种中心对称排列方式,可以避免器件出现局部微小波动的问题,从而改善对电路结构的插入损耗。
实施例2
如图3至图12所示,本发明实施例提供了一种周期渐变声表面波滤波器,包括:
设置在压电基板上的叉指换能器以及所述叉指换能器的两侧的反射栅;
所述叉指换能器被配置为具有至少两个不同波长的周期谐振结构;
所述反射栅被配置为与周期谐振结构匹配的周期栅条结构;所述周期栅条结构与周期谐振结构形成谐振响应以产生至少两个传输零点。
在本实施例的一个可选实施方式中,反射栅被配置为具有至少两个不同波长的周期栅条结构,且反射栅远离叉指换能器区域的周期栅条结构的波长向反射栅临近叉指换能器区域的周期栅条结构的波长逐渐变化。这样可以使得渐变周期栅条结构与渐变周期谐振结构更好地匹配调节,进一步保证通带的平坦度,降低对电路结构的插入损耗,避免器件性能出现恶化。
在本实施例的一个可选实施方式中,反射栅被配置为具有至少两个不同波长的周期栅条结构,且反射栅远离叉指换能器区域的周期栅条结构的波长向反射栅临近叉指换能器区域的周期栅条结构的波长逐渐减小。利用本实施例配置的这种渐变周期栅条结构,可以使得反射栅远离叉指换能器区域的周期栅条结构的波长与叉指换能器中央区域的周期谐振结构的波长更加接近,形成的反谐振响应更为明显;而其它区域的周期栅条结构的波长逐渐减小,与叉指换能器其它区域的周期谐振结构的波长也会更加接近,分别形成的反谐振响应也会更为明显,从而形成更加明显的多个传输零点,进一步改善器件的带外抑制性能。
实施例3
如图3所示,本发明实施例提供了一种周期渐变声表面波滤波器,包括:
设置在压电基板上的叉指换能器以及所述叉指换能器的两侧的反射栅;
所述叉指换能器被配置为具有两个不同波长的周期谐振结构;
所述反射栅被配置为与周期谐振结构匹配的周期栅条结构;所述周期栅条结构与周期谐振结构形成谐振响应以产生两个传输零点。
本实施例中叉指换能器包括上下平行设置的第一汇流条和第二汇流条,以及在第一汇流条和第二汇流条之间相对设置的第一叉指电极和第二叉指电极;其中第一叉指电极包括多个垂直于第一汇流条且依次平行排列的电极指,第二叉指电极包括多个垂直于第二汇流条且依次平行排列的电极指,第一叉指电极的电极指与第二叉指电极的电极指依次交替排列。
本实施例将叉指换能器中叉指电极排列区域划分为一个中央区域和两个端部区域,并且中央区域的周期谐振结构的波长大于端部区域的周期谐振结构的波长,两个端部区域的周期谐振结构的波长相同;反射栅被配置为具有一个固定波长的周期栅条结构,且周期栅条结构的波长小于与该反射栅相邻的端部区域的周期谐振结构的波长,叉指换能器的两侧的反射栅中周期栅条结构的波长相同。设定中央区域的周期谐振结构的波长为p2,两个端部区域的周期谐振结构的波长均为p1,两侧反射栅中周期栅条结构的波长均为Rp1,中央区域的周期谐振结构的波长向端部区域的周期谐振结构的波长的渐变比例的取值范围为[0.94,0.96],即p1=0.94~0.96*p2,Rp1=0.95*p1。
如图4所示,为本实施例与比较例的频率相应对比图。根据图4可知,本实施例配置的渐变周期谐振结构,通过中央区域的周期谐振结构与反射栅形成的谐振响应确定了谐振频率的位置,并且谐振频率变大;中央区域的周期谐振结构和端部区域的周期谐振结构与反射栅形成的反谐振响应确定了两个反谐振频率的位置;由于反射栅中周期栅条结构的波长Rp1与端部区域的周期谐振结构的波长p1相近,与中央区域的周期谐振结构的波长p2相差较大,因此端部区域的周期谐振结构与反射栅形成的反谐振响应更为明显,而中央区域的周期谐振结构与反射栅形成的反谐振响应较弱。由于谐振频率会变大,同时反谐振响应的迭代效应会使反谐振点与谐振点之间的距离变大,因此可以将通过反谐振响应所形成的传输零点位置向右移动,从而达到抑制改善的效果。
如图5所示,为本实施例应用于电路结构中的串联谐振器与比较例应用于电路结构的串联谐振器性能对比图。其中S21为本实施例应用于电路结构的性能图,S34为比较例应用于电路结构的性能图。由性能对比图可知,本实施例的谐振频率会变大,同时反谐振响应的迭代效应会使反谐振点与谐振点之间的距离变大,因此S21右边反谐振频率所形成的传输零点往右移动,从而达到抑制改善的效果。
实施例4
如图6所示,本发明实施例提供了一种周期渐变声表面波滤波器,包括:
设置在压电基板上的叉指换能器以及所述叉指换能器的两侧的反射栅;
所述叉指换能器被配置为具有两个不同波长的周期谐振结构;
所述反射栅被配置为与周期谐振结构匹配的周期栅条结构;所述周期栅条结构与周期谐振结构形成谐振响应以产生两个传输零点。
本实施例中叉指换能器包括上下平行设置的第一汇流条和第二汇流条,以及在第一汇流条和第二汇流条之间相对设置的第一叉指电极和第二叉指电极;其中第一叉指电极包括多个垂直于第一汇流条且依次平行排列的电极指,第二叉指电极包括多个垂直于第二汇流条且依次平行排列的电极指,第一叉指电极的电极指与第二叉指电极的电极指依次交替排列。
本实施例将叉指换能器中叉指电极排列区域划分为一个中央区域和两个端部区域,并且中央区域的周期谐振结构的波长大于端部区域的周期谐振结构的波长,两个端部区域的周期谐振结构的波长相同。
本实施例进一步将反射栅的栅条区域划分为两个区域,即远离叉指换能器区域和临近叉指换能器区域,并且远离叉指换能器区域的周期栅条结构的波长大于临近叉指换能器区域的周期栅条结构的波长,两侧反射栅对应区域的周期栅条结构的波长相同。
设定叉指换能器中央区域的周期谐振结构的波长为p2,叉指换能器两个端部区域的周期谐振结构的波长均为p1,反射栅临近叉指换能器区域的周期栅条结构的波长均为Rp1,反射栅远离叉指换能器区域的周期栅条结构的波长均为Rp2,反射栅的周期栅条结构与叉指换能器的周期谐振结构的匹配系数的取值为0.95,即p1=0.94~0.96*p2,Rp1=0.95*p1,Rp2=0.95*p2。
如图7所示,为本实施例与比较例的频率相应对比图。根据图7可知,本实施例配置的渐变周期谐振结构,通过中央区域的周期谐振结构与反射栅形成的谐振响应确定了谐振频率的位置;中央区域的周期谐振结构的波长p2与反射栅远离叉指换能器区域的周期栅条结构的波长Rp2更加接近,形成的反谐振响应确定一个明显的反谐振频率的位置;端部区域的周期谐振结构的波长p1与反射栅临近叉指换能器区域的周期栅条结构的波长Rp1更加接近,形成的反谐振响应确定另一个明显的反谐振频率的位置;因此本实施例能够在不改变增加滤波器电路结构的情况下,产生两个明显的传输零点,从而改善器件的带外抑制性能。
如图8所示,为本实施例应用于电路结构中的串联谐振器与比较例应用于电路结构的串联谐振器性能对比图。其中S21为本实施例应用于电路结构的性能图,S34为比较例应用于电路结构的性能图。由性能对比图可知,本实施例的两个反谐振频率所形成的零点在电路上同时起作用,叉指换能器端部区域的周期谐振结构的波长p1与反射栅临近叉指换能器区域的周期栅条结构的波长Rp1形成的传输零点靠近谐振频率点,可以用来调整通带右边的陡峭度;叉指换能器中央区域的周期谐振结构的波长p2与反射栅远离叉指换能器区域的周期栅条结构的波长Rp2形成的传输零点远离谐振频率点,可以拉开反谐振频率与谐振频率的距离,从而改善通带右边的带外抑制效果。
实施例5
如图9所示,本发明实施例提供了一种周期渐变声表面波滤波器,包括:
设置在压电基板上的叉指换能器以及所述叉指换能器的两侧的反射栅;
所述叉指换能器被配置为具有三个不同波长的周期谐振结构;
所述反射栅被配置为与周期谐振结构匹配的周期栅条结构;所述周期栅条结构与周期谐振结构形成谐振响应以产生至少两个传输零点。
本实施例中叉指换能器包括上下平行设置的第一汇流条和第二汇流条,以及在第一汇流条和第二汇流条之间相对设置的第一叉指电极和第二叉指电极;其中第一叉指电极包括多个垂直于第一汇流条且依次平行排列的电极指,第二叉指电极包括多个垂直于第二汇流条且依次平行排列的电极指,第一叉指电极的电极指与第二叉指电极的电极指依次交替排列。
本实施例将叉指换能器中叉指电极排列区域划分为一个中央区域、两个中间区域和两个端部区域,并且中央区域的周期谐振结构的波长大于中间区域的周期谐振结构的波长,中间区域的周期谐振结构的波长大于端部区域的周期谐振结构的波长,两个中间区域的周期谐振结构的波长相同,两个端部区域的周期谐振结构的波长相同。
本实施例进一步将反射栅的栅条区域划分为两个区域,即远离叉指换能器区域和临近叉指换能器区域,并且远离叉指换能器区域的周期栅条结构的波长大于临近叉指换能器区域的周期栅条结构的波长,两侧反射栅对应区域的周期栅条结构的波长相同。
实施例6
如图10所示,本发明实施例提供了一种周期渐变声表面波滤波器,包括:
设置在压电基板上的叉指换能器以及所述叉指换能器的两侧的反射栅;
所述叉指换能器被配置为具有四个不同波长的周期谐振结构;
所述反射栅被配置为与周期谐振结构匹配的周期栅条结构;所述周期栅条结构与周期谐振结构形成谐振响应以产生至少两个传输零点。
本实施例中叉指换能器包括上下平行设置的第一汇流条和第二汇流条,以及在第一汇流条和第二汇流条之间相对设置的第一叉指电极和第二叉指电极;其中第一叉指电极包括多个垂直于第一汇流条且依次平行排列的电极指,第二叉指电极包括多个垂直于第二汇流条且依次平行排列的电极指,第一叉指电极的电极指与第二叉指电极的电极指依次交替排列。
本实施例将叉指换能器中叉指电极排列区域划分为一个中央区域、两个第一中间区域、两个第二中间区域和两个端部区域,并且中央区域的周期谐振结构的波长大于第一中间区域的周期谐振结构的波长,第一中间区域的周期谐振结构的波长大于第二中间区域的周期谐振结构的波长,第二中间区域的周期谐振结构的波长大于端部区域的周期谐振结构的波长,两个第一中间区域的周期谐振结构的波长相同,两个第二中间区域的周期谐振结构的波长相同,两个端部区域的周期谐振结构的波长相同。
本实施例进一步将反射栅的栅条区域划分为两个区域,即远离叉指换能器区域和临近叉指换能器区域,并且远离叉指换能器区域的周期栅条结构的波长大于临近叉指换能器区域的周期栅条结构的波长,两侧反射栅对应区域的周期栅条结构的波长相同。
实施例7
如图11所示,本发明实施例提供了一种周期渐变声表面波滤波器,包括:
设置在压电基板上的叉指换能器以及所述叉指换能器的两侧的反射栅;
所述叉指换能器被配置为具有三个不同波长的周期谐振结构;
所述反射栅被配置为与周期谐振结构匹配的周期栅条结构;所述周期栅条结构与周期谐振结构形成谐振响应以产生至少两个传输零点。
本实施例中叉指换能器包括上下平行设置的第一汇流条和第二汇流条,以及在第一汇流条和第二汇流条之间相对设置的第一叉指电极和第二叉指电极;其中第一叉指电极包括多个垂直于第一汇流条且依次平行排列的电极指,第二叉指电极包括多个垂直于第二汇流条且依次平行排列的电极指,第一叉指电极的电极指与第二叉指电极的电极指依次交替排列。
本实施例将叉指换能器中叉指电极排列区域划分为一个中央区域、两个中间区域和两个端部区域,并且中央区域的周期谐振结构的波长大于中间区域的周期谐振结构的波长,中间区域的周期谐振结构的波长大于端部区域的周期谐振结构的波长,两个中间区域的周期谐振结构的波长相同,两个端部区域的周期谐振结构的波长相同。
本实施例进一步将反射栅的栅条区域划分为三个区域,即远离叉指换能器区域、中间区域和临近叉指换能器区域,并且远离叉指换能器区域的周期栅条结构的波长大于中间区域的周期栅条结构的波长,中间区域的周期栅条结构的波长大于临近叉指换能器区域的周期栅条结构的波长,两侧反射栅对应区域的周期栅条结构的波长均相同。
实施例8
如图12所示,本发明实施例提供了一种周期渐变声表面波滤波器,包括:
设置在压电基板上的叉指换能器以及所述叉指换能器的两侧的反射栅;
所述叉指换能器被配置为具有四个不同波长的周期谐振结构;
所述反射栅被配置为与周期谐振结构匹配的周期栅条结构;所述周期栅条结构与周期谐振结构形成谐振响应以产生至少两个传输零点。
本实施例中叉指换能器包括上下平行设置的第一汇流条和第二汇流条,以及在第一汇流条和第二汇流条之间相对设置的第一叉指电极和第二叉指电极;其中第一叉指电极包括多个垂直于第一汇流条且依次平行排列的电极指,第二叉指电极包括多个垂直于第二汇流条且依次平行排列的电极指,第一叉指电极的电极指与第二叉指电极的电极指依次交替排列。
本实施例将叉指换能器中叉指电极排列区域划分为一个中央区域、两个第一中间区域、两个第二中间区域和两个端部区域,并且中央区域的周期谐振结构的波长大于第一中间区域的周期谐振结构的波长,第一中间区域的周期谐振结构的波长大于第二中间区域的周期谐振结构的波长,第二中间区域的周期谐振结构的波长大于端部区域的周期谐振结构的波长,两个第一中间区域的周期谐振结构的波长相同,两个第二中间区域的周期谐振结构的波长相同,两个端部区域的周期谐振结构的波长相同。
本实施例进一步将反射栅的栅条区域划分为三个区域,即远离叉指换能器区域、中间区域和临近叉指换能器区域,并且远离叉指换能器区域的周期栅条结构的波长大于中间区域的周期栅条结构的波长,中间区域的周期栅条结构的波长大于临近叉指换能器区域的周期栅条结构的波长,两侧反射栅对应区域的周期栅条结构的波长均相同。
实施例9
在实施例1至实施例8所描述的一种周期渐变声表面波滤波器的基础上,本实施例提供了一种多工器,包括上述的一种周期渐变声表面波滤波器。
在本发明的实施例的描述中,需要理解的是,术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“坚直”、“水平”、“中心”、“顶”、“底”、“顶部”、“底部”、“内”、“外”、“内侧”、“外侧”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了使于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。其中,“里侧”是指内部或围起来的区域或空间。“外围”是指某特定部件或特定区域的周围的区域。
在本发明的实施例的描述中,术语“第一”、“第二”、“第三”、“第四”仅用以描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”、“第三”、“第四”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中,除非另有说明,“多个”的含义是两个或两个以上。
在本发明的实施例的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”、“组装”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
在本发明的实施例的描述中,具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
在本发明的实施例的描述中,需要理解的是,“-”和“~”表示的是两个数值之同的范围,并且该范围包括端点。例如:“A-B”表示大于或等于A,且小于或等于B的范围。“A~B''表示大于或等于A,且小于或等于B的范围。
在本发明的实施例的描述中,本文中术语“和/或”,仅仅是一种描述关联对象的关联关系,表示可以存在三种关系,例如,A和/或B,可以表示:单独存在A,同时存在A和B,单独存在B这三种情况。另外,本文中字符“/”,一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (10)
1.一种周期渐变声表面波滤波器,其特征在于,包括:
设置在压电基板上的叉指换能器以及所述叉指换能器的两侧的反射栅;
所述叉指换能器被配置为具有至少两个不同波长的周期谐振结构;
所述反射栅被配置为与周期谐振结构匹配的周期栅条结构;所述周期栅条结构与周期谐振结构形成谐振响应以产生至少两个传输零点。
2.根据权利要求1所述的一种周期渐变声表面波滤波器,其特征在于,所述叉指换能器具体包括:
平行设置的第一汇流条和第二汇流条,以及在第一汇流条和第二汇流条之间相对设置的第一叉指电极和第二叉指电极;
所述第一叉指电极和第二叉指电极形成的中央区域的周期谐振结构的波长向所述第一叉指电极和第二叉指电极形成的端部区域的周期谐振结构的波长逐渐变化。
3.根据权利要求2所述的一种周期渐变声表面波滤波器,其特征在于,所述第一叉指电极和第二叉指电极形成的中央区域的周期谐振结构的波长向所述第一叉指电极和第二叉指电极形成的端部区域的周期谐振结构的波长逐渐变小。
4.根据权利要求2或3所述的一种周期渐变声表面波滤波器,其特征在于,所述第一叉指电极和第二叉指电极形成的中央区域的周期谐振结构的波长向所述第一叉指电极和第二叉指电极形成的端部区域的周期谐振结构的波长的渐变比例的取值范围为[0.94,0.96]。
5.根据权利要求1或2所述的一种周期渐变声表面波滤波器,其特征在于,所述叉指换能器被配置为呈中心对称结构。
6.根据权利要求1所述的一种周期渐变声表面波滤波器,其特征在于,所述反射栅被配置为具有一个固定波长的周期栅条结构,且周期栅条结构的波长小于与该反射栅相邻周期谐振结构的波长。
7.根据权利要求1所述的一种周期渐变声表面波滤波器,其特征在于,所述反射栅被配置为具有至少两个不同波长的周期栅条结构,且反射栅远离叉指换能器区域的周期栅条结构的波长向反射栅临近叉指换能器区域的周期栅条结构的波长逐渐变化。
8.根据权利要求7所述的一种周期渐变声表面波滤波器,其特征在于,所述反射栅被配置为具有至少两个不同波长的周期栅条结构,且反射栅远离叉指换能器区域的周期栅条结构的波长向反射栅临近叉指换能器区域的周期栅条结构的波长逐渐减小。
9.根据权利要求7或8所述的一种周期渐变声表面波滤波器,其特征在于,所述反射栅的周期栅条结构与所述叉指换能器的周期谐振结构的匹配系数的取值为0.95。
10.一种多工器,其特征在于,包括权利要求1-9任一所述的一种周期渐变声表面波滤波器。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN116318036A (zh) * | 2023-05-15 | 2023-06-23 | 成都频岢微电子有限公司 | 声表面波谐振器、声表面波滤波器及双工器 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102497173A (zh) * | 2011-12-19 | 2012-06-13 | 北京中讯四方科技股份有限公司 | 新型悬浮电极结构声表面波滤波器 |
CN203504508U (zh) * | 2013-07-12 | 2014-03-26 | 浙江传媒学院 | 用于移动电话的声表面波滤波器 |
CN206272583U (zh) * | 2016-12-23 | 2017-06-20 | 无锡市好达电子有限公司 | 一种石英声表面波高q值谐振器的结构 |
CN106911317A (zh) * | 2017-02-07 | 2017-06-30 | 深圳华远微电科技有限公司 | 声表面波谐振器 |
CN108566176A (zh) * | 2018-04-12 | 2018-09-21 | 无锡市好达电子有限公司 | 一种声表面波谐振器的杂波抑制方法 |
CN113098430A (zh) * | 2021-04-08 | 2021-07-09 | 江苏卓胜微电子股份有限公司 | 一种声表面波谐振器和射频滤波器 |
-
2023
- 2023-02-13 CN CN202310104797.9A patent/CN115955210A/zh active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102497173A (zh) * | 2011-12-19 | 2012-06-13 | 北京中讯四方科技股份有限公司 | 新型悬浮电极结构声表面波滤波器 |
CN203504508U (zh) * | 2013-07-12 | 2014-03-26 | 浙江传媒学院 | 用于移动电话的声表面波滤波器 |
CN206272583U (zh) * | 2016-12-23 | 2017-06-20 | 无锡市好达电子有限公司 | 一种石英声表面波高q值谐振器的结构 |
CN106911317A (zh) * | 2017-02-07 | 2017-06-30 | 深圳华远微电科技有限公司 | 声表面波谐振器 |
CN108566176A (zh) * | 2018-04-12 | 2018-09-21 | 无锡市好达电子有限公司 | 一种声表面波谐振器的杂波抑制方法 |
CN113098430A (zh) * | 2021-04-08 | 2021-07-09 | 江苏卓胜微电子股份有限公司 | 一种声表面波谐振器和射频滤波器 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN116318036A (zh) * | 2023-05-15 | 2023-06-23 | 成都频岢微电子有限公司 | 声表面波谐振器、声表面波滤波器及双工器 |
CN116318036B (zh) * | 2023-05-15 | 2023-09-22 | 成都频岢微电子有限公司 | 声表面波谐振器、声表面波滤波器及双工器 |
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