JPH02220510A - Saw共振子 - Google Patents
Saw共振子Info
- Publication number
- JPH02220510A JPH02220510A JP4070289A JP4070289A JPH02220510A JP H02220510 A JPH02220510 A JP H02220510A JP 4070289 A JP4070289 A JP 4070289A JP 4070289 A JP4070289 A JP 4070289A JP H02220510 A JPH02220510 A JP H02220510A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- idt
- reflector
- distance
- saw resonator
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 3
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 description 32
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-pyrazole-3-carboxylic acid Chemical compound CC1=CC(C(O)=O)=NN1 WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、弾性表面波を用いたキャビティ型SAW共振
子に関する。
子に関する。
従来のキャビティ型SAW共振子の構成に於て、弾性表
面波の励振電極であるIDT(交差指電極)と反射器間
の距離として5/8λの長さがとられていた、但しλは
IDTで励振され丞弾性表面波の波長である。
面波の励振電極であるIDT(交差指電極)と反射器間
の距離として5/8λの長さがとられていた、但しλは
IDTで励振され丞弾性表面波の波長である。
しかし、前述の従来技術では、前記IDTと反射器間で
の弾性表面波の反射位相のタイミングが合わず、強勢な
共振現象が得られず充分な共振子の性能が得られないと
いう問題点を有する。そこで本発明はこのような問題点
を解決するもので、その目的とするところは、共振子の
Q値が高く安定性に優れたSAW共振子を提供するとこ
ろにある。
の弾性表面波の反射位相のタイミングが合わず、強勢な
共振現象が得られず充分な共振子の性能が得られないと
いう問題点を有する。そこで本発明はこのような問題点
を解決するもので、その目的とするところは、共振子の
Q値が高く安定性に優れたSAW共振子を提供するとこ
ろにある。
本発明のSAW共振子は、
1)圧電体平板上に金属薄膜を形成してなる少なくとも
1つのIDT(交差指電極)と反射器を有するSAW共
振子に於て、前記IDT端部から反射器の反射電極端部
までの距離Ngが、前記IDTの電極周期λTを単位と
して5/16λTと9/16λTの間であること、 2)IDT端部から反射器の反射電極端部までの距離l
gがλT/2であること、 3)IDT端部から反射器反射電極端部までの距離Ng
が7/16ス7であることを特徴とする。
1つのIDT(交差指電極)と反射器を有するSAW共
振子に於て、前記IDT端部から反射器の反射電極端部
までの距離Ngが、前記IDTの電極周期λTを単位と
して5/16λTと9/16λTの間であること、 2)IDT端部から反射器の反射電極端部までの距離l
gがλT/2であること、 3)IDT端部から反射器反射電極端部までの距離Ng
が7/16ス7であることを特徴とする。
第1図は本発明の実施例におけるSAW共振子のIDT
と反射器の配置図の一例を示す平面図である。まず最初
に第1の図の構成より説明する。
と反射器の配置図の一例を示す平面図である。まず最初
に第1の図の構成より説明する。
第1図中100は圧電性を有する平板であって水晶及び
タンタル酸リチウム等の単結晶から特定方位に切断され
てなる水晶STカット、メカ・ノド等からなる。さらに
前記平板の少なくとも片面は弾性表面波(SAW)が伝
播できるように鏡面研摩されている必要がある。次に1
01の一点鎖線内は弾性表面波を励振するトランスデユ
ーサであるEDT即ち交差指電極と呼ばれる部分であり
、Au5Aj1等の金属導体を蒸着、スパッタにより薄
膜形成した御フォトエツチングして形状を形成してなる
。
タンタル酸リチウム等の単結晶から特定方位に切断され
てなる水晶STカット、メカ・ノド等からなる。さらに
前記平板の少なくとも片面は弾性表面波(SAW)が伝
播できるように鏡面研摩されている必要がある。次に1
01の一点鎖線内は弾性表面波を励振するトランスデユ
ーサであるEDT即ち交差指電極と呼ばれる部分であり
、Au5Aj1等の金属導体を蒸着、スパッタにより薄
膜形成した御フォトエツチングして形状を形成してなる
。
又、102の1点鎖線内は、反射器であって前記IDT
と同一の手段により形成される。次に103はEDTの
正負電極の一方、104はEDTの正負電極の他方であ
る。105と106等は反射器の反射電極であり、10
7の導体により105と106等は接続され短絡されて
いる。さらに図中のPはIDTl0Iの反射器側の最端
部であり、又Sは反射器102のEDT側の最端部とな
る位置を示す。本発明のSAW共振子に於る前記Pと8
間の距離1gが5/16λ□と9/16ス丁の間である
か、さらには1/2λ0あるいは7/16ス丁の値をと
る。ここでλTは前記IDT101の正負電極間の周期
108を示す。次に本発明のlgの値の妥当性につき図
によって順に説明する。第4図は、前記第1図のIDT
のみが交番電圧を正負電極103,104間に加えて弾
性表面波を圧電体平板100の表面に発生された場合に
於て、はぼIDTの正負電極周期λTの正弦波状変位を
有して励振される弾性表面波の同様な正弦泥状応力波F
の最初の節と前記P位置との距離lgを縦軸として、横
軸には前記交番電圧の周波数fをとって表わした特性図
である。さらに図中のfroはIDTに流入する共振電
流■の最大値を示す直列共振周波数。又faoは共振電
流Iが最小値を示す反共振周波数でありさらに又、fo
oはfroとfaoのほぼ中央にあって、前記IDTに
於て励振される弾性表面波の変位又は応力分布が最大値
を示す周波数である。図示の通りfooに於てIDT最
端位置Pから弾性表面波のもつ応力波Fの最初の節まで
の距離ρgは7/16スである(図中の404)。但し
λはfo。
と同一の手段により形成される。次に103はEDTの
正負電極の一方、104はEDTの正負電極の他方であ
る。105と106等は反射器の反射電極であり、10
7の導体により105と106等は接続され短絡されて
いる。さらに図中のPはIDTl0Iの反射器側の最端
部であり、又Sは反射器102のEDT側の最端部とな
る位置を示す。本発明のSAW共振子に於る前記Pと8
間の距離1gが5/16λ□と9/16ス丁の間である
か、さらには1/2λ0あるいは7/16ス丁の値をと
る。ここでλTは前記IDT101の正負電極間の周期
108を示す。次に本発明のlgの値の妥当性につき図
によって順に説明する。第4図は、前記第1図のIDT
のみが交番電圧を正負電極103,104間に加えて弾
性表面波を圧電体平板100の表面に発生された場合に
於て、はぼIDTの正負電極周期λTの正弦波状変位を
有して励振される弾性表面波の同様な正弦泥状応力波F
の最初の節と前記P位置との距離lgを縦軸として、横
軸には前記交番電圧の周波数fをとって表わした特性図
である。さらに図中のfroはIDTに流入する共振電
流■の最大値を示す直列共振周波数。又faoは共振電
流Iが最小値を示す反共振周波数でありさらに又、fo
oはfroとfaoのほぼ中央にあって、前記IDTに
於て励振される弾性表面波の変位又は応力分布が最大値
を示す周波数である。図示の通りfooに於てIDT最
端位置Pから弾性表面波のもつ応力波Fの最初の節まで
の距離ρgは7/16スである(図中の404)。但し
λはfo。
に於る弾性表面波の波長λでありλは前記電極周波長λ
Tとほぼ同一である(λ0−λ)。図中の下の線401
はfooに於てIg÷0となり電極パターンの作成が事
実状不可能となり実現できない。中の線402と上の線
403は実現可能である。特に中の線402と周波数f
roとfaoの交点M、Nの作る斜線領域はSAW共振
子の使用に当っての主要な動作領域であり前記Jugは
この周波数範囲に於て5/16λ〜9/16λの値をと
る。なお曲線401(j!go)と402の間にはlg
差としてほぼλ/2が、又曲線401と403の間には
fIg差としてλの差があることを付は加える。これは
弾性表面波の周期性より自明である。
Tとほぼ同一である(λ0−λ)。図中の下の線401
はfooに於てIg÷0となり電極パターンの作成が事
実状不可能となり実現できない。中の線402と上の線
403は実現可能である。特に中の線402と周波数f
roとfaoの交点M、Nの作る斜線領域はSAW共振
子の使用に当っての主要な動作領域であり前記Jugは
この周波数範囲に於て5/16λ〜9/16λの値をと
る。なお曲線401(j!go)と402の間にはlg
差としてほぼλ/2が、又曲線401と403の間には
fIg差としてλの差があることを付は加える。これは
弾性表面波の周期性より自明である。
一般的にはp go+n2 (n ;自然数)が弾性表
面波の応力波Fの節となりうることがわかる。
面波の応力波Fの節となりうることがわかる。
次に反射器(第1図102)が示す弾性表面波の応力波
Fの反射特性につき説明する。EDT(第1図101)
より励振された弾性表面波は反射器102に入射して各
反射電極1ift(第1図105゜106)等により微
少量ずつ反射される。反射電極の本数は通例充分な反射
特性を得るために100本以上は必要であるが、これら
多数の反射電極により得られる全体の応力波Fの反射特
性は、反射器電極端Sに於て節となる反射が行なわれる
ことである。1対の反射器間に前述のIDTを形成して
なるキャビティ型SAW共振子は以上の事実に基づいて
構成できる。第3図は本発明によるSAW共振子の示す
共振電流の周波数特性301である。縦軸は共振電流l
、横軸は前記IDTの正負電極に加える交番電圧の周波
数である。共振電流Iの最大値を示す周波数frが直列
共振周波数、■の最小値を示す周波数faが反共振周波
数である。周波数f「、faに於る本発明のSAW共振
子の表面変位の様子を応力波Fで表わしたものが第2図
である。第2図はSAW共振子の長手方向の断面図を表
わす。図中、200は圧電体平板、203.204はf
DTの電極、又205.206.207等は反射器反射
電極の断面である。位置pより左側がIDTであり位置
Sより右側が反射器であってpとSの距離が本発明のギ
ャブ長lgを与える。fr、faの周波数に対応する応
力波は各々201のFrと202のFaで示す。
Fの反射特性につき説明する。EDT(第1図101)
より励振された弾性表面波は反射器102に入射して各
反射電極1ift(第1図105゜106)等により微
少量ずつ反射される。反射電極の本数は通例充分な反射
特性を得るために100本以上は必要であるが、これら
多数の反射電極により得られる全体の応力波Fの反射特
性は、反射器電極端Sに於て節となる反射が行なわれる
ことである。1対の反射器間に前述のIDTを形成して
なるキャビティ型SAW共振子は以上の事実に基づいて
構成できる。第3図は本発明によるSAW共振子の示す
共振電流の周波数特性301である。縦軸は共振電流l
、横軸は前記IDTの正負電極に加える交番電圧の周波
数である。共振電流Iの最大値を示す周波数frが直列
共振周波数、■の最小値を示す周波数faが反共振周波
数である。周波数f「、faに於る本発明のSAW共振
子の表面変位の様子を応力波Fで表わしたものが第2図
である。第2図はSAW共振子の長手方向の断面図を表
わす。図中、200は圧電体平板、203.204はf
DTの電極、又205.206.207等は反射器反射
電極の断面である。位置pより左側がIDTであり位置
Sより右側が反射器であってpとSの距離が本発明のギ
ャブ長lgを与える。fr、faの周波数に対応する応
力波は各々201のFrと202のFaで示す。
F「、Faは反射器のIDT側の端部Sで節となってお
り、良好な反射動作を示していることがわかる。なお反
射器(第1図102)の反射電極105.106間は必
ずしも短絡されていなくても以上のことが実現すること
を付は加える。又本発明の実施例をSAW共振子を利用
したダブルモードフィルタの1部に構成しても良いこと
を付は加える。
り、良好な反射動作を示していることがわかる。なお反
射器(第1図102)の反射電極105.106間は必
ずしも短絡されていなくても以上のことが実現すること
を付は加える。又本発明の実施例をSAW共振子を利用
したダブルモードフィルタの1部に構成しても良いこと
を付は加える。
以上述べたように本発明によれば、rDTと反射器間の
距離Ωgを5/16〜9/16λTとすることにより、
反射特性の位相整合が良好となりQ[の高い安定なSA
W共振子が実現できる。特にjug−7/1.6λ□に
於ては一段と位相整合性が良〈従来にない高いQ値が実
現できる。又ffg−1/2λ□とするとIDTと反射
器反射電極間の周期性が維持されて電極パターンの設計
上及び精度向上の点て利点があり今後多大の効果が期待
できる。
距離Ωgを5/16〜9/16λTとすることにより、
反射特性の位相整合が良好となりQ[の高い安定なSA
W共振子が実現できる。特にjug−7/1.6λ□に
於ては一段と位相整合性が良〈従来にない高いQ値が実
現できる。又ffg−1/2λ□とするとIDTと反射
器反射電極間の周期性が維持されて電極パターンの設計
上及び精度向上の点て利点があり今後多大の効果が期待
できる。
第1図は本発明のSAW共振子の電極配置の一実施例を
示す平面図。 第2図は本発明のSAW共振子の応力波の波形を示す断
面図。 第3図は第2図SAW共振子の共振特性を示す特性図。 第4図はIDTの示す特性図である。 100・・・圧電体平板 101・・・IDT (交差指電極) 102・・・反射器 第1図 以上
示す平面図。 第2図は本発明のSAW共振子の応力波の波形を示す断
面図。 第3図は第2図SAW共振子の共振特性を示す特性図。 第4図はIDTの示す特性図である。 100・・・圧電体平板 101・・・IDT (交差指電極) 102・・・反射器 第1図 以上
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1)圧電体平板上に金属薄膜を形成してなる少なくとも
1つのIDT(交差指電極)と反射器を有するSAW共
振子に於て、前記IDT端部から反射器の反射電極端部
までの距離lgが、前記IDTの電極周囲λ_Tを単位
として5/16λ_Tと9/16λ_Tの間であること
を特徴とするSAW共振子。 2)請求項1記載のIDT端部から反射器の反射電極端
部までの距離lgがλ_T/2であることを特徴とする
SAW共振子。 3)請求項1記載のIDT端部から反射器反射電極端部
までの距離lgが7/16λ_Tであることを特徴とす
るSAW共振子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4070289A JPH02220510A (ja) | 1989-02-21 | 1989-02-21 | Saw共振子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4070289A JPH02220510A (ja) | 1989-02-21 | 1989-02-21 | Saw共振子 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02220510A true JPH02220510A (ja) | 1990-09-03 |
Family
ID=12587908
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4070289A Pending JPH02220510A (ja) | 1989-02-21 | 1989-02-21 | Saw共振子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02220510A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6025763A (en) * | 1996-03-14 | 2000-02-15 | Oki Electric Industry Co., Ltd. | Resonator-type surface-acoustic-wave ladder filter with improved upper stopband attenuation and reduced insertion loss |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5717217A (en) * | 1980-07-07 | 1982-01-28 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Cavity type elastic surface wave resonator |
JPS6212206A (ja) * | 1985-07-10 | 1987-01-21 | Hitachi Ltd | 弾性表面波共振子 |
-
1989
- 1989-02-21 JP JP4070289A patent/JPH02220510A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5717217A (en) * | 1980-07-07 | 1982-01-28 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Cavity type elastic surface wave resonator |
JPS6212206A (ja) * | 1985-07-10 | 1987-01-21 | Hitachi Ltd | 弾性表面波共振子 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6025763A (en) * | 1996-03-14 | 2000-02-15 | Oki Electric Industry Co., Ltd. | Resonator-type surface-acoustic-wave ladder filter with improved upper stopband attenuation and reduced insertion loss |
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