WO2019123812A1 - 弾性波装置 - Google Patents

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WO2019123812A1
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electrode
idt
electrode finger
elastic wave
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鈴木　孝尚
幸治 宮本
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株式会社村田製作所
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Definitions

  • an elastic wave device a piezoelectric substrate (piezoelectric body portion) and an IDT electrode provided on the piezoelectric substrate are provided, and a wide width portion is provided on the tip side of the central region of the electrode finger of the IDT electrode.
  • elastic wave devices see, for example, Patent Document 1.
  • reflectors are formed on both sides of the IDT electrode in the surface acoustic wave propagation direction on the piezoelectric substrate.
  • the IDT electrode and the reflector are formed of a metal material.
  • the feature of the elastic wave device described in Patent Document 1 is that a structure is provided to suppress transverse mode ripple by forming a piston mode in the IDT electrode.
  • the IDT electrode is electrically connected at its proximal end to the first bus bar, the second bus bar disposed apart from the first bus bar, and the first bus bar.
  • the base end is connected to the plurality of first electrode fingers connected to each other and having the tip extended toward the second bus bar, and the second bus bar, and the tip facing the first bus bar And a plurality of second electrode fingers extended.
  • the wide part is provided in both the 1st electrode finger and the 2nd electrode finger.
  • the first bus bar has a plurality of openings separated along the longitudinal direction of the first bus bar.
  • the first bus bar is located closer to the first electrode finger than the plurality of openings, and is an inner bus bar portion extending in the lengthwise direction of the first bus bar and a central portion provided with the plurality of openings
  • a bus bar portion and an outer bus bar portion positioned on the opposite side across the inner bus bar portion and the central bus bar portion.
  • ESD Electrostatic Discharge
  • An elastic wave device includes a first terminal, a second terminal, a piezoelectric portion, an IDT electrode, and a reflector.
  • the second terminal has a potential lower than the potential of the first terminal.
  • the IDT electrode is provided on the piezoelectric portion and is electrically connected to the first terminal and the second terminal.
  • the reflector is provided on the piezoelectric portion and electrically connected to the second terminal.
  • the IDT electrode has a first bus bar, a second bus bar, a plurality of first electrode fingers, and a plurality of second electrode fingers.
  • the first bus bar is electrically connected to the first terminal.
  • the second bus bar is opposed to the first bus bar in a first direction, and is electrically connected to the second terminal.
  • the plurality of first electrode fingers are connected to the first bus bar and extend from the first bus bar to the second bus bar in the first direction.
  • the plurality of second electrode fingers are connected to the second bus bar and extend from the second bus bar to the first bus bar in the first direction.
  • the plurality of first electrode fingers and the plurality of second electrode fingers are spaced apart from one another in a second direction orthogonal to the first direction.
  • the plurality of first electrode fingers and the second bus bar are separated.
  • the plurality of second electrode fingers and the first bus bar are separated.
  • the tips of at least one electrode finger of each of the plurality of first electrode fingers and the plurality of second electrode fingers have a width in the second direction that is greater than a central portion in the first direction of the at least one electrode finger. Includes large wide area.
  • An elastic wave device includes a first terminal, a second terminal, a piezoelectric portion, and a plurality of IDT electrodes.
  • the second terminal has a potential lower than the potential of the first terminal.
  • the plurality of IDT electrodes are provided on the piezoelectric portion and are electrically connected to the first terminal and the second terminal.
  • Each of the plurality of IDT electrodes has a first bus bar, a second bus bar, a plurality of first electrode fingers, and a plurality of second electrode fingers.
  • the second bus bar is opposed to the first bus bar in a first direction.
  • the plurality of first electrode fingers are connected to the first bus bar and extend from the first bus bar to the second bus bar in the first direction.
  • the plurality of second electrode fingers are connected to the second bus bar and extend from the second bus bar to the first bus bar in the first direction.
  • the plurality of first electrode fingers and the plurality of second electrode fingers are spaced apart from one another in a second direction orthogonal to the first direction.
  • the plurality of first electrode fingers and the second bus bar are separated.
  • the plurality of second electrode fingers and the first bus bar are separated.
  • the tips of at least one electrode finger of each of the plurality of first electrode fingers and the plurality of second electrode fingers have a width in the second direction that is greater than a central portion in the first direction of the at least one electrode finger. Includes large wide area.
  • Each of the first bus bar and the second bus bar includes an opening, an inner bus bar portion, an outer bus bar portion, and a connection portion.
  • the inner bus bar portion is located closer to the plurality of first electrode fingers and the plurality of second electrode fingers than the opening in the first direction.
  • the outer bus bar portion is located opposite to the inner bus bar portion as viewed from the opening in the first direction.
  • the connecting portion connects the inner bus bar portion and the outer bus bar portion in the first direction.
  • the plurality of first electrode fingers of the first IDT electrode and the plurality of electrodes The electrode finger positioned at the end on the second IDT electrode side in the second direction among the group of electrode fingers including the second electrode finger is the first end electrode finger of the first IDT electrode, and is opposite to the second IDT electrode
  • An electrode finger located at the end of the side is a second end electrode finger of the first IDT electrode, and a group of electrode fingers including the plurality of first electrode fingers of the second IDT electrode and the plurality of second electrode fingers
  • the electrode finger located at the end on the first IDT electrode side in the second direction is the first end electrode finger of the second IDT electrode, and the electrode finger located at the end opposite to the first IDT electrode is the second IDT electrode Second end electrode ,
  • the first end electrode finger of the first IDT electrode is connected to the first terminal, and the first end electrode finger of the second IDT electrode is connected to
  • the elastic wave device of the present invention can improve the ESD resistance while suppressing the inhibition of the piston mode.
  • FIG. 1 is a plan view of an elastic wave device according to a first embodiment of the present invention.
  • FIG. 2A is a plan view of a portion of the above elastic wave device.
  • FIG. 2B is a cross-sectional view along line AA of FIG. 2A regarding the elastic wave device same as above.
  • FIG. 3 is an enlarged view of an essential part of the above-mentioned elastic wave device.
  • FIG. 4 is a schematic explanatory view of the velocity distribution in the first direction of the speed of sound of the elastic wave propagating in the elastic wave propagation direction (second direction) in the elastic wave device mentioned above.
  • FIG. 5 is an explanatory view of the charge distribution of the elastic wave device of the above.
  • FIG. 6 is an enlarged view of a main part of an elastic wave device according to a first modification of the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 7 is a plan view of an elastic wave device according to a second embodiment of the present invention.
  • FIG. 8 is a plan view of a part of the above elastic wave device.
  • FIG. 9 is a cross-sectional view taken along the line AA of FIG.
  • FIG. 10 is an enlarged view of an essential part of the above-mentioned elastic wave device.
  • FIG. 11 is an explanatory view of charge distribution of the elastic wave device of the above.
  • FIG. 12 is an enlarged view of a main part of an elastic wave device according to a first modification of the second embodiment of the present invention.
  • FIG. 13 is an enlarged view of a main part of an elastic wave device according to a second modification of the second embodiment of the present invention.
  • FIG. 14 is a cross-sectional view of an elastic wave device according to a third modification of the second embodiment of the present invention.
  • FIG. 15 is a cross-sectional view of an elastic wave device according to a fourth modification of the second embodiment of the present invention.
  • first and second embodiments, etc. are all schematic views, and the ratio of the size and thickness of each component in the figure necessarily reflects the actual dimensional ratio. Not necessarily.
  • the elastic wave device 1 includes a first terminal (for example, signal terminal) 11 and a second terminal (for example, ground terminal) 12 as shown in FIGS. 1, 2A, 2B, 3 and 4.
  • a piezoelectric body portion 24, an IDT (Interdigital Transducer) electrode 3, and a reflector 8 are provided.
  • the second terminal 12 has a potential lower than that of the first terminal 11. Therefore, the first terminal 11 has a potential higher than that of the second terminal 12.
  • the first terminal 11 and the second terminal 12 are provided on the piezoelectric portion 24.
  • “provided on the piezoelectric body portion 24” means directly provided on the piezoelectric body portion 24 and indirectly provided on the piezoelectric body portion 24. including.
  • the elastic wave device 1 is provided with a plurality (three) of the second terminals 12, but it may be provided with at least one.
  • the piezoelectric portion 24 is formed of a piezoelectric material.
  • the IDT electrode 3 and the reflector 8 are provided on the piezoelectric portion 24.
  • “provided on the piezoelectric body portion 24” means directly provided on the piezoelectric body portion 24 and indirectly provided on the piezoelectric body portion 24. including.
  • the elastic wave device 1 according to the first embodiment is a one-port elastic wave resonator.
  • the elastic wave device 1 is provided with two reflectors 8.
  • the piezoelectric portion 24 is a piezoelectric film, and the IDT electrode 3 described above is provided on the laminated substrate 2 having the piezoelectric portion 24.
  • the laminated substrate 2 is a piezoelectric substrate having piezoelectricity at least in part.
  • the stacked substrate 2 includes a high sound velocity support substrate 21, a low sound velocity film 23, and a piezoelectric portion 24.
  • the high sound velocity support substrate 21 the sound velocity of the bulk wave propagating is faster than the sound velocity of the elastic wave propagating in the piezoelectric body portion 24.
  • the low sound velocity film 23 is provided on the high sound velocity support substrate 21.
  • “provided on the high sound velocity support substrate 21” means provided directly on the high sound velocity support substrate 21 and indirectly provided on the high sound velocity support substrate 21. Including cases.
  • the sound velocity of the bulk wave propagating is slower than the sound velocity of the elastic wave propagating in the piezoelectric body portion 24.
  • the piezoelectric portion 24 is made of, for example, lithium tantalate (LiTaO 3 ), lithium niobate (LiNbO 3 ), zinc oxide (ZnO), aluminum nitride (AlN), or lead zirconate titanate (PZT).
  • LiTaO 3 lithium tantalate
  • LiNbO 3 lithium niobate
  • ZnO zinc oxide
  • AlN aluminum nitride
  • PZT lead zirconate titanate
  • the high sound velocity support substrate 21 supports a laminate including the low sound velocity film 23 and the piezoelectric portion 24.
  • the high sound velocity support substrate 21 has a first main surface 211 and a second main surface 212 opposite to each other in the thickness direction.
  • the first major surface 211 and the second major surface 212 face each other.
  • the plan view shape of the high sound velocity support substrate 21 (the outer peripheral shape when the high sound velocity support substrate 21 is viewed from the thickness direction) is a rectangular shape, but it is not limited to a rectangular shape, and may be a square shape, for example.
  • the thickness of the high sound velocity support substrate 21 is, for example, 120 ⁇ m.
  • the material of the high sound velocity support substrate 21 is silicon.
  • the high sound velocity support substrate 21 is not limited to silicon, and for example, aluminum nitride, aluminum oxide, silicon carbide, silicon nitride, sapphire, lithium tantalate, lithium niobate, piezoelectric material such as quartz, alumina, zirconia, cordierite, mullite It may be formed of any of various ceramics such as steatite and forsterite, magnesia diamond, or a material containing the above-described materials as a main component, or a material containing a mixture of the above-described materials as a main component.
  • the low sound velocity film 23 is made of silicon oxide, glass, silicon oxynitride, tantalum oxide, a compound obtained by adding fluorine or carbon or boron to silicon oxide, or a material containing any of the above-described materials as a main component.
  • the elastic wave device 1 can improve the temperature characteristics.
  • the elastic constant of lithium tantalate has negative temperature characteristics, and silicon oxide has positive temperature characteristics. Therefore, in the elastic wave device 1, the absolute value of the temperature coefficient of frequency (TCF) can be reduced.
  • the intrinsic acoustic impedance of silicon oxide is less than that of lithium tantalate. Therefore, in the elastic wave device 1, both the increase of the electromechanical coupling coefficient, that is, the expansion of the specific band, and the improvement of the frequency temperature characteristic can be achieved.
  • the thickness of the piezoelectric body portion 24 is preferably 3.5 ⁇ or less, where ⁇ is the wavelength of the elastic wave determined by the electrode finger cycle of the IDT electrode 3. The reason is that the Q value is high.
  • the frequency temperature characteristic is improved by setting the thickness of the piezoelectric portion 24 to 2.5 ⁇ or less.
  • the sound speed can be easily adjusted by setting the thickness of the piezoelectric portion 24 to 1.5 ⁇ or less.
  • the thickness of the piezoelectric portion 24 is, for example, 600 nm.
  • the thickness of the low sound velocity film 23 is preferably 2.0 ⁇ or less, where ⁇ is a wavelength of an elastic wave determined by the electrode finger cycle of the IDT electrode 3.
  • the film stress can be reduced by setting the thickness of the low sound velocity film 23 to 2.0 ⁇ or less, and as a result, when the elastic wave device 1 is manufactured, the high sound velocity support substrate 21 is used.
  • the thickness of the low sound velocity film 23 is, for example, 600 nm.
  • the two reflectors 8 are provided on one main surface 241 of the piezoelectric body portion 24. Here, two reflectors 8 are disposed one on each side of the IDT electrode 3 in the second direction D2.
  • Each of the two reflectors 8 reflects an elastic wave.
  • Each of the two reflectors 8 is a grating reflector.
  • Each of the two reflectors 8 has a plurality of electrode fingers 9 and shorts one end and the other end of the plurality of electrode fingers 9 in the first direction D1. In FIGS. 1, 2A and 2B, etc., each of the two reflectors 8 is drawn with a reduced number of electrode fingers 9 in order to make the drawing easy to see.
  • Each reflector 8 is made of aluminum (Al), copper (Cu), platinum (Pt), gold (Au), silver (Ag), titanium (Ti), nickel (Ni), chromium (Cr), molybdenum (Mo) It can be formed of an appropriate metal material such as tungsten (W) or an alloy mainly composed of any of these metals.
  • Each reflector 8 may have a structure in which a plurality of metal films made of these metals or alloys are stacked. The thickness of each reflector 8 is, for example, 150 nm.
  • the IDT electrode 3 is a suitable metal such as aluminum, copper, platinum, gold, silver, titanium, nickel, chromium, molybdenum, tungsten or an alloy mainly composed of any of these metals. It can be formed of a material.
  • the IDT electrode 3 may have a structure in which a plurality of metal films made of these metals or alloys are stacked. The thickness of the IDT electrode 3 is, for example, 150 nm.
  • the IDT electrode 3 has the 1st bus-bar 4, the 2nd bus-bar 5, several 1st electrode finger 6, and several 2nd electrode finger 7, as shown to FIG. 1 and 2A.
  • the first bus bar 4 and the second bus bar 5 are long with a second direction D2 orthogonal to the first direction D1 as a longitudinal direction.
  • the second direction D2 is a direction along the propagation direction of the elastic wave.
  • the second direction D2 is also orthogonal to the thickness direction of the piezoelectric portion 24.
  • each of the plurality of first electrode fingers 6 has the same length.
  • the tip portion 61 of each of the plurality of first electrode fingers 6 includes a wide portion 62 whose width in the second direction D2 is larger than the central portion 60 of the first electrode finger 6 in the first direction D1.
  • the wide portion 62 included in the tip portion 61 of the first electrode finger 6 may be formed on at least a part of the tip portion 61 of the first electrode finger 6 in the longitudinal direction of the first electrode finger 6.
  • each of the plurality of first electrode fingers 6 includes a wide width portion 64 (see FIG. 2A) separately from the wide width portion 62.
  • the wide width portion 64 is formed between the base end portion 63 (see FIG.
  • the width in the second direction D2 is larger than the central portion 60 in the direction D1.
  • the wide portion 64 is separated from the first bus bar 4 in the first direction D1.
  • a portion between the wide width portion 62 and the wide width portion 64 in the first direction D ⁇ b> 1 constitutes a central portion 60.
  • the central portion 60 is longer than the wide portions 62 and 64 in the first direction D ⁇ b> 1.
  • the plurality of first electrode fingers 6 have the same width in the central portion 60 of each other. Moreover, the width
  • Each of the plurality of first electrode fingers 6 has a line symmetrical shape with reference to a center line 6X (see FIG. 3) along the first direction D1.
  • the shape of the wide portions 62 and 64 is rectangular, but is not limited to this, and may be, for example, hexagonal or circular.
  • the plurality of second electrode fingers 7 are connected to the second bus bar 5 and extend from the second bus bar 5 to the first bus bar 4 in the first direction D1.
  • the plurality of second electrode fingers 7 extend from the second bus bar 5 along the direction orthogonal to the longitudinal direction of the second bus bar 5. That is, the plurality of second electrode fingers 7 extend in the direction orthogonal to the propagation direction of the elastic wave.
  • the plurality of second electrode fingers 7 and the first bus bar 4 are separated, and a gap 32 is formed between the second electrode finger 7 and the first bus bar 4 opposed in the first direction D 1. There is.
  • the length of the gap 32 in the first direction D1 is, for example, 0.5 ⁇ or less.
  • each of the plurality of second electrode fingers 7 has the same length.
  • the tip end portion 71 of each of the plurality of second electrode fingers 7 includes a wide width portion 72 whose width in the second direction D2 is larger than the central portion 70 in the first direction D1 of the second electrode finger 7.
  • each of the plurality of second electrode fingers 7 includes a wide width portion 74 (see FIG. 2A) separately from the wide width portion 72.
  • the wide width portion 74 is formed between the base end portion 73 (see FIG. 2A) on the side opposite to the tip end portion 71 of the second electrode finger 7 and the central portion 70.
  • the width in the second direction D2 is larger than the central portion 70 in the direction D1.
  • the wide portion 74 is separated from the second bus bar 5 in the first direction D1.
  • a portion between the wide width portion 72 and the wide width portion 74 in the first direction D ⁇ b> 1 constitutes the central portion 70.
  • the central portion 70 is longer than the wide portions 72, 74 in the first direction D1.
  • the plurality of second electrode fingers 7 have the same central portion 70 width. Moreover, the width
  • Each of the plurality of second electrode fingers 7 has a line symmetrical shape with reference to a center line 7X (see FIG. 3) along the first direction D1.
  • the shape of the wide portions 72 and 74 is a rectangular shape, but is not limited thereto, and may be, for example, a hexagonal shape, a circular shape, or the like.
  • the plurality of first electrode fingers 6 and the plurality of second electrode fingers 7 are alternately arranged one by one alternately in the second direction D 2 orthogonal to the first direction D 1. Therefore, the 1st electrode finger 6 and the 2nd electrode finger 7 which adjoin in the 2nd direction D2 are separated.
  • the wide width portions 62 of the tip portions 61 of the plurality of first electrode fingers 6 and the wide width portions 74 on the base end portion 73 side of the second electrode fingers 7 are one each in the second direction D2. They are alternately spaced apart from one another. Further, in the IDT electrode 3, the wide portions 64 on the base end 63 side of the plurality of first electrode fingers 6 and the wide portions 72 of the tip portions 71 of the plurality of second electrode fingers 7 in the second direction D2 , One by one alternately spaced apart from one another.
  • the electrode finger cycle of the IDT electrode 3 is twice the distance between the corresponding sides of the central portion 60 of the adjacent first electrode finger 6 and the central portion 70 of the second electrode finger 7.
  • the electrode finger cycle of the IDT electrode 3 is the same even if it is defined by the distance between the center lines 6X (see FIG. 3) of the two first electrode fingers 6 adjacent in the second direction D2 among the plurality of first electrode fingers 6 It becomes a value.
  • the electrode finger cycle of the IDT electrode 3 is defined by the distance between the center lines 7X (see FIG. 3) of the two second electrode fingers 7 adjacent in the second direction D2 among the plurality of second electrode fingers 7 Is the same value.
  • the plurality of electrode fingers may be arranged as long as the plurality of first electrode fingers 6 and the plurality of second electrode fingers 7 are separately arranged in the second direction D2 orthogonal to the first direction D1,
  • the first electrode finger 6 and the plurality of second electrode fingers 7 may not be alternately spaced apart and not lined up.
  • a region in which the first electrode finger 6 and the second electrode finger 7 are spaced apart and aligned one by one, and a region in which two of the first electrode finger 6 or the second electrode finger 7 are aligned in the second direction D2 And may be mixed.
  • the first bus bar 4 includes an opening 40, an inner bus bar portion 42, an outer bus bar portion 41, and a connecting portion 43.
  • the inner bus bar portion 42 is located closer to the plurality of first electrode fingers 6 and the plurality of second electrode fingers 7 than the opening 40 in the first direction D1.
  • the outer bus bar portion 41 is located on the opposite side of the inner bus bar portion 42 as viewed from the opening 40 in the first direction D1. That is, the outer bus bar portion 41 is located on the side opposite to the side where the plurality of first electrode fingers 6 exist in the first direction D1.
  • the connecting portion 43 connects the inner bus bar portion 42 and the outer bus bar portion 41 in the first direction D1.
  • the connecting portions 43 are located on both sides of the opening 40 in the second direction D2.
  • the connecting portion 43 has the same width as the central portion 60 of the first electrode finger 6 and is located on the extension of the first electrode finger 6.
  • the dimensions of the connecting portion 43 and the arrangement of the connecting portion 43 are not limited to this.
  • the opening shape of the opening part 40 is a rectangular shape, it is not restricted to this.
  • the width of the inner bus bar portion 42 in the first direction D1 is, for example, 0.5 ⁇ or less.
  • the length of the connecting portion 43 in the first direction D1 is, for example, 2.0 ⁇ .
  • the opening shape of the opening part 50 is a rectangular shape, it is not restricted to this.
  • the width of the inner bus bar portion 52 in the first direction D1 is, for example, 0.5 ⁇ or less.
  • the length of the connecting portion 53 in the first direction D1 is, for example, 2.0 ⁇ .
  • the elastic wave device 1 has a structure in which a transverse mode ripple is suppressed by forming a piston mode in the IDT electrode 3. This point will be described with reference to FIG.
  • the regions A1 and A11 located at each end of the first direction D1 constitute an outer bus bar region.
  • the area A1 includes the outer bus bar portion 41 of the first bus bar 4.
  • Region A 11 includes outer bus bar portion 51 of second bus bar 5.
  • the acoustic velocity of the elastic wave is slower than in the central region.
  • the regions A3 and A9 which are the third from the both ends in the first direction D1 among the above-mentioned 11 regions A1 to A11, constitute an inner bus bar region.
  • Region A3 includes inner bus bar portion 42 of first bus bar 4.
  • Region A 9 includes inner bus bar portion 52 of second bus bar 5.
  • the acoustic velocity of the elastic wave is slower than in the central region.
  • the regions A4 and A8, which are the fourth from the both ends of the first direction D1 among the 11 regions A1 to A11, constitute a gap region.
  • the region A4 includes the proximal end portions 63 of the plurality of first electrode fingers 6 and the plurality of gaps 32.
  • the region A ⁇ b> 8 includes the proximal end portions 73 of the plurality of second electrode fingers 7 and the plurality of gaps 31.
  • the acoustic velocity of the elastic wave is faster than in the inner bus bar region and the central region.
  • regions A5 and A7 positioned fifth from the both ends of the first direction D1 out of the above-mentioned 11 regions A1 to A11 constitute a wide region.
  • the region A5 includes wide portions 64 of the plurality of first electrode fingers 6 and wide portions 72 of the plurality of second electrode fingers 7.
  • the region A ⁇ b> 7 includes wide portions 62 of the plurality of first electrode fingers 6 and wide portions 74 of the plurality of second electrode fingers 7. In the wide region, the acoustic velocity of the elastic wave is slower than in the central region.
  • FIG. 5 shows the charge distribution on the surface (including the surface of the IDT electrode 3 and one main surface 241 of the piezoelectric portion 24) of the elastic wave device 1 according to the first embodiment.
  • the preconditions for the charge distribution shown in FIG. 5 are that an excitation phenomenon of surface acoustic waves is occurring in the region related to the IDT electrode 3, that the reflector 8 is electrically shorted (it is a shorted grating), The excitation phenomenon of the surface acoustic wave does not occur in the region related to the reflector 8 (the reflector 8 is electrically shorted, so the driving voltage causing the piezoelectric effect is zero).
  • the principle on which the charge distribution shown in FIG. 5 occurs is as follows.
  • An edge effect (also referred to as an edge effect) occurs in the boundary region between the region in which the surface acoustic wave is excited and the region in which the excitation is not generated. Due to the edge effect, the amount of charge in the same boundary region is locally larger than the amount of charge in the peripheral region of the same boundary region. Therefore, in the elastic wave device 1, charge distribution as shown in FIG. 5 occurs.
  • the amount of charge of the light-emitting for this reason, in the elastic wave device 1, for example, the second electrode finger 7 positioned at the end in the second direction D2 of the group of electrode fingers and the inner bus bar portion 42 close to the second electrode finger 7 The density of electric lines of force between them tends to increase.
  • the second electrode finger 7 located at the left end of FIGS. 1 and 2A in the second direction D2 will be referred to as a second electrode finger 7L in relation to the group of electrode fingers described above, and the right side of FIGS.
  • the second electrode finger 7 located at the end may be referred to as a second electrode finger 7R.
  • the inner bus bar portion 42 of the first bus bar 4 is close to the second electrode fingers 7L and 7R. .
  • the inner bus bar portion 42 close to the second electrode finger 7L is located inward in the second direction D2 with respect to the central portion 70 of the second electrode finger 7L in the first direction D1 (the adjacent first electrode finger in the second direction D2 It is located on the side where 6 exists, in other words, the side opposite to the adjacent reflector 8).
  • the shape of the inner bus bar portion 42 is determined such that the wide width portion 72 of the second electrode finger 7 L and the inner bus bar portion 42 do not overlap in the first direction D 1.
  • the wide portion 72 of the second electrode finger 7L and the inner bus bar portion 42 face each other in a direction different from the first direction D1 (see FIG. 2A).
  • the inner bus bar portion 42 close to the second electrode finger 7R is located inward in the second direction D2 than the central portion 70 of the second electrode finger 7R in the first direction D1 (the first adjacent bus bar portion 42 in the second direction D2). It is located on the side where the electrode finger 6 exists, in other words, the side opposite to the adjacent reflectors 8).
  • the shape of the inner bus bar portion 42 is determined such that the wide width portion 72 of the second electrode finger 7R and the inner bus bar portion 42 do not overlap in the first direction D1. .
  • the wide width portion 72 of the second electrode finger 7R and the inner bus bar portion 42 face each other in a direction different from the first direction D1 (see FIG. 2A).
  • FIG. 3 is an enlarged view including the second electrode finger 7 located at the left end of FIGS. 1 and 2A and the inner bus bar portion 42 in proximity to the second electrode finger 7.
  • FIGS. 3 is an enlarged view including the second electrode finger 7 located at the left end of FIGS. 1 and 2A and the inner bus bar portion 42 in proximity to the second electrode finger 7.
  • the high potential side portion (the first conductor portion including the first bus bar 4 and the plurality of first electrode fingers 6) in which the symbol “H” is depicted, and the symbol “E” are depicted.
  • the potential is different from the low potential side portion (the second conductor portion including the second bus bar 5 and the plurality of second electrode fingers 7).
  • the elastic wave device 1 includes the first terminal 11, the second terminal 12, the piezoelectric portion 24, the IDT electrode 3, and the reflector 8.
  • the second terminal 12 has a potential lower than that of the first terminal 11.
  • the IDT electrode 3 is provided on the piezoelectric portion 24 and is electrically connected to the first terminal 11 and the second terminal 12.
  • the reflector 8 is provided on the piezoelectric body portion 24 and is electrically connected to the second terminal 12.
  • the IDT electrode 3 has a first bus bar 4, a second bus bar 5, a plurality of first electrode fingers 6, and a plurality of second electrode fingers 7.
  • the first bus bar 4 is electrically connected to the first terminal 11.
  • the second bus bar 5 is opposed to the first bus bar 4 in the first direction D 1 and is electrically connected to the second terminal 12.
  • the plurality of first electrode fingers 6 are connected to the first bus bar 4 and extend from the first bus bar 4 to the second bus bar 5 in the first direction D1.
  • the plurality of second electrode fingers 7 are connected to the second bus bar 5 and extend from the second bus bar 5 to the first bus bar 4 in the first direction D1.
  • the plurality of first electrode fingers 6 and the plurality of second electrode fingers 7 are arranged separately from each other in a second direction D2 orthogonal to the first direction D1.
  • the plurality of first electrode fingers 6 and the second bus bar 5 are separated.
  • the plurality of second electrode fingers 7 and the first bus bar 4 are separated.
  • the tip portions 61 and 71 of at least one electrode finger (first electrode finger 6 and second electrode finger 7) of each of the plurality of first electrode fingers 6 and the plurality of second electrode fingers 7 are the at least one electrode finger ( The first electrode finger 6, the second electrode finger 7) includes wide portions 62, 72 having a larger width in the second direction D2 than the central portions 60, 70 in the first direction D1.
  • Each of the first bus bar 4 and the second bus bar 5 includes openings 40 and 50, inner bus bars 42 and 52, outer bus bars 41 and 51, and connecting parts 43 and 53.
  • the inner bus bar portions 42 and 52 are positioned closer to the plurality of first electrode fingers 6 and the plurality of second electrode fingers 7 than the openings 40 and 50 in the first direction D1.
  • the outer bus bar portions 41 and 51 are located on the side opposite to the inner bus bar portions 42 and 52 as viewed from the openings 40 and 50 in the first direction D1.
  • the coupling portions 43 and 53 couple the inner bus bar portions 42 and 52 and the outer bus bar portions 41 and 51 in the first direction D1.
  • an electrode finger positioned at one end in the second direction D2 (second electrode finger 7L or second electrode finger 7R) Is a first end electrode finger, and an electrode finger at the other end (the second electrode finger 7R or the second electrode finger 7L) is a second end electrode finger, the first end electrode finger (second electrode finger) 7L or the second electrode finger 7R) has a wide width portion (wide width portion 72) at least at the front end portion (the front end portion 71).
  • the first end electrode finger (the second electrode finger 7L or the second electrode finger 7R) includes the reflector 8 and the second end electrode finger (the second electrode finger 7R or the second electrode finger 7L) in the second direction D2.
  • the elastic wave device 1 also includes two reflectors 8.
  • the two reflectors 8 are disposed one by one on both sides of the IDT electrode 3 in the second direction D2.
  • the second end electrode finger (the second electrode finger 7R or the second electrode finger 7L) has a wide width portion (wide width portion 72) at least at the front end portion (the front end portion 71).
  • the inner bus bar portion 42 of the first bus bar 4 has a wide portion (wide portion 72) of the first end electrode finger (the second electrode finger 7L or the second electrode finger 7R) and a second end electrode finger in the first direction D1.
  • the first end electrode finger (second electrode finger 7L or second electrode finger in the second direction D2 so as not to overlap with the wide portion (wide portion 72) of the (second electrode finger 7R or second electrode finger 7L) 7R) is positioned inside the wide width portion (wide width portion 72) of the wide width portion (wide width portion 72) and the second end electrode finger (second electrode finger 7R or second electrode finger 7L).
  • the inner bus bar portion 42 close to the second electrode fingers 7L, 7R is positioned inside so as not to overlap the second electrode fingers 7L, 7R in the first direction D1.
  • the shortest distance between the second electrode fingers 7L and 7R and the inner bus bar portion 42 can be further lengthened, and the ESD resistance can be further improved.
  • the left side 42L of the inner bus bar portion 42 and the left side 60L of the central portion 60 of the first electrode finger 6 next to the right of the second electrode finger 7L are in line. Lined up. Thereby, in the elastic wave device 1, it is possible to further improve the ESD resistance while suppressing the inhibition of the piston mode.
  • the elastic wave device 1a according to the modification 1 compared to the elastic wave device 1 according to the first embodiment, it is possible to further suppress the inhibition of the piston mode.
  • the number of each of the plurality of first electrode fingers 6 and the plurality of second electrode fingers 7 in the IDT electrode 3 is not particularly limited.
  • the IDT electrode 3 is not limited to the case where each of the first end electrode finger and the second end electrode finger is the second electrode finger 7.
  • one of the first end electrode finger and the second end electrode finger may be the second electrode finger 7 and the other may be the first electrode finger 6.
  • the inner bus bar portion 42 of the first bus bar 4 is close to the second electrode finger 7 constituting the first end electrode finger, and the second electrode finger 7 constituting the second end electrode finger is the second electrode finger 7.
  • the inner bus bar portion 52 of the bus bar 5 approaches.
  • each of the first end electrode finger and the second end electrode finger may be the first electrode finger 6.
  • the inner bus bar portion 52 of the second bus bar 5 approaches the first electrode finger 6 configuring each of the first end electrode finger and the second end electrode finger.
  • At least one of the electrode fingers of the group may include three or more wide portions.
  • the elastic wave device 1 is formed on the first terminal 11 and further includes a conductive first bump and a conductive second bump formed on the second terminal 12. May be Further, the number of second terminals 12 is not limited to a plurality, and may be one, for example.
  • the same components as those of the elastic wave device 1 (see FIGS. 1 to 4) according to the first embodiment are given the same reference numerals and the description thereof will be appropriately omitted.
  • the piezoelectric portion 24 is a piezoelectric film, and the plurality of IDT electrodes 3 are formed on the laminated substrate 2b having the piezoelectric portion 24.
  • the plan view shape (the outer peripheral shape when the high sound velocity support substrate 21 is viewed from the thickness direction) of the high sound velocity support substrate 21 (see FIG. 9) in the laminated substrate 2b is a rectangular shape, but it is not limited to the rectangular shape. For example, it may be square.
  • the two reflectors 8 are provided on the piezoelectric body portion 24.
  • the two reflectors 8 are disposed one by one on the opposite side to the middle IDT electrode 3 in each of the IDT electrodes 3 on both sides of the three IDT electrodes 3 in the second direction D2.
  • one of the two IDT electrodes 3 adjacent in the second direction D2 among the plurality of IDT electrodes 3 is the first IDT electrode 3A, and the other is the second IDT electrode. It is also called 3B.
  • the middle IDT electrode 3 among the three IDT electrodes 3 is referred to as a first IDT electrode 3A
  • the IDT electrodes 3 at both ends are referred to as a second IDT electrode 3B.
  • the three IDT electrodes 3 are arranged in the second direction D2.
  • Each of the three IDT electrodes 3 has a first bus bar 4, a second bus bar 5, a plurality of first electrode fingers 6, and a plurality of second electrode fingers 7.
  • the first bus bar 4 includes an opening 40, an inner bus bar portion 42, an outer bus bar portion 41, and a connecting portion 43.
  • the second bus bar 5 includes an opening 50, an inner bus bar portion 52, an outer bus bar portion 51, and a connecting portion 53.
  • the wide width portions 62 of the tip portions 61 of the plurality of first electrode fingers 6 and the wide width portions 74 on the base end portion 73 side of the second electrode fingers 7 are one each in the second direction D2. They are alternately spaced apart from one another.
  • the wide width portion 64 on the base end 63 side of the plurality of first electrode fingers 6 and the wide width portion 72 of the distal end portion 71 of the second electrode finger 7 are 1 in the second direction D2. They are alternately spaced apart from one another.
  • the elastic wave device 1 b includes two first terminals 11 and two second terminals 12.
  • first terminal 11A When the two first terminals 11 are distinguished, one is referred to as a first terminal 11A, and the other is referred to as a first terminal 11B.
  • 2nd terminal 12A when distinguishing two 2nd terminals 12, one is called 2nd terminal 12A, and the other is called 2nd terminal 12B.
  • the first bus bar 4 of the first IDT electrode 3A is electrically connected to the first terminal 11A.
  • the elastic wave device 1b includes a first wiring layer 13 (13A) that electrically connects the first terminal 11A and the first bus bar 4 of the first IDT electrode 3A.
  • the second bus bar 5 of the first IDT electrode 3A is electrically connected to the second terminal 12A and the second terminal 12B.
  • the elastic wave device 1b includes a second wiring layer 14 (14A) that electrically connects the second terminal 12A and the second terminal 12B to the second bus bar 5 of the first IDT electrode 3A. In the first IDT electrode 3A, the potential of the second bus bar 5 is lower than the potential of the first bus bar 4.
  • the first bus bar 4 of each second IDT electrode 3B is electrically connected to the second terminal 12B.
  • the elastic wave device 1 b includes a second wiring layer 14 (14 B) that electrically connects the second terminal 12 B and the first bus bar 4 of the second IDT electrode 3 B.
  • the second bus bar 5 of each second IDT electrode 3B is electrically connected to the first terminal 11B.
  • the elastic wave device 1 b includes a first wiring layer 13 (13 B) that electrically connects the first terminal 11 B and the second bus bar 5 of the second IDT electrode 3 B. In each second IDT electrode 3B, the potential of the first bus bar 4 is lower than the potential of the second bus bar 5.
  • Each reflector 8 is electrically connected to the second terminal 12A and the second terminal 12B.
  • the potential of each reflector 8 is lower than the potential of the second bus bar 5 of each second IDT electrode 3B.
  • the elastic wave device 1 b includes an electrical insulating layer 15 which electrically insulates the first wiring layer 13 (13 A) and the second wiring layer 14 (14 B).
  • the electrical insulating layer 15 is provided on the piezoelectric portion 24 such that a part thereof is interposed between the first wiring layer 13 (13A) and the second wiring layer 14 (14B).
  • the elastic wave device 1 b further includes an electrical insulation layer 16 that electrically insulates the first wiring layer 13 (13 B) and the second wiring layer 14 (14 A).
  • the electrical insulating layer 16 is provided on the piezoelectric portion 24 such that a part thereof is interposed between the first wiring layer 13 (13B) and the second wiring layer 14 (14A).
  • FIG. 10 shows a first electrode finger 6 located at the left end of the first IDT electrode 3A in the middle of FIGS. 7 and 8, and a first electrode located at the right end of the second IDT electrode 3B at the left in FIGS. And a finger 6.
  • the high potential side portion in which the symbol “H” is written in FIGS. 7 and 10 and the low potential side portion in which the symbol “E” is written have different potentials.
  • the first electrode finger 6 located at the left end of the first IDT electrode 3A and the first electrode finger 6 located at the right end of the second IDT electrode 3B have different potentials. Further, in FIG.
  • the first electrode finger 6 located at the left end of the first IDT electrode 3A and the inner bus bar portion 52 of the second bus bar 5 of the first IDT electrode 3A close to the first IDT electrode 3A The potentials are different. Further, in FIG. 10, the first electrode finger 6 located at the right end of the second IDT electrode 3B and the inner bus bar portion 52 of the second bus bar 5 of the second IDT electrode 3B close to the second IDT electrode 3B The potentials are different.
  • FIG. 11 shows the charge distribution on the surface of the elastic wave device 1b according to the second embodiment (including the surfaces of the three IDT electrodes 3 and the one main surface 241 of the piezoelectric portion 24).
  • the precondition of the charge distribution shown in FIG. 11 is that the excitation phenomenon of the surface acoustic wave is generated in the region related to the first IDT electrode 3A and the region related to the second IDT electrode 3B, the region related to the first IDT electrode 3A and The regions relating to the 2IDT electrodes 3B are connected to different electrical terminals (the first terminal 11A and the first terminal 11B), the reflector 8 is electrically shorted (is a shorted grating), and The excitation phenomenon of the surface acoustic wave does not occur in the region related to the reflector 8 (the reflector 8 is electrically shorted, so that the driving voltage causing the piezoelectric effect is zero).
  • An edge effect (also referred to as an edge effect) occurs in the boundary region between the region in which the surface acoustic wave is excited and the region in which the excitation is not generated.
  • the edge effect also occurs in the boundary regions of two regions which are different from each other like excitation of surface acoustic waves. Due to the edge effect, the amount of charge in the same boundary region is locally larger than the amount of charge in the peripheral region of the same boundary region. Edge effects can occur, in principle, at different boundary regions, if the excitations of the surface acoustic waves differ from one another.
  • the boundary region between the region related to the first IDT electrode 3A and the region related to the second IDT electrode 3B In many cases, local concentration of charge occurs in the boundary area between the area related to the second IDT electrode 3B and the area related to the reflector 8. Therefore, in the elastic wave device 1b according to the second embodiment, charge distribution as shown in FIG. 11 occurs.
  • the amount of charge of the light-emitting diode is larger than the amount of charge at the center of the IDT electrode 3. For this reason, in the elastic wave device 1, for example, the density of electric lines of force between the inner bus bar portions 52 of the adjacent IDT electrodes 3 tends to be large.
  • a first electrode finger 6 positioned at an end in the second direction D2 of the group of electrode fingers and an inner bus bar portion 52 close to the first electrode finger 6; The density of electric lines of force between them tends to increase.
  • the elastic wave device 1 b includes the first terminal 11, the second terminal 12, the piezoelectric portion 24, and the plurality of IDT electrodes 3.
  • the second terminal 12 has a potential lower than that of the first terminal 11.
  • the plurality of IDT electrodes 3 are provided on the piezoelectric body portion 24 and are electrically connected to the first terminal 11 and the second terminal 12.
  • Each of the plurality of IDT electrodes 3 has a first bus bar 4, a second bus bar 5, a plurality of first electrode fingers 6, and a plurality of second electrode fingers 7.
  • the second bus bar 5 is opposed to the first bus bar 4 in the first direction D1.
  • the plurality of first electrode fingers 6 are connected to the first bus bar 4 and extend from the first bus bar 4 to the second bus bar 5 in the first direction D1.
  • the plurality of second electrode fingers 7 are connected to the second bus bar 5 and extend from the second bus bar 5 to the first bus bar 4 in the first direction D1.
  • the plurality of first electrode fingers 6 and the plurality of second electrode fingers 7 are arranged separately from each other in a second direction D2 orthogonal to the first direction D1.
  • the plurality of first electrode fingers 6 and the second bus bar 5 are separated.
  • the plurality of second electrode fingers 7 and the first bus bar 4 are separated.
  • the tip portions 61 and 71 of at least one electrode finger (first electrode finger 6 and second electrode finger 7) of each of the plurality of first electrode fingers 6 and the plurality of second electrode fingers 7 are the at least one electrode finger ( It includes a wide width portion (wide width portions 62, 72) in which the width in the second direction D2 is larger than the central portion (central portions 60, 70) in the first direction D1 of the first electrode finger 6 and the second electrode finger 7).
  • Each of the first bus bar 4 and the second bus bar 5 includes openings 40 and 50, inner bus bars 42 and 52, outer bus bars 41 and 51, and connecting parts 43 and 53.
  • the inner bus bar portions 42 and 52 are positioned closer to the plurality of first electrode fingers 6 and the plurality of second electrode fingers 7 than the openings 40 and 50 in the first direction D1.
  • the outer bus bar portions 41 and 51 are located on the side opposite to the inner bus bar portions 42 and 52 as viewed from the openings 40 and 50 in the first direction D1.
  • the coupling portions 43 and 53 couple the inner bus bar portions 42 and 52 and the outer bus bar portions 41 and 51 in the first direction D1.
  • the electrode finger (first electrode finger 6) located at the end opposite to the second IDT electrode 3B is a finger, and the plurality of first electrode fingers 6 of the second IDT electrode 3B is a second end electrode finger of the first IDT electrode 3A.
  • the terminal different from the first end electrode finger of the first terminal 11 and the second terminal 12 in the at least one IDT electrode 3 is electrically The at least one IDT electrode in the second direction D2 so that the inner bus bar portion connected in a manner does not overlap the wide portion of the first end electrode finger of the at least one IDT electrode 3 in the first direction D1. It is located inside the wide part of the 3rd 1st end electrode finger.
  • each IDT electrode 3 since each IDT electrode 3 has the above-described configuration, it is possible to suppress the inhibition of the piston mode.
  • at least one of the first IDT electrode 3A and the second IDT electrode 3B includes at least one of the first terminal 11 and the second terminal 12 of the at least one IDT electrode 3.
  • the inner bus bar portion electrically connected to a terminal different from the first end electrode finger of the first and second end electrodes does not overlap the wide portion of the first end electrode finger of the at least one IDT electrode 3 in the first direction D1.
  • Surge breakdown of the first end electrode finger (first electrode finger 6) and the inner bus bar portion 52 due to ESD between the wide portion (wide portion 62) of the portion 61) and the inner bus bar portion 52 is less likely to occur.
  • ESD resistance It is possible to achieve. Therefore, in the elastic wave device 1b according to the second embodiment, it is possible to improve the ESD resistance while suppressing the inhibition of the piston mode.
  • a first one of a group of electrode fingers including the plurality of first electrode fingers 6 and the plurality of second electrode fingers 7 is closest to the second IDT electrode 3B.
  • the second IDT electrode 3B It becomes difficult for a surge breakdown by ESD to occur between the inner bus bar portion 52 having a potential different from that of the closest first electrode finger 6, and the ESD resistance can be improved.
  • the (inside bus bar portion 42) is a wide portion (wide portion 72) of the first end electrode finger (the second electrode finger 7L or the second electrode finger 7R) in the first direction (D1) and a second end electrode finger (the wide end portion).
  • the elastic wave device (1; 1a; 1b; 1c; 1d; 1f; 1f) according to the third aspect is an inner bus bar in the second direction (D2) in the IDT electrode (3) in the first or second aspect.
  • the portions (42, 52) are positioned inside the outer bus bar portions (41, 51).
  • An elastic wave device (1b; 1c; 1d; 1e; 1f) includes a first terminal (11), a second terminal (12), a piezoelectric portion (24; 24f), and a plurality of And an IDT electrode (3).
  • the second terminal (12) has a potential lower than the potential of the first terminal (11).
  • the plurality of IDT electrodes (3) are provided on the piezoelectric portion (24; 24f), and are electrically connected to the first terminal (11) and the second terminal (12).
  • Each of the plurality of IDT electrodes (3) includes a first bus bar (4), a second bus bar (5), a plurality of first electrode fingers (6), and a plurality of second electrode fingers (7). Have.
  • the elastic wave device (1b; 1c; 1d; 1e; 1f) according to the fifth aspect, it is possible to improve the ESD resistance while suppressing the inhibition of the piston mode.
  • the elastic wave device (1b; 1c; 1d; 1e; 1f) according to the sixth aspect is the fourth or fifth aspect, wherein the at least one IDT electrode (3) is the first in the second direction (D2).
  • the inner bus bar portion (inner bus bar portion 52) of the bus bar (second bus bar 5) having a potential different from that of the end electrode finger is located more inside than the outer bus bar portion (outer bus bar portion 51).
  • the elastic wave device (1; 1a; 1b; 1c; 1d; 1f) according to the seventh aspect, the elastic wave device (1; 1a; 1b; 1c) according to any one of the first to sixth aspects.
  • 1d; 1e; 1f) are a plurality of regions different from each other in the first direction (D1) in plan view from the thickness direction of the elastic wave device (1; 1a; 1b; 1c; 1d; 1e; 1f) (A1 to A11).
  • the plurality of areas (A1 to A11) includes a central area (area A6), two outer bus bar areas (areas A1 and A11), two inner bus bar areas (areas A3 and A9), and two connection areas (areas) A2 and A10), two gap regions (regions A4 and A8), and two wide regions (A7 and A5).
  • the central region (region A6) is positioned at the center in the first direction (D1), and the central portions (60) of the plurality of first electrode fingers (6) and the central portions of the plurality of second electrode fingers (7) And (70).
  • the two outer bus bar regions (regions A1, A11) respectively include an outer bus bar portion (41) of the first bus bar (4) and an outer bus bar portion (51) of the second bus bar (5).
  • the two inner bus bar regions respectively include an inner bus bar portion (42) of the first bus bar (4) and an inner bus bar portion (52) of the second bus bar (5).
  • the two connection areas are the connection part (43) and the opening (40) of the first bus bar (4) and the connection (53) and the opening (50) of the second bus bar (5).
  • the two gap regions (regions A4, A8) are the gaps (31) between the plurality of first electrode fingers (6) and the second bus bar (5), the plurality of second electrode fingers (7), and the first bus bar Each of the gaps (32) between (4) and (4) is included.

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Abstract

ピストンモードの阻害を抑制しつつＥＳＤ耐性の向上を図ることが可能な弾性波装置を提供する。弾性波装置（１）は、第１端子（１１）と第２端子（１２）とに接続されているＩＤＴ電極（３）と、第２端子（１２）に接続されている反射器（８）と、を備える。ＩＤＴ電極（３）の一群の電極指のうち第２方向（Ｄ２）における一方の端に位置する電極指を第１端電極指とし、他方の端に位置する電極指を第２端電極指とした場合に、第１端電極指は、少なくとも先端部に太幅部を有している。第１端電極指は、第２方向（Ｄ２）において、反射器（８）と第２端電極指との間に位置している。第１バスバーと第２バスバーとのうち第１端電極指に接続されていないバスバーの内側バスバー部は、第１方向（Ｄ１）において第１端電極指の太幅部と重ならないように、第２方向（Ｄ２）において第１端電極指の太幅部よりも内側に位置している。

Description

弾性波装置
　本発明は、一般に弾性波装置に関し、より詳細には、ＩＤＴ電極を備える弾性波装置に関する。
　従来、弾性波装置として、圧電基板（圧電体部）と、圧電基板上に設けられたＩＤＴ電極と、を備え、ＩＤＴ電極の電極指の中央領域よりも先端側に太幅部が設けられている弾性波装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１に記載された弾性波装置の一例では、圧電基板上には、ＩＤＴ電極の弾性表面波伝搬方向両側に、反射器が形成されている。ＩＤＴ電極及び反射器は、金属材料により形成されている。特許文献１に記載された弾性波装置の特徴は、ＩＤＴ電極においてピストンモードを形成することにより横モードリップルを抑圧する構造が備えられていることにある。
　特許文献１に記載された弾性波装置では、ＩＤＴ電極は、第１のバスバーと、第１のバスバーと隔てられて配置された第２のバスバーと、第１のバスバーに基端が電気的に接続されており、先端が第２のバスバーに向かって延ばされている複数本の第１の電極指と、第２のバスバーに基端が接続されており、先端が第１のバスバーに向かって延ばされている複数本の第２の電極指と、を有する。上記の弾性波装置では、第１の電極指及び第２の電極指の双方に太幅部が設けられている。
　第１のバスバーは、第１のバスバーの長さ方向に沿って分離配置された複数の開口部を有する。第１のバスバーは、複数の開口部よりも第１の電極指側に位置しており、かつ第１のバスバーの長さ方向に延びる内側バスバー部と、複数の開口部が設けられている中央バスバー部と、内側バスバー部と中央バスバー部を挟んで反対側に位置している外側バスバー部と、を有する。
　第２のバスバーは、第２のバスバーの長さ方向に沿って分離配置された複数の開口部を有する。第２のバスバーは、複数の開口部よりも第２の電極指側に位置しており、かつ第２のバスバーの長さ方向に延びる内側バスバー部と、複数の開口部が設けられている中央バスバー部と、内側バスバー部と中央バスバー部を挟んで反対側に位置している外側バスバー部と、を有する。
国際公開第２０１４／１９２７５６号
　ＩＤＴ電極の電極指の中央領域よりも先端側に太幅部が設けられた弾性波装置では、例えば、第１のバスバー及び第２のバスバーの長さ方向におけるＩＤＴ電極の端領域で、内側バスバー部が、電位の異なる電極指の先端側の太幅部と隣接するので、静電気放電（ＥＳＤ：Electrostatic Discharge）が発生してサージ破壊されてしまうことがあった。
　本発明の目的は、ピストンモードの阻害を抑制しつつＥＳＤ耐性の向上を図ることが可能な弾性波装置を提供することにある。
　本発明の一態様に係る弾性波装置は、第１端子と、第２端子と、圧電体部と、ＩＤＴ電極と、反射器と、を備える。前記第２端子は、前記第１端子の電位よりも低い電位になる。前記ＩＤＴ電極は、前記圧電体部上に設けられており、前記第１端子及び前記第２端子と電気的に接続されている。前記反射器は、前記圧電体部上に設けられており、前記第２端子と電気的に接続されている。前記ＩＤＴ電極は、第１バスバーと、第２バスバーと、複数の第１電極指と、複数の第２電極指と、を有する。前記第１バスバーは、前記第１端子と電気的に接続されている。前記第２バスバーは、第１方向において前記第１バスバーに対向しており、前記第２端子と電気的に接続されている。前記複数の第１電極指は、前記第１バスバーに接続され前記第１方向において前記第１バスバーから第２バスバー側に延びている。前記複数の第２の電極指は、前記第２バスバーに接続され前記第１方向において前記第２バスバーから前記第１バスバー側に延びている。前記複数の第１電極指と前記複数の第２電極指とが、前記第１方向に直交する第２方向において、互いに離隔して並んでいる。前記複数の第１電極指と前記第２バスバーとが離れている。前記複数の第２電極指と前記第１バスバーとが離れている。前記複数の第１電極指及び前記複数の第２電極指それぞれの少なくとも１つの電極指の先端部が、前記少なくとも１つの電極指の前記第１方向の中央部よりも前記第２方向の幅が大きな太幅部を含む。前記第１バスバー及び前記第２バスバーの各々は、開口部と、内側バスバー部と、外側バスバー部と、連結部と、を含む。前記内側バスバー部は、前記第１方向において前記開口部よりも前記複数の第１電極指及び前記複数の第２電極指側に位置している。前記外側バスバー部は、前記第１方向において前記開口部から見て前記内側バスバー部とは反対側に位置している。前記連結部は、前記第１方向において前記内側バスバー部と前記外側バスバー部とを連結している。前記複数の第１電極指と前記複数の第２電極指とを含む一群の電極指のうち前記第２方向における一方の端に位置する電極指を第１端電極指とし、他方の端に位置する電極指を第２端電極指とした場合に、前記第１端電極指は、少なくとも先端部に前記太幅部を有している。前記第１端電極指は、前記第２方向において、前記反射器と前記第２端電極指との間に位置している。前記第１バスバーと前記第２バスバーとのうち前記第１端電極指に接続されていないバスバーの内側バスバー部は、前記第１方向において前記第１端電極指の前記太幅部と重ならないように、前記第２方向において前記第１端電極指の前記太幅部よりも内側に位置している。
　本発明の一態様に係る弾性波装置は、第１端子と、第２端子と、圧電体部と、複数のＩＤＴ電極と、を備える。前記第２端子は、前記第１端子の電位よりも低い電位になる。前記複数のＩＤＴ電極は、前記圧電体部上に設けられており、第１端子及び第２端子と電気的に接続されている。前記複数のＩＤＴ電極の各々は、第１バスバーと、第２バスバーと、複数の第１電極指と、複数の第２電極指と、を有する。前記第２バスバーは、第１方向において前記第１バスバーに対向している。前記複数の第１電極指は、前記第１バスバーに接続され前記第１方向において前記第１バスバーから第２バスバー側に延びている。前記複数の第２の電極指は、前記第２バスバーに接続され前記第１方向において前記第２バスバーから前記第１バスバー側に延びている。前記複数の第１電極指と前記複数の第２電極指とが、前記第１方向に直交する第２方向において、互いに離隔して並んでいる。前記複数の第１電極指と前記第２バスバーとが離れている。前記複数の第２電極指と前記第１バスバーとが離れている。前記複数の第１電極指及び前記複数の第２電極指それぞれの少なくとも１つの電極指の先端部が、前記少なくとも１つの電極指の前記第１方向の中央部よりも前記第２方向の幅が大きな太幅部を含む。前記第１バスバー及び前記第２バスバーの各々は、開口部と、内側バスバー部と、外側バスバー部と、連結部と、を含む。前記内側バスバー部は、前記第１方向において前記開口部よりも前記複数の第１電極指及び前記複数の第２電極指側に位置している。前記外側バスバー部は、前記第１方向において前記開口部から見て前記内側バスバー部とは反対側に位置している。前記連結部は、前記第１方向において前記内側バスバー部と前記外側バスバー部とを連結している。前記複数のＩＤＴ電極のうち前記第２方向において隣り合う２つのＩＤＴ電極の一方を第１ＩＤＴ電極、他方を第２ＩＤＴ電極としたとき、前記第１ＩＤＴ電極の前記複数の第１電極指と前記複数の第２電極指とを含む一群の電極指のうち前記第２方向において前記第２ＩＤＴ電極側の端に位置する電極指を前記第１ＩＤＴ電極の第１端電極指とし、前記第２ＩＤＴ電極とは逆側の端に位置する電極指を前記第１ＩＤＴ電極の第２端電極指とし、前記第２ＩＤＴ電極の前記複数の第１電極指と前記複数の第２電極指とを含む一群の電極指のうち前記第２方向において前記第１ＩＤＴ電極側の端に位置する電極指を前記第２ＩＤＴ電極の第１端電極指とし、前記第１ＩＤＴ電極とは逆側の端に位置する電極指を前記第２ＩＤＴ電極の第２端電極指とした場合に、前記第１ＩＤＴ電極の前記第１端電極指が、前記第１端子に接続されており、前記第２ＩＤＴ電極の前記第１端電極指が、前記第２端子に接続されている。前記第１ＩＤＴ電極の前記第１端電極指と前記第２ＩＤＴ電極の前記第１端電極指との少なくとも一方が、少なくとも先端部に前記太幅部を有している。前記第１ＩＤＴ電極と前記第２ＩＤＴ電極とのうち少なくとも１つのＩＤＴ電極では、前記少なくとも１つのＩＤＴ電極において前記第１端子と前記第２端子とのうち前記第１端電極指と異なる端子に電気的に接続されている内側バスバー部は、前記第１方向において前記少なくとも１つのＩＤＴ電極の前記第１端電極指の前記太幅部と重ならないように、前記第２方向において前記少なくとも１つのＩＤＴ電極の前記第１端電極指の前記太幅部よりも内側に位置している。
　本発明の弾性波装置は、ピストンモードの阻害を抑制しつつＥＳＤ耐性の向上を図ることが可能となる。
図１は、本発明の実施形態１に係る弾性波装置の平面図である。 図２Ａは、同上の弾性波装置の一部の平面図である。図２Ｂは、同上の弾性波装置に関し、図２ＡのＡ－Ａ線断面図である。 図３は、同上の弾性波装置の要部拡大図である。 図４は、同上の弾性波装置において弾性波伝搬方向（第２方向）に伝搬する弾性波の音速の第１方向における速度分布の模式的な説明図である。 図５は、同上の弾性波装置の電荷分布の説明図である。 図６は、本発明の実施形態１の変形例１に係る弾性波装置の要部拡大図である。 図７は、本発明の実施形態２に係る弾性波装置の平面図である。 図８は、同上の弾性波装置の一部の平面図である。 図９は、同上の弾性波装置に関し、図８のＡ－Ａ線断面図である。 図１０は、同上の弾性波装置の要部拡大図である。 図１１は、同上の弾性波装置の電荷分布の説明図である。 図１２は、本発明の実施形態２の変形例１に係る弾性波装置の要部拡大図である。 図１３は、本発明の実施形態２の変形例２に係る弾性波装置の要部拡大図である。 図１４は、本発明の実施形態２の変形例３に係る弾性波装置の断面図である。 図１５は、本発明の実施形態２の変形例４に係る弾性波装置の断面図である。
　以下、実施形態１、２に係る弾性波装置について、図面を参照して説明する。
　以下の実施形態１、２等において参照する図１～１５は、いずれも模式的な図であり、図中の各構成要素の大きさや厚さそれぞれの比が、必ずしも実際の寸法比を反映しているとは限らない。
　（実施形態１）
　（１．１）弾性波装置の全体構成
　以下、実施形態１に係る弾性波装置１について、図面を参照して説明する。
　実施形態１に係る弾性波装置１は、図１、２Ａ、２Ｂ、３及び４に示すように、第１端子（例えば、信号端子）１１と、第２端子（例えば、グラウンド端子）１２と、圧電体部２４と、ＩＤＴ（Interdigital Transducer）電極３と、反射器８と、を備える。第２端子１２は、第１端子１１の電位よりも低い電位になる。したがって、第１端子１１は、第２端子１２の電位よりも高い電位になる。第１端子１１及び第２端子１２は、圧電体部２４上に設けられている。ここにおいて、「圧電体部２４上に設けられている」とは、圧電体部２４上に直接的に設けられている場合と、圧電体部２４上に間接的に設けられている場合と、を含む。弾性波装置１は、第２端子１２を複数（３つ）備えているが、少なくとも１つ備えていればよい。圧電体部２４は、圧電材料により形成されている。ＩＤＴ電極３及び反射器８は、圧電体部２４上に設けられている。ここにおいて、「圧電体部２４上に設けられている」とは、圧電体部２４上に直接的に設けられている場合と、圧電体部２４上に間接的に設けられている場合と、を含む。実施形態１に係る弾性波装置１は、１ポート型弾性波共振子である。弾性波装置１は、反射器８を２つ備えている。
　また、実施形態１に係る弾性波装置１は、ＩＤＴ電極３と第１端子１１とを電気的に接続している第１配線層１３と、ＩＤＴ電極３と第２端子１２とを電気的に接続している第２配線層１４と、を更に備える。図１では、説明の便宜上、第１端子１１及びＩＤＴ電極３において第１端子１１に電気的に接続されている部分（高電位側部分）に「Ｈ」の記号を表記し、第２端子１２及びＩＤＴ電極３において第２端子１２に電気的に接続されている部分（低電位側部分）に「Ｅ」の記号を表記してある。高電位側部分と低電位側部分とは電位が異なる。高電位側部分は、低電位側部分よりも高電位となる部分である。「Ｈ」、「Ｅ」の表記は、符号ではないし、実際にあるわけでもない。図１及び２Ａでは、ＩＤＴ電極３及び各反射器８にドットのハッチングを付してあるが、これらのハッチングは、断面を表すものではなく、ＩＤＴ電極３及び各反射器８と圧電体部２４との関係を分かりやすくするために付してあるにすぎない。また、図１では、第１端子１１、第２端子１２、第１配線層１３及び第２配線層１４にドットのハッチングを付してあるが、これらのハッチングは、断面を表すものではなく、第１端子１１、第２端子１２、第１配線層１３及び第２配線層１４と圧電体部２４との関係を分かりやすくするために付してあるにすぎない。
　実施形態１に係る弾性波装置１では、圧電体部２４が圧電膜であり、上述のＩＤＴ電極３は、圧電体部２４を有する積層型基板２上に設けられている。積層型基板２は、少なくとも一部に圧電性を有する圧電性基板である。
　（１．２）弾性波装置の各構成要素
　次に、弾性波装置１の各構成要素について、図面を参照して説明する。
　（１．２．１）積層型基板
　積層型基板２は、図２Ｂに示すように、高音速支持基板２１と、低音速膜２３と、圧電体部２４と、を含む。高音速支持基板２１では、圧電体部２４を伝搬する弾性波の音速よりも伝搬するバルク波の音速が高速である。低音速膜２３は、高音速支持基板２１上に設けられている。ここにおいて、「高音速支持基板２１上に設けられている」とは、高音速支持基板２１上に直接的に設けられている場合と、高音速支持基板２１上に間接的に設けられている場合と、を含む。低音速膜２３では、圧電体部２４を伝搬する弾性波の音速よりも伝搬するバルク波の音速が低速である。圧電体部２４は、低音速膜２３上に設けられている。ここにおいて、「低音速膜２３上に設けられている」とは、低音速膜２３上に直接的に設けられている場合と、低音速膜２３上に間接的に設けられている場合と、を含む。圧電体部２４は、高音速支持基板２１上に間接的に設けられている。この場合、弾性波装置１では、高音速支持基板２１と圧電体部２４との間に低音速膜２３が設けられていることにより、弾性波の音速が低下する。弾性波は本質的に低音速な媒質にエネルギーが集中する。したがって、弾性波装置１では、圧電体部２４内及び弾性波が励振されているＩＤＴ電極３内への弾性波エネルギーの閉じ込め効果を高めることができる。そのため、弾性波装置１では、低音速膜２３が設けられていない場合に比べて、損失を低減し、Ｑ値を高めることができる。
　圧電体部２４は、例えば、リチウムタンタレート（ＬｉＴａＯ3）、リチウムニオベイト（ＬｉＮｂＯ3）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、又は、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）からなる。
　高音速支持基板２１は、低音速膜２３と圧電体部２４とを含む積層体を支持している。高音速支持基板２１は、その厚さ方向において互いに反対側にある第１主面２１１及び第２主面２１２を有する。第１主面２１１及び第２主面２１２は、互いに背向する。高音速支持基板２１の平面視形状（高音速支持基板２１を厚さ方向から見たときの外周形状）は、長方形状であるが、長方形状に限らず、例えば正方形状であってもよい。高音速支持基板２１の厚さは、例えば、１２０μｍである。高音速支持基板２１の材料は、シリコンである。高音速支持基板２１は、シリコンに限らず、例えば、窒化アルミニウム、酸化アルミニウム、炭化ケイ素、窒化ケイ素、サファイア、リチウムタンタレート、リチウムニオベイト、水晶等の圧電体、アルミナ、ジルコニア、コージライト、ムライト、ステアタイト、フォルステライト等の各種セラミック、マグネシアダイヤモンド、又は、上記各材料を主成分とする材料、上記各材料の混合物を主成分とする材料のいずれかにより形成されていてもよい。
　低音速膜２３は、酸化ケイ素、ガラス、酸窒化ケイ素、酸化タンタル、酸化ケイ素にフッ素又は炭素又はホウ素を加えた化合物、又は、上記各材料を主成分とする材料のいずれかからなる。
　低音速膜２３が酸化ケイ素の場合、弾性波装置１は、温度特性を改善することができる。リチウムタンタレートの弾性定数は負の温度特性を有し、酸化ケイ素は正の温度特性を有する。したがって、弾性波装置１では、周波数温度特性（ＴＣＦ：Temperature Coefficient of Frequency）の絶対値を小さくすることができる。加えて、酸化ケイ素の固有音響インピーダンスはリチウムタンタレートの固有音響インピーダンスより小さい。したがって、弾性波装置１では、電気機械結合係数の増大すなわち比帯域の拡大と、周波数温度特性の改善との双方を図ることができる。
　弾性波装置１では、圧電体部２４の厚さは、ＩＤＴ電極３の電極指周期で定まる弾性波の波長をλとしたときに、３．５λ以下であることが望ましい。なぜならば、Ｑ値が高くなるためである。また、弾性波装置１では、圧電体部２４の厚さを２．５λ以下とすることで、周波数温度特性が良くなる。さらに、弾性波装置１では、圧電体部２４の厚さを１．５λ以下とすることで、音速の調整が容易になる。圧電体部２４の厚さは、例えば、６００ｎｍである。
　低音速膜２３の厚さは、ＩＤＴ電極３の電極指周期で定まる弾性波の波長をλとすると、２．０λ以下であることが望ましい。弾性波装置１では、低音速膜２３の厚さを２．０λ以下とすることにより、膜応力を低減することができ、その結果、弾性波装置１の製造時に高音速支持基板２１の元になるウェハの反りを低減することが可能となり、良品率の向上及び特性の安定化が可能となる。低音速膜２３の厚さは、例えば、６００ｎｍである。
　（１．２．２）反射器
　２つの反射器８は、圧電体部２４の一の主面２４１上に設けられている。ここで、２つの反射器８は、第２方向Ｄ２においてＩＤＴ電極３の両側に１つずつ配置されている。
　２つの反射器８の各々は、弾性波を反射する。２つの反射器８の各々は、グレーティング反射器である。２つの反射器８の各々は、複数の電極指９を有し、複数の電極指９の第１方向Ｄ１の一端同士、他端同士を短絡してある。図１、２Ａ及び２Ｂ等では、２つの反射器８の各々について、図面を見やすくするために電極指９の数を減らして描いてある。各反射器８は、アルミニウム（Ａｌ）、銅（Ｃｕ）、白金（Ｐｔ）、金（Ａｕ）、銀（Ａｇ）、チタン（Ｔｉ）、ニッケル（Ｎｉ）、クロム（Ｃｒ）、モリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）又はこれらの金属のいずれかを主体とする合金などの適宜の金属材料により形成することができる。また、各反射器８は、これらの金属又は合金からなる複数の金属膜を積層した構造を有していてもよい。各反射器８の厚さは、例えば、１５０ｎｍである。
　（１．２．３）ＩＤＴ電極
　ＩＤＴ電極３は、アルミニウム、銅、白金、金、銀、チタン、ニッケル、クロム、モリブデン、タングステン又はこれらの金属のいずれかを主体とする合金などの適宜の金属材料により形成することができる。また、ＩＤＴ電極３は、これらの金属又は合金からなる複数の金属膜を積層した構造を有していてもよい。ＩＤＴ電極３の厚さは、例えば、１５０ｎｍである。
　ＩＤＴ電極３は、図１及び２Ａに示すように、第１バスバー４と、第２バスバー５と、複数の第１電極指６と、複数の第２電極指７と、を有する。
　ＩＤＴ電極３では、第１バスバー４と第２バスバー５とは、圧電体部２４の厚さ方向（図２Ｂの上下方向）に直交する第１方向Ｄ１において対向し合っている。つまり、第２バスバー５は、第１方向Ｄ１において第１バスバー４に対向している。
　第１バスバー４及び第２バスバー５は、第１方向Ｄ１に直交する第２方向Ｄ２を長手方向とする長尺状である。図１、２Ａ及び４等では、第１バスバー４及び第２バスバー５が長尺状に見えないが、これは、図面を見やすくするために第１電極指６及び第２電極指７それぞれの数を減らして描いてあるためである。第２方向Ｄ２は、弾性波の伝搬方向に沿った方向である。第２方向Ｄ２は、圧電体部２４の厚さ方向にも直交する。
　複数の第１電極指６は、第１バスバー４に接続され第１方向Ｄ１において第１バスバー４から第２バスバー５側に延びている。ここにおいて、複数の第１電極指６は、第１バスバー４から第１バスバー４の長手方向に直交する方向に沿って延びている。つまり、複数の第１電極指６は、弾性波の伝搬方向に直交する方向に沿って延びている。ＩＤＴ電極３では、複数の第１電極指６と第２バスバー５とは離れており、第１方向Ｄ１において対向する第１電極指６と第２バスバー５との間にギャップ３１が形成されている。上述の弾性波の波長をλとしたときに、第１方向Ｄ１におけるギャップ３１の長さは、例えば、０．５λ以下である。
　図１及び２Ａの例では、複数の第１電極指６は、互いの長さが同じである。複数の第１電極指６の各々の先端部６１は、第１電極指６の第１方向Ｄ１の中央部６０よりも第２方向Ｄ２の幅が大きな太幅部６２を含む。ここにおいて、第１電極指６の先端部６１が含む太幅部６２は、第１電極指６の長手方向において第１電極指６の先端部６１の少なくとも一部に形成されていればよい。また、複数の第１電極指６の各々は、太幅部６２とは別に太幅部６４（図２Ａ参照）を含む。太幅部６４は、第１電極指６の先端部６１とは反対側の基端部６３（図２Ａ参照）と中央部６０との間に形成されており、第１電極指６の第１方向Ｄ１の中央部６０よりも第２方向Ｄ２の幅が大きい。太幅部６４は、第１方向Ｄ１において第１バスバー４から離れている。複数の第１電極指６の各々では、第１方向Ｄ１において太幅部６２と太幅部６４との間の部分が、中央部６０を構成している。複数の第１電極指６の各々では、第１方向Ｄ１において、中央部６０は、各太幅部６２、６４よりも長い。
　また、図１及び２Ａの例では、複数の第１電極指６は、互いの中央部６０の幅が同じである。また、複数の第１電極指６は、互いの先端部６１の太幅部６２の幅が同じである。また、複数の第１電極指６は、互いの基端部６３側の太幅部６４の幅が同じである。また、複数の第１電極指６の各々は、先端部６１の太幅部６２の幅と基端部６３側の太幅部６４の幅とが同じである。複数の第１電極指６の各々は、第１方向Ｄ１に沿った中心線６Ｘ（図３参照）を基準として線対称な形状である。太幅部６２及び６４の形状は、矩形状であるが、これに限らず、例えば、六角形状、円形状等であってもよい。
　複数の第２電極指７は、第２バスバー５に接続され第１方向Ｄ１において第２バスバー５から第１バスバー４側に延びている。ここにおいて、複数の第２電極指７は、第２バスバー５から第２バスバー５の長手方向に直交する方向に沿って延びている。つまり、複数の第２電極指７は、弾性波の伝搬方向に直交する方向に沿って延びている。ＩＤＴ電極３では、複数の第２電極指７と第１バスバー４とは離れており、第１方向Ｄ１において対向する第２電極指７と第１バスバー４との間にギャップ３２が形成されている。上述の弾性波の波長をλとしたときに、第１方向Ｄ１におけるギャップ３２の長さは、例えば、０．５λ以下である。
　図１及び２Ａの例では、複数の第２電極指７は、互いの長さが同じである。複数の第２電極指７の各々の先端部７１は、第２電極指７の第１方向Ｄ１の中央部７０よりも第２方向Ｄ２の幅が大きな太幅部７２を含む。また、複数の第２電極指７の各々は、太幅部７２とは別に太幅部７４（図２Ａ参照）を含む。太幅部７４は、第２電極指７の先端部７１とは反対側の基端部７３（図２Ａ参照）と中央部７０との間に形成されており、第２電極指７の第１方向Ｄ１の中央部７０よりも第２方向Ｄ２の幅が大きい。太幅部７４は、第１方向Ｄ１において第２バスバー５から離れている。複数の第２電極指７の各々では、第１方向Ｄ１において太幅部７２と太幅部７４との間の部分が、中央部７０を構成している。複数の第２電極指７の各々では、第１方向Ｄ１において、中央部７０は、各太幅部７２、７４よりも長い。
　また、図１及び２Ａの例では、複数の第２電極指７は、互いの中央部７０の幅が同じである。また、複数の第２電極指７は、互いの先端部７１の太幅部７２の幅が同じである。また、複数の第２電極指７は、互いの基端部７３側の太幅部７４の幅が同じである。また、複数の第２電極指７の各々は、先端部７１の太幅部７２の幅と基端部７３側の太幅部７４の幅とが同じである。複数の第２電極指７の各々は、第１方向Ｄ１に沿った中心線７Ｘ（図３参照）を基準として線対称な形状である。太幅部７２及び７４の形状は、矩形状であるが、これに限らず、例えば、六角形状、円形状等であってもよい。
　ＩＤＴ電極３では、複数の第１電極指６と複数の第２電極指７とが、第１方向Ｄ１に直交する第２方向Ｄ２において、１本ずつ交互に互いに離隔して並んでいる。したがって、第２方向Ｄ２において隣り合う第１電極指６と第２電極指７とは離れている。
　ＩＤＴ電極３では、複数の第１電極指６の先端部６１の太幅部６２と第２電極指７の基端部７３側の太幅部７４とが、第２方向Ｄ２において、１つずつ交互に互いに離隔して並んでいる。また、ＩＤＴ電極３では、複数の第１電極指６の基端部６３側の太幅部６４と複数の第２電極指７の先端部７１の太幅部７２とが、第２方向Ｄ２において、１つずつ交互に互いに離隔して並んでいる。ＩＤＴ電極３の電極指周期は、隣り合う第１電極指６の中央部６０と第２電極指７の中央部７０との互いに対応する辺間の距離の２倍の値である。ＩＤＴ電極３の電極指周期は、複数の第１電極指６のうち第２方向Ｄ２において隣り合う２つの第１電極指６の中心線６Ｘ（図３参照）間の距離により規定されても同じ値となる。また、ＩＤＴ電極３の電極指周期は、複数の第２電極指７のうち第２方向Ｄ２において隣り合う２つの第２電極指７の中心線７Ｘ（図３参照）間の距離により規定されても同じ値となる。一群の電極指は、複数の第１電極指６と複数の第２電極指７とが、第１方向Ｄ１に直交する第２方向Ｄ２において、離隔して並んでいる構成であればよく、複数の第１電極指６と複数の第２電極指７とが交互に互いに離隔して並んでいない構成であってもよい。例えば、第１電極指６と第２電極指７とが１本ずつ離隔して並んでいる領域と、第１電極指６又は第２電極指７が第２方向Ｄ２において２つ並んでいる領域と、とが混在してもよい。
　第１バスバー４は、開口部４０と、内側バスバー部４２と、外側バスバー部４１と、連結部４３と、含む。内側バスバー部４２は、第１方向Ｄ１において開口部４０よりも複数の第１電極指６及び複数の第２電極指７側に位置している。外側バスバー部４１は、第１方向Ｄ１において開口部４０から見て内側バスバー部４２とは反対側に位置している。つまり、外側バスバー部４１は、第１方向Ｄ１において複数の第１電極指６が存在する側とは反対側に位置している。連結部４３は、第１方向Ｄ１において内側バスバー部４２と外側バスバー部４１とを連結している。連結部４３は、第２方向Ｄ２において開口部４０の両側に位置している。図１の例では、連結部４３は、第１電極指６の中央部６０と同じ幅を有し、かつ第１電極指６の延長線上に位置している。ただし、連結部４３の寸法及び連結部４３の配置はこれに限定されるものではない。
　また、開口部４０の開口形状は、矩形状であるが、これに限らない。上述の弾性波の波長をλとしたときに、第１方向Ｄ１における内側バスバー部４２の幅は、例えば、０．５λ以下である。また、第１方向Ｄ１における連結部４３の長さは、例えば、２．０λである。
　第１バスバー４は開口部４０を複数含んでいるが、図１及び２Ａでは図面を見やすくするために第１電極指６の数を減らして描いてあるため、図１及び２Ａでは、開口部４０が１つだけ図示されている。複数の開口部４０は、例えば、第２方向Ｄ２において略等間隔で並んでいる。図１及び２Ａの例では、第２方向Ｄ２における開口部４０の開口幅は、例えば、第２方向Ｄ２において隣り合う２つの第１電極指６の中央部６０間の距離と同じである。また、上述のように図１及び２Ａでは、開口部４０が１つしか図示されていないが、第２方向Ｄ２において隣り合う２つの開口部４０間の距離は、例えば、第２方向Ｄ２における第１電極指６の中央部６０の幅と同じである。
　第２バスバー５は、開口部５０と、内側バスバー部５２と、外側バスバー部５１と、連結部５３と、含む。内側バスバー部５２は、第１方向Ｄ１において開口部５０よりも複数の第１電極指６及び複数の第２電極指７側に位置している。外側バスバー部５１は、第１方向Ｄ１において開口部５０から見て内側バスバー部５２とは反対側に位置している。つまり、外側バスバー部５１は、第１方向Ｄ１において複数の第２電極指７が存在する側とは反対側に位置している。連結部５３は、第１方向Ｄ１において内側バスバー部５２と外側バスバー部５１とを連結している。連結部５３は、第２方向Ｄ２において開口部５０の両側に位置している。図１及び２Ａの例では、連結部５３は、第２電極指７の中央部７０と同じ幅を有し、かつ第２電極指７の延長線上に位置している。ただし、連結部５３の寸法及び連結部５３の配置はこれに限定されるものではない。
　また、開口部５０の開口形状は、矩形状であるが、これに限らない。上述の弾性波の波長をλとしたときに、第１方向Ｄ１における内側バスバー部５２の幅は、例えば、０．５λ以下である。また、第１方向Ｄ１における連結部５３の長さは、例えば、２．０λである。
　実施形態１に係る弾性波装置１は、ＩＤＴ電極３において、ピストンモードを形成することにより横モードリップルを抑制する構造を有する。この点については、図４を参照して説明する。
　弾性波装置１は、図４の左側に示すように、弾性波装置１の厚さ方向からの平面視で、第１方向Ｄ１における１１個の領域Ａ１～Ａ１１を含んでいる。１１個の領域Ａ１～Ａ１１は、圧電体部２４及びＩＤＴ電極３それぞれにおいて互いに異なる部分を含んでいる。図４の右側には、１１個の領域Ａ１～Ａ１１を伝搬する弾性波の速度（音速）を模式的に示してある。
　弾性波装置１では、上述の１１個の領域Ａ１～Ａ１１のうち第１方向Ｄ１において中央に位置する領域Ａ６が、中央領域を構成している。中央領域は、複数の第１電極指６の中央部６０と複数の第２電極指７の中央部７０とを含む。中央領域は、複数の第１電極指６の中央部６０と複数の第２電極指７の中央部７０とが第２方向Ｄ２において重なる領域である。中央領域では、電極指幅（第１電極指６の中央部６０及び第２電極指の中央部７０それぞれの幅）を上記の電極指周期の２分の１の値で除した値（デューティ比）は、例えば、０．５である。
　弾性波装置１では、上述の１１個の領域Ａ１～Ａ１１のうち第１方向Ｄ１の両端それぞれに位置する領域Ａ１、Ａ１１が、外側バスバー領域を構成している。領域Ａ１は、第１バスバー４の外側バスバー部４１を含む。領域Ａ１１は、第２バスバー５の外側バスバー部５１を含む。外側バスバー領域では、中央領域よりも弾性波の音速が遅くなる。
　弾性波装置１では、上述の１１個の領域Ａ１～Ａ１１のうち第１方向Ｄ１の両端それぞれから数えて２番目に位置する領域Ａ２、Ａ１０が、連結領域を構成している。領域Ａ２は、第１バスバー４の複数の連結部４３と複数の開口部４０とを含む。領域Ａ１０は、第２バスバー５の複数の連結部５３と複数の開口部５０とを含む。連結領域では、外側バスバー領域及び中央領域よりも弾性波の音速が速くなる。
　弾性波装置１では、上述の１１個の領域Ａ１～Ａ１１のうち第１方向Ｄ１の両端それぞれから数えて３番目に位置する領域Ａ３、Ａ９が、内側バスバー領域を構成している。領域Ａ３は、第１バスバー４の内側バスバー部４２を含む。領域Ａ９は、第２バスバー５の内側バスバー部５２を含む。内側バスバー領域では、中央領域よりも弾性波の音速が遅くなる。
　弾性波装置１では、上述の１１個の領域Ａ１～Ａ１１のうち第１方向Ｄ１の両端それぞれから数えて４番目に位置する領域Ａ４、Ａ８が、ギャップ領域を構成している。領域Ａ４は、複数の第１電極指６の基端部６３と複数のギャップ３２とを含む。領域Ａ８は、複数の第２電極指７の基端部７３と複数のギャップ３１とを含む。ギャップ領域では、内側バスバー領域及び中央領域よりも弾性波の音速が速くなる。
　弾性波装置１では、上述の１１個の領域Ａ１～Ａ１１のうち第１方向Ｄ１の両端それぞれから数えて５番目に位置する領域Ａ５、Ａ７が、太幅領域を構成している。領域Ａ５は、複数の第１電極指６の太幅部６４と複数の第２電極指７の太幅部７２とを含む。領域Ａ７は、複数の第１電極指６の太幅部６２と複数の第２電極指７の太幅部７４とを含む。太幅領域では、中央領域よりも弾性波の音速が遅くなる。
　弾性波装置１では、ＩＤＴ電極３が上記のように構成されているため、中央領域（領域Ａ６）の外側に低音速の領域（領域Ａ５、Ａ３及び領域Ａ７、Ａ９）が存在し、低音速領域の外側に高音速の領域Ａ２及び領域Ａ１０が存在している。したがって、弾性波装置１では、ピストンモードを形成することが可能となり、横モードリップルを効果的に抑制することができる。
　（１．３）ＩＤＴ電極の電位
　図５は、実施形態１に係る弾性波装置１の表面（ＩＤＴ電極３の表面及び圧電体部２４の一の主面２４１を含む）の電荷分布を示す。図５に示す電荷分布の前提条件は、ＩＤＴ電極３に係る領域で表面弾性波の励振現象が生じていること、反射器８が電気的に短絡している（短絡グレーティングである）こと、及び、反射器８に係る領域で表面弾性波の励振現象が生じていないこと（反射器８は電気的に短絡しているため、圧電効果を引き起こす駆動電圧は零となる）、である。ここにおいて、図５に示す電荷分布が生じる原理は以下の通りである。表面弾性波の励振が生じている領域と励振が生じていない領域の境界領域にて、エッジ効果（Edge effect；縁端効果ともいう）が生じる。エッジ効果により、同境界領域の電荷量は、同境界領域の周辺領域の電荷量に比べて、局所的に大きくなる。したがって、弾性波装置１では、図５に示すような電荷分布が生じる。
　図５から分かるように、弾性波装置１では、複数の第１電極指６と複数の第２電極指７とを含む一群の電極指が並んでいる第２方向Ｄ２において、ＩＤＴ電極３の両端の電荷量がＩＤＴ電極３の中央の電荷量よりも多くなる。このため、弾性波装置１では、例えば、上記の一群の電極指のうち第２方向Ｄ２において端に位置する第２電極指７と、この第２電極指７に近接している内側バスバー部４２との間での電気力線の密度が大きくなりやすい。
　以下では、上記の一群の電極指に関し、第２方向Ｄ２において図１及び２Ａの左側の端に位置している第２電極指７を第２電極指７Ｌと称し、図１及び２Ａの右側の端に位置している第２電極指７を第２電極指７Ｒと称することもある。ＩＤＴ電極３では、第１バスバー４の内側バスバー部４２と第２バスバー５の内側バスバー部５２とのうち第１バスバー４の内側バスバー部４２が、第２電極指７Ｌ、７Ｒに近接している。
　第２電極指７Ｌに近接している内側バスバー部４２は、第２電極指７Ｌの第１方向Ｄ１の中央部７０よりも第２方向Ｄ２において内側（第２方向Ｄ２において隣りの第１電極指６が存在する側、言い換えれば、隣り合う反射器８とは反対側）に位置している。弾性波装置１では、第２電極指７Ｌの太幅部７２と、内側バスバー部４２とが第１方向Ｄ１において重ならないように、内側バスバー部４２の形状が決められている。これにより、実施形態１に係る弾性波装置１では、第２電極指７Ｌの太幅部７２と内側バスバー部４２とが第１方向Ｄ１とは異なる方向において対向する（図２Ａ参照）。
　また、第２電極指７Ｒに近接している内側バスバー部４２は、第２電極指７Ｒの第１方向Ｄ１の中央部７０よりも第２方向Ｄ２において内側（第２方向Ｄ２において隣りの第１電極指６が存在する側、言い換えれば、隣り合う反射器８とは反対側）に位置している。実施形態１に係る弾性波装置１では、第２電極指７Ｒの太幅部７２と、内側バスバー部４２とが第１方向Ｄ１において重ならないように、内側バスバー部４２の形状が決められている。これにより、実施形態１に係る弾性波装置１では、第２電極指７Ｒの太幅部７２と内側バスバー部４２とが第１方向Ｄ１とは異なる方向において対向する（図２Ａ参照）。
　図３では、説明の便宜上、ＩＤＴ電極３において第１端子１１に電気的に接続されている部分（高電位側部分）に「Ｈ」の記号を表記し、第２端子１２に電気的に接続されている部分（低電位側部分）に「Ｅ」の記号を表記してある。高電位側部分と低電位側部分とは電位が異なる。高電位側部分は、低電位側部分よりも高電位となる部分である。「Ｈ」、「Ｅ」の表記は、符号ではないし、実際にあるわけでもない。図３は、図１及び２Ａの左側の端に位置する第２電極指７と、この第２電極指７に近接している内側バスバー部４２と、を含む拡大図である。図１及び２Ａにおいて「Ｈ」の記号が表記されている高電位側部分（第１バスバー４と複数の第１電極指６とを含む第１導体部）と、「Ｅ」の記号が表記されている低電位側部分（第２バスバー５と複数の第２電極指７とを含む第２導体部）とは、電位が異なる。
　（１．４）効果
　実施形態１に係る弾性波装置１は、第１端子１１と、第２端子１２と、圧電体部２４と、ＩＤＴ電極３と、反射器８と、を備える。第２端子１２は、第１端子１１の電位よりも低い電位になる。ＩＤＴ電極３は、圧電体部２４上に設けられており、第１端子１１及び第２端子１２と電気的に接続されている。反射器８は、圧電体部２４上に設けられており、第２端子１２と電気的に接続されている。ＩＤＴ電極３は、第１バスバー４と、第２バスバー５と、複数の第１電極指６と、複数の第２電極指７と、を有する。第１バスバー４は、第１端子１１と電気的に接続されている。第２バスバー５は、第１方向Ｄ１において第１バスバー４に対向しており、第２端子１２と電気的に接続されている。複数の第１電極指６は、第１バスバー４に接続され第１方向Ｄ１において第１バスバー４から第２バスバー５側に延びている。複数の第２電極指７は、第２バスバー５に接続され第１方向Ｄ１において第２バスバー５から第１バスバー４側に延びている。複数の第１電極指６と複数の第２電極指７とが、第１方向Ｄ１に直交する第２方向Ｄ２において、互いに離隔して並んでいる。複数の第１電極指６と第２バスバー５とが離れている。複数の第２電極指７と第１バスバー４とが離れている。複数の第１電極指６及び複数の第２電極指７それぞれの少なくとも１つの電極指（第１電極指６、第２電極指７）の先端部６１、７１が、この少なくとも１つの電極指（第１電極指６、第２電極指７）の第１方向Ｄ１の中央部６０、７０よりも第２方向Ｄ２の幅が大きな太幅部６２、７２を含む。第１バスバー４及び第２バスバー５の各々は、開口部４０、５０と、内側バスバー部４２、５２と、外側バスバー部４１、５１と、連結部４３、５３と、を含む。内側バスバー部４２、５２は、第１方向Ｄ１において開口部４０、５０よりも複数の第１電極指６及び複数の第２電極指７側に位置している。外側バスバー部４１、５１は、第１方向Ｄ１において開口部４０、５０から見て内側バスバー部４２、５２とは反対側に位置している。連結部４３、５３は、第１方向Ｄ１において内側バスバー部４２、５２と外側バスバー部４１、５１とを連結している。複数の第１電極指６と複数の第２電極指７とを含む一群の電極指のうち第２方向Ｄ２における一方の端に位置する電極指（第２電極指７Ｌ又は第２電極指７Ｒ）を第１端電極指とし、他方の端に位置する電極指（第２電極指７Ｒ又は第２電極指７Ｌ）を第２端電極指とした場合に、第１端電極指（第２電極指７Ｌ又は第２電極指７Ｒ）は、少なくとも先端部（先端部７１）に太幅部（太幅部７２）を有している。第１端電極指（第２電極指７Ｌ又は第２電極指７Ｒ）は、第２方向Ｄ２において、反射器８と第２端電極指（第２電極指７Ｒ又は第２電極指７Ｌ）との間に位置している。第１バスバー４と第２バスバー５とのうち第１端電極指（第２電極指７Ｌ又は第２電極指７Ｒ）に接続されていないバスバー（第１バスバー４）の内側バスバー部（内側バスバー部４２）は、第１方向Ｄ１において第１端電極指（第２電極指７Ｌ又は第２電極指７Ｒ）の太幅部（太幅部７２）と重ならないように、第２方向Ｄ２において第１端電極指（第２電極指７Ｌ又は第２電極指７Ｒ）の太幅部（太幅部７２）よりも内側に位置している。
　これにより、実施形態１に係る弾性波装置１では、ＩＤＴ電極３が上記の構成を有しているので、ピストンモードの阻害を抑制することが可能となる。また、実施形態１に係る弾性波装置１では、第１バスバー４の内側バスバー部４２が、第１方向Ｄ１において第１端電極指（第２電極指７Ｌ又は第２電極指７Ｒ）の太幅部（太幅部７２）と重ならないように、第２方向Ｄ２において第１端電極指（第２電極指７Ｌ又は第２電極指７Ｒ）の太幅部（太幅部７２）よりも内側に位置しているので、第１端電極指（第２電極指７Ｌ又は第２電極指７Ｒ）の先端部（先端部７１）の太幅部（太幅部７２）と第１バスバー４の内側バスバー部４２との間でのＥＳＤによる第１端電極指（第２電極指７Ｌ又は第２電極指７Ｒ）及び内側バスバー部４２のサージ破壊が起こりにくくなり、ＥＳＤ耐性の向上を図ることが可能となる。よって、実施形態１に係る弾性波装置１では、ピストンモードの阻害を抑制しつつＥＳＤ耐性の向上を図ることが可能となる。
　また、弾性波装置１は、反射器８を２つ備えている。２つの反射器８は、第２方向Ｄ２においてＩＤＴ電極３の両隣に１つずつ配置されている。第２端電極指（第２電極指７Ｒ又は第２電極指７Ｌ）は、少なくとも先端部（先端部７１）に太幅部（太幅部７２）を有している。第１バスバー４の内側バスバー部４２は、第１方向Ｄ１において第１端電極指（第２電極指７Ｌ又は第２電極指７Ｒ）の太幅部（太幅部７２）及び第２端電極指（第２電極指７Ｒ又は第２電極指７Ｌ）の太幅部（太幅部７２）と重ならないように、第２方向Ｄ２において第１端電極指（第２電極指７Ｌ又は第２電極指７Ｒ）の太幅部（太幅部７２）及び第２端電極指（第２電極指７Ｒ又は第２電極指７Ｌ）の太幅部（太幅部７２）よりも内側に位置している。
　これにより、弾性波装置１では、２つの反射器８が第２方向Ｄ２においてＩＤＴ電極３の両隣に１つずつ配置されている構成において、ピストンモードの阻害を抑制しつつＥＳＤ耐性の向上を図ることが可能となる。
　また、弾性波装置１では、第２電極指７Ｌ、７Ｒに近接している内側バスバー部４２は、第１方向Ｄ１において第２電極指７Ｌ、７Ｒと重ならないように内側に位置している。これにより、弾性波装置１では、第２電極指７Ｌ、７Ｒと内側バスバー部４２との最短距離をより長くすることができ、ＥＳＤ耐性の更なる向上を図ることが可能となる。弾性波装置１では、図３に示すように、内側バスバー部４２の左端の辺４２Ｌと第２電極指７Ｌの右隣りの第１電極指６の中央部６０の左側の辺６０Ｌとが一直線上に並んでいる。これにより、弾性波装置１では、ピストンモードの阻害を抑制しつつＥＳＤ耐性の更なる向上を図ることが可能となる。
　（１．５）実施形態１の変形例１
　図６に示す実施形態１の変形例１に係る弾性波装置１ａでは、第２方向Ｄ２において、内側バスバー部４２の左端の辺４２Ｌが、第２電極指７Ｌの太幅部７２の右側の辺７２ＬＲと第２電極指７Ｌの右隣りの第１電極指６の太幅部６４との間に位置している。変形例１に係る弾性波装置１ａの他の構成は実施形態１に係る弾性波装置１と同様なので図示及び説明を省略する。
　変形例１に係る弾性波装置１ａでは、実施形態１に係る弾性波装置１と比べて、ピストンモードの阻害を、より抑制することが可能となる。
　（１．６）実施形態１の他の変形例
　ＩＤＴ電極３における複数の第１電極指６及び複数の第２電極指７それぞれの数は特に限定されない。ここにおいて、ＩＤＴ電極３では、第１端電極指及び第２端電極指それぞれが第２電極指７である場合に限らない。例えば、第１端電極指と第２端電極指との一方が第２電極指７で、他方が第１電極指６であってもよい。この場合、第１端電極指を構成する第２電極指７には、第１バスバー４の内側バスバー部４２が近接し、第２端電極指を構成する第１電極指６には、第２バスバー５の内側バスバー部５２が近接する。また、第１端電極指及び第２端電極指それぞれが、第１電極指６であってもよい。この場合、第１端電極指及び第２端電極指それぞれを構成する第１電極指６には、第２バスバー５の内側バスバー部５２が近接する。これらのいずれの変形例の弾性波装置でも、ピストンモードの阻害を抑制しつつＥＳＤ耐性の向上を図ることが可能となる。また、ＩＤＴ電極３における複数の第１電極指６及び複数の第２電極指７それぞれにおいては、少なくとも１つの第１電極指６及び第２電極指７が太幅部６２、７２を有していればよい。
　また、ＩＤＴ電極３では、一群の電極指のうち少なくとも１つの電極指が３以上の太幅部を含んでいてもよい。
　弾性波装置１は、第１端子１１上に形成されており、導電性を有する第１バンプと、第２端子１２上に形成されており、導電性を有する第２バンプと、を更に備えていてもよい。また、第２端子１２の数は複数に限らず、例えば、１つでもよい。
　（実施形態２）
　（２．１）弾性波装置の全体構成
　以下、実施形態２に係る弾性波装置１ｂについて、図面を参照して説明する。
　実施形態２に係る弾性波装置１ｂは、縦結合共振子型フィルタであり、図７～１０に示すように、圧電体部２４と、複数のＩＤＴ電極３と、を備える。圧電体部２４は、圧電材料により形成されている。複数のＩＤＴ電極３は、圧電体部２４上に設けられている。実施形態２に係る弾性波装置１ｂは、２つの反射器８を更に備えている。図７及び８では、複数のＩＤＴ電極３及び各反射器８にドットのハッチングを付してあるが、これらのハッチングは、断面を表すものではなく、複数のＩＤＴ電極３及び各反射器８と圧電体部２４との関係を分かりやすくするために付してあるにすぎない。実施形態２に係る弾性波装置１ｂに関し、実施形態１に係る弾性波装置１（図１～４参照）と同様の構成要素については、同一の符号を付して説明を適宜省略する。
　（２．２）弾性波装置の各構成要素
　次に、弾性波装置１ｂの各構成要素について、図面を参照して説明する。
　（２．２．１）
　実施形態２に係る弾性波装置１ｂでは、圧電体部２４が圧電膜であり、複数のＩＤＴ電極３は、圧電体部２４を有する積層型基板２ｂ上に形成されている。積層型基板２ｂにおける高音速支持基板２１（図９参照）の平面視形状（高音速支持基板２１を厚さ方向から見たときの外周形状）は、長方形状であるが、長方形状に限らず、例えば正方形状であってもよい。
　（２．２．２）
　２つの反射器８は、圧電体部２４上に設けられている。ここで、２つの反射器８は、第２方向Ｄ２において３つのＩＤＴ電極３のうち両側のＩＤＴ電極３それぞれにおける真ん中のＩＤＴ電極３とは反対側に、１つずつ配置されている。以下では、説明の便宜上、３つのＩＤＴ電極３を区別する場合に、複数のＩＤＴ電極３のうち第２方向Ｄ２において隣り合う２つのＩＤＴ電極３の一方を第１ＩＤＴ電極３Ａ、他方を第２ＩＤＴ電極３Ｂと称することもある。図７及び８の例では、３つのＩＤＴ電極３のうち真ん中のＩＤＴ電極３を第１ＩＤＴ電極３Ａと称し、両端のＩＤＴ電極３を第２ＩＤＴ電極３Ｂと称する。
　（２．２．３）ＩＤＴ電極
　実施形態２に係る弾性波装置１ｂでは、３つのＩＤＴ電極３は、第２方向Ｄ２において並んでいる。３つのＩＤＴ電極３の各々は、第１バスバー４と、第２バスバー５と、複数の第１電極指６と、複数の第２電極指７と、を有する。
　第１バスバー４は、開口部４０と、内側バスバー部４２と、外側バスバー部４１と、連結部４３と、含む。第２バスバー５は、開口部５０と、内側バスバー部５２と、外側バスバー部５１と、連結部５３と、含む。ＩＤＴ電極３では、複数の第１電極指６の先端部６１の太幅部６２と第２電極指７の基端部７３側の太幅部７４とが、第２方向Ｄ２において、１つずつ交互に互いに離隔して並んでいる。また、ＩＤＴ電極３では、複数の第１電極指６の基端部６３側の太幅部６４と第２電極指７の先端部７１の太幅部７２とが、第２方向Ｄ２において、１つずつ交互に互いに離隔して並んでいる。
　（２．３）ＩＤＴ電極の電位
　図７及び８では、説明の便宜上、ＩＤＴ電極３において第１端子（例えば、信号端子）１１に電気的に接続されている部分（高電位側部分）に「Ｈ」の記号を表記し、第２端子（例えば、グラウンド端子）１２に電気的に接続されている部分（低電位側部分）に「Ｅ」の記号を表記してある。高電位側部分と低電位側部分とは電位が異なる。高電位側部分は、低電位側部分よりも高電位となる部分である。「Ｈ」、「Ｅ」の表記は、符号ではないし、実際にあるわけでもない。
　弾性波装置１ｂは、第１端子１１を２つ備え、第２端子１２を２つ備えている。２つの第１端子１１を区別する場合、一方を第１端子１１Ａと称し、他方を第１端子１１Ｂと称する。また、２つの第２端子１２を区別する場合、一方を第２端子１２Ａと称し、他方を第２端子１２Ｂと称する。
　第１ＩＤＴ電極３Ａの第１バスバー４は、第１端子１１Ａと電気的に接続されている。弾性波装置１ｂは、第１端子１１Ａと第１ＩＤＴ電極３Ａの第１バスバー４とを電気的に接続する第１配線層１３（１３Ａ）を備えている。第１ＩＤＴ電極３Ａの第２バスバー５は、第２端子１２Ａ及び第２端子１２Ｂと電気的に接続されている。弾性波装置１ｂは、第２端子１２Ａ及び第２端子１２Ｂと第１ＩＤＴ電極３Ａの第２バスバー５とを電気的に接続する第２配線層１４（１４Ａ）を備えている。第１ＩＤＴ電極３Ａでは、第２バスバー５の電位が、第１バスバー４の電位よりも低くなる。
　各第２ＩＤＴ電極３Ｂの第１バスバー４は、第２端子１２Ｂと電気的に接続されている。弾性波装置１ｂは、第２端子１２Ｂと第２ＩＤＴ電極３Ｂの第１バスバー４とを電気的に接続する第２配線層１４（１４Ｂ）を備えている。各第２ＩＤＴ電極３Ｂの第２バスバー５は、第１端子１１Ｂと電気的に接続されている。弾性波装置１ｂは、第１端子１１Ｂと第２ＩＤＴ電極３Ｂの第２バスバー５とを電気的に接続する第１配線層１３（１３Ｂ）を備えている。各第２ＩＤＴ電極３Ｂでは、第１バスバー４の電位が第２バスバー５の電位よりも低くなる。
　各反射器８は、第２端子１２Ａ及び第２端子１２Ｂと電気的に接続されている。各反射器８の電位は、各第２ＩＤＴ電極３Ｂの第２バスバー５の電位よりも低くなる。
　弾性波装置１ｂは、第１配線層１３（１３Ａ）と第２配線層１４（１４Ｂ）とを電気的に絶縁する電気絶縁層１５を備えている。電気絶縁層１５は、第１配線層１３（１３Ａ）と第２配線層１４（１４Ｂ）との間に一部が介在するように圧電体部２４上に設けられている。また、弾性波装置１ｂは、第１配線層１３（１３Ｂ）と第２配線層１４（１４Ａ）とを電気的に絶縁する電気絶縁層１６を備えている。電気絶縁層１６は、第１配線層１３（１３Ｂ）と第２配線層１４（１４Ａ）との間に一部が介在するように圧電体部２４上に設けられている。
　弾性波装置１ｂは、第１端子１１上に形成されており、導電性を有する第１バンプと、第２端子１２上に形成されており、導電性を有する第２バンプと、を更に備えていてもよい。また、第１端子１１及び第２端子１２それぞれの数は複数に限らず、例えば、１つでもよい。
　図１０は、図７及び８の真ん中の第１ＩＤＴ電極３Ａの左側の端に位置する第１電極指６と、図７及び８の左側の第２ＩＤＴ電極３Ｂの右側の端に位置する第１電極指６と、を含む拡大図である。図７及び１０において「Ｈ」の記号が表記されている高電位側部分と、「Ｅ」の記号が表記されている低電位側部分とは、電位が異なる。例えば、図１０において、第１ＩＤＴ電極３Ａの左側の端に位置する第１電極指６と、第２ＩＤＴ電極３Ｂの右側の端に位置する第１電極指６とは、電位が異なる。また、図１０において、第１ＩＤＴ電極３Ａの左側の端に位置する第１電極指６と、この第１ＩＤＴ電極３Ａに近接する、第１ＩＤＴ電極３Ａの第２バスバー５の内側バスバー部５２とは、電位が異なる。また、図１０において、第２ＩＤＴ電極３Ｂの右側の端に位置する第１電極指６と、この第２ＩＤＴ電極３Ｂに近接する、第２ＩＤＴ電極３Ｂの第２バスバー５の内側バスバー部５２とは、電位が異なる。
　図１１は、実施形態２に係る弾性波装置１ｂの表面（３つのＩＤＴ電極３の表面及び圧電体部２４の一の主面２４１を含む）の電荷分布を示す。図１１に示す電荷分布の前提条件は、第１ＩＤＴ電極３Ａに係る領域、及び、第２ＩＤＴ電極３Ｂに係る領域で表面弾性波の励振現象が生じていること、第１ＩＤＴ電極３Ａに係る領域と第２ＩＤＴ電極３Ｂに係る領域が互いに異なる電気端子（第１端子１１Ａ、第１端子１１Ｂ）と接続されていること、反射器８が電気的に短絡している（短絡グレーティングである）こと、及び、反射器８に係る領域で表面弾性波の励振現象が生じていないこと（反射器８は電気的に短絡しているため、圧電効果を引き起こす駆動電圧は零となる）、である。ここにおいて、図１１に示す電荷分布が生じる原理は以下の通りである。表面弾性波の励振が生じている領域と励振が生じていない領域の境界領域にて、エッジ効果（Edge effect；縁端効果ともいう）が生じる。エッジ効果は、互いに表面弾性波の励振のようすが異なる２領域の境界領域においても、生じる。エッジ効果により、同境界領域の電荷量は、同境界領域の周辺領域の電荷量に比べて、局所的に大きくなる。エッジ効果は、原理上、互いに表面弾性波の励振のようすが異なっていれば、該当する種々の境界領域で、生じうる。しかし、実施形態２に係る弾性波装置１ｂ（縦結合共振子型フィルタ）の場合、図１１に示すように、第１ＩＤＴ電極３Ａに係る領域と第２ＩＤＴ電極３Ｂに係る領域との境界領域、及び、第２ＩＤＴ電極３Ｂに係る領域と反射器８に係る領域との境界領域で、局所的な電荷量の集中が発生する場合が多い。したがって、実施形態２に係る弾性波装置１ｂでは、図１１に示すような電荷分布が生じる。
　図１１から分かるように、弾性波装置１ｂでは、複数の第１電極指６と複数の第２電極指７とを含む一群の電極指が並んでいる第２方向Ｄ２において、ＩＤＴ電極３の両端の電荷量がＩＤＴ電極３の中央の電荷量よりも多くなる。このため、弾性波装置１では、例えば、隣り合うＩＤＴ電極３の内側バスバー部５２間での電気力線の密度が大きくなりやすい。また、弾性波装置１ｂでは、例えば、上記の一群の電極指のうち第２方向Ｄ２において端に位置する第１電極指６と、この第１電極指６に近接している内側バスバー部５２との間での電気力線の密度が大きくなりやすい。
　（２．４）効果
　実施形態２に係る弾性波装置１ｂは、第１端子１１と、第２端子１２と、圧電体部２４と、複数のＩＤＴ電極３と、を備える。第２端子１２は、第１端子１１の電位よりも低い電位になる。複数のＩＤＴ電極３は、圧電体部２４上に設けられており、第１端子１１及び第２端子１２と電気的に接続されている。複数のＩＤＴ電極３の各々は、第１バスバー４と、第２バスバー５と、複数の第１電極指６と、複数の第２電極指７と、を有する。第２バスバー５は、第１方向Ｄ１において第１バスバー４に対向している。複数の第１電極指６は、第１バスバー４に接続され第１方向Ｄ１において第１バスバー４から第２バスバー５側に延びている。複数の第２電極指７は、第２バスバー５に接続され第１方向Ｄ１において第２バスバー５から第１バスバー４側に延びている。複数の第１電極指６と複数の第２電極指７とが、第１方向Ｄ１に直交する第２方向Ｄ２において、互いに離隔して並んでいる。複数の第１電極指６と第２バスバー５とが離れている。複数の第２電極指７と第１バスバー４とが離れている。複数の第１電極指６及び複数の第２電極指７それぞれの少なくとも１つの電極指（第１電極指６、第２電極指７）の先端部６１、７１が、この少なくとも１つの電極指（第１電極指６、第２電極指７）の第１方向Ｄ１の中央部（中央部６０、７０）よりも第２方向Ｄ２の幅が大きな太幅部（太幅部６２、７２）を含む。第１バスバー４及び第２バスバー５の各々は、開口部４０、５０と、内側バスバー部４２、５２と、外側バスバー部４１、５１と、連結部４３、５３と、を含む。内側バスバー部４２、５２は、第１方向Ｄ１において開口部４０、５０よりも複数の第１電極指６及び複数の第２電極指７側に位置している。外側バスバー部４１、５１は、第１方向Ｄ１において開口部４０、５０から見て内側バスバー部４２、５２とは反対側に位置している。連結部４３、５３は、第１方向Ｄ１において内側バスバー部４２、５２と外側バスバー部４１，５１とを連結している。複数のＩＤＴ電極３のうち第２方向Ｄ２において隣り合う２つのＩＤＴ電極３の一方を第１ＩＤＴ電極３Ａ、他方を第２ＩＤＴ電極３Ｂとしたとき、第１ＩＤＴ電極３Ａの複数の第１電極指６と複数の第２電極指７とを含む一群の電極指のうち第２方向Ｄ２において第２ＩＤＴ電極３Ｂ側の端に位置する電極指（第１電極指６）を第１ＩＤＴ電極３Ａの第１端電極指とし、第２ＩＤＴ電極３Ｂとは逆側の端に位置する電極指（第１電極指６）を第１ＩＤＴ電極３Ａの第２端電極指とし、第２ＩＤＴ電極３Ｂの複数の第１電極指６と複数の第２電極指７とを含む一群の電極指のうち第２方向Ｄ２において第１ＩＤＴ電極３Ａ側の端に位置する電極指（第１電極指６）を第２ＩＤＴ電極３Ｂの第１端電極指とし、第１ＩＤＴ電極３Ａとは逆側の端に位置する電極指（第１電極指６）を第２ＩＤＴ電極３Ｂの第２端電極指とした場合に、第１ＩＤＴ電極３Ａの第１端電極指が、第１端子１１に接続されており、第２ＩＤＴ電極３Ｂの第１端電極指が、第２端子１２に接続されている。第１ＩＤＴ電極３Ａの第１端電極指と第２ＩＤＴ電極３Ｂの第１端電極指との少なくとも一方が、少なくとも先端部に太幅部を有している。第１ＩＤＴ電極３Ａと第２ＩＤＴ電極３Ｂとのうち少なくとも１つのＩＤＴ電極３では、上記少なくとも１つのＩＤＴ電極３において第１端子１１と第２端子１２とのうち第１端電極指と異なる端子に電気的に接続されている内側バスバー部は、第１方向Ｄ１において上記少なくとも１つのＩＤＴ電極３の第１端電極指の太幅部と重ならないように、第２方向Ｄ２において上記少なくとも１つのＩＤＴ電極３の第１端電極指の太幅部よりも内側に位置している。
　これにより、実施形態２に係る弾性波装置１ｂでは、各ＩＤＴ電極３が上記の構成を有しているので、ピストンモードの阻害を抑制することが可能となる。また、実施形態２に係る弾性波装置１ｂでは、第１ＩＤＴ電極３Ａと第２ＩＤＴ電極３Ｂとのうち少なくとも１つのＩＤＴ電極３では、少なくとも１つのＩＤＴ電極３において第１端子１１と第２端子１２とのうち第１端電極指と異なる端子に電気的に接続されている内側バスバー部は、第１方向Ｄ１において上記少なくとも１つのＩＤＴ電極３の第１端電極指の太幅部と重ならないように、第２方向Ｄ２において上記少なくとも１つのＩＤＴ電極３の第１端電極指の太幅部よりも内側に位置しているので、第１端電極指（第１電極指６）の先端部（先端部６１）の太幅部（太幅部６２）と内側バスバー部５２との間でのＥＳＤによる第１端電極指（第１電極指６）及び内側バスバー部５２のサージ破壊が起こりにくくなり、ＥＳＤ耐性の向上を図ることが可能となる。よって、実施形態２に係る弾性波装置１ｂでは、ピストンモードの阻害を抑制しつつＥＳＤ耐性の向上を図ることが可能となる。実施形態２に係る弾性波装置１ｂでは、第１ＩＤＴ電極３Ａにおいて、複数の第１電極指６と複数の第２電極指７とを含む一群の電極指のうち第２ＩＤＴ電極３Ｂに最も近い第１電極指６とは異なる電位となる内側バスバー部５２と、第２ＩＤＴ電極３Ｂにおいて、複数の第１電極指６と複数の第２電極指７とを含む一群の電極指のうち第２ＩＤＴ電極３Ｂに最も近い第１電極指６とは異なる電位となる内側バスバー部５２と、の間でのＥＳＤによるサージ破壊が起こりにくくなり、ＥＳＤ耐性の向上を図ることが可能となる。
　また、実施形態２に係る弾性波装置１ｂでは、第２ＩＤＴ電極３Ｂに関し、内側バスバー部５２は、第２方向Ｄ２において両方の端に位置する第１電極指６それぞれの太幅部６２、６２よりも内側に位置している。これにより、弾性波装置１ｂでは、第２方向Ｄ２において両方の端に位置する第１電極指６それぞれと内側バスバー部５２とが第１方向Ｄ１において対向する場合と比べて、第２方向Ｄ２において両方の端に位置する第１電極指６それぞれと内側バスバー部５２との間でのＥＳＤによるサージ破壊が起こりにくくなり、ＥＳＤ耐性が向上する。
　また、第１ＩＤＴ電極３Ａと第２ＩＤＴ電極３Ｂとの２つのＩＤＴ電極３の各々では、上記少なくとも１つのＩＤＴ電極３において第１端子１１と第２端子１２とのうち第１端電極指と異なる端子に電気的に接続されている内側バスバー部は、第１方向Ｄ１において上記少なくとも１つのＩＤＴ電極３の第１端電極指の太幅部と重ならないように、第２方向Ｄ２において上記少なくとも１つのＩＤＴ電極３の第１端電極指の太幅部よりも内側に位置している。具体的には、弾性波装置１ｂでは、第２方向Ｄ２において両方の端に位置する第１電極指６それぞれに近接している内側バスバー部５２は、両方の端に位置する第１電極指６よりも内側に位置している。これにより、弾性波装置１ｂでは、第２方向Ｄ２において両方の端に位置する第１電極指６と内側バスバー部５２との最短距離をより長くすることができ、ＥＳＤ耐性の更なる向上を図ることが可能となる。弾性波装置１ｂでは、内側バスバー部５２の端辺と第１電極指６の隣りの第２電極指７の中央部７０の端辺とが一直線上に並んでいる。これにより、弾性波装置１ｂでは、ピストンモードの阻害を抑制しつつＥＳＤ耐性の更なる向上を図ることが可能となる。
　（２．５）実施形態２の変形例１
　図１２に示す実施形態２の変形例１に係る弾性波装置１ｃでは、少なくとも１つのＩＤＴ電極３では、第２方向Ｄ２において第１端電極指と異なる電位となるバスバーの内側バスバー部５２が外側バスバー部５１よりも内側に位置している。具体的には、複数のＩＤＴ電極３の各々における内側バスバー部５２が、外側バスバー部５１よりも内側に位置している。複数のＩＤＴ電極３の各々における外側バスバー部５１が、弾性波装置１ｃの厚さ方向からの平面視で、第２方向Ｄ２における両端の第１電極指６にも、第１方向Ｄ１において重なっている。変形例１に係る弾性波装置１ｃの他の構成は実施形態２に係る弾性波装置１ｂと同様なので図示及び説明を省略する。
　変形例１に係る弾性波装置１ｃでは、隣り合う２つのＩＤＴ電極３の外側バスバー部５１同士の距離は、隣り合う２つのＩＤＴ電極３において隣り合う太幅部６２同士の距離と同じである。また、変形例１に係る弾性波装置１ｃでは、隣り合う２つのＩＤＴ電極３の内側バスバー部５２同士の距離は、隣り合う２つのＩＤＴ電極３において隣り合う太幅部６２の互いに近接する辺とは反対側の辺同士の距離と同じである。
　変形例１に係る弾性波装置１ｃは、第１ＩＤＴ電極３Ａ及び第２ＩＤＴ電極３Ｂの各々では、第２方向Ｄ２において内側バスバー部４２、５２が外側バスバー部４１、５１よりも内側に位置している。
　（２．６）実施形態２の変形例２
　実施形態２の変形例２に係る弾性波装置１ｄでは、図１３に示すように、第１ＩＤＴ電極３Ａの内側バスバー部５２及び外側バスバー部５１が第１方向Ｄ１において第１ＩＤＴ電極３Ａの第１電極指６の太幅部６２に重なっている点が、実施形態２に係る弾性波装置１ｂ（図８～１１参照）と相違する。変形例２に係る弾性波装置１ｄの他の構成は実施形態２に係る弾性波装置１ｂと同様なので図示及び説明を省略する。
　変形例２に係る弾性波装置１ｄでは、ピストンモードの阻害を抑制しつつＥＳＤ耐性の向上を図ることが可能となる。
　（２．７）実施形態２の変形例３
　実施形態２の変形例３に係る弾性波装置１ｅでは、図１４に示すように、積層型基板２ｅが、高音速膜２２と、低音速膜２３と、圧電体部２４と、を含む。高音速膜２２は、支持基板２０上に設けられている。ここにおいて、「支持基板２０上に設けられている」とは、支持基板２０上に直接的に設けられている場合と、支持基板２０上に間接的に設けられている場合と、を含む。高音速膜２２では、圧電体部（圧電膜）２４を伝搬する弾性波の音速よりも伝搬するバルク波の音速が高速である。低音速膜２３は、高音速膜２２上に設けられている。ここにおいて、「高音速膜２２上に設けられている」とは、高音速膜２２上に直接的に設けられている場合と、高音速膜２２上に間接的に設けられている場合と、を含む。低音速膜２３では、圧電体部２４を伝搬する弾性波の音速よりも伝搬するバルク波の音速が低速である。圧電体部２４は、低音速膜２３上に設けられている。ここにおいて、「低音速膜２３上に設けられている」とは、低音速膜２３上に直接的に設けられている場合と、低音速膜２３上に間接的に設けられている場合と、を含む。変形例３に係る弾性波装置１ｅに関し、実施形態２に係る弾性波装置１ｂ（図８～１１参照）と同様の構成要素については、同一の符号を付して説明を省略する。
　支持基板２０としては、サファイア、リチウムタンタレート、リチウムニオベイト、水晶等の圧電体、アルミナ、マグネシア、窒化ケイ素、窒化アルミニウム、炭化ケイ素、ジルコニア、コージライト、ムライト、ステアタイト、フォルステライト等の各種セラミック、ガラス等の誘電体、又はシリコン、窒化ガリウム等の半導体、及び樹脂基板等を用いることができる。
　変形例３に係る弾性波装置１ｅでは、高音速膜２２は、弾性波が高音速膜２２より下の構造に漏れないように機能する。
　変形例３に係る弾性波装置１ｅでは、フィルタや共振子の特性を得るために利用する特定のモードの弾性波のエネルギーは圧電体部２４及び低音速膜２３の全体に分布し、高音速膜２２の低音速膜２３側の一部にも分布し、支持基板２０には分布しないことになる。高音速膜２２により弾性波を閉じ込めるメカニズムは非漏洩なＳＨ波であるラブ波型の表面波の場合と同様のメカニズムであり、例えば、文献「弾性表面波デバイスシミュレーション技術入門」、橋本研也、リアライズ社、ｐ．２６－２８に記載されている。上記メカニズムは、音響多層膜によるブラッグ反射器を用いて弾性波を閉じ込めるメカニズムとは異なる。
　高音速膜２２は、ダイヤモンドライクカーボン、窒化アルミニウム、酸化アルミニウム、炭化ケイ素、窒化ケイ素、シリコン、サファイア、リチウムタンタレート、リチウムニオベイト、水晶等の圧電体、アルミナ、ジルコニア、コージライト、ムライト、ステアタイト、フォルステライト等の各種セラミック、マグネシアダイヤモンド、又は、上記各材料を主成分とする材料、上記各材料の混合物を主成分とする材料からなる。
　高音速膜２２の厚さに関しては、弾性波を圧電体部２４及び低音速膜２３に閉じ込める機能を高音速膜２２が有するため、高音速膜２２の厚さは厚いほど望ましい。
　変形例３に係る弾性波装置１ｅでは、ピストンモードの阻害を抑制しつつＥＳＤ耐性の向上を図ることが可能となる。
　（２．８）実施形態２の変形例４
　実施形態２の変形例４に係る弾性波装置１ｆでは、図１５に示すように、圧電体部２４ｆが、圧電基板により構成されており、実施形態２に係る弾性波装置１ｂにおける高音速支持基板２１及び低音速膜２３を備えていない。変形例４に係る弾性波装置１ｆに関し、実施形態２に係る弾性波装置１ｂ（図８～１１参照）と同様の構成要素については、同一の符号を付して説明を省略する。
　弾性波装置１ｆでは、圧電体部２４ｆを構成する圧電基板は、１２８度Ｙ－Ｘのリチウムニオベイト（ＬｉＮｂＯ3）基板からなる。圧電基板は、例えば、５０°ＹカットＸ伝搬リチウムタンタレート（ＬｉＴａＯ3）圧電単結晶又は圧電セラミックス（Ｘ軸を中心軸としてＹ軸から５０°回転した軸を法線とする面で切断したリチウムタンタレート単結晶、又はセラミックスであって、Ｘ軸方向に弾性波が伝搬する単結晶又はセラミックス）からなる基板であってもよい。図１５で図示は省略しているが、弾性波装置１ｆは、複数（３つ）のＩＤＴ電極３、２つの反射器８及び圧電体部２４ｆの一の主面２４１ｆのうち複数（３つ）のＩＤＴ電極３及び２つの反射器８に覆われていない領域を覆う酸化ケイ素膜を備えている。弾性波装置１ｄでは、酸化ケイ素膜の表面形状は、３つのＩＤＴ電極３及び２つの反射器８それぞれの形状に対応した凹凸が形成されている。
　変形例４に係る弾性波装置１ｆでは、実施形態２の弾性波装置１ｂ（図８～１１参照）と同様、第２方向Ｄ２において両方の端に位置する第１電極指６と内側バスバー部５２との最短距離をより長くすることができ、互いに異なる電位となる第１電極指６と内側バスバー部５２との間でのＥＳＤによるサージ破壊が起こりにくくなり、ＥＳＤ耐性の向上を図ることが可能となる。
　（２．９）実施形態２の他の変形例
　複数のＩＤＴ電極３の各々における複数の第１電極指６及び複数の第２電極指７それぞれの数は特に限定されない。ここにおいて、第１ＩＤＴ電極３Ａでは、一群の電極指のうち第２方向Ｄ２の両方の端それぞれに位置する第１端電極指及び第２端電極指は、第１電極指６である場合に限らない。例えば、第１端電極指と第２端電極指との一方が第１電極指６で、他方が第２電極指７であってもよい。この場合、第１端電極指を構成する第１電極指６には、第２バスバー５の内側バスバー部５２が近接し、第２端電極指を構成する第２電極指７には、第１バスバー４の内側バスバー部４２が近接する。また、第１端電極指及び第２端電極指それぞれが、第２電極指７であってもよい。この場合、第１端電極指及び第２端電極指それぞれを構成する第２電極指７には、第１バスバー４の内側バスバー部４２が近接する。また、一群の電極指は、複数の第１電極指６と複数の第２電極指７とが、第１方向Ｄ１に直交する第２方向Ｄ２において、離隔して並んでいる構成であればよい。例えば、一変形例の弾性波装置において、第１電極指６と第２電極指７とが１本ずつ離隔して並んでいる領域と、第１電極指６又は第２電極指７が第２方向Ｄ２において２つ並んでいる領域と、とが混在してもよい。これらのいずれの変形例の弾性波装置でも、ピストンモードの阻害を抑制しつつＥＳＤ耐性の向上を図ることが可能となる。また、ＩＤＴ電極３における複数の第１電極指６及び複数の第２電極指７それぞれにおいては、少なくとも１つの第１電極指６及び第２電極指７が太幅部６２、７２を有していればよい。
　また、ＩＤＴ電極３では、一群の電極指のうち少なくとも１つの電極指が３以上の太幅部を含んでいてもよい。また、反射器８は、必須の構成要素ではない。
　上記の実施形態１、２等は、本発明の様々な実施形態の一つに過ぎない。上記の実施形態等は、本発明の目的を達成できれば、設計等に応じて種々の変更が可能である。
　例えば、弾性波装置１ｂ、１ｃ、１ｄ、１ｅ、１ｆでは、圧電体部２４、２４ｆの一の主面２４１、２４１ｆ上に３つのＩＤＴ電極３が設けられているが、ＩＤＴ電極３の数は、複数であればよく、例えば、５つであってもよい。
　また、例えば、弾性波装置１ｂ、１ｃ、１ｄ、１ｅ、１ｆ等のように圧電体部２４、２４ｆ上に複数のＩＤＴ電極３を備えた構成において、複数のＩＤＴ電極３のうち少なくとも１つのＩＤＴ電極３が、実施形態１に係る弾性波装置１におけるＩＤＴ電極３（図１～４参照）又は実施形態１の変形例１に係る弾性波装置１ａ又は実施形態１の他の変形例に係る弾性波装置と同様の構成を有していてもよい。例えば、３つのＩＤＴ電極３のうちの１つのＩＤＴ電極３では、複数の第１電極指６と複数の第２電極指７とを含む一群の電極指のうち第２方向Ｄ２において両方の端に位置する第２電極指７Ｌ、７Ｒと異なる電位となる内側バスバー部４２は、第２方向Ｄ２において両方の端に位置する第２電極指７Ｌ、７Ｒそれぞれの第１方向Ｄ１の中央部７０、７０よりも第２方向Ｄ２において内側に位置している構成としてもよい。また、弾性波装置１、１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ、１ｅ、１ｆでは、ＩＤＴ電極３が、圧電体部２４、２４ｆ上に直接的に設けられているが、これに限らず、ＩＤＴ電極３が、圧電体部２４、２４ｆの一の主面２４１、２４１ｆ上に間接的に設けられていてもよい。例えば、弾性波装置１、１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ、１ｅ、１ｆでは、ＩＤＴ電極３が圧電体部２４、２４ｆ上に誘電体膜を介して設けられていてもよい。
　また、弾性波装置１、１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄでは、積層型基板２、２ｂが、低音速膜２３と高音速支持基板２１との間に介在する膜を含んでもよい。また、弾性波装置１ｅでは、積層型基板２ｅが、高音速膜２２と支持基板２０との間に介在する膜と、低音速膜２３と圧電体部２４との間に介在する膜と、の少なくとも一方を含んでもよい。また、弾性波装置１、１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄでは、積層型基板２、２ｂが、圧電体部２４と高音速支持基板２１との間に、低音速膜２３の代わりに、音響インピーダンス層を備えていてもよい。音響インピーダンス層は、ＩＤＴ電極３で励振された弾性波が高音速支持基板２１に漏洩するのを抑制する機能を有する。音響インピーダンス層は、音響インピーダンスが相対的に高い少なくとも１つの高音響インピーダンス層と音響インピーダンスが相対的に低い少なくとも１つの低音響インピーダンス層とが高音速支持基板２１の厚さ方向において並んだ積層構造を有する。上記の積層構造では、高音響インピーダンス層が複数設けられてもよいし、低音響インピーダンス層が複数設けられてもよい。この場合、上記の積層構造は、複数の高音響インピーダンス層と複数の低音響インピーダンス層とが高音速支持基板２１の厚さ方向において一層ごとに交互に並んだ構造である。
　高音響インピーダンス層は、例えば、白金、タングステン、窒化アルミニウム、リチウムタンタレート、サファイア、リチウムニオベイト、窒化シリコン又は酸化亜鉛からなる。
　低音響インピーダンス層は、例えば、酸化ケイ素、アルミニウム又はチタンからなる。
　また、複数のＩＤＴ電極３を備えた弾性波装置１ｂ、１ｃ、１ｄ、１ｅ、１ｆの構成は、縦結合共振子型フィルタに限らず、例えば、ラダー型フィルタ等であってもよい。
　（まとめ）
　以上説明した実施形態等から以下の態様が開示されている。
　第１の態様に係る弾性波装置（１；１ａ；１ｂ；１ｃ；１ｄ；１ｅ；１ｆ）は、第１端子（１１）と、第２端子（１２）と、圧電体部（２４；２４ｆ）と、ＩＤＴ電極（３）と、反射器（８）と、を備える。第２端子（１２）は、第１端子（１１）の電位よりも低い電位になる。ＩＤＴ電極（３）は、圧電体部（２４；２４ｆ）上に設けられており、第１端子（１１）及び第２端子（１２）と電気的に接続されている。ＩＤＴ電極（３）は、第１バスバー（４）と、第２バスバー（５）と、複数の第１電極指（６）と、複数の第２電極指（７）と、を有する。第１バスバー（４）は、第１端子（１１）と電気的に接続されている。第２バスバー（５）は、第１方向（Ｄ１）において第１バスバー（４）に対向しており、第２端子（１２）と電気的に接続されている。複数の第１電極指（６）は、第１バスバー（４）に接続され第１方向（Ｄ１）において第１バスバー（４）から第２バスバー（５）側に延びている。複数の第２電極指（７）は、第２バスバー（５）に接続され第１方向（Ｄ１）において第２バスバー（５）から第１バスバー（４）側に延びている。複数の第１電極指（６）と複数の第２電極指（７）とが、第１方向（Ｄ１）に直交する第２方向（Ｄ２）において、互いに離隔して並んでいる。複数の第１電極指（６）と第２バスバー（５）とが離れている。複数の第２電極指（７）と第１バスバー（４）とが離れている。複数の第１電極指（６）及び複数の第２電極指（７）それぞれの少なくとも１つの電極指（第１電極指６、第２電極指７）の先端部（６１、７１）が、少なくとも１つの電極指（第１電極指６、第２電極指７）の第１方向（Ｄ１）の中央部（６０、７０）よりも第２方向（Ｄ２）の幅が大きな太幅部（６２、７２）を含む。第１バスバー（４）及び第２バスバー（５）の各々は、開口部（４０、５０）と、内側バスバー部（４２、５２）と、外側バスバー部（４１、５１）と、連結部（４３、５３）と、を含む。内側バスバー部（４２、５２）は、第１方向（Ｄ１）において開口部（４０、５０）よりも複数の第１電極指（６）及び複数の第２電極指（７）側に位置している。外側バスバー部（４１、５１）は、第１方向（Ｄ１）において開口部（４０、５０）から見て内側バスバー部（４２、５２）とは反対側に位置している。連結部（４３、５３）は、第１方向（Ｄ１）において内側バスバー部（４２、５２）と外側バスバー部（４１、５１）とを連結している。複数の第１電極指（６）と複数の第２電極指（７）とを含む一群の電極指のうち第２方向（Ｄ２）における一方の端に位置する電極指（第２電極指７Ｌ又は第２電極指７Ｒ）を第１端電極指とし、他方の端に位置する電極指（第２電極指７Ｒ又は第２電極指７Ｌ）を第２端電極指とした場合に、第１端電極指（第２電極指７Ｌ又は第２電極指７Ｒ）は、少なくとも先端部（先端部７１）に太幅部（太幅部７２）を有している。第１端電極指（第２電極指７Ｌ又は第２電極指７Ｒ）は、第２方向（Ｄ２）において、反射器（８）と第２端電極指（第２電極指７Ｒ又は第２電極指７Ｌ）との間に位置している。第１バスバー（４）と第２バスバー（５）とのうち第１端電極指（第２電極指７Ｌ又は第２電極指７Ｒ）に接続されていないバスバー（第１バスバー４）の内側バスバー部（内側バスバー部４２）は、第１方向（Ｄ１）において第１端電極指（第２電極指７Ｌ又は第２電極指７Ｒ）の太幅部（太幅部７２）と重ならないように、第２方向（Ｄ２）において第１端電極指（第２電極指７Ｌ又は第２電極指７Ｒ）の太幅部（太幅部７２）よりも内側に位置している。
　第１の態様に係る弾性波装置（１；１ａ；１ｂ；１ｃ；１ｄ；１ｅ；１ｆ）では、ピストンモードの阻害を抑制しつつＥＳＤ耐性の向上を図ることが可能となる。
　第２の態様に係る弾性波装置（１；１ａ）は、第１の態様において、反射器（８）を２つ備えている。２つの反射器（８）は、第２方向（Ｄ２）においてＩＤＴ電極（３）の両隣に１つずつ配置されている。第２端電極指（第２電極指７Ｒ又は第２電極指７Ｌ）は、少なくとも先端部（先端部７１）に太幅部（太幅部７２）を有している。第１バスバー（４）と第２バスバー（５）とのうち第１端電極指（第２電極指７Ｌ又は第２電極指７Ｒ）に接続されていないバスバー（第１バスバー４）の内側バスバー部（内側バスバー部４２）は、第１方向（Ｄ１）において第１端電極指（第２電極指７Ｌ又は第２電極指７Ｒ）の太幅部（太幅部７２）及び第２端電極指（第２電極指７Ｒ又は第２電極指７Ｌ）の太幅部（太幅部７２）と重ならないように、第２方向Ｄ２において第１端電極指（第２電極指７Ｌ又は第２電極指７Ｒ）の太幅部（太幅部７２）及び第２端電極指（第２電極指７Ｒ又は第２電極指７Ｌ）の太幅部（太幅部７２）よりも内側に位置している。
　第２の態様に係る弾性波装置（１；１ａ）では、２つの反射器（８）が第２方向（Ｄ２）においてＩＤＴ電極（３）の両隣に１つずつ配置されている構成において、ピストンモードの阻害を抑制しつつＥＳＤ耐性の向上を図ることが可能となる。
　第３の態様に係る弾性波装置（１；１ａ；１ｂ；１ｃ；１ｄ；１ｅ；１ｆ）は、第１又は２の態様において、ＩＤＴ電極（３）では、第２方向（Ｄ２）において内側バスバー部（４２、５２）が外側バスバー部（４１、５１）よりも内側に位置している。
　第３の態様に係る弾性波装置（１；１ａ；１ｂ；１ｃ；１ｄ；１ｅ；１ｆ）では、ピストンモードの阻害を抑制しつつＥＳＤ耐性の向上を図ることが可能となる。
　第４の態様に係る弾性波装置（１ｂ；１ｃ；１ｄ；１ｅ；１ｆ）は、第１端子（１１）と、第２端子（１２）と、圧電体部（２４；２４ｆ）と、複数のＩＤＴ電極（３）と、を備える。第２端子（１２）は、第１端子（１１）の電位よりも低い電位になる。複数のＩＤＴ電極（３）は、圧電体部（２４；２４ｆ）上に設けられており、第１端子（１１）及び第２端子（１２）と電気的に接続されている。複数のＩＤＴ電極（３）の各々は、第１バスバー（４）と、第２バスバー（５）と、複数の第１電極指（６）と、複数の第２電極指（７）と、を有する。第２バスバー（５）は、第１方向（Ｄ１）において第１バスバー（４）に対向している。複数の第１電極指（６）は、第１バスバー（４）に接続され第１方向（Ｄ１）において第１バスバー（４）から第２バスバー（５）側に延びている。複数の第２電極指（７）は、第２バスバー（５）に接続され第１方向（Ｄ１）において第２バスバー（５）から第１バスバー（４）側に延びている。複数の第１電極指（６）と複数の第２電極指（７）とが、第１方向（Ｄ１）に直交する第２方向（Ｄ２）において、互いに離隔して並んでいる。複数の第１電極指（６）と第２バスバー（５）とが離れている。複数の第２電極指（７）と第１バスバー（４）とが離れている。複数の第１電極指（６）及び複数の第２電極指（７）それぞれの少なくとも１つの電極指（第１電極指６、第２電極指７）の先端部（６１，７１）が、少なくとも１つの電極指（第１電極指６、第２電極指７）の第１方向（Ｄ１）の中央部（６０、７０）よりも第２方向（Ｄ２）の幅が大きな太幅部（６２、７２）を含む。第１バスバー（４）及び第２バスバー（５）の各々は、開口部（４０、５０）と、内側バスバー部（４２、５２）と、外側バスバー部（４１、５１）と、連結部（４３、５３）と、を含む。内側バスバー部（４２、５２）は、第１方向（Ｄ１）において開口部（４０、５０）よりも複数の第１電極指（６）及び複数の第２電極指（７）側に位置している。外側バスバー部（４１、５１）は、第１方向（Ｄ１）において開口部（４０、５０）から見て内側バスバー部（４２、５２）とは反対側に位置している。連結部（４３、５３）は、第１方向（Ｄ１）において内側バスバー部（４２、５２）と外側バスバー部（４１、５１）とを連結している。複数のＩＤＴ電極（３）のうち第２方向（Ｄ２）において隣り合う２つのＩＤＴ電極（３）の一方を第１ＩＤＴ電極（３Ａ）、他方を第２ＩＤＴ電極（３Ｂ）としたとき、第１ＩＤＴ電極（３Ａ）の複数の第１電極指（６）と複数の第２電極指（７）とを含む一群の電極指のうち第２方向（Ｄ２）において第２ＩＤＴ電極（３Ｂ）側の端に位置する電極指（第１電極指６）を第１ＩＤＴ電極（３Ａ）の第１端電極指とし、第２ＩＤＴ電極（３Ｂ）とは逆側の端に位置する電極指（第１電極指６）を第１ＩＤＴ電極（３Ａ）の第２端電極指とし、第２ＩＤＴ電極（３Ｂ）の複数の第１電極指（６）と複数の第２電極指（７）とを含む一群の電極指のうち第２方向（Ｄ２）において第１ＩＤＴ電極（３Ａ）側の端に位置する電極指（第１電極指６）を第２ＩＤＴ電極（３Ｂ）の第１端電極指とし、第１ＩＤＴ電極（３Ａ）とは逆側の端に位置する電極指（第１電極指６）を第２ＩＤＴ電極（３Ｂ）の第２端電極指とした場合に、第１ＩＤＴ電極（３Ａ）の第１端電極指が、第１端子（１１）に接続されており、第２ＩＤＴ電極（３Ｂ）の第１端電極指が、第２端子（１２）に接続されている。第１ＩＤＴ電極（３Ａ）の第１端電極指と第２ＩＤＴ電極（３Ｂ）の第１端電極指との少なくとも一方が、少なくとも先端部に太幅部を有している。第１ＩＤＴ電極（３Ａ）と第２ＩＤＴ電極（３Ｂ）とのうち少なくとも１つのＩＤＴ電極（３）では、上記少なくとも１つのＩＤＴ電極（３）において第１端子（１１）と第２端子（１２）とのうち第１端電極指と異なる端子に電気的に接続されている内側バスバー部は、第１方向（Ｄ１）において上記少なくとも１つのＩＤＴ電極（３）の第１端電極指の太幅部と重ならないように、第２方向（Ｄ２）において上記少なくとも１つのＩＤＴ電極（３）の第１端電極指の太幅部よりも内側に位置している。
　第４の態様に係る弾性波装置（１ｂ；１ｃ；１ｄ；１ｅ；１ｆ）では、ピストンモードの阻害を抑制しつつＥＳＤ耐性の向上を図ることが可能となる。
　第５の態様に係る弾性波装置（１ｂ；１ｃ；１ｄ；１ｅ；１ｆ）は、第４の態様において、第１ＩＤＴ電極（３Ａ）と第２ＩＤＴ電極（３Ｂ）との２つのＩＤＴ電極（３）の各々では、上記少なくとも１つのＩＤＴ電極（３）において第１端子（１１）と第２端子（１２）とのうち第１端電極指と異なる端子に電気的に接続されている内側バスバー部は、第１方向（Ｄ１）において上記少なくとも１つのＩＤＴ電極（３）の第１端電極指の太幅部と重ならないように、第２方向（Ｄ２）において上記少なくとも１つのＩＤＴ電極（３）の第１端電極指の太幅部よりも内側に位置している。
　第５の態様に係る弾性波装置（１ｂ；１ｃ；１ｄ；１ｅ；１ｆ）では、ピストンモードの阻害を抑制しつつＥＳＤ耐性の向上を図ることが可能となる。
　第６の態様に係る弾性波装置（１ｂ；１ｃ；１ｄ；１ｅ；１ｆ）は、第４又は５の態様において、上記少なくとも１つのＩＤＴ電極（３）では、第２方向（Ｄ２）において第１端電極指と異なる電位となるバスバー（第２バスバー５）の内側バスバー部（内側バスバー部５２）が外側バスバー部（外側バスバー部５１）よりも内側に位置している。
　第６の態様に係る弾性波装置（１ｂ；１ｃ；１ｄ；１ｅ；１ｆ）では、ピストンモードの阻害を抑制しつつＥＳＤ耐性の向上を図ることが可能となる。
　第７の態様に係る弾性波装置（１；１ａ；１ｂ；１ｃ；１ｄ；１ｅ；１ｆ）では、第１～６の態様のいずれか一つにおいて、弾性波装置（１；１ａ；１ｂ；１ｃ；１ｄ；１ｅ；１ｆ）は、弾性波装置（１；１ａ；１ｂ；１ｃ；１ｄ；１ｅ；１ｆ）の厚さ方向からの平面視で、第１方向（Ｄ１）にいて互いに異なる複数の領域（Ａ１～Ａ１１）を有する。複数の領域（Ａ１～Ａ１１）は、中央領域（領域Ａ６）と、２つの外側バスバー領域（領域Ａ１、Ａ１１）と、２つの内側バスバー領域（領域Ａ３、Ａ９）と、２つの連結領域（領域Ａ２、Ａ１０）と、２つのギャップ領域（領域Ａ４、Ａ８）と、２つの太幅領域（Ａ７、Ａ５）と、を含む。中央領域（領域Ａ６）は、第１方向（Ｄ１）において中央に位置しており、複数の第１電極指（６）の中央部（６０）と複数の第２電極指（７）の中央部（７０）とを含む。２つの外側バスバー領域（領域Ａ１、Ａ１１）は、第１バスバー（４）の外側バスバー部（４１）及び第２バスバー（５）の外側バスバー部（５１）をそれぞれ含む。２つの内側バスバー領域（領域Ａ３、Ａ９）は、第１バスバー（４）の内側バスバー部（４２）及び第２バスバー（５）の内側バスバー部（５２）をそれぞれ含む。２つの連結領域（領域Ａ２、Ａ１０）は、第１バスバー（４）の連結部（４３）と開口部（４０）及び第２バスバー（５）の連結部（５３）と開口部（５０）をそれぞれ含む。２つのギャップ領域（領域Ａ４、Ａ８）は、複数の第１電極指（６）と第２バスバー（５）との間のギャップ（３１）及び複数の第２電極指（７）と第１バスバー（４）との間のギャップ（３２）それぞれを含む。２つの太幅領域（Ａ７、Ａ５）は、複数の第１電極指（６）の少なくとも１つの電極指（第１電極指６）の太幅部（６２）及び複数の第２電極指（７）の少なくとも１つの電極指（第２電極指７）の太幅部（７２）それぞれを含む。２つの外側バスバー領域（領域Ａ１、Ａ１１）では、中央領域（領域Ａ６）よりも弾性波の音速が遅くなる。２つの内側バスバー領域（領域Ａ３、Ａ９）では、中央領域（領域Ａ６）よりも弾性波の音速が遅くなる。２つの連結領域（領域Ａ２、Ａ１０）では、２つの外側バスバー領域（領域Ａ１、Ａ１１）及び中央領域（領域Ａ６）よりも弾性波の音速が速くなる。２つのギャップ領域（領域Ａ４、Ａ８）では、２つの内側バスバー領域（領域Ａ３、Ａ９）及び中央領域（領域Ａ６）よりも弾性波の音速が速くなる。２つの太幅領域（Ａ７、Ａ５）では、中央領域（領域Ａ６）よりも弾性波の音速が遅くなる。
　１、１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ、１ｅ、１ｆ　弾性波装置
　２、２ｂ、２ｅ　積層型基板
　２０　支持基板
　２１　高音速支持基板
　２１１　第１主面
　２１２　第２主面
　２２　高音速膜
　２３　低音速膜
　２４、２４ｆ　圧電体部
　２４１、２４１ｆ　一の主面
　３　ＩＤＴ電極
　３Ａ　第１ＩＤＴ電極
　３Ｂ　第２ＩＤＴ電極
　３１　ギャップ
　３２　ギャップ
　４　第１バスバー
　４０　開口部
　４１　外側バスバー部
　４２　内側バスバー部
　４２Ｌ　辺
　５　第２バスバー
　５０　開口部
　５１　外側バスバー部
　５２　内側バスバー部
　６　第１電極指
　６Ｘ　中心線
　６０　中央部
　６０Ｌ　辺
　６１　先端部
　６２　太幅部
　６３　基端部
　６４　太幅部
　７　第２電極指
　７Ｘ　中心線
　７Ｌ　第２電極指（左側の端に位置している第２電極指）
　７Ｒ　第２電極指（右側の端に位置している第２電極指）
　７０　中央部
　７１　先端部
　７２　太幅部
　７２ＬＲ　辺
　７３　基端部
　７４　太幅部
　８　反射器
　９　電極指
　１１　第１端子
　１１（１１Ａ）　第１端子
　１１（１１Ｂ）　第１端子
　１２　第２端子
　１２（１２Ａ）　第２端子
　１２（１２Ｂ）　第２端子
　１３　第１配線層
　１４　第２配線層
　１３（１３Ａ）　第１配線層
　１３（１３Ｂ）　第１配線層
　１４（１４Ａ）　第２配線層
　１４（１４Ｂ）　第２配線層
　１５　電気絶縁層
　１６　電気絶縁層
　Ｄ１　第１方向
　Ｄ２　第２方向
　Ａ１　領域（外側バスバー領域）
　Ａ２　領域（連結領域）
　Ａ３　領域（内側バスバー領域）
　Ａ４　領域（ギャップ領域）
　Ａ５　領域（太幅領域）
　Ａ６　領域（中央領域）
　Ａ７　領域（太幅領域）
　Ａ８　領域（ギャップ領域）
　Ａ９　領域（内側バスバー領域）
　Ａ１０　領域（連結領域）
　Ａ１１　領域（外側バスバー領域）

Claims (7)

  1. 　第１端子と、
    　前記第１端子の電位よりも低い電位になる第２端子と、
    　圧電体部と、
    　前記圧電体部上に設けられており、前記第１端子及び前記第２端子と電気的に接続されているＩＤＴ電極と、
    　前記圧電体部上に設けられており、前記第２端子と電気的に接続されている反射器と、
    を備え、
    　前記ＩＤＴ電極は、
    　　前記第１端子と電気的に接続されている第１バスバーと、
    　　第１方向において前記第１バスバーに対向しており、前記第２端子と電気的に接続されている第２バスバーと、
    　　前記第１バスバーに接続され前記第１方向において前記第１バスバーから前記第２バスバー側に延びている複数の第１電極指と、
    　　前記第２バスバーに接続され前記第１方向において前記第２バスバーから前記第１バスバー側に延びている複数の第２電極指と、を有し、
    　前記複数の第１電極指と前記複数の第２電極指とが、前記第１方向に直交する第２方向において、互いに離隔して並んでおり、
    　前記複数の第１電極指と前記第２バスバーとが離れており、
    　前記複数の第２電極指と前記第１バスバーとが離れており、
    　前記複数の第１電極指及び前記複数の第２電極指それぞれの少なくとも１つの電極指の先端部が、前記少なくとも１つの電極指の前記第１方向の中央部よりも前記第２方向の幅が大きな太幅部を含み、
    　前記第１バスバー及び前記第２バスバーの各々は、
    　　開口部と、
    　　前記第１方向において前記開口部よりも前記複数の第１電極指及び前記複数の第２電極指側に位置している内側バスバー部と、
    　　前記第１方向において前記開口部から見て前記内側バスバー部とは反対側に位置している外側バスバー部と、
    　　前記第１方向において前記内側バスバー部と前記外側バスバー部とを連結する連結部と、を含み、
    　前記複数の第１電極指と前記複数の第２電極指とを含む一群の電極指のうち前記第２方向における一方の端に位置する電極指を第１端電極指とし、他方の端に位置する電極指を第２端電極指とした場合に、前記第１端電極指は、少なくとも先端部に前記太幅部を有しており、
    　前記第１端電極指は、前記第２方向において、前記反射器と前記第２端電極指との間に位置しており、
    　前記第１バスバーと前記第２バスバーとのうち前記第１端電極指に接続されていないバスバーの内側バスバー部は、前記第１方向において前記第１端電極指の前記太幅部と重ならないように、前記第２方向において前記第１端電極指の前記太幅部よりも内側に位置している、
    　弾性波装置。
  2. 　前記反射器を２つ備え、
    　前記２つの反射器は、前記第２方向において前記ＩＤＴ電極の両隣に１つずつ配置され、
    　前記第２端電極指は、少なくとも先端部に前記太幅部を有しており、
    　前記第１バスバーと前記第２バスバーとのうち前記第１端電極指に接続されていないバスバーの内側バスバー部は、前記第１方向において前記第１端電極指の前記太幅部及び前記第２端電極指の前記太幅部と重ならないように、前記第２方向において前記第１端電極指の前記太幅部及び前記第２端電極指の前記太幅部よりも内側に位置している、
    　請求項１に記載の弾性波装置。
  3. 　前記ＩＤＴ電極では、前記第２方向において前記内側バスバー部が前記外側バスバー部よりも内側に位置している、
    　請求項１又は２に記載の弾性波装置。
  4. 　第１端子と、
    　前記第１端子の電位よりも低い電位になる第２端子と、
    　圧電体部と、
    　前記圧電体部上に設けられており、前記第１端子及び前記第２端子と電気的に接続されている、複数のＩＤＴ電極と、を備え、
    　前記複数のＩＤＴ電極の各々は、
    　　第１バスバーと、
    　　第１方向において前記第１バスバーに対向している第２バスバーと、
    　　前記第１バスバーに接続され前記第１方向において前記第１バスバーから前記第２バスバー側に延びている複数の第１電極指と、
    　　前記第２バスバーに接続され前記第１方向において前記第２バスバーから前記第１バスバー側に延びている複数の第２電極指と、を有し、
    　前記複数の第１電極指と前記複数の第２電極指とが、前記第１方向に直交する第２方向において、互いに離隔して並んでおり、
    　前記複数の第１電極指と前記第２バスバーとが離れており、
    　前記複数の第２電極指と前記第１バスバーとが離れており、
    　前記複数の第１電極指及び前記複数の第２電極指それぞれの少なくとも１つの電極指の先端部が、前記少なくとも１つの電極指の前記第１方向の中央部よりも前記第２方向の幅が大きな太幅部を含み、
    　前記第１バスバー及び前記第２バスバーの各々は、
    　　開口部と、
    　　前記第１方向において前記開口部よりも前記複数の第１電極指及び前記複数の第２電極指側に位置している内側バスバー部と、
    　　前記第１方向において前記開口部から見て前記内側バスバー部とは反対側に位置している外側バスバー部と、
    　　前記第１方向において前記内側バスバー部と前記外側バスバー部とを連結する連結部と、を含み、
    　前記複数のＩＤＴ電極のうち前記第２方向において隣り合う２つのＩＤＴ電極の一方を第１ＩＤＴ電極、他方を第２ＩＤＴ電極としたとき、
    　　前記第１ＩＤＴ電極の前記複数の第１電極指と前記複数の第２電極指とを含む一群の電極指のうち前記第２方向において前記第２ＩＤＴ電極側の端に位置する電極指を前記第１ＩＤＴ電極の第１端電極指とし、前記第２ＩＤＴ電極とは逆側の端に位置する電極指を前記第１ＩＤＴ電極の第２端電極指とし、前記第２ＩＤＴ電極の前記複数の第１電極指と前記複数の第２電極指とを含む一群の電極指のうち前記第２方向において前記第１ＩＤＴ電極側の端に位置する電極指を前記第２ＩＤＴ電極の第１端電極指とし、前記第１ＩＤＴ電極とは逆側の端に位置する電極指を前記第２ＩＤＴ電極の第２端電極指とした場合に、
    　　前記第１ＩＤＴ電極の前記第１端電極指が、前記第１端子に接続されており、
    　　前記第２ＩＤＴ電極の前記第１端電極指が、前記第２端子に接続されており、
    　　前記第１ＩＤＴ電極の前記第１端電極指と前記第２ＩＤＴ電極の前記第１端電極指との少なくとも一方が、少なくとも先端部に前記太幅部を有しており、
    　　前記第１ＩＤＴ電極と前記第２ＩＤＴ電極とのうち少なくとも１つのＩＤＴ電極では、前記少なくとも１つのＩＤＴ電極において前記第１端子と前記第２端子とのうち前記第１端電極指と異なる端子に電気的に接続されている内側バスバー部は、前記第１方向において前記少なくとも１つのＩＤＴ電極の前記第１端電極指の前記太幅部と重ならないように、前記第２方向において前記少なくとも１つのＩＤＴ電極の前記第１端電極指の前記太幅部よりも内側に位置している、
    　弾性波装置。
  5. 　前記第１ＩＤＴ電極と前記第２ＩＤＴ電極との２つのＩＤＴ電極の各々では、前記少なくとも１つのＩＤＴ電極において前記第１端子と前記第２端子とのうち前記第１端電極指と異なる端子に電気的に接続されている内側バスバー部は、前記第１方向において前記少なくとも１つのＩＤＴ電極の前記第１端電極指の前記太幅部と重ならないように、前記第２方向において前記少なくとも１つのＩＤＴ電極の前記第１端電極指の前記太幅部よりも内側に位置している、
    　請求項４に記載の弾性波装置。
  6. 　前記少なくとも１つのＩＤＴ電極では、前記第２方向において前記第１端電極指と異なる電位となるバスバーの内側バスバー部が外側バスバー部よりも内側に位置している、
    　請求項４又は５に記載の弾性波装置。
  7. 　前記弾性波装置は、前記弾性波装置の厚さ方向からの平面視で、前記第１方向にいて互いに異なる複数の領域を有し、
    　前記複数の領域は、
    　　前記第１方向において中央に位置しており、前記複数の第１電極指の中央部と前記複数の第２電極指の中央部とを含む中央領域と、
    　　前記第１バスバーの前記外側バスバー部及び前記第２バスバーの前記外側バスバー部をそれぞれ含む２つの外側バスバー領域と、
    　　前記第１バスバーの前記内側バスバー部及び前記第２バスバーの前記内側バスバー部をそれぞれ含む２つの内側バスバー領域と、
    　　前記第１バスバーの連結部と開口部及び前記第２バスバーの連結部と開口部をそれぞれ含む２つの連結領域と、
    　前記複数の第１電極指と前記第２バスバーとの間のギャップ及び前記複数の第２電極指と前記第１バスバーとの間のギャップそれぞれを含む２つのギャップ領域と、
    　前記複数の第１電極指の少なくとも１つの電極指の太幅部及び前記複数の第２電極指の少なくとも１つの電極指の太幅部それぞれを含む２つの太幅領域と、を含み、
    　前記２つの外側バスバー領域では、前記中央領域よりも弾性波の音速が遅くなり、
    　前記２つの内側バスバー領域では、前記中央領域よりも弾性波の音速が遅くなり、
    　前記２つの連結領域では、前記２つの外側バスバー領域及び前記中央領域よりも弾性波の音速が速くなり、
    　前記２つのギャップ領域では、前記２つの内側バスバー領域及び前記中央領域よりも弾性波の音速が速くなり、
    　前記２つの太幅領域では、前記中央領域よりも弾性波の音速が遅くなる、
    　請求項１～６のいずれか一項に記載の弾性波装置。
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