CN111492576A - 弹性波装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种能够在抑制活塞模式的阻碍的同时谋求ESD耐性的提高的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：IDT电极(3)，与第1端子(11)和第2端子(12)连接；和反射器(8)，与第2端子(12)连接。在将IDT电极(3)的一组电极指之中位于第2方向(D2)上的一端的电极指设为第1端电极指，将位于另一端的电极指设为第2端电极指的情况下，第1端电极指至少在前端部具有宽幅部。第1端电极指在第2方向(D2)上位于反射器(8)与第2端电极指之间。第1汇流条和第2汇流条之中不与第1端电极指连接的汇流条的内侧汇流条部在第2方向(D2)上位于比第1端电极指的宽幅部更靠内侧，使得在第1方向(D1)上不与第1端电极指的宽幅部重叠。

Description

弹性波装置
技术领域
本发明一般涉及弹性波装置，更详细地涉及具备IDT电极的弹性波装置。
背景技术
以往，作为弹性波装置，已知如下的弹性波装置，即，具备压电基板(压电体部)和设置在压电基板上的IDT电极，在比IDT电极的电极指的中央区域更靠前端侧设置有宽幅部(例如，参照专利文献1)。在专利文献1记载的弹性波装置的一例中，在压电基板上，在IDT电极的声表面波传播方向两侧形成有反射器。IDT电极以及反射器由金属材料形成。专利文献1记载的弹性波装置的特征在于，具备如下构造，即，通过在IDT电极中形成活塞模式，从而抑制横模纹波。
在专利文献1记载的弹性波装置中，IDT电极具有：第1汇流条；第2汇流条，与第1汇流条隔开配置；多根第1电极指，基端与第1汇流条电连接，前端朝向第2汇流条延伸；和多根第2电极指，基端与第2汇流条连接，前端朝向第1汇流条延伸。在上述的弹性波装置中，在第1电极指以及第2电极指的双方设置有宽幅部。
第1汇流条具有沿着第1汇流条的长度方向分离配置的多个开口部。第1汇流条具有：内侧汇流条部，位于比多个开口部更靠第1电极指侧，且在第1汇流条的长度方向上延伸；中央汇流条部，设置有多个开口部；和外侧汇流条部，位于夹着中央汇流条部而与内侧汇流条部相反侧。
第2汇流条具有沿着第2汇流条的长度方向分离配置的多个开口部。第2汇流条具有：内侧汇流条部，位于比多个开口部更靠第2电极指侧，且在第2汇流条的长度方向上延伸；中央汇流条部，设置有多个开口部；和外侧汇流条部，位于夹着中央汇流条部而与内侧汇流条部相反侧。
在先技术文献
专利文献
专利文献1：国际公开第2014/192756号
发明内容
发明要解决的课题
在比IDT电极的电极指的中央区域更靠前端侧设置了宽幅部的弹性波装置中，例如，在第1汇流条以及第2汇流条的长度方向上的IDT电极的端区域，内侧汇流条部与电位不同的电极指的前端侧的宽幅部相邻，因此有时会产生静电放电(ESD：ElectrostaticDischarge)从而被浪涌破坏。
本发明的目的在于，提供一种能够在抑制活塞模式的阻碍的同时谋求ESD耐性的提高的弹性波装置。
用于解决课题的手段
本发明的一方式涉及的弹性波装置具备第1端子、第2端子、压电体部、IDT电极、和反射器。所述第2端子成为比所述第1端子的电位低的电位。所述IDT电极设置在所述压电体部上，并与所述第1端子以及所述第2端子电连接。所述反射器设置在所述压电体部上，并与所述第2端子电连接。所述IDT电极具有第1汇流条、第2汇流条、多个第1电极指、和多个第2电极指。所述第1汇流条与所述第1端子电连接。所述第2汇流条在第1方向上与所述第1汇流条对置，并与所述第2端子电连接。所述多个第1电极指与所述第1汇流条连接，并在所述第1方向上从所述第1汇流条向第2汇流条侧延伸。所述多个第2电极指与所述第2汇流条连接，并在所述第1方向上从所述第2汇流条向所述第1汇流条侧延伸。所述多个第1电极指和所述多个第2电极指在与所述第1方向正交的第2方向上相互隔离地排列。所述多个第1电极指和所述第2汇流条分离。所述多个第2电极指和所述第1汇流条分离。所述多个第1电极指以及所述多个第2电极指各自的至少一个电极指的前端部包含与所述至少一个电极指的所述第1方向的中央部相比所述第2方向的宽度大的宽幅部。所述第1汇流条以及所述第2汇流条各自包含开口部、内侧汇流条部、外侧汇流条部、和连结部。所述内侧汇流条部在所述第1方向上位于比所述开口部更靠所述多个第1电极指以及所述多个第2电极指侧。所述外侧汇流条部在所述第1方向上位于从所述开口部观察与所述内侧汇流条部相反侧。所述连结部在所述第1方向上将所述内侧汇流条部和所述外侧汇流条部连结。在将包含所述多个第1电极指和所述多个第2电极指的一组电极指之中位于所述第2方向上的一端的电极指设为第1端电极指，将位于另一端的电极指设为第2端电极指的情况下，所述第1端电极指至少在前端部具有所述宽幅部。所述第1端电极指在所述第2方向上位于所述反射器与所述第2端电极指之间。所述第1汇流条和所述第2汇流条之中不与所述第1端电极指连接的汇流条的内侧汇流条部在所述第2方向上位于比所述第1端电极指的所述宽幅部更靠内侧，使得在所述第1方向上不与所述第1端电极指的所述宽幅部重叠。
本发明的一方式涉及的弹性波装置具备第1端子、第2端子、压电体部、和多个IDT电极。所述第2端子成为比所述第1端子的电位低的电位。所述多个IDT电极设置在所述压电体部上，并与第1端子以及第2端子电连接。所述多个IDT电极各自具有第1汇流条、第2汇流条、多个第1电极指、和多个第2电极指。所述第2汇流条在第1方向上与所述第1汇流条对置。所述多个第1电极指与所述第1汇流条连接，并在所述第1方向上从所述第1汇流条向第2汇流条侧延伸。所述多个第2电极指与所述第2汇流条连接，并在所述第1方向上从所述第2汇流条向所述第1汇流条侧延伸。所述多个第1电极指和所述多个第2电极指在与所述第1方向正交的第2方向上相互隔离地排列。所述多个第1电极指和所述第2汇流条分离。所述多个第2电极指和所述第1汇流条分离。所述多个第1电极指以及所述多个第2电极指各自的至少一个电极指的前端部包含与所述至少一个电极指的所述第1方向的中央部相比所述第2方向的宽度大的宽幅部。所述第1汇流条以及所述第2汇流条各自包含开口部、内侧汇流条部、外侧汇流条部、和连结部。所述内侧汇流条部在所述第1方向上位于比所述开口部更靠所述多个第1电极指以及所述多个第2电极指侧。所述外侧汇流条部在所述第1方向上位于从所述开口部观察与所述内侧汇流条部相反侧。所述连结部在所述第1方向上将所述内侧汇流条部和所述外侧汇流条部连结。在将所述多个IDT电极之中在所述第2方向上相邻的两个IDT电极的一者设为第1IDT电极，将另一者设为第2IDT电极时，将包含所述第1IDT电极的所述多个第1电极指和所述多个第2电极指的一组电极指之中在所述第2方向上位于所述第2IDT电极侧的端处的电极指设为所述第1IDT电极的第1端电极指，将位于与所述第2IDT电极相反侧的端处的电极指设为所述第1IDT电极的第2端电极指，将包含所述第2IDT电极的所述多个第1电极指和所述多个第2电极指的一组电极指之中在所述第2方向上位于所述第1IDT电极侧的端处的电极指设为所述第2IDT电极的第1端电极指，将位于与所述第1IDT电极相反侧的端处的电极指设为所述第2IDT电极的第2端电极指，在该情况下，所述第1IDT电极的所述第1端电极指与所述第1端子连接，所述第2IDT电极的所述第1端电极指与所述第2端子连接。所述第1IDT电极的所述第1端电极指和所述第2IDT电极的所述第1端电极指的至少一者至少在前端部具有所述宽幅部。在所述第1IDT电极和所述第2IDT电极之中的至少一个IDT电极中，在所述至少一个IDT电极中与所述第1端子和所述第2端子之中不同于所述第1端电极指的端子电连接的内侧汇流条部，在所述第2方向上位于比所述至少一个IDT电极的所述第1端电极指的所述宽幅部更靠内侧，使得在所述第1方向上不与所述至少一个IDT电极的所述第1端电极指的所述宽幅部重叠。
发明效果
本发明的弹性波装置能够在抑制活塞模式的阻碍的同时谋求ESD耐性的提高。
附图说明
图1是本发明的实施方式1涉及的弹性波装置的俯视图。
图2A是同上的弹性波装置的一部分的俯视图。图2B涉及同上的弹性波装置，是图2A的A-A线剖视图。
图3是同上的弹性波装置的主要部分放大图。
图4是在同上的弹性波装置中在弹性波传播方向(第2方向)上传播的弹性波的声速的第1方向上的速度分布的示意性的说明图。
图5是同上的弹性波装置的电荷分布的说明图。
图6是本发明的实施方式1的变形例1涉及的弹性波装置的主要部分放大图。
图7是本发明的实施方式2涉及的弹性波装置的俯视图。
图8是同上的弹性波装置的一部分的俯视图。
图9涉及同上的弹性波装置，是图8的A-A线剖视图。
图10是同上的弹性波装置的主要部分放大图。
图11是同上的弹性波装置的电荷分布的说明图。
图12是本发明的实施方式2的变形例1涉及的弹性波装置的主要部分放大图。
图13是本发明的实施方式2的变形例2涉及的弹性波装置的主要部分放大图。
图14是本发明的实施方式2的变形例3涉及的弹性波装置的剖视图。
图15是本发明的实施方式2的变形例4涉及的弹性波装置的剖视图。
具体实施方式
以下，参照附图对实施方式1、2涉及的弹性波装置进行说明。
在以下的实施方式1、2等中参照的图1～图15均为示意性的图，图中的各构成要素的大小、厚度各自之比未必反映实际的尺寸比。
(实施方式1)
(1.1)弹性波装置的整体结构
以下，参照附图对实施方式1涉及的弹性波装置1进行说明。
如图1、图2A、图2B、图3以及图4所示，实施方式1涉及的弹性波装置1具备第1端子(例如信号端子)11、第2端子(例如接地端子)12、压电体部24、IDT(InterdigitalTransducer，叉指换能器)电极3、和反射器8。第2端子12成为比第1端子11的电位低的电位。因此，第1端子11成为比第2端子12的电位高的电位。第1端子11以及第2端子12设置在压电体部24上。在此，所谓“设置在压电体部24上”，包含直接地设置在压电体部24上的情况、和间接地设置在压电体部24上的情况。弹性波装置1具备多个(三个)第2端子12，但只要具备至少一个即可。压电体部24由压电材料形成。IDT电极3以及反射器8设置在压电体部24上。在此，所谓“设置在压电体部24上”，包含直接地设置在压电体部24上的情况、和间接地设置在压电体部24上的情况。实施方式1涉及的弹性波装置1为单端口型弹性波谐振器。弹性波装置1具备两个反射器8。
此外，实施方式1涉及的弹性波装置1还具备：第1布线层13，将IDT电极3和第1端子11电连接；和第2布线层14，将IDT电极3和第2端子12电连接。在图1中，为便于说明，对在第1端子11以及IDT电极3中与第1端子11电连接的部分(高电位侧部分)标记“H”的记号，对在第2端子12以及IDT电极3中与第2端子12电连接的部分(低电位侧部分)标记“E”的记号。高电位侧部分和低电位侧部分的电位不同。高电位侧部分是与低电位侧部分相比成为高电位的部分。“H”、“E”的标记不是附图标记，也并非是实际存在的。在图1以及图2A中，对IDT电极3以及各反射器8标注了点的影线，但这些影线不表示剖面，只不过为了容易理解IDT电极3以及各反射器8与压电体部24的关系而标注的。此外，在图1中，对第1端子11、第2端子12、第1布线层13以及第2布线层14标注了点的影线，但这些影线不表示剖面，只不过为了容易理解第1端子11、第2端子12、第1布线层13以及第2布线层14与压电体部24的关系而标注的。
在实施方式1涉及的弹性波装置1中，压电体部24为压电膜，上述的IDT电极3设置在具有压电体部24的层叠型基板2上。层叠型基板2是在至少一部分具有压电性的压电性基板。
(1.2)弹性波装置的各构成要素
其次，参照附图对弹性波装置1的各构成要素进行说明。
(1.2.1)层叠型基板
如图2B所示，层叠型基板2包含高声速支承基板21、低声速膜23和压电体部24。在高声速支承基板21中，所传播的体波(bulk wave)的声速与在压电体部24传播的弹性波的声速相比为高速。低声速膜23设置在高声速支承基板21上。在此，所谓“设置在高声速支承基板21上”，包含直接地设置在高声速支承基板21上的情况、和间接地设置在高声速支承基板21上的情况。在低声速膜23中，所传播的体波的声速与在压电体部24传播的弹性波的声速相比为低速。压电体部24设置在低声速膜23上。在此，所谓“设置在低声速膜23上”，包含直接地设置在低声速膜23上的情况、和间接地设置在低声速膜23上的情况。压电体部24间接地设置在高声速支承基板21上。在该情况下，在弹性波装置1中，通过在高声速支承基板21与压电体部24之间设置有低声速膜23，从而弹性波的声速下降。弹性波在本质上能量集中于低声速的介质。因此，在弹性波装置1中，能够提高弹性波能量向压电体部24内以及激励弹性波的IDT电极3内的限制效果。因而，在弹性波装置1中，与未设置低声速膜23的情况相比，能够降低损耗，提高Q值。
压电体部24例如由钽酸锂(LiTaO3)、铌酸锂(LiNbO3)、氧化锌(ZnO)、氮化铝(AlN)、或者锆钛酸铅(PZT)构成。
高声速支承基板21对包含低声速膜23和压电体部24的层叠体进行支承。高声速支承基板21具有在其厚度方向上处于彼此相反侧的第1主面211以及第2主面212。第1主面211以及第2主面212相互背对。高声速支承基板21的俯视形状(从厚度方向观察高声速支承基板21时的外周形状)为长方形状，但不限于长方形状，例如可以为正方形状。高声速支承基板21的厚度例如为120μm。高声速支承基板21的材料为硅。高声速支承基板21不限于硅，例如也可以由氮化铝、氧化铝、碳化硅、氮化硅、蓝宝石、钽酸锂、铌酸锂、石英等压电体、矾土、氧化锆、堇青石、莫来石、块滑石、镁橄榄石等各种陶瓷、氧化镁金刚石(magnesiadiamond)、或者以上述各材料为主成分的材料、以上述各材料的混合物为主成分的材料的任一种形成。
低声速膜23由氧化硅、玻璃、氮氧化硅、氧化钽、在氧化硅中添加了氟或者碳或者硼的化合物、或者以上述各材料为主成分的材料的任一种构成。
在低声速膜23为氧化硅的情况下，弹性波装置1能够改善温度特性。钽酸锂的弹性常数具有负的温度特性，氧化硅具有正的温度特性。因此，在弹性波装置1中，能够减小频率温度特性(TCF：TemperatureCoefficient of Frequency)的绝对值。而且，氧化硅的固有声阻抗小于钽酸锂的固有声阻抗。因此，在弹性波装置1中，能够谋求机电耦合系数的增大即相对频带的放大、和频率温度特性的改善这两者。
在弹性波装置1中，在将由IDT电极3的电极指周期规定的弹性波的波长设为λ时，压电体部24的厚度优选为3.5λ以下。这是因为，Q值变高。此外，在弹性波装置1中，通过将压电体部24的厚度设为2.5λ以下，从而频率温度特性变好。进而，在弹性波装置1中，通过将压电体部24的厚度设为1.5λ以下，从而声速的调整变得容易。压电体部24的厚度例如为600nm。
若将由IDT电极3的电极指周期规定的弹性波的波长设为λ，则低声速膜23的厚度优选为2.0λ以下。在弹性波装置1中，通过将低声速膜23的厚度设为2.0λ以下，从而能够降低膜应力，其结果，在弹性波装置1的制造时能够降低成为高声速支承基板21的基础的晶片的翘曲，能够实现良品率的提高以及特性的稳定化。低声速膜23的厚度例如为600nm。
(1.2.2)反射器
两个反射器8设置在压电体部24的一个主面241上。在此，两个反射器8在第2方向D2上在IDT电极3的两侧各配置有一个。
两个反射器8各自对弹性波进行反射。两个反射器8各自为栅格反射器。两个反射器8各自具有多个电极指9，将多个电极指9的第1方向D1的一端彼此短路，将另一端彼此短路。在图1、图2A以及图2B等中，关于两个反射器8的每一个，为了使附图容易观察而减少电极指9的数目进行了描绘。各反射器8能够由铝(Al)、铜(Cu)、铂(Pt)、金(Au)、银(Ag)、钛(Ti)、镍(Ni)、铬(Cr)、钼(Mo)、钨(W)或者以这些金属的任一种为主体的合金等适当的金属材料形成。此外，各反射器8也可以具有将由这些金属或者合金构成的多个金属膜进行了层叠的构造。各反射器8的厚度例如为150nm。
(1.2.3)IDT电极
IDT电极3能够由铝、铜、铂、金、银、钛、镍、铬、钼、钨或者以这些金属的任一种为主体的合金等适当的金属材料形成。此外，IDT电极3也可以具有将由这些金属或者合金构成的多个金属膜进行了层叠的构造。IDT电极3的厚度例如为150nm。
如图1以及图2A所示，IDT电极3具有第1汇流条4、第2汇流条5、多个第1电极指6、和多个第2电极指7。
在IDT电极3中，第1汇流条4和第2汇流条5在与压电体部24的厚度方向(图2B的上下方向)正交的第1方向D1上相互对置。也就是说，第2汇流条5在第1方向D1上与第1汇流条4对置。
第1汇流条4以及第2汇流条5是将与第1方向D1正交的第2方向D2作为长边方向的长条状。在图1、图2A以及图4等中，虽然看不出来第1汇流条4以及第2汇流条5为长条状，但这是因为，为了使附图容易观察而减少第1电极指6以及第2电极指7各自的数目进行了描绘。第2方向D2是沿着弹性波的传播方向的方向。第2方向D2还与压电体部24的厚度方向正交。
多个第1电极指6与第1汇流条4连接，并在第1方向D1上从第1汇流条4向第2汇流条5侧延伸。在此，多个第1电极指6从第1汇流条4起沿着与第1汇流条4的长边方向正交的方向延伸。也就是说，多个第1电极指6沿着与弹性波的传播方向正交的方向延伸。在IDT电极3中，多个第1电极指6和第2汇流条5分离，在第1方向D1上对置的第1电极指6与第2汇流条5之间形成有间隙31。在将上述的弹性波的波长设为λ时，第1方向D1上的间隙31的长度例如为0.5λ以下。
在图1以及图2A的例子中，多个第1电极指6彼此的长度相同。多个第1电极指6各自的前端部61包含与第1电极指6的第1方向D1的中央部60相比第2方向D2的宽度大的宽幅部62。在此，第1电极指6的前端部61包含的宽幅部62只要在第1电极指6的长边方向上形成于第1电极指6的前端部61的至少一部分即可。此外，多个第1电极指6各自包含与宽幅部62不同的宽幅部64(参照图2A)。宽幅部64形成在第1电极指6的与前端部61相反侧的基端部63(参照图2A)和中央部60之间，且与第1电极指6的第1方向D1的中央部60相比第2方向D2的宽度大。宽幅部64在第1方向D1上与第1汇流条4分离。在多个第1电极指6的每一个中，在第1方向D1上宽幅部62与宽幅部64之间的部分构成了中央部60。在多个第1电极指6的每一个中，在第1方向D1上，中央部60比各宽幅部62、64长。
此外，在图1以及图2A的例子中，多个第1电极指6彼此的中央部60的宽度相同。此外，多个第1电极指6彼此的前端部61的宽幅部62的宽度相同。此外，多个第1电极指6彼此的基端部63侧的宽幅部64的宽度相同。此外，多个第1电极指6各自的前端部61的宽幅部62的宽度和基端部63侧的宽幅部64的宽度相同。多个第1电极指6各自是以沿着第1方向D1的中心线6X(参照图3)为基准而线对称的形状。宽幅部62以及64的形状为矩形状，但不限于此，例如也可以为六边形状、圆形状等。
多个第2电极指7与第2汇流条5连接，并在第1方向D1上从第2汇流条5向第1汇流条4侧延伸。在此，多个第2电极指7从第2汇流条5起沿着与第2汇流条5的长边方向正交的方向延伸。也就是说，多个第2电极指7沿着与弹性波的传播方向正交的方向延伸。在IDT电极3中，多个第2电极指7和第1汇流条4分离，在第1方向D1上对置的第2电极指7与第1汇流条4之间形成有间隙32。在将上述的弹性波的波长设为λ时，第1方向D1上的间隙32的长度例如为0.5λ以下。
在图1以及图2A的例子中，多个第2电极指7彼此的长度相同。多个第2电极指7各自的前端部71包含与第2电极指7的第1方向D1的中央部70相比第2方向D2的宽度大的宽幅部72。此外，多个第2电极指7各自包含与宽幅部72不同的宽幅部74(参照图2A)。宽幅部74形成在第2电极指7的与前端部71相反侧的基端部73(参照图2A)和中央部70之间，且与第2电极指7的第1方向D1的中央部70相比第2方向D2的宽度大。宽幅部74在第1方向D1上与第2汇流条5分离。在多个第2电极指7的每一个中，在第1方向D1上宽幅部72与宽幅部74之间的部分构成了中央部70。在多个第2电极指7的每一个中，在第1方向D1上，中央部70比各宽幅部72、74长。
此外，在图1以及图2A的例子中，多个第2电极指7彼此的中央部70的宽度相同。此外，多个第2电极指7彼此的前端部71的宽幅部72的宽度相同。此外，多个第2电极指7彼此的基端部73侧的宽幅部74的宽度相同。此外，多个第2电极指7各自的前端部71的宽幅部72的宽度和基端部73侧的宽幅部74的宽度相同。多个第2电极指7各自是以沿着第1方向D1的中心线7X(参照图3)为基准而线对称的形状。宽幅部72以及74的形状为矩形状，但不限于此，例如也可以为六边形状、圆形状等。
在IDT电极3中，多个第1电极指6和多个第2电极指7在与第1方向D1正交的第2方向D2上，一根一根地交替地相互隔离排列。因此，在第2方向D2上相邻的第1电极指6和第2电极指7分离。
在IDT电极3中，多个第1电极指6的前端部61的宽幅部62和第2电极指7的基端部73侧的宽幅部74在第2方向D2上，一根一根地交替地相互隔离排列。此外，在IDT电极3中，多个第1电极指6的基端部63侧的宽幅部64和多个第2电极指7的前端部71的宽幅部72在第2方向D2上，一根一根地交替地相互隔离排列。IDT电极3的电极指周期是相邻的第1电极指6的中央部60和第2电极指7的中央部70的彼此对应的边间的距离的2倍的值。关于IDT电极3的电极指周期，即使由多个第1电极指6之中在第2方向D2上相邻的两个第1电极指6的中心线6X(参照图3)间的距离规定，也成为相同的值。此外，关于IDT电极3的电极指周期，即使由多个第2电极指7之中在第2方向D2上相邻的两个第2电极指7的中心线7X(参照图3)间的距离规定，也成为相同的值。一组电极指只要是多个第1电极指6和多个第2电极指7在与第1方向D1正交的第2方向D2上隔离排列的结构即可，也可以是多个第1电极指6和多个第2电极指7不交替地相互隔离排列的结构。例如，也可以同时存在第1电极指6和第2电极指7一根一根隔离排列的区域、和第1电极指6或者第2电极指7在第2方向D2上排列两个的区域。
第1汇流条4包含开口部40、内侧汇流条部42、外侧汇流条部41、和连结部43。内侧汇流条部42在第1方向D1上位于比开口部40更靠多个第1电极指6以及多个第2电极指7侧。外侧汇流条部41在第1方向D1上位于从开口部40观察与内侧汇流条部42相反侧。也就是说，外侧汇流条部41在第1方向D1上位于与存在多个第1电极指6的一侧相反侧。连结部43在第1方向D1上将内侧汇流条部42和外侧汇流条部41连结。连结部43在第2方向D2上位于开口部40的两侧。在图1的例子中，连结部43具有与第1电极指6的中央部60相同的宽度，且位于第1电极指6的延长线上。不过，连结部43的尺寸以及连结部43的配置不限定于此。
此外，开口部40的开口形状为矩形状，但不限于此。在将上述的弹性波的波长设为λ时，第1方向D1上的内侧汇流条部42的宽度例如为0.5λ以下。此外，第1方向D1上的连结部43的长度例如为2.0λ。
第1汇流条4例如包含多个开口部40，但在图1以及图2A中为了使附图容易观察而减少第1电极指6的数目进行了描绘，因此在图1以及图2A中，开口部40仅图示出一个。多个开口部40例如在第2方向D2上以大致等间隔地排列。在图1以及图2A的例子中，第2方向D2上的开口部40的开口宽度例如与在第2方向D2上相邻的两个第1电极指6的中央部60间的距离相同。此外，如上述那样，在图1以及图2A中，开口部40仅图示出一个，但在第2方向D2上相邻的两个开口部40间的距离例如与第2方向D2上的第1电极指6的中央部60的宽度相同。
第2汇流条5包含开口部50、内侧汇流条部52、外侧汇流条部51、和连结部53。内侧汇流条部52在第1方向D1上位于比开口部50更靠多个第1电极指6以及多个第2电极指7侧。外侧汇流条部51在第1方向D1上位于从开口部50观察与内侧汇流条部52相反侧。也就是说，外侧汇流条部51在第1方向D1上位于与存在多个第2电极指7的一侧相反侧。连结部53在第1方向D1上将内侧汇流条部52和外侧汇流条部51连结。连结部53在第2方向D2上位于开口部50的两侧。在图1以及图2A的例子中，连结部53具有与第2电极指7的中央部70相同的宽度，且位于第2电极指7的延长线上。不过，连结部53的尺寸以及连结部53的配置不限定于此。
此外，开口部50的开口形状为矩形状，但不限于此。在将上述的弹性波的波长设为λ时，第1方向D1上的内侧汇流条部52的宽度例如为0.5λ以下。此外，第1方向D1上的连结部53的长度例如为2.0λ。
实施方式1涉及的弹性波装置1具有如下构造，即，通过在IDT电极3形成活塞模式，从而抑制横模纹波。关于这一点，参照图4进行说明。
如图4的左侧所示，弹性波装置1在从弹性波装置1的厚度方向的俯视下包含第1方向D1上的11个区域A1～A11。11个区域A1～A11在压电体部24以及IDT电极3各自中包含彼此不同的部分。在图4的右侧，示意性地示出在11个区域A1～A11传播的弹性波的速度(声速)。
在弹性波装置1中，上述的11个区域A1～A11之中在第1方向D1上位于中央的区域A6构成了中央区域。中央区域包含多个第1电极指6的中央部60和多个第2电极指7的中央部70。中央区域是多个第1电极指6的中央部60和多个第2电极指7的中央部70在第2方向D2上重叠的区域。在中央区域中，电极指宽度(第1电极指6的中央部60以及第2电极指的中央部70各自的宽度)除以上述的电极指周期的2分之1的值而得到的值(占空比)例如为0.5。
在弹性波装置1中，上述的11个区域A1～A11之中分别位于第1方向D1的两端的区域A1、A11构成了外侧汇流条区域。区域A1包含第1汇流条4的外侧汇流条部41。区域A11包含第2汇流条5的外侧汇流条部51。在外侧汇流条区域中，与中央区域相比弹性波的声速变慢。
在弹性波装置1中，上述的11个区域A1～A11之中分别从第1方向D1的两端数起位于第2个位置的区域A2、A10构成了连结区域。区域A2包含第1汇流条4的多个连结部43和多个开口部40。区域A10包含第2汇流条5的多个连结部53和多个开口部50。在连结区域中，与外侧汇流条区域以及中央区域相比弹性波的声速变快。
在弹性波装置1中，上述的11个区域A1～A11之中分别从第1方向D1的两端数起位于第3个位置的区域A3、A9构成了内侧汇流条区域。区域A3包含第1汇流条4的内侧汇流条部42。区域A9包含第2汇流条5的内侧汇流条部52。在内侧汇流条区域中，与中央区域相比弹性波的声速变慢。
在弹性波装置1中，上述的11个区域A1～A11之中分别从第1方向D1的两端数起位于第4个位置的区域A4、A8构成了间隙区域。区域A4包含多个第1电极指6的基端部63和多个间隙32。区域A8包含多个第2电极指7的基端部73和多个间隙31。在间隙区域中，与内侧汇流条区域以及中央区域相比弹性波的声速变快。
在弹性波装置1中，上述的11个区域A1～A11之中分别从第1方向D1的两端数起位于第5个位置的区域A5、A7构成了宽幅区域。区域A5包含多个第1电极指6的宽幅部64和多个第2电极指7的宽幅部72。区域A7包含多个第1电极指6的宽幅部62和多个第2电极指7的宽幅部74。在宽幅区域中，与中央区域相比弹性波的声速变慢。
在弹性波装置1中，IDT电极3如上述那样构成，因此在中央区域(区域A6)的外侧存在低声速的区域(区域A5、A3以及区域A7、A9)，在低声速区域的外侧存在高声速的区域A2以及区域A10。因此，在弹性波装置1中，能够形成活塞模式，能够有效地抑制横模纹波。
(1.3)IDT电极的电位
图5示出实施方式1涉及的弹性波装置1的表面(包含IDT电极3的表面以及压电体部24的一个主面241)的电荷分布。图5所示的电荷分布的前提条件为：在IDT电极3涉及的区域中产生声表面波的激励现象；反射器8电短路(为短路栅格)；以及在反射器8涉及的区域中不产生声表面波的激励现象(反射器8电短路，因此引起压电效应的驱动电压成为零)。在此，产生图5所示的电荷分布的原理如下。在产生声表面波的激励的区域和不产生激励的区域的边界区域中，产生边缘效应(Edge effect；也称为端缘效应)。由于边缘效应，相同边界区域的电荷量与相同边界区域的周边区域的电荷量相比，局部地变大。因此，在弹性波装置1中，产生如图5所示的电荷分布。
如图5可知，在弹性波装置1中，在包含多个第1电极指6和多个第2电极指7的一组电极指排列的第2方向D2上，IDT电极3的两端的电荷量变得比IDT电极3的中央的电荷量多。因此，在弹性波装置1中，例如，上述的一组电极指之中在第2方向D2上位于端处的第2电极指7和与该第2电极指7接近的内侧汇流条部42之间的电力线的密度容易变大。
以下，关于上述的一组电极指，也有时将在第2方向D2上位于图1以及图2A的左侧的端处的第2电极指7称为第2电极指7L，将位于图1以及图2A的右侧的端处的第2电极指7称为第2电极指7R。在IDT电极3中，第1汇流条4的内侧汇流条部42和第2汇流条5的内侧汇流条部52之中第1汇流条4的内侧汇流条部42接近于第2电极指7L、7R。
与第2电极指7L接近的内侧汇流条部42在第2方向D2上位于比第2电极指7L的第1方向D1的中央部70更靠内侧(在第2方向D2上存在相邻的第1电极指6的一侧，换言之，与相邻的反射器8相反侧)。在弹性波装置1中，内侧汇流条部42的形状被规定为第2电极指7L的宽幅部72和内侧汇流条部42在第1方向D1上不重叠。由此，在实施方式1涉及的弹性波装置1中，第2电极指7L的宽幅部72和内侧汇流条部42在与第1方向D1不同的方向上对置(参照图2A)。
此外，与第2电极指7R接近的内侧汇流条部42在第2方向D2上位于比第2电极指7R的第1方向D1的中央部70更靠内侧(在第2方向D2上存在相邻的第1电极指6的一侧，换言之，与相邻的反射器8相反侧)。在实施方式1涉及的弹性波装置1中，内侧汇流条部42的形状被规定为第2电极指7R的宽幅部72和内侧汇流条部42在第1方向D1上不重叠。由此，在实施方式1涉及的弹性波装置1中，第2电极指7R的宽幅部72和内侧汇流条部42在与第1方向D1不同的方向上对置(参照图2A)。
在图3中，为便于说明，对在IDT1电极3中与第1端子11电连接的部分(高电位侧部分)标记“H”的记号，对与第2端子12电连接的部分(低电位侧部分)标记“E”的记号。高电位侧部分和低电位侧部分的电位不同。高电位侧部分是与低电位侧部分相比成为高电位的部分。“H”、“E”的标记不是附图标记，也并非是实际上存在的。图3是包含位于图1以及图2A的左侧的端处的第2电极指7、和与该第2电极指7接近的内侧汇流条部42的放大图。在图1以及图2A中，标记有“H”的记号的高电位侧部分(包含第1汇流条4和多个第1电极指6的第1导体部)、和标记有“E”的记号的低电位侧部分(包含第2汇流条5和多个第2电极指7的第2导体部)的电位不同。
(1.4)效果
实施方式1涉及的弹性波装置1具备第1端子11、第2端子12、压电体部24、IDT电极3、和反射器8。第2端子12成为比第1端子11的电位低的电位。IDT电极3设置在压电体部24上，并与第1端子11以及第2端子12电连接。反射器8设置在压电体部24上，并与第2端子12电连接。IDT电极3具有第1汇流条4、第2汇流条5、多个第1电极指6、和多个第2电极指7。第1汇流条4与第1端子11电连接。第2汇流条5在第1方向D1上与第1汇流条4对置，并与第2端子12电连接。多个第1电极指6与第1汇流条4连接，并在第1方向D1上从第1汇流条4向第2汇流条5侧延伸。多个第2电极指7与第2汇流条5连接，并在第1方向D1上从第2汇流条5向第1汇流条4侧延伸。多个第1电极指6和多个第2电极指7在与第1方向D1正交的第2方向D2上相互隔离地排列。多个第1电极指6和第2汇流条5分离。多个第2电极指7和第1汇流条4分离。多个第1电极指6以及多个第2电极指7各自的至少一个电极指(第1电极指6、第2电极指7)的前端部61、71包含与该至少一个电极指(第1电极指6、第2电极指7)的第1方向D1的中央部60、70相比第2方向D2的宽度大的宽幅部62、72。第1汇流条4以及第2汇流条5各自包含开口部40、50、内侧汇流条部42、52、外侧汇流条部41、51、和连结部43、53。内侧汇流条部42、52在第1方向D1上位于比开口部40、50更靠多个第1电极指6以及多个第2电极指7侧。外侧汇流条部41、51在第1方向D1上位于从开口部40、50观察与内侧汇流条部42、52相反侧。连结部43、53在第1方向D1上将内侧汇流条部42、52和外侧汇流条部41、51连结。在将包含多个第1电极指6和多个第2电极指7的一组电极指之中位于第2方向D2上的一端的电极指(第2电极指7L或者第2电极指7R)设为第1端电极指，将位于另一端的电极指(第2电极指7R或者第2电极指7L)设为第2端电极指的情况下，第1端电极指(第2电极指7L或者第2电极指7R)至少在前端部(前端部71)具有宽幅部(宽幅部72)。第1端电极指(第2电极指7L或者第2电极指7R)在第2方向D2上位于反射器8与第2端电极指(第2电极指7R或者第2电极指7L)之间。第1汇流条4和第2汇流条5之中不与第1端电极指(第2电极指7L或者第2电极指7R)连接的汇流条(第1汇流条4)的内侧汇流条部(内侧汇流条部42)在第2方向D2上位于比第1端电极指(第2电极指7L或者第2电极指7R)的宽幅部(宽幅部72)更靠内侧，使得在第1方向D1上不与第1端电极指(第2电极指7L或者第2电极指7R)的宽幅部(宽幅部72)重叠。
由此，在实施方式1涉及的弹性波装置1中，IDT电极3具有上述的结构，因此能够抑制活塞模式的阻碍。此外，在实施方式1涉及的弹性波装置1中，第1汇流条4的内侧汇流条部42在第2方向D2上位于比第1端电极指(第2电极指7L或者第2电极指7R)的宽幅部(宽幅部72)更靠内侧，使得在第1方向D1上不与第1端电极指(第2电极指7L或者第2电极指7R)的宽幅部(宽幅部72)重叠，因此变得不易引起第1端电极指(第2电极指7L或者第2电极指7R)的前端部(前端部71)的宽幅部(宽幅部72)与第1汇流条4的内侧汇流条部42之间的ESD造成的第1端电极指(第2电极指7L或者第2电极指7R)以及内侧汇流条部42的浪涌破坏，能够谋求ESD耐性的提高。因此，在实施方式1涉及的弹性波装置1中，能够在抑制活塞模式的阻碍的同时谋求ESD耐性的提高。
此外，弹性波装置1具备两个反射器8。两个反射器8在第2方向D2上在IDT电极3的两相邻处各配置有一个。第2端电极指(第2电极指7R或者第2电极指7L)至少在前端部(前端部71)具有宽幅部(宽幅部72)。第1汇流条4的内侧汇流条部42在第2方向D2上位于比第1端电极指(第2电极指7L或者第2电极指7R)的宽幅部(宽幅部72)以及第2端电极指(第2电极指7R或者第2电极指7L)的宽幅部(宽幅部72)更靠内侧，使得在第1方向D1上不与第1端电极指(第2电极指7L或者第2电极指7R)的宽幅部(宽幅部72)以及第2端电极指(第2电极指7R或者第2电极指7L)的宽幅部(宽幅部72)重叠。
由此，在弹性波装置1中，在第2方向D2上在IDT电极3的两相邻处各配置有一个反射器8的结构中，能够在抑制活塞模式的阻碍的同时谋求ESD耐性的提高。
此外，在弹性波装置1中，与第2电极指7L、7R接近的内侧汇流条部42位于内侧，使得在第1方向D1上不与第2电极指7L、7R重叠。由此，在弹性波装置1中，能够使第2电极指7L、7R和内侧汇流条部42的最短距离变得更长，能够谋求ESD耐性的进一步的提高。在弹性波装置1中，如图3所示，内侧汇流条部42的左端的边42L和第2电极指7L的右相邻的第1电极指6的中央部60的左侧的边60L排列在一直线上。由此，在弹性波装置1中，能够在抑制活塞模式的阻碍的同时谋求ESD耐性的进一步的提高。
(1.5)实施方式1的变形例1
在图6所示的实施方式1的变形例1涉及的弹性波装置1a中，在第2方向D2上，内侧汇流条部42的左端的边42L位于第2电极指7L的宽幅部72的右侧的边72LR与第2电极指7L的右相邻的第1电极指6的宽幅部64之间。变形例1涉及的弹性波装置1a的其他结构与实施方式1涉及的弹性波装置1同样，因此省略图示以及说明。
在变形例1涉及的弹性波装置1a中，与实施方式1涉及的弹性波装置1相比，能够进一步抑制活塞模式的阻碍。
(1.6)实施方式1的其他变形例
IDT电极3中的多个第1电极指6以及多个第2电极指7各自的数目没有特别限定。在此，在IDT电极3中，不限于第1端电极指以及第2端电极指各自为第2电极指7的情况。例如，也可以是，第1端电极指和第2端电极指的一者为第2电极指7，另一者为第1电极指6。在该情况下，第1汇流条4的内侧汇流条部42接近于构成第1端电极指的第2电极指7，第2汇流条5的内侧汇流条部52接近于构成第2端电极指的第1电极指6。此外，也可以是，第1端电极指以及第2端电极指各自为第1电极指6。在该情况下，第2汇流条5的内侧汇流条部52接近于分别构成第1端电极指以及第2端电极指的第1电极指6。在这些中的任一个变形例的弹性波装置中，均能够在抑制活塞模式的阻碍的同时谋求ESD耐性的提高。此外，在IDT电极3中的多个第1电极指6以及多个第2电极指7的每一个中，只要至少一个第1电极指6以及第2电极指7具有宽幅部62、72即可。
此外，在IDT电极3中，一组电极指中的至少一个电极指也可以包含三个以上的宽幅部。
弹性波装置1也可以还具备形成在第1端子11上且具有导电性的第1凸块、和形成在第2端子12上且具有导电性的第2凸块。此外，第2端子12的数目不限于多个，例如也可以为一个。
(实施方式2)
(2.1)弹性波装置的整体结构
以下，参照附图对实施方式2涉及的弹性波装置1b进行说明。
实施方式2涉及的弹性波装置1b为纵向耦合谐振器型滤波器，如图7～图10所示，具备压电体部24和多个IDT电极3。压电体部24由压电材料形成。多个IDT电极3设置在压电体部24上。实施方式2涉及的弹性波装置1b还具备两个反射器8。在图7以及图8中，对多个IDT电极3以及各反射器8标注点的影线，但这些影线不表示剖面，只不过为了容易理解多个IDT电极3以及各反射器8与压电体部24的关系而标注的。关于实施方式2涉及的弹性波装置1b，对于与实施方式1涉及的弹性波装置1(参照图1～图4)同样的构成要素，标注相同的附图标记，并适当省略说明。
(2.2)弹性波装置的各构成要素
其次，参照附图对弹性波装置1b的各构成要素进行说明。
(2.2.1)
在实施方式2涉及的弹性波装置1b中，压电体部24为压电膜，多个IDT电极3形成在具有压电体部24的层叠型基板2b上。层叠型基板2b中的高声速支承基板21(参照图9)的俯视形状(从厚度方向观察高声速支承基板21时的外周形状)为长方形状，但不限于长方形状，例如也可以为正方形状。
(2.2.2)
两个反射器8设置在压电体部24上。在此，两个反射器8在第2方向D2上三个IDT电极3之中两侧的IDT电极3各自中的与正中央的IDT电极3相反侧各配置有一个。以下，为便于说明，在区分三个IDT电极3的情况下，也有时将多个IDT电极3之中在第2方向D2上相邻的两个IDT电极3的一者称为第1IDT电极3A，将另一者称为第2IDT电极3B。在图7以及图8的例子中，将三个IDT电极3之中正中央的IDT电极3称为第1IDT电极3A，将两端的IDT电极3称为第2IDT电极3B。
(2.2.3)IDT电极
在实施方式2涉及的弹性波装置1b中，三个IDT电极3在第2方向D2上排列。三个IDT电极3各自具有第1汇流条4、第2汇流条5、多个第1电极指6、和多个第2电极指7。
第1汇流条4包含开口部40、内侧汇流条部42、外侧汇流条部41、和连结部43。第2汇流条5包含开口部50、内侧汇流条部52、外侧汇流条部51、和连结部53。在IDT电极3中，多个第1电极指6的前端部61的宽幅部62和第2电极指7的基端部73侧的宽幅部74在第2方向D2上，一个一个地交替地相互隔离排列。此外，在IDT电极3中，多个第1电极指6的基端部63侧的宽幅部64和第2电极指7的前端部71的宽幅部72在第2方向D2上，一个一个地交替地相互隔离排列。
(2.3)IDT电极的电位
在图7以及图8中，为便于说明，对在IDT电极3中与第1端子(例如信号端子)11电连接的部分(高电位侧部分)标记“H”的记号，对与第2端子(例如接地端子)12电连接的部分(低电位侧部分)标记“E”的记号。高电位侧部分和低电位侧部分的电位不同。高电位侧部分是与低电位侧部分相比成为高电位的部分。“H”、“E”的标记不是附图标记，也并非是实际存在的。
弹性波装置1b具备两个第1端子11，并具备两个第2端子12。在区分两个第1端子11的情况下，将一者称为第1端子11A，将另一者称为第1端子11B。此外，在区分两个第2端子12的情况下，将一者称为第2端子12A，将另一者称为第2端子12B。
第1IDT电极3A的第1汇流条4与第1端子11A电连接。弹性波装置1b具备将第1端子11A和第1IDT电极3A的第1汇流条4电连接的第1布线层13(13A)。第1IDT电极3A的第2汇流条5与第2端子12A以及第2端子12B电连接。弹性波装置1b具备将第2端子12A以及第2端子12B和第1IDT电极3A的第2汇流条5电连接的第2布线层14(14A)。在第1IDT电极3A中，第2汇流条5的电位变得比第1汇流条4的电位低。
各第2IDT电极3B的第1汇流条4与第2端子12B电连接。弹性波装置1b具备将第2端子12B和第2IDT电极3B的第1汇流条4电连接的第2布线层14(14B)。各第2IDT电极3B的第2汇流条5与第1端子11B电连接。弹性波装置1b具备将第1端子11B和第2IDT电极3B的第2汇流条5电连接的第1布线层13(13B)。在各第2IDT电极3B中，第1汇流条4的电位变得比第2汇流条5的电位低。
各反射器8与第2端子12A以及第2端子12B电连接。各反射器8的电位变得比各第2IDT电极3B的第2汇流条5的电位低。
弹性波装置1b具备将第1布线层13(13A)和第2布线层14(14B)电绝缘的电绝缘层15。电绝缘层15设置在压电体部24上，使得一部分介于第1布线层13(13A)与第2布线层14(14B)之间。此外，弹性波装置1b具备将第1布线层13(13B)和第2布线层14(14A)电绝缘的电绝缘层16。电绝缘层16设置在压电体部24上，使得一部分介于第1布线层13(13B)与第2布线层14(14A)之间。
弹性波装置1b也可以还具备形成在第1端子11上且具有导电性的第1凸块、和形成在第2端子12上且具有导电性的第2凸块。此外，第1端子11以及第2端子12各自的数目不限于多个，例如也可以为一个。
图10是包含位于图7以及图8的正中央的第1IDT电极3A的左侧的端处的第1电极指6、和位于图7以及图8的左侧的第2IDT电极3B的右侧的端处的第1电极指6的放大图。在图7以及图10中标记有“H”的记号的高电位侧部分、和标记有“E”的记号的低电位侧部分的电位不同。例如，在图10中，位于第1IDT电极3A的左侧的端处的第1电极指6、和位于第2IDT电极3B的右侧的端处的第1电极指6的电位不同。此外，在图10中，位于第1IDT电极3A的左侧的端处的第1电极指6、和与该第1IDT电极3A接近的、第1IDT电极3A的第2汇流条5的内侧汇流条部52的电位不同。此外，在图10中，位于第2IDT电极3B的右侧的端处的第1电极指6、和与该第2IDT电极3B接近的、第2IDT电极3B的第2汇流条5的内侧汇流条部52的电位不同。
图11示出实施方式2涉及的弹性波装置1b的表面(包含三个IDT电极3的表面以及压电体部24的一个主面241)的电荷分布。图11所示的电荷分布的前提条件为：在第1IDT电极3A涉及的区域以及第2IDT电极3B涉及的区域中产生声表面波的激励现象；第1IDT电极3A涉及的区域和第2IDT电极3B涉及的区域与彼此不同的电端子(第1端子11A、第1端子11B)连接；反射器8电短路(为短路栅格)；以及在反射器8涉及的区域中不产生声表面波的激励现象(反射器8电短路，因此引起压电效应的驱动电压成为零)。在此，产生图11所示的电荷分布的原理如下。在产生声表面波的激励的区域和不产生激励的区域的边界区域中，产生边缘效应(Edge effect；也称为端缘效应)。即使在声表面波的激励的方式彼此不同的两个区域的边界区域中，也会产生边缘效应。由于边缘效应，相同边界区域的电荷量与相同边界区域的周边区域的电荷量相比，局部地变大。在原理上，如果声表面波的激励的方式彼此不同，则可能在相应的各种边界区域中产生边缘效应。但是，在实施方式2涉及的弹性波装置1b(纵向耦合谐振器型滤波器)的情况下，如图11所示，在第1IDT电极3A涉及的区域和第2IDT电极3B涉及的区域的边界区域、以及第2IDT电极3B涉及的区域和反射器8涉及的区域的边界区域中产生局部的电荷量的集中的情况较多。因此，在实施方式2涉及的弹性波装置1b中，产生如图11所示的电荷分布。
如图11可知，在弹性波装置1b中，在包含多个第1电极指6和多个第2电极指7的一组电极指排列的第2方向D2上，IDT电极3的两端的电荷量变得比IDT电极3的中央的电荷量多。因而，在弹性波装置1中，例如，相邻的IDT电极3的内侧汇流条部52间的电力线的密度容易变大。此外，在弹性波装置1b中，例如，上述的一组电极指之中在第2方向D2上位于端处的第1电极指6、和与该第1电极指6接近的内侧汇流条部52之间的电力线的密度容易变大。
(2.4)效果
实施方式2涉及的弹性波装置1b具备第1端子11、第2端子12、压电体部24、和多个IDT电极3。第2端子12成为比第1端子11的电位低的电位。多个IDT电极3设置在压电体部24上，并与第1端子11以及第2端子12电连接。多个IDT电极3各自具有第1汇流条4、第2汇流条5、多个第1电极指6、和多个第2电极指7。第2汇流条5在第1方向D1上与第1汇流条4对置。多个第1电极指6与第1汇流条4连接，并在第1方向D1上从第1汇流条4向第2汇流条5侧延伸。多个第2电极指7与第2汇流条5连接，并在第1方向D1上从第2汇流条5向第1汇流条4侧延伸。多个第1电极指6和多个第2电极指7在与第1方向D1正交的第2方向D2上相互隔离地排列。多个第1电极指6和第2汇流条5分离。多个第2电极指7和第1汇流条4分离。多个第1电极指6以及多个第2电极指7各自的至少一个电极指(第1电极指6、第2电极指7)的前端部61、71包含与该至少一个电极指(第1电极指6、第2电极指7)的第1方向D1的中央部(中央部60、70)相比第2方向D2的宽度大的宽幅部(宽幅部62、72)。第1汇流条4以及第2汇流条5各自包含开口部40、50、内侧汇流条部42、52、外侧汇流条部41、51、和连结部43、53。内侧汇流条部42、52在第1方向D1上位于比开口部40、50更靠多个第1电极指6以及多个第2电极指7侧。外侧汇流条部41、51在第1方向D1上位于从开口部40、50观察与内侧汇流条部42、52相反侧。连结部43、53在第1方向D1上将内侧汇流条部42、52和外侧汇流条部41、51连结。在将多个IDT电极3之中在第2方向D2上相邻的两个IDT电极3的一者设为第1IDT电极3A，将另一者设为第2IDT电极3B时，将包含第1IDT电极3A的多个第1电极指6和多个第2电极指7的一组电极指之中在第2方向D2上位于第2IDT电极3B侧的端处的电极指(第1电极指6)设为第1IDT电极3A的第1端电极指，将位于与第2IDT电极3B相反侧的端处的电极指(第1电极指6)设为第1IDT电极3A的第2端电极指，将包含第2IDT电极3B的多个第1电极指6和多个第2电极指7的一组电极指之中在第2方向D2上位于第1IDT电极3A侧的端处的电极指(第1电极指6)设为第2IDT电极3B的第1端电极指，将位于与第1IDT电极3A相反侧的端处的电极指(第1电极指6)设为第2IDT电极3B的第2端电极指，在该情况下，第1IDT电极3A的第1端电极指与第1端子11连接，第2IDT电极3B的第1端电极指与第2端子12连接。第1IDT电极3A的第1端电极指和第2IDT电极3B的第1端电极指的至少一者至少在前端部具有宽幅部。在第1IDT电极3A和第2IDT电极3B之中的至少一个IDT电极3中，在上述至少一个IDT电极3中与第1端子11和第2端子12之中不同于第1端电极指的端子电连接的内侧汇流条部在第2方向D2上位于比上述至少一个IDT电极3的第1端电极指的宽幅部更靠内侧，使得在第1方向D1上不与上述至少一个IDT电极3的第1端电极指的宽幅部重叠。
由此，在实施方式2涉及的弹性波装置1b中，各IDT电极3具有上述的结构，因此能够抑制活塞模式的阻碍。此外，在实施方式2涉及的弹性波装置1b中，在第1IDT电极3A和第2IDT电极3B之中的至少一个IDT电极3中，在至少一个IDT电极3中与第1端子11和第2端子12之中不同于第1端电极指的端子电连接的内侧汇流条部在第2方向D2上位于比上述至少一个IDT电极3的第1端电极指的宽幅部更靠内侧，使得在第1方向D1上不与上述至少一个IDT电极3的第1端电极指的宽幅部重叠，因此变得不易引起第1端电极指(第1电极指6)的前端部(前端部61)的宽幅部(宽幅部62)与内侧汇流条部52之间的ESD所造成的第1端电极指(第1电极指6)以及内侧汇流条部52的浪涌破坏，能够谋求ESD耐性的提高。因而，在实施方式2涉及的弹性波装置1b中，能够在抑制活塞模式的阻碍的同时谋求ESD耐性的提高。在实施方式2涉及的弹性波装置1b中，变得不易引起在第1IDT电极3A中成为不同于包含多个第1电极指6和多个第2电极指7的一组电极指之中最靠近第2IDT电极3B的第1电极指6的电位的内侧汇流条部52、和在第2IDT电极3B中成为不同于包含多个第1电极指6和多个第2电极指7的一组电极指之中最靠近第2IDT电极3B的第1电极指6的电位的内侧汇流条部52之间的ESD所造成的浪涌破坏，能够谋求ESD耐性的提高。
此外，在实施方式2涉及的弹性波装置1b中，关于第2IDT电极3B，内侧汇流条部52在第2方向D2上位于比位于两个端处的第1电极指6各自的宽幅部62、62更靠内侧。由此，在弹性波装置1b中，较之于在第2方向D2上位于两个端处的第1电极指6的每一个和内侧汇流条部52在第1方向D1上对置的情况，变得不易引起在第2方向D2上位于两个端处的第1电极指6的每一个与内侧汇流条部52之间的ESD所造成的浪涌破坏，ESD耐性提高。
此外，在第1IDT电极3A和第2IDT电极3B这两个IDT电极3的每一个中，在上述至少一个IDT电极3中与第1端子11和第2端子12之中不同于第1端电极指的端子电连接的内侧汇流条部在第2方向D2上位于比上述至少一个IDT电极3的第1端电极指的宽幅部更靠内侧，使得在第1方向D1上不与上述至少一个IDT电极3的第1端电极指的宽幅部重叠。具体地，在弹性波装置1b中，与在第2方向D2上位于两个端处的第1电极指6分别接近的内侧汇流条部52位于比位于两个端处的第1电极指6更靠内侧。由此，在弹性波装置1b中，能够使在第2方向D2上位于两个端处的第1电极指6和内侧汇流条部52的最短距离变得更长，能够谋求ESD耐性的进一步的提高。在弹性波装置1b中，内侧汇流条部52的端边和第1电极指6的相邻的第2电极指7的中央部70的端边排列在一直线上。由此，在弹性波装置1b中，能够在抑制活塞模式的阻碍的同时谋求ESD耐性的进一步的提高。
(2.5)实施方式2的变形例1
在图12所示的实施方式2的变形例1涉及的弹性波装置1c中，在至少一个IDT电极3中，在第2方向D2上成为与第1端电极指不同的电位的汇流条的内侧汇流条部52位于比外侧汇流条部51更靠内侧。具体地，多个IDT电极3各自中的内侧汇流条部52位于比外侧汇流条部51更靠内侧。多个IDT电极3各自中的外侧汇流条部51在从弹性波装置1c的厚度方向的俯视下，在第1方向D1上还与第2方向D2上的两端的第1电极指6重叠。变形例1涉及的弹性波装置1c的其他结构与实施方式2涉及的弹性波装置1b同样，因此省略图示以及说明。
在变形例1涉及的弹性波装置1c中，相邻的两个IDT电极3的外侧汇流条部51彼此的距离与相邻的两个IDT电极3中相邻的宽幅部62彼此的距离相同。此外，在变形例1涉及的弹性波装置1c中，相邻的两个IDT电极3的内侧汇流条部52彼此的距离，与相邻的两个IDT电极3中相邻的宽幅部62的彼此接近的边相反侧的边彼此的距离相同。
变形例1涉及的弹性波装置1c在第1IDT电极3A以及第2IDT电极3B的每一个中，在第2方向D2上内侧汇流条部42、52位于比外侧汇流条部41、51更靠内侧。
(2.6)实施方式2的变形例2
在实施方式2的变形例2涉及的弹性波装置1d中，如图13所示，与实施方式2涉及的弹性波装置1b(参照图8～图11)的不同点在于，第1IDT电极3A的内侧汇流条部52以及外侧汇流条部51在第1方向D1上与第1IDT电极3A的第1电极指6的宽幅部62重叠。变形例2涉及的弹性波装置1d的其他结构与实施方式2涉及的弹性波装置1b相同，因此省略图示以及说明。
在变形例2涉及的弹性波装置1d中，能够在抑制活塞模式的阻碍的同时谋求ESD耐性的提高。
(2.7)实施方式2的变形例3
在实施方式2的变形例3涉及的弹性波装置1e中，如图14所示，层叠型基板2e包含高声速膜22、低声速膜23、和压电体部24。高声速膜22设置在支承基板20上。在此，所谓“设置在支承基板20上”，包含直接地设置在支承基板20上的情况、和间接地设置在支承基板20上的情况。在高声速膜22中，所传播的体波的声速与在压电体部(压电膜)24传播的弹性波的声速相比为高速。低声速膜23设置在高声速膜22上。在此，所谓“设置在高声速膜22上”，包含直接地设置在高声速膜22上的情况、和间接地设置在高声速膜22上的情况。在低声速膜23中，所传播的体波的声速与在压电体部24传播的弹性波的声速相比为低速。压电体部24设置在低声速膜23上。在此，所谓“设置在低声速膜23上”，包含直接地设置在低声速膜23上的情况、和间接地设置在低声速膜23上的情况。关于变形例3涉及的弹性波装置1e，对于与实施方式2涉及的弹性波装置1b(参照图8～图11)同样的构成要素，标注相同的附图标记并省略说明。
作为支承基板20，能够使用蓝宝石、钽酸锂、铌酸锂、石英等压电体、矾土、氧化镁、氮化硅、氮化铝、碳化硅、氧化锆、堇青石、莫来石、块滑石、镁橄榄石等各种陶瓷、玻璃等电介质、或者硅、氮化镓等半导体、以及树脂基板等。
在变形例3涉及的弹性波装置1e中，高声速膜22发挥功能，使得弹性波不泄漏到比高声速膜22更靠下的构造。
在变形例3涉及的弹性波装置1e中，为了得到滤波器、谐振器的特性而利用的特定的模式的弹性波的能量分布于压电体部24以及低声速膜23的整体，还分布于高声速膜22的低声速膜23侧的一部分，不分布于支承基板20。由高声速膜22限制弹性波的机理是与作为非泄漏的SH波的洛夫波型的表面波的情况同样的机理，例如，记载于文献“声表面波器件模拟技术入门”、桥本研也、Realize公司、p.26-28。上述机理不同于利用由声多层膜构成的布拉格反射器来限制弹性波的机理。
高声速膜22由类金刚石碳、氮化铝、氧化铝、碳化硅、氮化硅、硅、蓝宝石、钽酸锂、铌酸锂、石英等压电体、矾土、氧化锆、堇青石、莫来石、块滑石、镁橄榄石等各种陶瓷、氧化镁金刚石、或者、以上述各材料为主成分的材料、以上述各材料的混合物为主成分的材料构成。
关于高声速膜22的厚度，由于高声速膜22具有将弹性波限制到压电体部24以及低声速膜23的功能，因此高声速膜22的厚度越厚越优选。
在变形例3涉及的弹性波装置1e中，能够在抑制活塞模式的阻碍的同时谋求ESD耐性的提高。
(2.8)实施方式2的变形例4
在实施方式2的变形例4涉及的弹性波装置1f中，如图15所示，压电体部24f由压电基板构成，不具备实施方式2涉及的弹性波装置1b中的高声速支承基板21以及低声速膜23。关于变形例4涉及的弹性波装置1f，对于与实施方式2涉及的弹性波装置1b(参照图8～图11)同样的构成要素，标注相同的附图标记并省略说明。
在弹性波装置1f中，构成压电体部24f的压电基板由128度Y-X的铌酸锂(LiNbO3)基板构成。压电基板例如也可以是由50°Y切割X传播钽酸锂(LiTaO3)压电单晶或者压电陶瓷(是在将以X轴为中心轴从Y轴旋转了50°的轴作为法线的面进行了切断的钽酸锂单晶、或者陶瓷，且是在X轴方向上传播弹性波的单晶或者陶瓷)构成的基板。在图15中虽然省略了图示，但弹性波装置1f具备多个(三个)IDT电极3、两个反射器8、以及对压电体部24f的一个主面241f之中未被多个(三个)IDT电极3以及两个反射器8覆盖的区域进行覆盖的氧化硅膜。在弹性波装置1d中，氧化硅膜的表面形状形成有与三个IDT电极3以及两个反射器8各自的形状对应的凹凸。
在变形例4涉及的弹性波装置1f中，与实施方式2的弹性波装置1b(参照图8～图11)同样地，能够使在第2方向D2上位于两个端处的第1电极指6和内侧汇流条部52的最短距离变得更长，变得不易引起成为彼此不同的电位的第1电极指6与内侧汇流条部52之间的ESD所造成的浪涌破坏，能够谋求ESD耐性的提高。
(2.9)实施方式2的其他变形例
多个IDT电极3各自中的多个第1电极指6以及多个第2电极指7各自的数目没有特别限定。在此，在第1IDT电极3A中，不限于一组电极指之中分别位于第2方向D2的两个端处的第1端电极指以及第2端电极指为第1电极指6的情况。例如，也可以是，第1端电极指和第2端电极指的一者为第1电极指6，另一者为第2电极指7。在该情况下，第2汇流条5的内侧汇流条部52接近于构成第1端电极指的第1电极指6，第1汇流条4的内侧汇流条部42接近于构成第2端电极指的第2电极指7。此外，也可以是，第1端电极指以及第2端电极指各自为第2电极指7。在该情况下，第1汇流条4的内侧汇流条部42接近于分别构成第1端电极指以及第2端电极指的第2电极指7。此外，一组电极指只要是多个第1电极指6和多个第2电极指7在与第1方向D1正交的第2方向D2上隔离排列的结构即可。例如，在一变形例的弹性波装置中，也可以同时存在第1电极指6和第2电极指7一根一根地隔离排列的区域、和第1电极指6或者第2电极指7在第2方向D2上排列两个的区域。在这些中的任一个变形例的弹性波装置中，均能够在抑制活塞模式的阻碍的同时谋求ESD耐性的提高。此外，在IDT电极3中的多个第1电极指6以及多个第2电极指7的每一个中，只要至少一个第1电极指6以及第2电极指7具有宽幅部62、72即可。
此外，在IDT电极3中，一组电极指之中的至少一个电极指也可以包含三个以上的宽幅部。此外，反射器8不是必须的构成要素。
上述的实施方式1、2等只不过为本发明的各种各样的实施方式之一。上述的实施方式等只要能够达到本发明的目的，就能够根据设计等进行各种变更。
例如，在弹性波装置1b、1c、1d、1e、1f中，在压电体部24、24f的一个主面241、241f上设置有三个IDT电极3，但IDT电极3的数目只要为多个即可，例如也可以为5个。
此外，例如，如弹性波装置1b、1c、1d、1e、1f等那样在压电体部24、24f上具备多个IDT电极3的结构中，多个IDT电极3之中的至少一个IDT电极3也可以具有与实施方式1涉及的弹性波装置1中的IDT电极3(参照图1～4)或者实施方式1的变形例1涉及的弹性波装置1a或者实施方式1的其他变形例涉及的弹性波装置同样的结构。例如，在三个IDT电极3之中的一个IDT电极3中，也可以设为如下结构，即，成为不同于包含多个第1电极指6和多个第2电极指7的一组电极指之中在第2方向D2上位于两个端处的第2电极指7L、7R的电位的内侧汇流条部42，在第2方向D2上位于比在第2方向D2上位于两个端处的第2电极指7L、7R各自的第1方向D1的中央部70、70更靠内侧。此外，在弹性波装置1、1a、1b、1c、1d、1e、1f中，IDT电极3直接地设置在压电体部24、24f上，但不限于此，IDT电极3也可以间接地设置在压电体部24、24f的一个主面241、241f上。例如，在弹性波装置1、1a、1b、1c、1d、1e、1f中，IDT电极3也可以隔着电介质膜设置在压电体部24、24f上。
此外，在弹性波装置1、1a、1b、1c、1d中，层叠型基板2、2b也可以包含介于低声速膜23与高声速支承基板21之间的膜。此外，在弹性波装置1e中，层叠型基板2e也可以包含介于高声速膜22与支承基板20之间的膜、和介于低声速膜23与压电体部24之间的膜的至少一者。此外，在弹性波装置1、1a、1b、1c、1d中，层叠型基板2、2b也可以在压电体部24与高声速支承基板21之间具备声阻抗层，来代替低声速膜23。声阻抗层具有抑制由IDT电极3激励的弹性波泄漏到高声速支承基板21的功能。声阻抗层具有声阻抗相对高的至少一个高声阻抗层和声阻抗相对低的至少一个低声阻抗层在高声速支承基板21的厚度方向上排列的层叠构造。在上述的层叠构造中，可以设置有多个高声阻抗层，也可以设置有多个低声阻抗层。在该情况下，上述的层叠构造是多个高声阻抗层和多个低声阻抗层在高声速支承基板21的厚度方向上隔一层交替地排列的构造。
高声阻抗层例如由铂、钨、氮化铝、钽酸锂、蓝宝石、铌酸锂、氮化硅或者氧化锌构成。
低声阻抗层例如由氧化硅、铝或者钛构成。
此外，具备多个IDT电极3的弹性波装置1b、1c、1d、1e、1f的结构不限于纵向耦合谐振器型滤波器，例如也可以为梯型滤波器等。
(总结)
根据以上说明的实施方式等，公开了以下的方式。
第1方式涉及的弹性波装置(1；1a；1b；1c；1d；1e；1f)具备第1端子(11)、第2端子(12)、压电体部(24；24f)、IDT电极(3)、和反射器(8)。第2端子(12)成为比第1端子(11)的电位低的电位。IDT电极(3)设置在压电体部(24；24f)上，并与第1端子(11)以及第2端子(12)电连接。IDT电极(3)具有第1汇流条(4)、第2汇流条(5)、多个第1电极指(6)、和多个第2电极指(7)。第1汇流条(4)与第1端子(11)电连接。第2汇流条(5)在第1方向(D1)上与第1汇流条(4)对置，并与第2端子(12)电连接。多个第1电极指(6)与第1汇流条(4)连接，并在第1方向(D1)上从第1汇流条(4)向第2汇流条(5)侧延伸。多个第2电极指(7)与第2汇流条(5)连接，并在第1方向(D1)上从第2汇流条(5)向第1汇流条(4)侧延伸。多个第1电极指(6)和多个第2电极指(7)在与第1方向(D1)正交的第2方向(D2)上相互隔离地排列。多个第1电极指(6)和第2汇流条(5)分离。多个第2电极指(7)和第1汇流条(4)分离。多个第1电极指(6)以及多个第2电极指(7)各自的至少一个电极指(第1电极指6、第2电极指7)的前端部(61、71)包含与至少一个电极指(第1电极指6、第2电极指7)的第1方向(D1)的中央部(60、70)相比第2方向(D2)的宽度大的宽幅部(62、72)。第1汇流条(4)以及第2汇流条(5)各自包含开口部(40、50)、内侧汇流条部(42、52)、外侧汇流条部(41、51)、和连结部(43、53)。内侧汇流条部(42、52)在第1方向(D1)上位于比开口部(40、50)更靠多个第1电极指(6)以及多个第2电极指(7)侧。外侧汇流条部(41、51)在第1方向(D1)上位于从开口部(40、50)观察与内侧汇流条部(42、52)相反侧。连结部(43、53)在第1方向(D1)上将内侧汇流条部(42、52)和外侧汇流条部(41、51)连结。在将包含多个第1电极指(6)和多个第2电极指(7)的一组电极指之中位于第2方向(D2)上的一端的电极指(第2电极指7L或者第2电极指7R)设为第1端电极指，将位于另一端的电极指(第2电极指7R或者第2电极指7L)设为第2端电极指的情况下，第1端电极指(第2电极指7L或者第2电极指7R)至少在前端部(前端部71)具有宽幅部(宽幅部72)。第1端电极指(第2电极指7L或者第2电极指7R)在第2方向(D2)上位于反射器(8)与第2端电极指(第2电极指7R或者第2电极指7L)之间。第1汇流条(4)和第2汇流条(5)之中不与第1端电极指(第2电极指7L或者第2电极指7R)连接的汇流条(第1汇流条4)的内侧汇流条部(内侧汇流条部42)在第2方向(D2)上位于比第1端电极指(第2电极指7L或者第2电极指7R)的宽幅部(宽幅部72)更靠内侧，使得在第1方向(D1)上不与第1端电极指(第2电极指7L或者第2电极指7R)的宽幅部(宽幅部72)重叠。
在第1方式涉及的弹性波装置(1；1a；1b；1c；1d；1e；1f)中，能够在抑制活塞模式的阻碍的同时谋求ESD耐性的提高。
第2方式涉及的弹性波装置(1；1a)在第1方式中，具备两个反射器(8)。两个反射器(8)在第2方向(D2)上在IDT电极(3)的两相邻处各配置有一个。第2端电极指(第2电极指7R或者第2电极指7L)至少在前端部(前端部71)具有宽幅部(宽幅部72)。第1汇流条(4)和第2汇流条(5)之中不与第1端电极指(第2电极指7L或者第2电极指7R)连接的汇流条(第1汇流条4)的内侧汇流条部(内侧汇流条部42)在第2方向D2上位于比第1端电极指(第2电极指7L或者第2电极指7R)的宽幅部(宽幅部72)以及第2端电极指(第2电极指7R或者第2电极指7L)的宽幅部(宽幅部72)更靠内侧，使得在第1方向(D1)上不与第1端电极指(第2电极指7L或者第2电极指7R)的宽幅部(宽幅部72)以及第2端电极指(第2电极指7R或者第2电极指7L)的宽幅部(宽幅部72)重叠。
在第2方式涉及的弹性波装置(1；1a)中，两个反射器(8)在第2方向(D2)上在IDT电极(3)的两相邻处各配置有一个的结构中，能够在抑制活塞模式的阻碍的同时谋求ESD耐性的提高。
第3方式涉及的弹性波装置(1；1a；1b；1c；1d；1e；1f)在第1方式或者第2方式中，在IDT电极(3)中，在第2方向(D2)上内侧汇流条部(42、52)位于比外侧汇流条部(41、51)更靠内侧。
在第3方式涉及的弹性波装置(1；1a；1b；1c；1d；1e；1f)中，能够在抑制活塞模式的阻碍的同时谋求ESD耐性的提高。
第4方式涉及的弹性波装置(1b；1c；1d；1e；1f)具备第1端子(11)、第2端子(12)、压电体部(24；24f)、和多个IDT电极(3)。第2端子(12)成为比第1端子(11)的电位低的电位。多个IDT电极(3)设置在压电体部(24；24f)上，并与第1端子(11)以及第2端子(12)电连接。多个IDT电极(3)各自具有第1汇流条(4)、第2汇流条(5)、多个第1电极指(6)、和多个第2电极指(7)。第2汇流条(5)在第1方向(D1)上与第1汇流条(4)对置。多个第1电极指(6)与第1汇流条(4)连接，并在第1方向(D1)上从第1汇流条(4)向第2汇流条(5)侧延伸。多个第2电极指(7)与第2汇流条(5)连接，并在第1方向(D1)上从第2汇流条(5)向第1汇流条(4)侧延伸。多个第1电极指(6)和多个第2电极指(7)在与第1方向(D1)正交的第2方向(D2)上相互隔离地排列。多个第1电极指(6)和第2汇流条(5)分离。多个第2电极指(7)和第1汇流条(4)分离。多个第1电极指(6)以及多个第2电极指(7)各自的至少一个电极指(第1电极指6、第2电极指7)的前端部(61、71)包含与至少一个电极指(第1电极指6、第2电极指7)的第1方向(D1)的中央部(60、70)相比第2方向(D2)的宽度大的宽幅部(62、72)。第1汇流条(4)以及第2汇流条(5)各自包含开口部(40、50)、内侧汇流条部(42、52)、外侧汇流条部(41、51)、和连结部(43、53)。内侧汇流条部(42、52)在第1方向(D1)上位于比开口部(40、50)更靠多个第1电极指(6)以及多个第2电极指(7)侧。外侧汇流条部(41、51)在第1方向(D1)上位于从开口部(40、50)观察与内侧汇流条部(42、52)相反侧。连结部(43、53)在第1方向(D1)上将内侧汇流条部(42、52)和外侧汇流条部(41、51)连结。在将多个IDT电极(3)之中在第2方向(D2)上相邻的两个IDT电极(3)的一者设为第1IDT电极(3A)，将另一者设为第2IDT电极(3B)时，将包含第1IDT电极(3A)的多个第1电极指(6)和多个第2电极指(7)的一组电极指之中在第2方向(D2)上位于第2IDT电极(3B)侧的端处的电极指(第1电极指6)设为第1IDT电极(3A)的第1端电极指，将位于与第2IDT电极(3B)相反侧的端处的电极指(第1电极指6)设为第1IDT电极(3A)的第2端电极指，将包含第2IDT电极(3B)的多个第1电极指(6)和多个第2电极指(7)的一组电极指之中在第2方向(D2)上位于第1IDT电极(3A)侧的端处的电极指(第1电极指6)设为第2IDT电极(3B)的第1端电极指，将位于与第1IDT电极(3A)相反侧的端处的电极指(第1电极指6)设为第2IDT电极(3B)的第2端电极指，在该情况下，第1IDT电极(3A)的第1端电极指与第1端子(11)连接，第2IDT电极(3B)的第1端电极指与第2端子(12)连接。第1IDT电极(3A)的第1端电极指和第2IDT电极(3B)的第1端电极指的至少一者至少在前端部具有宽幅部。在第1IDT电极(3A)和第2IDT电极(3B)之中的至少一个IDT电极(3)中，在上述至少一个IDT电极(3)中与第1端子(11)和第2端子(12)之中不同于第1端电极指的端子电连接的内侧汇流条部在第2方向(D2)上位于比上述至少一个IDT电极(3)的第1端电极指的宽幅部更靠内侧，使得在第1方向(D1)上不与上述至少一个IDT电极(3)的第1端电极指的宽幅部重叠。
在第4方式涉及的弹性波装置(1b；1c；1d；1e；1f)中，能够在抑制活塞模式的阻碍的同时谋求ESD耐性的提高。
第5方式涉及的弹性波装置(1b；1c；1d；1e；1f)在第4方式中，在第1IDT电极(3A)和第2IDT电极(3B)这两个IDT电极(3)的每一个中，在上述至少一个IDT电极(3)中与第1端子(11)和第2端子(12)之中不同于第1端电极指的端子电连接的内侧汇流条部在第2方向(D2)上位于比上述至少一个IDT电极(3)的第1端电极指的宽幅部更靠内侧，使得在第1方向(D1)上不与上述至少一个IDT电极(3)的第1端电极指的宽幅部重叠。
在第5方式涉及的弹性波装置(1b；1c；1d；1e；1f)中，能够在抑制活塞模式的阻碍的同时谋求ESD耐性的提高。
第6方式涉及的弹性波装置(1b；1c；1d；1e；1f)在第4方式或者第5方式中，在上述至少一个IDT电极(3)中，在第2方向(D2)上成为与第1端电极指不同的电位的汇流条(第2汇流条5)的内侧汇流条部(内侧汇流条部52)位于比外侧汇流条部(外侧汇流条部51)更靠内侧。
在第6方式涉及的弹性波装置(1b；1c；1d；1e；1f)中，能够在抑制活塞模式的阻碍的同时谋求ESD耐性的提高。
在第7方式涉及的弹性波装置(1；1a；1b；1c；1d；1e；1f)中，在第1方式～第6方式的任一者中，弹性波装置(1；1a；1b；1c；1d；1e；1f)在从弹性波装置(1；1a；1b；1c；1d；1e；1f)的厚度方向的俯视下，在第1方向(D1)上具有彼此不同的多个区域(A1～A11)。多个区域(A1～A11)包含中央区域(区域A6)、两个外侧汇流条区域(区域A1、A11)、两个内侧汇流条区域(区域A3、A9)、两个连结区域(区域A2、A10)、两个间隙区域(区域A4、A8)、和两个宽幅区域(A7、A5)。中央区域(区域A6)在第1方向(D1)上位于中央，包含多个第1电极指(6)的中央部(60)和多个第2电极指(7)的中央部(70)。两个外侧汇流条区域(区域A1、A11)分别包含第1汇流条(4)的外侧汇流条部(41)以及第2汇流条(5)的外侧汇流条部(51)。两个内侧汇流条区域(区域A3、A9)分别包含第1汇流条(4)的内侧汇流条部(42)以及第2汇流条(5)的内侧汇流条部(52)。两个连结区域(区域A2、A10)分别包含第1汇流条(4)的连结部(43)和开口部(40)以及第2汇流条(5)的连结部(53)和开口部(50)。两个间隙区域(区域A4、A8)分别包含多个第1电极指(6)与第2汇流条(5)之间的间隙(31)以及多个第2电极指(7)与第1汇流条(4)之间的间隙(32)。两个宽幅区域(A7、A5)分别包含多个第1电极指(6)的至少一个电极指(第1电极指6)的宽幅部(62)以及多个第2电极指(7)的至少一个电极指(第2电极指7)的宽幅部(72)。在两个外侧汇流条区域(区域A1、A11)中，与中央区域(区域A6)相比弹性波的声速变慢。在两个内侧汇流条区域(区域A3、A9)中，与中央区域(区域A6)相比弹性波的声速变慢。在两个连结区域(区域A2、A10)中，与两个外侧汇流条区域(区域A1、A11)以及中央区域(区域A6)相比弹性波的声速变快。在两个间隙区域(区域A4、A8)中，与两个内侧汇流条区域(区域A3、A9)以及中央区域(区域A6)相比弹性波的声速变快。在两个宽幅区域(A7、A5)中，与中央区域(区域A6)相比弹性波的声速变慢。
附图标记说明
1、1a、1b、1c、1d、1e、1f 弹性波装置；
2、2b、2e 层叠型基板；
20 支承基板；
21 高声速支承基板；
211 第1主面；
212 第2主面；
22 高声速膜；
23 低声速膜；
24、24f 压电体部；
241、241f 一个主面；
3 IDT电极；
3A 第1IDT电极；
3B 第2IDT电极；
31 间隙；
32 间隙；
4 第1汇流条；
40 开口部；
41 外侧汇流条部；
42 内侧汇流条部；
42L 边；
5 第2汇流条；
50 开口部；
51 外侧汇流条部；
52 内侧汇流条部；
6 第1电极指；
6X 中心线；
60 中央部；
60L 边；
61 前端部；
62 宽幅部；
63 基端部；
64 宽幅部；
7 第2电极指；
7X 中心线；
7L 第2电极指(位于左侧的端处的第2电极指)；
7R 第2电极指(位于右侧的端处的第2电极指)；
70 中央部；
71 前端部；
72 宽幅部；
72LR 边；
73 基端部；
74 宽幅部；
8 反射器；
9 电极指；
11 第1端子；
11(11A) 第1端子；
11(11B) 第1端子；
12 第2端子；
12(12A) 第2端子；
12(12B) 第2端子；
13 第1布线层；
14 第2布线层；
13(13A) 第1布线层；
13(13B) 第1布线层；
14(14A) 第2布线层；
14(14B) 第2布线层；
15 电绝缘层；
16 电绝缘层；
D1 第1方向；
D2 第2方向；
A1 区域(外侧汇流条区域)；
A2 区域(连结区域)；
A3 区域(内侧汇流条区域)；
A4 区域(间隙区域)；
A5 区域(宽幅区域)；
A6 区域(中央区域)；
A7 区域(宽幅区域)；
A8 区域(间隙区域)；
A9 区域(内侧汇流条区域)；
A10 区域(连结区域)；
A11 区域(外侧汇流条区域)。

Claims (7)

1.一种弹性波装置，具备：
第1端子；
第2端子，成为比所述第1端子的电位低的电位；
压电体部；
IDT电极，设置在所述压电体部上，并与所述第1端子以及所述第2端子电连接；和
反射器，设置在所述压电体部上，并与所述第2端子电连接，
所述IDT电极具有：
第1汇流条，与所述第1端子电连接；
第2汇流条，在第1方向上与所述第1汇流条对置，并与所述第2端子电连接；
多个第1电极指，与所述第1汇流条连接，并在所述第1方向上从所述第1汇流条向所述第2汇流条侧延伸；和
多个第2电极指，与所述第2汇流条连接，并在所述第1方向上从所述第2汇流条向所述第1汇流条侧延伸，
所述多个第1电极指和所述多个第2电极指在与所述第1方向正交的第2方向上相互隔离地排列，
所述多个第1电极指和所述第2汇流条分离，
所述多个第2电极指和所述第1汇流条分离，
所述多个第1电极指以及所述多个第2电极指各自的至少一个电极指的前端部包含与所述至少一个电极指的所述第1方向的中央部相比所述第2方向的宽度大的宽幅部，
所述第1汇流条以及所述第2汇流条各自包含：
开口部；
内侧汇流条部，在所述第1方向上位于比所述开口部更靠所述多个第1电极指以及所述多个第2电极指侧；
外侧汇流条部，在所述第1方向上位于从所述开口部观察与所述内侧汇流条部相反侧；和
连结部，在所述第1方向上将所述内侧汇流条部和所述外侧汇流条部连结，
在将包含所述多个第1电极指和所述多个第2电极指的一组电极指之中位于所述第2方向上的一端的电极指设为第1端电极指，将位于另一端的电极指设为第2端电极指的情况下，所述第1端电极指至少在前端部具有所述宽幅部，
所述第1端电极指在所述第2方向上位于所述反射器与所述第2端电极指之间，
所述第1汇流条和所述第2汇流条之中不与所述第1端电极指连接的汇流条的内侧汇流条部，在所述第2方向上位于比所述第1端电极指的所述宽幅部更靠内侧，使得在所述第1方向上不与所述第1端电极指的所述宽幅部重叠。
2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，
具备两个所述反射器，
所述两个反射器在所述第2方向上在所述IDT电极的两相邻处各配置一个，
所述第2端电极指至少在前端部具有所述宽幅部，
所述第1汇流条和所述第2汇流条之中不与所述第1端电极指连接的汇流条的内侧汇流条部在所述第2方向上位于比所述第1端电极指的所述宽幅部以及所述第2端电极指的所述宽幅部更靠内侧，使得在所述第1方向上不与所述第1端电极指的所述宽幅部以及所述第2端电极指的所述宽幅部重叠。
3.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，
在所述IDT电极中，在所述第2方向上所述内侧汇流条部位于比所述外侧汇流条部更靠内侧。
4.一种弹性波装置，具备：
第1端子；
第2端子，成为比所述第1端子的电位低的电位；
压电体部；和
多个IDT电极，设置在所述压电体部上，并与所述第1端子以及所述第2端子电连接，
所述多个IDT电极各自具有：
第1汇流条；
第2汇流条，在第1方向上与所述第1汇流条对置；
多个第1电极指，与所述第1汇流条连接，并在所述第1方向上从所述第1汇流条向所述第2汇流条侧延伸；和
多个第2电极指，与所述第2汇流条连接，并在所述第1方向上从所述第2汇流条向所述第1汇流条侧延伸，
所述多个第1电极指和所述多个第2电极指在与所述第1方向正交的第2方向上相互隔离地排列，
所述多个第1电极指和所述第2汇流条分离，
所述多个第2电极指和所述第1汇流条分离，
所述多个第1电极指以及所述多个第2电极指各自的至少一个电极指的前端部包含与所述至少一个电极指的所述第1方向的中央部相比所述第2方向的宽度大的宽幅部，
所述第1汇流条以及所述第2汇流条各自包含：
开口部；
内侧汇流条部，在所述第1方向上位于比所述开口部更靠所述多个第1电极指以及所述多个第2电极指侧；
外侧汇流条部，在所述第1方向上位于从所述开口部观察与所述内侧汇流条部相反侧；和
连结部，在所述第1方向上将所述内侧汇流条部和所述外侧汇流条部连结，
在将所述多个IDT电极之中在所述第2方向上相邻的两个IDT电极的一者设为第1IDT电极，将另一者设为第2IDT电极时，
将包含所述第1IDT电极的所述多个第1电极指和所述多个第2电极指的一组电极指之中在所述第2方向上位于所述第2IDT电极侧的端处的电极指设为所述第1IDT电极的第1端电极指，将位于与所述第2IDT电极相反侧的端处的电极指设为所述第1IDT电极的第2端电极指，将包含所述第2IDT电极的所述多个第1电极指和所述多个第2电极指的一组电极指之中在所述第2方向上位于所述第1IDT电极侧的端处的电极指设为所述第2IDT电极的第1端电极指，将位于与所述第1IDT电极相反侧的端处的电极指设为所述第2IDT电极的第2端电极指，在该情况下，
所述第1IDT电极的所述第1端电极指与所述第1端子连接，
所述第2IDT电极的所述第1端电极指与所述第2端子连接，
所述第1IDT电极的所述第1端电极指和所述第2IDT电极的所述第1端电极指的至少一者至少在前端部具有所述宽幅部，
在所述第1IDT电极和所述第2IDT电极之中的至少一个IDT电极中，在所述至少一个IDT电极中与所述第1端子和所述第2端子之中不同于所述第1端电极指的端子电连接的内侧汇流条部，在所述第2方向上位于比所述至少一个IDT电极的所述第1端电极指的所述宽幅部更靠内侧，使得在所述第1方向上不与所述至少一个IDT电极的所述第1端电极指的所述宽幅部重叠。
5.根据权利要求4所述的弹性波装置，其中，
在所述第1IDT电极和所述第2IDT电极这两个IDT电极的每一个中，在所述至少一个IDT电极中与所述第1端子和所述第2端子之中不同于所述第1端电极指的端子电连接的内侧汇流条部，在所述第2方向上位于比所述至少一个IDT电极的所述第1端电极指的所述宽幅部更靠内侧，使得在所述第1方向上不与所述至少一个IDT电极的所述第1端电极指的所述宽幅部重叠。
6.根据权利要求4或5所述的弹性波装置，其中，
在所述至少一个IDT电极中，在所述第2方向上成为与所述第1端电极指不同的电位的汇流条的内侧汇流条部位于比外侧汇流条部更靠内侧。
7.根据权利要求1～6中任一项所述的弹性波装置，其中，
所述弹性波装置在从所述弹性波装置的厚度方向的俯视下，在所述第1方向上具有彼此不同的多个区域，
所述多个区域包含：
中央区域，在所述第1方向上位于中央，包含所述多个第1电极指的中央部和所述多个第2电极指的中央部；
两个外侧汇流条区域，分别包含所述第1汇流条的所述外侧汇流条部以及所述第2汇流条的所述外侧汇流条部；
两个内侧汇流条区域，分别包含所述第1汇流条的所述内侧汇流条部以及所述第2汇流条的所述内侧汇流条部；
两个连结区域，分别包含所述第1汇流条的连结部和开口部以及所述第2汇流条的连结部和开口部；
两个间隙区域，分别包含所述多个第1电极指与所述第2汇流条之间的间隙以及所述多个第2电极指与所述第1汇流条之间的间隙；和
两个宽幅区域，分别包含所述多个第1电极指的至少一个电极指的宽幅部以及所述多个第2电极指的至少一个电极指的宽幅部，
在所述两个外侧汇流条区域中，与所述中央区域相比弹性波的声速变慢，
在所述两个内侧汇流条区域中，与所述中央区域相比弹性波的声速变慢，
在所述两个连结区域中，与所述两个外侧汇流条区域以及所述中央区域相比弹性波的声速变快，
在所述两个间隙区域中，与所述两个内侧汇流条区域以及所述中央区域相比弹性波的声速变快，
在所述两个宽幅区域中，与所述中央区域相比弹性波的声速变慢。
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