JP5369197B2 - 弾性波装置 - Google Patents

弾性波装置 Download PDF

Info

Publication number
JP5369197B2
JP5369197B2 JP2011553872A JP2011553872A JP5369197B2 JP 5369197 B2 JP5369197 B2 JP 5369197B2 JP 2011553872 A JP2011553872 A JP 2011553872A JP 2011553872 A JP2011553872 A JP 2011553872A JP 5369197 B2 JP5369197 B2 JP 5369197B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
bus bar
signal connection
ground
electrode
signal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2011553872A
Other languages
English (en)
Other versions
JPWO2011099532A1 (ja
Inventor
宏行 田中
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kyocera Corp
Original Assignee
Kyocera Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kyocera Corp filed Critical Kyocera Corp
Priority to JP2011553872A priority Critical patent/JP5369197B2/ja
Publication of JPWO2011099532A1 publication Critical patent/JPWO2011099532A1/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5369197B2 publication Critical patent/JP5369197B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
    • H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
    • H03H9/02818—Means for compensation or elimination of undesirable effects
    • H03H9/02921—Measures for preventing electric discharge due to pyroelectricity
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/0023—Balance-unbalance or balance-balance networks
    • H03H9/0028—Balance-unbalance or balance-balance networks using surface acoustic wave devices
    • H03H9/0033—Balance-unbalance or balance-balance networks using surface acoustic wave devices having one acoustic track only
    • H03H9/0038—Balance-unbalance or balance-balance networks using surface acoustic wave devices having one acoustic track only the balanced terminals being on the same side of the track
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/0023—Balance-unbalance or balance-balance networks
    • H03H9/0028—Balance-unbalance or balance-balance networks using surface acoustic wave devices
    • H03H9/0047—Balance-unbalance or balance-balance networks using surface acoustic wave devices having two acoustic tracks
    • H03H9/0052—Balance-unbalance or balance-balance networks using surface acoustic wave devices having two acoustic tracks being electrically cascaded
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
    • H03H9/02818—Means for compensation or elimination of undesirable effects
    • H03H9/02952—Means for compensation or elimination of undesirable effects of parasitic capacitance
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/25—Constructional features of resonators using surface acoustic waves
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/46—Filters
    • H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
    • H03H9/6423—Means for obtaining a particular transfer characteristic
    • H03H9/6433—Coupled resonator filters
    • H03H9/6436—Coupled resonator filters having one acoustic track only

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)

Description

本発明は、弾性表面波（ＳＡＷ：Surface Acoustic Wave）装置等の弾性波装置に関する。
ＳＡＷの伝搬方向に複数のＩＤＴ電極が配列された縦結合多重モードＳＡＷフィルタを有するＳＡＷ装置が知られている（例えば特許文献１）。特許文献１は、静電気放電（ＥＳＤ：ElectroStatic Discharge）に対する耐性を向上させるために、各ＩＤＴ電極をいわゆる直列分割型のＩＤＴ電極としている。すなわち、特許文献１の各ＩＤＴ電極においては、ＳＡＷの伝搬方向に直交する方向の一方側に配置され、信号線に接続される第１の櫛歯状電極と、前記直交する方向の他方側に配置され、グランドに接続される第２の櫛歯状電極との間に、電気的に浮遊状態の第３の櫛歯状電極が配置されている。
しかし、特許文献１のように、ＩＤＴ電極を直列分割型とすると、伝搬方向に直交する方向にＳＡＷ装置が大型化してしまう。
従って、大型化することなく、ＥＳＤ耐性を向上できる弾性波装置が提供されることが望ましい。
特開２００６−３１１１８０号公報
本発明の一態様としての弾性波装置は、基板と、信号線に接続され、前記基板を伝搬する弾性波の伝搬方向に延びている第１信号接続バスバーと、グランドに接続され、前記第１信号接続バスバーと対向する位置に位置した第１接地バスバーと、前記第１信号接続バスバーおよび前記第１接地バスバーからこれらの対向方向に延びている複数の第１電極指とを有し、前記基板の主面に位置した第１ＩＤＴ電極と、信号線に接続され、前記第１接地バスバーの長手方向に沿って該第１接地バスバーの隣に位置した第２信号接続バスバーと、前記第２信号接続バスバーと対向する位置に位置し、かつ前記第１信号接続バスバーの長手方向に沿って該第１信号接続バスバーの隣に位置した、グランドに接続される第２接地バスバーと、前記第２信号接続バスバーおよび前記第２接地バスバーからこれらの対向方向に延びる複数の第２電極指とを有し、前記基板の主面に位置した第２ＩＤＴ電極と、前記第１接地バスバーと前記第２信号接続バスバーとの間、および前記第１信号接続バスバーと前記第２接地バスバーとの間の少なくとも一方の間に位置し、前記第１接地バスバー、前記第２信号接続バスバー、前記第１信号接続バスバー、および前記第２接地バスバーのいずれのバスバーとも接続されない前記基板の主面に位置した浮き部材とを有する。
上記の構成を有する弾性波装置によれば、第１接地バスバー、第２信号接続バスバー、第１信号接続バスバー、および第２接地バスバーのいずれのバスバーとも接続されない浮き部材を設けたことによって、全体構造を大型化することなく、ＥＳＤ耐性を向上させることができる。
本発明の第１の実施形態に係るＳＡＷ装置の構成を示す平面図である。 第１の比較例に係るＳＡＷ装置を示す平面図である。 本発明の第２の実施形態に係るＳＡＷ装置の構成を示す平面図である。 本発明の第３の実施形態に係るＳＡＷ装置の構成を示す平面図である。 本発明の第４の実施形態に係るＳＡＷ装置の構成を示す平面図である。 本発明の第５の実施形態に係るＳＡＷ装置の構成を示す平面図である。 本発明の第６の実施形態に係るＳＡＷ装置の構成を示す平面図である。 本発明の第７の実施形態に係るＳＡＷ装置の構成を示す平面図である。 本発明の第８の実施形態に係るＳＡＷ装置の構成を示す平面図である。 本発明の第９の実施形態に係るＳＡＷ装置の構成を示す平面図である。 本発明の第１０の実施形態に係るＳＡＷ装置の構成を示す平面図である。 図１２（ａ）は浮き部材の第１変形例を示す平面図であり、図１２（ｂ）は浮き部材の第２変形例を示す平面図である。 第２の比較例に係るＳＡＷ装置を示す平面図である。 図１４（ａ）は比較例１における破壊時の電圧値のヒストグラムであり、図１４（ｂ）は実施例１における破壊時の電圧値のヒストグラムである。 実施例２および比較例２の透過特性を示す図である。
以下、本発明の実施形態に係るＳＡＷ装置について、図面を参照して説明する。なお、以下の説明で用いられる図は模式的なものであり、図面上の寸法比率等は現実のものとは必ずしも一致していない。
また、説明の対象となる比較例や実施形態において、既に説明された比較例または実施形態の構成と同一または類似する構成については、既に説明された比較例または実施形態の構成と同一の符号を付すことがあり、また、説明を省略することがある。
符号は、同一または類似する構成のものについて、「ＩＤＴ電極１１Ａ、ＩＤＴ電極１１Ｂ」などのように、同一の数字の符号と、互いに異なる大文字のアルファベットの付加符号とが組み合わされたものが使用されることがある。また、この場合において、上記の付加符号が省略されることがあるものとする。
以下では、ＩＤＴ電極の数、および、入力−出力の形式（不平衡−不平衡型など）などが互いに異なる複数の比較例および実施形態について説明がなされる。
説明は、以下の順に行う。
（１）３ＩＤＴ、不平衡−不平衡型（１）
（１−１）第１の実施形態（第１の比較例）
（１−２）第２の実施形態
（１−３）第３の実施形態
（２）３ＩＤＴ、不平衡−不平衡型（２）
（２−１）第４の実施形態
（３）３ＩＤＴ、不平衡−平衡型（１）
（３−１）第５の実施形態
（３−２）第６の実施形態
（４）３ＩＤＴ、不平衡−平衡型（２）
（４−１）第７の実施形態
（４−２）第８の実施形態
（５）７ＩＤＴ
（５−１）第９の実施形態
（６）２段のＩＤＴ
（６−１）第１０の実施形態
なお、例えば、不平衡−平衡型は、ＳＡＷ装置において、不平衡信号が入力され、平衡信号が出力されることを意味する。不平衡信号は、基準電位に対する電位を信号レベルとする信号である。一方、平衡信号は、２つの信号からなり、２つの信号の電位差を信号レベルとする信号である。
＜３ＩＤＴ、不平衡−不平衡型＞
（第１の実施形態）
図１は、本発明の第１の実施形態に係るＳＡＷ装置１を示す平面図である。
ＳＡＷ装置１は、不平衡信号が入力され、その入力された不平衡信号をフィルタリングし、不平衡信号を出力するフィルタ装置として構成されている。その入力から出力までの過程において、ＳＡＷ装置１は、電気信号のＳＡＷへの変換、およびＳＡＷの電気信号への変換も行う。
ＳＡＷ装置１は、ＳＡＷが伝搬する基板３を有している。また、ＳＡＷ装置１は、基板３の主面３ａ上において、不平衡信号が入力される入力端子５と、入力された信号をフィルタリングするＳＡＷ素子７と、フィルタリングされた不平衡信号を出力する出力端子９とを有している。この他にも、ＳＡＷ装置１は、ＳＡＷ素子上に空間を形成しつつＳＡＷ素子を覆うカバー等を有するが、図示は省略する。
基板３は、圧電効果を示す圧電体によって構成された、いわゆる圧電基板である。圧電体は、例えばＬｉＮｂＯ３やＬｉＴａＯ３である。なお、基板３の平面形状は適宜に設定されてよい。
ＳＡＷは、ＳＡＷ素子７に励起されて主面３ａを矢印で示す伝搬方向Ｄ１において伝搬する。なお、以下では、主面３ａに沿う方向であって伝搬方向Ｄ１に直交する方向を直交方向Ｄ２ということがある。
入力端子５は、主面３ａに１つのみ設けられている。入力端子５には、不平衡信号が入力される。
ＳＡＷ素子７は、縦結合ダブルモード型の共振子ＳＡＷフィルタによって構成されている。具体的には、ＳＡＷ素子７は、伝搬方向Ｄ１に配列された複数のＩＤＴ電極１１と、これら複数のＩＤＴ電極１１の列の両端に配置された反射器１３とを有している。ＩＤＴ電極１１の数は、本実施形態では３個である。
各ＩＤＴ電極１１は、１対の櫛歯状電極１５を有している。櫛歯状電極１５は、伝搬方向Ｄ１に延びるバスバー１７と、バスバー１７から直交方向Ｄ２に延びる複数の電極指１９と、複数の電極指１９間においてバスバー１７から直交方向Ｄ２に突出するダミー電極指２１とを有している。なお、図１は模式図であることから、電極指１９の数を実際よりも少なくして示している。
１対の櫛歯状電極１５は、互いのバスバー１７が直交方向Ｄ２において対向し、複数の電極指１９が互いに噛み合う（交差する）ように配置されている。その交差する範囲Ｒの幅（交差幅Ｗ）は例えば一定である。ダミー電極指２１の先端は、ダミー電極指２１が設けられたバスバー１７と対向するバスバー１７からダミー電極指２１側へ延びる電極指１９の先端と所定の間隔で対向している。換言すれば、ダミー電極指２１は、範囲Ｒに向かって範囲Ｒの手前位置まで延びている。
各ＩＤＴ電極１１において、互いに対向する櫛歯状電極１５（バスバー１７）の一方は、信号線に接続され、互いに対向する櫛歯状電極１５（バスバー１７）の他方はグランドに接続されている。
なお、広義には、基準電位が付与される（グランドに接続される）配線も信号線であるが、本実施形態において、信号線に接続されているとは、基準電位に対して電位が変動する信号が流れる点に接続されていることをいうものとする。また、基準電位は、０Ｖとは限らない。
以下では、信号線に接続された櫛歯状電極、バスバー、電極指、ダミー電極の符号には、Ｓの付加符号を付すことがあり、また、「信号接続バスバー」と呼ぶなど、「信号接続」の文字を名称の頭に付すことがあるものとする。また、グランドに接続された櫛歯状電極、バスバー、電極指、ダミー電極の符号には、Ｇの付加符号を付すことがあり、また、「接地バスバー」と呼ぶなど、「接地」の文字を名称の頭に付すことがあるものとする。
図１では、ハッチングの有無によって、このような接続の相違を表している。すなわち、ハッチングが付されていない櫛歯状電極１５は、信号線に接続されたものであり、ハッチングが付されている櫛歯状電極１５は、グランドに接続されたものである。
複数のＩＤＴ電極１１のうち、中央に配置されたＩＤＴ電極１１Ｂにおいては、信号接続バスバー１７Ｓが入力端子５側に、接地バスバー１７Ｇが出力端子９側に配置されている。また、ＩＤＴ電極１１Ｂの信号接続バスバー１７Ｓは、入力側信号線６を介して入力端子５に接続されている。
ＩＤＴ電極１１Ｂの両側に配置されたＩＤＴ電極１１Ａおよび１１Ｃにおいては、信号接続バスバー１７Ｓが出力端子９側に配置され、接地バスバー１７Ｇが入力端子５側に配置されている。ＩＤＴ電極１１Ａおよび１１Ｃの信号接続バスバー１７Ｓは、出力側信号線８を介して出力端子９に接続されている。
入力端子５からの不平衡信号ｓがＩＤＴ電極１１Ｂによって基板３に印加されると、不平衡信号ｓがＳＡＷに変換され、伝搬方向Ｄ１において伝搬する。ＩＤＴ電極１１Ａおよび１１Ｃは、そのＳＡＷを電気信号に変換して出力端子９へ出力する。この過程において、隣接する電極指の中心間距離を概ね半波長とする信号が抽出されることによって、フィルタリングが行われる。
複数の電極指の中心間距離は、信号の概ね半波長であるから、隣接する電極指１９同士は、位相が互いに１８０°異なる（逆相）信号に対応することになる。ここで、ＩＤＴ電極１１Ｂの複数の信号接続電極指１９Ｓと、ＩＤＴ電極１１Ａの信号接続電極指１９Ｓとの間に配置された、接地電極指１９Ｇの数は２（偶数）である。従って、ＩＤＴ電極１１Ａの信号接続バスバー１７Ｓは、ＩＤＴ電極１１Ｂの信号接続バスバー１７Ｓに入力された信号とは位相が１８０°異なる信号を出力する。換言すれば、ＩＤＴ電極１１Ａは、不平衡信号ｓの位相を反転した反転信号ｓ１を出力する。
同様に、ＩＤＴ電極１１Ｂの複数の信号接続電極指１９Ｓと、ＩＤＴ電極１１Ｃの信号接続電極指１９Ｓとの間に配置された、接地電極指１９Ｇの数は２（偶数）である。従って、ＩＤＴ電極１１Ｃの信号接続バスバー１７Ｓは反転信号ｓ１を出力する。
そして、ＩＤＴ電極１１Ａからの反転信号ｓ１と、ＩＤＴ電極１１Ｃからの反転信号ｓ１とは足し合わされて、不平衡信号として出力端子９から出力される。
ＩＤＴ電極１１Ｂの接地バスバー１７Ｇと、ＩＤＴ電極１１Ａおよび１１Ｃとの間には、浮き部材２３が設けられている。浮き部材２３は、信号線（入力端子５、出力端子９）およびグランドのいずれにも接続されておらず、電気的に浮遊した状態となっている。浮き部材２３は、電気的に浮遊した状態となっていれば、平面形状については特に限定されず、矩形状、台形状、円形状、これらを組み合わせたものなど任意の形状が可能である。なお、本実施形態では浮き部材２３の平面形状は矩形状である。
また、浮き部材２３は、直交方向Ｄ２における幅が隣接するバスバーの直交方向Ｄ２における幅と同じであり、直交方向Ｄ２における浮き部材２３の両端部は、隣接するバスバーの直交方向Ｄ２における両端部の位置と揃っている。このように浮き部材２３の直交方向Ｄ２における幅を隣接するバスバーの直交方向Ｄ２における幅と同じにし、その両端部を隣接するバスバーの直交方向Ｄ２における両端部の位置と揃えた配置としておくことによって、隣接するバスバー間の領域において、ＳＡＷが伝搬する媒体の不連続性が浮き部材２３により緩和されるため、フィルタの損失特性の劣化を抑えることができる。同様に、ＳＡＷが伝搬する媒体の不連続性を緩和する観点から、浮き部材２３と隣接するバスバーとの間隔は、ＳＡＷの波長より小さくしておくことが好ましく、より好ましくはＳＡＷの半波長以下である。さらには、浮き部材２３の厚みを隣接するバスバーの厚みと同じにしておくことによっても、ＳＡＷが伝搬する媒体の不連続性を緩和することができると考えられる。
また、浮き部材２３には、ダミー電極指２５が接続されている。ダミー電極指２５は、浮き部材２３から直交方向Ｄ２に沿って範囲Ｒ側に延びている。ダミー電極指２５の先端は、浮き部材２３が対向するバスバー１７から浮き部材２３側へ延びる電極指１９の先端と所定の間隔で対向している。浮き部材２３のダミー電極指２５は所定の領域内に位置している。具体的には、ＩＤＴ電極１１Ｂの信号接続バスバー１７Ｓから延びる電極指１９Ｓの先端とＩＤＴ電極１１Ａの接地バスバー１７Ｇから延びる電極指１９Ｇの先端とを結ぶラインと、ＩＤＴ電極１１Ｂの接地バスバー１７ＧおよびＩＤＴ電極１１Ａの信号接続バスバー１７Ｓとの間の第１領域内（範囲ＲとＩＤＴ電極１１Ｂの接地バスバー１７ＧおよびＩＤＴ電極１１Ａの信号接続バスバー１７Ｓとの間の領域内）に浮き部材２３のダミー電極指２５が位置している。すなわち、ダミー電極指２５は、範囲Ｒの手前の位置まで延びている。なお、浮き部材２３がＩＤＴ電極１１Ｂの信号接続バスバー１７ＳとＩＤＴ電極１１Ａの接地バスバー１７Ｇとの間に設けられている場合には、その浮き部材２３に設けられるダミー電極指２５は、範囲ＲとＩＤＴ電極１１Ｂの信号接続バスバー１７ＳおよびＩＤＴ電極１１Ａの接地バスバー１７Ｇとの間の領域である第２領域内に位置している。
浮き部材２３の幅（伝搬方向Ｄ１の大きさ）は、例えば、電極指１９等の各種電極指の幅と概ね同等である。なお、浮き部材２３の幅とダミー電極指２５の幅とが同等であっても、浮き部材２３に隣接するバスバー（ＩＤＴ電極１１Ｂの接地バスバー１７ＧおよびＩＤＴ電極１１Ａおよび１１Ｃの信号接続バスバー１７Ｓ）よりも、浮き部材２３と対向するバスバー（ＩＤＴ電極１１Ｂの信号接続バスバー１７ＳおよびＩＤＴ電極１１Ａおよび１１Ｃの接地バスバー１７Ｇ）側に突出する部分をダミー電極指２５として特定可能である。
以上の第１の実施形態のＳＡＷ装置１の作用を説明する。
図２は、第１の比較例に係るＳＡＷ装置４０を示す平面図である。なお、以降の比較例および実施形態の図においては、基板３の図示は省略するものとする。
ＳＡＷ装置４０は、浮き部材２３を有しておらず、中央のＩＤＴ電極４１Ｂの接地バスバー１７Ｇと、その両側のＩＤＴ電極４１Ａおよび４１Ｃの信号接続バスバー１７Ｓとは互いに隣接している。
ここで、複数の電極指１９は、フィルタ特性向上の観点から、各ＩＤＴ電極の伝搬方向Ｄ１の端部（ＩＤＴ電極間となる領域）において、ピッチ（ＩＤＴ電極間のピッチ含む）が狭くなるように配置されることがある。この場合、信号接続バスバー１７Ｓと接地バスバー１７Ｇとの間も狭くなる。また、バスバー１７は、電極指１９よりも面積が広く、電流が流れやすい。従って、第１の比較例のＳＡＷ装置４０においては、接地バスバー１７Ｇと信号接続バスバー１７Ｓとの間において、ＥＳＤが生じやすくなっている。
なお、入力側におけるバスバー１７間と、出力側におけるバスバー１７間との、いずれのバスバー１７間においてＥＳＤが生じやすいかは、入出力の形式、各ＩＤＴ電極の構成、複数のＩＤＴ電極の配置など、種々の要因によって異なる。第１の比較例では、出力側のバスバー１７間（ＩＤＴ電極４１Ｂの接地バスバー１７Ｇと、ＩＤＴ電極４１Ａおよび４１Ｃの信号接続バスバー１７Ｓとの間）においてＥＳＤが生じやすい場合を想定している。
一方、第１の実施形態では、ＩＤＴ電極１１Ｂの接地バスバー１７Ｇと、ＩＤＴ電極１１Ａおよび１１Ｃの信号接続バスバー１７Ｓとの間には、浮き部材２３が配置されている。そして、ＩＤＴ電極１１Ｂの接地バスバー１７Ｇと、ＩＤＴ電極１１Ａおよび１１Ｃの信号接続バスバー１７Ｓとの間の距離ｄ１は、第１の比較例におけるＩＤＴ電極４１Ｂの接地バスバー１７Ｇと、ＩＤＴ電極４１Ａおよび４１Ｃの信号接続バスバー１７Ｓとの距離ｄ２よりも大きくなっている。
従って、第１の実施形態によれば、ＩＤＴ電極１１Ｂの接地バスバー１７Ｇと、ＩＤＴ電極１１Ａおよび１１Ｃの信号接続バスバー１７Ｓとの間においてＥＳＤが生じることを抑制できる。ＥＳＤが最も生じやすい箇所においてＥＳＤを抑制することによって、ＳＡＷ装置１全体としてのＥＳＤ耐性が向上することになる。さらに、接地バスバー１７Ｇと信号接続バスバー１７Ｓとの間のスペースに浮き部材２３が配置されることによって、接地バスバー１７Ｇと信号接続バスバー１７Ｓとの間のスペースの多くが浮き部材２３で覆われることになる。隣接するバスバー間に電極が形成されていない大きな空きスペースがある場合、バスバー上を伝搬するＳＡＷの分布が不連続となりＳＡＷの分布が不安定となるが、接地バスバー１７Ｇと信号接続バスバー１７Ｓとの間のスペースに浮き部材２３を配置することによってバスバー上を伝搬するＳＡＷの分布の連続性が保持され、ＳＡＷの漏れを抑制し、挿入損失を小さくすることができる。
浮き部材２３の材料としては、例えば、Ａｌ、Ａｌ−Ｃｕ合金、Ｃｕ、またはＡｕなどの金属材料、Ｔａ２Ｏ５、ＴａＳｉ２などの絶縁材料を用いることができるが、ＳＡＷ装置の製造プロセスの効率化および挿入損失特性を考慮すると、ＩＤＴ電極と同一材料によって形成することが好ましい。
なお、浮き部材２３を設ける代わりに、ＩＤＴ電極１１Ａおよび１１Ｃの、ＩＤＴ電極１１Ｂ側の端部の接地電極指１９Ｇを、ＩＤＴ電極１１Ｂの接地バスバー１７Ｇと、ＩＤＴ電極１１Ａおよび１１Ｃの信号接続バスバー１７Ｓとの間まで延長させることが考えられる。しかし、この場合、延長部分においても励振が行われるから、本実施形態よりもＳＡＷの漏れが多くなる。
また、浮き部材２３においても、接地バスバー１７Ｇおよび信号接続バスバー１７Ｓと同様にダミー電極指２５が設けられていることによって、ＳＡＷの漏れを一層抑制することができる。
（第２の実施形態）
図３は、本発明の第２の実施形態に係るＳＡＷ装置６０を示す平面図である。
ＳＡＷ装置６０は、第１の実施形態のＳＡＷ装置１と同様に、中央のＩＤＴ電極６１Ｂの複数の信号接続電極指１９Ｓと、隣接するＩＤＴ電極６１Ａまたは６１Ｃの複数の信号接続電極指１９Ｓとの間の接地電極指１９Ｇの数が２本（偶数）となっている。
ただし、２本の接地電極指１９Ｇは、いずれも、ＩＤＴ電極６１Ａまたは６１Ｃの接地バスバー１７Ｇから延びている。そして、浮き部材７３は、伝搬方向Ｄ１において、その２本の接地電極指１９Ｇの配置範囲に亘って形成されている。また、浮き部材７３に接続されたダミー電極指２５は、上記の２本の接地電極指１９Ｇに対応して２本設けられている。
第２の実施形態によれば、第１の実施形態と同様の効果が得られる。すなわち、浮き部材２３が設けられることによって、装置の大型化を抑制しつつ、ＥＳＤ耐性を向上させ、且つ、挿入損失の低下を抑制することができる。さらに、第２の実施形態では、浮き部材７３は、伝搬方向Ｄ１において電極指１９の２本分に亘る長さを有していることから、信号接続バスバー１７Ｓと接地バスバー１７Ｇとの距離がより長くなり、ＥＳＤ耐性の向上がさらに期待される。
（第３の実施形態）
図４は、本発明の第３の実施形態に係るＳＡＷ装置９０を示す平面図である。
ＳＡＷ装置９０は、浮き部材２３が、出力側だけでなく、入力側にも設けられている。また、別の観点では、浮き部材２３が、直交方向Ｄ２の両側に設けられている。具体的には、以下のとおりである。
中央のＩＤＴ電極９１Ｂと、隣接するＩＤＴ電極９１Ａまたは９１Ｃとの間の接地電極指１９Ｇの構成は、第１の実施形態と同様である。すなわち、当該ＩＤＴ電極間の接地電極指１９Ｇの数は、２本（偶数）であり、また、２本の接地電極指１９Ｇの一方は、ＩＤＴ電極９１Ｂの接地バスバー１７Ｇから延び、他方は、ＩＤＴ電極９１Ａまたは９１Ｃの接地バスバー１７Ｇから延びている。
そして、浮き部材２３は、ＩＤＴ電極９１Ｂの接地バスバー１７Ｇと、ＩＤＴ電極９１Ａおよび９１Ｃの信号接続バスバー１７Ｓとの間に設けられている。また、浮き部材２３は、ＩＤＴ電極９１Ｂの信号接続バスバー１７Ｓと、ＩＤＴ電極９１Ａおよび９１Ｃの接地バスバー１７Ｇとの間においても設けられている。
第３の実施形態によれば、他の実施形態と同様の効果が得られる。すなわち、浮き部材２３が設けられることによって、装置の大型化を抑制しつつ、ＥＳＤ耐性を向上させ、且つ、挿入損失の低下を抑制することができる。さらに、第３の実施形態では、浮き部材７３は、入力側と出力側との双方に設けられていることから、入力側と出力側との双方においてＥＳＤに対する耐性を向上させることができる。このような態様は、入力側と出力側とでＥＳＤの生じやすさにあまり差がない場合などに有効である。
＜３ＩＤＴ、不平衡−不平衡型（２）＞
（第４の実施形態）
図５は、本発明の第４の実施形態に係るＳＡＷ装置１２０を示す平面図である。
ＳＡＷ装置１２０は、第１〜３の実施形態と同様に、不平衡信号を出力する。ただし、ＳＡＷ装置１２０は、第１〜第３の実施形態と電極指１９の配置が異なり、入力された不平衡信号ｓの位相を反転していない不平衡信号（ｓ０）を出力する。また、ＳＡＷ装置１２０は、浮き部材７３が１本の接地電極指１９Ｇおよび１本の信号接続電極指１９Ｓの配置範囲に亘って形成されている点も第１〜第３の実施形態と相違する。具体的には、以下のとおりである。
ＳＡＷ装置１２０では、中央のＩＤＴ電極１２１Ｂの複数の信号接続電極指１９Ｓと、隣接するＩＤＴ電極１２１Ａの複数の信号接続電極指１９Ｓとの間の接地電極指１９Ｇの数が１（奇数）となっている。従って、ＩＤＴ電極１２１Ａの信号接続バスバー１７Ｓは、ＩＤＴ電極１２１Ｂの信号接続バスバー１７Ｓに入力された信号と同位相の信号を出力する。換言すれば、ＩＤＴ電極１２１Ａは、不平衡信号ｓの位相を反転していない非反転信号ｓ０を出力する。
同様に、ＩＤＴ電極１２１Ｂの複数の信号接続電極指１９Ｓと、ＩＤＴ電極１２１Ｃの信号接続電極指１９Ｓとの間に配置された、接地電極指１９Ｇの数は１（奇数）である。従って、ＩＤＴ電極１２１Ｃの信号接続バスバー１７Ｓは非反転信号ｓ０を出力する。
そして、ＩＤＴ電極１２１Ａからの非反転信号ｓ０と、ＩＤＴ電極１１２Ｃからの非反転信号ｓ０とは足し合わされて、不平衡信号として出力端子９から出力される。
上記の１本の接地電極指１９Ｇは、ＩＤＴ電極１２１ＡまたはＩＤＴ電極１２１Ｃの接地バスバー１７Ｇから延びている。一方、その接地バスバー１７Ｇに隣接するＩＤＴ電極１２１Ｂの信号接続バスバー１７Ｓからは、上記の１本の接地電極指１９Ｇに隣接して、信号接続電極指１９Ｓが延びている。
そして、浮き部材７３は、伝搬方向Ｄ１において、上記の１本の接地電極指１９Ｇと、当該１本の接地電極指１９Ｇに隣接するとともに同一方向に延びる信号接続電極指１９Ｓとの配置範囲に亘って形成されている。
第４の実施形態によれば、他の実施形態と同様に、装置の大型化を抑制しつつ、ＥＳＤ耐性を向上させ、且つ、挿入損失の低下を抑制する効果が得られる。また、第２の実施形態と同様に、電極指１９の２本分に亘って形成された浮き部材７３によって、より効果的なＥＳＤ耐性の向上が期待される。
ただし、第２の実施形態と第４の実施形態とを比較すると、帯域外の減衰は、第２の実施形態のほうがよい。互いに隣接するＩＤＴ電極間において配置される接地電極指１９Ｇの数が多いほうが、両電極間に不要な容量が発生しないことからである。
＜３ＩＤＴ、不平衡−平衡型（１）＞
（第５の実施形態）
図６は、本発明の第５の実施形態に係るＳＡＷ装置１５０を示す平面図である。
ＳＡＷ装置１５０は、入力された不平衡信号ｓをフィルタリングするとともに、不平衡−平衡の変換を行い、平衡信号を出力する。具体的には、以下のとおりである。
ＳＡＷ装置１５０では、中央のＩＤＴ電極１５１Ｂの複数の信号接続電極指１９Ｓと、隣接するＩＤＴ電極１５１Ａの複数の信号接続電極指１９Ｓとの間の接地電極指１９Ｇの数が１（奇数）となっている。従って、ＩＤＴ電極１５１Ａの信号接続バスバー１７Ｓは、ＩＤＴ電極１５１Ｂの信号接続バスバー１７Ｓに入力された信号と同位相の信号を出力する。換言すれば、ＩＤＴ電極１５１Ａは、不平衡信号ｓの位相を反転していない非反転信号ｓ０を出力する。
一方、中央のＩＤＴ電極１５１Ｂの複数の信号接続電極指１９Ｓと、隣接するＩＤＴ電極１５１Ｃの複数の信号接続電極指１９Ｓとの間の接地電極指１９Ｇの数は、２（偶数）となっている。従って、ＩＤＴ電極１５１Ｃの信号接続バスバー１７Ｓは、ＩＤＴ電極１５１Ｂの信号接続バスバー１７Ｓに入力された信号と位相が１８０°異なる信号を出力する。換言すれば、ＩＤＴ電極１５１Ｃは、不平衡信号ｓの位相を反転した反転信号ｓ１を出力する。
そして、ＩＤＴ電極１５１Ａからの非反転信号ｓ０は、出力端子２９Ａから出力される。また、ＩＤＴ電極１５１Ｃからの反転信号ｓ１は、出力端子２９Ｂから出力される。これによって、出力端子２９Ａおよび出力端子２９Ｂからなる平衡出力端子３０においては、平衡信号が出力される。
第５の実施形態においても、他の実施形態と同様に、ＩＤＴ電極１５１Ｂの接地バスバー１７Ｇと、ＩＤＴ電極１５１Ａおよび１５１Ｃの信号接続バスバー１７Ｓとの間には、浮き部材２３が設けられている。従って、第５の実施形態においても、他の実施形態と同様に、装置の大型化を抑制しつつ、ＥＳＤ耐性を向上させ、且つ、挿入損失の低下を抑制する効果が奏される。
第５の実施形態においては、ＩＤＴ電極１５１Ｂの信号接続バスバー１７Ｓと、ＩＤＴ電極１５１Ａおよび１５１Ｃの接地バスバー１７Ｇとの間よりも、ＩＤＴ電極１５１Ｂの接地バスバー１７Ｇと、ＩＤＴ電極１５１Ａおよび１５１Ｃの信号接続バスバー１７Ｓとの間においてＥＳＤが生じやすい。これは、入力端子５から静電気が流れ込んだ場合には、電流はＩＤＴ電極１５１Ｂの信号接続バスバー１７Ｓの両端に逃げるのに対し、出力端子２９Ａまたは２９Ｂから静電気が流れ込んだ場合には、電流はＩＤＴ電極１５１Ａまたは１５１Ｃの一方端（ＩＤＴ電極１５１Ｂの接地バスバー１７Ｇ側）に集中して逃げやすいためである。なお、通常、反射器１３とＩＤＴ電極１５１Ａの信号接続バスバー１７Ｓとの間隔よりも、ＩＤＴ電極１５１Ａのバスバー１７ＳとＩＤＴ電極１５１Ｂの接地バスバー１７Ｇの間隔の方が狭い。反射器１３とＩＤＴ電極１５１Ｃの信号接続バスバー１７Ｓとの間隔についても同様である。
そして、第５の実施形態においては、そのＥＳＤが生じやすい、ＩＤＴ電極１５１Ｂの接地バスバー１７Ｇと、ＩＤＴ電極１５１Ａおよび１５１Ｃの信号接続バスバー１７Ｓと間においてのみ浮き部材２３を設けていることから、ＳＡＷの漏れを最小限に抑えつつ、ＥＳＤを効果的に抑制できる。また、第３の実施形態のように浮き部材２３を入力側と出力側との双方に設ける場合に比較して、浮き部材２３を伝搬方向Ｄ１において大きくしやすい。
なお、出力側信号線８の途中にＳＡＷ共振子を配置してもよく、その場合は、ＩＤＴ電極１５１Ｂの信号接続バスバー１７ＳとＩＤＴ電極１５１Ａおよび１５１Ｃの接地バスバー１７Ｇとの間に、浮き部材２３を設けてもよい。
（第６の実施形態）
図７は、本発明の第６の実施形態に係るＳＡＷ装置１８０を示す平面図である。
ＳＡＷ装置１８０においては、伝搬方向Ｄ１において１本の電極指１９の配置範囲に亘って設けられた浮き部材２３と、伝搬方向Ｄ１において２本の電極指１９の配置範囲に亘って設けられた浮き部材７３とが混在している。
なお、ＩＤＴ電極１８１ＢとＩＤＴ電極１８１Ｃとの間における浮き部材２３の配置については、第５の実施形態（図６）と同様である。ＩＤＴ電極１８１ＢとＩＤＴ電極１８１Ａとの間における浮き部材７３の配置については、第４の実施形態（図５）と同様である。
第６の実施形態においても、他の実施形態と同様に、装置の大型化を抑制しつつ、ＥＳＤ耐性を向上させ、且つ、挿入損失の低下を抑制する効果が奏される。
＜３ＩＤＴ、不平衡−平衡型（２）＞
（第７の実施形態）
図８は、本発明の第７の実施形態に係るＳＡＷ装置２１０を示す平面図である。
ＳＡＷ装置２１０は、１つのＩＤＴ電極２１１Ｂから平衡信号（ｓ０、ｓ１）が出力されるように構成されている。ただし、ＩＤＴ電極２１１Ｂは、２つのＩＤＴ電極として概念化することも可能である。ＳＡＷ装置２１０の構成は、具体的には、以下のとおりである。
ＳＡＷ装置２１０は、伝搬方向Ｄ１に配列された複数のＩＤＴ電極２１１を有している。複数のＩＤＴ電極２１１の数は、本実施形態では３個である。両側のＩＤＴ電極２１１Ａおよび２１１Ｃは、他の実施形態と同様に、互いに概ね同等の大きさを有する一対の櫛歯状電極１５を有している。
中央のＩＤＴ電極２１１Ｂは、共通櫛歯状電極２１５Ｇと、分割櫛歯状電極２１５Ｓａおよび２１５Ｓｂとを有している。分割櫛歯状電極２１５Ｓａおよび２１５Ｓｂは、伝搬方向Ｄ１における大きさが概ね共通櫛歯状電極２１５Ｇの伝搬方向Ｄ１における大きさの半分となっている。そして、分割櫛歯状電極２１５Ｓａおよび２１５Ｓｂは、それぞれ共通櫛歯状電極２１５Ｇと電極指１９が噛み合うように配置されている。
ＩＤＴ電極２１１Ａおよび２１１Ｃの信号接続櫛歯状電極１５Ｓは、共に入力端子５に接続されており、不平衡信号ｓが入力される電極となっている。一方、信号接続櫛歯状電極である分割櫛歯状電極２１５Ｓａおよび２１５Ｓｂは、それぞれ、別個の出力端子２９に接続され、平衡出力端子３０に平衡信号を出力する電極となっている。
本実施形態においても、信号が入力される複数の信号接続電極指１９Ｓと、信号を出力する複数の信号接続電極指１９Ｓとの間に配置された、接地電極指１９Ｇの数が奇数または偶数に設定されることによって、位相の非反転または反転が実現される。
具体的には、ＩＤＴ電極２２１Ａの信号接続電極指１９Ｓと、分割櫛歯状電極２１５Ｓａの信号接続電極指１９Ｓとの間の接地電極指１９Ｇの間の本数は、１本（奇数）となっている。ＩＤＴ電極２２１Ｃの信号接続電極指１９Ｓと、分割櫛歯状電極２１５Ｓｂの信号接続電極指１９Ｓとの間の接地電極指１９Ｇの間の本数は、０本（偶数）となっている。
従って、分割櫛歯状電極２１５Ｓａは非反転信号ｓ０を出力し、分割櫛歯状電極２１５Ｓｂは反転信号ｓ１を出力する。すなわち、ＩＤＴ電極２１１Ｂからは平衡信号が出力される。
なお、分割櫛歯状電極２１５Ｓａと、分割櫛歯状電極２１５Ｓｂとの間においては、接地電極指１９Ｇの数は、０（偶数）に設定されており、ＳＡＷが互いに打ち消し合わないようになっている。
ＳＡＷ装置２１０においても、他の実施形態と同様に、浮き部材２３が設けられている。具体的には、分割櫛歯状電極２１５Ｓａの信号接続バスバー１７ＳとＩＤＴ電極２１１Ａの接地バスバー１７Ｇとの間には、１本の接地電極指１９Ｇの配置範囲に対応する浮き部材２３が設けられている。分割櫛歯状電極２１５Ｓｂの信号接続バスバー１７ＳとＩＤＴ電極２１１Ｃの接地バスバー１７Ｇとの間には、１本の信号接続電極指１９Ｓの配置範囲に対応する浮き部材２３が設けられている。
第７の実施形態においても、他の実施形態と同様に、装置の大型化を抑制しつつ、ＥＳＤ耐性を向上させ、且つ、挿入損失の低下を抑制する効果が奏される。また、第７の実施形態は、第７の実施形態と同様に不平衡−平衡変換を行う第５および第６の実施形態と比較すると、出力される平衡信号のバランス度がよい。これは、第７の実施形態においては、平衡出力端子３０に接続される櫛歯状電極（２１５Ｓａおよび２１５Ｓｂ）と噛み合う櫛歯状電極（２１５Ｇ）が共通化されており、電位が安定していることからである。
（第８の実施形態）
図９は、本発明の第８の実施形態に係るＳＡＷ装置２４０を示す平面図である。
ＳＡＷ装置２４０は、第７の実施形態（図８）と同様に、分割櫛歯状電極２１５Ｓａおよび２１５Ｓｂを有している。また、ＳＡＷ装置２４０では、第６の実施形態（図７）と同様に、伝搬方向Ｄ１において１本の電極指１９の配置範囲に亘る浮き部材２３と、伝搬方向Ｄ１において２本の電極指１９の配置範囲に亘る浮き部材７３とが混在している。
第８の実施形態においても、他の実施形態と同様に、装置の大型化を抑制しつつ、耐電力性を向上させ、且つ、挿入損失の低下を抑制する効果が奏される。
＜７ＩＤＴ＞
（第９の実施形態）
図１０は、本発明の第９の実施形態に係るＳＡＷ装置２７０を示す平面図である。
既に説明されたＳＡＷ装置が３つのＩＤＴ電極を有していたのに対し、ＳＡＷ装置２７０は、７つのＩＤＴ電極２７１を有している。また、ＳＡＷ装置２７０は、第５〜第８の実施形態と同様に、不平衡信号が入力され、平衡信号を出力するように構成されている。具体的には、以下のとおりである。
入力端子５は、７つのＩＤＴ電極２７１のうち、１つ置きに配置された、ＩＤＴ電極２７１Ｂ、２７１Ｄおよび２７１Ｆに接続されている。これら３つのＩＤＴ電極２７１の非配置位置に１つ置きに配置された、ＩＤＴ電極２７１Ａ、２７１Ｃ、２７１Ｅおよび２７１Ｇは、平衡出力端子３０に接続されている。また、７つのＩＤＴ電極２７１の各電極間における接地電極指１９Ｇの数は、ＩＤＴ電極２７１Ａ側から順に、２（偶数）、２（偶数）、２（偶数）、３（奇数）、３（奇数）、３（奇数）となっている。
従って、不平衡信号ｓが入力されるＩＤＴ電極２７１Ｂおよび２７１Ｄに対して、偶数本の接地電極指１９Ｇを介在させて隣接するＩＤＴ電極２７１Ａおよび２７１Ｃは、反転信号ｓ１を出力する。一方、不平衡信号ｓが入力されるＩＤＴ電極２７１Ｄおよび２７１Ｆに対して、奇数本の接地電極指１９Ｇを介在させて隣接するＩＤＴ電極２７１Ｅおよび２７１Ｇは、非反転信号ｓ０を出力する。
第９の実施形態においても、他の実施形態と同様に、接地バスバー１７Ｇと、信号接続バスバー１７Ｓとの間には、浮き部材７３が設けられている。従って、第９の実施形態においても、他の実施形態と同様に、装置の大型化を抑制しつつ、ＥＳＤ耐性を向上させ、且つ、挿入損失の低下を抑制する効果が奏される。
＜２段のＩＤＴ＞
（第１０の実施形態）
図１１は、本発明の第１０の実施形態に係るＳＡＷ装置３００を示す平面図である。
ＳＡＷ装置３００は、縦接続された２段のＳＡＷ素子３０７を有している。また、ＳＡＷ装置３００は、不平衡信号が入力され、平衡信号を出力するように構成されている。具体的には、以下のとおりである。
ＳＡＷ装置３００は、入力端子５に接続された第１段のＳＡＷ素子３０７Ａと、第１段のＳＡＷ素子３０７に接続されるとともに平衡出力端子３０に接続された第２段のＳＡＷ素子３０７Ｂとを有している。
第１段のＳＡＷ素子３０７Ａは、第５および第６の実施形態（図６、図７）と同様に、入力された不平衡信号ｓを平衡信号（ｓ０、ｓ１）に変換して出力する３つのＩＤＴ電極３１１を有している。各ＩＤＴ電極３１１は、伝搬方向Ｄ１における大きさが概ね同等の一対の櫛歯状電極１５を有している。
第１段のＳＡＷ素子３０７Ａにおいて、中央のＩＤＴ電極３１１Ｂは、入力端子５に接続されている。ＩＤＴ電極３１１Ｂの両側のＩＤＴ電極３１１Ａおよび３１１Ｃは、第２段のＳＡＷ素子３０７Ｂに接続されている。また、第１段のＳＡＷ素子３０７Ａの各ＩＤＴ電極３１１間における接地電極指１９Ｇの数は、ＩＤＴ電極３１１Ａ側から順に、１（奇数）、２（偶数）となっている。
従って、不平衡信号ｓが入力されるＩＤＴ電極３１１Ｂに対して、奇数本の接地電極指１９Ｇを介在させて隣接するＩＤＴ電極３１１Ａは、非反転信号ｓ０を出力する。一方、ＩＤＴ電極３１１Ｂに対して、偶数本の接地電極指１９Ｇを介在させて隣接するＩＤＴ電極３１１Ｃは、反転信号ｓ１を出力する。
第２段のＳＡＷ素子３０７Ｂは、第７および第８の実施形態（図８、図９）と同様に、分割櫛歯状電極２１５Ｓａおよび２１５Ｓｂを有するＩＤＴ電極３１２Ｂを含む３つのＩＤＴ電極３１２を有している。
第２段のＳＡＷ素子３０７Ｂにおいて、両側のＩＤＴ電極３１２Ａおよび３１２Ｃは、それぞれ、中間信号線３１０を介して、第１段のＳＡＷ素子３０７ＡのＩＤＴ電極３１１Ａおよび３１１Ｂに接続されている。分割櫛歯状電極２１５Ｓａおよび２１５Ｓｂは、それぞれ、出力端子２９Ａおよび２９Ｂに接続されている。
ＩＤＴ電極３１２Ａの信号接続電極指１９Ｓと、分割櫛歯状電極２１５Ｓａの信号接続電極指１９Ｓとの間の接地電極指１９Ｇの間の本数は、１本（奇数）となっている。ＩＤＴ電極３１２Ｃの信号接続電極指１９Ｓと、分割櫛歯状電極２１５Ｓｂの信号接続電極指１９Ｓとの間の接地電極指１９Ｇの間の本数は、１本（奇数）となっている。
従って、非反転信号ｓ０が入力されるＩＤＴ電極３１２Ａに隣接する分割櫛歯状電極２１５Ｓａは、非反転信号ｓ０を出力する。また、反転信号ｓ１が入力されるＩＤＴ電極３１２Ｃに隣接する分割櫛歯状電極２１５Ｓｂは、反転信号ｓ１を出力する。従って、平衡出力端子３０からは平衡信号（ｓ０、ｓ１）が出力される。
なお、分割櫛歯状電極２１５Ｓａと、分割櫛歯状電極２１５Ｓｂとの間においては、接地電極指１９Ｇの数は、０（偶数）に設定されており、ＳＡＷが互いに打ち消し合わないようになっている。
第１０の実施形態においても、他の実施形態と同様に、接地バスバー１７Ｇと、信号接続バスバー１７Ｓとの間には、浮き部材７３が設けられている。従って、第９の実施形態においても、他の実施形態と同様に、装置の大型化を抑制しつつ、ＥＳＤ耐性を向上させ、且つ、挿入損失の低下を抑制する効果が奏される。
浮き部材７３は、第１段のＳＡＷ素子３０７Ａにおいては入力側に設けられ、第２段のＳＡＷ素子３０７Ｂにおいては出力側に設けられている。すなわち、第１段のＳＡＷ素子３０７Ａにおいては、浮き部材７３は、入力端子５に接続されたＩＤＴ電極３１１Ｂの信号接続バスバー１７Ｓと、ＩＤＴ電極３１１Ｂに隣接するＩＤＴ電極３１１Ａおよび３１１Ｃの接地バスバー１７Ｇとの間に設けられている。第２段のＳＡＷ素子３０７Ｂにおいては、浮き部材７３は、出力端子２９に接続されたＩＤＴ電極３１２Ｂの信号接続バスバー１７Ｓと、ＩＤＴ電極３１２Ｂに隣接するＩＤＴ電極３１２Ａおよび３１１Ｃの接地バスバー１７Ｇとの間に設けられている。
一方、ＥＳＤは、端子を介してＳＡＷ素子３０７に流れ込む電流によって生じることが多い。第１段のＳＡＷ素子３０７Ａにおいては、出力端子２９との間には第２段のＳＡＷ素子３０７Ｂが介在することから、入力端子５側からの電流によってＥＳＤが生じやすい。第２段のＳＡＷ素子３０７Ｂにおいては、入力端子５との間には第１段のＳＡＷ素子３０７Ａが介在することから、出力端子２９側からの電流によってＥＳＤが生じやすい。そして、ＥＳＤが生じやすい側に浮き部材７３を設けることによって、効果的にＥＳＤ耐性を向上させることができる。
＜浮き部材の形状の変形例＞
（第１変形例）
図１２（ａ）は、浮き部材７３の形状の第１変形例を示す平面図である。
第１変形例において、バスバー１７は、電極指１９とは反対側の伝搬方向Ｄ１に延びる辺が、電極指１９側の伝搬方向Ｄ１に延びる辺よりも短くなっており、概ね、台形状に形成されている。そして、伝搬方向Ｄ１において配列された信号接続バスバー１７Ｓと接地バスバー１７Ｇとの距離は、概ね、電極指１９とは反対側になるほど、長くなっている。より具体的には、当該距離は、電極指１９側においては一定であり、途中から、電極指１９とは反対側になるほど、長くなっている。このようにバスバー１７が形成されているのは、ＳＡＷの漏れを抑制しつつ、寄生容量を少なくして減衰特性をよくするためである。
浮き部材７３は、直交方向Ｄ２における大きさが、バスバー１７の直交方向Ｄ２における大きさよりも小さくなるように形成され、電極指１９側の端部の直交方向Ｄ２における位置は、バスバー１７の電極指１９側の辺の直交方向Ｄ２における位置と一致している。より具体的には、バスバー１７は、互いに隣接する信号接続バスバー１７Ｓと接地バスバー１７Ｇとの距離（伝搬方向Ｄ１）が一定となっている範囲に亘って設けられている。
第１変形例によれば、比較的簡素な形状の浮き部材によって、効果的にＳＡＷの漏れを抑制することができる。
（第２変形例）
図１２（ｂ）は、浮き部材７３の形状の第２変形例を示す平面図である。第２変形例においては、浮き部材７３は、直交方向Ｄ２における大きさが、バスバー１７の直交方向Ｄ２における大きさと同等となるように形成されている。また、浮き部材７３は、伝搬方向Ｄ１において配列された信号接続バスバー１７Ｓと接地バスバー１７Ｇとの間のスペースが、電極指１９とは反対側ほど広くなることに応じて、電極指１９とは反対側が広くなるように形成されている。
なお、以上の実施形態において、ＩＤＴ電極１１Ｂの電極指１９は本発明の第１電極指の一例であり、ＩＤＴ電極１１Ａの電極指１９は本発明の第２電極指の一例であり、ＩＤＴ電極１１Ｃの電極指１９は本発明の第３電極指の一例である。
＜実施例＞
（実施例１）
実施形態に係るＳＡＷ装置を製作し、ＥＳＤ耐性を調べる実験を行った。具体的には、第９の実施形態（図１０）のＳＡＷ装置２７０について寸法や材料を具体的に設定した実施例１のＳＡＷ装置を製作し、実験を行った。
また、図１３に示す第２比較例のＳＡＷ装置３４０について寸法や材料を具体的に設定した比較例１に係るＳＡＷ装置を製作して、同様の実験を行った。なお、第２比較例のＳＡＷ装置３４０は、ＩＤＴ電極３４１間において、浮き部材７３が設けられておらず、信号接続バスバー１７Ｓと接地バスバー１７Ｇとは隣接している。その他の構成については、第２比較例のＳＡＷ装置３４０は、第９の実施形態のＳＡＷ装置２７０と同様である。
（材料、寸法等）
圧電基板：４２°ＹカットＸ伝搬ＬｉＴａＯ３
各種電極：膜厚８０ÅのＴｉ層の上に膜厚１５７０ÅのＡｌ−Ｃｕ層を形成した２層構造電極
（試験方法）
実施例１および比較例１のＳＡＷ装置について、それぞれ１６個の試験サンプルを準備し、ＥＳＤ試験を行った。
（試験環境）
環境温度２３℃、湿度４０％
（ＥＳＤ試験モデル）
Ｍａｃｈｉｎｅ ｍｏｄｅｌ（ＭＭ：機械帯電モデル、規格ＥＩＡＪ）を採用した。当該試験では、２００ｐＦのコンデンサを充電し、充電後、そのコンデンサと試験サンプルとを接続し、静電気放電を発生させる。この条件のもと、出力端子２９Ｂと接地電極の間に電圧Ｖを印可し、ＩＤＴ電極の電極指が破壊に至るまでの試験サンプルのＥＳＤの耐性を評価する。破壊されたときの電圧値Ｖをヒストグラムで比較した。
（評価方法）
電極指の破壊の判定は、フィルタの透過量の変化をモニタリングし、０．３ｄＢの損失が発生したか否かによって行った。
（試験結果）
図１４（ａ）に比較例１における破壊時の電圧値Ｖのヒストグラムを示す。図１４（ｂ）に実施例１における破壊時の電圧値Ｖのヒストグラムを示す。図１４（ａ）および図１４（ｂ）において、横軸は電圧値Ｖ、縦軸はサンプル数である。
実施例１のＳＡＷ装置は、平均４４１Ｖの電圧値で電極指が破壊に至ったのに対して、比較例１のＳＡＷフィルタは、平均４１３Ｖであった。この結果から、実施例１の構成でＥＳＤの耐性を向上することが確認できた。また、バラつきσについても、実施例１のＳＡＷフィルタは４６Ｖであるのに対して、比較例のＳＡＷフィルタは５０Ｖであり、実施例１の構成でＥＳＤの耐性のバラつきを低減させることが確認できた。
（実施例２）
実施形態に係るＳＡＷ装置を製作し、透過特性を調べる実験を行った。具体的には、第９の実施形態（図１０）のＳＡＷ装置２７０について寸法や材料を具体的に設定した実施例２のＳＡＷ装置を製作し、当該ＳＡＷ装置をデュプレクサのＲｘフィルタとして使用して、実験を行った。
また、実施例２（第９の実施形態）のＳＡＷ装置２７０から浮き部材７３および当該浮き部材７３から延びるダミー電極指を無くした比較例２に係るＳＡＷ装置を製作して、同様の実験を行った。浮き部材７３は、図１２（ｂ）に示す形状のものとした。
（材料、寸法等）
圧電基板：４２°ＹカットＸ伝搬ＬｉＴａＯ３
各種電極および浮き部材：膜厚８０ÅのＴｉ層の上に膜厚１５７０ÅのＡｌ−Ｃｕ層を形成した２層構造
浮き部材と隣接するバスバーとの間隔：０．５６μｍ
ＩＤＴ電極の電極指の本数：伝搬方向Ｄ１の端部側のＩＤＴ電極から順に、３２本、４５本、５８本、４５本、５８本、４８本、３３本
反射器の電極指の本数：１００本、１００本
隣接する電極指の中心間距離の平均値：０．９２５μｍ
電極指の伝搬方向Ｄ１の幅：０．５３μｍ
交差幅（Ｗ、図１参照）：６２μｍ
通過帯域：２１１０ＭＨｚ〜２１７０ＭＨｚ（ＵＭＴＳ Ｂａｎｄ１）
(試験方法)
実施例２もしくは比較例２のＳＡＷ装置によって構成されたＲｘフィルタを含む素子を高温焼成セラミック基板（ＨＴＣＣ基板）に実装し、デュプレクサを作製した。当該デュプレクサを評価ボードに実装して、ネットワークアナライザーによってアンテナ端子（入力端子５）と出力端子２９との間の透過特性を測定した。
（試験結果）
図１５に試験結果を示す。図１５において、横軸は周波数（ＭＨｚ）、縦軸は透過特性（ｄＢ）を示している。線Ｌ１で示した範囲は、通過帯域（２１１０ＭＨｚ〜２１７０ＭＨｚ）を示している。
図１５において、実線で示された実施例２の透過特性は、点線で示された比較例２の透過特性に比較して、改善されている。以上のとおり、浮き部材が設けられることによって、透過特性が改善されることが確認された。
本発明は、以上の実施形態に限定されず、種々の態様で実施されてよい。
弾性波装置は、狭義のＳＡＷ装置に限定されない。例えば、弾性波装置は、弾性境界波装置（広義のＳＡＷ装置に含まれる。）であってもよい。換言すれば、弾性波は、圧電基板の表面を伝搬する狭義のＳＡＷに限定されず、圧電基板と当該圧電基板を覆う媒体層との境界を伝搬する弾性境界波（広義のＳＡＷに含まれる）であってもよい。
ＩＤＴ電極の数、入出力の形式、ＩＤＴ電極間の接地電極指の数、浮き部材が設けられる位置（入力側、出力側）、浮き部材に対向する電極指の数、浮き部材に対向する電極指の種類（信号接続、接地）等の組み合わせは、実施形態において例示した組み合わせ以外にも種々可能であり、適宜に設定されてよい。
本発明は、直列分割型のＩＤＴ電極を有する弾性波装置に適用されてもよい。また、交差幅が弾性波の伝搬方向において変化する弾性波装置に適用されてもよい。
１…ＳＡＷ装置、３…基板、６…信号入力線、１１…ＩＤＴ電極、１７Ｓ…信号接続バスバー、１７Ｇ…接地バスバー、２３…浮き部材。

Claims (7)

  1. 基板と、
    信号線に接続され、前記基板を伝搬する弾性波の伝搬方向に延びている第１信号接続バスバーと、グランドに接続され、前記第１信号接続バスバーと対向する位置に位置した第１接地バスバーと、前記第１信号接続バスバーおよび前記第１接地バスバーからこれらの対向方向に延びている複数の第１電極指とを有し、前記基板の主面に位置した第１ＩＤＴ電極と、
    信号線に接続され、前記第１接地バスバーの長手方向に沿って該第１接地バスバーの隣に位置した第２信号接続バスバーと、前記第２信号接続バスバーと対向する位置に位置し、かつ前記第１信号接続バスバーの長手方向に沿って該第１信号接続バスバーの隣に位置した、グランドに接続される第２接地バスバーと、前記第２信号接続バスバーおよび前記第２接地バスバーからこれらの対向方向に延びる複数の第２電極指とを有し、前記基板の主面に位置した第２ＩＤＴ電極と、
    前記第１接地バスバーと前記第２信号接続バスバーとの間、および前記第１信号接続バスバーと前記第２接地バスバーとの間の少なくとも一方の間に位置し、前記第１接地バスバー、前記第２信号接続バスバー、前記第１信号接続バスバー、および前記第２接地バスバーのいずれのバスバーとも接続されない、前記基板の主面に位置した浮き部材と、
    を有し、
    前記浮き部材は、前記第１電極指および前記第２電極指の少なくとも一方の先端とその電極指の長手方向において対向している
    弾性波装置。
  2. 前記浮き部材は、ダミー電極指をさらに有し、
    前記第１信号接続バスバーから延びる前記第１電極指の先端と前記第２接地バスバーから延びる前記第２電極指の先端とを結ぶラインと、前記第１接地バスバーおよび前記第２信号接続バスバーとの間の領域を第１領域とし、
    前記第１接地バスバーから延びる前記第１電極指の先端と前記第２信号接続バスバーから延びる前記第２電極指の先端とを結ぶラインと、前記第１信号接続バスバーおよび前記第２接地バスバーとの間の領域を第２領域としたときに、
    前記ダミー電極指は、前記第１領域および前記第２領域のいずれかの領域内に位置している
    請求項１に記載の弾性波装置。
  3. 前記第１電極指および前記第２電極指の少なくとも一方が２本以上前記浮き部材と対向して位置し、
    前記浮き部材の前記弾性波の伝搬方向における幅は、前記浮き部材と対向して位置している電極指が位置している領域の幅と同一、もしくはそれ以上である
    請求項１または２に記載の弾性波装置。
  4. 前記浮き部材は、前記弾性波の伝搬方向と直交する方向における幅が、その両隣のバスバーの前記直交する方向における幅よりも小さい
    請求項１〜３のいずれか１項に記載の弾性波装置。
  5. 前記第１接地バスバーと前記第２信号接続バスバーとの間、および前記第１信号接続バスバーと前記第２接地バスバーとの間のそれぞれの間に前記浮き部材を有する
    請求項１〜４のいずれか１項に記載の弾性波装置。
  6. 前記第１ＩＤＴ電極、前記第２ＩＤＴ電極、および前記浮き部材は、同じ金属材料から成る請求項１〜５のいずれか１項に記載の弾性波装置。
  7. 前記第１接地バスバーの長手方向に沿って該第１接地バスバーの前記第２信号接続バスバーが位置する隣とは反対側の隣に位置した、信号線に接続される第３信号接続バスバーと、該第３信号接続バスバーと対向する位置に位置し、かつ前記第１信号接続バスバーの長手方向に沿って該第１信号接続バスバーの前記第２接地バスバーが位置する隣とは反対側の隣に位置した、グランドに接続される第３接地バスバーと、前記第３信号接続バスバーおよび前記第３接地バスバーからこれらの対向方向に延びる複数の第３電極指とを有し、前記基板の主面に位置した第３ＩＤＴ電極をさらに有し、
    前記第１信号接続バスバーに接続されている前記信号線には、不平衡信号が流れ、
    前記第２信号接続バスバーに接続されている前記信号線には、平衡信号の一方の信号が流れ、
    前記第３信号接続バスバーに接続されている前記信号線には、前記平衡信号の他方の信号が流れ、
    前記第１接地バスバーと前記第２信号接続バスバーとの間、前記第１接地バスバーと前記第３信号接続バスバーとの間、前記第１信号接続バスバーと前記第２接地バスバーとの間、および前記第１信号接続バスバーと前記第３接地バスバーとの間のうち、前記第１接地バスバーと前記第２信号接続バスバーとの間、および前記第１接地バスバーと前記第３信号接続バスバーとの間においてのみ、いずれのバスバーとも接続されない浮き部材が設けられている
    請求項１〜６のいずれか１項に記載の弾性波装置。
JP2011553872A 2010-02-09 2011-02-09 弾性波装置 Active JP5369197B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011553872A JP5369197B2 (ja) 2010-02-09 2011-02-09 弾性波装置

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010026823 2010-02-09
JP2010026823 2010-02-09
JP2011553872A JP5369197B2 (ja) 2010-02-09 2011-02-09 弾性波装置
PCT/JP2011/052777 WO2011099532A1 (ja) 2010-02-09 2011-02-09 弾性波装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPWO2011099532A1 JPWO2011099532A1 (ja) 2013-06-13
JP5369197B2 true JP5369197B2 (ja) 2013-12-18

Family

ID=44367802

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2011553872A Active JP5369197B2 (ja) 2010-02-09 2011-02-09 弾性波装置

Country Status (5)

Country Link
US (1) US9013251B2 (ja)
JP (1) JP5369197B2 (ja)
KR (1) KR20120101130A (ja)
CN (1) CN102754341B (ja)
WO (1) WO2011099532A1 (ja)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012065272A (ja) * 2010-09-17 2012-03-29 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 弾性波デバイス
JP5736404B2 (ja) * 2013-03-19 2015-06-17 スカイワークス・パナソニック フィルターソリューションズ ジャパン株式会社 高周波フィルタ
JP6421748B2 (ja) * 2015-12-25 2018-11-14 株式会社村田製作所 弾性波装置
CN111527696B (zh) 2017-12-19 2023-09-26 株式会社村田制作所 弹性波装置
JP6888691B2 (ja) * 2017-12-19 2021-06-16 株式会社村田製作所 弾性波装置
KR102441867B1 (ko) 2017-12-19 2022-09-08 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 탄성파 장치
DE102019107011A1 (de) * 2019-03-19 2020-09-24 RF360 Europe GmbH 11-IDT-DMS-Filter, elektroakustisches Filter und Multiplexer
CN116325501A (zh) * 2020-10-08 2023-06-23 株式会社村田制作所 纵向耦合谐振器型弹性波滤波器

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10322161A (ja) * 1997-05-14 1998-12-04 Toyo Commun Equip Co Ltd 縦結合３重モードｓａｗフィルタ
WO2003003574A1 (fr) * 2001-06-29 2003-01-09 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Filtre a onde acoustique de surface
JP2003179462A (ja) * 2000-04-18 2003-06-27 Murata Mfg Co Ltd 縦結合共振子型弾性表面波フィルタ
JP2005039811A (ja) * 2003-07-02 2005-02-10 Kyocera Corp 弾性表面波装置およびそれを用いた通信装置
JP2009038718A (ja) * 2007-08-03 2009-02-19 Fujitsu Media Device Kk 弾性波フィルタ

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5600287A (en) * 1994-02-03 1997-02-04 Motorola, Inc. Acoustic wave filter with reduced bulk-wave scattering loss, ladder filter incorporating same and method
US5790000A (en) * 1995-06-16 1998-08-04 Northern Telecom Limited Cascaded surface wave device filters providing balanced and unbalanced signal connections
JP3391346B2 (ja) 2000-04-18 2003-03-31 株式会社村田製作所 縦結合共振子型弾性表面波フィルタ
CN100452650C (zh) 2003-07-02 2009-01-14 京瓷株式会社 弹性表面波装置及使用该装置的通信装置
JP4537254B2 (ja) 2005-04-28 2010-09-01 富士通メディアデバイス株式会社 弾性表面波フィルタおよび分波器
CN100563102C (zh) * 2006-01-20 2009-11-25 株式会社村田制作所 声表面波滤波器件

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10322161A (ja) * 1997-05-14 1998-12-04 Toyo Commun Equip Co Ltd 縦結合３重モードｓａｗフィルタ
JP2003179462A (ja) * 2000-04-18 2003-06-27 Murata Mfg Co Ltd 縦結合共振子型弾性表面波フィルタ
WO2003003574A1 (fr) * 2001-06-29 2003-01-09 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Filtre a onde acoustique de surface
JP2005039811A (ja) * 2003-07-02 2005-02-10 Kyocera Corp 弾性表面波装置およびそれを用いた通信装置
JP2009038718A (ja) * 2007-08-03 2009-02-19 Fujitsu Media Device Kk 弾性波フィルタ

Also Published As

Publication number Publication date
KR20120101130A (ko) 2012-09-12
CN102754341B (zh) 2015-09-02
CN102754341A (zh) 2012-10-24
JPWO2011099532A1 (ja) 2013-06-13
US20120306594A1 (en) 2012-12-06
US9013251B2 (en) 2015-04-21
WO2011099532A1 (ja) 2011-08-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5369197B2 (ja) 弾性波装置
JP6426776B2 (ja) 弾性波素子、分波器および通信モジュール
JP4465625B2 (ja) 弾性表面波フィルタおよび弾性表面波共振器
JP5716096B2 (ja) 多重モード弾性波素子
JP5333650B2 (ja) 弾性波装置
WO2005031971A1 (ja) 弾性表面波フィルタ及び通信機
JP5397477B2 (ja) ラダー型弾性波フィルタ装置及び分波器
WO2006043445A1 (ja) バランス型弾性表面波フィルタ
JP4900420B2 (ja) 弾性波装置
JP3918433B2 (ja) 横２重モードｓａｗフィルタ
EP1786100A1 (en) Balance type elastic surface-wave filter
KR102001429B1 (ko) 탄성파 소자 및 탄성파 필터장치
JP6749060B2 (ja) 弾性波素子および通信装置
WO2012160730A1 (ja) 弾性波フィルタ装置
US7388456B2 (en) Surface acoustic wave filter
JP6585459B2 (ja) 弾性波素子、分波器および通信装置
WO2018117059A1 (ja) 弾性波共振器、フィルタ装置およびマルチプレクサ
JP7132841B2 (ja) 弾性表面波素子、分波器および通信装置
WO2023037925A1 (ja) 弾性波フィルタおよびマルチプレクサ
JP2008283425A (ja) 縦結合多重モード共振子型弾性表面波フィルタ
JP5166073B2 (ja) 弾性波共振子及びラダー型フィルタ
JP5662130B2 (ja) 弾性波装置
JP5283972B2 (ja) 弾性表面波デバイス
JP2006352764A (ja) 弾性表面波デバイス
JP2013229641A (ja) 弾性波フィルタ

Legal Events

Date Code Title Description
A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20130521

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20130717

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20130820

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20130913

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5369197

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150