JP4537254B2 - 弾性表面波フィルタおよび分波器 - Google Patents

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Description

本発明は弾性表面波フィルタおよび分波器に関し、特に直列分解されたＩＤＴを有する弾性表面波フィルタおよび分波器に関する。
近年、携帯電話端末などの無線装置の高周波回路には弾性表面波装置で形成されたフィルタが使用されている。弾性表面波装置で形成されるフィルタ（以下、ＳＡＷフィルタ：Surface Acoustic Waveフィルタ）は、送信用フィルタ、受信用フィルタ、送信用フィルタと受信用フィルタが１つのパッケージ内に設けられたアンテナ分波器などに用いられる。
図１に携帯電話端末に使用されるアンテナ分波器のブロック図を示す。送信端子１３より入力した送信信号は、送信用フィルタ１６を通過しアンテナ端子１４から出力される。一方、アンテナ端子１４より入力した受信信号は、整合回路１２および受信用フィルタ１１を通過し受信端子１５より出力される。
例えば、特許文献１の図６、特許文献２の図３０には、送信用フィルタにラダー型ＳＡＷフィルタを使用し、受信用フィルタに多重モード型ＳＡＷフィルタを使用したアンテナ分波器が開示されている。大電力が印加される送信用フィルタには、高い耐電力性を有するラダー型ＳＡＷフィルタを用い、高い帯域外減衰量と急峻なカットオフ特性を得るため受信側フィルタには、多重モード型ＳＡＷフィルタを用いるものである。
多重モード型ＳＡＷフィルタの基本構成は、例えば特許文献２の図５に開示されている。圧電基板上に形成された一組の反射器と、反射器の間に入力用ＩＤＴ（インタディジタル・トランスデューサ：すだれ状電極）と出力用ＩＤＴを有する。入力用ＩＤＴに駆動電圧を引加すると、反射器間に励振された弾性表面波が伝搬し、反射器間に複数の定在波が発生する。この定在波に応じた周波数の電圧が出力用ＩＤＴに現れる。このように、多重モード型ＳＡＷフィルタはバンドパスフィルタとして機能する。
特開２００３−２４９８４２号公報 特開２００４−１９４２６９号公報
しかしながら、特許文献１および特許文献２で開示されたアンテナ分波器においては以下の課題があった。図１において、送信端子図１３に入力した送信信号の入力電力は実線矢印のように送信用フィルタ１６を通過しアンテナ端子１４に至る。しかし、破線矢印のように、その一部は漏れ電力となって、整合回路１２を通過し受信用フィルタ１１に至る。多重性モード型ＳＡＷフィルタは耐電力性に乏しいため、この漏れ電力により、受信用フィルタ１１が破壊する。あるいは、漏れ電力が受信用フィルタ１１の非線形効果をもたらし、受信信号の検出感度を低下させる。
本発明は、フィルタ特性を劣化させることなく、耐電力性の向上または非線形効果の抑制が可能な多重モード型弾性表面波フィルタおよびアンテナ分波器を提供することを目的とする。
本発明は、圧電基板上に形成され、入出力電極とグランド電極の間に浮き導体を介し複数に直列接続されたインタディジタル・トランスデューサ（ＩＤＴ）を有するＩＤＴ群を複数具備し、隣接する前記ＩＤＴのその間で隣接する電極指のうち一方が浮き導体に接続されている場合は、もう一方の電極指は、前記入出力電極と前記グランド電極のいずれか一方に接続されていて、前記隣接する電極指のうち前記浮き導体に接続された電極指は、前記浮き導体に接続された同電位である複数の電極指が連続して設けられたことを特徴とする多重モード型弾性表面波フィルタである。本発明によれば、複数に直列接続されたＩＤＴを用いることにより耐電力性を向上でき、さらに非線形効果を抑制できる。また、隣接する浮き導体間の静電容量を低減することにより、通過帯域内に発生するノッチを抑制し、フィル特性を劣化させることがない。以上より、フィルタ特性を劣化させることなく、耐電力性の向上または非線形効果の抑制が可能な多重モード型弾性表面波フィルタを提供することができる。
本発明は、前記多重モード型弾性表面波フィルタを構成する全てのＩＤＴは入出力電極とグランド電極の間に浮き導体を介し直列接続されたことを特徴とする多重モード型弾性表面波フィルタとすることができる。本発明は、前記隣接するＩＤＴは弾性表面波の伝搬方向に隣接したことを特徴とする多重モード型弾性表面波フィルタとすることができる。本発明は、前記直列接続されたＩＤＴの中の２つのＩＤＴの電極指パターンは、弾性表面波の伝搬方向の延在する軸に対し鏡面対称であることを特徴とする多重モード型弾性表面波フィルタとすることができる。本発明は、前記直列接続されたＩＤＴの中の２つのＩＤＴの電極指パターンは、弾性表面波の伝搬方向に対し垂直方向に平行移動したパターンであることを特徴とする多重モード型弾性表面波フィルタとすることができる。
本発明は、前記直列接続されたＩＤＴの中の２つのＩＤＴは開口長が概等しいことを特徴とする多重モード型弾性表面波フィルタとすることができる。本発明によれば、さらに耐電力性の向上または非線形効果の抑制が可能な多重モード型弾性表面波フィルタを提供することができる。
本発明によれば、出力端子に接続された前記入出力電極と入力端子に接続された前記入出力電極は同方向に設けられたことを特徴とする多重モード型弾性表面波フィルタとすることができる。本発明によれば、入力端子と出力端子のカップリング容量を付加することができ、帯域外抑圧度を向上することができる。
本発明は、前記ＩＤＴに接続された各グランド電極は前記圧電基板上で接続されたことを特徴とする多重モード型弾性表面波フィルタとすることができる。さらに、前記グランド電極の電極指は単一のグランドバスバーに接続されたことを特徴とする多重モード型弾性表面波フィルタとすることができる。本発明によれば、共通グランドインダクタンスの制御を容易にすることができる。
本発明は、出力端子に接続された前記入出力電極と入力端子に接続された前記入出力端子は異なる方向に設けられたことを特徴とする多重モード型弾性表面波フィルタとすることができる。
本発明は、前記直列接続されたＩＤＴの間に位置し、前記浮き導体に接続された電極指に接続する前記浮き導体の接続線であって、隣接する前記ＩＤＴ群がそれぞれ有する前記接続線の間に、前記接続線に接続されていない電極指が設けられたことを特徴とする多重モード型弾性表面波フィルタとすることができる。本発明によれば、通過帯域内に発生するノッチをさらに抑制することができる。
本発明は、弾性表面波の伝搬方向に３つの前記ＩＤＴ群が配置され、前記３つのＩＤＴ群はそれぞれ、第１のＩＤＴ、第２のＩＤＴ、第３のＩＤＴを有し、前記弾性表面波の伝搬方向に順に前記第１のＩＤＴ、前記第２のＩＤＴおよび前記第３のＩＤＴが配置されたことを特徴とする多重モード型弾性表面波フィルタとすることができる。本発明は、前記第１のＩＤＴと前記第２のＩＤＴの間に同電位である複数の電極指が設けられ、前記第２のＩＤＴと前記第３のＩＤＴの間に同電位である複数の電極指が設けられたことを特徴とする多重モード型弾性表面波フィルタとすることができる。本発明は、前記第１のＩＤＴと前記第２のＩＤＴの間に同電位である前記複数の電極指と、前記第２のＩＤＴと前記第３のＩＤＴの間に同電位である前記複数の電極指と、は互いに接続されたことを特徴とする多重モード型弾性表面波フィルタとすることができる。
本発明は、前記第１のＩＤＴと前記第２のＩＤＴの間に同電位である前記複数の電極指と、前記第２のＩＤＴと前記第３のＩＤＴの間に同電位である前記複数の電極指は異なる電位の導体に接続されたことを特徴とする多重モード型弾性表面波フィルタとすることができる。本発明によれば、フィルタの通過帯域幅を広くすることができる。
本発明は、前記第１のＩＤＴの前記入出力電極および前記第３のＩＤＴの前記入出力電極は入力端子に接続され、前記第２のＩＤＴの入出力電極は出力端子に接続された多重モード型弾性表面波フィルタとすることができる。
本発明は、複数の前述の多重モード型弾性表面波フィルタを並列に接続したことを特徴とする多重モード型弾性表面波フィルタである。本発明によれば、電極指の抵抗を低減でき、挿入損失の小さい多重モード型弾性表面波フィルタを提供することができる。
本発明は、第１のフィルタと、前記第１のフィルタの出力端子が入力端子に接続された第２のフィルタを具備し、前記第１のフィルタが前述の多重モード型弾性表面波フィルタであり、前記第２のフィルタが多重モード型弾性表面波フィルタである多重モード型弾性表面波フィルタである。本発明によれば、通過帯域外の抑圧度を大幅に向上させることができる。さらに、耐電力性および非線形硬化に主に影響する第１のフィルタを前述の多重モード型弾性表面波フィルタとすることにより、耐電力性を向上し、非線形効果を抑制することができる。
本発明は、前記第２のフィルタは、直列分解されていないＩＤＴのみを有する多重モード型弾性表面波フィルタである多重モード形弾性表面波フィルタとすることができる。本発明によれば、耐電力性および非線形効果への影響が小さい第２のフィルタは直列分解されていないＩＤＴのみを有する多重モード型弾性表面波フィルタとすることで、フィルタの面積を小さくすることができる。
本発明は、前述の多重モード型弾性表面波フィルタを使用したバランス型弾性表面波フィルタである。本発明によれば、フィルタ特性を劣化させることなく、耐電力性の向上または非線形効果の抑制が可能なバランス型弾性表面波フィルタを提供することができる。
本発明は、前述の多重モード型弾性表面波フィルタまたは前述のバランス型弾性表面波フィルタを使用したアンテナ分波器である。本発明によれば、フィルタ特性を劣化させることなく、耐電力性の向上または非線形効果の抑制が可能なアンテナ分波器を提供することができる。
本発明によれば、フィルタ特性を劣化させることなく、耐電力性の向上または非線形効果の抑制が可能な多重モード型弾性表面波フィルタおよびアンテナ分波器を提供することができる。
入力電極または出力電極とグランド電極の間に浮き導体を介し複数に直列接続された複数のＩＤＴを設けたことにより、多重モード型ＳＡＷフィルタの耐電力性を向上させることができる。以下、図２を用い説明する。
図２（ａ）は多重モード型ＳＡＷフィルタの従来例として、ダブルモード型ＳＡＷフィルタ（ＤＭＳ）を示す図である。圧電基板１０上の反射器２０ａ、２０ｂの間に、弾性表面波の伝搬方向に、ＩＤＴ１（２１ａ）、ＩＤＴ２（２１ｂ）およびＩＤＴ３（２１ｃ）が設けられている。中央のＩＤＴ２（２１ｂ）の入出力電極２２ｂが入力端子に、左右のＩＤＴ１（２１ａ）、ＩＤＴ３（２１ｃ）の入出力電極２２ａおよび２２ｃが出力端子に、グランド電極２３ａ、２３ｂおよび２３ｃがグランドに接続されている。入出力電極とグランド電極の電極指の重なり長である開口長はＡＰである。
図２（ｂ）は、多重モード型ＳＡＷフィルタの比較例として、複数のＩＤＴを直列接続したＩＤＴ群を有するダブルモード型ＳＡＷフィルタ（ＤＭＳ）の例である。反射器３０ａ、３０ｂの間に、弾性表面波の伝搬方向に、ＩＤＴ群１（３１ａ）、ＩＤＴ群２（３１ｂ）、ＩＤＴ群３（３１ｃ）が配置されている。ＩＤＴ群１（３１ａ）は、入出力電極３４ａおよび浮き導体３５ａを有するＩＤＴ３２ａ並びに浮き導体３５ａおよびにグランド電極３６ａを有するＩＤＴ３３ａが直列接続されている。同様にＩＤＴ群２（３１ｂ）は、入出力電極３４ｂおよび浮き導体３５ｂを有するＩＤＴ３２ｂ並びに浮き導体３５ｂおよびグランド電極３６ｂを有するＩＤＴ３３ｂが直列接続され，ＩＤＴ群３（３１ｃ）は、入出力電極３４ｃおよび浮き導体３５ｃを有するＩＤＴ３２ｃ並びに浮き導体３５ｃおよびグランド電極３６ｃを有するＩＤＴ３３ｃが直列接続されている。入出力電極と浮き導体の開口長はＡＰ１、浮き導体とグランド電極の開口長はＡＰ２である。
従来例（図２（ａ））のＤＭＳを比較例（図２（ｂ））のＤＭＳに置き換えるためには、フィルタの入出力インピーダンンスを変えないことが好ましい。そのためには、比較例の各ＩＤＴ群３１ａ、３１ｂ、３１ｃの合成静電容量が、従来例の各ＩＤＴ２１ａ、２１ｂ、２１ｃの静電容量とそれぞれ等しいことが好ましい。
比較例のＩＤＴ群において、ＡＰ１の開口長を有する上段のＩＤＴの静電容量をＣ１、ＡＰ２の開口長を有する下段のＩＤＴの静電容量をＣ２とする。このとき、ＩＤＴ群の合成静電容量は１／（１／Ｃ１＋１／Ｃ２）となる。ＩＤＴの静電容量が開口長に比例するとすると、従来例のＩＤＴと比較例のＩＤＴ群の静電容量が等しくなるためには数式１を満たす必要がある。
Figure 0004537254
このように、１つのＩＤＴを、複数のＩＤＴを直列接続したＩＤＴ群に変換することを、ＩＤＴの直列分解という。図２（ｂ）の比較例では、ＡＰ１＝１．５×ＡＰおよびＡＰ２＝３×ＡＰとしている。この場合、比較例の上段のＩＤＴに印加される電圧は、従来例のＩＤＴに印加される電圧のＡＰ２／（ＡＰ１＋ＡＰ２）＝０．６６倍となる。また、比較例の下段のＩＤＴに印加される電圧は、従来例のＩＤＴに印加される電圧のＡＰ１／（ＡＰ１＋ＡＰ２）＝０．３３倍となる。
このように、ＩＤＴに印加される電圧を低減できれば、ＩＤＴにおける単位面積あたりの表面弾性波強度を低減できる。これにより、耐電力性を向上できる、また、非線形効果を抑制できる。
比較例において、開口長であるＡＰ１およびＡＰ２を数式１の範囲で変え、フィルタの通過特性を計算した。図３は、比較例１（ＡＰ１＝１．５ＡとＡＰ２＝３．０ＡＰ）、比較例２（ＡＰ１＝１．８ＡＰとＡＰ２＝２．２５ＡＰ）、比較例３（ＡＰ１＝２．０ＡＰとＡＰ２＝２．０ＡＰ）並びに従来例の計算結果である。図３（ａ）は通過帯域での図であり、図３（ｂ）は図３（ａ）内の円で囲ったノッチ発生箇所の拡大図である。
比較例では１９２６ＭＨｚ付近において挿入損失が増加するノッチが発生している。ノッチはＡＰ１が大きくなると大きくなる。一方、最も耐電力性を向上でき、最も非線形効果を抑制できるのは、直列分解された上下段のＩＤＴに加わる電圧が従来例の１／２となる比較例３のときである。しかし、図３より、比較例３はノッチが大きくなってしまう。通過帯域内にノッチがあると、例えば携帯電話端末の使用チャンネルごとの受信感度が変化してしまう。よって、全ユーザに均等なサービスを提供することができなくなってしまう。そのため、比較例では、ノッチの発生が小さい比較例１のフィルタを使用せざるをえない。
通過帯域内のノッチは、図２（ｂ）における、浮き導体３５ａ、３５ｂ、３５ｃ間に発生する静電容量により発生する。例えば、ＩＤＴ群１（３１ａ）の浮き導体３５ａとＩＤＴ群２（３１ｂ）の浮き導体３５ｂ間の静電容量は、主に浮き導体３５ａのＩＤＴ群２（３１ｂ）側の電極指と浮き導体３５ｂのＩＤＴ群１（３１ｂ）側の電極指の間で発生する。本発明は、以下の実施例で例示するように、浮き導体間の静電容量が小さく、複数に直列接続されたＩＤＴを有する多重モード型ＳＡＷフィルタを提供するものである。
図４は実施例１の構成を示す図である。実施例１は、多重モード型ＳＡＷフィルタとして、複数のＩＤＴを直列接続したＩＤＴ群を有するダブルモード型ＳＡＷフィルタ（ＤＭＳ）の例である。圧電基板１０上に形成された反射器４０、４５の間に、弾性表面波の伝搬方向に、ＩＤＴ群１（４１）、ＩＤＴ群２（４２）およびＩＤＴ群３（４３）が配置されている。
ＩＤＴ群１（４１）は、入出力電極６１と浮き導体７１を有するＩＤＴ５１と、グランド電極６６と浮き導体７１を有するＩＤＴ５６が直列接続されている。すなわち、ＩＤＴ群１（４１）は入出力電極６１とグランド電極６６の間に浮き導体７１を介し複数に直列接続されたＩＤＴ５１、５６を有している。同様に、ＩＤＴ群２（４２）は、入出力電極６２と浮き導体７２を有するＩＤＴ５２と、グランド電極６７と浮き導体７２を有するＩＤＴ５７が直列接続されている。また、ＩＤＴ群３（４３）は、入出力電極６３と浮き導体７３を有するＩＤＴ５３と、グランド電極６８と浮き導体７３有するＩＤＴ５８が直列接続されている。このように、多重モード型弾性表面波フィルタを構成する全てのＩＤＴは入出力電極とグランド電極の間に浮き導体を介し直列接続されている。
上段のＩＤＴは、弾性表面波の伝搬方向にＩＤＴ５１（第１のＩＤＴ）、ＩＤＴ５２（第２のＩＤＴ）およびＩＤＴ５３（第３のＩＤＴ）が配置されている。また、下段のＩＤＴは、弾性表面波の伝搬方向にＩＤＴ５６（第１のＩＤＴ）、ＩＤＴ５７（第２のＩＤＴ）およびＩＤＴ５８（第３のＩＤＴ）が配置されている。ＩＤＴ群２（４２）の入出力電極６２は入力端子に接続され、ＩＤＴ群１（４１）およびＩＤＴ群３（４３）の入出力電極６１および６３は出力端子に接続されている。グランド電極６６、６７、６８はグランド端子に接続されている。圧電基板１０としては、例えばＬｉＮｂＯ３基板またはＬｉＴａＯ３基板を用い、各電極、浮き導体は例えばＡｌを用いる。
入力端子（すなわちＩＤＴ群２（４２））に入力信号を入力すると、反射器４０と４５間に励振された弾性表面波が反射器４０と４５間の方向に伝搬し、反射器４０と４５間に複数の定在波が発生する。この定在波に応じた周波数の電圧が、出力端子に接続されたＩＤＴ群１（４１）のＩＤＴ５１および５６並びにＩＤＴ群３（４３）のＩＤＴ５３および５８に現れる。これにより、定在波に相当する所望の周波数のみが出力信号として出力端子に出力される。このように、実施例１に係るＤＭＳは、バンドパスフィルタとして機能する。
隣接するＩＤＴ５１とＩＤＴ５２において、ＩＤＴ５１のＩＤＴ５２に隣接する電極指は浮き導体７１の電極指７４ａである。また、ＩＤＴ５２のＩＤＴ５１に隣接する電極指は入出力電極６２の電極指６５ａである。同様に、隣接するＩＤＴ５６とＩＤＴ５７において、ＩＤＴ５６のＩＤＴ５７に隣接する電極指は浮き導体７１の電極指７５ａであり、ＩＤＴ５７のＩＤＴ５６に隣接する電極指はグランド電極６７の電極指６９ａである。ＩＤＴ群２（４２）とＩＤＴ群３（４３）の隣接する電極指も同様の関係になっている。
このように、隣接するＩＤＴの、その間で隣接する電極指のうち一方が浮き導体に接続されている場合、もう一方は浮き導体以外（入出力電極またはグランド電極）に接続されている。これにより、隣接する浮き導体７１と７２間には、入出力電極またはグランド電極の電極指が配置されており、浮き導体７１と７２間の静電容量を低減することができる。これにより、後述するように、通過帯域内のノッチを抑制することができる。
浮き導体７１、７２、７３の電極指を接続する接続線の接続線長は小さい方が隣接する浮き導体間７１と７２、７２と７３の静電容量を削減することができる。例えば、浮き導体の接続線長は、ＩＤＴの電極周期の５倍以下とすることが好ましい。
また、ＩＤＴ５１のＩＤＴ５２に隣接する電極指には、浮き導体７１の電極指７４ａに加え、同じ浮き導体７１の電極指７４ｂが連続して設けられている。同様に、ＩＤＴ５６のＩＤＴ５７に隣接する電極指には、浮き導体７６の電極指７５ａに加え、同じ浮き導体７１の電極指７５ｂが連続して設けられている。すなわち、隣接するＩＤＴのその間で隣接する電極指の少なくとも一方は、同電位である複数の電極指が連続して設けられている。言い換えれば、ＩＤＴ５１（第１のＩＤＴ）とＩＤＴ５２（第２のＩＤＴ）の間に同電位である複数の電極指７４ａ、７４ｂが設けられ、ＩＤＴ５２（第２のＩＤＴ）とＩＤＴ５３（第３のＩＤＴ）の間に同電位である複数の電極指７８ａ、７８ｂが設けられている。
さらに、多重モード型弾性表面波フィルタを構成する全てのＩＤＴは入出力電極とグランド電極の間に浮き導体を介し直列接続されている。これにより、より耐電力性が向上し、より非線形効果の抑制が可能となる。電極指７４ａ、７４ｂと電極指７８ａ、７８ｂは異なる電位の導体、すなわちそれぞれ浮き導体７１と７３に接続されている。これにより、フィルタの通過帯域幅を広くすることができる。
さらに、隣接するＩＤＴ５１と５２は弾性表面波の伝搬方向に隣接している。また、同電位である複数の電極指７４ａと７４ｂは浮き導体７１に接続されている。同様に、同電位である複数の電極指７５ａと７５ｂも浮き導体７１に接続されている。
さらに、ＩＤＴ群の直列接続されたＩＤＴの中の２つのＩＤＴの電極指パターンは、弾性表面波の伝搬方向の延在する軸に対し鏡面対称である。例えばＩＤＴ群１（４１）の中のＩＤＴ５１とＩＤＴ５６は、Ａ−Ａ線に対し鏡面対称である。すなわち、入出力電極６１とグランド電極６６は、Ａ−Ａ線に対し鏡面対称であり、浮き導体７１はＡ−Ａ線に対し鏡面対称である。
さらに、出力端子に接続された入出力電極６１および６３は図４の上側に設けられ、入力端子に接続された入出力電極６２は図４の上側に設けられている。グランド電極６６、６７、６８は図４の下側に設けられている。すなわち、出力端子に接続された入出力電極６１、６３と入力端子に接続された入出力電極６２は同方向に設けられている。これにより、入力端子と出力端子間にカップリング容量を付加することができ、帯域外抑圧度を向上することができる。
さらに、ＩＤＴ５１、ＩＤＴ５２およびＩＤＴ５３の開口長ＡＰ１とＩＤＴ５６、ＩＤＴ５７、ＩＤＴ５８の開口長ＡＰ２はともに２．０×ＡＰであり概等しい。これにより、最も耐電力性を向上でき、最も非線形効果を抑制できる。
図２（ａ）の従来例、図２（ｂ）でＡＰ１＝ＡＰ２＝２×ＡＰとした比較例、図４でＡＰ１＝ＡＰ２＝２×ＡＰとした実施例１(図中では実施例)において、フィルタの通過特性を計算した。結果を図５に示す。図５（ａ）は通過帯域での図であり、図５（ｂ）は図５（ａ）内の円で示したノッチ発生箇所の拡大図である。
図３と同様に、比較例では１９２６ＭＨｚ付近において挿入損失が増加するノッチが発生している。実施例１では、従来例と同様にノッチは発生していない。これは、浮き導体７１と７２間並びに７２と７３間の静電容量を抑制できたためである。これにより、複数のＩＤＴを直列接続したＩＤＴ群を有する多重モード型ＳＡＷフィルタにおいて、フィルタ特性を劣化させることなく、最も耐電力性を向上でき、最も非線形効果を抑制できるＡＰ１＝ＡＰ２とすることができる。よって、フィルタ特性を劣化させることなく、耐電力性を向上させ、非線形効果を抑制することが可能となる。なお、開口長は必ずしもＡＰ１＝ＡＰ２である必要はなく、任意の組合せとしても、ノッチの無いフィルタ特性を実現できる。
隣接するＩＤＴの浮き導体間の静電容量を低減する構成は実施例１に限られない。例えば、以下の変形例を用いることができる。以下、各種変形例につき説明する。
図６は変形例１を示す図である。変形例１は実施例１に対し浮き導体７１ａ、７２ａ、７３ａの構成が実施例１と異なっている。他の構成は実施例１と同じである。隣接するＩＤＴ５１とＩＤＴ５２において、ＩＤＴ５１のＩＤＴ５２に隣接する電極指は入出力電極６１の電極指６４ａであり、ＩＤＴ５２のＩＤＴ５１に隣接する電極指は浮き導体７２ａの電極指７６ａである。同様に、隣接するＩＤＴ５６とＩＤＴ５７において、ＩＤＴ５６のＩＤＴ５７に隣接する電極指はグランド電極６６の電極指６９ｂであり、ＩＤＴ５７のＩＤＴ５６に隣接する電極指は浮き導体７２ａの電極指７７ａであり、連続して電極指７７ｂも接続されている。ＩＤＴ群２（４２）とＩＤＴ群３（４３）の隣接する電極指も同様の関係になっている。
このように、同電位である複数の電極指をＩＤＴ群２（４２）の浮き導体７２ａに接続することもできる。ＩＤＴ５１（第１のＩＤＴ）とＩＤＴ５２（第２のＩＤＴ）の間に同電位である複数の電極指７６ａ、７６ｂと、ＩＤＴ５２（第２のＩＤＴ）とＩＤＴ５３（第３のＩＤＴ）の間に同電位である複数の電極指７８ｃ、７８ｄとは、互いに接続されている。
図７は変形例２を示す図である。変形例２は実施例１に対し、浮き導体７１ｂ、７２ｂ、７３ｂの構成が実施例１と異なっている。その他の構成は実施例１と同じである。隣接するＩＤＴ５１とＩＤＴ５２において、ＩＤＴ５１のＩＤＴ５２に隣接する電極指は浮き導体７１ｂの電極指７４ｃであり、連続して電極指７４ｄが接続される。ＩＤＴ５２のＩＤＴ５１に隣接する電極指は入出力電極５２の電極指６５ａである。同様に、隣接するＩＤＴ５６とＩＤＴ５７において、ＩＤＴ５６のＩＤＴ５７に隣接する電極指はグランド電極６６の電極指６９ｂであり、ＩＤＴ５７のＩＤＴ５６に隣接する電極指は浮き導体７２ｂの電極指７７ｃであり、連続して電極指７７ｄが接続される。ＩＤＴ群２（４２）とＩＤＴ群３（４３）の隣接する電極指も同様の関係になっている。このように、入出力側のＩＤＴの同電位である複数の電極指は両側の浮き導体７１ｂ、７３ｂに接続し、グランド側のＩＤＴの同電位である複数の電極指は中央の浮き導体７２ｂに接続することもできる。
図８は変形例３を示す図である。変形例３は、直列接続されたＩＤＴの中の２つのＩＤＴの電極指パターンが、弾性表面波の伝搬方向に対し垂直方向に平行移動したパターンである例である。ＩＤＴ５６、５７および、５８は、それぞれ、ＩＤＴ５１、５２および５３を弾性表面波の伝搬方向に垂直な方向に平行した電極パターンを有する。すなわち、グランド電極６６ａは浮き導体７１ｃの上部を平行移動した電極パターンであり、浮き導体７１ｃの下部は入出力電極６１を平行移動した電極パターンである。同様に、グランド電極６７ａは浮き導体７２ｃの上部を平行移動した電極パターンであり、浮き導体７２ｃの下部は入出力電極６２を平行移動した電極パターンである。グランド電極６８ｃは浮き導体７３ｃの上部を平行移動した電極パターンであり、浮き導体７３ｃの下部は入出力電極６３を平行移動した電極パターンである。その他の構成は実施例１と同じである。
これにより、隣接するＩＤＴ５１とＩＤＴ５２において、ＩＤＴ５１のＩＤＴ５２に隣接する電極指は浮き導体７１ｃの電極指７４ｅであり、連続して電極指７４ｆが接続される。ＩＤＴ５２のＩＤＴ５１に隣接する電極指は入出力電極５２の電極指６５ａである。同様に、隣接するＩＤＴ５６とＩＤＴ５７において、ＩＤＴ５６のＩＤＴ５７に隣接する電極指はグランド電極６６ａの電極指６９ｃであり、ＩＤＴ５７のＩＤＴ５６に隣接する電極指は浮き導体７２ｃの電極指７７ｅである。ＩＤＴ５６のように、同電位である複数の電極指６９ｃ、６９ｄはグランド電極６６ａに接続されている。このように、同電位である複数の電極指は、同電位であれば、浮き導体以外に接続されていてもよい。
図９は変形例４を示す図である。変形例４は、グランド電極６６、６７および６８が圧電基板１０上で接続配線４６により接続されている。その他の構成は実施例１と同じである。すなわち、ＩＤＴに接続されたグランド電極が圧電基板上で接続されている。これにより、入力端子に接続されたＩＤＴ群２（４２）並びに出力端子に接続されたＩＤＴ群１（４１）およびＩＤＴ群３（４３）に付加される共通グランドインダクタンスの制御を容易にすることができる。
図１０は変形例５を示す図である。変形例５はグランド電極６６、６７、６８を一体化し、グランド電極６６、６７、６８の電極指が単一のグランドバスバー４７に直接接続している。グランドバスバー４７は、グランド電極の電極指が直接接続された直線状の電極である。変形例５では、ＩＤＴ５６、ＩＤＴ５７、ＩＤＴ５８のグランド電極の電極指全てが一本のグランドバスバーに接続されている。その他の構成は実施例１と同じである。これにより、入力端子に接続されたＩＤＴ群２（４２）並びに出力端子に接続されたＩＤＴ群１（４１）およびＩＤＴ群３（４３）に付加される共通グランドインダクタンスの制御を容易にでき、かつ、グランド抵抗を低減することができる。
図１１は変形例６を示す図である。変形例６は、出力端子に接続された入出力電極６１ａ、６３ａと入力端子に接続された入出力電極６２は異なる方向に設けられている。ＩＤＴ群２（４２）は、図１１の下段がグランド端子６７と浮き導体７２を有するＩＤＴ５７であり、上段が、入力端子に接続された入出力電極６２と浮き導体７２を有するＩＤＴ５２である。これに対し、ＩＤＴ群１（４１）およびＩＤＴ群３（４３）は、図１１の下段が出力端子に接続した入出力電極６１ａ、６３ａと浮き導体７１、７３を有するＩＤＴ５１ａ、５３ａであり、上段がグランド電極６６ｂ、６８ｂと浮き導体７１、７３を有するＩＤＴ５６ａ、５８ａである。その他の構成は実施例１と同じである。これによっても、通過特性を劣化させることはなく、耐電力性を向上させ、非線形効果を抑制することが可能となる。
図１２は変形例７を示す図である。変形例７は、両側に位置するＩＤＴ群１（４１）のＩＤＴ５１（第１のＩＤＴ）の入出力電極６１およびＩＤＴ群３（４３）のＩＤＴ５３（第３のＩＤＴ）の入出力電極６３は入力端子に接続され、ＩＤＴ群２（４２）のＩＤＴ５２（第２のＩＤＴ）の入出力電極６２は出力端子に接続されている。その他の構成が実施例１と同じである。これにより、実施例１に比べ、耐電力性をより向上させ、より非線形抑圧効果を得ることができる。
図１３は変形例８を示す図である。変形例８は、浮き導体の電極指を接続する接続線をなくした例である。反射器４０ａ、４５ａの間に弾性表面波の伝搬方向にＩＤＴ群１（４１ａ）、ＩＤＴ群２（４２ａ）、ＩＤＴ群３（４３ａ）が配置されている。ＩＤＴ群１（４１ａ）は入出力電極６１とグランド電極６６を有しており、電極指間に浮き導体の電極指７９が設けられている。同様に、ＩＤＴ群２（４２ａ）は入出力電極６２とグランド電極６７を有しており、電極指間に浮き導体の電極指７９が設けられており、ＩＤＴ群３（４３ａ）は入出力電極６３とグランド電極６８を有しており、電極指間に浮き導体の電極指７９が設けられて
いる。さらに、隣接する入出力電極間６１と６２、６２と６３、並びに隣接するグランド電極間６６と６７、６７と６８には２本の浮き導体の電極指７９が設けられている。その他の構成は実施例１と同じである。このように浮き導体の接続線をなくすことにより、通過帯域内のノッチをさらに抑制することができる。
図１４は変形例９を示す図である。変形例８は、隣接するＩＤＴの隣接する浮き導体の接続線の間に、接続線に接続されていない電極指が設けられている。その他の構成は実施例１と同じである。ＩＤＴ５１、５６の浮き導体７１とＩＤＴ５２、５７の浮き導体７２の接続線４８ａ、４８ｂの間に、電極指６５ｂ、６９ｅが設けられている。さらに、電極指６５ｂは入出力電極６２ｂに接続され、電極指６９ｅはグランド電極６７ｂに接続されている。ＩＤＴ群２（４２）、ＩＤＴ群３（４３）の浮き導体７２、７３の接続線４８ｂ、４８ｃの関係も同様である。すなわち、隣接する２つの直列接続したＩＤＴの隣接する浮き導体の接続線の間に、前記接続線に接続されていない電極指が設けられる。これにより、接続線４８ａと４８ｂ間並びに４８ｂと４８ｃ間の静電容量を削減することができる。つまり、浮き導体７１と７２の間の静電容量並びに浮き導体７２と７３の間の静電容量を削減することができる。よって、通過帯域内のノッチをさらに抑制することができる。
実施例１およびその変形例においては、ＤＭＳの例を示したが、ＤＭＳに限られず、複数のＩＤＴ群が弾性表面波の伝搬方向に配置された多重モード型ＳＡＷフィルタであっても、実施例１およびその変形例と同様の効果が得られる。また、
同電位である複数の電極指の例として電極指が２本の例を示したが、複数本であればその効果が得られる。
実施例２は３つに直列接続されたＩＤＴを有する例である。図１５は実施例２の上視図である。圧電基板１０上に形成された反射器１３０ａ、１３０ｂの間に、弾性表面波の伝搬方向に、ＩＤＴ群１（１３１ａ）、ＩＤＴ群２（１３１ｂ）およびＩＤＴ群３（１３１ｃ）が配置されている。ＩＤＴ群１（１３１ａ）は、入出力電極１３５ａと浮き導体１３７aを有するＩＤＴ１３２ａと、浮き導体１３７ａと浮き導体１３８ａを有するＩＤＴ１３３ａと、グランド電極１３６ａと浮き導体１３８ａとを有するＩＤＴ１３４ａが直列接続されている。同様に、ＩＤＴ群２（１３１ｂ）は、入出力電極１３５ｂと浮き導体１３７ｂを有するＩＤＴ１３２ｂと、浮き導体１３７ｂと浮き導体１３８ｂを有するＩＤＴ１３３ｂと、グランド電極１３６ｂと浮き導体１３８ｂとを有するＩＤＴ１３４ｂが直列接続されている。また、ＩＤＴ群３（１３１ｃ）は、入出力電極１３５ｃと浮き導体１３７ｃを有するＩＤＴ１３２ｃと、浮き導体１３７ｃと浮き導体１３８ｃを有するＩＤＴ１３３ｃと、グランド電極１３６ｃと浮き導体１３８ｃとを有するＩＤＴ１３４ｃが直列接続されている。
隣接するＩＤＴ１３２ａとＩＤＴ１３２ｂにおいて、ＩＤＴ１３２ａのＩＤＴ１３２ｂに隣接する電極指は浮き導体１３７ａの電極指１３９ａである。また、ＩＤＴ１３２ｂのＩＤＴ１３２ａに隣接する電極指は入出力電極１３５ｂの電極指１４０ａである。同様に、隣接するＩＤＴ１３３ａとＩＤＴ１３３ｂにおいて、ＩＤＴ１３３ａのＩＤＴ１３３ｂに隣接する電極指は浮き導体１３７ａの電極指１３９ｃであり、ＩＤＴ１３３ｂのＩＤＴ１３３ａに隣接する電極指は浮き導体１３８ｂの電極指１４１ｃである。また、隣接するＩＤＴ１３４ａとＩＤＴ１３４ｂにおいて、ＩＤＴ１３４ａのＩＤＴ１３４ｂに隣接する電極指はグランド電極１３６ａの電極指１４２ａであり、ＩＤＴ１３４ｂのＩＤＴ１３４ａに隣接する電極指は浮き導体１３８ｂの電極指１４１ａである。ＩＤＴ群２（１３１ｂ）とＩＤＴ群３（１３１ｃ）の隣接する電極指も同様の関係になっている。
さらに、図１５の中段のＩＤＴ１３３ａ、１３３ｂ、１３３ｃは、上段のＩＤＴ１３２ａ、１３２ｂ、１３２ｃを、弾性表面波の伝搬方向に延在する軸に対し鏡面対称の電極パターンを有する。さらに、下段のＩＤＴ１３４ａ、１３４ｂ、１３４ｃは、隣接するＩＤＴ間の隣接する電極指を除き、中段のＩＤＴ１３３ａ、１３３ｂ、１３３ｃを弾性表面波の伝搬方向に垂直な方向に平行移動させた電極パターンを有する。
このように、隣接するＩＤＴの、その間で隣接する電極指のうち一方が浮き導体に接続されている場合、もう一方は浮き導体以外（入出力電極またはグランド電極）に接続されている。これにより、隣接する浮き導体１３７ａと１３７ｂ間には、入出力電極１３５ｂの電極指１４０ａが配置されており、隣接する浮き導体１３８ａと１３８ｂ間には、グランド電極１３６ａの電極指１４２ａが配置されている。よって、浮き導体１３７ａと１３７ｂ間並びに１３８ａと１３８ｂ間の静電容量を低減することができる。これにより、実施例１と同様に、通過帯域内のノッチを抑制することができる。
また、ＩＤＴ１３２ａのＩＤＴ１３２ｂに隣接する電極指には、浮き導体１３７ａの電極指１３９ａに加え、同じ浮き導体１３７ａの電極指１３９ｂが連続して設けられている。同様に、ＩＤＴ１３３ａのＩＤＴ１３３ｂに隣接する電極指には、浮き導体１３７ａの電極指１３９ｃに加え、同じ浮き導体１３７ａの電極指１３９ｄが連続して設けられている。また、ＩＤＴ１３４ｂのＩＤＴ１３４ａに隣接する電極指には、浮き導体１３８ｂの電極指１４１ａに加え、同じ浮き導体１３８ｂの電極指１４１ｂが連続して設けられている。すなわち、隣接するＩＤＴのその間で隣接する電極指の少なくとも一方は、同電位である複数の電極指である。
実施例２のように、３つのＩＤＴに直列分解した場合、図２（ａ）の従来例と入出力インピーダンンスを変えないことが好ましい。よって、ＩＤＴ群１（１３１ａ）、ＩＤＴ群２（１３１ｂ）およびＩＤＴ群３（１３１ｃ）の各合成静電容量は、それぞれ、図２(ｂ)に記載した従来例のＩＤＴ１（２１ａ）、ＩＤＴ２（２２ｂ）およびＩＤＴ３（２３ｃ）の静電容量と等しいことが好ましい。よって、上段のＩＤＴ１３２ａ、１３２ｂおよび１３２ｃの開口長をＡＰ１、中段のＩＤＴ１３３ａ、１３３ｂおよび１３３ｃの開口長をＡＰ２、下段のＩＤＴ１３４ａ、１３４ｂおよび１３４ｃの開口長をＡＰ３としたとき、数式２を満たすことが好ましい。ＡＰ１＝ＡＰ２＝ＡＰ３＝３．０ＡＰのとき、各ＩＤＴに加わる電圧は最低になる。よって、最も耐電力性が向上し、さらに最も非線形効果を抑制することができる。そこで、実施例２においては、ＡＰ１＝ＡＰ２＝ＡＰ３＝３．０ＡＰとしている。
Figure 0004537254
実施例２においては、ＡＰ１＝ＡＰ２＝ＡＰ３＝３．０ＡＰとすることにより、各ＩＤＴに印加される電圧を従来例の１／３とすることができる。よって、実施例１の１／２に比べ、さらにＩＤＴに印加される電圧を小さくできる。これにより、実施例１に比べ、耐電力性をより向上させ、非線形効果をより抑制することができる。このように、直列分解する数を多くすれば、耐電力性をより向上させ、非線形効果をより抑制することができる。しかし、フィルタの面積が大きくなる。そこで、フィルタの面積と、耐電力性、非線形効果を考慮し、直列分解する数を決めることができる。
実施例３は実施例１に係る多重モード型ＳＡＷフィルタを、４つ並列に接続した例である。図１６は実施例３を示す模式図である。ＤＭＳ９１、９２、９３および９４は実施例１の変形例５と同じ構成で、開口長を実施例１の変形例５の１／４としたフィルタである。ＤＭＳ９１、９２、９３および９４はそれぞれの入力端子が並列に接続され、共通の入力端子９０に接続されている。それぞれの出力端子も並列に接続され、共通の出力端子９５に接続されている。このように、ＤＭＳ９１、９２，９３および９４を並列に接続した場合、実施例３に係るフィルタの入出力インピーダンスが実施例１の変形例５と同じになるのは、個々のＤＭＳ９１、９２，９３および９４の開口長が実施例１の変形例５の１／４のときである。このように、開口長を１／４にすることにより、電極指の抵抗を低減することができる。これにより、フィルタの挿入損失を低減することができる。
実施例３においては、実施例１の変形例５に係るフィルタを用いた例を示したが、変形例５に限られるものではない。また、並列の数は４つ限られない。並列の数を増やせば、開口長を短くすることができ、よりフィルタの挿入損失を低減できる。しかし、フィルタのサイズは大きくなってしまう。そこで、並列の数は、フィルタのサイズと挿入損失を考慮して決められる。
実施例４は実施例３に係る多重モード型ＳＡＷフィルタの出力端子に、直列分解されていないＩＤＴのみを有する多重モード型ＳＡＷフィルタの入力端子を接続した例である。図１７は実施例４の模式図である。実施例３に係る第１のフィルタ１００と、フィルタ１００の出力端子９５に入力端子１０７が接続された第２のフィルタ１０２を具備している。第１のフィルタ１００は実施例２係る多重モード型ＳＡＷフィルタであり第２のフィルタ１０２は直列分解されていないＩＤＴのみを有するＤＭＳとして、図２（ａ）に示す従来例のＤＭＳ１０３、１０４、１０５および１０６（多重モード型ＳＡＷフィルタ）が並列に接続された多重モード型ＳＡＷフィルタである。ＤＭＳ１０３、１０４、１０５および１０６の各々の入力端子は、フィルタ１０２の共通の入力端子１０７に接続され、ＤＭＳ１０３、１０４、１０５および１０６の各々の出力端子は、フィルタ１０２の共通の出力端子１０８に接続されている。
フィルタ１００とフィルタ１０２を縦続接続することにより、通過帯域外の抑圧度を大幅に向上させることができる。さらに、耐電力性および非線形効果に主に影響するのは入力端子９０に接続された第１のフィルタ１００である。このため、第１のフィルタ１００を実施例３に係るフィルタとすることで耐電力性を向上し、非線形効果を抑制することができる。第２のフィルタ１０２は、例えば、直列分解されていないＩＤＴのみを有するフィルタを使用することで、フィルタの面積を小さくすることができる。
このように、第２のフィルタ１０２は、例えば実施例３等の直列分解したＩＤＴを有するフィルタを使用することもできるが、直列分解されていないＩＤＴのみを有するフィルタを使用することが好ましい。第１のフィルタ１００として、実施例１またはその変形例、実施例２を用いることもできる。また、第２のフィルタ１０２は、１つまたは複数の多重モード型ＳＡＷフィルタが並列に接続された多重モード型ＳＡＷフィルタを用いることもできる。
実施例５は携帯電話端末用のアンテナ分波器に、実施例４に係るフィルタを用いた例である。図１８に実施例５に係るアンテナ分波器の模式図を示す。受信用フィルタ１２０ａに用いた実施例４のフィルタは、入力端子側には実施例１の変形例５のＤＭＳ１２１ａが４つ並列に接続されており、出力端子側には従来例のＤＭＳ１２２ａが４つ並列に接続されている。
送信端子１２８はラダー型ＳＡＷフィルタである送信用フィルタ１２６の入力端子に接続され、送信用フィルタ１２６の出力端子はアンテナ端子１２５に接続されている。これにより、送信端子から入力した送信信号は送信フィルタ１２６を所望の周波数の送信信号が通過しアンテナ端子１２５から出力される。一方、アンテナ端子１２５は整合回路１２３を介し実施例４に係るフィルタである受信用フィルタ１２０ａの入力端子に接続され、受信用フィルタ１２０ａの出力端子は受信端子１２４に接続される。これにより、アンテナ端子１２５に入力した受信信号は、整合回路１２３を通過し、受信用フィルタ１２０ａを所望の周波数の受信信号が通過し受信端子１２４から出力される。
高い耐電力性を有するラダー型ＳＡＷフィルタを送信用フィルタ１２６に用いることにより大電力が印加される送信信号に耐えることができる。また、受信側フィルタ１２０ａに、多重モード型ＳＡＷフィルタを用いることにより、高い帯域外減衰量と急峻なカットオフ特性を有することができる。さらに、図１で説明したように、送信用フィルタ１２６から出力された送信信号の一部が漏れ電力となって受信用フィルタ１２０ａに至る場合であっても、フィルタ１２０ａは耐電力性が向上しており、漏れ電力により、受信用フィルタ１２０ａが破壊されにくくなっている。あるいは、漏れ電力が受信用フィルタ１２０ａの非線形効果をもたらし、受信信号の検出感度を低下させることを防止できる。
このような実施例５による非線形性の抑圧効果を確認するため、アンテナ分波器の線形性能評価規格の一つであるクロスモジュレーション（Cross Modulation：ＣＭ）試験を行った。
ＣＭ試験の試験条件を図１９（ａ）に示す。アンテナ分波器のブロック構成は図１と同じである。アンテナ端子１４から２５ｄＢｍの電力が出力されるように、送信端子１３から送信周波数（ｆＴｘ）の大電力の変調信号（送信信号）を入力する。同時にアンテナ端子１４から−３０ｄＢｍの微弱な受信周波数（ｆＴｘ＋ΔＧ＋Δｆ）の無変調信号（妨害波）を入力する。このとき、受信端子１５から出力される信号のスペクトルを測定する。
図１９（ｂ）はこのときの試験周波数の条件を示す図であり、横軸は、周波数、縦軸はフィルタの通過量を示している。送信用フィルタ１６のフィルタ特性を実線、受信フィルタ１１のフィルタ特性を破線で示してある。アンテナ分波器を用いる携帯電話端末の使用される通信システムの送信帯域および受信帯域は、それぞれ送信用フィルタ１６および受信用フィルタ１１の通過帯域内となっている。ΔＧは送信帯域の中心周波数と受信帯域の中心周波数の間隔（一定値）である。また、Δｆは通信システム毎に定められたチャンネル間隔（一定値）である（通常数ＭＨｚ以下）。この状態で受信端子における妨害波の信号スペクトルを測定する。ＣＭ試験時、受信用フィルタ１１には、妨害波だけでなく、送信信号のうちアンテナ端子に出力されなかった一部の信号（漏れ電力）が入力している。
受信端子における妨害波のスペクトルを測定した一例を図２０に示す。図２０は横軸が周波数、縦軸が受信端子出力電力である。図２０中の破線は、送信信号を入力しない状態で測定した受信端子出力電力のスペクトルである。このときは、受信用フィルタ１１に非線形性が無い状態と同等とである。この状態では、受信（妨害波の）周波数（ｆＴｘ＋ΔＧ＋Δｆ）のみに鋭いピークが現れる。一方、図２０中の実線は、送信信号を入力した状態で測定した受信端子出力電力のスペクトルである。この場合、受信用フィルタ１１に非線形性があると、漏れ電力により受信信号（妨害波）が変調を受け、スペクトルが広がり変調信号を発生する。この変調信号の周波数は、妨害波の隣接チャンネルにまで及ぶため、隣接チャンネルの受信信号（ｆＴｘ＋ΔＧ）が変調信号に埋もれてしまう。これにより、受信感度が劣化する。このように、変調信号の大きさにより、受信用フィルタ１１の非線形性を評価することができる。また、変調信号が小さい受信用フィルタは、非線形性が小さく、アンテナ分波器に適したフィルタと言うことができる。
実施例５に加え図２１、図２２の模式図で示すアンテナ分波器についてもＣＭ試験を行った。図２１に示したアンテナ分波器（従来例）は、実施例５に対し、受信用フィルタ１２０ｂの構成が異なる。その他の構成は実施例５と同じである。入力端子側のＤＭＳ１２１ｂ、出力端子側のＤＭＳ１２２ｂとも図２（ａ）の従来例のＤＭＳ、すなわち直列分解していないＩＤＴのみを有するＤＭＳを用いている。図２２に示したアンテナ分波器（比較例）は、実施例５に対し、受信用フィルタ１２０ｃの構成が異なる。その他の構成は実施例５と同じである。入力端子側のＤＭＳ１２１ｃには図２（ｂ）の比較例のＤＭＳを、出力端子側のＤＭＳ１２２ｃには図２（ａ）の従来例のＤＭＳを用いている。
図２３はＣＭ試験の結果である。横軸は周波数、縦軸は受信端子出力電力である。従来例、比較例および実施例５（図では実施例）の受信端子出力電力のスペクトルを、それぞれ点線、破線および実線で示した。また、送信周波数は、送信帯域の最も低い周波数を用いた。実施例５に係るアンテナ分波器は、従来例、比較例のアンテナ分波器に比べ、隣接チャンネルの変調信号強度を大幅に低減できていることがわかる。これは、２つ直列接続したＩＤＴの開口長を共に２．０×ＡＰとしたことで、1つのＩＤＴ当りの印加される電圧が小さくなり、単位面積当りに励振するＳＡＷ強度が低減し、非線形効果が起こりにくくなったためである。
図２４はこれらのアンテナ分波器の通過特性である。図２４（ｂ）は図２４（ａ）の受信帯域付近の拡大図である。従来例、比較例および実施例５の挿入損失を、それぞれ点線、破線および実線で示した。実施例５のアンテナ分波器は通過帯域内にノッチが発生することも無く、従来例、比較例のアンテナ分波器と同等のフィルタ特性を示していることがわかる。
以上の実験結果から、アンテナ分波器の受信用フィルタ１２０ａの入力端子側のＤＭＳ１２１ａとして、複数に直列接続されたＩＤＴを有する多重モード型ＳＡＷフィルタを用いることにより、アンテナ分波器の耐電力性を向上させ、非線形効果を抑制することができた。しかも、ＤＭＳ１２１ａが有する隣接するＩＤＴの、その間で隣接する電極指のうち一方が浮き導体に接続されている場合、もう一方は浮き導体以外（入出力電極またはグランド電極）に接続されている。これにより、ＤＭＳ１２１ａが有する浮き導体間の静電容量を低減し、アンテナ分波器の通過帯域内のノッチの発生を抑制できた。これにより、ＤＭＳ１２０ａの直列分解されたＩＤＴの開口長として、アンテナ分波器の耐電力性を最も向上させ、非線形効果を最も抑制することができる開口長としてＡＰ１＝ＡＰ２を選択することができた。以上により、実施例５によれば、アンテナ分波器のフィルタ特性を劣化させることなく、その耐電力性を向上させ、非線形効果を抑制することができた。
実施例５は受信用フィルタ１２０ａに実施例４に係るフィルタを使用したが、実施例１またはその変形例、実施例２若しくは実施例３のフィルタを用いることができる、この場合も、実施例５と同様の効果を得ることができる。
実施例６はバランス型ＳＡＷフィルタの例である。図２５に実施例６の上視図を示す。実施例６の上部の部分は、実施例１の変形例６の左側の浮き導体７１を浮き導体７１ｄに変更し、入出力電極６１ａ、６３ａを浮き導体１６１、１６３に変更したものである。他の構成は実施例１の変形例６と同じである。反射器１５０と１５５の間で、浮き導体１６１とグランド電極１６６はＩＤＴ１５１を構成し、浮き電極１６３とグランド電極１６８はＩＤＴ１５３を構成する。ＩＤＴ１５１とＩＤＴ１５３の間には浮き電極１６２と入出力電極１６７ａ、１６７ｂでそれぞれ構成されるＩＤＴ１５２ａ、１５２ｂが設けられている。入出力電極１６７ａ、１６７ｂにはそれぞれバランス出力端子１とバランス出力端子２が接続されている。
左側の浮き導体７１ｄは、中央のＩＤＴ５２、５７に隣接する電極指は７４ａの１本である。一方、右側の浮き電極７３の中央のＩＤＴ５２に隣接する電極指は７８ａと７８ｂの２本設けている。これにより、浮き導体１６１と１６３に励起される信号の位相は１８０°反転している。このため、ＩＤＴ１５１とＩＤＴ１５３に励起される信号は１８０°反転し、ＩＤＴ１５２ａとＩＤＴ１５２ｂに励起される信号の位相も１８０°反転する。よって、バランス出力端子１とバランス出力端子２に出力される信号の位相は１８０°反転し、実施例６に係るフィルタはバランス型フィルタとして機能する。
実施例１の変形例６と同様に、隣接するＩＤＴの、その間で隣接する電極指のうち一方が浮き導体に接続されている場合、もう一方は浮き導体以外（入出力電極またはグランド電極）に接続されている。これにより、浮き導体７１ｄと７２間並びに浮き導体７２と７３間の静電容量を低減することができる。これにより、通過帯域内のノッチを抑制することができる。
実施例７は３つのＩＤＴに直列分解したバランス型ＳＡＷフィルタの例である。図２６に実施例７を示す。実施例７は、実施例２の入出力電極１３５ａ、１３５ｃを入力端子に、入出力電極１３５ｂをバランス出力端子１に接続し、グランド電極１３４ｂを入出力電極１３５ｄに変更しバランス出力端子２に接続している。これら以外は実施例２と同じ構成である。入出力端子１３５ｂと浮き導体１３７ｂ、浮き導体１３７ｂと浮き導体１３８ｂ、浮き導体１３８ｂと入出力電極１５ｄは、それぞれ位相が１８０°反転する。これより、入出力電極１３５ｂに接続されたバランス出力端子１と入出力電極１３５ｄに接続されたバランス出力端子２は、位相が１８０°反転し、実施例７に係るフィルタはバランス型フィルタとして機能する。
実施例２と同様に、隣接するＩＤＴの、その間で隣接する電極指のうち一方が浮き導体に接続されている場合、もう一方は浮き導体以外（入出力電極またはグランド電極）に接続されている。これにより、通過帯域内のノッチを抑制することができる。よって、フィルタ特性を劣化させることなく、耐電力性を向上させ、非線形効果を抑制することが可能となる。
実施例６および実施例７のように、バランス型ＳＡＷフィルタに実施例１またはその変形例、実施例２、実施例３若しくは実施例４に係るフィルタを用いることにより、フィルタ特性を劣化させることなく、耐電力性を向上させ、非線形効果を抑制することが可能となる。また、これらのバランス型ＳＡＷフィルタをアンテナ分波器に用いることにより、フィルタ特性を劣化させることなく、耐電力性を向上させ、非線形効果を抑制することが可能となる。
以上、本発明の実施例について詳述したが、本発明は係る特定の実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
図１はアンテナ分波器の構成を示し、従来の課題について説明するための図である。 図２は従来例および比較例に係るＤＭＳの構成を示す図であり、図２（ａ）は従来例、図２（ｂ）は比較例の構成を示す。 図３は従来例および比較例の周波数に対する挿入損失の計算結果を示す図であり、図３（ａ）は通過帯域付近、図３（ｂ）はノッチが発生する周波数付近の図である。 図４は実施例１に係るＤＭＳの構成を示す図である。 図５は従来例、比較例および実施例１の周波数に対する挿入損失の計算結果を示す図であり、図５（ａ）は通過帯域付近、図５（ｂ）はノッチが発生する周波数付近の図である。 図６は実施例１の変形例１に係るＤＭＳの構成を示す図である。 図７は実施例１の変形例２に係るＤＭＳの構成を示す図である。 図８は実施例１の変形例３に係るＤＭＳの構成を示す図である。 図９は実施例１の変形例４に係るＤＭＳの構成を示す図である。 図１０は実施例１の変形例５に係るＤＭＳの構成を示す図である。 図１１は実施例１の変形例６に係るＤＭＳの構成を示す図である。 図１２は実施例１の変形例７に係るＤＭＳの構成を示す図である。 図１３は実施例１の変形例８に係るＤＭＳの構成を示す図である。 図１４は実施例１の変形例９に係るＤＭＳの構成を示す図である。 図１５は実施例２に係るＤＭＳの構成を示す図である。 図１６は実施例３に係るフィルタの模式図である。 図１７は実施例４に係るフィルタの模式図である。 図１８は実施例５に係るアンテナ分波器の模式図である。 図１９はＣＭ試験の条件を説明するための図である。 図２０はＣＭ試験のスペクトルを測定した一例を説明するための図である。 図２１は従来例に係るアンテナ分波器の模式図である。 図２２は比較例に係るアンテナ分波器の模式図である。 図２３は従来例、比較例および実施例５に係るアンテナ分波器のＣＭ試験の結果を示す図である。 図２４（ａ）は従来例、比較例および実施例５に係るアンテナ分波器の周波数に対する挿入損失を示した図であり、図２４（ｂ）は受信帯域付近の図である。 図２５は実施例６に係るバランス型フィルタの構成を示す図である。 図２６は実施例７に係るバランス型フィルタの構成を示す図である。
符号の説明
１０ 圧電基板
１１ 受信用フィルタ
１２ 整合回路
１３ 送信端子
１４ アンテナ端子
１５ 受信端子
１６ 送信用フィルタ
２０ａ、２０ｂ 反射器
２１ａ、２１ｂ、２１ｃ ＩＤＴ
２２ａ、２２ｂ、２２ｃ 入出力電極
２３ａ、２３ｂ、２３ｃ グランド電極
３０ａ、３０ｂ 反射器
３１ａ、３１ｂ、３１ｃ ＩＤＴ群
３２ａ、３２ｂ、３２ｃ ＩＤＴ
３３ａ、３３ｂ、３３ｃ ＩＤＴ
３４ａ、３４ｂ、３４ｃ 入出力電極
３５ａ、３５ｂ、３５ｃ 浮き導体
３６ａ、３６ｂ、３６ｃ グランド電極
４０，４５、４０ａ、４５ａ 反射器
４１、４２、４３、 ＩＤＴ群
４１ａ、４２ａ、４３ａ ＩＤＴ群
４６ 接続電極
４７ グランドバスバー
４８ａ、４８ｂ、４８ｃ 接続線
５１、５２、５３ ＩＤＴ
５６、５７、５８ ＩＤＴ
５１ａ、５６ａ ＩＤＴ
６１、６２、６３ 入出力電極
６１ａ、６３ａ、６２ｂ 入出力電極
６４ａ 電極指
６５ａ、６５ｂ 電極指
６６、６７、６８ グランド電極
６６ａ、６７ａ、６８ａ グランド電極
６６ｂ、６８ｂ グランド電極
６９ａ、６９ｂ、６９ｃ、６９ｄ、６９ｅ 電極指
７１、７２、７３ 浮き導体
７１ａ、７２ａ、７３ａ 浮き導体
７１ｂ、７２ｂ、７３ｂ 浮き導体
７１ｃ、７２ｃ、７３ｃ 浮き導体
７１ｄ 浮き導体
７４ａ、７４ｂ、７４ｃ、７４ｄ、７４ｅ、７４ｆ 電極指
７５ａ、７５ｂ 電極指
７６ａ、７６ｂ 電極指
７７ａ、７７ｂ、７７ｃ、７７ｄ、７７ｅ 電極指
７８ａ、７８ｂ、７８ｃ、７８ｄ 電極指
７９ 電極指
９０，１０７ 入力端子
９１、９２、９３、９４ ＤＭＳ
９５、１０８ 出力端子
１００ 第１のフィルタ
１０２ 第２のフィルタ
１０３、１０４、１０５，１０６ ＤＭＳ
１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃ 受信用フィルタ
１２１ａ、１２１ｂ、１２１ｃ ＤＭＳ
１２２ａ、１２２ｂ、１２２ｃ ＤＭＳ
１２３ 整合回路
１２４ 受信端子
１２５ アンテナ端子
１２６ 送信用フィルタ
１２８ 送信端子
１３０ａ、１３０ｂ 反射器
１３１ａ、１３１ｂ、１３１ｃ ＩＤＴ群
１３２ａ、１３２ｂ、１３２ｃ ＩＤＴ
１３３ａ、１３３ｂ、１３３ｃ ＩＤＴ
１３４ａ、１３４ｂ、１３４ｃ ＩＤＴ
１３５ａ、１３５ｂ、１３５ｃ 入出力電極
１３６ａ、１３６ｂ、１３６ｃ、１３６ｄ グランド電極
１３７ａ、１３７ｂ、１３７ｃ 浮き導体
１３８ａ、１３８ｂ、１３８ｃ 浮き導体
１３９ａ、１３９ｂ、１３９ｃ、１３９ｄ 電極指
１４０ａ、１４２ａ 電極指
１４１ａ、１４１ｂ、１４１ｃ 電極指
１５０、１５５ 反射器
１５１，１５２ａ、１５２ｂ、１５３ ＩＤＴ
１６１、１６２，１６３ 浮き導体
１６６，１６８ グランド電極
１６７ａ、１６７ｂ 入出力電極

Claims (21)

  1. 圧電基板上に形成され、入出力電極とグランド電極の間に浮き導体を介し複数に直列接続されたインタディジタル・トランスデューサ（ＩＤＴ）を有するＩＤＴ群を複数具備し、
    隣接する前記ＩＤＴのその間で隣接する電極指のうち一方が浮き導体に接続されている場合は、もう一方の電極指は、前記入出力電極と前記グランド電極のいずれか一方に接続されていて、
    前記隣接する電極指のうち前記浮き導体に接続された電極指は、前記浮き導体に接続された同電位である複数の電極指が連続して設けられたことを特徴とする多重モード型弾性表面波フィルタ。
  2. 前記多重モード型弾性表面波フィルタを構成する全てのＩＤＴは、入出力電極とグランド電極の間に浮き導体を介し直列接続されたことを特徴とする請求項１記載の多重モード型弾性表面波フィルタ。
  3. 前記隣接するＩＤＴは弾性表面波の伝搬方向に隣接したことを特徴とする請求項１または２記載の多重モード型弾性表面波フィルタ。
  4. 前記直列接続されたＩＤＴの中の２つのＩＤＴの電極指パターンは、弾性表面波の伝搬方向に延在する軸に対し鏡面対称であることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項記載の多重モード型弾性表面波フィルタ。
  5. 前記直列接続されたＩＤＴの中の２つのＩＤＴの電極指パターンは、弾性表面波の伝搬方向に対し垂直方向に平行移動したパターンであることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項記載の多重モード型弾性表面波フィルタ。
  6. 前記直列接続されたＩＤＴの中の２つのＩＤＴは開口長が概等しいことを特徴とする請求項１から５のいずれか一項記載の多重モード型弾性表面波フィルタ。
  7. 出力端子に接続された前記入出力電極と入力端子に接続された前記入出力電極は同方向に設けられたことを特徴とする請求項１から６のいずれか一項記載の多重モード型弾性表面波フィルタ。
  8. 前記ＩＤＴに接続された各グランド電極は前記圧電基板上で接続されたことを特徴とする請求項７記載の多重モード型弾性表面波フィルタ。
  9. 前記グランド電極の電極指は単一のグランドバスバーに接続されたことを特徴とする請求項８記載の多重モード型弾性表面波フィルタ。
  10. 出力端子に接続された前記入出力電極と入力端子に接続された前記入出力端子は異なる方向に設けられたことを特徴とする請求項１から６のいずれか一項記載の多重モード型弾性表面波フィルタ。
  11. 前記直列接続されたＩＤＴの間に位置し、前記浮き導体に接続された電極指に接続する前記浮き導体の接続線であって、隣接する前記ＩＤＴ群がそれぞれ有する前記接続線の間に、前記接続線に接続されていない電極指が設けられたことを特徴とする請求項１から１０のいずれか一項記載の多重モード型弾性表面波フィルタ。
  12. 弾性表面波の伝搬方向に３つの前記ＩＤＴ群が配置され、
    前記３つのＩＤＴ群はそれぞれ、第１のＩＤＴ、第２のＩＤＴ、第３のＩＤＴを有し、
    前記弾性表面波の伝搬方向に順に前記第１のＩＤＴ、前記第２のＩＤＴおよび前記第３のＩＤＴが配置されたことを特徴とする請求項１から１１のいずれか一項記載の多重モード型弾性表面波フィルタ。
  13. 前記第１のＩＤＴと前記第２のＩＤＴの間に同電位である複数の電極指が設けられ、前記第２のＩＤＴと前記第３のＩＤＴの間に同電位である複数の電極指が設けられたことを特徴とする請求項１２記載の多重モード型弾性表面波フィルタ。
  14. 前記第１のＩＤＴと前記第２のＩＤＴの間に同電位である前記複数の電極指と、前記第２のＩＤＴと前記第３のＩＤＴの間に同電位である前記複数の電極指と、は互いに接続されたことを特徴とする請求項１３記載の多重モード型弾性表面波フィルタ。
  15. 前記第１のＩＤＴと前記第２のＩＤＴの間に同電位である前記複数の電極指と、前記第２のＩＤＴと前記第３のＩＤＴの間に同電位である前記複数の電極指は異なる電位の導体に接続されたことを特徴とする請求項１３記載の多重モード型弾性表面波フィルタ。
  16. 前記第１のＩＤＴの入出力電極および前記第３のＩＤＴの前記入出力電極は入力端子に接続され、前記第２のＩＤＴの前記入出力電極は出力端子に接続された請求項１２から１５のいずれか一項記載の多重モード型弾性表面波フィルタ。
  17. 請求項１から１６のいずれか一項記載の複数の多重モード型弾性表面波フィルタを並列に接続したことを特徴とする多重モード型弾性表面波フィルタ。
  18. 第１のフィルタと、前記第１のフィルタの出力端子が入力端子に接続された第２のフィルタを具備し、
    前記第１のフィルタが請求項１から１７のいずれか一項記載の多重モード型弾性表面波フィルタであり、
    前記第２のフィルタが多重モード型弾性表面波フィルタである多重モード型弾性表面波フィルタ。
  19. 前記第２のフィルタは、直列分解されていないＩＤＴのみを有する多重モード型弾性表面波フィルタである請求項１８記載の弾性表面波フィルタ。
  20. 請求項１から１９のいずれか一項記載の多重モード型弾性表面波フィルタを使用したバランス型弾性表面波フィルタ。
  21. 請求項１から１９のいずれか一項記載の多重モード型弾性表面波フィルタ若しくは請求項２０記載のバランス型弾性表面波フィルタを使用したアンテナ分波器。
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Families Citing this family (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2007116760A1 (ja) * 2006-04-06 2007-10-18 Murata Manufacturing Co., Ltd. デュプレクサ
JP4244057B2 (ja) 2006-08-30 2009-03-25 富士通メディアデバイス株式会社 バランスフィルタおよび分波器
JP4290199B2 (ja) * 2007-01-11 2009-07-01 富士通メディアデバイス株式会社 フィルタ
CN102017406B (zh) * 2008-04-25 2014-02-26 京瓷株式会社 声表面波装置和使用该装置的通信装置
WO2010061925A1 (ja) * 2008-11-28 2010-06-03 京セラ株式会社 弾性表面波フィルタおよびデュプレクサ
DE102009032840B4 (de) * 2009-07-13 2015-02-05 Epcos Ag SAW-Filterschaltung mit verbesserter ESD-Festigkeit
JP5340112B2 (ja) * 2009-10-28 2013-11-13 京セラ株式会社 弾性表面波装置
JP5168360B2 (ja) * 2010-01-28 2013-03-21 株式会社村田製作所 分波器
US9013251B2 (en) 2010-02-09 2015-04-21 Kyocera Corporation Acoustic wave device
JP5776243B2 (ja) 2011-03-18 2015-09-09 日本電波工業株式会社 弾性波フィルタ
JP5877043B2 (ja) 2011-11-22 2016-03-02 太陽誘電株式会社 デュプレクサ
KR101924025B1 (ko) 2014-02-04 2018-11-30 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 탄성파 장치
US9576735B2 (en) * 2014-06-06 2017-02-21 Globalfoundries Inc. Vertical capacitors with spaced conductive lines
US10097158B2 (en) * 2014-10-16 2018-10-09 Taiyo Yuden Co., Ltd. Acoustic wave device, filter, and duplexer
WO2016063718A1 (ja) * 2014-10-21 2016-04-28 株式会社村田製作所 弾性波共振子及びラダー型フィルタ
WO2017131170A1 (ja) * 2016-01-29 2017-08-03 京セラ株式会社 弾性波共振子、弾性波フィルタ、分波器および通信装置
JP6465047B2 (ja) * 2016-02-19 2019-02-06 株式会社村田製作所 弾性波共振子、帯域通過型フィルタ及びデュプレクサ
DE102016114071B3 (de) * 2016-07-29 2018-01-25 Snaptrack, Inc. Elektroakustisches Filter mit reduzierten Plattenmoden
JP2018157248A (ja) * 2017-03-15 2018-10-04 株式会社村田製作所 フロントエンドモジュール
US11621691B2 (en) * 2018-07-16 2023-04-04 Qorvo Us, Inc. Reflective structures for surface acoustic wave devices
RU201785U1 (ru) * 2020-08-24 2021-01-13 Акционерное общество "Омский научно-исследовательский институт приборостроения" (АО "ОНИИП") Веерный фильтр на поверхностных акустических волнах
RU208596U1 (ru) * 2021-08-04 2021-12-27 Акционерное общество "Омский научно-исследовательский институт приборостроения" (АО "ОНИИП") Трехпреобразовательный веерный фильтр на поверхностных акустических волнах

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0496122U (ja) * 1982-03-24 1992-08-20
JP2000323953A (ja) * 1999-05-10 2000-11-24 Toyo Commun Equip Co Ltd 横結合二重モード圧電フィルタ
JP2002204139A (ja) * 2000-10-31 2002-07-19 Kyocera Corp 弾性表面波フィルタ
JP2002374147A (ja) * 2001-04-09 2002-12-26 Murata Mfg Co Ltd 弾性表面波装置、通信装置
JP2003507917A (ja) * 1999-08-16 2003-02-25 エプコス アクチエンゲゼルシャフト 改善された平衡性および場合によっては向上された阻止域抑圧を有するデュアルモード表面波フィルタ
JP2004194269A (ja) * 2002-10-18 2004-07-08 Fujitsu Media Device Kk 多重モード弾性表面波フィルタ及び分波器
JP2004320714A (ja) * 2003-03-28 2004-11-11 Matsushita Electric Ind Co Ltd 弾性表面波共振器、弾性表面波フィルタ、及びアンテナ共用器

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1413916A (en) * 1973-09-17 1975-11-12 Mullard Ltd Acoustic surface-wave devices
JPS57119509A (en) * 1981-01-19 1982-07-26 Toshiba Corp Surface acoustic wave resonator
JPH06268476A (ja) * 1993-03-11 1994-09-22 Murata Mfg Co Ltd ２段接続型多電極弾性表面波装置
JPH0774584A (ja) * 1993-09-01 1995-03-17 Oki Electric Ind Co Ltd 弾性表面波フィルタ
US5365138A (en) * 1993-12-02 1994-11-15 Northern Telecom Limited Double mode surface wave resonators
JPH098599A (ja) * 1995-06-16 1997-01-10 Toyo Commun Equip Co Ltd 縦結合二重モードｓａｗフィルタ
JP3292071B2 (ja) * 1996-12-09 2002-06-17 松下電器産業株式会社 弾性表面波デバイス
JP2950368B2 (ja) * 1996-12-18 1999-09-20 日本電気株式会社 弾性表面波フィルタ
JP2878671B2 (ja) 1997-10-20 1999-04-05 和彦 山之内 弾性表面波デバイス及び弾性表面波フィルタ
DE10057848B4 (de) * 2000-11-22 2014-01-02 Epcos Ag Reaktanzfilter mit verbesserter Leistungsverträglichkeit
JP3780408B2 (ja) * 2001-01-26 2006-05-31 株式会社村田製作所 弾性表面波フィルタ装置
JP4734751B2 (ja) 2001-04-16 2011-07-27 エプソントヨコム株式会社 平衡型弾性表面波フィルタ
JP3833569B2 (ja) 2001-12-21 2006-10-11 富士通メディアデバイス株式会社 分波器及びこれを用いた電子装置
JP4049612B2 (ja) * 2002-04-19 2008-02-20 富士通メディアデバイス株式会社 弾性表面波装置
CN1497846A (zh) * 2002-10-18 2004-05-19 富士通媒体部品株式会社 多模表面声波滤波器器件和双工器
JP2004328387A (ja) 2003-04-24 2004-11-18 Murata Mfg Co Ltd 弾性表面波装置
JP4303178B2 (ja) * 2004-08-31 2009-07-29 富士通メディアデバイス株式会社 弾性表面波装置

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0496122U (ja) * 1982-03-24 1992-08-20
JP2000323953A (ja) * 1999-05-10 2000-11-24 Toyo Commun Equip Co Ltd 横結合二重モード圧電フィルタ
JP2003507917A (ja) * 1999-08-16 2003-02-25 エプコス アクチエンゲゼルシャフト 改善された平衡性および場合によっては向上された阻止域抑圧を有するデュアルモード表面波フィルタ
JP2002204139A (ja) * 2000-10-31 2002-07-19 Kyocera Corp 弾性表面波フィルタ
JP2002374147A (ja) * 2001-04-09 2002-12-26 Murata Mfg Co Ltd 弾性表面波装置、通信装置
JP2004194269A (ja) * 2002-10-18 2004-07-08 Fujitsu Media Device Kk 多重モード弾性表面波フィルタ及び分波器
JP2004320714A (ja) * 2003-03-28 2004-11-11 Matsushita Electric Ind Co Ltd 弾性表面波共振器、弾性表面波フィルタ、及びアンテナ共用器

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