KR101026617B1 - 탄성파 필터 - Google Patents

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야스시 구로다
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다이요 유덴 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은 저손실 또한 소형화 가능한 탄성파 필터를 제공하기 위한 것으로, 다중 모드 필터(14 및 16)가 접속되고, 제1 불평형 입력 노드 In10과 2개의 제1 평형 출력 노드 Out10 및 Out12가 설치되고, 제1 다중 모드 필터(10 및 12)가 제1 평형 출력 노드에 접속된 제1 탄성파 필터(100)와, 다중 모드 필터(24 및 26)가 접속되고, 제2 불평형 입력 노드 In20과 2개의 제2 평형 출력 노드 Out20 및 Out22가 설치되고, 제1 다중 모드 필터와는 다른 개구 길이를 가진 제2 다중 모드 필터(20 및 22)가 제2 평형 출력 노드에 접속되고, 제1 탄성파 필터와는 통과 주파수 대역이 다른 제2 탄성파 필터(200)를 구비하고, 제1 평형 출력 노드 Out10 및 Out12와 제2 평형 출력 노드 Out20 및 Out22는 각각 공통화 되어 있는 탄성파 필터이다.
Figure R1020080122929
저손실, 소형화, 탄성파 필터, 다중 모드 필터, 불평형 입력 노드, 평형 출력 노드, 개구 길이, 통과 주파수 대역, 공통화

Description

탄성파 필터{ACOUSTIC WAVE FILTER}
본 발명은 탄성파 필터에 관한 것으로 특히 복수의 다중 모드 필터를 가지는 탄성파 필터에 관한 것이다.
근년, 이동 통신 시스템의 발전에 수반하여 휴대전화, 휴대 정보 단말 등이 급속히 보급되어 있다. 예를 들면, 휴대전화 단말에 있어서는 2개 이상의 통신 시스템을 가지는 멀티밴드(multi-band) 대응의 휴대전화가 개발되어 있다. 이러한 기기에서는 2개 이상의 통신 시스템의 대역을 커버(cover)하는 광대역의 필터가 요구되고 있다.
그렇지만, 2개 이상의 대역을 커버하고, 한편 저손실인 필터를 실현하는 것은 곤란하였다. 그래서, 복수의 탄성파 필터를 병렬로 접속하고, 각각의 탄성파 필터가 각 통신 시스템의 통신 대역을 커버하는 필터가 이용되고 있다.
특허 문헌 1에는 2개의 탄성파 필터를 이용한 1입력 2불평형 출력의 필터가 개시되어 있다. 또, 특허 문헌 2에는 2개의 탄성파 필터를 이용한 1입력 2평형 출력의 필터가 개시되어 있다. 1개의 입력에 대해 병렬로 접속된 2개의 탄성파 필터에 있어서, 각각의 탄성파 필터가 각각의 통과 주파수 대역의 신호를 통과시킨다. 통과 주파수대 구역 밖의 신호를 차단하기 위해서는, 한쪽의 탄성파 필터가 통과 주파수 대역으로 되는 주파수에 있어서, 다른 한쪽의 탄성파 필터는 높은 임피던스로 되는 것이 요구된다.
그래서, 특허 문헌 1 및 특허 문헌 2에 있어서는 탄성파 필터와 입력과의 사이에 직렬 공진기를 삽입함으로써 한쪽의 탄성파 필터의 통과 주파수 대역에 있어서 다른 한쪽의 탄성파 필터는 높은 임피던스가 되도록 임피던스(impedance)를 조정하는 기술이 개시되어 있다.
특허 문헌 1 :　일본국 특허공개공보 1999－68512호
특허 문헌 2 :　일본국 특허공보 3480445호
그렇지만, 직렬 공진기를 삽입하면 직렬 공진기에 의한 삽입 손실이 발생한다. 또, 소형화의 방해도 된다.
본 발명은 상기 과제를 감안하여 이루어진 것으로 저손실이고 한편 소형화가 가능한 탄성파 필터를 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.
본 발명은, 복수의 다중 모드 필터가 접속되고, 제1 불평형 입력 노드와 2개의 제1 평형 출력 노드가 설치되고, 상기 복수의 다중 모드 필터 중, 제1 다중 모드 필터가 상기 2개의 제1 평형 출력 노드와 접속되어 있는 제1 탄성파 필터와, 복수의 다중 모드 필터가 접속되고, 제2 불평형 입력 노드와 2개의 제2 평형 출력 노드가 설치되고, 상기 복수의 다중 모드 필터 중, 상기 제1 다중 모드 필터와는 다른 개구 길이를 가진 제2 다중 모드 필터가 상기 2개의 제2 평형 출력 노드와 접속되어 있고, 상기 제1 탄성파 필터와는 통과 주파수 대역이 다른 제2 탄성파 필터를 구비하고, 상기 2개의 제1 평형 출력 노드의 각각과 상기 2개의 제2 평형 출력 노드의 각각은 공통화 되어 있는 탄성파 필터이다. 본 발명에 의하면, 제1 다중 모드 필터의 개구 길이와 제2 다중 모드 필터의 개구 길이를 조정함으로써 제1 탄성파 필터의 임피던스 및 제2 탄성파 필터의 임피던스의 조정을 용이하게 할 수가 있다. 이 때문에 직렬 공진기가 불필요하고, 저손실, 소형화가 가능하게 된다. 또, 2개의 제1 평형 출력 노드의 각각과 2개의 제2 평형 출력 노드의 각각이 공통화 되어 있 기 때문에 탄성파 필터의 소형화가 가능하다.
상기 구성에 있어서, 상기 제1 탄성파 필터 및 상기 제2 탄성파 필터 중 적어도 한쪽은, 상기 복수의 다중 모드 필터 중 2개의 다중 모드 필터가 상기 제1 불평형 입력 노드 및 상기 제2 불평형 입력 노드 중의 적어도 한쪽에 병렬 접속되어 있고, 상기 병렬 접속된 2개의 다중 모드 필터의 각각에 2개의 상기 제1 다중 모드 필터의 각각 및 2개의 상기 제2 다중 모드 필터의 각각 중 적어도 한쪽이 직렬 접속되어 있는 구성으로 할 수가 있다. 이 구성에 의하면 저손실, 소형화가 가능하게 된다.
상기 구성에 있어서, 상기 2개의 제1 다중 모드 필터의 각각 및 상기 2개의 제2 다중 모드 필터의 각각 중 적어도 한쪽은 개구 길이가 동일한 구성으로 할 수가 있다. 이 구성에 의하면 다중 모드 필터간의 임피던스가 거의 동일하게 되므로 진폭 밸런스(balance) 특성 및 위상 밸런스 특성을 향상시킬 수가 있다.
상기 구성에 있어서, 상기 제1 탄성파 필터는, 상기 복수의 다중 모드 필터 중, 2개의 다중 모드 필터가 상기 제1 불평형 입력 노드에 병렬 접속되고, 상기 병렬 접속된 2개의 다중 모드 필터의 각각에 상기 2개의 제1 다중 모드 필터의 각각이 직렬 접속되어 있고, 상기 제2 탄성파 필터는, 상기 복수의 다중 모드 필터 중, 2개의 다중 모드 필터가 상기 제2 불평형 입력 노드에 병렬 접속되고, 상기 병렬 접속된 2개의 다중 모드 필터의 각각에 상기 2개의 제2 다중 모드 필터의 각각이 직렬 접속되어 있는 구성으로 할 수가 있다. 이 구성에 의하면 저손실, 소형화가 가능하게 된다.
상기 구성에 있어서, 상기 2개의 제1 평형 출력 노드의 각각과 상기 2개의 제2 평형 출력 노드의 각각을 접속하는 배선은 서로 교차하고 있지 않은 구성으로 할 수가 있다. 이 구성에 의하면 배선간에 있어서의 출력 신호의 간섭을 방지할 수가 있기 때문에 진폭 밸런스 특성 및 위상 밸런스 특성을 향상시킬 수가 있다.
상기 구성에 있어서, 상기 제1 불평형 입력 노드와 상기 병렬 접속된 2개의 다중 모드 필터를 접속하는 배선과, 상기 제2 불평형 입력 노드와 상기 병렬 접속된 2개의 다중 모드 필터를 접속하는 배선은 교차하고 있는 구성으로 할 수가 있다.
상기 구성에 있어서, 상기 제1 불평형 입력 노드와 상기 병렬 접속된 2개의 다중 모드 필터를 접속하는 배선과, 상기 제2 불평형 입력 노드와 상기 병렬 접속된 2개의 다중 모드 필터를 접속하는 배선은 교차하고 있지 않은 구성으로 할 수가 있다. 이 구성에 의하면 제1 탄성파 필터 또는 제2 탄성파 필터에 신호가 입력했을 때에, 배선간에 있어서의 입력측의 배선간의 커플링(coupling)에 의해 신호가 누설되는 것에 의한 감쇠량 열화를 방지할 수가 있다.
상기 구성에 있어서, 상기 제1 다중 모드 필터 및 상기 제2 다중 모드 필터 중 적어도 한쪽은, 2개로 분할된 버스(bus) 바(bar)를 가지고, 상기 2개의 분할된 버스 바의 각각에 상기 2개의 제1 평형 출력 노드의 각각 및 상기 2개의 제2 평형 출력 노드의 각각 중 적어도 한쪽이 설치되어 있는 구성으로 할 수가 있다. 이 구성에 의하면 탄성파 필터를 구성하는 다중 모드 필터의 수를 감소시킬 수가 있기 때문에 탄성파 필터의 소형화가 가능하게 된다.
상기 구성에 있어서, 상기 제1 불평형 입력 노드에 병렬 접속된 2개의 다중 모드 필터의 각각 및 상기 제2 불평형 입력 노드에 병렬 접속된 2개의 다중 모드 필터의 각각 중 적어도 한쪽은 개구 길이가 동일한 구성으로 할 수가 있다. 이 구성에 의하면 다중 모드 필터간의 임피던스가 거의 동일하게 되므로 진폭 밸런스 특성 및 위상 밸런스 특성을 향상시킬 수가 있다.
상기 구성에 있어서, 상기 2개의 제1 평형 출력 노드의 각각과 상기 2개의 제2 평형 출력 노드의 각각이, 공통화 되는 2개의 평형 출력 노드간에는 정합 회로가 설치되어 있는 구성으로 할 수가 있다. 이 구성에 의하면 제1 다중 모드 필터의 개구 길이와 제2 다중 모드 필터의 개구 길이를 조정함으로써 제1 탄성파 필터의 임피던스 및 제2 탄성파 필터의 임피던스의 조정을 용이하게 할 수가 있다.
상기 구성에 있어서, 상기 정합 회로는 인덕터(inductor)인 구성으로 할 수가 있다. 이 구성에 의하면 제1 다중 모드 필터의 개구 길이와 제2 다중 모드 필터의 개구 길이를 조정함으로써 제1 탄성파 필터의 임피던스 및 제2 탄성파 필터의 임피던스의 조정을 용이하게 할 수가 있다.
상기 구성에 있어서, 상기 제1 탄성파 필터와 상기 제2 탄성파 필터는 동일한 압전기판 상에 형성되어 있는 구성으로 할 수가 있다. 이 구성에 의하면 탄성파 필터를 소형화할 수가 있다.
상기 구성에 있어서, 상기 2개의 제1 평형 출력 노드의 각각에 2개의 제1 배선의 각각이 2개의 제1 접속점의 각각에서 접속되고, 상기 2개의 제2 평형 출력 노드의 각각에 2개의 제2 배선의 각각이 2개의 제2 접속점의 각각에서 접속되고, 상 기 2개의 제1 배선의 각각과 상기 2개의 제2 배선의 각각은 2개의 제3 접속점의 각각에서 접속되어 있는 구성으로 할 수가 있다. 이 구성에 의하면 배선이 공통화 되기 때문에 탄성파 필터의 소형화가 가능하게 된다.
상기 제1 다중 모드 필터 및 상기 제2 다중 모드 필터의 각각은 2개로 분할된 버스 바를 가지고, 상기 제1 다중 모드 필터의 상기 2개로 분할된 버스 바의 각각에 2개의 제1 배선의 각각이 2개의 제1 접속점의 각각에서 접속되고, 상기 제2 다중 모드 필터의 상기 2개로 분할된 버스 바의 각각에 2개의 제2 배선의 각각이 2개의 제2 접속점의 각각에서 접속되고, 상기 2개의 제1 배선의 각각과 상기 2개의 제2 배선의 각각은 2개의 제3 접속점의 각각에서 접속되어 있는 구성으로 할 수가 있다. 이 구성에 의하면 탄성파 필터를 구성하는 다중 모드 필터의 수를 감소시킬 수가 있기 때문에 탄성파 필터의 소형화가 가능하게 된다.
상기 구성에 있어서, 상기 2개의 제1 접속점간의 거리, 상기 2개의 제2 접속점간의 거리, 및 상기 2개의 제3 접속점간의 거리는 동일한 구성으로 할 수가 있다. 이 구성에 의하면 2개의 제1 배선의 각각 및 2개의 제2 배선의 각각은 같은 경로에서 제3 접속점의 각각에 접속된다. 이 때문에 진폭 밸런스 특성 및 위상 밸런스 특성을 향상시킬 수가 있다.
상기 구성에 있어서, 상기 2개의 제1 접속점간의 거리와 상기 2개의 제3 접속점간의 거리는 동일하고, 상기 2개의 제2 접속점간의 수직 이등분선과 상기 2개의 제3 접속점간의 수직 이등분선은 동일한 구성으로 할 수가 있다. 이 구성에 의하면 2개의 제1 배선의 각각 및 2개의 제2 배선의 각각은 같은 경로에서 제3 접속점의 각각에 접속된다. 이 때문에 진폭 밸런스 특성 및 위상 밸런스 특성을 향상시킬 수가 있다.
상기 구성에 있어서, 상기 2개의 제1 배선간의 거리가 가장 커지는 제1 영역에 있어서의 상기 2개의 제1 배선간의 거리는 상기 2개의 제1 접속점간의 거리보다 크고, 상기 2개의 제1 접속점간의 수직 이등분선과 상기 제1 영역에 있어서의 상기 2개의 제1 배선간의 수직 이등분선은 동일하고, 상기 2개의 제2 배선간의 거리가 가장 커지는 제2 영역에 있어서의 상기 2개의 제2 배선간의 거리는 상기 2개의 제2 접속점간의 거리보다 크고, 상기 2개의 제2 접속점간의 수직 이등분선과 상기 제2 영역에 있어서의 상기 2개의 제2 배선간의 수직 이등분선은 동일한 구성으로 할 수가 있다. 이 구성에 의하면 각 배선간의 거리를 변경할 수가 있다.
상기 구성에 있어서, 상기 제1 영역에 있어서의 상기 2개의 제1 배선간의 거리, 상기 제2 영역에 있어서의 상기 2개의 제2 배선간의 거리, 및 상기 2개의 제3 접속점간의 거리는 동일한 구성으로 할 수가 있다. 이 구성에 의하면 각 배선간의 거리를 변경하는 경우라도 2개의 제1 배선의 각각 및 2개의 제2 배선의 각각은 같은 경로에서 제3 접속점의 각각에 접속된다. 이 때문에 진폭 밸런스 특성 및 위상 밸런스 특성을 향상시킬 수가 있다.
상기 구성에 있어서, 상기 제1 영역에 있어서의 상기 2개의 제1 배선간의 거리와 상기 2개의 제3 접속점간의 거리는 동일하고, 상기 제2 영역에 있어서의 상기 2개의 제2 배선간의 수직 이등분선과 상기 2개의 제3 접속점간의 수직 이등분선은 동일한 구성으로 할 수가 있다. 이 구성에 의하면 각 배선간의 거리를 변경하는 경우라도 2개의 제1 배선의 각각 및 2개의 제2 배선의 각각은 같은 경로에서 제3 접속점의 각각에 접속된다. 이 때문에 진폭 밸런스 특성 및 위상 밸런스 특성을 향상시킬 수가 있다.
상기 구성에 있어서, 상기 2개의 제1 배선의 각각은 서로 길이가 동일하고, 상기 2개의 제2 배선의 각각은 서로 길이가 동일한 구성으로 할 수가 있다. 이 구성에 의하면 진폭 밸런스 특성 및 위상 밸런스 특성을 향상시킬 수가 있다.
본 발명에 의하면, 2개의 다중 모드 필터의 개구 길이를 조정함으로써 다중 모드 필터의 임피던스의 조정을 용이하게 할 수가 있다. 이 때문에 직렬 공진기가 불필요하고, 저손실 한편 소형화 가능한 탄성파 필터를 실현할 수 있다. 또한, 평형 출력 노드를 공통화하고 있기 때문에 탄성파 필터를 보다 소형화하는 것이 가능하게 된다.
이하, 도면을 이용하여 본 발명의 실시예에 대해서 설명한다.
<실시예 1>
도 1은 실시예 1과 관련되는 탄성 표면파 필터(1000)의 평면도이다. 탄성 표면파 필터(1000)는 제1 탄성파 필터(100)와, 제1 탄성파 필터(100)와는 통과 주파수 대역이 다른 제2 탄성파 필터(200)를 가지고 있다.
제1 탄성파 필터(100)에 대해서 설명한다. 다중 모드 필터(14) 및 다중 모드 필터(16)가 제1 불평형 입력 노드 In10에 병렬 접속되어 있다. 다중 모드 필터(14)에는 제1 다중 모드 필터(10)가, 다중 모드 필터(16)에는 제1 다중 모드 필터(12)가 각각 직렬 접속되어 있다. 제1 다중 모드 필터(10)에는 제1 평형 출력 노드 Out10이, 제1 다중 모드 필터(12)에는 제1 평형 출력 노드 Out12가 각각 접속되어 있다.
제1 다중 모드 필터(10)는, 제1 평형 출력 노드 Out10에 접속된 출력 IDT10b(Interdigital　Transducer 10b)가 중앙에 배치되고, 그 양측에 입력 IDT10a가, 또한 그 외측에 반사기 R10이 배치된 구성으로 되어 있다. 또, 다중 모드 필터(14)는, 제1 불평형 입력 노드 In10에 접속된 입력 IDT14b의 양측에, 각각이 제1 다중 모드 필터(10)의 입력 IDT10a에 접속된 출력 IDT14a가 1개씩 배치되고, 또한 그 외측에는 반사기 R14가 배치된 구성으로 되어 있다. 제1 다중 모드 필터(12)는 제1 다중 모드 필터(10)와, 또 다중 모드 필터(16)는 다중 모드 필터(14)와 각각 마찬가지의 구성이다. 제1 다중 모드 필터(10), 제1 다중 모드 필터(12), 다중 모드 필터(14) 및 다중 모드 필터(16)는, 예를 들면 니오브산리튬이나 탄탈산리튬으로 대표되는 압전체로 이루어지는 동일한 압전기판(30) 상에 설치되어 있다.
다중 모드 필터(14)와 다중 모드 필터(16)에서는 각각을 구성하는 IDT의 전극지(electrode finger)의 배치가 다르게 되어 있다. 이에 의해 다중 모드 필터(14)와, 다중 모드 필터(16)로부터는 위상이 180° 다른 신호가 출력된다. 결과적으로, 제1 평형 출력 노드 Out10과, 제1 평형 출력 노드 Out12로부터는 위상이 180° 다른 신호가 출력된다.
제2 탄성파 필터(200)에 대해서 설명한다. 다중 모드 필터(24) 및 다중 모드 필터(26)가, 제2 불평형 입력 노드 In20에 병렬 접속되어 있다. 다중 모드 필터(24)에는 제2 다중 모드 필터(20)가, 다중 모드 필터(26)에는 제2 다중 모드 필터(22)가, 각각 직렬 접속되어 있다. 제2 다중 모드 필터(20)에는 제2 평형 출력 노드 Out20이, 제2 다중 모드 필터(22)에는 제2 평형 출력 노드 Out22가, 각각 접속되어 있다.
제2 다중 모드 필터(20) 및 제2 다중 모드 필터(22)는, 제1 다중 모드 필터(10)와 마찬가지로 출력 IDT, 입력 IDT 및 반사기 R에 의해 구성된다. 또, 다중 모드 필터(24) 및 다중 모드 필터(26)는, 다중 모드 필터(14)와 마찬가지의 구성이다. 제2 다중 모드 필터(20), 제2 다중 모드 필터(22), 다중 모드 필터(24) 및 다중 모드 필터(26)는 동일한 압전기판(40) 상에 설치되어 있다.
다중 모드 필터(24)와 다중 모드 필터(26)에서는 각각을 구성하는 IDT의 전극지의 배치가 다르게 되어 있다. 이에 의해 다중 모드 필터(24)와 다중 모드 필터(26)로부터는 위상이 180° 다른 신호가 출력된다. 결과적으로, 제2 평형 출력 노드 Out20과 제2 평형 출력 노드 Out22로부터는 위상이 180° 다른 신호가 출력된다.
도 2는 탄성파 필터(1000)를 이용하는 통신 기기의 예를 나타내는 블록도이다. 도 2를 참조하여 신호가 입력되는 경우에 대해서 설명한다.
송신 노드(460a)와 듀플렉서(duplexer)(420a)의 사이에는 증폭기(430a)와 필터(440a)가 설치되어 있다. 듀플렉서(420a)는 증폭기(450a)를 통해 탄성 표면파 필 터(1000)에 설치된 제1 불평형 입력 노드 In10에 접속되어 있다. 듀플렉서(420a)가 설치되어 있기 때문에 송신 노드(460a)로부터 송신된 신호는, 제1 불평형 입력 노드 In10 측에는 송신되지 않고, 스위치(410)를 통해 안테나(400)로 송신된다. 또, 송신 노드(460b)와 듀플렉서(420b)의 사이에는 증폭기(430b)와 필터(440b)가 설치되어 있다. 듀플렉서(420b)는 증폭기(450b)를 통해 탄성 표면파 필터(1000)에 설치된 제2 불평형 입력 노드 In20에 접속되어 있다. 듀플렉서(420b)가 설치되어 있기 때문에 송신 노드(460b)로부터 송신된 신호는, 제2 불평형 입력 노드 In20 측에는 송신되지 않고, 스위치(410)를 통해 안테나(400)로 송신된다.
스위치(410)는 듀플렉서(420a)와 듀플렉서(420b)의 사이의 절환을 한다.
안테나(400)가 제1 탄성파 필터(100)의 통과 주파수 대역에 포함되는 주파수 F1의 신호 S1을 수신하는 경우를 생각한다. 안테나(400)로 수신된 신호 S1은, 스위치(410)를 통해 듀플렉서(420a)로 송신되고, 증폭기(450a)를 통해 제1 불평형 입력 노드 In10에 입력된다. 도 3(a)는 신호 S1이 탄성파 필터(1000)에 입력되는 경우를 나타내는 모식도이다. 도 3(a)에 나타내듯이, 제1 불평형 입력 노드 In10에 입력된 신호 S1은, 제1 탄성파 필터(100)를 통과하고, 제1 평형 출력 노드 Out10 및 Out12를 통해 평형 출력 노드 Out30 및 Out40으로부터 출력된다.
안테나(400)가 제2 탄성파 필터(200)의 통과 주파수 대역에 포함되는 주파수 F2의 신호 S2를 수신하는 경우를 생각한다. 안테나(400)로 수신된 신호 S2는, 스위치(410)를 통해 듀플렉서(420b)로 송신되고, 증폭기(450b)를 통해 제2 불평형 입력 노드 In20에 입력된다. 도 3(b)는 신호 S2가 탄성파 필터(1000)에 입력되는 경우를 나타내는 모식도이다. 도 3(b)에 나타내듯이, 제2 불평형 입력 노드 In20에 입력된 신호 S2는, 제2 탄성파 필터(200)를 통과하고, 제2 평형 출력 노드 Out20 및 Out22를 통해 평형 출력 노드 Out30 및 Out40으로부터 출력된다.
제1 평형 출력 노드 Out10과 제2 평형 출력 노드 Out20은 공통화 되고, 제1 평형 출력 노드 Out12와 제2 평형 출력 노드 Out22는 공통화 되어 있다. 이 때문에 제1 탄성파 필터(100)를 통과한 신호 S1(도 3(a) 참조)이 제2 탄성파 필터(200)로 누설된다. 또, 제2 탄성파 필터(200)를 통과한 신호 S2(도 3(b) 참조)가 제1 탄성파 필터(100)로 누설된다. 이러한 현상에 의해 신호 S1 및 S2의 손실이 증대한다.
도 1을 참조하여 제1 다중 모드 필터(10)의 개구 길이와 제1 다중 모드 필터(12)의 개구 길이는 동일하고 이를 L1이라고 한다. 또, 제2 다중 모드 필터(20)의 개구 길이와 제2 다중 모드 필터(22)의 개구 길이는 동일하고 이를 L2라고 한다. 이때 개구 길이 L1과 개구 길이 L2를 조정함으로써 제1 다중 모드 필터(10)와 제2 다중 모드 필터(20)의 각각의 임피던스의 조정, 및 제1 다중 모드 필터(12)와 제2 다중 모드 필터(22)의 각각의 임피던스의 조정을 할 수가 있다. 즉, 제1 탄성파 필터(100)의 통과 주파수 대역에 있어서는 제2 탄성파 필터(200)가 높은 임피던스로 되고, 제2 탄성파 필터의 통과 주파수 대역에 있어서는 제1 탄성파 필터(100)가 높은 임피던스로 되도록 개구 길이 L1 및 개구 길이 L2를 조정할 수가 있다. 이에 의해 저손실의 신호를 출력할 수가 있다.
상술한 바와 같이 제1 다중 모드 필터(10)의 개구 길이와 제1 다중 모드 필터(12)의 개구 길이는 동일하다. 이에 의해 제1 다중 모드 필터(10)의 임피던스와 제1 다중 모드 필터(12)의 임피던스는 거의 동일하게 된다. 또, 다중 모드 필터(14)의 개구 길이와 다중 모드 필터(16)의 개구 길이는 동일하기 때문에 다중 모드 필터(14)의 임피던스와 다중 모드 필터(16)의 임피던스는 거의 동일하게 된다. 마찬가지로 제2 다중 모드 필터(20)의 개구 길이와 제2 다중 모드 필터(22)의 개구 길이는 동일하다. 이에 의해 제2 다중 모드 필터(20)의 임피던스와 제2 다중 모드 필터(22)의 임피던스는 거의 동일하게 된다. 또, 다중 모드 필터(24)의 개구 길이와 다중 모드 필터(26)의 개구 길이는 동일하기 때문에 다중 모드 필터(24)의 임피던스와 다중 모드 필터(26)의 임피던스는 거의 동일하게 된다.
특히, 한쪽의 탄성파 필터(예를 들면, 제1 탄성파 필터(100))의 평형 출력 단자(예를 들면, Out10 및 Out12)측의 다중 모드 필터(예를 들면, 제1 다중 모드 필터(10 및 12))의 각각의 임피던스는, 다른 한쪽의 탄성파 필터(예를 들면, 제2 탄성파 필터(200))에 대해서 용량으로서 보이기 때문에, 다중 모드 필터의 각각의 임피던스가 동일하다면, 다른 한쪽의 탄성파 필터의 밸런스 특성의 열화를 방지할 수가 있다. 이 때문에 제1 평형 출력 노드 Out10으로 출력되는 신호와 제1 평형 출력 노드 Out12로 출력되는 신호의 진폭의 차(이하, 진폭 평형도), 및 위상의 어긋남(이하, 위상 평형도), 및 제2 평형 출력 노드 Out20으로 출력되는 신호와 제2 평형 출력 노드 Out22로 출력되는 신호의 진폭 평형도, 및 위상 평형도를 작게 할 수가 있다. 결과적으로, 제1 탄성파 필터(100)로부터 출력되는 신호의 진폭 밸런스 특성 및 위상 밸런스 특성, 및 제2 탄성파 필터로부터 출력되는 신호의 진폭 밸런스 특성 및 위상 밸런스 특성을 보유할 수가 있다. 또, 위상 평형도라는 것은 신호 간의 위상차의 180°로부터의 차로 정의한다. 즉, 위상 평형도가 제로(zero)일 때는 위상차가 180°로 된다. 개구 길이는 IDT의 위의 전극지와 아래의 전극지가 겹치는 길이이다.
실시예 1에 의하면, 개구 길이 L1과 개구 길이 L2를 조정함으로써 저손실인 신호를 얻을 수 있다. 직렬 공진기를 이용할 필요가 없기 때문에, 탄성 표면파 필터의 소형화가 가능하고, 직렬 공진기에 의한 신호의 삽입 손실도 발생하지 않는다. 또, 평형 출력 노드 Out30으로부터 출력되는 신호와 평형 출력 노드 Out40으로부터 출력되는 신호의 진폭 밸런스 특성 및 위상 밸런스 특성을 보유할 수가 있다.
또, 제1 평형 출력 노드 Out10과 제2 평형 출력 노드 Out20, 및 제1 평형 출력 노드 Out12와 제2 평형 출력 노드 Out22가 공통화 되어 있기 때문에, 공통화 되어 있지 않은 경우와 비교하여 출력측의 노드수를 4에서 2로 줄일 수가 있기 때문에, 탄성 표면파 필터의 소형화가 가능하게 된다.
실시예 1에 있어서는, 제1 탄성파 필터(100) 및 제2 탄성파 필터(200)가 각각 4개의 다중 모드 필터를 가지고 있었지만, 다중 모드 필터의 개수는 4개로 한정되는 것은 아니고, 각각 복수의 다중 모드 필터를 가지고 있으면 좋다.
실시예 1과 관련되는 탄성 표면파 필터의 주파수 특성, 진폭 밸런스 특성 및 위상 밸런스 특성의 계산 결과에 대해서 설명한다.
비교예에 대해서 설명한다. 제1 평형 출력 노드 Out10과 제2 평형 출력 노드 Out20, 및 제1 평형 출력 노드 Out12와 제2 평형 출력 노드 Out22를 공통화하지 않는 상태로 제1 다중 모드 필터의 개구 길이 L1을 저손실 또한 진폭 밸런스 특성 및 위상 밸런스 특성을 보유한 신호가 출력되도록 최적화한다. 마찬가지로 제2 다중 모드 필터의 개구 길이 L2를 최적화한다. 그 후, 제1 평형 출력 노드 Out10과 제2 평형 출력 노드 Out20, 및 제1 평형 출력 노드 Out12와 제2 평형 출력 노드 Out22를 공통화시킬 경우를 비교예로 하고 있다. 이것에 대해, 실시예 1은 제1 탄성파 필터(100)의 통과 주파수 대역에 있어서는 제2 탄성파 필터(200)가 높은 임피던스로 되고, 제2 탄성파 필터(200)의 통과 주파수 대역에 있어서는 제1 탄성파 필터(100)가 높은 임피던스로 되도록 개구 길이 L1 및 개구 길이 L2가 최적화되어 있다.
도 4는 계산에 이용한 파라미터의 정의를 표현하는 모식도이다. 도 4에 나타내듯이, IDT의 하측의 버스 바(6)에 전극지(2)가, 상측의 버스 바(8)에 전극지(4)가 각각 설치되어 있다. 개구 길이 L은 하측의 전극지(2)와 상측의 전극지(4)가 겹친 부분의 길이이다. 제1 다중 모드 필터(10) 및 제1 다중 모드 필터(12)에 있어서는 L은 L1이다. 또, 제2 다중 모드 필터(20) 및 제2 다중 모드 필터(22)에 있어서는 L은 L2이다. 파장 λ은 신호의 파장이다. W는 전극지의 폭이고, P는 전극 피치(pitch)이다. 전극 막 두께 h는 전극지의 두께이다.
표 1은 계산에 이용한 제1 다중 모드 필터(10) 및 제1 다중 모드 필터(12)의 파라미터(parameter)를 나타낸 표이다. 비교예에 있어서는 제1 다중 모드 필터(10)의 개구 길이와 제1 다중 모드 필터(12)의 개구 길이가 다르게 되어 있지만 실시예 1에 있어서는 양자의 개구 길이는 동일하다.
Figure 112008083900934-pat00001
표 2는 제2 다중 모드 필터(20) 및 제2 다중 모드 필터(22)의 파라미터를 나타낸 표이다. 비교예에 있어서는, 제2 다중 모드 필터(20)의 개구 길이와 제2 다중 모드 필터(22)의 개구 길이가 다르게 되어 있지만 실시예 1에 있어서는 양자의 개구 길이는 동일하다.
Figure 112008083900934-pat00002
또, 표 3은 다중 모드 필터(14) 및 다중 모드 필터(16)의 파라미터를 나타낸 표이다. 표 4는 다중 모드 필터(24) 및 다중 모드 필터(26)의 파라미터를 나타낸 표이다. 표 3, 표 4에 있어서는 비교예와 실시예 1의 사이에 차이는 없다.
Figure 112008083900934-pat00003
Figure 112008083900934-pat00004
전극지 갯수에 대해서 설명한다. 예를 들면 표 1에 나타난 제1 다중 모드 필터(10)의 전극지 갯수, 12/40/20은 도 1의 왼쪽으로부터 줄선 IDT10a, IDT10b, IDT10a 각각의 전극지의 갯수가 12개, 40개, 20개인 것을 나타내고 있다. 다른 다중 모드 필터에 대해서도 마찬가지이다.
도 5(a) 내지 도 8(b)에 실시예 1과 관련되는 계산 결과를 나타낸 그래프를 나타낸다. 그래프중의 점선은 비교예, 실선은 실시예 1을 각각 표현한다.
도 5(a)는 제1 탄성파 필터(100)의 주파수 특성의 계산 결과를 나타낸 그래프이다. 도 5(b)는 제1 탄성파 필터(100)의 통과 주파수 대역에 있어서의 도 5(a)의 확대도이다. 가로축은 주파수, 세로축은 신호의 삽입 손실이다. 도 5(b)에 나타내듯이, 실시예 1의 편이 비교예보다 통과 주파수 대역에서의 삽입 손실이 최대 1dB 정도 작다.
또, 도 6(a)는 제2 탄성파 필터(200)의 주파수 특성의 계산 결과를 나타낸 그래프이다. 도 6(b)는 제2 탄성파 필터(200)의 통과 주파수 대역에 있어서의 도 6(a)의 확대도이다. 도 6(b)에 나타내듯이, 실시예 1의 편이 비교예보다도 통과 주파수 대역에서의 삽입 손실이 최대로 1dB 정도 작다.
비교예에 있어서는, 제1 평형 출력 노드 Out10과 제2 평형 출력 노드 Out20, 및 제1 평형 출력 노드 Out12와 제2 평형 출력 노드 Out22를 공통화시킨 상태에 있어서 개구 길이 L1과 개구 길이 L2의 최적화를 하고 있지 않다. 이 때문에 신호의 누설이 발생하여 삽입 손실이 증대한다. 이것에 대해, 실시예 1에 있어서는, 개구 길이 L1과 개구 길이 L2의 최적화를 하고 있다. 이 때문에 제1 탄성파 필터(100)의 통과 주파수 대역에 있어서는 제2 탄성파 필터(200)가 높은 임피던스로 되고, 제2 탄성파 필터의 통과 주파수 대역에 있어서는 제1 탄성파 필터(100)가 높은 임피던스로 된다. 따라서, 신호의 누설을 억제할 수가 있어 삽입 손실이 감소한다. 결과적으로, 도 5(a) 내지 도 6(b)에 나타낸 것처럼 실시예 1에 의해 저손실인 신호를 얻을 수 있었다.
도 7(a)는 제1 탄성파 필터(100)의 진폭 밸런스 특성의 계산 결과를 나타낸 그래프이다. 가로축은 신호의 주파수, 세로축은 제1 평형 출력 노드 Out10으로부터 출력되는 신호와 제1 평형 출력 노드 Out12로부터 출력되는 신호의 진폭 평형도이다. 실선으로 나타낸 실시예 1의 편이 비교예보다 값의 불균일이 적고, 진폭 밸런스 특성이 향상되어 있는 것을 알 수 있다.
도 7(b)는 제1 탄성파 필터(100)의 위상 밸런스 특성의 계산 결과를 나타낸 그래프이다. 가로축은 신호의 주파수, 세로축은 제1 평형 출력 노드 Out10으로부터 출력되는 신호와 제1 평형 출력 노드 Out12로부터 출력되는 신호와의 위상 평형도이다. 기술한 것처럼, 위상 평형도가 제로일 때, 제1 평형 출력 노드 Out10으로부터 출력되는 신호와 제1 평형 출력 Out 노드 12로부터 출력되는 신호의 위상차는 180°이다. 실시예 1에 의하면, 비교예보다도 위상 밸런스 특성이 향상되어 있는 것을 알 수 있다.
도 8(a)는 제2 탄성파 필터(200)의 진폭 밸런스 특성의 계산 결과를 나타낸 그래프이다. 제2 평형 출력 노드 Out20으로부터 출력되는 신호와 제2 평형 출력 노드 Out22로부터 출력되는 신호의 진폭 평형도를 나타내고 있다. 실시예 1에 의하면, 비교예보다 진폭 밸런스 특성이 향상되어 있는 것을 알 수 있다.
도 8(b)는 제2 탄성파 필터(200)의 위상 밸런스 특성의 계산 결과를 나타낸 도이다. 세로축은 제2 평형 출력 노드 Out20으로부터 출력되는 신호와 제2 평형 출력 노드 Out22로부터 출력되는 신호와의 위상 평형도이다. 실시예 1에 의하면, 비교예보다도 위상 밸런스 특성이 향상되어 있는 것을 알 수 있다.
이상, 도 7(a) 내지 도 8(b)에 나타낸 것처럼, 실시예 1에 의하면, 진폭 밸런스 특성 및 위상 밸런스 특성을 비교예보다 향상시킬 수가 있었다.
<실시예 2>
실시예 2는 제1 다중 모드 필터의 출력 IDT 및 제2 다중 모드 필터의 출력 IDT가 각각 2개로 분할된 버스 바를 가지고 있는 예이다. 도 9에 실시예 2와 관련되는 탄성 표면파 필터의 평면도를 나타낸다.
도 9를 참조하여 제1 탄성파 필터(110)에 대해서 설명한다. 다중 모드 필터(17)가 제1 불평형 입력 노드 In10에 접속되어 있다. 다중 모드 필터(17)에는 제1 다중 모드 필터(18)가 직렬 접속되어 있다. 제1 다중 모드 필터(18)의 중앙에 설치된 출력 IDT18b는 2개로 분할된 버스 바를 가지고 있다. 출력 IDT18b에 설치된 버스 바(13) 및 버스 바(15)의 각각에 제1 평형 출력 노드 Out10 및 제1 평형 출력 노드 Out12가 각각 접속되어 있다. 출력 IDT18b의 양측에 입력 IDT18a가 배치되고, 또한 그 외측에 반사기 R18이 배치되어 있다. 다중 모드 필터(17)는, 제1 불평형 입력 노드 In10에 접속된 입력 IDT17b의 양측에, 출력 IDT17a 및 출력 IDT17c가 배치되고, 출력 IDT17a 및 IDT17c의 외측에는 반사기 R17이 배치된 구성으로 되어 있다. 출력 IDT17a와 출력 IDT17c의 각각은 제1 다중 모드 필터(18)의 2개의 입력 IDT18a의 각각에 접속되어 있다. 다중 모드 필터(17)의 전극지는 출력 IDT17a로부터 출력되는 신호와 출력 IDT17c로부터 출력되는 신호에서는 위상이 180° 다르도록 배치되어 있다. 이 때문에 제1 평형 출력 노드 Out10과 제1 평형 출력 노드 Out12로부터는 위상이 180° 다른 신호가 출력된다.
제2 탄성파 필터(210)는 제1 탄성파 필터(110)와 마찬가지의 구성이고, 제2 다중 모드 필터(28)의 중앙에 설치된 출력 IDT28b는 2개로 분할된 버스 바를 가지고 있다. 출력 IDT28b에 설치된 버스 바(23) 및 버스 바(25)의 각각에 제2 평형 출력 노드 Out20 및 제2 평형 출력 노드 Out22의 각각이 접속되어 있다. 다중 모드 필터(27)의 전극지가 출력 IDT27a로부터 출력되는 신호와 출력 IDT27c로부터 출력되는 신호에서는 위상이 180° 다르도록 배치되어 있다. 이 때문에 제2 평형 출력 노드 Out20과 제2 평형 출력 노드 Out22로부터는 위상이 180° 다른 신호가 출력된다.
실시예 1과 마찬가지로 제1 평형 출력 노드 Out10과 제2 평형 출력 노드 Out20이 공통화 되고, 또 제1 평형 출력 노드 Out12와 제2 평형 출력 노드 Out22가 공통화 되어 있다. 이 때문에 제1 다중 모드 필터(18)의 개구 길이 L1과 제2 다중 모드 필터(28)의 개구 길이 L2를 조정함으로써 제1 탄성파 필터(110)와 제2 탄성파 필터(210)의 임피던스의 조정을 용이하게 할 수가 있다.
실시예 2에 의하면, 제1 탄성파 필터(110)는 제1 다중 모드 필터(18)와 다중 모드 필터(17)로 이루어진다. 또, 제2 탄성파 필터(210)는 제2 다중 모드 필터(28)와 다중 모드 필터(27)로 이루어진다. 실시예 1과 비교하여 탄성 표면파 필터를 구성하는 다중 모드 필터의 수를 감소할 수가 있기 때문에 탄성 표면파 필터의 소형화가 가능하게 된다.
<실시예 3>
실시예 3은 실시예 1의 제1 탄성파 필터(100)와 실시예 2의 제2 탄성파 필터(210)를 조합한 예이다. 도 10에 실시예 3과 관련되는 탄성 표면파 필터의 평면도를 나타낸다.
제1 다중 모드 필터(10)는 제1 평형 출력 노드 Out10과 제1 다중 모드 필터(12)는 제1 평형 출력 노드 Out12와 각각 접속되어 있다. 제2 다중 모드 필터(28)의 출력 IDT28b는 2개로 분할된 버스 바를 가지고 있고, 버스 바(23) 및 버스 바(25)의 각각에 제2 평형 출력 노드 Out20 및 제2 평형 출력 노드 Out22의 각각이 접속되어 있다. 제1 평형 출력 노드 Out10과 제2 평형 출력 노드 Out20은 공통화 되고, 또 제1 평형 출력 노드 Out12와 제2 평형 출력 노드 Out22는 공통화 되어 있다. 실시예 1과 마찬가지로 제1 다중 모드 필터(10) 및 제1 다중 모드 필터(12)의 개구 길이 L1과 제2 다중 모드 필터(28)의 개구 길이 L2를 조정함으로써 제1 탄성파 필터(100)와 제2 탄성파 필터(210)의 임피던스의 조정을 용이하게 할 수가 있다.
실시예 3에 의하면, 실시예 1과 비교해 제2 탄성파 필터를 구성하는 다중 모드 필터의 수를 감소시킬 수가 있기 때문에 탄성 표면파 필터의 소형화가 가능하게 된다.
실시예 3에 있어서는, 제1 탄성파 필터(100)와 제2 탄성파 필터(210)를 조합한 예를 설명했지만, 실시예 2의 제1 탄성파 필터(110)와 실시예 1의 제2 탄성파 필터(200)를 조합해도 마찬가지의 효과를 얻을 수 있다.
실시예 2 및 실시예 3에 있어서 설명한 것처럼, 제1 다중 모드 필터 및 제2 다중 모드 필터 중 적어도 한쪽이 2개로 분할된 버스 바를 가지고, 분할된 버스 바의 각각에 제1 평형 출력 노드 Out10과 제1 평형 출력 노드 Out12의 각각 및 제2 평형 출력 노드 Out20과 제2 평형 출력 노드 Out22의 각각 중 적어도 한쪽이 설치되어 있으면, 탄성 표면파 필터는 소형화 가능하다.
도 1에 나타내듯이, 실시예 1은 제1 탄성파 필터 및 제2 탄성파 필터의 양쪽 모두가 불평형 입력 노드에 병렬 접속된 2개의 다중 모드 필터를 가지고 있는 예이다. 이에 대해, 도 10에 나타내듯이, 실시예 3은 제1 탄성파 필터 및 제2 탄성파 필터 중 어느 쪽인가 한쪽이 불평형 입력 노드에 병렬 접속된 2개의 다중 모드 필터를 가지고 있는 예이다. 이와 같이, 본 발명에 있어서는, 제1 탄성파 필터 및 제2 탄성파 필터 중 적어도 한쪽이 불평형 입력 노드에 병렬 접속된 2개의 다중 모드 필터를 가지고 있으면 좋다.
<실시예 4>
실시예 4는 실시예 1의 제1 다중 모드 필터(12) 및 다중 모드 필터(16)를 제2 다중 모드 필터(20) 및 다중 모드 필터(24)와 각각 바꿔 넣은 예이다. 도 11에 실시예 4와 관련되는 탄성 표면파 필터의 평면도를 나타낸다.
도 11에 나타내듯이, 다중 모드 필터(14), 다중 모드 필터(24), 제1 다중 모드 필터(10) 및 제2 다중 모드 필터(20)가 압전기판(30) 상에, 다중 모드 필터(16), 다중 모드 필터(26), 제1 다중 모드 필터(12) 및 제2 다중 모드 필터(22)가 압전기판(40) 상에 각각 배치되어 있다. 제1 불평형 입력 노드 In12와 제1 불평형 입력 노드 In14를 접속하는 배선과, 제2 불평형 입력 노드 In22와 제2 불평형 입력 노드 In24를 접속하는 배선은 교차하고 있다. 이에 대해 제1 평형 출력 노드 Out10과 제2 평형 출력 노드 Out20을 접속하는 배선과, 제1 평형 출력 노드 Out12와 제2 평형 출력 노드 Out22를 접속하는 배선은 교차하고 있지 않다.
실시예 4에 의하면, 출력측의 배선이 교차하고 있지 않기 때문에, 출력 신호의 사이에서의 간섭이 일어나기 어렵다. 이에 의해 실시예 1과 같이 출력측의 배선이 교차하고 있는 경우보다도 출력 신호의 진폭 밸런스 특성 및 위상 밸런스 특성이 향상된다.
<실시예 5>
실시예 5는 실시예 4의 제1 다중 모드 필터(12) 및 다중 모드 필터(16)를 제2 다중 모드 필터(22) 및 다중 모드 필터(26)과 각각 바꿔 넣어 배치한 것이다. 도 12에 실시예 5와 관련되는 탄성 표면파 필터의 평면도를 나타낸다.
도 12에 나타내듯이, 다중 모드 필터(14), 다중 모드 필터(24), 제1 다중 모드 필터(10) 및 제2 다중 모드 필터(20)가 압전기판(30) 상에, 다중 모드 필터(16), 다중 모드 필터(26), 제1 다중 모드 필터(12) 및 제2 다중 모드 필터(22)가 압전기판(40) 상에 각각 배치되어 있다. 실시예 4와 마찬가지로 제1 평형 출력 노드 Out10과 제2 평형 출력 노드 Out20을 접속하는 배선과, 제1 평형 출력 노드 Out12와 제2 평형 출력 노드 Out22를 접속하는 배선은 교차하고 있지 않다. 또한, 제1 불평형 입력 노드 In12와 제1 불평형 입력 노드 In14를 접속하는 배선과, 제2 불평형 입력 노드 In22와 제2 불평형 입력 노드 In24를 접속하는 배선은 교차하고 있지 않다.
입력측의 배선이 교차하고 있는 경우, 배선간의 커플링에 의해, 주파수가 한쪽의 탄성파 필터(예를 들면, 제2 탄성파 필터)의 통과 주파수 대역에 있는 신호(예를 들면, 실시예 1에 있어서 설명한 S2)가, 다른 한쪽의 탄성파 필터(예를 들면, 제1 탄성파 필터)로 누설된다. 제1 탄성파 필터와 제2 탄성파 필터는 통과 주파수 대역이 다르게 되어 있기 때문에, 신호의 누설에 의해, 다른 한쪽의 탄성파 필터의 감쇠량을 열화시키는 것으로 된다. 실시예 5에 의하면, 입력측의 배선이 교차하고 있지 않기 때문에, 배선간의 커플링에 의한 신호의 누설을 방지하여, 결과적으로 감쇠량 열화를 방지할 수가 있다.
<실시예 6>
실시예 6은 제1 탄성파 필터(100) 및 제2 탄성파 필터(200)를 동일한 압전기판(50) 상에 배치한 예이다. 도 13에 실시예 6과 관련되는 탄성 표면파 필터의 평면도를 나타낸다. 실시예 6에 의하면, 실시예 1보다도 탄성 표면파 필터의 소형화가 가능하게 된다.
평형 출력 단자를 공통화하고 있는 것에 의해, 제1 탄성파 필터 및 제2 탄성파 필터의 각각은, 다른 한쪽의 탄성파 필터가 용량으로서 보여 임피던스가 용량성으로 되어 버린다. 이 부정합(mismatch)를 보정하기 위해서, 도 14(a)에 나타내듯이, 실시예 1 내지 실시예 6에 있어서, 평형 출력 노드 Out30과 평형 출력 노드 Out40의 사이에 정합 회로(300)를 설치해도 좋다. 특히 용량성 임피던스의 조정을 하기 위해서는, 도 14(b)에 나타내듯이, 정합 회로(300)는 인덕터(310)인 것이 바람직하다.
<실시예 7>
실시예 7은 2개의 제1 다중 모드 필터의 각각에 접속된 배선간의 거리, 및 2개의 제2 다중 모드 필터의 각각에 접속된 배선간의 거리를 조정한 예이다. 도 15로 실시예 7과 관련되는 탄성 표면파 필터의 2개의 제1 다중 모드 필터 및 2개의 제2 다중 모드 필터와 관련되는 부분의 확대도를 나타낸다. 또, 압전기판(30, 40), 반사기 R10, R12, R20 및 R22는 생략하여 도시하고 있다.
도 15에 나타내듯이, 제1 다중 모드 필터(10)는 출력 IDT30, 입력 IDT32, 및 출력 IDT34를 구비하고 있다. 출력 IDT30 및 출력 IDT34는 제1 평형 출력 노드 Out10에 접속되어 있다. 제1 다중 모드 필터(12)는 출력 IDT36, 입력 IDT38, 및 출력 IDT40을 구비하고 있다. 출력 IDT36 및 출력 IDT40은 제1 평형 출력 노드 Out12에 접속되어 있다. 제2 다중 모드 필터(20)는 출력 IDT42, 입력 IDT44, 및 출력 IDT46을 구비하고 있다. 출력 IDT42 및 출력 IDT46은 제2 평형 출력 노드 Out20에 접속되고, 제2 다중 모드 필터(22)는, 출력 IDT48, 입력 IDT50, 및 출력 IDT52를 구비하고 있다. 출력 IDT48 및 출력 IDT52는 제2 평형 출력 노드 Out22에 접속되어 있다. 또, 제1 다중 모드 필터(10) 및 제1 다중 모드 필터(12)와 제2 다중 모드 필터(20) 및 제2 다중 모드 필터(22)는 개구 길이가 다르게 되어 있다. 이 때문에 기술한 것처럼 임피던스의 조정을 용이하게 할 수가 있다.
제1 평형 출력 노드 Out10 및 Out12의 각각은 제1 배선(52a 및 52b)의 각각과, 제1 접속점(54a 및 54b)의 각각에서 접속되어 있다. 마찬가지로 제2 평형 출력 노드 Out20 및 Out22의 각각은 제2 배선(56a 및 56b)의 각각과, 제2 접속점(58a 및 58b)의 각각에서 접속되어 있다. 제1 배선(52a)과 제2 배선(56a)은 제3 접속점(60a)에서 접속되고, 제1 배선(52b)과 제2 배선(56b)은 제3 접속점(60b)에서 접속되어 있다. 즉, 제1 배선(52a)과 제2 배선(56a), 제1 배선(52b)과 제2 배선(56b)은 각각 공통화 되어 있다. 제1 배선(52a)과 제1 배선(52b)은 서로 길이가 대략 동일하고, 제2 배선(56a)과 제2 배선(56b)은 서로 길이가 대략 동일하다.
도 15에 나타낸 예에 있어서는, 제1 접속점(54a와 54b)간의 거리 L3, 제2 접속점(58a와 58b)간의 거리 L4, 및 제3 접속점(60a와 60b)간의 거리 L5는 대략 동일하다. 이 때문에 제1 배선(52a 및 52b)은 동일한 길이의 경로에서 제3 접속점(60a 및 60b)에 접속된다. 즉, 제1 평형 출력 노드 Out10으로부터 출력되는 신호와 제1 평형 출력 노드 Out12로부터 출력되는 신호의 진폭 밸런스 특성 및 위상 밸런스 특성이 향상된다. 마찬가지로 제2 배선(56a 및 56b)은 동일한 길이의 경로에서 제3 접속점(60a 및 60b)에 접속된다. 이 때문에 제2 평형 출력 노드 Out20으로부터 출력되는 신호와 제2 평형 출력 노드 Out22로부터 출력되는 신호의 진폭 밸런스 특성 및 위상 밸런스 특성이 향상된다. 즉, 실시예 7에 의하면, 탄성 표면파 필터의 진폭 밸런스 특성 및 위상 밸런스 특성이 향상된다.
도 16은 실시예 7의 변형예를 나타내는 도이다. 도 16에 나타내듯이, 제1 접속점(54a와 54b)간의 거리 L3, 및 제3 접속점(60a와 60b)간의 거리 L5는 대략 동일하다. 이 때문에 제1 배선(52a 및 52b)의 각각은 동일한 길이의 경로에서 제3 접속점(60a 및 60b)의 각각에 접속된다. 또, 도중에 파선으로 나타내듯이, 제2 접속점(58a와 58b)간의 수직 이등분선과 제3 접속점(60a와 60b)간의 수직 이등분선은 동일하다. 이 때문에 제2 배선(56a 및 56b)의 각각은 동일한 길이의 경로에서 제3 접속점(60a 및 60b)의 각각에 접속된다. 따라서, 탄성 표면파 필터의 진폭 밸런스 특성 및 위상 밸런스 특성이 향상된다. 이와 같이, 도 16의 예에 의하면, 제1 접속점(54a와 54b)간의 거리 L3과 제2 접속점(58a와 58b)간의 거리 L4가 대략 동일하지 않은 경우라도 탄성 표면파 필터의 진폭 밸런스 특성 및 위상 밸런스 특성이 향상된다.
도 17은 실시예 7의 다른 변형예를 나타내는 도이다. 도 17에 나타내듯이, 제1 배선(52a 및 52b)간의 탄성 표면파의 전반 방향에 있어서의 거리가 최대로 되는 제1 영역(62)(도중 점선으로 둘러싼 부분)이 제1 배선에 설치되어 있다. 또, 도중에 파선으로 나타내듯이, 제1 접속점(54a와 54b)간의 수직 이등분선과 제1 영역(62)에 있어서의 제1 배선(52a와 52b)간의 수직 이등분선은 동일하다. 마찬가지로 제2 배선(56a 및 56b)간의 탄성 표면파의 전반 방향에 있어서의 거리가 최대로 되는 제2 영역(64)(도중 점선으로 둘러싼 부분)이 제2 배선에 설치되어 있다. 도중에 파선으로 나타내듯이, 제2 접속점(58a와 58b)간의 수직 이등분선과 제2 영역(64)에 있어서의 제2 배선(56a와 56b)간의 수직 이등분선은 동일하다.
제1 영역(62)에 있어서의 제1 배선(52a 및 52b)간의 거리를 L6이라고 하고, 제2 영역(64)에 있어서의 제2 배선(56a 및 56b)간의 거리를 L7이라고 한다. 이때 L3＜L6 및 L4＜L7이다. 또, L6, L7 및 L5는 대략 동일하다. 이 때문에 제1 배선(52a 및 52b)의 각각은 동일한 길이의 경로에서 제3 접속점(60a 및 60b)의 각각에 접속된다. 또, 제2 배선(56a 및 56b)의 각각도 동일한 길이의 경로에서 제3 접속점(60a 및 60b)의 각각에 접속된다. 즉, 도 17의 예에 의하면, 배선간의 거리를 변경하는 경우라도 탄성 표면파 필터의 진폭 밸런스 특성 및 위상 밸런스 특성이 향상된다.
도 18은 실시예 7의 다른 변형예를 나타내는 도이다. 도 18에 나타내듯이, 제1 영역(62)에 있어서의 제1 배선(52a 및 52b)간의 거리 L6, 및 제3 접속점(60a와 60b)간의 거리 L5는 대략 동일하다. 이 때문에 제1 배선(52a 및 52b)의 각각은 동일한 길이의 경로에서 제3 접속점(60a 및 60b)의 각각에 접속된다. 또, 도중에 파선으로 나타내듯이, 제2 영역(64)에 있어서의 제2 배선(56a와 56b)간의 수직 이등분선과 제3 접속점(60a와 60b)간의 수직 이등분선은 동일하다. 이 때문에 제2 배선(56a 및 56b)의 각각은 동일한 길이의 경로에서 제3 접속점(60a 및 60b)의 각각에 접속된다. 즉, 도 18의 예에 의하면, 배선간의 거리를 변경하는 경우라도 탄성 표면파 필터의 진폭 밸런스 특성 및 위상 밸런스 특성이 향상된다.
<실시예 8>
실시예 8은 제1 다중 모드 필터의 출력 IDT 및 제2 다중 모드 필터의 출력 IDT가 각각 2개로 분할된 버스 바를 가지고, 분할된 버스 바에 접속된 배선간의 거리를 조정한 예이다. 실시예 8과 관련되는 탄성 표면파 필터의 기본 구성은 도 9에 나타낸 것과 마찬가지이다. 도 19(a)에 실시예 8과 관련되는 탄성 표면파 필터의 제1 다중 모드 필터(18) 및 제2 다중 모드 필터(28)와 관련되는 부분의 확대도를 나타낸다. 또, 반사기 R18 및 R28은 생략하여 도시하고 있다. 기술한 것처럼, 제1 다중 모드 필터(18)와 제2 다중 모드 필터(28)는 개구 길이가 다르게 되어 있다.
도 19(a)에 나타내듯이, 제1 다중 모드 필터(18)의 출력 IDT18b는 2개로 분할된 버스 바(13 및 15)를 가지고, 제2 다중 모드 필터(28)의 출력 IDT28b는 2개로 분할된 버스 바(23 및 25)를 가지고 있다. 버스 바(13 및 15)의 각각은 제1 배선(52a 및 52b)의 각각과, 제1 접속점(54a 및 54b)의 각각에서 접속되어 있다. 마찬가지로 버스 바(23 및 25)의 각각은 제2 배선(56a 및 56b)의 각각과, 제2 접속점(58a 및 58b)의 각각에서 접속되어 있다. 또, 제1 배선(52a 및 52b)의 각각과, 제2 배선(56a 및 56b)의 각각은 제3 접속점(60a 및 60b)의 각각에서 접속되어 있다. 제1 배선(52a)과 제1 배선(52b)은 서로 길이가 대략 동일하고, 제2 배선(56a)과 제2 배선(56b)은 서로 길이가 대략 동일하다.
도 19(a)에 나타낸 예에 있어서는, 제1 접속점(54a와 54b)간의 거리 L3, 제2 접속점(58a와 58b)간의 거리 L4, 및 제3 접속점(60a와 60b)간의 거리 L5는 대략 동일하다. 이 때문에 제1 배선(52a 및 52b)의 각각은 동일한 길이의 경로에서 제3 접속점(60a 및 60b)의 각각에 접속된다. 이 때문에 버스 바(13)로부터 출력되는 신호와 버스 바(15)로부터 출력되는 신호는 진폭 밸런스 특성 및 위상 밸런스 특성이 향상된다. 마찬가지로 제2 배선(56a 및 56b)의 각각도 동일한 길이의 경로에서 제3 접속점(60a 및 60b)의 각각에 접속되기 때문에, 버스 바(23)로부터 출력되는 신호와 버스 바(25)로부터 출력되는 신호의 진폭 밸런스 특성 및 위상 밸런스 특성이 향상된다. 즉, 실시예 8에 의하면, 탄성 표면파 필터의 진폭 밸런스 특성 및 위상 밸런스 특성이 향상된다.
도 19(b)는 실시예 8의 변형예를 나타내는 도이다. 도 19(b)에 나타내듯이, 제1 접속점(54a와 54b)간의 거리 L3, 및 제3 접속점(60a와 60b)간의 거리 L5는 대략 동일하다. 이 때문에 제1 배선(52a 및 52b)의 각각은 동일한 길이의 경로에서 제3 접속점(60a 및 60b)의 각각에 접속된다. 또, 도중에 파선으로 나타내듯이, 제2 접속점(58a와 58b)간의 수직 이등분선과 제3 접속점(60a와 60b)간의 수직 이등분선은 동일하다. 이 때문에 제2 배선(56a 및 56b)의 각각도 동일한 길이의 경로에서 제3 접속점(60a 및 60b)각각에 접속된다. 따라서, 탄성 표면파 필터의 진폭 밸런스 특성 및 위상 밸런스 특성이 향상된다. 이와 같이, 도 19(b)의 예에 의하면, 제1 접속점(54a와 54b)간의 거리 L3과 제2 접속점(58a와 58b)간의 거리 L4가 대략 동일하지 않은 경우라도 탄성 표면파 필터의 진폭 밸런스 특성 및 위상 밸런스 특성이 향상된다.
도 19(c)는 실시예 8의 다른 변형예를 나타내는 도이다. 도 19(c)에 나타내듯이, 제1 배선(52a 및 52b)간의 탄성 표면파의 전반 방향에 있어서의 거리가 최대로 되는 제1 영역(62)(도중 점선으로 둘러싼 부분)이 제1 배선에 설치되어 있다. 도중에 파선으로 나타내듯이, 제1 접속점(54a와 54b)간의 수직 이등분선과 제1 영역(62)에 있어서의 제1 배선(52a와 52b)간의 수직 이등분선은 동일하다. 마찬가지로 제2 배선(56a 및 56b)간의 탄성 표면파의 전반 방향에 있어서의 거리가 최대로 되는 제2 영역(64)(도중 점선으로 둘러싼 부분)이 제2 배선에 설치되어 있다. 도중에 파선으로 나타내듯이, 제2 접속점(58a와 58b)간의 수직 이등분선과 제2 영역(64)에 있어서의 제2 배선(56a와 56b)간의 수직 이등분선은 동일하다.
이때 L3＜L6 및 L4＜L7이다. 또, L6, L7 및 L5는 대략 동일하다. 이 때문에 제1 배선(52a 및 52b)의 각각은 동일한 길이의 경로에서 제3 접속점(60a 및 60b)의 각각에 접속된다. 또, 제2 배선(56a 및 56b)의 각각도 동일한 길이의 경로에서 제3 접속점(60a 및 60b)의 각각에 접속된다. 즉, 도 19(c)의 예에 의하면, 배선간의 거리를 변경하는 경우라도 탄성 표면파 필터의 진폭 밸런스 특성 및 위상 밸런스 특성이 향상된다.
도 19(d)는 실시예 8의 다른 변형예를 나타내는 도이다. 도 19(d)에 나타내듯이, 제1 영역(62)에 있어서의 제1 배선(52a 및 52b)간의 거리 L6, 및 제3 접속점(60a와 60b)간의 거리 L5는 대략 동일하다. 이 때문에 제1 배선(52a 및 52b)의 각각은 동일한 길이의 경로에서 제3 접속점(60a 및 60b)의 각각에 접속된다. 또, 도중에 파선으로 나타내듯이, 제2 영역(64)에 있어서의 제2 배선(56a와 56b)간의 수직 이등분선과 제3 접속점(60a와 60b)간의 수직 이등분선은 동일하다. 이 때문에 제2 배선(56a 및 56b)의 각각도 동일한 길이의 경로에서 제3 접속점(60a 및 60b)의 각각에 접속된다. 즉, 도 19(d)의 예에 의하면, 배선간의 거리를 변경하는 경우라도 탄성 표면파 필터의 진폭 밸런스 특성 및 위상 밸런스 특성이 향상된다.
또, 실시예 8 및 실시예 9에 있어서는, 제1 다중 모드 필터와 제2 다중 모드 필터로 개구 길이가 다른 예를 나타냈지만, 개구 길이가 동일하더라도 좋다.
실시예 1 내지 실시예 8에 있어서는, 탄성 표면파 필터에 대해서 설명했지만 본 발명은 탄성 경계파 필터에 대해서도 적용이 가능하다.
이상, 본 발명의 실시예에 대해서 상술 했지만 본 발명은 관계되는 특정의 실시예에 한정되는 것은 아니고, 특허청구의 범위에 기재된 본 발명의 요지의 범위 내에 있어서 여러 가지의 변형·변경이 가능하다.
도 1은 실시예 1과 관련되는 탄성 표면파 필터의 평면도이다.
도 2는 실시예 1과 관련되는 탄성 표면파 필터를 이용한 통신 기기를 나타내는 블록도이다.
도 3(a)는 주파수가 제1 탄성파 필터의 통과 주파수 대역에 있는 신호가 입력되는 경우를 나타내는 모식도이고, 도 3(b)는 주파수가 제2 탄성파 필터의 통과 주파수 대역에 있는 신호가 입력되는 경우를 나타내는 모식도이다.
도 4는 계산에 이용한 파라미터의 정의를 나타내는 모식도이다.
도 5(a)는 제1 탄성파 필터의 주파수 특성의 계산 결과이고, 도 5(b)는 통과 주파수 대역에 있어서의 도 5(a)의 확대도이다.
도 6(a)는 제2 탄성파 필터의 주파수 특성의 계산 결과이고, 도 6(b)는 통과 주파수 대역에 있어서의 도 6(a)의 확대도이다.
도 7(a)는 제1 탄성파 필터의 진폭 밸런스 특성의 계산 결과이고, 도 7(b)는 제1 탄성파 필터의 위상 밸런스 특성의 계산 결과이다.
도 8(a)는 제2 탄성파 필터의 진폭 밸런스 특성의 계산 결과이고, 도 8(b)는 제2 탄성파 필터의 위상 밸런스 특성의 계산 결과이다.
도 9는 실시예 2와 관련되는 탄성 표면파 필터의 평면도이다.
도 10은 실시예 3과 관련되는 탄성 표면파 필터의 평면도이다.
도 11은 실시예 4와 관련되는 탄성 표면파 필터의 평면도이다.
도 12는 실시예 5와 관련되는 탄성 표면파 필터의 평면도이다.
도 13은 실시예 6과 관련되는 탄성 표면파 필터의 평면도이다.
도 14(a)는 정합 회로를 마련할 경우를 나타내는 모식도이고, 도 14(b)는 정합 회로가 인덕터인 경우를 나타내는 모식도이다.
도 15는 실시예 7과 관련되는 탄성 표면파 필터의 확대도이다.
도 16은 실시예 7의 변형예와 관련되는 탄성 표면파 필터의 확대도이다.
도 17은 실시예 7의 변형예와 관련되는 탄성 표면파 필터의 확대도이다.
도 18은 실시예 7의 변형예와 관련되는 탄성 표면파 필터의 확대도이다.
도 19(a)는 실시예 8과 관련되는 탄성 표면파 필터의 확대도이고, 도 19(b) 내지 도 19(d)는 실시예 8의 변형예와 관련되는 탄성 표면파 필터의 확대도이다.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
　　2, 4　　　　　　　　　　　　 전극지
　　10, 12, 18　　　　　　　　　　 제1 다중 모드 필터
　　14, 16, 17, 24, 26, 27　 다중 모드 필터
　　20, 22, 28　　　　　　　　　　 제2 다중 모드 필터
　　30, 40　　　　　　　　　　　　　 평형 출력 노드
　　52a, 52b　　　　　　　　　　　 제1 배선
　　54a, 54b　　　　　　　　　　　 제1 접속점
　　56a, 56b　　　　　　　　　　　 제2 배선
　　58a, 58b　　　　　　　　　　　 제2 접속점
　　60a, 60b　　　　　　　　　　　 제3 접속점
　　62　　　　　　　　　　　　　　 제1 영역
　　64　　　　　　　　　　　　　　 제2 영역
　　100, 110　　　　　　　　　　　 제1 탄성파 필터
　　200, 210　　　　　　　　　　　 제2 탄성파 필터
　　In10, In12, In14　　　　 제1 불평형 입력 노드
　　In20, In22, In24　　　　 제2 불평형 입력 노드
　　Out10, Out12　　　　　　　 제1 평형 출력 노드
　　Out20, Out22　　　　　　　 제2 평형 출력 노드
　　Out30, Out40　　　　　　　 평형 출력 노드

Claims (20)

  1. 복수의 다중 모드 필터가 접속되고, 제1 불평형 입력 노드와 2개의 제1 평형 출력 노드가 설치되고, 상기 복수의 다중 모드 필터 중, 제1 다중 모드 필터가 상기 2개의 제1 평형 출력 노드와 접속되어 있는 제1 탄성파 필터와,
    복수의 다중 모드 필터가 접속되고, 제2 불평형 입력 노드와 2개의 제2 평형 출력 노드가 설치되고, 상기 복수의 다중 모드 필터 중, 상기 제1 다중 모드 필터와는 다른 개구 길이를 가진 제2 다중 모드 필터가 상기 2개의 제2 평형 출력 노드와 접속되어 있고, 상기 제1 탄성파 필터와는 통과 주파수 대역이 다른 제2 탄성파 필터를 구비하고,
    상기 2개의 제1 평형 출력 노드의 각각과 상기 2개의 제2 평형 출력 노드의 각각은 공통화 되어 있는 것을 특징으로 하는 탄성파 필터.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 탄성파 필터 및 상기 제2 탄성파 필터 중 적어도 한쪽은, 상기 복수의 다중 모드 필터 중 2개의 다중 모드 필터가 상기 제1 불평형 입력 노드 및 상기 제2 불평형 입력 노드 중의 적어도 한쪽에 병렬 접속되어 있고, 상기 병렬 접속된 2개의 다중 모드 필터의 각각에 2개의 상기 제1 다중 모드 필터의 각각 및 2개의 상기 제2 다중 모드 필터의 각각 중 적어도 한쪽이 직렬 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 탄성파 필터.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 2개의 제1 다중 모드 필터의 각각 및 상기 2개의 제2 다중 모드 필터의 각각 중 적어도 한쪽은 개구 길이가 동일한 것을 특징으로 하는 탄성파 필터.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 제1 탄성파 필터는, 상기 복수의 다중 모드 필터 중, 2개의 다중 모드 필터가 상기 제1 불평형 입력 노드에 병렬 접속되고, 상기 병렬 접속된 2개의 다중 모드 필터의 각각에 상기 2개의 제1 다중 모드 필터의 각각이 직렬 접속되어 있고,
    상기 제2 탄성파 필터는, 상기 복수의 다중 모드 필터 중, 2개의 다중 모드 필터가 상기 제2 불평형 입력 노드에 병렬 접속되고, 상기 병렬 접속된 2개의 다중 모드 필터의 각각에 상기 2개의 제2 다중 모드 필터의 각각이 직렬 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 탄성파 필터.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 2개의 제1 평형 출력 노드의 각각과 상기 2개의 제2 평형 출력 노드의 각각을 접속하는 배선은 서로 교차하고 있지 않은 것을 특징으로 하는 탄성파 필터.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 제1 불평형 입력 노드와 상기 병렬 접속된 2개의 다중 모드 필터를 접속하는 배선과, 상기 제2 불평형 입력 노드와 상기 병렬 접속된 2개의 다중 모드 필터를 접속하는 배선은 교차하고 있는 것을 특징으로 하는 탄성파 필터.
  7. 제5항에 있어서,
    상기 제1 불평형 입력 노드와 상기 병렬 접속된 2개의 다중 모드 필터를 접속하는 배선과, 상기 제2 불평형 입력 노드와 상기 병렬 접속된 2개의 다중 모드 필터를 접속하는 배선은 교차하고 있지 않은 것을 특징으로 하는 탄성파 필터.
  8. 제2항에 있어서,
    상기 제1 다중 모드 필터 및 상기 제2 다중 모드 필터 중 적어도 한쪽은, 2개로 분할된 버스 바를 가지고, 상기 2개의 분할된 버스 바의 각각에 상기 2개의 제1 평형 출력 노드의 각각 및 상기 2개의 제2 평형 출력 노드의 각각 중 적어도 한쪽이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 탄성파 필터.
  9. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 불평형 입력 노드에 병렬 접속된 2개의 다중 모드 필터의 각각 및 상기 제2 불평형 입력 노드에 병렬 접속된 2개의 다중 모드 필터의 각각 중 적어도 한쪽은 개구 길이가 동일한 것을 특징으로 하는 탄성파 필터.
  10. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 2개의 제1 평형 출력 노드의 각각과 상기 2개의 제2 평형 출력 노드의 각각이 공통화 되는 2개의 평형 출력 노드간에는 정합 회로가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 탄성파 필터.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 정합 회로는 인덕터인 것을 특징으로 하는 탄성파 필터.
  12. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 탄성파 필터와 상기 제2 탄성파 필터는 동일한 압전기판 상에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 탄성파 필터.
  13. 제1항에 있어서,
    상기 2개의 제1 평형 출력 노드의 각각에 2개의 제1 배선의 각각이 2개의 제1 접속점의 각각에서 접속되고,
    상기 2개의 제2 평형 출력 노드의 각각에 2개의 제2 배선의 각각이 2개의 제2 접속점의 각각에서 접속되고,
    상기 2개의 제1 배선의 각각과 상기 2개의 제2 배선의 각각은 2개의 제3 접속점의 각각에서 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 탄성파 필터.
  14. 제8항에 있어서,
    상기 제1 다중 모드 필터 및 상기 제2 다중 모드 필터의 각각은 2개로 분할된 버스 바를 가지고,
    상기 제1 다중 모드 필터의 상기 2개로 분할된 버스 바의 각각에 2개의 제1 배선의 각각이 2개의 제1 접속점의 각각에서 접속되고,
    상기 제2 다중 모드 필터의 상기 2개로 분할된 버스 바의 각각에 2개의 제2 배선의 각각이 2개의 제2 접속점의 각각에서 접속되고,
    상기 2개의 제1 배선의 각각과 상기 2개의 제2 배선의 각각은 2개의 제3 접속점의 각각에서 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 탄성파 필터.
  15. 제13항 또는 제14항에 있어서,
    상기 2개의 제1 접속점간의 거리, 상기 2개의 제2 접속점간의 거리, 및 상기 2개의 제3 접속점간의 거리는 동일한 것을 특징으로 하는 탄성파 필터.
  16. 제13항 또는 제14항에 있어서,
    상기 2개의 제1 접속점간의 거리와 상기 2개의 제3 접속점간의 거리는 동일하고,
    상기 2개의 제2 접속점간의 수직 이등분선과 상기 2개의 제3 접속점간의 수직 이등분선은 동일한 것을 특징으로 하는 탄성파 필터.
  17. 제13항 또는 제14항에 있어서,
    상기 2개의 제1 배선간의 거리가 가장 커지는 제1 영역에 있어서의 상기 2개의 제1 배선간의 거리는 상기 2개의 제1 접속점간의 거리보다 크고,
    상기 2개의 제1 접속점간의 수직 이등분선과 상기 제1 영역에 있어서의 상기 2개의 제1 배선간의 수직 이등분선은 동일하고,
    상기 2개의 제2 배선간의 거리가 가장 커지는 제2 영역에 있어서의 상기 2개의 제2 배선간의 거리는 상기 2개의 제2 접속점간의 거리보다 크고,
    상기 2개의 제2 접속점간의 수직 이등분선과 상기 제2 영역에 있어서의 상기 2개의 제2 배선간의 수직 이등분선은 동일한 것을 특징으로 하는 탄성파 필터.
  18. 제17항에 있어서,
    상기 제1 영역에 있어서의 상기 2개의 제1 배선간의 거리, 상기 제2 영역에 있어서의 상기 2개의 제2 배선간의 거리, 및 상기 2개의 제3 접속점간의 거리는 동일한 것을 특징으로 하는 탄성파 필터.
  19. 제17항에 있어서,
    상기 제1 영역에 있어서의 상기 2개의 제1 배선간의 거리와 상기 2개의 제3 접속점간의 거리는 동일하고,
    상기 제2 영역에 있어서의 상기 2개의 제2 배선간의 수직 이등분선과 상기 2개의 제3 접속점간의 수직 이등분선은 동일한 것을 특징으로 하는 탄성파 필터.
  20. 제13항 또는 제14항에 있어서,
    상기 2개의 제1 배선의 각각은 서로 길이가 동일하고,
    상기 2개의 제2 배선의 각각은 서로 길이가 동일한 것을 특징으로 하는 탄성파 필터.
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