CN101459417A - 声波滤波器 - Google Patents

Abstract

本发明提供声波滤波器。该声波滤波器包括：第一声波滤波器，其具有连接的第一组多模滤波器、第一不均衡输入节点和两个第一均衡输出节点，所述第一组多模滤波器中的第一多模滤波器连接到所述两个第一均衡输出节点；以及第二声波滤波器，其具有第二组多模滤波器、第二不均衡输入节点和两个第二均衡输出节点，所述第二组多模滤波器中的第二多模滤波器具有与所述第一多模滤波器的孔径长度不同的孔径长度并且与所述两个第二均衡输出节点相连接，所述第一多模滤波器和所述第二多模滤波器具有不同的通带。所述两个第一均衡输出节点中的一个和所述两个第二均衡输出节点中的一个是合一的，并且另一个第一均衡输出节点和另一个第二均衡输出节点是合一的。

Description

声波滤波器

技术领域

本发明总体上涉及声波滤波器，更具体来说，涉及具有多模滤波器的声波滤波器。

背景技术

近年来，由于移动通信系统的发展，诸如蜂窝电话和便携式信息终端的便携式终端设备已经得到广泛使用。例如，已经开发出具有两个或更多个通信系统的多频带蜂窝电话。需要诸如多频带蜂窝电话的便携式装置具有能够处理两个或更多个通信系统的频带的宽带滤波器。

然而，很难实现覆盖两个或更多个频带并且插入损耗较低的滤波器。因此，使用交替型滤波器，其中多个声波滤波器并联连接，并且各个滤波器覆盖相应通信系统的通信频带。

日本特开平11-68512号公报公开了使用两个声波滤波器的一个输入二个不均衡输出的滤波器。日本特许3480445号公报公开了使用两个声波滤波器的一个输入二个均衡输出的滤波器。在并联连接到一个输入的两个声波滤波器中，这些声波滤波器允许各自的通带中的信号从其通过。为了截止在通带之外的信号，这些滤波器中的一个在另一个滤波器的通带中处于高阻抗状态。

在上面提及的现有技术文献中，在特定声波滤波器和输入之间设置有串联谐振器，从而调节阻抗以使得这些滤波器中的一个在另一个滤波器的通带中处于高阻抗状态。

然而，串联谐振器的插入导致插入损耗，并且妨碍了尺寸减小。

发明内容

根据本发明的一方面，提供了插入损耗减小并且尺寸减小的声波装置。

根据本发明的另一方面，提供了一种声波滤波器，该声波滤波器包括：第一声波滤波器，所述第一声波滤波器具有连接的第一组多模滤波器、第一不均衡输入节点和两个第一均衡输出节点，所述第一组多模滤波器中的第一多模滤波器连接到所述两个第一均衡输出节点；以及第二声波滤波器，所述第二声波滤波器具有第二组多模滤波器、第二不均衡输入节点和两个第二均衡输出节点，所述第二组多模滤波器中的第二多模滤波器具有与所述第一多模滤波器的孔径长度不同的孔径长度并且与所述两个第二均衡输出节点相连接，所述第一多模滤波器和所述第二多模滤波器具有不同的通带，所述两个第一均衡输出节点中的一个和所述两个第二均衡输出节点中的一个是合一的，并且另一个第一均衡输出节点和另一个第二均衡输出节点是合一的。

附图说明

图1是根据第一实施方式的声波装置的平面图；

图2是使用根据第一实施方式的声波装置的通信装置的框图；

图3A示意性地示出输入信号的频率落入第一声波滤波器的通带内的情况，图3B示意性地示出输入信号的频率落入第二声波滤波器的通带内的另一种情况；

图4例示在计算机仿真中使用的参数的定义；

图5A是第一声波滤波器的频率特性的计算机仿真的结果的曲线图，图5B是第一声波滤波器的通带中的放大图；

图6A是第二声波滤波器的频率特性的计算机仿真的结果的曲线图，图6B是第二声波滤波器的通带中的放大图；

图7A是第一声波滤波器的振幅均衡特性的计算机仿真的结果的曲线图，图7B是其相位均衡特性的计算机仿真的结果的曲线图；

图8A是第二声波滤波器的振幅均衡特性的计算机仿真的结果的曲线图，图8B是其相位均衡特性的计算机仿真的结果的曲线图；

图9是根据第二实施方式的声波滤波器的平面图；

图10是根据第三实施方式的声波滤波器的平面图；

图11是根据第四实施方式的声波滤波器的平面图；

图12是根据第五实施方式的声波滤波器的平面图；

图13是根据第六实施方式的声波滤波器的平面图；

图14A是具有匹配电路的结构的框图，图14B示出由电感器组成的匹配电路；

图15是根据第七实施方式的声波滤波器的放大图；

图16是第七实施方式的变型例的放大图；

图17是第七实施方式的另一变型例的放大图；

图18是第七实施方式的再一变型例的放大图；以及

图19A是根据第八实施方式的声波滤波器的放大图，图19B到19D分别是第八实施方式的多个变型例的放大图。

具体实施方式

参照附图给出对本发明的实施方式的描述。

(第一实施方式)

图1是根据第一实施方式的表面声波滤波器1000的平面图。SAW滤波器1000包括第一声波滤波器100和第二声波滤波器200，第二声波滤波器200具有和第一声波滤波器100的通带不同的通带。

现在描述第一声波滤波器100。滤波器100具有一组多模滤波器10、12、14以及16。多模滤波器14和16并联连接到第一不均衡输入节点In10。第一多模滤波器10串联连接到多模滤波器14，第一多模滤波器12串联连接到多模滤波器16。第一均衡输出节点Out10连接到第一多模滤波器10，第一均衡输出节点Out12连接到第一多模滤波器12。

第一多模滤波器10被构成如下：连接到第一均衡输出节点Out10的输出IDT(叉指换能器)10b设置在中央，输入IDT 10a设置在输出IDT10b的相对两侧，并且反射器R10设置在输入IDT 10a的外侧。多模滤波器14被构成如下：两个输出IDT 14a分别设置在连接到第一不均衡输入节点In10的输入IDT 14b的相对侧，并且反射器R14设置在输出IDT 14a的外侧。第一多模滤波器12具有和第一多模滤波器10的结构类似的结构，多模滤波器16具有和多模滤波器14的结构类似的结构。可以由单个压电基板30来构成滤波器10、12、14以及16，压电基板30典型地可以由铌酸锂或钽酸锂制成。

多模滤波器14和16具有不同设置的IDT电极指。这使得滤波器14和16可以输出相位差180度的各个信号。从第一均衡输出节点Out10和Out12输出具有180度相位差的信号。

第二声波滤波器200构成如下。第二声波滤波器200具有一组多模滤波器20、22、24以及26。多模滤波器24和26并联连接到第二不均衡输入节点In20。第二多模滤波器20串联连接到多模滤波器24，第二多模滤波器22串联连接到多模滤波器26。第二均衡输出节点Out20连接到第二多模滤波器20，第二均衡输出节点Out22连接到第二多模滤波器22。

和第一多模滤波器10类似，第二多模滤波器20和22由输出IDT、输入IDT以及反射器R组成。多模滤波器24和26具有类似于多模滤波器14的结构。第二多模滤波器20和22以及多模滤波器24和26形成在相同的压电基板40上。

多模滤波器24和26具有不同设置的IDT电极指。这使得滤波器24和26可以输出相位差180度的各个信号。从第二均衡输出节点Out20和Out22输出具有180度相位差的信号。

图2是使用声波滤波器1000的通信装置的框图。在发送节点460a和双工器420a之间设置有放大器430a和滤波器440a。双工器420a通过放大器450a连接到滤波器1000的第一不均衡输入节点In10。由于存在双工器420a，所以通过发送节点460a发送的信号不发送到第一不均衡输入节点In10，而是通过切换器410发送到天线400。在发送节点460b和双工器420之间设置有放大器430b和滤波器440b。双工器420b通过放大器450b连接到滤波器1000的第二不均衡输入节点In20。由于存在双工器420b，所以通过发送节点460b发送的信号不发送到第二不均衡输入节点In20，而是通过切换器410发送到天线400。切换器410选择双工器420a和420b中的一个。

现在将考虑这样的情况：通过天线400接收了频率F1包括在第一声波滤波器100的通带中的信号S1。通过天线400接收的信号S1经由切换器410发送到双工器420a，并且经由放大器450a输入到第一不均衡输入节点In10。图3A示意性地例示其中将信号S1施加到声波滤波器1000的情况。如图3A中所示出的，施加到第一不均衡输入节点In10的信号S1通过第一声波滤波器100，并且经由第一均衡输出节点Out10和Out12从均衡输出节点Out30和Out40输出。

现在将考虑这样的情况：通过天线400接收了频率F2包括在第二声波滤波器200的通带中的信号S2。通过天线400接收的信号S2经由切换器410发送到双工器420b，并且经由放大器450b输入到第二不均衡输入节点In20。图3B示意性地例示其中将信号S2施加到声波滤波器1000的情况。如图3B中所示出的，施加到第二不均衡输入节点In20的信号S2通过第二声波滤波器200，并且经由第二均衡输出节点Out20和Out22从均衡输出节点Out30和Out40输出。

将第一均衡输出节点Out10和第二均衡输出节点Out20合成一体，并将第一均衡输出节点Out12和第二均衡输出节点Out22合成一体。因此，通过了第一声波滤波器100的信号S1(见图3A)泄漏到第二声波滤波器200。通过了第二声波滤波器200的信号S2(见图3B)泄漏到第一声波滤波器100。此现象增加了对信号S1和S2的插入损耗。

参照图1，第一多模滤波器10的孔径长度与第一多模滤波器12的孔径长度相等，假设其为L1。第二多模滤波器20的孔径长度与第二多模滤波器22的孔径长度相等，假设其为L2。通过调节孔径长度L1和L2，可以调节第一多模滤波器10和第二多模滤波器20的阻抗并调节第一多模滤波器12和第二多模滤波器22的阻抗。即，可以调节孔径长度L1和L2，以使得第二声波滤波器200在第一声波滤波器100的通带中处于高阻抗状态，并且第一声波滤波器100在第二声波滤波器200的通带中处于高阻抗状态。因此，可以输出插入损耗减小的信号。

如之前已经描述的，第一多模滤波器10和12具有相等的孔径长度。这使得滤波器10和12的阻抗彼此近似相等。多模滤波器14和16具有相等的孔径长度。这使得滤波器14和16的阻抗彼此近似相等。类似地，第二多模滤波器20和22的孔径长度彼此相等，从而滤波器20和22具有近似相等的阻抗。多模滤波器24和26具有相等的孔径长度，并且具有近似相等的阻抗。

注意，声波滤波器之一(例如第一声波滤波器100)的均衡输出端子侧(例如Out10和Out12)的多模滤波器的阻抗对于另一声波滤波器(例如第二声波滤波器200)来说用作电容。因此，当多模滤波器具有相同的阻抗时，可以防止另一声波滤波器的均衡特性劣化。因此，可以减小输出到第一均衡输出节点Out10的信号和输出到第一均衡输出节点Out12的信号之间的振幅之差(振幅均衡度)和相位之差(相位均衡度)，并减小输出到第二均衡输出节点Out20的信号和输出到第二均衡输出节点Out22的信号之间的振幅之差和相位之差。因此，可以保持从第一声波滤波器100输出的信号的振幅均衡特性和相位均衡特性，并保持来自第二声波滤波器200的信号的振幅均衡特性和相位均衡特性。相位均衡度定义为信号之间的相位差与180度的偏离。即，当相位均衡度为零时，相位差为180度。孔径长度是其中IDT的交错的上电极指和下电极指彼此横向交叠的部分的长度。

根据第一实施方式，通过调节孔径长度L1和L2，可以获得具有低插入损耗的信号。不需要使用串联谐振器。因此，可以减小声波装置的尺寸，并且不存在由串联谐振器导致的插入损耗。仍然可以保持分别从均衡输出节点Out30和Out40输出的信号的振幅均衡特性和相位均衡特性。

均衡输出节点Out10和Out20合在一起，均衡输出节点Out12和22合在一起。因此，可以将输出侧的节点数从4个减小到2个，减小声波装置的尺寸。

在上述第一实施方式中，第一声波滤波器100和第二声波滤波器200各自具有四个多模滤波器。多模滤波器的数量并不限于4个，相反，滤波器100和200各自可以具有任意数量的多个多模滤波器。

现在将描述对根据第一实施方式的声波滤波器的频率特性、振幅均衡特性以及相位均衡特性的计算机仿真的结果。

首先，将描述对比例。在对比例中，在均衡输出节点Out10和Out20没有合一并且均衡输出节点Out12和Out22没有合一的状态下，对第一多模滤波器的孔径长度L1进行优化，以使得在可以保持振幅均衡特性和相位均衡特性的同时信号可以具有低插入损耗。类似地对第二多模滤波器的孔径长度L2进行了优化。之后，将均衡输出节点Out10和Out20合一，并且将均衡输出节点Out12和Out22合一，从而可以构成对比例。相反，在第一实施方式中，对孔径长度L1和L2进行优化，以使得第二声波滤波器200在第一声波滤波器100的通带中处于高阻抗状态，并且第一声波滤波器100在第二声波滤波器200的通带中处于高阻抗状态。

图4示意性地示出计算机仿真中使用的参数的定义。如图4中所示出的，向IDT下侧的母线(bus bar)6设置电极指2，并且向其上侧的母线8设置电极指4。孔径长度L是其中电极指2和4横向彼此交叠的部分的长度。在第一多模滤波器10和12中，L等于L1。在第二多模滤波器20和22中，L等于L2。符号λ是通过压电基板传播的声波的波长。符号W表示电极指2和4的宽度，P是电极间距(pitch)。符号h是电极指2和4的厚度。

表1描述计算机仿真中使用的第一多模滤波器10和12的参数。在对比例中，第一多模滤波器10的孔径长度与第一多模滤波器12的孔径长度不同。相反，第一实施方式采用相同孔径长度的多模滤波器10和12。

表1

第一声波滤波器100

表2描述第二多模滤波器20和22的参数。在对比例中，第二多模滤波器20的孔径长度与第二多模滤波器22的孔径长度不同。相反，第一实施方式采用相同孔径长度的多模滤波器20和22。

表2

第二声波滤波器200

表3描述多模滤波器14和16的参数。表4描述多模滤波器24和26的参数。在表3和4中，对比例和第一实施方式之间不存在差异。

表3

第一声波滤波器100

表4

第二声波滤波器200

现在描述电极指数量。表中的电极指数量，例如表1中描述的第一多模滤波器10的12/40/20，表示在图1中沿从左到右的方向排列的IDT10a、IDT 10b及IDT 10a的电极指数量分别为12、40和20。类似地描述其他多模滤波器。

图5A到8B描述根据第一实施方式的计算机仿真的结果。在这些曲线图中，虚线表示对比例，实线表示第一实施方式。

图5A是第一声波滤波器100的频率特性的计算机仿真的结果的曲线图。图5B是图5A中示出的滤波器100的通带的放大图。横轴表示频率，纵轴表示插入损耗。如图5B中所示出的，在通带中，第一实施方式的插入损耗比对比例最多小1dB。

图6A是第二声波滤波器200的频率特性的计算机仿真的结果的曲线图。图6B是第二声波滤波器200的通带的放大图。如图6B中所示出的，在通带中，第一实施方式的插入损耗比对比例最多小1dB。

在对比例中，在第一均衡输出节点Out10和第二均衡输出节点Out20合一并且第一均衡输出节点Out12和第二均衡输出节点Out22合一的结构中未对孔径长度L1和L2进行优化。因此，发生信号泄漏，并且插入损耗增加。相反，在第一实施方式中，对孔径长度L1和L2进行了优化。因此，第二声波滤波器200在第一声波滤波器100的通带中处于高阻抗状态，第一声波滤波器100在第二声波滤波器200的通带中处于高阻抗状态。因此，可以抑制信号泄漏并减小插入损耗。因此，如图5A到6B中所例示，第一实施方式能够获得插入损耗减小的经滤波信号。

图7A是第一声波滤波器100的振幅均衡特性的计算机仿真的结果的曲线图。该曲线图的横轴表示频率，纵轴表示从第一均衡输出节点Out10输出的信号和从第一均衡输出节点Out12输出的信号之间的振幅均衡度。与由虚线表示的对比例相比，由实线表示的第一实施方式的变化更小，改善了振幅均衡特性。

图7B是第一声波滤波器100的相位均衡特性的计算机仿真的结果的曲线图。该曲线图的横轴表示频率，纵轴表示从第一均衡输出节点Out10输出的信号和从第一均衡输出节点Out12输出的信号之间的相位均衡度。如之前已经描述的，当相位均衡度为零时，从第一均衡输出节点Out10输出的信号和从第一均衡输出节点Out12输出的信号之间存在180度的相位差。与对比例相比，第一实施方式改善了相位均衡特性。

图8A是第二声波滤波器200的振幅均衡特性的计算机仿真的结果的曲线图。该曲线图示出了从第二均衡输出节点Out20输出的信号和从第二均衡输出节点Out22输出的信号之间的振幅均衡度。与对比例相比，第一实施方式具有改善的振幅均衡特性。

图8B是第二声波滤波器200的相位均衡特性的计算机仿真的结果的曲线图。该曲线图示出了从第二均衡输出节点Out20输出的信号和从第二均衡输出节点Out22输出的信号之间的相位均衡度。与对比例相比，第一实施方式具有改善的相位均衡特性。

如已经参照图7A到8B所描述的，第一实施方式能够改善振幅均衡特性和相位均衡特性。

(第二实施方式)

第二实施方式具有这样的示例性结构：其中，第一多模滤波器的输出IDT具有两个分开的母线，并且第二多模滤波器的输出IDT具有两个分开的母线。图9是根据第二实施方式的表面声波滤波器的平面图。

参照图9描述第一声波滤波器110。多模滤波器17连接到第一不均衡输入节点In10。第一多模滤波器18串联连接到多模滤波器17。设置在第一多模滤波器18的中央的输出IDT 18b具有两个分开的母线13和15，这两个分开的母线13和15分别连接到第一均衡输出节点Out10和Out12。两个输入IDT 18a设置在输出IDT 18b的外侧，反射器R18设置在输入IDT 18a的外侧。在多模滤波器17中，输出IDT 17a和17c设置在输入IDT 17b的两侧，反射器R17被设置为比输出IDT 17a和17c更靠外。输出IDT 17a和17c被分别连接到两个输入IDT 18a。多模滤波器17的电极指被设置为使得在从输出IDT 17a输出的信号和从输出IDT 17c输出的信号之间存在180度的相位差。因此，在第一均衡输出节点Out10和Out12之间可获得相位差180度的信号。

第二声波滤波器210具有和第一声波滤波器110的结构相似的结构，设置在第二多模滤波器28的中央的输出IDT 28b具有两个分开的母线23和25。设置在输出IDT 28b中的母线23和25分别连接到第二均衡输出节点Out20和Out22。多模滤波器27的电极指被设置为使得分别从输出IDT 27a和27c输出的信号具有180度的相位差。因此，通过第二均衡输出节点Out20和Out22可获得相位差180度的信号。

和第一实施方式相同，第一均衡输出节点Out10和第二均衡输出节点Out20合一，并且第一均衡输出节点Out12和第二均衡输出节点Out22合一。因此，通过调节第一多模滤波器18的孔径长度L1和第二多模滤波器28的孔径长度L2，可以容易地实现对第一声波滤波器110和第二声波滤波器210的阻抗调节。

根据第二实施方式，第一声波滤波器110由第一多模滤波器18和多模滤波器17组成。第二声波滤波器210由第二多模滤波器28和多模滤波器27组成。与第一实施方式相比，可以由数量有所减少的多模滤波器来形成声波滤波器，从而可以实现滤波器的小型化。

(第三实施方式)

第三实施方式具有由第一实施方式的第一声波滤波器100和第二实施方式的第二声波滤波器210的组合来实现的示例性结构。图10是根据第三实施方式的声波滤波器的平面图。

第一多模滤波器10连接到第一均衡输出节点Out10，第一多模滤波器12连接到第一均衡输出节点Out12。第二多模滤波器28的输出IDT 28b具有两个分开的母线23和25。第二均衡输出节点Out20和Out22分别连接到母线23和25。第一均衡输出节点Out10和第二均衡输出节点Out20合一，并且第一均衡输出节点Out12和第二均衡输出节点Out22合一。与第一实施方式相同，通过调节第一多模滤波器12的孔径长度L1和第二多模滤波器28的孔径长度L2，可以容易地实现对第一声波滤波器100和第二声波滤波器210的阻抗调节。

根据第三实施方式，可以减少形成第二声波滤波器的多模滤波器的数量，并减小滤波器尺寸。

上述的第三实施方式具有第一声波滤波器100和第二声波滤波器210的组合。可以通过第二实施方式的第一声波滤波器110和第一实施方式的第二声波滤波器200的组合来获得类似的效果。

如已经结合第二和第三实施方式所描述的，当第一多模滤波器和第二多模滤波器中的至少一个具有两个分开的母线并且这些母线分别连接到第一均衡输出节点Out10和Out12或者第二均衡输出节点Out20和Out22时，可以实现滤波器的小型化。

如图1中所示出的，第一实施方式具有这样的示例性结构：其中第一声波滤波器和第二声波滤波器的每一个都配置有并联连接到不均衡输入节点的两个多模滤波器。相反，如10中所示出的，第三实施方式被构成如下：第一声波滤波器和第二声波滤波器中的任一个配置有并联连接到不均衡输入节点的两个均衡多模滤波器。根据本发明的方面，第一声波滤波器和第二声波滤波器中的至少一个具有并联连接到不均衡输入节点的两个多模滤波器。

(第四实施方式)

第四实施方式具有这样的示例性结构：其中，分别用第二多模滤波器20和多模滤波器24来替代第一实施方式的第一多模滤波器12和多模滤波器16。图11是根据第四实施方式的声波滤波器的平面图。

如图11中所示出的，多模滤波器14、多模滤波器24、第一多模滤波器10以及第二多模滤波器20形成在压电基板30上，并且多模滤波器16、多模滤波器26、第一多模滤波器12以及第二多模滤波器22形成在压电基板40上。连接第一不均衡输入节点In12和In14的互连部与连接第二不均衡输入节点In22和第二不均衡输入节点In24的互连部交叉。相反，连接第一均衡输出节点Out10和第二均衡输出节点Out20的互连部与连接第一均衡输出节点Out12和第二均衡输出节点Out22的互连部不交叉。

根据第四实施方式，输出侧的互连部彼此不交叉，所以输出信号之间几乎不会发生干扰。因此，与第一实施方式相比，可以改善振幅均衡特性和相位均衡特性。

(第五实施方式)

第五实施方式具有这样的示例性结构：其中，分别用第二多模滤波器22和多模滤波器26替换第四实施方式的第一多模滤波器12和多模滤波器16。图12是根据第五实施方式的声波滤波器的平面图。

如图12中所示出的，多模滤波器14、多模滤波器24、第一多模滤波器10以及第二多模滤波器20形成在压电基板30上，并且多模滤波器16、多模滤波器26、第一多模滤波器12以及第二多模滤波器22形成在压电基板40上。和第四实施方式相同，连接第一均衡输出节点Out10和第二均衡输出节点Out20的互连部与连接第一均衡输出节点Out12和第二均衡输出节点Out22的互连部不交叉。此外，连接第一不均衡输入节点In12和第一不均衡输入节点In14的互连部与连接第二不均衡输入节点In22和第二不均衡输入节点In24的互连部不交叉。

如果输入侧的互连部彼此交叉，则由于互连部之间的耦合，声波滤波器之一(例如第二声波滤波器)的通带内的信号(例如，先前结合第一实施方式描述的S2)可能泄漏到另一声波滤波器(例如第一声波滤波器)。因为第一声波滤波器和第二声波滤波器具有不同的通带，所以信号泄漏可能使得另一声波滤波器的衰减量劣化。根据第五实施方式，输入侧互连部不存在交叉，从而可以防止由于互连部之间的耦合导致的信号泄漏和衰减劣化。

(第六实施方式)

第六实施方式具有这样的示例性结构：其中第一声波滤波器100和第二声波滤波器200设置在同一或单个压电基板50上。图13是根据第六实施方式的声波滤波器的平面图。与第一实施方式相比较，第六实施方式可以进一步实现小型化。

因为均衡输出端子是合一的，所以第一声波滤波器和第二声波滤波器中的一个从另一声波滤波器看起来是电容，并且阻抗为电容性的。为了补偿阻抗不匹配，如图14A中所例示，在第一到第六实施方式中，可以在均衡输出节点Out30和Out40之间设置匹配电路300。具体来说，如图14B中所示出的，通过匹配电路300的电感器310来调节电容性阻抗。

(第七实施方式)

第七实施方式具有这样的示例性结构：其中，调节分别连接到两个第一多模滤波器的互连部之间的距离，并且调节分别连接到两个第二多模滤波器的互连部之间的距离。图15是根据第七实施方式的声波滤波器的关于两个第一多模滤波器和两个第二多模滤波器的部分的放大图。注意，为了简洁，未示出压电基板30和40以及反射器R10、R12、R20和R22。

如图15中所示出的，第一多模滤波器10配置有输出IDT 30、输入IDT 32以及输出IDT 34。输出IDT 30和34连接到第一均衡输出节点Out10。第一多模滤波器12配置有输出IDT 36、输入IDT 38以及输出IDT40。输出IDT 36和输出IDT 40连接到第一均衡输出节点Out12。第二多模滤波器20配置有输出IDT 42、输入IDT 44以及输出IDT 46。输出IDT42和输出IDT 46连接到第二均衡输出节点Out 20。第二多模滤波器22配置有输出IDT 48、输入IDT 50以及输出IDT 52。输出IDT 48和输出IDT 52连接到第二均衡输出节点Out 22。第一多模滤波器10和12具有与第二多模滤波器20和22的孔径长度不同的孔径长度。因此，如之前已经描述的，可以容易地实现阻抗调节。

第一均衡输出节点Out10在第一连接点54a处连接到第一互连部52a，第一均衡输出节点Out12在第一连接点54b处连接到第一互连部52b。类似地，第二均衡输出节点Out20和Out22分别在第二连接点58a和58b处连接到第二互连部56a和56b。第一互连部52a和第二互连部56a在第三连接点60a处相互连接，第一互连部52b和第二互连部56b在第三连接点60b处相互连接。即，互连部52a和56a合一，并且互连部52b和56b合一。第一互连部52a和52b具有近似相等的长度，并且第二互连部56a和56b的长度近似相等。

在图15中示出的实施例中，L3、L4以及L5彼此基本相等，其中L3为第一连接点54a和54b之间的距离，L4为第二连接点58a和58b之间的距离，L5为第三连接点60a和60b之间的距离。因此，第一互连部52a和52b通过长度近似相等的路线而连接到第三连接点60a和60b。因此，可以改善从第一均衡输出节点Out10输出的信号和从均衡输出节点Out12输出的信号的振幅均衡特性和相位均衡特性。类似地，第二互连部56a和56b通过长度近似相等的路线而连接到第三连接点60a和60b。因此，可以改善从第二均衡输出节点Out20输出的信号和从第二均衡输出节点Out22输出的信号的振幅均衡特性和相位均衡特性。

图16示出第七实施方式的变型例。如图16中所示出的，第一连接点54a和54b之间的距离L3与第三连接点60a和60b之间的距离L5近似相等。因此，第一互连部52a和52b通过长度近似相等的路线分别连接到第三连接点60a和60b。如虚线所示出的，第二连接点58a和58b之间的中垂线与第三连接点60a和60b之间的中垂线一致。因此，第二互连部56a和56b通过长度近似相等的路线连接到第三连接点60a和60b。因此，可以改善声波滤波器的振幅均衡特性和相位均衡特性。根据图16中示出的结构，即使第一连接点54a和54b之间的距离L3与第二连接点58a和58b之间的距离L4不相等，也可以改善声波滤波器的振幅均衡特性和相位均衡特性。

图17例示第七实施方式的另一变型例。如图17中所示出的，第一互连部52a和52b具有第一区域62(被虚线环绕)，在第一区域62中，在声波的传播方向上可获得第一互连部52a和52b之间的最大距离。如另一虚线所示出的，第一区域62中的第一互连部52a和52b之间的中垂线与第一连接点54a和54b之间的中垂线一致。类似地，第二互连部56a和56b具有第二区域64(被虚线环绕)，在第二区域64中，在声波的传播方向上可获得第二互连部56a和56b之间的最大距离。如另一虚线所示出的，第二区域64中的第二互连部56a和56b之间的中垂线与第二连接点58a和58b之间的中垂线一致。

假设L6为第一区域62中的第一互连部52a和52b之间的距离，L7为第二区域64中的第二互连部56a和56b之间的距离。在该假设中，L3<L6，并且L4<L7。此外，L6、L7以及L5彼此近似相等。因此，第一互连部52a和52b通过长度近似相等的路线连接到第三连接点60a和60b。类似地，第二互连部56a和56b通过长度近似相等的路线连接到第三连接点60a和60b。根据图17中示出的结构，即使互连部之间的距离变化，也可以改善振幅均衡特性和相位均衡特性。

图18示出了第七实施方式的又一变型例。如图18中所示出的，第一区域62中的第一互连部52a和52b之间的距离L6与第三连接点60a和60b之间的距离L5近似相等。因此，第一互连部52a和52b通过长度近似相等的路线连接到第三连接点60a和60b。如虚线所示出的，第二区域64中的第二互连部56a和56b之间的中垂线与第三连接点60a和60b之间的中垂线一致。因此，第二互连部56a和56b通过长度近似相等的路线连接到第三连接点60a和60b。即，根据图18中示出的结构，即使互连部之间的距离变化，也可以改善振幅均衡特性和相位均衡特性。

(第八实施方式)

第八实施方式具有这样的示例性结构：其中第一多模滤波器和第二多模滤波器的输出IDT中的每一个都具有两个分开的母线，并且调节连接到这些分开的母线的互连部之间的距离。根据第八实施方式的声波滤波器的基本结构与图9中示出的结构类似。图19A是关于第八实施方式的声波滤波器的第一多模滤波器18和第二多模滤波器28的部分的放大图。为了简洁，图中省略了反射器R18和R28。如之前已经描述的，第一多模滤波器18和第二多模滤波器具有相互不同的孔径长度。

如图19A中所示出的，第一多模滤波器18的输出IDT 18b具有两个分开的母线13和15，并且第二多模滤波器28的输出IDT 28b具有两个分开的母线23和25。母线13和15在第一连接点54a和54b处连接到第一互连部52a和52b。类似地，母线23和25在第二连接点58a和58b处连接到第二互连部56a和56b。第一互连部52a和52b在第三连接点60a和60b处连接到第二互连部56a和56b。第一互连部52a和52b具有近似相等的长度，并且第二互连部56a和56b具有近似相等的长度。

在图19A中示出的示例性结构中，L3、L4以及L5彼此近似相等，其中L3为第一连接点54a和54b之间的距离，L4为第二连接点58a和58b之间的距离，L5为第三连接点60a和60b之间的距离。因此，第一互连部52a和52b通过长度近似相等的路线连接到第三连接点60a和60b。因此，可以改善分别从母线13和15输出的信号的振幅均衡特性和相位均衡特性。类似地，第二互连部56a和56b通过长度近似相等的路线连接到第三连接点60a和60b。因此，可以改善分别从母线23和25输出的信号的振幅均衡特性和相位均衡特性。因此，根据第八实施方式，可以改善声波滤波器的振幅均衡特性和相位均衡特性。

图19B例示第八实施方式的变型例。如图19B中所示出的，L3与L5近似相等，其中L3为第一连接点54a和54b之间的距离，L5为第三连接点60a和60b之间的距离。因此，第一互连部52a和52b通过长度近似相等的路线连接到第三连接点60a和60b。如虚线所示出的，第二连接点58a和58b之间的中垂线与第三连接点60a和60b之间的中垂线一致。因此，第二互连部56a和56b通过长度近似相等的路线连接到第三连接点60a和60b。因此，可以改善声波滤波器的振幅均衡特性和相位均衡特性。根据图19B中示出的结构，即使L3和L4彼此不相等，也可以改善振幅均衡特性和相位均衡特性。

图19C例示第八实施方式的另一变型例。如图19C中所示出的，第一互连部52a和52b具有第一区域62(被虚线环绕)，在第一区域62中，在声波的传播方向上可获得第一互连部52a和52b之间的最大距离。如另一虚线所示出的，第一连接点54a和54b之间的中垂线与第一区域62中的第一互连部52a和52b之间的中垂线一致。类似地，第二互连部56a和56b具有第二区域64(被虚线环绕)，在第二区域64中，在声波的传播方向上可获得第二互连部56a和56b之间的最大距离。如另一虚线所示出的，第二区域64中的第二互连部56a和56b之间的中垂线与第二连接点58a和58b之间的中垂线一致。

在上述结构中，L3<L6，并且L4<L7。此外，L6、L7以及L5彼此近似相等。因此，第一互连部52a和52b通过长度近似相等的路线连接到第三连接点60a和60b。类似地，第二互连部56a和56b通过长度近似相等的路线连接到第三连接点60a和60b。即，根据图19C中示出的结构，即使互连部之间的距离变化，也可以改善振幅均衡特性和相位均衡特性。

图19D例示第八实施方式的又一变型例。如图19D中所例示的，L6与L5近似相等，其中L6为第一区域62中的第一互连部52a和52b之间的距离，L5为第三连接点60a和60b之间的距离。因此，第一互连部52a和52b通过长度近似相等的路线连接到第三连接点60a和60b。如虚线所示出的，第二区域64中的第二互连部56a和56b之间的中垂线与第三连接点60a和60b之间的中垂线一致。因此，第二互连部56a和56b通过长度近似相等的路线连接到第三连接点60a和60b。即，根据图19D中示出的结构，即使互连部之间的距离变化，也可以改善振幅均衡特性和相位均衡特性。

在上述的第八实施方式中，第一多模滤波器和第二多模滤波器具有不同的孔径长度。然而，可以采用相同的孔径长度。第一到第八实施方式及其变型例不仅可以包括上述的表面声波装置，而且可以包括边界声波或弹性波装置。

本发明并不限于具体描述的实施方式和变型例，可以在本发明的范围内构成其他实施方式和变型例。

本申请基于2007年12月14日提交的在先日本专利申请No.2007-323892并要求其优先权，这里通过引用并入其全部内容。

Claims (20)

1.一种声波滤波器，该声波滤波器包括：

第一声波滤波器，所述第一声波滤波器具有连接的第一组多模滤波器、第一不均衡输入节点和两个第一均衡输出节点，所述第一组多模滤波器中的第一多模滤波器连接到所述两个第一均衡输出节点；以及

第二声波滤波器，所述第二声波滤波器具有第二组多模滤波器、第二不均衡输入节点和两个第二均衡输出节点，所述第二组多模滤波器中的第二多模滤波器具有与所述第一多模滤波器的孔径长度不同的孔径长度并且与所述两个第二均衡输出节点相连接，所述第一多模滤波器和所述第二多模滤波器具有不同的通带，

所述两个第一均衡输出节点中的一个和所述两个第二均衡输出节点中的一个是合一的，并且另一个第一均衡输出节点和另一个第二均衡输出节点是合一的。

2.根据权利要求1所述的声波滤波器，其中，所述第一声波滤波器和所述第二声波滤波器中的至少一个具有这样的设置：所述第一组多模滤波器或所述第二组多模滤波器中的两个多模滤波器并联连接到所述第一不均衡输入节点和所述第二不均衡输入节点中的至少一个，并且所述第一组或所述第二组中的两个第一多模滤波器或第二多模滤波器分别串联连接到所述两个多模滤波器。

3.根据权利要求2所述的声波滤波器，其中，所述两个第一多模滤波器或第二多模滤波器具有相同的孔径长度。

4.根据权利要求2所述的声波滤波器，其中：

所述第一声波滤波器被构成如下：所述第一组多模滤波器中的两个多模滤波器并联连接到所述第一不均衡输入节点，并且所述两个第一多模滤波器分别串联连接到并联连接的所述两个多模滤波器；并且

所述第二声波滤波器被构成如下：所述第二组多模滤波器中的两个多模滤波器连接到所述第二不均衡输入节点，并且所述两个第二多模滤波器分别串联连接到并联连接的所述两个多模滤波器。

5.根据权利要求4所述的声波滤波器，其中，将所述两个第一均衡输出节点中的一个和所述两个第二均衡输出节点中的一个相连接的互连部与将所述两个第一均衡输出节点中的另一个和所述两个第二均衡输出节点中的另一个相连接的另一互连部彼此不交叉。

6.根据权利要求5所述的声波滤波器，其中，将所述第一不均衡输入节点和所述第一声波滤波器中的并联连接的所述两个多模滤波器相连接的互连部与将所述第二不均衡输入节点和所述第二声波滤波器中的并联连接的所述两个多模滤波器相连接的另一互连部彼此交叉。

7.根据权利要求5所述的声波滤波器，其中，将所述第一不均衡输入节点和所述第一声波滤波器中的并联连接的所述两个多模滤波器相连接的互连部与将所述第二不均衡输入节点和所述第二声波滤波器中的并联连接的所述两个多模滤波器相连接的另一互连部彼此不交叉。

8.根据权利要求2所述的声波滤波器，其中，所述第一多模滤波器和所述第二多模滤波器中的至少一个具有两个分开的母线，所述两个分开的母线连接到所述两个第一均衡输出节点或第二均衡输出节点。

9.根据权利要求1所述的声波滤波器，其中，所述第一组的连接到所述第一不均衡输入节点的两个多模滤波器和/或所述第二组的连接到所述第二不均衡输入节点的两个多模滤波器具有相同的孔径长度。

10.根据权利要求1所述的声波滤波器，该声波滤波器还包括位于第一合一节点和第二合一节点之间的匹配电路，其中，所述第一合一节点将所述两个第一均衡输出节点中的一个和所述两个第二均衡输出节点中的一个相连接，所述第二合一节点将所述两个第一均衡输出节点中的另一个和所述两个第二均衡输出节点中的另一个相连接。

11.根据权利要求10所述的声波滤波器，其中，所述匹配电路包括电感器。

12.根据权利要求1所述的声波滤波器，其中，所述第一声波滤波器和所述第二声波滤波器具有同一压电基板。

13.根据权利要求1所述的声波滤波器，其中：

两个第一互连部在两个第一连接点处连接到所述两个第一均衡输出节点；

两个第二互连部在两个第二连接点处连接到所述两个第二均衡输出节点；并且

所述两个第一互连部和所述两个第二互连部分别在两个第三连接点处相连接。

14.根据权利要求8所述的声波滤波器，其中：

所述第一多模滤波器和所述第二多模滤波器中的每一个都具有两个分开的母线；

两个第一互连部在两个第一连接点处连接到所述第一多模滤波器的所述两个分开的母线；

两个第二互连部在两个第二连接点处连接到所述第二多模滤波器的所述两个分开的母线；并且

所述两个第一互连部和所述两个第二互连部分别在两个第三连接点处相连接。

15.根据权利要求13所述的声波滤波器，其中，所述两个第一连接点之间的距离、所述两个第二连接点之间的距离以及所述两个第三连接点之间的距离彼此基本相等。

16.根据权利要求13所述的声波滤波器，其中：

所述两个第一连接点之间的距离与所述两个第三连接点之间的距离近似相等；并且

所述两个第二连接点之间的中垂线与所述两个第三连接点之间的中垂线一致。

17.根据权利要求13所述的声波滤波器，其中：

在可获得所述两个第一互连部之间的最大距离的第一区域中的所述两个第一互连部之间的距离大于所述两个第一连接点之间的距离；

所述两个第一连接点之间的中垂线与所述第一区域中的所述两个第一互连部之间的中垂线一致；

在可获得所述两个第二互连部之间的最大距离的第二区域中的所述两个第二互连部之间的距离大于所述两个第二连接点之间的距离；并且

所述两个第二连接点之间的中垂线与所述第二区域中的所述两个第二互连部之间的中垂线一致。

18.根据权利要求17所述的声波滤波器，其中，所述第一区域中的所述两个第一互连部之间的距离、所述第二区域中的所述两个第二互连部之间的距离以及所述两个第三连接点之间的距离彼此近似相等。

19.根据权利要求17所述的声波滤波器，其中：

所述第一区域中的所述两个第一互连部之间的距离与所述两个第三连接点之间的距离近似相等；并且

所述第二区域中的所述两个第二互连部之间的中垂线与所述两个第三连接点之间的中垂线一致。

20.根据权利要求13所述的声波滤波器，其中，所述两个第一互连部具有近似相等的长度，并且所述两个第二互连部具有近似相等的长度。

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