JP5461207B2 - 弾性表面波装置 - Google Patents

Description

本発明は、弾性表面波（ＳＡＷ：Ｓｕｒｆａｃｅ Ａｃｏｕｓｔｉｃ Ｗａｖｅ）装置に関する。

ＳＡＷの伝搬方向に複数のＩＤＴ電極が配列された縦結合２重モードＳＡＷフィルタが知られている（例えば特許文献１）。特許文献１は、第１段の縦結合２重モードＳＡＷフィルタと、第１段の縦結合２重モードＳＡＷフィルタの出力信号が入力される第２段の縦結合２重モードＳＡＷフィルタとを有するＳＡＷ装置を開示している。当該ＳＡＷ装置は、入力された不平衡信号をフィルタリングするとともに平衡信号に変換し、その平衡信号を出力している。

なお、不平衡信号は、基準電位に対する電位を信号レベルとする信号である。一方、平衡信号は、２つの信号からなり、２つの信号の電位差を信号レベルとする信号である。

特開平１１−０９７９６６号公報

平衡信号の２つの信号は、振幅が互いに同一、且つ、位相差が１８０°であることが理想である。しかし、位相差には、ＳＡＷ素子の非対称性などに起因して誤差が生じてしまう。

本発明の目的は、出力される平衡信号の位相差を小さくできる弾性表面波装置を提供することにある。

本発明の弾性表面波装置は、不平衡信号が入力され、平衡信号を出力する第１段の弾性表面波素子と、前記第１段の弾性表面波素子からの平衡信号が入力され、平衡信号を出力する第２段の弾性表面波素子と、前記第２段の弾性表面波素子からの平衡信号を出力する平衡出力端子と、を有し、前記第１段の弾性表面波素子は、前記不平衡信号の位相を反転していない非反転信号と、前記不平衡信号の位相を１回反転した反転信号と、を出力し、前記第２段の弾性表面波素子は、前記非反転信号の位相を反転していない非反転−非反転信号と、前記非反転信号の位相を１回反転した非反転−反転信号と、前記反転信号の位相を反転していない反転−非反転信号と、前記反転信号の位相を１回反転した反転−反転信号と、を出力し、前記平衡出力端子は、前記非反転−反転信号と前記反転−非反転信号とを足し合わせた信号を出力する第１出力端子と、前記非反転−非反転信号と前記反転−反転信号とを足し合わせた信号を出力する第２出力端子と、を有する。

本発明によれば、弾性表面波装置から出力される平衡信号の位相差を小さくできる。

本発明の第１の実施形態に係るＳＡＷ装置の構成を示す平面図である。 （ａ）及び図２（ｂ）は、図１のＳＡＷ装置の平衡出力信号において位相差が縮小される原理を感覚的に説明する模式図である。 （ａ）〜図３（ｅ）は、図１のＳＡＷ装置における信号の経時変化を示す図である。 本発明の第２の実施形態に係るＳＡＷ装置の構成を示す平面図である。 本発明の第３の実施形態に係るＳＡＷ装置の構成を示す平面図である。 本発明の第４の実施形態に係るＳＡＷ装置の構成を示す平面図である。 実施例１における各種の寸法を示す図表である。 比較例１に係るＳＡＷ装置の構成を示す平面図である。 比較例１における各種の寸法を示す図表である。 （ａ）〜図１０（ｃ）は、実施例１及び比較例１のＳＡＷ装置の電気特性を示している。 比較例２に係るＳＡＷ装置の構成を示す平面図である。 （ａ）〜図１２（ｃ）は、実施例２及び比較例２のＳＡＷ装置の電気特性を示す図である。

以下、本発明の実施形態に係るＳＡＷ装置について、図面を参照して説明する。なお、以下の説明で用いられる図は模式的なものであり、図面上の寸法比率等は現実のものとは必ずしも一致していない。

また、第２の実施形態以降において、既に説明された実施形態と同一又は類似する構成については、既に説明された実施形態と同一の符号を付すことがあり、また、説明を省略することがある。

符号は、同一又は類似する構成のものについて、「第１出力端子１１Ａ、第２出力端子１１Ｂ」などのように、同一の数字の符号と、互いに異なる大文字のアルファベットの付加符号とを組み合わされたものが使用されることがある。また、この場合において、単に「出力端子１１」というなど、名称の頭の番号、及び、上記の付加符号を省略することがあるものとする。

＜第１の実施形態＞
図１は、本発明の第１の実施形態に係るＳＡＷ装置１を示す平面図である。

ＳＡＷ装置１は、不平衡信号が入力され、その入力された不平衡信号をフィルタリングしつつ、平衡信号に変換し、その平衡信号を出力するフィルタ装置として構成されている。その入力から出力までの過程において、ＳＡＷ装置１は、電気信号のＳＡＷへの変換、及び、ＳＡＷの電気信号への変換も行う。

ＳＡＷ装置１は、ＳＡＷが伝搬する基板３を有している。また、ＳＡＷ装置１は、基板３の主面３ａ上において、不平衡信号が入力される入力端子５と、入力された信号をフィルタリングする第１段のＳＡＷ素子７及び第２段のＳＡＷ素子９と、フィルタリングされた平衡信号を出力する出力端子１１とを有している。この他にも、ＳＡＷ装置１は、ＳＡＷ素子上に空間を形成しつつＳＡＷ素子を覆うカバー等を有するが、図示は省略する。

基板３は、圧電効果を示す圧電体により構成された、いわゆる圧電基板である。圧電体は、例えばＬｉＮｂＯ_３やＬｉＴａＯ_３である。なお、基板３の平面形状は適宜に設定されてよい。

ＳＡＷは、ＳＡＷ素子（７、９）に励起されて主面３ａを矢印で示す伝搬方向Ｄ１において伝搬する。なお、以下では、主面３ａに沿う方向であって伝搬方向Ｄ１に直交する方向を直交方向Ｄ２ということがある。

入力端子５は、主面３ａに一つのみ設けられている。入力端子５には、不平衡信号が入力される。

第１段のＳＡＷ素子７は、縦結合ダブルモード型の共振子ＳＡＷフィルタにより構成されている。具体的には、ＳＡＷ素子７は、伝搬方向Ｄ１に配列された複数のＩＤＴ電極１７と、これら複数のＩＤＴ電極１７の列の両端に配置された反射器１９とを有している。ＩＤＴ電極１７の数は、例えば、３個である。

各ＩＤＴ電極１７は、１対の櫛歯状電極２９を有している。櫛歯状電極２９は、伝搬方向Ｄ１に延びるバスバー３１と、バスバー３１から直交方向Ｄ２に延びる複数の電極指３３とを有している。１対の櫛歯状電極２９は、複数の電極指３３が互いに噛合うように配置されている。複数の電極指のピッチ（異なるＩＤＴ電極１７間のピッチを含む）は、全体として概ね一定のピッチとされている。

第１櫛歯状電極２９Ａは入力端子５側に、第２櫛歯状電極２９Ｂは出力端子１１側に配置されている。なお、第２段のＳＡＷ素子９や他の実施形態においても、第１櫛歯状電極２９Ａは入力側の櫛歯状電極を、第２櫛歯状電極２９Ｂは出力側の櫛歯状電極を指すものとする。

複数のＩＤＴ電極１７のうち、中央に配置された第２ＩＤＴ電極１７Ｂにおいては、第１櫛歯状電極２９Ａは入力端子５に接続され、第２櫛歯状電極２９Ｂはグランドに接続されている。また、第２ＩＤＴ電極１７Ｂの両側に配置された第１ＩＤＴ電極１７Ａ及び第３ＩＤＴ電極１７Ｃにおいては、第１櫛歯状電極２９Ａはグランドに接続され、第２櫛歯状電極２９Ｂは第２段のＳＡＷ素子９に接続されている。

入力端子５からの不平衡信号ｓが第２ＩＤＴ電極１７Ｂにより基板３に印加されると、不平衡信号ｓがＳＡＷに変換され、伝搬方向Ｄ１において伝搬する。第１ＩＤＴ電極１７Ａ及び第３ＩＤＴ電極１７Ｃは、そのＳＡＷを電気信号に変換して第２段のＳＡＷ素子９へ出力する。この過程において、複数の電極指のピッチ（異なるＩＤＴ電極１７間のピッチを含む）を概ね半波長とする信号が抽出されることにより、フィルタリングが行われる。なお、上記の説明から理解されるように、複数のＩＤＴ電極１７は、不平衡信号ｓに基づくＳＡＷの伝搬路において配列されている。

複数の電極指のピッチは、信号の概ね半波長であるから、隣接する電極指３３同士は、位相が互いに１８０°異なる（逆相）信号に対応することになる。図１では、複数の電極指３３を黒又は白により色分けすることにより、このような位相の相違を表している。すなわち、黒塗りの複数の電極指３３は互いに同一の位相に対応し、白塗りの複数の電極指３３は互いに同一の位相に対応し、黒塗りの複数の電極指３３が対応する位相と、白塗りの複数の電極指３３が対応する位相とは、互いに逆相である。

ここで、第２ＩＤＴ電極１７Ｂの第１櫛歯状電極２９Ａの複数の電極指３３と、第１ＩＤＴ電極１７Ａの第２櫛歯状電極２９Ｂの複数の電極指３３との間に配置された、第２ＩＤＴ電極１７Ｂの第２櫛歯状電極２９Ｂ及び第１ＩＤＴ電極１７Ａの第１櫛歯状電極２９Ａの電極指３３の数は０である。換言すれば、信号が入力される複数の電極指３３と信号を出力する複数の電極指３３との間に配置された、グランドに接続された電極指３３の数は偶数である。

従って、第１ＩＤＴ電極１７Ａの第２櫛歯状電極２９Ｂは、第２ＩＤＴ電極１７Ｂの第１櫛歯状電極２９Ａに入力された信号とは位相が１８０°異なる信号を出力する。換言すれば、第１ＩＤＴ電極１７Ａは、入力された不平衡信号ｓの位相を反転した反転信号ｓ１を出力する。

なお、以下では、不平衡信号ｓが入力される複数の電極指３３と反転信号ｓ１を出力する複数の電極指３３との間に配置された、グランドに接続された電極指３３の数（偶数）を反転用設定数ということがある。

一方、第２ＩＤＴ電極１７Ｂの第１櫛歯状電極２９Ａの複数の電極指３３と、第３ＩＤＴ電極１７Ｃの第２櫛歯状電極２９Ｂの複数の電極指３３との間に配置された、第２ＩＤＴ電極１７Ｂの第２櫛歯状電極２９Ｂ及び第３ＩＤＴ電極１７Ｃの第１櫛歯状電極２９Ａの電極指３３の数は１である。換言すれば、信号が入力される複数の電極指３３と信号を出力する複数の電極指３３との間に配置された、グランドに接続された電極指３３の数は奇数である。

従って、第３ＩＤＴ電極１７Ｃの第２櫛歯状電極２９Ｂは、第２ＩＤＴ電極１７Ｂの第１櫛歯状電極２９Ａに入力された信号と位相が同一の信号を出力する。換言すれば、第１ＩＤＴ電極１７Ｃは、入力された不平衡信号ｓの位相を反転していない非反転信号ｓ０を出力する。

なお、以下では、不平衡信号ｓが入力される複数の電極指３３と非反転信号ｓ０を出力する複数の電極指３３との間に配置された、グランドに接続された電極指３３の数（奇数）を非反転用設定数ということがある。

このように、第１ＩＤＴ電極１７Ａから反転信号ｓ１が出力され、第３ＩＤＴ電極１７Ｃから非反転信号ｓ０が出力されることは、第１段のＳＡＷ素子７が平衡信号を出力することに相当する。すなわち、第１段のＳＡＷ素子７は、フィルタリングだけでなく、不平衡信号−平衡信号の変換も行う。

反射器１９は、伝搬方向Ｄ１に延びる２本のバスバー３１と、直交方向Ｄ２に延び、２本のバスバー３１に掛架される複数の電極指３３とを有している。ＳＡＷが反射器１９間に閉じ込められることにより、第１段のＳＡＷ素子７は高いＱ値を実現する。

第２段のＳＡＷ素子９は、第２段第１部のＳＡＷ素子１５Ａと、第２段第２部のＳＡＷ素子１５Ｂとを有している。

第２段第１部のＳＡＷ素子１５Ａ及び第２段第２部のＳＡＷ素子１５Ｂは、それぞれ、第１段のＳＡＷ素子７と同様に、縦結合ダブルモード型の共振子ＳＡＷフィルタにより構成されている。すなわち、第２段第１部のＳＡＷ素子１５Ａは、伝搬方向Ｄ１に配列された複数のＩＤＴ電極２１と、これら複数のＩＤＴ電極２１の列の両端に配置された反射器２３とを有している。第２段第２部のＳＡＷ素子１５Ｂは、伝搬方向Ｄ１に配列された複数のＩＤＴ電極２５と、これら複数のＩＤＴ電極２５の列の両端に配置された反射器２７とを有している。

さらに、第１段のＳＡＷ素子７、第２段第１部のＳＡＷ素子１５Ａ、及び、第２段第２部のＳＡＷ素子１５Ｂは、互いに同一又は対称の構成となっている。本実施形態では、第２段第１部のＳＡＷ素子１５Ａは、伝搬方向Ｄ１に直交する不図示の対称軸に関して、第１段のＳＡＷ素子７と線対称の構成となっている。すなわち、第２段第１部のＳＡＷ素子１５Ａの第１ＩＤＴ電極２１Ａ、第２ＩＤＴ電極２１Ｂ及び第３ＩＤＴ電極２１Ｃは、それぞれ、第１段のＳＡＷ素子１５Ａの第３ＩＤＴ電極１７Ｃ、第２ＩＤＴ電極１７Ｂ及び第１ＩＤＴ電極１７Ａと同一の構成となっている。なお、第２段第１部のＳＡＷ素子１５Ａが、第１段のＳＡＷ素子７に対し、第１段のＳＡＷ素子７の中心を対称の中心とする点対称の構成となっていてもよい。また、第２段第２部のＳＡＷ素子１５Ｂは、第１段のＳＡＷ素子７と同一の構成となっている。従って、第１段のＳＡＷ素子７、第２段第１部のＳＡＷ素子１５Ａ、及び、第２段第２部のＳＡＷ素子１５Ｂは、例えば、電極指３３の寸法、数、ピッチが互いに同一又は対称である。

第２段第１部のＳＡＷ素子１５Ａの複数のＩＤＴ電極２１のうち、中央に配置された第２ＩＤＴ電極２１Ｂにおいては、第１櫛歯状電極２９Ａは第１ＩＤＴ電極１７Ａの第２櫛歯状電極２９Ｂに接続され、第２櫛歯状電極２９Ｂはグランドに接続されている。また、第２ＩＤＴ電極２１Ｂの両側に配置された第１ＩＤＴ電極２１Ａ及び第３ＩＤＴ電極２１Ｃにおいては、第１櫛歯状電極２９Ａはグランドに接続され、第２櫛歯状電極２９Ｂは出力端子１１に接続されている。

上述のように、第２段第１部のＳＡＷ素子１５Ａは、第１段のＳＡＷ素子７と対称の構成であるから、第２段第１部のＳＡＷ素子１５Ａは、第１段のＳＡＷ素子７から入力された反転信号ｓ１（不平衡信号）をフィルタリングするとともに、不平衡信号−平衡信号の変換を行う。そして、第２段第１部のＳＡＷ素子１５Ａは、反転信号ｓ１を反転していない反転−非反転信号ｓ１０と、反転信号ｓ１を反転した反転−反転信号ｓ１１とを出力する。

なお、上記の説明から理解されるように、複数のＩＤＴ電極２１は、反転信号ｓ１に基づくＳＡＷの伝搬路において配列されている。

また、第２段第１部のＳＡＷ素子１５Ａは、第１段のＳＡＷ素子７と対称の構成であるから、位相の反転、非反転に係る電極指の数も、第１段のＳＡＷ素子７と同様である。すなわち、反転信号ｓ１が入力される複数の電極指３３と反転−反転信号ｓ１１を出力する複数の電極指３３との間に配置された、グランドに接続された電極指３３の数（反転−反転用設定数）は、反転用設定数と同一である。反転信号ｓ１が入力される複数の電極指３３と反転−非反転信号ｓ１０を出力する複数の電極指３３との間に配置された、グランドに接続された電極指３３の数（反転−非反転用設定数）は、非反転用設定数と同一である。

第２段第２部のＳＡＷ素子１５Ｂの複数のＩＤＴ電極２５のうち、中央に配置された第２ＩＤＴ電極２５Ｂにおいては、第１櫛歯状電極２９Ａは第３ＩＤＴ電極１７Ｃの第２櫛歯状電極２９Ｂに接続され、第２櫛歯状電極２９Ｂはグランドに接続されている。また、第２ＩＤＴ電極２５Ｂの両側に配置された第１ＩＤＴ電極２５Ａ及び第３ＩＤＴ電極２５Ｃにおいては、第１櫛歯状電極２９Ａはグランドに接続され、第２櫛歯状電極２９Ｂは出力端子１１に接続されている。

上述のように、第２段第２部のＳＡＷ素子１５Ｂは、第１段のＳＡＷ素子７と同様の構成であるから、第２段第２部のＳＡＷ素子１５Ｂは、第１段のＳＡＷ素子７から入力された非反転信号ｓ０（不平衡信号）をフィルタリングするとともに、不平衡信号−平衡信号の変換を行う。そして、第２段第２部のＳＡＷ素子１５Ｂは、非反転信号ｓ０を反転していない非反転−非反転信号ｓ００と、非反転信号ｓ０を反転した非反転−反転信号ｓ０１とを出力する。

なお、上記の説明から理解されるように、複数のＩＤＴ電極２５は、非反転信号ｓ０に基づくＳＡＷの伝搬路において配列されている。

また、第２段第２部のＳＡＷ素子１５Ｂは、第１段のＳＡＷ素子７と同様の構成であるから、位相の反転、非反転に係る電極指の数も、第１段のＳＡＷ素子７と同様である。すなわち、非反転信号ｓ０が入力される複数の電極指３３と非反転−反転信号ｓ０１を出力する複数の電極指３３との間に配置された、グランドに接続された電極指３３の数（非反転−反転用設定数）は、反転用設定数と同一である。非反転信号ｓ０が入力される複数の電極指３３と非反転−非反転信号ｓ００を出力する複数の電極指３３との間に配置された、グランドに接続された電極指３３の数（非反転−非反転用設定数）は、非反転用設定数と同一である。

以上のとおり、第２段のＳＡＷ素子９からは、反転−非反転信号ｓ１０、反転−反転信号ｓ１１、非反転−非反転信号ｓ００、非反転−反転信号ｓ０１の４つの信号が出力される。

出力端子１１は、主面３ａに２つ設けられている。第１出力端子１１Ａは、反転−非反転信号ｓ１０と、非反転−反転信号ｓ０１とを足し合わせた信号を出力する。第２出力端子１１Ｂは、反転−反転信号ｓ１１と、非反転−非反転信号ｓ００とを足し合わせた信号を出力する。

非反転−非反転信号ｓ００は、不平衡信号ｓの位相を１回も反転していない信号であり、反転−反転信号ｓ１１は、不平衡信号ｓの位相を２回反転した信号であるから、両者は同位相である。一方、非反転−反転信号ｓ０１及び反転−非反転信号ｓ１０は、いずれも不平衡信号ｓの位相を１回反転した信号であるから、両者は同位相であり、また、非反転−非反転信号ｓ００及び反転−反転信号ｓ１１に対して逆位相である。

従って、第１出力端子１１Ａ及び第２出力端子１１Ｂは、平衡信号を出力する平衡出力端子１０として機能する。

なお、入力端子５、第１段のＳＡＷ素子７、第２段のＳＡＷ素子９及び出力端子１１の接続は、主面３ａに設けられた配線により行われる。具体的には、入力端子５と第２ＩＤＴ電極１７Ｂとは入力配線３５により接続される。第１ＩＤＴ電極１７Ａと第２ＩＤＴ電極２１Ｂとは第１中間配線３７Ａにより接続される。第１ＩＤＴ電極１７Ａと第２ＩＤＴ電極２５Ｂとは第２中間配線３７Ｂにより接続される。第１ＩＤＴ電極２１Ａ、第１ＩＤＴ電極２５Ａ及び第１出力端子１１Ａは、第１出力配線３９Ａにより相互に接続される。第３ＩＤＴ電極２１Ｃ、第３ＩＤＴ電極２５Ｃ及び第２出力端子１１Ｂは、第２出力配線３９Ｂにより相互に接続される。第１出力配線３９Ａと第２出力配線３９Ｂとは、不図示の絶縁体を介して立体交差している。

図２（ａ）及び図２（ｂ）は、ＳＡＷ装置１の平衡出力信号において位相差が縮小される原理を感覚的に説明する模式図である。

図２（ａ）は、従来技術のＳＡＷ装置を示している。このＳＡＷ装置は、実施形態の第１段のＳＡＷ素子７のみを有しており、第２段のＳＡＷ素子９を有していない。この場合、非反転信号ｓ０及び反転信号ｓ１が平衡信号として出力端子１１から出力されることになる。

ここで、不平衡信号ｓの位相を０°とし、信号の位相を反転するごとに位相にαの誤差が生じると仮定すると、非反転信号ｓ０の位相は０°となり、反転信号ｓ１の位相は１８０°＋αとなる。従って、図２（ａ）の出力端子１１から出力される平衡信号の位相差は１８０°＋αとなる。

図２（ｂ）は、本実施形態のＳＡＷ装置１を示している。ＳＡＷ装置１では、上述のように、第２段のＳＡＷ素子９から４つの信号（ｓ００、ｓ０１、ｓ１０、ｓ１１）が出力される。

上述のように、信号の位相を反転するごとに位相にαの誤差が生じると仮定すると、１回も反転されない非反転−非反転信号ｓ００の位相は０°、１回反転された非反転−反転信号ｓ０１及び反転−非反転信号ｓ１０の位相は１８０°＋α、２回反転された反転−反転信号ｓ１１の位相は０°＋２αとなる。

そして、非反転−非反転信号ｓ００と反転−反転信号ｓ１１とを足し合わせた信号の位相は０°＋（０°＋２α）となり、非反転−反転信号ｓ０１と反転−非反転信号ｓ１０とを足し合わせた信号の位相は（１８０°＋α）＋（１８０°＋α）となる。そして、両者の位相差［（１８０°＋α）＋（１８０°＋α）］−［０°＋（０°＋２α）］は、誤差同士が相殺され、１８０°となる。

図３（ａ）〜図３（ｅ）は、ＳＡＷ装置１における信号の経時変化を示しており、図３（ａ）〜図３（ｅ）において、横軸は時間、縦軸は信号レベルである。この図を参照して、位相差の誤差縮小についてより詳細に説明する。

図３（ａ）は、位相が１回も反転されていない信号、すなわち、不平衡信号ｓ、非反転信号ｓ０、又は、非反転−非反転信号ｓ００の変化を示している。なお、この図に示すように、位相が０〜１８０°のｓｉｎ波を例にとってモデル化して説明する（実際の信号の位相は０〜１８０°ではない）。

図３（ｂ）は、位相が１回反転された信号、すなわち、反転信号ｓ１、非反転−反転信号ｓ０１、又は、反転−非反転信号ｓ１０の変化を示している。上述のように、図３（ｂ）に示される信号は、１回の位相の反転に伴って、位相にαの誤差を生じている。

図３（ｃ）は、位相が２回反転された信号、すなわち、反転−反転信号ｓ１１の変化を示している。上述のように、図３（ｃ）に示される信号は、２回の位相の反転に伴って、位相に２αの誤差を生じている。

図３（ｄ）は、非反転−非反転信号ｓ００と反転−反転信号ｓ１１とを足し合わせた信号の変化を示している。すなわち、本実施形態の第２出力端子１１Ｂから出力される信号の変化を示している。図３（ｄ）に示す信号は、ピーク値における位相が図３（ａ）に示す信号に対してαずれた信号となっている。

図３（ｅ）は、非反転−反転信号ｓ０１と反転−非反転信号ｓ１０とを足し合わせた信号の変化を示している。すなわち、本実施形態の第１出力端子１１Ａから出力される信号の変化を示している。図３（ｅ）に示す信号は、ピーク値における位相が図３（ａ）に示す信号に対して１８０°＋αずれた信号となっている。

従って、図３（ｄ）に示す信号と、図３（ｅ）に示す信号とは、共に、ピーク値における位相が誤差αを含んでいるから、これらの信号の位相差は１８０°となる。すなわち、位相差が縮小される。

以上の実施形態によれば、ＳＡＷ装置１は、不平衡信号ｓが入力され、平衡信号（ｓ０、ｓ１）を出力する第１段のＳＡＷ素子７と、第１段のＳＡＷ素子７からの平衡信号が入力され、平衡信号（ｓ００、ｓ０１、ｓ１０、ｓ１１）を出力する第２段のＳＡＷ素子９と、第２段のＳＡＷ素子９からの平衡信号を出力する平衡出力端子１０とを有する。第１段のＳＡＷ素子７は、不平衡信号ｓの位相を反転していない非反転信号ｓ０と、不平衡信号ｓの位相を１回反転した反転信号ｓ１とを出力する。第２段のＳＡＷ素子９は、非反転信号ｓ０の位相を反転していない非反転−非反転信号ｓ００と、非反転信号ｓ０の位相を１回反転した非反転−反転信号ｓ０１と、反転信号ｓ１の位相を反転していない反転−非反転信号ｓ１０と、反転信号ｓ１の位相を１回反転した反転−反転信号ｓ１１とを出力する。平衡出力端子１０は、非反転−反転信号ｓ０１と反転−非反転信号ｓ１０とを足し合わせた信号（ｓ０１＋ｓ１０）を出力する第１出力端子１１Ａと、非反転−非反転信号ｓ００と反転−反転信号ｓ１１とを足し合わせた信号（ｓ００＋ｓ１１）を出力する第２出力端子１１Ｂとを有する。

従って、図２及び図３を参照して説明したように、不平衡信号ｓをフィルタリングして平衡信号を出力するに際し、位相差における誤差を縮小することができる。しかも、第２段のＳＡＷ素子９における４つの信号間において誤差を相殺することから、位相差の誤差縮小専用のフィルタを設けるようなことがなく、構成が簡素である。

第２段のＳＡＷ素子９は、第２段第１部のＳＡＷ素子１５Ａと、第２段第２部のＳＡＷ素子１５Ｂとを有している。第２段第１部のＳＡＷ素子１５Ａは、反転信号ｓ１に基づくＳＡＷの伝搬路に沿って配列された複数のＩＤＴ電極２１と、複数のＩＤＴ電極２１の列の両端に配置された反射器２３とを有し、反転信号ｓ１が入力され、反転−非反転信号ｓ１０と、反転−反転信号ｓ１１とを出力する。第２段第２部のＳＡＷ素子１５Ｂは、非反転信号ｓ０に基づくＳＡＷの伝搬路に沿って配列された複数のＩＤＴ電極２５と、複数のＩＤＴ電極２５の列の両端に配置された反射器２７とを有し、非反転信号ｓ０が入力され、非反転−非反転信号ｓ００と、非反転−反転信号ｓ０１とを出力する。

すなわち、第２段のＳＡＷ素子９は、２つのＳＡＷ素子を組み合わせて構成されている。従って、反転信号ｓ１に基づくＳＡＷと、非反転信号ｓ０に基づくＳＡＷとの相互干渉を抑制することが容易であり、設計が簡単である。また、４つの出力信号に関するフィルタリング特性を適宜に調整することも容易である。

第１段のＳＡＷ素子７においては、不平衡信号ｓが入力される第２ＩＤＴ電極１７Ｂと、非反転信号ｓ０を出力する第３ＩＤＴ電極１７Ｃと、反転信号ｓ１を出力する第１ＩＤＴ電極１７Ａとが、不平衡信号ｓに基づくＳＡＷの伝搬路において反射器を挟まずに配列されている。従って、第１段のＳＡＷ素子７は、簡素な構成である。

反転用設定数と、反転−反転用設定数と、非反転−反転用設定数とは互いに同一であり、非反転用設定数と、反転−非反転用設定数と、非反転−非反転用設定数とは互いに同一である。誤差αは、これらの設定数に影響を受けると推測されるところ、これらの設定数が上述のように同一であることにより、図２及び図３を参照して説明した誤差αの相殺の効果が得られやすくなることが期待される。

第１段のＳＡＷ素子７と、第２段第１部のＳＡＷ素子１５Ａと、第２段第２部のＳＡＷ素子１５Ｂとは、同一又は対称の構成である。従って、図２及び図３を参照して説明した誤差αの相殺の効果が更に得られやすくなることが期待される。

＜第２の実施形態＞
図４は、本発明の第２の実施形態に係るＳＡＷ装置１０１を示す平面図である。なお、第２の実施形態以降の実施形態の平面図においては、基板３の図示は省略するものとする。

ＳＡＷ装置１０１は、第１段のＳＡＷ素子１０７の構成が第１の実施形態の第１段のＳＡＷ素子７の構成と相違する。具体的には、以下のとおりである。

第１段のＳＡＷ素子１０７は、第１段第１部のＳＡＷ素子１１３Ａと、第１段第２部のＳＡＷ素子１１３Ｂとを有している。

第１段第１部のＳＡＷ素子１１３Ａ及び第１段第２部のＳＡＷ素子１１３Ｂそれぞれは、不平衡信号を出力するように構成されている。そして、第１段第１部のＳＡＷ素子１１３Ａと、第１段第２部のＳＡＷ素子１１３Ｂとで、互いに逆相の不平衡信号を出力することにより、第１段のＳＡＷ素子１０７全体としては、平衡信号を出力するように構成されている。具体的には、以下のとおりである。

第１段第１部のＳＡＷ素子１１３Ａ及び第１段第２部のＳＡＷ素子１１３Ｂは、それぞれ、縦結合ダブルモード型のＳＡＷフィルタにより構成されている。すなわち、第１段第１部のＳＡＷ素子１１３Ａは、伝搬方向Ｄ１に配列された複数のＩＤＴ電極１１７と、複数のＩＤＴ電極１１７の列の両端に配置された反射器１９とを有している。第１段第２部のＳＡＷ素子１１３Ｂは、伝搬方向Ｄ１に配列された複数のＩＤＴ電極１１８と、複数のＩＤＴ電極１１８の列の両端に配置された反射器１９とを有している。なお、本実施形態では、ＩＤＴ電極１１７の数は３であり、ＩＤＴ電極１１８の数は３である。

第１段第１部のＳＡＷ素子１１３Ａにおいて、中央に配置された第２ＩＤＴ電極１１７Ｂの第１櫛歯状電極２９Ａは、入力端子５に接続されている。第２ＩＤＴ電極１１７Ｂの両側に配置された第１ＩＤＴ電極１１７Ａ及び第３ＩＤＴ電極１１７Ｃの第２櫛歯状電極２９Ｂは、共に、第２段１部のＳＡＷ素子１５Ａの第２ＩＤＴ電極２１Ｂに接続されている。

また、第２ＩＤＴ電極１１７Ｂの第１櫛歯状電極２９Ａの複数の電極指３３と、第１ＩＤＴ電極１１７Ａの第２櫛歯状電極２９Ｂの複数の電極指３３との間に配置された、グランドに接続された電極指３３の数は０（偶数）である。同様に、第２ＩＤＴ電極１１７Ｂの第１櫛歯状電極２９Ａの複数の電極指３３と、第３ＩＤＴ電極１１７Ｃの第２櫛歯状電極２９Ｂの複数の電極指３３との間に配置された、グランドに接続された電極指３３の数は０（偶数）である。

従って、第１ＩＤＴ電極１１７Ａの第２櫛歯状電極２９Ｂ及び第３ＩＤＴ電極１１７Ｃの第２櫛歯状電極２９Ｂは、共に、反転信号ｓ１を出力する。そして、第１ＩＤＴ電極１１７Ａ及び第３ＩＤＴ電極１１７Ｃから出力された反転信号ｓ１は、足し合わされ、第２ＩＤＴ電極２１Ｂに入力される。

一方、第１段第２部のＳＡＷ素子１１３Ｂにおいて、中央に配置された第２ＩＤＴ電極１１８Ｂの第１櫛歯状電極２９Ａは、入力端子５に接続されている。第２ＩＤＴ電極１１８Ｂの両側に配置された第１ＩＤＴ電極１１８Ａ及び第３ＩＤＴ電極１１８Ｃの第２櫛歯状電極２９Ｂは、共に、第２段第２部のＳＡＷ素子１５Ｂの第２ＩＤＴ電極２５Ｂに接続されている。

また、第２ＩＤＴ電極１１８Ｂの第１櫛歯状電極２９Ａの複数の電極指３３と、第１ＩＤＴ電極１１８Ａの第２櫛歯状電極２９Ｂの複数の電極指３３との間に配置された、グランドに接続された電極指３３の数は１（奇数）である。同様に、第２ＩＤＴ電極１１８Ｂの第１櫛歯状電極２９Ａの複数の電極指３３と、第３ＩＤＴ電極１１８Ｃの第２櫛歯状電極２９Ｂの複数の電極指３３との間に配置された、グランドに接続された電極指３３の数は１（奇数）である。

従って、第１ＩＤＴ電極１１８Ａの第２櫛歯状電極２９Ｂ及び第３ＩＤＴ電極１１８Ｃの第２櫛歯状電極２９Ｂは、共に、非反転信号ｓ０を出力する。そして、第１ＩＤＴ電極１１８Ａ及び第３ＩＤＴ電極１１８Ｃから出力された非反転信号ｓ０は、足し合わされ、第２ＩＤＴ電極２５Ｂに入力される。

なお、第２段のＳＡＷ素子９の構成、第２段のＳＡＷ素子９における非反転信号ｓ０及び反転信号ｓ１の入力位置、並びに、第２段のＳＡＷ素子９の平衡出力端子１０への接続方法は、第１の実施形態と同様である。

以上の第２の実施形態によれば、第１の実施形態と同様に、不平衡信号ｓをフィルタリングして平衡信号を出力するに際し、位相差における誤差を縮小することができる。

また、ＳＡＷ装置１０１は、第１段第１部のＳＡＷ素子１１３Ａと、第１段第２部のＳＡＷ素子１１３Ｂとを有する。第１段第１部のＳＡＷ素子１１３Ａは、不平衡信号ｓに基づくＳＡＷの伝搬路に沿って配列された複数のＩＤＴ電極１１７と、複数のＩＤＴ電極１１７の列の両端に配置された反射器１９とを有し、非反転信号ｓ０を出力する。第１段第２部のＳＡＷ素子１１３Ｂは、不平衡信号ｓに基づくＳＡＷの伝搬路に沿って配列された複数のＩＤＴ電極１１８と、複数のＩＤＴ電極１１８の列の両端に配置された反射器１９とを有し、反転信号ｓ１を出力する。

従って、反転信号ｓ１と非反転信号ｓ０とは、それぞれ別個のＳＡＷ素子により生成される。その結果、例えば、フィルタリング特性を適宜に調整することが容易化される。

＜第３の実施形態＞
図５は、本発明の第３の実施形態に係るＳＡＷ装置２０１を示す平面図である。

ＳＡＷ装置２０１は、第１及び第２の実施形態と同様に、縦接続された２段のＳＡＷ素子を有している。ＳＡＷ装置２０１の第１段のＳＡＷ素子１０７の構成は、第２の実施形態と同様である。

第２段のＳＡＷ素子２０９は、第２段第１部のＳＡＷ素子２１５Ａと、第２段第２部のＳＡＷ素子２１５Ｂとを有している。

第２段第１部のＳＡＷ素子２１５Ａは、第１の実施形態の第２段第１部のＳＡＷ素子１５Ａとは異なり、２つの反転信号ｓ１が並行に入力される。同様に、第２段第２部のＳＡＷ素子２１５Ｂは、第１の実施形態の第２段第２部のＳＡＷ素子１５Ｂとは異なり、２つの非反転信号ｓ０が並行に入力される。

ただし、第２段第１部のＳＡＷ素子２１５Ａは、第２段第１部のＳＡＷ素子１５Ａと同様に、反転−非反転信号ｓ１０及び反転−反転信号ｓ１１を出力する。また、第２段第２部のＳＡＷ素子２１５Ｂは、第２段第２部のＳＡＷ素子１５Ｂと同様に、非反転−非反転信号ｓ００及び非反転−反転信号ｓ０１を出力する。具体的には、以下のとおりである。

第２段第１部のＳＡＷ素子２１５Ａ及び第２段第２部のＳＡＷ素子２１５Ｂは、それぞれ、縦結合ダブルモード型のＳＡＷフィルタにより構成されている。すなわち、第２段第１部のＳＡＷ素子２１５Ａは、伝搬方向Ｄ１に配列された複数のＩＤＴ電極２２１と、複数のＩＤＴ電極２２１の列の両端に配置された反射器２３とを有している。第２段第２部のＳＡＷ素子２１５Ｂは、伝搬方向Ｄ１に配列された複数のＩＤＴ電極２２５と、複数のＩＤＴ電極２２５の列の両端に配置された反射器２７とを有している。

第２段第１部のＳＡＷ素子２１５Ａは、４つのＩＤＴ電極２２１を有している。列の両端のＩＤＴ電極２２１Ａ及び２２１Ｄは、第１ＩＤＴ電極１１７Ａ及び第３ＩＤＴ電極１１７Ｃに並列に接続されている。すなわち、両端のＩＤＴ電極２２１Ａ及び２２１Ｄは、反転信号ｓ１が並行に入力される。

また、列の中央側に配置されたＩＤＴ電極２２１Ｂ及び２２１Ｃは、平衡出力端子１０に接続されている。すなわち、信号が入力されるＩＤＴ電極２２１Ａ及び２２１Ｄに隣接するＩＤＴ電極２２１Ｂ及び２２１Ｃは、平衡信号を出力する。

信号が入力されるＩＤＴ電極と、当該ＩＤＴ電極に隣接し、信号を出力するＩＤＴ電極との間の信号の位相の非反転又は反転は、第１の実施形態において説明したように、信号が入力される複数の電極指３３と、信号を出力する複数の電極指３３との間に配置され、グランドに接続される電極指３３の数が奇数又は偶数に設定されることにより実現される。

具体的には、第１ＩＤＴ電極２２１Ａと第２ＩＤＴ電極２２１Ｂとの間の本数は１本（奇数）、第３ＩＤＴ電極２２１Ｃと第４ＩＤＴ電極２２１Ｄとの間の本数は２本（偶数）となっている。

また、列の中央の２つのＩＤＴ電極２２１Ｂ及び２２１Ｃにおいては、信号を出力する複数の電極指３３と、信号を出力する複数の電極指３３との間に配置され、グランドに接続される電極指３３の数は、偶数に設定されており、ＳＡＷが互いに打ち消し合わないように設定されている。

従って、第２ＩＤＴ電極２２１Ｂは、反転信号ｓ１の位相を反転していない反転−非反転信号ｓ１０を出力し、第３ＩＤＴ電極２２１Ｃは、反転信号ｓ１の位相を反転した反転−反転信号ｓ１１を出力する。

同様に、第２段第２部のＳＡＷ素子２１５Ｂは、４つのＩＤＴ電極２２１を有し、列の両端のＩＤＴ電極２２５Ａ及び２２５Ｄは、非反転信号ｓ０が入力されるＩＤＴ電極となっており、列の中央側に配置されたＩＤＴ電極２２５Ｂ及び２２５Ｃは、平衡信号を出力するＩＤＴ電極となっている。

位相の非反転又は反転に係る、グランドに接続された電極指３３の数については、第１ＩＤＴ電極２２５Ａと第２ＩＤＴ電極２２５Ｂとの間の本数は２本（偶数）、第３ＩＤＴ電極２２５Ｃと第４ＩＤＴ電極２２５Ｄとの間の本数は１本（奇数）となっている。

また、列の中央の２つのＩＤＴ電極２２５Ｂ及び２２５Ｃ間における、グランドに接続される電極指３３の数は、第２段第１部のＳＡＷ素子２１５Ａと同様に、偶数に設定されており、ＳＡＷが互いに打ち消し合わないように設定されている。

従って、第２ＩＤＴ電極２２５Ｂは、非反転信号ｓ０の位相を反転していない非反転−非反転信号ｓ００を出力し、第３ＩＤＴ電極２２５Ｃは、非反転信号ｓ０の位相を反転した非反転−反転信号ｓ０１を出力する。

以上のように、第３の実施形態の第２段のＳＡＷ素子２０９においても、反転−非反転信号ｓ１０、反転−反転信号ｓ１１、非反転−非反転信号ｓ００、非反転−反転信号ｓ０１の４つの信号が出力される。４つの信号は、第１の実施形態と同様の組み合わせで足し合わされ、平衡出力端子１０に出力される。

以上の第３の実施形態によれば、第１の実施形態と同様に、不平衡信号ｓをフィルタリングして平衡信号を出力するに際し、位相差における誤差を縮小することができる。

＜第４の実施形態＞
図６は、本発明の第４の実施形態に係るＳＡＷ装置３０１を示す平面図である。

ＳＡＷ装置３０１の第１段のＳＡＷ素子３０７は、第１の実施形態の第１段のＳＡＷ素子７と同様に、不平衡信号が入力され、平衡信号を出力する縦結合ダブルモード型ＳＡＷフィルタである。ただし、第１の実施形態の第１段のＳＡＷ素子７においては、ＩＤＴ電極１７の数が３つであったのに対し、第２の実施形態の第１段のＳＡＷ素子３０７においては、ＩＤＴ電極３１７の数が５つとなっている。

入力端子５は、５つのＩＤＴ電極３１７のうち、中央及び両端のＩＤＴ電極３１７Ａ、３１７Ｃ及び３１７Ｅに対して並列に接続されている。すなわち、不平衡信号ｓは、一つ置きに配置された複数のＩＤＴ電極３１７Ａ、３１７Ｃ及び３１７Ｅに入力される。

その不平衡信号ｓが入力されるＩＤＴ電極３１７間に配置されたＩＤＴ電極３１７Ｂ及び３１７Ｄは、第２段のＳＡＷ素子３０９に対して並列に接続されている。すなわち、これらのＩＤＴ電極３１７Ｂ及び３１７Ｄは、フィルタリング後の平衡信号を第２段のＳＡＷ素子３０９に出力する。

第１段のＳＡＷ素子３０７においても、第１の実施形態と同様に、信号が入力される複数の電極指３３と、信号を出力する複数の電極指３３との間に配置され、グランドに接続される電極指３３が偶数又は奇数に設定されることにより、位相の反転又は非反転が実現される。

具体的には、５つのＩＤＴ電極３１７の各電極間における、グランドに接続される電極指３３の数は、第１ＩＤＴ電極３１７Ａ側から順に、２（偶数）、０（偶数）、１（奇数）、１（奇数）となっている。

従って、グランドに接続された偶数本の電極指３３を介在させて第１ＩＤＴ電極３１７Ａ及び第３ＩＤＴ電極３１７Ｃに挟まれた第２ＩＤＴ電極３１７Ｂは、反転信号ｓ１を出力する。一方、グランドに接続された奇数本の電極指３３を介在させて第３ＩＤＴ電極３１７Ｃ及び第５ＩＤＴ電極３１７Ｅに挟まれた第４ＩＤＴ電極３１７Ｄは、非反転信号ｓ０を出力する。

第２段のＳＡＷ素子３０９は、反転信号ｓ１及び非反転信号ｓ０の双方が入力される。ただし、第２段のＳＡＷ素子３０９は、他の実施形態の第２段のＳＡＷ素子と同様に、反転−非反転信号ｓ１０、反転−反転信号ｓ１１、非反転−非反転信号ｓ００及び非反転−反転信号ｓ０１の４つの信号を出力する。具体的には、以下のとおりである。

第２段のＳＡＷ素子３０９は、縦結合ダブルモード型のＳＡＷフィルタにより構成されている。すなわち、第２段のＳＡＷ素子３０９は、伝搬方向Ｄ１に配列された複数のＩＤＴ電極３２１と、複数のＩＤＴ電極３２１の列の両端に配置された反射器２３とを有している。複数のＩＤＴ電極３２１の数は、例えば、５個である。

両側の４つのＩＤＴ電極３２１Ａ、３２１Ｂ、３２１Ｄ及び３２１Ｅは、他の実施形態と同様に、互いに概ね同等の大きさを有する第１櫛歯状電極２９Ａ及び第２櫛歯状電極２９Ｂを有している。

一方、中央のＩＤＴ電極３２１Ｃは、共通櫛歯状電極３０Ａと、第１分割櫛歯状電極３０Ｂａと、第２分割櫛歯状電極３０Ｂｂとを有している。第１分割櫛歯状電極３０Ｂａ及び第２分割櫛歯状電極３０Ｂｂは、伝搬方向Ｄ１における大きさが概ね共通櫛歯状電極３０Ａの伝搬方向Ｄ１における大きさの半分となっている。そして、第１分割櫛歯状電極３０Ｂａ及び第２分割櫛歯状電極３０Ｂｂは、それぞれ共通櫛歯状電極３０Ａと電極指３３が噛み合うように配置されている。

なお、第３ＩＤＴ電極３２１Ｃは、２つのＩＤＴ電極から構成されていると捉えることもできる。

第２ＩＤＴ電極３２１Ｂは、第２ＩＤＴ電極３１７Ｂに接続されており、反転信号ｓ１が入力される。また、第４ＩＤＴ電極３２１Ｄは、第４ＩＤＴ電極３１７Ｄに接続されており、非反転信号ｓ０が入力される。

上記の信号が入力されるＩＤＴ電極３２１Ｂ及び３２１Ｄに隣接して配置されたＩＤＴ電極３２１Ａ、３２１Ｃ、３２１Ｅは、平衡出力端子１０に接続されており、平衡信号を出力するＩＤＴ電極となっている。

第３ＩＤＴ電極３２１Ｃにおいて、第１分割櫛歯状電極３０Ｂａ及び第２分割櫛歯状電極３０Ｂｂは、それぞれ、別個の出力端子１１に接続され、信号を出力する櫛歯状電極となっている。

本実施形態においても、信号が入力される複数の電極指３３と、信号が出力される複数の電極指３３との間に配置された、グランドに接続される電極指３３の数が奇数又は偶数に設定されることにより、位相の反転又は非反転が実現される。

具体的には、第１ＩＤＴ電極３２１Ａの第２櫛歯状電極２９Ｂ、第２ＩＤＴ電極３２１Ｂの第１櫛歯状電極２９Ａ、及び、第３ＩＤＴ電極３２１Ｃの第１分割櫛歯状電極３０Ｂａの間の本数は、順に、１本（奇数）、０本（偶数）となっている。また、第３ＩＤＴ電極３２１Ｃの第２分割櫛歯状電極３０Ｂｂ、第４ＩＤＴ電極３２１Ｄの第１櫛歯状電極２９Ａ、及び、第５ＩＤＴ電極３２１Ｅの第２櫛歯状電極２９Ｂの間の本数は、順に、０本（偶数）、１本（奇数）となっている。

また、第１分割櫛歯状電極３０Ｂａと、第２分割櫛歯状電極３０Ｂｂとの間における、グランドに接続される電極指３３の数は、偶数に設定されており、ＳＡＷが互いに打ち消し合わないように設定されている。

従って、第１ＩＤＴ電極３２１Ａは反転−非反転信号ｓ１０を出力し、第１分割櫛歯状電極３０Ｂａは反転−反転信号ｓ１１を出力し、第２分割櫛歯状電極３０Ｂｂは非反転−反転信号ｓ０１を出力し、第５ＩＤＴ電極３２１Ｅは非反転−非反転信号ｓ００を出力する。４つの信号は、第１の実施形態と同様の組み合わせで足し合わされ、平衡出力端子１０に出力される。

以上の第４の実施形態によれば、第１の実施形態と同様に、不平衡信号ｓをフィルタリングして平衡信号を出力するに際し、位相差における誤差を縮小することができる。

第２段のＳＡＷ素子３０９においては、反転信号ｓ１が入力される第２ＩＤＴ電極３２１Ｂと、反転−非反転信号ｓ１０を出力する第１ＩＤＴ電極３２１Ａと、反転−反転信号ｓ１１を出力する第３ＩＤＴ電極３２１Ｃと、非反転信号ｓ０が入力される第４ＩＤＴ電極３２１Ｄと、非反転−非反転信号ｓ００を出力する第５ＩＤＴ電極３２１Ｅと、非反転−反転信号ｓ０１を出力する第３ＩＤＴ電極３２１Ｃとが、反転信号ｓ１及び非反転信号ｓ０に基づくＳＡＷの伝搬路において反射器２３を挟まずに配列されている。

すなわち、第２段のＳＡＷ素子３０９は、一のＳＡＷ素子により構成されており、反射器２３の数が減じられた分、ＳＡＷ装置の小型化が図られる。

＜実施例及び比較例＞
実施形態に係るＳＡＷ装置に関し、寸法などを具体的に設定し、フィルタ特性を調べるシミュレーションを行った。以下に、シミュレーションの条件及び結果を例示する。

（実施例１及び比較例１）
実施例１の概略構成は、図１に示した第１の実施形態のＳＡＷ装置１と同様である。
図７は、実施例１における各種の寸法を示す図表である。

図７において、「電極」の欄は、図１に示すＩＤＴ電極及び反射器の符号を示している。そして、当該欄の右側の各種の欄には、各ＩＤＴ電極又は反射器毎の寸法が示されている。「交差幅」の欄は、図１において符号ＣＷで示すように、互いに噛み合う電極指３３の直交方向Ｄ２における重複量を示している。「電極比率」の欄は、伝搬方向Ｄ１における、ＩＤＴ電極全体の大きさ（電極指３３の非配置位置含む）に対する電極指３３の占有率を示している。「電極本数」の欄は、電極指３３の数を示している。

複数の電極指３３は、フィルタ特性向上の観点から、各ＩＤＴ電極の伝搬方向Ｄ１の端部（ＩＤＴ電極間となる領域）において、ピッチが狭くなるように配置されることが好ましい。実施例１においても、そのような電極指３３の配置が仮定された。そして、「広いピッチの本数」は、ピッチが狭く設定されなかった電極指３３の本数を示している。「広いピッチの平均値」は、その「広いピッチの本数」の電極指３３におけるピッチの平均値を示している。「狭いピッチの本数」は、ピッチが狭く設定された電極指３３の本数を示している。「狭いピッチの平均値」は、その「狭いピッチの本数」の電極指３３におけるピッチの平均値を示している。

図８は、比較例１に係るＳＡＷ装置８０１の構成を示す平面図である。

ＳＡＷ装置８０１は、第１段のＳＡＷ素子８０７及び第２段のＳＡＷ素子８０９を有している。そして、入力端子５からの不平衡信号ｓをフィルタリングし、非反転−非反転信号ｓ００と、反転−非反転信号ｓ１０とを平衡信号として平衡出力端子１０に出力する。

第１段のＳＡＷ素子８０７は、第１ＩＤＴ電極８１７Ａ〜第３ＩＤＴ電極８１７Ｃ、第１反射器８１９Ａ及び第２反射器８１９Ｂを有している。第２段のＳＡＷ素子８０９は、第１ＩＤＴ電極８２１Ａ〜第３ＩＤＴ電極８２１Ｃ、第１反射器８２３Ａ及び第２反射器８２３Ｂを有している。第２ＩＤＴ電極８２１Ｂは、共通櫛歯状電極８３０Ａと、第１分割櫛歯状電極８３０Ｂａと、第２分割櫛歯状電極８３０Ｂｂとを有している。

図９は、比較例１における各種の寸法を示す図表である。図９において、「電極」の欄は、図８に示すＩＤＴ電極、櫛歯状電極及び反射器の符号を示している。他の欄については、図７と同様である。

図１０（ａ）〜図１０（ｃ）は、実施例１及び比較例１のＳＡＷ装置の電気特性を示している。図１０（ａ）〜図１０（ｃ）において、横軸は周波数を示している。図１０（ａ）において、縦軸は通過特性を示している。図１０（ｂ）において、縦軸は、平衡信号を構成する２つの信号の振幅の差（振幅平衡度）を示している。図１０（ｃ）において、縦軸は、平衡信号を構成する２つの信号の位相差の誤差α（位相差−１８０°、位相平衡度）を示している。実線Ｌ１は、実施例１の電気特性を示し、点線Ｌ２は、比較例１の電気特性を示している。実施例１及び比較例１においては、通過帯域として、８４３〜８７５Ｈｚが想定されている。

図１０（ｂ）及び図１０（ｃ）より、実施例１は、比較例１に対して、平衡度が改善されていることが容易に見て取れる。より具体的には、所望される通過帯域において、比較例１の振幅平衡度が最大で１．２ｄＢであるのに対して、実施例１の振幅平衡度は最大で０．３ｄＢとなっている。また、所望される通過帯域において、比較例１の位相平衡度が最大で３．２°であるのに対して、実施例１の位相平衡度は最大で２．８°となっている。なお、通過特性については、実施例１と比較例１とで有意な差は見られなかった。換言すれば、実施例１のＳＡＷ装置は、通過特性を劣化させることなく振幅平衡度および位相平衡度を改善することができる。

（実施例２及び比較例２）
実施例２の概略構成は、図６に示した第４の実施形態のＳＡＷ装置３０１と同様である。なお、実施例２における各種の寸法は、図７及び図９に示すものと大きくは違わない。

図１１は、比較例２に係るＳＡＷ装置９０１の構成を示す平面図である。

ＳＡＷ装置９０１は、第１段のＳＡＷ素子３０７及び第２段のＳＡＷ素子９０９を有している。ＳＡＷ装置９０１の第１段のＳＡＷ素子３０７の構成は、実施例２の第１段のＳＡＷ素子３０７の構成と同様である。

ＳＡＷ装置９０１の第２段のＳＡＷ素子９０９の構成は、実施例２の第２段のＳＡＷ素子３０９の構成と類似している。ただし、ＳＡＷ素子９０９は、位相の反転又は非反転に係る、グランドに接続される電極指３３の本数の設定が実施例２とは相違する。また、ＳＡＷ素子９０９は、平衡出力端子１０への接続配線の構成も実施例２と相違する。

その結果、第２段のＳＡＷ素子９０９では、２つの反転−非反転信号ｓ１０が足し合わされた信号が第１出力端子１１Ａに出力され、２つの非反転−非反転信号ｓ００が足し合わされた信号が第２出力端子１１Ｂに出力される。

図１２（ａ）〜図１２（ｃ）は、実施例２及び比較例２のＳＡＷ装置の電気特性を示す、図１０（ａ）〜図１０（ｃ）と同様の図である。実線Ｌ３は、実施例２の電気特性を示し、点線Ｌ４は、比較例２の電気特性を示している。

図１２（ｂ）及び図１２（ｃ）より、実施例２は、比較例２に対して、平衡度が改善されていることが容易に見て取れる。より具体的には、所望される通過帯域において、比較例２の振幅平衡度が最大で０．７５ｄＢであるのに対して、実施例２の振幅平衡度は最大で０．３ｄＢとなっている。また、所望される通過帯域において、比較例２の位相平衡度が最大で６．１°であるのに対して、実施例２の位相平衡度は最大で１．７°となっている。なお、通過特性については、実施例２と比較例２とで有意な差は見られなかった。換言すれば、実施例２のＳＡＷ装置は、通過特性を劣化させることなく振幅平衡度および位相平衡度を改善することができる。

本発明は、以上の実施形態に限定されず、種々の態様で実施されてよい。

ＳＡＷ素子は、２段だけでなく、３段以上設けられてもよい。２段のＳＡＷフィルタの入力側又は出力側にＳＡＷ共振子が配置されてもよい。

１…ＳＡＷ装置、７…第１段のＳＡＷ素子、９…第２段のＳＡＷ素子、１０…平衡出力端子、１１Ａ…第１出力端子、１１Ｂ…第２出力端子、ｓ…不平衡信号、ｓ０…非反転信号、ｓ１…反転信号、Ｓ００…非反転−非反転信号、ｓ０１…非反転−反転信号、ｓ１０…反転−非反転信号、ｓ１１…反転−反転信号。

Claims (7)

1. 不平衡信号が入力され、平衡信号を出力する第１段の弾性表面波素子と、
   前記第１段の弾性表面波素子からの平衡信号が入力され、平衡信号を出力する第２段の弾性表面波素子と、
   前記第２段の弾性表面波素子からの平衡信号を出力する平衡出力端子と、
   を有し、
   前記第１段の弾性表面波素子は、
   前記不平衡信号の位相を反転していない非反転信号と、
   前記不平衡信号の位相を１回反転した反転信号と、
   を出力し、
   前記第２段の弾性表面波素子は、
   前記非反転信号の位相を反転していない非反転−非反転信号と、
   前記非反転信号の位相を１回反転した非反転−反転信号と、
   前記反転信号の位相を反転していない反転−非反転信号と、
   前記反転信号の位相を１回反転した反転−反転信号と、
   を出力し、
   前記平衡出力端子は、
   前記非反転−反転信号と前記反転−非反転信号とを足し合わせた信号を出力する第１出力端子と、
   前記非反転−非反転信号と前記反転−反転信号とを足し合わせた信号を出力する第２出力端子と、
   を有する
   弾性表面波装置。
2. 前記第２段の弾性表面波素子は、
   前記反転信号に基づく弾性表面波の伝搬路に沿って配列された複数のＩＤＴ電極と、当該複数のＩＤＴ電極の列の両端に配置された反射器とを有し、前記反転信号が入力され、前記反転−非反転信号と、前記反転−反転信号とを出力する第２段第１部の弾性表面波素子と、
   前記非反転信号に基づく弾性表面波の伝搬路に沿って配列された複数のＩＤＴ電極と、当該複数のＩＤＴ電極の列の両端に配置された反射器とを有し、前記非反転信号が入力され、前記非反転−非反転信号と、前記非反転−反転信号とを出力する第２段第２部の弾性表面波素子と、
   を有する請求項１に記載の弾性表面波装置。
3. 前記第２段の弾性表面波素子においては、前記反転信号が入力されるＩＤＴ電極と、前記反転−非反転信号を出力するＩＤＴ電極と、前記反転−反転信号を出力するＩＤＴ電極と、前記非反転信号が入力されるＩＤＴ電極と、前記非反転−非反転信号を出力するＩＤＴ電極と、前記非反転−反転信号を出力するＩＤＴ電極とが、前記反転信号及び前記非反転信号に基づく弾性表面波の伝搬路において反射器を挟まずに配列されている
   請求項１に記載の弾性表面波装置。
4. 前記第１段の弾性表面波素子においては、前記不平衡信号が入力されるＩＤＴ電極と、前記非反転信号を出力するＩＤＴ電極と、前記反転信号を出力するＩＤＴ電極とが、前記不平衡信号に基づく弾性表面波の伝搬路において反射器を挟まずに配列されている
   請求項１〜３のいずれか１項に記載の弾性表面波装置。
5. 前記第１段の弾性表面波素子は、
   前記不平衡信号に基づく弾性表面波の伝搬路に沿って配列された複数のＩＤＴ電極と、当該複数のＩＤＴ電極の列の両端に配置された反射器とを有し、前記非反転信号を出力する第１段第１部の弾性表面波素子と、
   前記不平衡信号に基づく弾性表面波の伝搬路に沿って配列された複数のＩＤＴ電極と、当該複数のＩＤＴ電極の列の両端に配置された反射器とを有し、前記反転信号を出力する第１段第２部の弾性表面波素子と、
   を有する請求項１〜３のいずれか１項に記載の弾性表面波装置。
6. 前記第１段の弾性表面波素子において、
   前記不平衡信号が入力される複数の電極指と前記反転信号を出力する複数の電極指との間に配置され、グランドに接続された電極指の数は、偶数の反転用設定数に設定され、
   前記不平衡信号が入力される複数の電極指と前記非反転信号を出力する複数の電極指との間に配置され、グランドに接続された電極指の数は、奇数の非反転用設定数に設定され、
   前記第２段の弾性表面波素子において、
   前記反転信号が入力される複数の電極指と前記反転−反転信号を出力する複数の電極指との間に配置され、グランドに接続された電極指の数は、偶数の反転−反転用設定数に設定され、
   前記反転信号が入力される複数の電極指と前記反転−非反転信号を出力する複数の電極指との間に配置され、グランドに接続された電極指の数は、奇数の反転−非反転用設定数に設定され、
   前記非反転信号が入力される複数の電極指と前記非反転−反転信号を出力する複数の電極指との間に配置され、グランドに接続された電極指の数は、偶数の非反転−反転用設定数に設定され、
   前記非反転信号が入力される複数の電極指と前記非反転−非反転信号を出力する複数の電極指との間に配置され、グランドに接続された電極指の数は、奇数の非反転−非反転用設定数に設定され、
   前記反転用設定数と、前記反転−反転用設定数と、前記非反転−反転用設定数とは互いに同一であり、
   前記非反転用設定数と、前記反転−非反転用設定数と、前記非反転−非反転用設定数とは互いに同一である
   請求項１〜５のいずれか１項に記載の弾性表面波装置。
7. 前記第２段第１部の弾性表面波素子は、前記第１段の弾性表面波素子を、その中心を通り弾性波の伝搬方向に直交する対称軸に対して線対称にした構成、もしくは、前記第１段の弾性表面波素子を、その中心に対して点対称にした構成であり、
   前記第１段の弾性表面波素子と前記第２段第２部の弾性表面波素子とは同一の構成である
   請求項２に記載の弾性表面波装置。

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