JP5776243B2

JP5776243B2 - 弾性波フィルタ

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Publication number: JP5776243B2
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Inventors: 忠秋津田
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Filing date: 2011-03-18
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Description

本発明は、電極指群の配置領域をテーパー型に形成した弾性波フィルタに関する。

弾性波例えば弾性表面波を用いたフィルタ（バンドパスフィルタ）として、一対のバスバー間の領域において多数の電極指が配置された領域をテーパー形状に形成したＩＤＴ（Inter Digital Transducer）電極を入力側電極及び出力側電極として圧電基板上に配置した構成が知られている。各々のＩＤＴ電極は、一対のバスバーのうち一方側が信号ポート（入力ポートあるいは出力ポート）に接続され、他方側が接地ポートまたは別の信号ポートに接続されている。そして、このフィルタと当該フィルタの外部の電気回路や電子部品との間には、フィルタの挿入損失を抑えるために、整合回路が設けられる。

このようなテーパー型フィルタでは、通常のトランスバーサル型フィルタ（バスバーに対して電極指が直交するように配置されているフィルタ）に比べて、インピーダンスが低くなる傾向にある。即ち、トランスバーサル型フィルタでは、弾性波の伝搬方向において複数のローブ（メインローブ及びサイドローブ）が形成されるように電極指を構成すると共に、各々のローブ間では弾性波の位相が反転するようにしている。一方、テーパー型フィルタでは、トランスバーサル型フィルタのように複数のローブを形成しない場合が多く、そのためトランスバーサル型フィルタよりもインピーダンスが低くなることが多い。

この時、インピーダンスが低いと、整合回路において整合がとりにくくなるので、挿入損失が大きくなったり、あるいは通過帯域外において良好な（大きな）減衰量が得られなくなったりしてしまう。そこで、このようなテーパー型フィルタにおいて、インピーダンスを高めることが望ましく、インピーダンスを高める方法として具体的には例えば互いに対向するバスバー同士の離間距離を狭める手法が挙げられる。しかし、フィルタの通過帯域を狭域化せずに前記離間距離を狭めようとすると、バスバーに対する電極指の接続角度が大きくなってしまう（寝てしまう）ので、弾性波の回折や屈折が大きくなってしまう。特許文献１には、既述のトランスバーサル型フィルタを２つ配置して、これらフィルタ同士をポート間に並列に接続したフィルタが記載されているが、テーパー型フィルタについては検討されていない。

特開２００５−１０２１１９（図１）特開２００６−３１１１８０

本発明はかかる事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、圧電基板上に入力側ＩＤＴ電極及び出力側ＩＤＴ電極を各々テーパー型に配置した弾性波フィルタにおいて、入力側ＩＤＴ電極及び出力側ＩＤＴ電極を各々一つずつ配置した従来のフィルタよりもインピーダンスを高めることのできる弾性波フィルタを提供することにある。

本発明の弾性波フィルタは、複数の電極指及び一対のバスバーを備えたテーパー型ＩＤＴ電極を入力側電極及び出力側電極として弾性波の伝搬方向に互いに離間するように圧電基板上に各々配置して第１のフィルタ部及び第２のフィルタ部を夫々構成したことと、
前記第１のフィルタ部の入力側電極及び前記第２のフィルタ部の入力側電極は、弾性波の伝搬方向に対して互いに直交する方向に配置されており、前記第１のフィルタ部の出力側電極及び前記第２のフィルタ部の出力側電極は、弾性波の伝搬方向に対して互いに直交する方向に配置されていることと、
前記第１のフィルタ部を下側に配置し、第２のフィルタ部を前記第１のフィルタ部の上側に配置した時に、前記第１のフィルタ部及び第２のフィルタ部の各々において上側に位置する前記一対のバスバーの一方のバスバーを上側バスバー、下側に位置する前記一対のバスバーの他方のバスバーを下側バスバーと夫々呼ぶとすると、第１のフィルタ部の入力側電極及び出力側電極の各々は、下側バスバーから上側バスバーに向かうに従って周期単位λが小さくなるように電極指が構成され、第２のフィルタ部の入力側電極及び出力側電極の各々は、下側バスバーから上側バスバーに向かうに従って周期単位λが大きくなるように電極指が構成されていることと、
第１のフィルタ部の入力側電極について下側バスバーから上側バスバーに向かって見たときの電極指の構成と、第２のフィルタ部の入力側電極について下側バスバーから上側バスバーに向かって見たときの電極指の構成とが、電極指が傾斜する向きを除いては同じであることと、
第１のフィルタ部の出力側電極について下側バスバーから上側バスバーに向かって見たときの電極指の構成と、第２のフィルタ部の出力側電極について下側バスバーから上側バスバーに向かって見たときの電極指の構成とが、電極指が傾斜する向きを除いては同じであることと、
第１のフィルタ部の入力側電極における上側バスバーと第２のフィルタ部の入力側電極における下側バスバーとが互いに電気的に接続されていることと、
前記第１のフィルタ部の出力側電極における上側バスバーと第２のフィルタ部の出力側電極における下側バスバーとが互いに電気的に接続されていることと、
前記第１のフィルタ部の入力側電極の下側バスバー及び前記第２のフィルタ部の入力側電極の上側バスバーは、入力ポート及び接地ポートの一方及び他方に夫々接続されていることと、
前記第１のフィルタ部の出力側電極の下側バスバー及び前記第２のフィルタ部の出力側電極の上側バスバーは、出力ポート及び接地ポートの一方及び他方に夫々接続されていることと、を備えたことを特徴とする。

他の発明の弾性波フィルタは、複数の電極指及び一対のバスバーを備えたテーパー型ＩＤＴ電極を入力側電極及び出力側電極として弾性波の伝搬方向に互いに離間するように圧電基板上に各々配置して第１のフィルタ部及び第２のフィルタ部を夫々構成したことと、
前記第１のフィルタ部の入力側電極及び前記第２のフィルタ部の入力側電極は、弾性波の伝搬方向に対して互いに直交する方向に配置されており、前記第１のフィルタ部の出力側電極及び前記第２のフィルタ部の出力側電極は、弾性波の伝搬方向に対して互いに直交する方向に配置されていることと、
前記第１のフィルタ部を下側に配置し、第２のフィルタ部を前記第１のフィルタ部の上側に配置した時に、前記第１のフィルタ部及び第２のフィルタ部の各々において上側に位置する前記一対のバスバーの一方のバスバーを上側バスバー、下側に位置する前記一対のバスバーの他方のバスバーを下側バスバーと夫々呼ぶとすると、第１のフィルタ部の入力側電極及び出力側電極の各々は、下側バスバーから上側バスバーに向かうに従って周期単位λが小さくなるように電極指が構成され、第２のフィルタ部の入力側電極及び出力側電極の各々は、下側バスバーから上側バスバーに向かうに従って周期単位λが大きくなるように電極指が構成されていることと、
第１のフィルタ部の入力側電極について上側バスバーから下側バスバーに向かって見たときの電極指の構成と、第２のフィルタ部の入力側電極について下側バスバーから上側バスバーに向かって見たときの電極指の構成とが同じであることと、
第１のフィルタ部の出力側電極について上側バスバーから下側バスバーに向かって見たときの電極指の構成と、第２のフィルタ部の出力側電極について下側バスバーから上側バスバーに向かって見たときの電極指の構成とが、同じであることと、
第１のフィルタ部の入力側電極における上側バスバーと第２のフィルタ部の入力側電極における下側バスバーとが互いに電気的に接続されていることと、
第１のフィルタ部の出力側電極における上側バスバーと第２のフィルタ部の出力側電極における下側バスバーとが互いに電気的に接続されていることと、
前記第１のフィルタ部の入力側電極の下側バスバー及び前記第２のフィルタ部の入力側電極の上側バスバーは、一対のバランス入力ポートの一方及び他方に夫々接続されていることと、
前記第１のフィルタ部の出力側電極の下側バスバー及び前記第２のフィルタ部の出力側電極の上側バスバーは、一対のバランス出力ポートの一方及び他方に夫々接続されていることと、を備えたことを特徴とする。
更に他の発明の弾性波フィルタは、複数の電極指及び一対のバスバーを備えたテーパー型ＩＤＴ電極を入力側電極及び出力側電極として弾性波の伝搬方向に互いに離間するように圧電基板上に各々配置して第１のフィルタ部及び第２のフィルタ部を夫々構成したことと、
前記第１のフィルタ部の入力側電極及び前記第２のフィルタ部の入力側電極は、弾性波の伝搬方向に対して互いに直交する方向に配置されており、前記第１のフィルタ部の出力側電極及び前記第２のフィルタ部の出力側電極は、弾性波の伝搬方向に対して互いに直交する方向に配置されていることと、
前記第１のフィルタ部を下側に配置し、第２のフィルタ部を前記第１のフィルタ部の上側に配置した時に、前記第１のフィルタ部及び第２のフィルタ部の各々において上側に位置する前記一対のバスバーの一方のバスバーを上側バスバー、下側に位置する前記一対のバスバーの他方のバスバーを下側バスバーと夫々呼ぶとすると、第１のフィルタ部の入力側電極及び出力側電極の各々は、下側バスバーから上側バスバーに向かうに従って周期単位λが小さくなるように電極指が構成され、第２のフィルタ部の入力側電極及び出力側電極の各々は、下側バスバーから上側バスバーに向かうに従って周期単位λが大きくなるように電極指が構成されていることと、
前記第１のフィルタ部の一対のバスバーの間の距離と、前記第２のフィルタ部の一対のバスバーの間の距離と、が同じであることと、
第１のフィルタ部の上側バスバーから、弾性波の伝搬方向に対して直交する方向に沿って第１のフィルタ部の下側バスバーに向かって離れた位置と周期単位λとの関係は、第２のフィルタ部の下側バスバーから、弾性波の伝搬方向に対して直交する方向に沿って第２のフィルタ部の上側バスバーに向かって離れた位置と周期単位λとの関係と同じであることと、
第１のフィルタ部の入力側電極における上側バスバーと第２のフィルタ部の入力側電極における下側バスバーとが互いに電気的に接続されていることと、
第１のフィルタ部の出力側電極における上側バスバーと第２のフィルタ部の出力側電極における下側バスバーとが互いに電気的に接続されていることと、
前記第１のフィルタ部の入力側電極の下側バスバー及び前記第２のフィルタ部の入力側電極の上側バスバーは、入力ポートの一方及び他方に夫々接続されていることと、
前記第１のフィルタ部の出力側電極の下側バスバー及び前記第２のフィルタ部の出力側電極の上側バスバーは、出力ポートの一方及び他方に夫々接続されていることと、を備えたことを特徴とする

本発明は、テーパー型のＩＤＴ電極を入力側電極及び出力側電極として各々配置した第１のフィルタ部及び第２のフィルタ部について、各々の入力側電極同士及び出力側電極同士を各々互いに同じ構成にしている。そして、入力側電極同士及び出力側電極同士が弾性波の伝搬方向に対して互いに直交するように各々配置すると共に、各々のフィルタ部の入力側電極同士及び出力側電極同士について、信号ポート（入力ポートあるいは出力ポート）と接地ポートとの間に各々縦続に（直列に）接続している。そのため、入力側電極及び出力側電極を各々一つずつ配置した従来のフィルタと比べて、インピーダンスを高めることができる。

本発明の弾性波フィルタの一例を示す平面図である。前記フィルタの他の例を示す平面図である。前記フィルタの他の例を示す平面図である。前記フィルタの他の例を示す平面図である。前記フィルタの他の例を示す平面図である。前記フィルタの他の例を示す平面図である。前記フィルタの他の例を示す平面図である。前記フィルタの他の例を示す平面図である。

本発明の弾性波フィルタの実施の形態の一例について、図１を参照して説明する。この弾性波フィルタは、弾性波の伝搬方向に沿って互いに離間するように配置されたテーパー型の入力側ＩＤＴ電極１２及び出力側ＩＤＴ電極１３を備えており、例えばリチウムナイオベート（ニオブ酸リチウム）などの圧電基板１１上に形成されている。そして、入力側ＩＤＴ電極１２及び出力側ＩＤＴ電極１３からなる構成を「フィルタ部３０」と呼ぶと、この例ではフィルタ部３０は２組設けられており、弾性波の伝搬方向に対して直交する方向（圧電基板１１の４つの外縁のうち短辺３、３に沿った方向）に沿って配置されている。

また、弾性波の伝搬方向（圧電基板１１の４つの外縁のうち長辺４、４に沿った方向）を左右方向と呼ぶと、各々の入力側ＩＤＴ電極１２、１２及び出力側ＩＤＴ電極１３、１３は、夫々左側及び右側に配置されている。図１中１４はバスバー、１５は電極指であり、各々のＩＤＴ電極１２（１３）では、一方側のバスバー１４から伸び出す２本の電極指１５、１５と、これら電極指１５、１５に隣接するように他方側のバスバー１４から伸び出す２本の電極指１５、１５とが一組となって、弾性波の波長に対応する周期単位λが前記伝搬方向に沿って繰り返されるように構成されている。

ここで、弾性波の伝搬方向に対して直交する方向（上下方向）の一方側及び他方側を夫々手前（下）側及び奥（上）側と呼ぶと、手前側のフィルタ部３０では、手前側から奥側に向かって前記周期単位λが徐々に狭まるように複数の電極指１５が形成され、奥側のフィルタ部３０では、手前側から奥側に向かって周期単位λが徐々に広がるように複数の電極指１５が形成されている。そして、２つのフィルタ部３０のうち手前側を「第１のフィルタ部３１」、奥側を「第２のフィルタ部３２」と呼ぶと、第１のフィルタ部３１の奥側（上側）のバスバー１４と、第２のフィルタ部３２の手前側（下側）のバスバー１４とが共通化されて浮き電極１０をなしている。即ち、第１のフィルタ部３１の奥側のバスバー１４と、第２のフィルタ部３２の手前側のバスバー１４とは、互いに電気的に接続されている。

第１のフィルタ部３１において、入力側ＩＤＴ電極１２の手前側のバスバー１４及び出力側ＩＤＴ電極１３の手前側のバスバー１４は、各々接地ポート２３、２３に接続されている。また、第２のフィルタ部３２において、入力側ＩＤＴ電極１２の奥側のバスバー１４は入力ポート２１に接続され、出力側ＩＤＴ電極１３の奥側のバスバー１４は出力ポート２２に接続されている。従って、フィルタ部３１、３２は、信号ポート２０（入力ポート２１または出力ポート２２）と接地ポート２３との間において、互いに縦続接続されている。

そして、第１のフィルタ部３１及び第２のフィルタ部３２において、各々の入力側ＩＤＴ電極１２、１２同士及び出力側ＩＤＴ電極１３、１３同士は、各々互いに同じ構成となっている。具体的には、電極指１５の対数（互いに交差するように配置された電極指１５、１５の組数）、バスバー１４、１４間の離間寸法（開口長）、低周波数側から高周波数側にかけての各々の周期単位λ、電極指１５の配置レイアウトなどは、入力側ＩＤＴ電極１２、１２同士及び出力側ＩＤＴ電極１３、１３同士で互いに等しくなっている。即ち、２つのフィルタ部３１、３２を各々例えば手前側から見た時の電極指１５の配置レイアウト（各々の電極指１５が一対のバスバー１４、１４のうちいずれのバスバー１４に接続されているか）は、これらフィルタ部３１、３２において揃っている。図１中６は、圧電基板１１の端部領域に伝搬してきた不要な弾性波を吸収するためのダンパーであり、７はＩＤＴ電極１２、１３間に配置された金属膜からなるシールド電極である。

このフィルタにおいて入力ポート２１に電気信号を入力すると、各々のフィルタ部３１、３２の入力側ＩＤＴ電極１２、１２では、バスバー１４、１４間の各トラックの周期単位λの波長の弾性波が発生する。そして、これら弾性波が各々の出力側ＩＤＴ電極１３、１３に向かって伝搬し、各々のフィルタ部３１、３２の出力側ＩＤＴ電極１３、１３において弾性波が電気信号に変換され、出力ポート２２から取り出されることになる。

上述の実施の形態によれば、入力側ＩＤＴ電極１２同士及び出力側ＩＤＴ電極１３同士が各々同じ構成のフィルタ部３１、３２を配置すると共に、入力側ＩＤＴ電極１２、１２同士及び出力側ＩＤＴ電極１３、１３同士について、信号ポート２０と接地ポート２３との間に各々縦続に（直列に）接続している。そのため、２つのフィルタ部３１、３２を備えた本発明のフィルタは、見かけ上は一つのフィルタ部３１（３２）とほぼ同じ周波数特性を持っているが、２つのフィルタ部３１、３２を直列に（縦続に）接続した分、一つのフィルタ部３１（３２）だけを配置した場合よりもインピーダンスが高くなる。即ち、本発明のフィルタは、入力側ＩＤＴ電極１２及び出力側ＩＤＴ電極１３を各々一つずつ配置した従来のフィルタと比べて、電極指１５、１５の交差領域（バスバー１４、１４間の領域）を２つ配置できるので、インピーダンスを高めることができる。そのため、フィルタからの放射コンダクタンスを大きく取ることができ、外部の整合回路において整合を取りやすくなるので、フィルタの挿入損失を低減でき、また通過帯域外における減衰量を大きく取ることができる。

ここで、従来のフィルタの構成において通過帯域を狭域化せずにインピーダンスを高めようとした場合には、例えば互いに対向するバスバー１４、１４間の離間寸法を狭めることになるので、バスバー１４に対する電極指１５の接続角度が大きくなって（寝て）しまう。そのため、弾性波の回折や屈折によって周波数特性が劣化してしまう。一方、本発明のフィルタは、インピーダンスを高めるにあたって、前記接続角度を大きくする必要がないので、インピーダンスを高くしながら弾性波の回折や屈折による特性の劣化を抑えることができる。

図１では、信号ポート２０及び接地ポート２３を設けて、アンバランス（不平衡）タイプの構成について説明したが、バランス（平衡）タイプの構成としても良い。具体的には、各々の入力側ＩＤＴ電極１２、１２において、信号ポート２０及び接地ポート２３に接続されるバスバー１４、１４には、これら信号ポート２０及び接地ポート２３に代えて、一対の平衡（バランス）入力ポート（図示せず）の一方及び他方に接続する。また、出力側ＩＤＴ電極１３、１３において、信号ポート２０及び接地ポート２３に接続されるバスバー１４、１４には、これら信号ポート２０及び接地ポート２３に代えて、同様に一対の平衡（バランス）出力ポート（図示せず）の一方及び他方に接続する。この場合においても、既述の例と同様の効果が得られる。

ここで、フィルタをバランスタイプにする場合には、各々のフィルタ部３１、３２について、浮き電極１０の手前側と奥側とが当該浮き電極１０を介して上下対称（線対称）となるように構成することが好ましい。具体的には、図２に示すように、第１のフィルタ部３１については既述の図１の第１のフィルタ部３１と同様に構成すると共に、第２のフィルタ部３２については、図１の第２のフィルタ部３２における電極指１５を以下のように配置する。即ち、図１において手前側のバスバー１４（浮き電極１０）に接続されている電極指１５については浮き電極１０から離間させると共に奥側のバスバー１４に接続し、図１において奥側のバスバー１４に接続されている電極指１５については当該奥側のバスバー１４から離間させると共に浮き電極１０に接続する。また、第１のフィルタ部３１の入力側ＩＤＴ電極１２の手前側のバスバー１４と、第２のフィルタ部３２の入力側ＩＤＴ電極１２の奥側のバスバー１４と、には一対のバランス入力ポート２５、２５のうち一方及び他方を夫々接続する。更に、第１のフィルタ部３１の出力側ＩＤＴ電極１３の手前側のバスバー１４と、第２のフィルタ部３２の出力側ＩＤＴ電極１３の奥側のバスバー１４と、には一対のバランス出力ポート２６、２６のうち一方及び他方を夫々接続する。

このようにフィルタ部３１、３２を配置すると、浮き電極１０から第１のフィルタ部３１を見た時と、浮き電極１０から第２のフィルタ部３２を見た時と、において、電極指１５の配置レイアウトが揃うことになる。即ち、浮き電極１０を介してフィルタ部３１、３２が線対称となる。そのため、各々のバランスポート２７（バランス入力ポート２５またはバランス出力ポート２６）からフィルタ部３１（３２）を見た時の構成が等しくなる。従って、これらバランスポート２７、２７間におけるバランス度を最適にすることができるので、外部の整合回路においてより一層整合を取りやすくなる。そのため、挿入損失を更に低減することができると共に、通過帯域外における減衰量を更に大きく取る（高減衰化を図る）ことができる。

図２のように浮き電極１０を介してフィルタ部３１、３２が線対称となるように配置した場合であっても、図１のように信号ポート２０と接地ポート２３とを配置してアンバランスタイプのフィルタとして構成しても良い。尚、図２において、図１と同じ構成の部位については図１と同じ符号を付して説明を省略している。

また、各々のフィルタ部３１、３２において、電極指１５と共に反射電極１６を配置しても良い。図３は、互いに交差するように一方側のバスバー１４及び他方側のバスバー１４から各々伸び出す電極指１５、１５の組に隣接するように、一方側のバスバー１４（第１のフィルタ部３１では浮き電極１０、第２のフィルタ部３２では奥側のバスバー１４）から伸びるように反射電極１６を配置した例を示している。従って、このフィルタは、前記電極指１５、１５及び反射電極１６の並びが弾性波の伝搬方向において周期的に繰り返され、一方向性電極のうちＤＡＲＴ（ＤｉｓｔｒｉｂｕｔｅｄＡｃｏｕｓｔｉｃＲｅｆｌｅｃｔｉｏｎＴｒａｎｓｄｕｃｅｒ）電極を構成している。

そして、図３において、既述の図１と同様に信号ポート２０及び接地ポート２３を設けて、アンバランスタイプのフィルタを構成している。この例においても、図２と同様に各々のＩＤＴ電極１２、１３のバスバー１４にバランスポート２７を各々接続して、バランスタイプのフィルタとしても良い。

また、図３のように反射電極１６を配置すると共にバランスポート２７を配置してバランスタイプのフィルタを構成する場合には、既述の図２のように浮き電極１０を介してフィルタ部３１、３２が上下対称となるようにすることが好ましい。具体的には、図４に示すように、第１のフィルタ部３１については図３の第１のフィルタ部３１と同様に配置すると共に、第２のフィルタ部３２については、電極指１５及び反射電極１６の接続されているバスバー１４、１４が図３とは上下逆となるように配置する。即ち、図３の第２のフィルタ部３２において、奥側のバスバー１４に接続されている電極指１５については、当該バスバー１４から離間させると共に手前側のバスバー１４（浮き電極１０）に接続する。また、図３の第２のフィルタ部３２において、浮き電極１０に接続されている電極指１５については、浮き電極１０から離間させると共に、奥側のバスバー１４に接続する。更に、反射電極１６については、奥側のバスバー１４に接続することに代えて、浮き電極１０に接続する。

このように、フィルタ部３１、３２について、浮き電極１０を介して上下対称となるように配置することにより、一つの周期単位λに対応する構成（２本の電極指１５、１５及び１本の反射電極１６）が左右方向において非対称なＤＡＲＴ構造であっても、既述の図２と同様にバランスポート２７、２７間におけるバランス度を向上させることができる。この例においても、既述の図３のように信号ポート２０及び接地ポート２３を配置して、アンバランス接続するようにしても良い。

以上の各例において、フィルタ部３１、３２間に浮き電極１０を配置するにあたって、高周波数側（低波長側）のバスバー１４、１４同士を接続したが、例えば図５に示すように、低周波数側（高波長側）のバスバー１４、１４同士を接続しても良い。図５において、第１のフィルタ部３１では、手前側から奥側に向かって周期単位λが広がるように複数の電極指１５が配置され、第２のフィルタ部３２では、手前側から奥側に向かって周期単位λが狭まるように複数の電極指１５が配置されている。図５は、このような構成を説明するにあたって、既述の図２と同様に、フィルタ部３１、３２が浮き電極１０を介して上下対称となるように配置した例を示している。

また、フィルタ部３１、３２を縦続接続するにあたり、図６に示すように、第１のフィルタ部３１の高周波数側のバスバー１４と、第２のフィルタ部３２の低周波数側のバスバー１４と、を浮き電極１０を介して接続しても良い。
以上の図５及び図６においても、信号ポート２０及び接地ポート２３を配置してアンバランス接続しても良いし、バランスポート２７を配置してバランス接続しても良い。

また、入力側ＩＤＴ電極１２及び出力側ＩＤＴ電極１３のいずれか一方についてはバランスポート２７を配置してバランスタイプの電極を構成し、入力側ＩＤＴ電極１２及び出力側ＩＤＴ電極１３の他方については信号ポート２０及び接地ポート２３を配置してアンバランスタイプの電極を構成しても良い。図７は、このようなバランスーアンバランスタイプのフィルタの一例を示している。第１のフィルタ部３１の入力側ＩＤＴ電極１２の手前側のバスバー１４と、第２のフィルタ部３２の入力側ＩＤＴ電極１２の奥側のバスバー１４と、には各々バランス入力ポート２５、２５が接続されている。また、第１のフィルタ部３１の出力側ＩＤＴ電極１３の手前側のバスバー１４には接地ポート２３が接続され、第２のフィルタ部３２の出力側ＩＤＴ電極１３の奥側のバスバー１４には出力ポート２２が接続されている。そして、フィルタ部３１、３２間における弾性波の位相のずれが起こらないように（極性を揃えるために）、これらフィルタ部３１、３２の一方この例では第１のフィルタ部３１の入力側ＩＤＴ電極１２について、第２のフィルタ部３２の入力側ＩＤＴ電極１２よりも出力側ＩＤＴ電極１３側に半波長分（周期単位λ÷２）だけ寄った位置にずらしている。

この例においても、既述の各例と同様の効果が得られる。図７において、アンバランスーバランスタイプのフィルタとなるように、入力側ＩＤＴ電極１２については信号ポート２０及び接地ポート２３を配置し、出力側ＩＤＴ電極１３については一対のバランス出力ポート２６、２６を配置しても良い。

更に、以上の例では２つのフィルタ部３１、３２を縦続接続したが、３つ以上のフィルタ部３０を縦続接続しても良い。図８は、３つのフィルタ部３１、３２、３３を互いに縦続接続した例を示している。この例において、手前側から奥側に向かって第１のフィルタ部３１、第２のフィルタ部３２及び第３のフィルタ部３３がこの順番で配置されており、各々のフィルタ部３１〜３３において、既述の周期単位λが手前側から奥側に向かって徐々に狭まるように複数の電極指１５が各々配置されている。そして、第１のフィルタ部３１の奥側のバスバー１４と第２のフィルタ部３２の手前側のバスバー１４とが浮き電極１０として共通化され、第２のフィルタ部３２の奥側のバスバー１４と第３のフィルタ部３３の手前側のバスバー１４とが浮き電極１０として共通化されている。また、第１のフィルタ部３１の入力側ＩＤＴ電極１２の手前側のバスバー１４及び第３のフィルタ部３３の入力側ＩＤＴ電極１２の奥側のバスバー１４には、各々バランス入力ポート２５、２５が接続され、第１のフィルタ部３１の出力側ＩＤＴ電極１３の手前側のバスバー１４及び第３のフィルタ部３３の出力側ＩＤＴ電極１３の奥側のバスバー１４には、各々バランス出力ポート２６、２６が接続されている。

このように、３つのフィルタ部３１〜３３を縦続に接続することにより、既述の各例よりも更にインピーダンスを高めることができる。この時、図８においても入力側ＩＤＴ電極１２及び出力側ＩＤＴ電極１３の一方あるいは両方をアンバランスタイプの電極としても良い。

既述の各例では、複数のフィルタ部３０（３１〜３３）について、「第１のフィルタ部３１」、「第２のフィルタ部３２」あるいは「第３のフィルタ部３３」の用語を用いたが、これら「第１」、「第２」及び「第３」は便宜的に付したものであり、これらフィルタ部３０について互いの配置位置を入れ替えても良い。
また、複数のフィルタ部３０を縦続接続するにあたって、複数のフィルタ部３０のうち一つのフィルタ部３０と、当該フィルタ部３０に隣接する他のフィルタ部３０と、において対向するバスバー１４、１４同士を浮き電極１０として共通化したが、これらバスバー１４、１４同士を離間させると共に、圧電基板１１上に引き回された導電路あるいは当該圧電基板１１の上方領域を介して配置されるワイヤ（いずれも図示せず）を用いて前記バスバー１４、１４同士を互いに接続しても良い。更に、電極指１５や反射電極１６について、直線状に配置することに代えて、これら電極指１５や反射電極１６が曲線状あるいは階段状に周期単位λが広がる（あるいは狭まる）ように形成して、いわば疑似テーパー形状としても良い。

１０浮き電極
１１圧電基板
１２入力側ＩＤＴ電極
１３出力側ＩＤＴ電極
１４バスバー
１５電極指
１６反射電極
２１入力ポート
２２出力ポート
２３接地ポート
２５バランス入力ポート
２６バランス出力ポート
３０〜３３フィルタ部

Claims

複数の電極指及び一対のバスバーを備えたテーパー型ＩＤＴ電極を入力側電極及び出力側電極として弾性波の伝搬方向に互いに離間するように圧電基板上に各々配置して第１のフィルタ部及び第２のフィルタ部を夫々構成したことと、
前記第１のフィルタ部の入力側電極及び前記第２のフィルタ部の入力側電極は、弾性波の伝搬方向に対して互いに直交する方向に配置されており、前記第１のフィルタ部の出力側電極及び前記第２のフィルタ部の出力側電極は、弾性波の伝搬方向に対して互いに直交する方向に配置されていることと、
前記第１のフィルタ部を下側に配置し、第２のフィルタ部を前記第１のフィルタ部の上側に配置した時に、前記第１のフィルタ部及び第２のフィルタ部の各々において上側に位置する前記一対のバスバーの一方のバスバーを上側バスバー、下側に位置する前記一対のバスバーの他方のバスバーを下側バスバーと夫々呼ぶとすると、第１のフィルタ部の入力側電極及び出力側電極の各々は、下側バスバーから上側バスバーに向かうに従って周期単位λが小さくなるように電極指が構成され、第２のフィルタ部の入力側電極及び出力側電極の各々は、下側バスバーから上側バスバーに向かうに従って周期単位λが大きくなるように電極指が構成されていることと、
第１のフィルタ部の入力側電極について下側バスバーから上側バスバーに向かって見たときの電極指の構成と、第２のフィルタ部の入力側電極について下側バスバーから上側バスバーに向かって見たときの電極指の構成とが、電極指が傾斜する向きを除いては同じであることと、
第１のフィルタ部の出力側電極について下側バスバーから上側バスバーに向かって見たときの電極指の構成と、第２のフィルタ部の出力側電極について下側バスバーから上側バスバーに向かって見たときの電極指の構成とが、電極指が傾斜する向きを除いては同じであることと、
第１のフィルタ部の入力側電極における上側バスバーと第２のフィルタ部の入力側電極における下側バスバーとが互いに電気的に接続されていることと、
前記第１のフィルタ部の出力側電極における上側バスバーと第２のフィルタ部の出力側電極における下側バスバーとが互いに電気的に接続されていることと、
前記第１のフィルタ部の入力側電極の下側バスバー及び前記第２のフィルタ部の入力側電極の上側バスバーは、入力ポート及び接地ポートの一方及び他方に夫々接続されていることと、
前記第１のフィルタ部の出力側電極の下側バスバー及び前記第２のフィルタ部の出力側電極の上側バスバーは、出力ポート及び接地ポートの一方及び他方に夫々接続されていることと、を備えたことを特徴とする弾性波フィルタ。
複数の電極指及び一対のバスバーを備えたテーパー型ＩＤＴ電極を入力側電極及び出力側電極として弾性波の伝搬方向に互いに離間するように圧電基板上に各々配置して第１のフィルタ部及び第２のフィルタ部を夫々構成したことと、
前記第１のフィルタ部の入力側電極及び前記第２のフィルタ部の入力側電極は、弾性波の伝搬方向に対して互いに直交する方向に配置されており、前記第１のフィルタ部の出力側電極及び前記第２のフィルタ部の出力側電極は、弾性波の伝搬方向に対して互いに直交する方向に配置されていることと、
前記第１のフィルタ部を下側に配置し、第２のフィルタ部を前記第１のフィルタ部の上側に配置した時に、前記第１のフィルタ部及び第２のフィルタ部の各々において上側に位置する前記一対のバスバーの一方のバスバーを上側バスバー、下側に位置する前記一対のバスバーの他方のバスバーを下側バスバーと夫々呼ぶとすると、第１のフィルタ部の入力側電極及び出力側電極の各々は、下側バスバーから上側バスバーに向かうに従って周期単位λが小さくなるように電極指が構成され、第２のフィルタ部の入力側電極及び出力側電極の各々は、下側バスバーから上側バスバーに向かうに従って周期単位λが大きくなるように電極指が構成されていることと、
第１のフィルタ部の入力側電極について上側バスバーから下側バスバーに向かって見たときの電極指の構成と、第２のフィルタ部の入力側電極について下側バスバーから上側バスバーに向かって見たときの電極指の構成とが同じであることと、
第１のフィルタ部の出力側電極について上側バスバーから下側バスバーに向かって見たときの電極指の構成と、第２のフィルタ部の出力側電極について下側バスバーから上側バスバーに向かって見たときの電極指の構成とが、同じであることと、
第１のフィルタ部の入力側電極における上側バスバーと第２のフィルタ部の入力側電極における下側バスバーとが互いに電気的に接続されていることと、
第１のフィルタ部の出力側電極における上側バスバーと第２のフィルタ部の出力側電極における下側バスバーとが互いに電気的に接続されていることと、
前記第１のフィルタ部の入力側電極の下側バスバー及び前記第２のフィルタ部の入力側電極の上側バスバーは、一対のバランス入力ポートの一方及び他方に夫々接続されていることと、
前記第１のフィルタ部の出力側電極の下側バスバー及び前記第２のフィルタ部の出力側電極の上側バスバーは、一対のバランス出力ポートの一方及び他方に夫々接続されていることと、を備えたことを特徴とする弾性波フィルタ。
複数の電極指及び一対のバスバーを備えたテーパー型ＩＤＴ電極を入力側電極及び出力側電極として弾性波の伝搬方向に互いに離間するように圧電基板上に各々配置して第１のフィルタ部及び第２のフィルタ部を夫々構成したことと、
前記第１のフィルタ部の入力側電極及び前記第２のフィルタ部の入力側電極は、弾性波の伝搬方向に対して互いに直交する方向に配置されており、前記第１のフィルタ部の出力側電極及び前記第２のフィルタ部の出力側電極は、弾性波の伝搬方向に対して互いに直交する方向に配置されていることと、
前記第１のフィルタ部を下側に配置し、第２のフィルタ部を前記第１のフィルタ部の上側に配置した時に、前記第１のフィルタ部及び第２のフィルタ部の各々において上側に位置する前記一対のバスバーの一方のバスバーを上側バスバー、下側に位置する前記一対のバスバーの他方のバスバーを下側バスバーと夫々呼ぶとすると、第１のフィルタ部の入力側電極及び出力側電極の各々は、下側バスバーから上側バスバーに向かうに従って周期単位λが小さくなるように電極指が構成され、第２のフィルタ部の入力側電極及び出力側電極の各々は、下側バスバーから上側バスバーに向かうに従って周期単位λが大きくなるように電極指が構成されていることと、
前記第１のフィルタ部の一対のバスバーの間の距離と、前記第２のフィルタ部の一対のバスバーの間の距離と、が同じであることと、
第１のフィルタ部の上側バスバーから、弾性波の伝搬方向に対して直交する方向に沿って第１のフィルタ部の下側バスバーに向かって離れた位置と周期単位λとの関係は、第２のフィルタ部の下側バスバーから、弾性波の伝搬方向に対して直交する方向に沿って第２のフィルタ部の上側バスバーに向かって離れた位置と周期単位λとの関係と同じであることと、
第１のフィルタ部の入力側電極における上側バスバーと第２のフィルタ部の入力側電極における下側バスバーとが互いに電気的に接続されていることと、
第１のフィルタ部の出力側電極における上側バスバーと第２のフィルタ部の出力側電極における下側バスバーとが互いに電気的に接続されていることと、
前記第１のフィルタ部の入力側電極の下側バスバー及び前記第２のフィルタ部の入力側電極の上側バスバーは、入力ポートの一方及び他方に夫々接続されていることと、
前記第１のフィルタ部の出力側電極の下側バスバー及び前記第２のフィルタ部の出力側電極の上側バスバーは、出力ポートの一方及び他方に夫々接続されていることと、を備えたことを特徴とする弾性波フィルタ。
第１のフィルタ部の入力側電極における上側バスバーと第２のフィルタ部の入力側電極における下側バスバーとが共通化され、
第１のフィルタ部の出力側電極における上側バスバーと第２のフィルタ部の出力側電極における下側バスバーとが共通化されていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか一項に記載の弾性波フィルタ。