JP2012186632A - 弾性波フィルタ - Google Patents

Abstract

【課題】テーパー型の弾性波フィルタにおいて、圧電基板の寸法を小さく抑えつつ、入力側ＩＤＴ電極及び出力側ＩＤＴ電極を各々一つずつ配置した従来のフィルタよりもインピーダンスを高める。
【解決手段】入力側ＩＤＴ電極１２同士及び出力側ＩＤＴ電極１３同士が各々同じ構成のフィルタ部３１、３２を配置すると共に、一方のフィルタ部３１のＩＤＴ電極１２、１３間に他方のフィルタ部３２の入力側ＩＤＴ電極１２を配置する。この時、フィルタ部３１、３２において、一方のフィルタ部３１を他方のフィルタ部３２に対して２つの長辺４、４のうちいずれかの長辺４側に配置している。そして、入力側ＩＤＴ電極１２、１２同士及び出力側ＩＤＴ電極１３、１３同士が信号ポート２０と接地ポート２３との間に各々直列に接続されるように、高周波数側のバスバー１４、１４同士を導電路４１（４２）により互いに接続する。
【選択図】図１

Description

本発明は、電極指群の配置領域をテーパー型に形成した弾性波フィルタに関する。

弾性波例えば弾性表面波を用いたフィルタ（バンドパスフィルタ）として、一対のバスバー間の領域において多数の電極指が形成された領域をテーパー形状に形成したＩＤＴ（Inter Digital Transducer）電極を入力側電極及び出力側電極として圧電基板上に配置した構成が知られている。各々のＩＤＴ電極は、一対のバスバーのうち一方側が信号ポート（入力ポートあるいは出力ポート）に接続され、他方側が接地ポートに接続されている。

このような圧電基板は、長手方向（弾性波の伝搬方向）において、ＩＤＴ電極間あるいはＩＤＴ電極と圧電基板の端部との間がある程度離間するように形成（切断）されている場合がある。具体的には、前記フィルタは、要求される周波数特性に応じて、電極指の本数を調整したり、あるいはＩＤＴ電極間にシールド電極を配置したり、更には弾性波の伝搬方向における圧電基板の端部領域に弾性波を吸収するためのダンパーを配置したりするなど、種別に応じて長手方向における長さ寸法がまちまちである。

そのため、圧電基板は、これら複数の種別のフィルタの各々に対応できる（配置できる）ように、即ち各々のフィルタ毎に専用の寸法の圧電基板を個別に用意しなくても済むように、前記長手方向には寸法的に余裕を持った状態で形成されている場合がある。一方、各々のフィルタでは、ＩＤＴ電極から出力される弾性波の回折や屈折を抑える（ＩＤＴ電極の端部における電極指とバスバーとの接続角度であるテーパー角度を直角に近づける）ために、各ＩＤＴ電極におけるバスバーの各々は、圧電基板の短辺方向（弾性波の伝搬方向に対して直交する方向）における端部に近接配置される。従って、圧電基板上において、長手方向には例えばＩＤＴ電極間あるいはＩＤＴ電極と圧電基板の端部との間に余分なスペースが介在しており、一方短辺方向にはほとんど余分なスペースがない状態となっている場合がある。

ここで、前記フィルタについて、外部の電気回路との整合を取りやすくするために、信号ポートと接地ポートとの間におけるインピーダンスを高めるように、即ち例えば信号ポートの接続されるバスバーと接地ポートの接続されるバスバーとの間の離間寸法をできるだけ狭くするように要請される場合がある。しかし、互いに対向するバスバー同士の離間距離を狭めると、既述のテーパー角度が大きくなる（寝てしまう）ので、弾性波の回折や屈折が大きくなってしまう。そのため、テーパー型のフィルタは、インピーダンスを高める構成を採りにくい。

特許文献１には、圧電性基板１０上に弾性表面波フィルタ素子２０、３０を隣り合って配置し、これら素子２０、３０同士を縦続接続する技術について記載されているが、インピーダンスを高めることについては検討されていない。また、特許文献２、３には、共振器型のフィルタにおいて、２つのフィルタを接続する技術が記載されているが、テーパー型のフィルタについては記載されていない。

特開２００１−２３７６６７（段落００３１、図３） 特開平６−３３４４７６ 特開２００４−３４３６３７

本発明はかかる事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、圧電基板上に入力側ＩＤＴ電極及び出力側ＩＤＴ電極を各々テーパー型に配置した弾性波フィルタにおいて、圧電基板の寸法を小さく抑えつつ、入力側ＩＤＴ電極及び出力側ＩＤＴ電極を各々一つずつ配置した従来のフィルタよりもインピーダンスを高めることのできる弾性波フィルタを提供することにある。

本発明の弾性波フィルタは、
電極指の幅寸法及び互いに隣接する電極指間の離間寸法からなる周期単位が一方側のバスバーから他方側のバスバーに向かって広がるように形成されたテーパー型ＩＤＴ電極を入力側電極及び出力側電極として弾性波の伝搬方向に互いに離間するように圧電基板上に各々配置して第１のフィルタ部及び第２のフィルタ部を夫々構成したことと、
前記第１のフィルタ部及び前記第２のフィルタ部における入力側ＩＤＴ電極同士は、互いに同じ構成になっており、前記第１のフィルタ部及び前記第２のフィルタ部における出力側ＩＤＴ電極同士は、互いに同じ構成になっていることと、
前記第１のフィルタ部及び前記第２のフィルタ部のうち一方のフィルタ部の入力側ＩＤＴ電極及び出力側ＩＤＴ電極間に、他方のフィルタ部の入力側ＩＤＴ電極及び出力側ＩＤＴ電極の少なくとも一方が配置されていることと、
前記第１のフィルタ部の入力側ＩＤＴ電極及び前記第２のフィルタ部の入力側ＩＤＴ電極は、一方側のバスバー同士または他方側のバスバー同士が第１の導電路を介して互いに接続されていることと、
前記第１のフィルタ部の出力側ＩＤＴ電極及び前記第２のフィルタ部の出力側ＩＤＴ電極は、一方側のバスバー同士または他方側のバスバー同士が第２の導電路を介して互いに接続されていることと、
前記第１のフィルタ部の入力側ＩＤＴ電極及び前記第２のフィルタ部の入力側ＩＤＴ電極において、前記第１の導電路に各々対向するバスバーのうち一方が入力ポートに接続され、他方が接地ポートに接続されていることと、
前記第１のフィルタ部の出力側ＩＤＴ電極及び前記第２のフィルタ部の出力側ＩＤＴ電極において、前記第２の導電路に各々対向するバスバーのうち一方が出力ポートに接続され、他方が接地ポートに接続されていることと、を備えたことを特徴とする。

前記第１のフィルタ部及び前記第２のフィルタ部の各々の一方側のバスバーは、弾性波の伝搬方向に沿うように形成された前記圧電基板の２つの辺のうち一の辺を臨むように各々配置され、
前記第１のフィルタ部及び前記第２のフィルタ部の各々の他方側のバスバーは、前記２つの辺のうち他の辺を臨むように各々配置され、
前記第１のフィルタ部は、前記第２のフィルタ部と同じ長さの周期単位のトラックが弾性波の伝搬方向に沿って一列に並ばないように、前記第２のフィルタ部よりも前記一の辺側または前記他の辺側に寄った位置に配置されていても良い。

また、前記第１のフィルタ部の一方側のバスバーは、弾性波の伝搬方向に沿うように形成された前記圧電基板の２つの辺のうち一の辺を臨むように各々配置され、
前記第２のフィルタ部の一方側のバスバーは、前記２つの辺のうち他の辺を臨むように各々配置され、
前記第１のフィルタ部は、当該第１のフィルタ部の通過周波数帯域に対応する波長域において、前記第２のフィルタ部と同じ長さの周期単位のトラックが弾性波の伝搬方向に沿って一列に並ばないように、前記第２のフィルタ部よりも前記一の辺側または前記他の辺側に寄った位置に配置されていても良い。

前記第１のフィルタ部及び前記第２のフィルタ部は、前記第１のフィルタ部及び前記第２のフィルタ部のうち一方のフィルタ部の入力側ＩＤＴ電極及び出力側ＩＤＴ電極間に、他方のフィルタ部の入力側ＩＤＴ電極及び出力側ＩＤＴ電極の一方が配置されていることに代えて、第１のフィルタ部と第２のフィルタ部とが弾性波の伝搬方向に沿って配置され、
前記第１のフィルタ部及び前記第２のフィルタ部の各々の一方側のバスバーは、弾性波の伝搬方向に沿うように形成された前記圧電基板の２つの辺のうち一の辺を臨むように各々配置され、
前記第１のフィルタ部及び前記第２のフィルタ部の各々の他方側のバスバーは、前記２つの辺のうち他の辺を臨むように各々配置され、
前記第１のフィルタ部は、前記第２のフィルタ部と同じ長さの周期単位のトラックが弾性波の伝搬方向に沿って一列に並ばないように、前記第２のフィルタ部よりも前記一の辺側または前記他の辺側に寄った位置に配置されていても良い。
第１のフィルタ部における入力側ＩＤＴ電極及び出力側ＩＤＴ電極の離間距離と、第２のフィルタ部における入力側ＩＤＴ電極及び出力側ＩＤＴ電極の離間距離と、はこれら第１のフィルタ部及び第２のフィルタ部において互いに同じ寸法となっていても良い。

本発明は、テーパー型のＩＤＴ電極を入力側電極及び出力側電極として各々配置した第１のフィルタ部及び第２のフィルタ部について、各々の入力側ＩＤＴ電極同士及び出力側ＩＤＴ電極同士を各々互いに同じ構成にしている。そして、一方のフィルタ部の入力側ＩＤＴ電極及び出力側ＩＤＴ電極間に、他方のフィルタ部の入力側ＩＤＴ電極及び出力側ＩＤＴ電極の一方を配置している。また、各々のフィルタ部の入力側ＩＤＴ電極同士及び出力側ＩＤＴ電極同士が信号ポート（入力ポートあるいは出力ポート）と接地ポートとの間に各々直列に接続されるように、低域側のバスバー同士あるいは高域側のバスバー同士を各々互いに接続している。そのため、入力側ＩＤＴ電極及び出力側ＩＤＴ電極を各々一つずつ配置した従来のフィルタと比べて、圧電基板の寸法を小さく抑えつつインピーダンスを高めることができる。この時、弾性波の伝搬方向において、高周波数側から低周波数側にかけて、あるいは通過周波数帯域に対応する波長域において、フィルタ部間で同じ周期単位が並ばないようにしているので、フィルタ部間における弾性波の干渉を抑えることができる。

本発明の弾性波フィルタの一例を示す平面図である。 前記フィルタの一部を拡大した平面図である。 前記フィルタの概略を示す模式図である。 前記フィルタの他の例を示す平面図である。 前記フィルタの他の例を示す平面図である。 前記フィルタの他の例を示す平面図である。 前記フィルタの他の例を示す平面図である。 前記フィルタの他の例を示す平面図である。 前記他のフィルタの概略を示す模式図である。 前記他のフィルタの特性を模式的に示す概略図である。 前記フィルタの別の例を示す平面図である。 前記別のフィルタの概略を示す模式図である。 前記別のフィルタの特性を模式的に示す概略図である。 前記フィルタの更に他の例を示す平面図である。 前記更に別のフィルタの概略を示す模式図である。

本発明の弾性波フィルタの実施の形態の一例について、図１〜図３を参照して説明する。この弾性波フィルタは、弾性波の伝搬方向に沿って互いに離間するように配置されたテーパー型の入力側ＩＤＴ電極１２及び出力側ＩＤＴ電極１３を備えており、例えば水晶などの圧電基板１１上に形成されている。そして、入力側ＩＤＴ電極１２及び出力側ＩＤＴ電極１３からなる構成を「フィルタ部３０」と呼ぶと、この例ではフィルタ部３０は２組設けられており、弾性波の伝搬方向（圧電基板１１の４つの外縁のうち長辺４、４に沿った方向）に沿って並んでいる。図１中１４はバスバー、１５は電極指、１６は反射電極である。

ここで、２つのフィルタ部３０のうち一方を「第１のフィルタ部３１」、他方を「第２のフィルタ部３２」と呼ぶと、圧電基板１１上には、弾性波の伝搬方向（左右方向）に沿って、左側から右側に向かって第１のフィルタ部３１の入力側ＩＤＴ電極１２、第２のフィルタ部３２の入力側ＩＤＴ電極１２、第１のフィルタ部３１の出力側ＩＤＴ電極１３及び第２のフィルタ部３２の出力側ＩＤＴ電極１３がこの順番で配置されている。従って、第１のフィルタ部３１における入力側ＩＤＴ電極１２と出力側ＩＤＴ電極１３との間の領域である伝搬路５０に、第２のフィルタ部３２における入力側ＩＤＴ電極１２が配置されている。また、第２のフィルタ部３２における入力側ＩＤＴ電極１２と出力側ＩＤＴ電極１３との間の領域である伝搬路５０に、第１のフィルタ部３１の出力側ＩＤＴ電極１３が配置されている。弾性波の伝搬方向における第１のフィルタ部３１の伝搬路５０の長さ寸法（ＩＤＴ電極１２、１３間の離間距離）と、第２のフィルタ部３２の伝搬路５０の長さ寸法とは、互いに同じ寸法となっている。

弾性波の伝搬方向に対して直交する方向の一方側及び他方側を夫々手前側及び奥側と呼ぶと、これら４つのＩＤＴ電極１２、１３の各々は、２つのバスバー１４、１４のうち手前側（一方側）のバスバー１４から奥側（他方側）のバスバー１４に向かって、電極指１５及び反射電極１６の各々の幅寸法とこれら電極指１５及び反射電極１６同士の離間寸法とからなる周期単位λが広がるように配置されている。言い換えると、４つのＩＤＴ電極１２、１３の各々は、高周波数側（低波長側）のバスバー１４が２つの長辺４、４のうち手前側の長辺４を臨むように配置されている。

そして、第１のフィルタ部３１及び第２のフィルタ部３２において、各々の入力側ＩＤＴ電極１２、１２同士及び出力側ＩＤＴ電極１３、１３同士は、各々互いに同じ構成となっている。具体的には、電極指１５の対数（互いに交差するように配置された電極指１５、１５の組数）、反射電極１６の本数、バスバー１４、１４間の離間寸法（開口長）、低周波数側から高周波数側にかけての各々の周期単位λ、電極指１５や反射電極１６の配置レイアウトや間引き位置などは、入力側ＩＤＴ電極１２、１２同士及び出力側ＩＤＴ電極１３、１３同士で互いに等しくなっている。

また、入力側ＩＤＴ電極１２、１２同士は、圧電基板１１上の手前側の長辺４に近接する領域に配置された第１の導電路４１を介して、手前側（高周波数側）のバスバー１４、１４同士が互いに接続されている。同様に、出力側ＩＤＴ電極１３、１３同士は、圧電基板１１上の手前側の長辺４に近接する領域に配置された第２の導電路４２を介して、手前側のバスバー１４、１４同士が互いに接続されている。そして、第１のフィルタ部３１の入力側ＩＤＴ電極１２において、奥側のバスバー１４は、入力ポート２１に接続され、第２のフィルタ部３２の入力側ＩＤＴ電極１２の奥側のバスバー１４は、接地ポート２３に接続されている。また、第１のフィルタ部３１の出力側ＩＤＴ電極１３において、奥側のバスバー１４は、接地ポート２３に接続され、第２のフィルタ部３２の出力側ＩＤＴ電極１３の奥側のバスバー１４は、出力ポート２２に接続されている。即ち、各々の入力側ＩＤＴ電極１２、１２同士及び出力側ＩＤＴ電極１３、１３同士は、信号ポート２０（入力ポート２１または出力ポート２２）と接地ポート２３との間において、導電路４１（４２）を介して各々互いに直列に接続されている。図１中６は、圧電基板１１の端部領域に伝搬してきた不要な弾性波を吸収するためのダンパーである。

ここで、第１のフィルタ部３１は、図２にも示すように、第２のフィルタ部３２よりも手前側の長辺４寄りに配置されている。具体的には、２つの入力側ＩＤＴ電極１２、１２において、奥側のバスバー１４、１４における電極指１５の接続された稜線同士の間の離間寸法ｄは、当該バスバー１４、１４に近接する低周波数側の周期単位λをλ_{ｌｏｗｔｒａｃｋ}、各々のフィルタ部３１、３２における開口長（対向するバスバー１４、１４間の寸法）をＷとすると、０＜ｄ＜Ｗとなっており、小さい程フィルタ全体が小型化することから、例えば０．２５×λ_{ｌｏｗｔｒａｃｋ}〜３×λ_{ｌｏｗｔｒａｃｋ}程度となっている。この離間寸法ｄは、尚、図１は、前記離間寸法ｄを模式的に大きく描画している。また、図２は、第１のフィルタ部３１の入力側ＩＤＴ電極１２と第２のフィルタ部３２の入力側ＩＤＴ電極１２との境界付近について拡大して示している。

即ち、既述のように、第１のフィルタ部３１と第２のフィルタ部３２とが互いに同じ構成となっているので、これらフィルタ部３１、３２を弾性波の伝搬方向に沿って一列に配置すると、一方側のバスバー１４から他方側のバスバー１４に亘って、同じ周期単位λのトラックが弾性波の伝搬方向に沿って並ぶことになる。この場合には、第１のフィルタ部３１と第２のフィルタ部３２との間において、同じ周期単位λの弾性波同士が干渉し合ってしまうおそれがある。

そこで、この例では、フィルタ部３１、３２同士において弾性波の干渉を抑えるために、２つのフィルタ部３１、３２のうち第１のフィルタ部３１について、第２のフィルタ部３２よりも手前側の長辺４寄りに配置している。言い換えると、第２のフィルタ部３２について、第１のフィルタ部３１よりも奥側の長辺４寄りに配置している。そのため、図３に示すように、低周波数（ｆ_{ｌｏｗｔｒａｃｋ}、λ_{ｌｏｗｔｒａｃｋ}）側のトラックから高周波数（ｆ_{ｈｉｇｈｔｒａｃｋ}、λ_{ｈｉｇｈｔｒａｃｋ}）側のトラックに亘って、弾性波の伝搬方向において同じトラック同士が一列に並ばない（重ならない）ように設定されていることになる。図３は、２つのフィルタ部３１、３２について、バスバー１４、１４間における各々の周期単位λを模式的に表したグラフである。図３において、横軸には圧電基板１１の４つの外縁のうち短辺３、３に沿った方向の位置を示しており、縦軸には波長（周期単位λ）を示している。尚、図３では、バスバー１４について、２つのフィルタ部３１、３２のどちらのバスバー１４であるのかを示すために、「３１」または「３２」を括弧書きで併記している。

従って、このフィルタにおいて入力ポート２１に電気信号を入力すると、各々のフィルタ部３１、３２の入力側ＩＤＴ電極１２、１２では、バスバー１４、１４間の各トラックの周期単位λの波長の弾性波が発生する。そして、これら弾性波が各々の出力側ＩＤＴ電極１３、１３に向かって伝搬して行く。この時、各フィルタ部３１、３２において、既述のように同じ波長の弾性波が長辺４方向で一列に並ばないので、フィルタ部３１、３２間における弾性波の干渉が抑えられる。こうして各々のフィルタ部３１、３２の出力側ＩＤＴ電極１３、１３において弾性波が電気信号に変換され、出力ポート２２から取り出されることになる。

上述の実施の形態によれば、入力側ＩＤＴ電極１２同士及び出力側ＩＤＴ電極１３同士が各々同じ構成のフィルタ部３１、３２を配置すると共に、一方のフィルタ部３１のＩＤＴ電極１２、１３間に他方のフィルタ部３２の入力側ＩＤＴ電極１２を配置して、いわば一のフィルタ部３０におけるＩＤＴ電極１２、１３間の領域である伝搬路５０を他のフィルタ部３０のＩＤＴ電極１２が利用している。この時、フィルタ部３１、３２において、高周波数側から低周波数側に亘って同じ周期単位λが弾性波の伝搬方向において一列に並ばないように、一方のフィルタ部３１を他方のフィルタ部３２に対して２つの長辺４、４のうちいずれかの長辺４側に配置している。そして、入力側ＩＤＴ電極１２、１２同士及び出力側ＩＤＴ電極１３、１３同士が信号ポート２０と接地ポート２３との間に各々直列に接続されるように、高周波数側のバスバー１４、１４同士を導電路４１（４２）により互いに接続している。

そのため、２つのフィルタ部３１、３２を備えた本発明のフィルタは、見かけ上は一つのフィルタ部３１（３２）とほぼ同じ周波数特性を持っているが、２つのフィルタ部３１、３２を直列に接続した分、一つのフィルタ部３１（３２）だけを配置した場合よりもインピーダンスが大きくなる。そして、圧電基板１１は、複数の種別のフィルタに対応できるように、即ち各々の種別のフィルタ毎に個別に専用の寸法の圧電基板１１を用意しなくても済むように、長辺４方向にはある程度余裕を持った状態で形成（切断）されている。従って、本発明のフィルタは、圧電基板１１の長辺４方向における余分なスペースを利用する（スペースの有効利用を図る）ことによって、入力側ＩＤＴ電極１２及び出力側ＩＤＴ電極１３を各々一つずつ配置した従来のフィルタと比べて、電極指１５、１５の交差領域（バスバー１４、１４間の領域）を２つ配置できるので、圧電基板１１の寸法を小さく抑えつつ、インピーダンスを高めることができる。また、従来のフィルタの構成においてインピーダンスを高めようとした場合には、例えば互いに対向するバスバー１４、１４間の離間寸法を狭めることになる（バスバー１４に対する電極指１５の接続角度が大きくなる（寝る））ので、本発明のフィルタは、インピーダンスを高める構成において、前記接続角度を従来のフィルタの構成と同レベルに保つことができるので、インピーダンスを高くしながら弾性波の回折や屈折による特性の劣化を抑えることができると言える。

また、図１のように各々のフィルタ部３１、３２を配置することにより、フィルタ部３１におけるＩＤＴ電極１２、１３間の離間距離と、フィルタ部３２におけるＩＤＴ電極１２、１３間の離間距離とを揃えているので、出力ポート２２から取り出した時の周波数特性がこれらフィルタ部３１、３２間で揃うことになる。従って、本発明のフィルタは、フィルタ部３１、３２の入力側ＩＤＴ電極１２同士及び出力側ＩＤＴ電極１３同士を各々互いに同じ構成にするだけでなく、フィルタ部３１とフィルタ部３２とを同じ構成にしている（前記離間距離をフィルタ部３１、３２間で揃えている）と言える。

図１では、各々のフィルタ部３１、３２において、弾性波の伝搬方向に沿って左側に入力側ＩＤＴ電極１２を配置し、右側の出力側ＩＤＴ電極１３を配置したが、これらＩＤＴ電極１２、１３の配置を逆にしても良い。具体的には、例えば弾性波の伝搬方向（左右方向）に沿って左側から右側に向かって、第１のフィルタ部３１の出力側ＩＤＴ電極１３、第２のフィルタ部３２の出力側ＩＤＴ電極１３、第１のフィルタ部３１の入力側ＩＤＴ電極１２及び第２のフィルタ部３２の入力側ＩＤＴ電極１２をこの順番で配置しても良い。

続いて、本発明のフィルタの他の構成例について、以下に列挙する。図４は、入力側ＩＤＴ電極１２、１２同士及び出力側ＩＤＴ電極１３、１３同士を直列に接続するにあたり、低周波数側（奥側）のバスバー１４、１４同士を接続した例を示している。従って、入力ポート２１は、第１のフィルタ部３１における入力側ＩＤＴ電極１２の手前側のバスバー１４に接続され、出力ポート２２は、第２のフィルタ部３２における出力側ＩＤＴ電極１３の手前側のバスバー１４に接続されている。また、第２のフィルタ部３２における入力側ＩＤＴ電極１２の手前側のバスバー１４及び第１のフィルタ部３１における出力側ＩＤＴ電極１３の手前側のバスバー１４は、各々接地ポート２３、２３に接続されている。

図５は、入力側ＩＤＴ電極１２、１２同士については高周波数側（手前側）のバスバー１４、１４同士を接続し、出力側ＩＤＴ電極１３、１３同士については低周波数側（奥側）のバスバー１４、１４同士を接続した例を示している。入力ポート２１は、第１のフィルタ部３１における入力側ＩＤＴ電極１２の奥側のバスバー１４に接続され、出力ポート２２は、第２のフィルタ部３２における出力側ＩＤＴ電極１３の手前側のバスバー１４に接続されている。また、第２のフィルタ部３２における入力側ＩＤＴ電極１２の奥側のバスバー１４及び第１のフィルタ部３１における出力側ＩＤＴ電極１３の手前側のバスバー１４は、各々接地されている。

また、図６は、図１と同じ構成において、入力側ＩＤＴ電極１２、１２と出力側ＩＤＴ電極１３、１３との間に、金属膜により構成されたシールド電極６０を配置した例を示している。図７は、各フィルタ部３１、３２、信号ポート２０及び接地ポート２３などについては、図１と同様に配置した例を示している。そして、図７において、既述の導電路４１、４２は、圧電基板１１上に金属膜として形成することに代えて、圧電基板１１の上方領域を介して配置されるワイヤ６５、６５として各々形成している。

具体的には、入力側ＩＤＴ電極１２、１２における各々の手前側のバスバー１４、１４について、圧電基板１１の外部領域に向かって伸びるワイヤ６５、６５の各々の一端側を接続する。そして、圧電基板１１の外部の領域（例えば当該圧電基板１１が搭載されるセラミックス基板上）において、例えば金属膜などからなる導電部材６６を配置し、前記バスバー１４、１４から各々伸びるワイヤ６５、６５の各々の他端側を当該導電部材６６に接続する。また、出力側ＩＤＴ電極１３、１３についても、入力側ＩＤＴ電極１２、１２と同様にワイヤ６５、６５及び導電部材６６を配置する。

また、図８は、図１の構成において、第２のフィルタ部３２を手前側と奥側とにおいて反転させた例、即ち奥側のバスバー１４から手前側のバスバー１４に向かって既述の周期単位λが広がるように配置した例を示している。言い換えると、フィルタ部３１は、一方側のバスバー１４が各々手前側の長辺４を臨むように配置され、フィルタ部３２は、一方側のバスバー１４が各々奥側の長辺４を臨むように配置されている。

従って、第１の導電路４１は、第１のフィルタ部３１の入力側ＩＤＴ電極１２の手前側のバスバー１４と、第２のフィルタ部３２の入力側ＩＤＴ電極１２の奥側のバスバー１４と、を接続するように、これら入力側ＩＤＴ電極１２、１２間を引き回されている。また、第２の導電路４２についても、第１のフィルタ部３１の出力側ＩＤＴ電極１３の手前側のバスバー１４と、第２のフィルタ部３２の出力側ＩＤＴ電極１３の奥側のバスバー１４と、を接続するように、これら出力側ＩＤＴ電極１３、１３間を引き回されている。このように、各フィルタ部３１、３２における高周波数側のバスバー１４と低周波数側のバスバー１４とを交互に配置することにより、各々のＩＤＴ電極１２（１３）において弾性波の伝搬方向における幅寸法の大きい領域（低周波数側の領域）と幅寸法の狭い領域（高周波数側の領域）とを互い違いに配置できる。そのため、フィルタの長手方向における寸法を小さく抑えることができる。この例においても、ワイヤ６５を用いてバスバー１４、１４同士を接続しても良い。

ここで、図８では、各々のフィルタ部３１、３２について、一方のフィルタ部３１（３２）を２つの長辺４、４のいずれか側に寄った位置に配置せずに、弾性波の伝搬方向に沿って一列に配置している。そのため、図９に示すように、バスバー１４、１４間における例えば中央領域において、同じ周期単位λ_ａ（λ_ａ＝（λ_{ｈｉｇｈｔｒａｃｋ}＋λ_{ｌｏｗｔｒａｃｋ}）÷２）の波長が弾性波の伝搬方向において一列に並んでしまう。従って、このフィルタを用いて低波長（λ_{ｌｏｗｔｒａｃｋ}）側から高波長（λ_{ｈｉｇｈｔｒａｃｋ}）側までを通過帯域とするバンドパスフィルタを構成しようとすると、前記周期単位λ_ａにおいて、２つのフィルタ部３１、３２間において弾性波が干渉し合い、周波数特性が劣化してしまうおそれがある。従って、このような干渉のおそれがある場合には、図１０に示すように、周期単位λ_{ｌｏｗｔｒａｃｋ}から周期単位λ_ａまでを通過帯域とするフィルタと、周期単位λ_ａから周期単位λ_{ｈｉｇｈｔｒａｃｋ}までを通過帯域とするフィルタとにおいて、周期単位λ_{ｈｉｇｈｔｒａｃｋ}よりも低波長（高周波数）側及び周期単位λ_{ｌｏｗｔｒａｃｋ}よりも高波長（低周波数）側を減衰させるフィルタとして用いても良い。尚、図１０において上側に入力ポート２１に入力する前の電気信号の周波数特性を示し、下側に出力ポート２２から取り出された後における電気信号の周波数特性を示しており、図１０は高周波数側及び低周波数側における各々端部（周波数端）の特性を模式的に示している。

また、図１１には、図８のフィルタにおいて、前記周期単位λ_ａがフィルタの周波数特性に影響を及ぼさないように、あるいは影響が小さくなるように設定した例を示す。具体的には、２つのフィルタ部３１、３２のうち第１のフィルタ部３１について、第２のフィルタ部３２よりも手前側に配置している。このようにフィルタ部３１、３２を配置すると、図１２に示すように、図８の場合に比べて、既述の周期単位λ_ａが例えば高波長側に移動する。そのため、この周期単位λ_ａに対応する周波数ｆ_ａよりも高周波数（低波長）側に通過帯域を設定すると、図１３に示すように、前記周期単位λ_ａにおける弾性波の干渉の影響を避けて、周期単位λ_{ｈｉｇｈｔｒａｃｋ}に対応する周波数ｆ_{ｈｉｇｈｔｒａｃｋ}よりも高周波数側を減衰させることのできるフィルタが得られる。即ち、使用しない帯域（通過帯域外）に既述の周期単位λ_ａを充てていると言える。尚、図１２は、フィルタ部３１、３２の配置位置を模式的に示している。

図１１では、周期単位λ_ａを通過帯域の高波長側に設定したが、第１のフィルタ部３１を第２のフィルタ部３２よりも奥側に配置して、前記周期単位λ_ａを通過帯域の低波長側に設定しても良い。この場合には、周期単位λ_{ｌｏｗｔｒａｃｋ}に対応する周波数ｆ_{ｌｏｗｔｒａｃｋ}よりも低周波数側を減衰させることのできるフィルタが得られる。
また、これら図８や図１１の例においても、入力側ＩＤＴ電極１２、１２同士あるいは出力側ＩＤＴ電極１３、１３同士が各々直列に接続されるように、信号ポート２０、接地ポート２３及び導電路４１、４２を配置しても良いし、出力側ＩＤＴ電極１３、１３同士を入れ替えても良い。

また、以上の各例では、２つのフィルタ部３１、３２を配置する例について説明したが、３つ以上のフィルタ部３０（３１〜３３）を配置しても良い。図１４は、３つのフィルタ部３１、３２、３３を配置した例を示しており、圧電基板１１上には、左側から右側に向かって、第１のフィルタ部３１の入力側ＩＤＴ電極１２、第２のフィルタ部３２の入力側ＩＤＴ電極１２、第３のフィルタ部３３の入力側ＩＤＴ電極１２、第１のフィルタ部３１の出力側ＩＤＴ電極１３、第２のフィルタ部３２の出力側ＩＤＴ電極１３及び第３のフィルタ部３３の出力側ＩＤＴ電極１３がこの順番で配置されている。各々のＩＤＴ電極１２、１３は、手前側から奥側に向かって周期単位λが広がるように配置されると共に、図１５に示すように、同じ周期単位λのトラックが弾性波の伝搬方向において一列に並ばないように配置されている。具体的には、第１のフィルタ部３１よりも第２のフィルタ部３２が奥側に配置され、当該第２のフィルタ部３２よりも第３のフィルタ部３３が奥側に配置されている。

そして、第１のフィルタ部３１の入力側ＩＤＴ電極１２における奥側のバスバー１４に入力ポート２１が接続され、当該入力側ＩＤＴ電極１２の手前側のバスバー１４と、第２のフィルタ部３２の入力側ＩＤＴ電極１２の手前側のバスバー１４とが接続されている。また、第２のフィルタ部３２の入力側ＩＤＴ電極１２における奥側のバスバー１４と、第３のフィルタ部３３の入力側ＩＤＴ電極１２における奥側のバスバー１４とが接続され、この第３のフィルタ部３３の入力側ＩＤＴ電極１２の手前側のバスバー１４が接地されている。

また、第３のフィルタ部３３の出力側ＩＤＴ電極１３における奥側のバスバー１４が出力ポート２２に接続され、当該出力側ＩＤＴ電極１３の手前側バスバー１４と第２のフィルタ部３２の出力側ＩＤＴ電極１３における手前側のバスバー１４とが接続されている。第２のフィルタ部３２の出力側ＩＤＴ電極１３における奥側のバスバー１４と、第１のフィルタ部３１の出力側ＩＤＴ電極１３における奥側のバスバー１４とが接続され、この第１のフィルタ部３１の出力側ＩＤＴ電極１３における手前側のバスバー１４が接地されている。尚、図１４では、電極指１５、反射電極１６及びバスバー１４については簡略化して描画している。

以上の例では、複数のフィルタ部３０のうち一のフィルタ部３０のＩＤＴ電極１２、１３間に他のフィルタ部３０のＩＤＴ電極１２（１３）を配置したが、本発明ではこのような例に限られず、例えば既述の図１の例において、左側から右側に向かって、第１のフィルタ部３１の入力側ＩＤＴ電極１２、第１のフィルタ部３１の出力側ＩＤＴ電極１３、第２のフィルタ部３２の入力側ＩＤＴ電極１２及び第２のフィルタ部３２の出力側ＩＤＴ電極１３をこの順番で配置しても良い。このように配置しても、フィルタ部３１、３２間では同じトラックが弾性波の伝搬方向に沿って一列に並ばないので、例えばフィルタ部３１、３２間に弾性波を吸収するための吸収体などを配置しなくて済み、従ってフィルタを小型化できる。

また、例えば図１の構成では、奥側において弾性波の伝搬方向に沿って並ぶ４本のバスバー１４について、入力ポート２１、接地ポート２３、接地ポート２３及び出力ポート２２を左側から右側に向かってこの順番で配置したが、接地ポート２３、入力ポート２１、出力ポート２２及び接地ポート２３を左側から右側に向かってこの順番で並べても良い。即ち、互いに隣接する２つのＩＤＴ電極１２、１３に各々信号ポート２０、２０を接続しても良いし、あるいはこれら互いに隣接するＩＤＴ電極１２、１３に各々信号ポート２０及び接地ポート２３を接続しても良い。

１１ 圧電基板
１２ 入力側ＩＤＴ電極
１３ 出力側ＩＤＴ電極
２０ 信号ポート
２１ 入力ポート
２２ 出力ポート
２３ 接地ポート
３０ フィルタ部
３１ 第１のフィルタ部
３２ 第２のフィルタ部

Claims (5)

1. 電極指の幅寸法及び互いに隣接する電極指間の離間寸法からなる周期単位が一方側のバスバーから他方側のバスバーに向かって広がるように形成されたテーパー型ＩＤＴ電極を入力側電極及び出力側電極として弾性波の伝搬方向に互いに離間するように圧電基板上に各々配置して第１のフィルタ部及び第２のフィルタ部を夫々構成したことと、
   前記第１のフィルタ部及び前記第２のフィルタ部における入力側ＩＤＴ電極同士は、互いに同じ構成になっており、前記第１のフィルタ部及び前記第２のフィルタ部における出力側ＩＤＴ電極同士は、互いに同じ構成になっていることと、
   前記第１のフィルタ部及び前記第２のフィルタ部のうち一方のフィルタ部の入力側ＩＤＴ電極及び出力側ＩＤＴ電極間に、他方のフィルタ部の入力側ＩＤＴ電極及び出力側ＩＤＴ電極の一方が配置されていることと、
   前記第１のフィルタ部の入力側ＩＤＴ電極及び前記第２のフィルタ部の入力側ＩＤＴ電極は、一方側のバスバー同士または他方側のバスバー同士が第１の導電路を介して互いに接続されていることと、
   前記第１のフィルタ部の出力側ＩＤＴ電極及び前記第２のフィルタ部の出力側ＩＤＴ電極は、一方側のバスバー同士または他方側のバスバー同士が第２の導電路を介して互いに接続されていることと、
   前記第１のフィルタ部の入力側ＩＤＴ電極及び前記第２のフィルタ部の入力側ＩＤＴ電極において、前記第１の導電路に各々対向するバスバーのうち一方が入力ポートに接続され、他方が接地ポートに接続されていることと、
   前記第１のフィルタ部の出力側ＩＤＴ電極及び前記第２のフィルタ部の出力側ＩＤＴ電極において、前記第２の導電路に各々対向するバスバーのうち一方が出力ポートに接続され、他方が接地ポートに接続されていることと、を備えたことを特徴とする弾性波フィルタ。
2. 前記第１のフィルタ部及び前記第２のフィルタ部の各々の一方側のバスバーは、弾性波の伝搬方向に沿うように形成された前記圧電基板の２つの辺のうち一の辺を臨むように各々配置され、
   前記第１のフィルタ部及び前記第２のフィルタ部の各々の他方側のバスバーは、前記２つの辺のうち他の辺を臨むように各々配置され、
   前記第１のフィルタ部は、前記第２のフィルタ部と同じ長さの周期単位のトラックが弾性波の伝搬方向に沿って一列に並ばないように、前記第２のフィルタ部よりも前記一の辺側または前記他の辺側に寄った位置に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の弾性波フィルタ。
3. 前記第１のフィルタ部の一方側のバスバーは、弾性波の伝搬方向に沿うように形成された前記圧電基板の２つの辺のうち一の辺を臨むように各々配置され、
   前記第２のフィルタ部の一方側のバスバーは、前記２つの辺のうち他の辺を臨むように各々配置され、
   前記第１のフィルタ部は、当該第１のフィルタ部の通過周波数帯域に対応する波長域において、前記第２のフィルタ部と同じ長さの周期単位のトラックが弾性波の伝搬方向に沿って一列に並ばないように、前記第２のフィルタ部よりも前記一の辺側または前記他の辺側に寄った位置に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の弾性波フィルタ。
4. 前記第１のフィルタ部及び前記第２のフィルタ部は、前記第１のフィルタ部及び前記第２のフィルタ部のうち一方のフィルタ部の入力側ＩＤＴ電極及び出力側ＩＤＴ電極間に、他方のフィルタ部の入力側ＩＤＴ電極及び出力側ＩＤＴ電極の一方が配置されていることに代えて、第１のフィルタ部と第２のフィルタ部とが弾性波の伝搬方向に沿って配置され、
   前記第１のフィルタ部及び前記第２のフィルタ部の各々の一方側のバスバーは、弾性波の伝搬方向に沿うように形成された前記圧電基板の２つの辺のうち一の辺を臨むように各々配置され、
   前記第１のフィルタ部及び前記第２のフィルタ部の各々の他方側のバスバーは、前記２つの辺のうち他の辺を臨むように各々配置され、
   前記第１のフィルタ部は、前記第２のフィルタ部と同じ長さの周期単位のトラックが弾性波の伝搬方向に沿って一列に並ばないように、前記第２のフィルタ部よりも前記一の辺側または前記他の辺側に寄った位置に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の弾性波フィルタ。
5. 第１のフィルタ部における入力側ＩＤＴ電極及び出力側ＩＤＴ電極の離間距離と、第２のフィルタ部における入力側ＩＤＴ電極及び出力側ＩＤＴ電極の離間距離と、はこれら第１のフィルタ部及び第２のフィルタ部において互いに同じ寸法となっていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか一つに記載の弾性波フィルタ。

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