CN101842981B - 弹性波谐振器、弹性波滤波器及采用其的天线共用器 - Google Patents

弹性波谐振器、弹性波滤波器及采用其的天线共用器 Download PDF

Info

Publication number
CN101842981B
CN101842981B CN2008801139616A CN200880113961A CN101842981B CN 101842981 B CN101842981 B CN 101842981B CN 2008801139616 A CN2008801139616 A CN 2008801139616A CN 200880113961 A CN200880113961 A CN 200880113961A CN 101842981 B CN101842981 B CN 101842981B
Authority
CN
China
Prior art keywords
elastic wave
harmonic oscillator
wave harmonic
comb poles
wave resonator
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN2008801139616A
Other languages
English (en)
Other versions
CN101842981A (zh
Inventor
后藤令
滨冈阳介
中村弘幸
鹤成哲也
藤原城二
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Japan Industrial Co Ltd
Original Assignee
松下电器产业株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 松下电器产业株式会社 filed Critical 松下电器产业株式会社
Publication of CN101842981A publication Critical patent/CN101842981A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN101842981B publication Critical patent/CN101842981B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/0023—Balance-unbalance or balance-balance networks
    • H03H9/0028—Balance-unbalance or balance-balance networks using surface acoustic wave devices
    • H03H9/0047—Balance-unbalance or balance-balance networks using surface acoustic wave devices having two acoustic tracks
    • H03H9/0066—Balance-unbalance or balance-balance networks using surface acoustic wave devices having two acoustic tracks being electrically parallel
    • H03H9/0071—Balance-unbalance or balance-balance networks using surface acoustic wave devices having two acoustic tracks being electrically parallel the balanced terminals being on the same side of the tracks
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/46—Filters
    • H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
    • H03H9/6423—Means for obtaining a particular transfer characteristic
    • H03H9/6433—Coupled resonator filters
    • H03H9/6483—Ladder SAW filters
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/46—Filters
    • H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
    • H03H9/6489—Compensation of undesirable effects

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)

Abstract

本发明提供一种弹性波谐振器、弹性波滤波器及采用其的天线共用器。弹性波谐振器具备：第一弹性波谐振子(100)，其具有设置在压电基板(1)上表面的第一叉指换能器电极(110)；和第二弹性波谐振子(200)，其具有设置在压电基板(1)上的第二叉指换能器电极(210)；第一弹性波谐振子(100)和第二弹性波谐振子(200)连接，构成第一弹性波谐振子(100)的多个第一梳形电极(112)的交叉幅度比构成第二弹性波谐振子(200)的多个第二梳形电极(212)的交叉幅度大，由此，能够使横向模式乱真的产生频率被分散，并能够降低损耗。

Description

弹性波谐振器、弹性波滤波器及采用其的天线共用器
技术领域
本发明涉及利用于移动体通信设备等中的弹性波滤波器。 
背景技术
作为现有弹性波滤波器，如图10所示，例如已知有串联连接3个弹性波谐振子D、E、F的结构。通过这样的结构，降低每一对梳形电极指的电压，分散集中施加的机械压力，谋求提高耐电力性能(参照专利文献1)。 
但是，在这样现有的串联连接多段弹性波谐振子的弹性波滤波器中，存在由于乱真(spurious)而损耗较大的问题。 
即，如果对交叉幅度相等的弹性波谐振子D、E、F进行级联连接，则在各个弹性波谐振子D、E、F中发生横向模式乱真(transverse modespurious)的情况下，该乱真就会在各弹性波谐振子D、E、F中以相同频率出现。由此，各弹性波谐振子D、E、F的横向模式乱真增强，通频带(passband)中的损耗变大。 
图11、图12中示出这种情况。图11是图10所示的现有弹性波谐振子的导纳(admittance)特性图。此外，图12是同一弹性波谐振子的通过特性图。从这些图中可知，在谐振频率A和反谐振频率B之间会有较大的深横向模式乱真S产生。其结果，在横向模式乱真S产生的部分，通频带中的损耗变大。 
此外，作为现有弹性波滤波器，如图13所示，例如已知有并联连接3个弹性波谐振子G、H、I的结构。通过这样的结构，能够扩大通频带宽(参照专利文献2)。 
但是，在这样现有的并联连接多段弹性波谐振子的弹性波滤波器中，仍然存在由于乱真而损耗较大的问题。 
即，如果对交叉幅度相等的弹性波谐振子G、H、I进行并联连接，则 在各个弹性波谐振子G、H、I中发生横向模式乱真的情况下，该乱真就会在各弹性波谐振子G、H、I中以相同频率出现。其结果，各弹性波谐振子G、H、I的横向模式乱真增强，通频带中的损耗变大。 
图14、图15中示出这种情况。图14是图13所示的现有弹性波谐振子的导纳特性图。此外，图15是同一弹性波谐振子的通过特性图。从这些图中可知，在谐振频率A和反谐振频率B之间会有较大的深横向模式乱真S产生。其结果，与级联连接的情况相同，在横向模式乱真S产生的部分，通频带中的损耗变大。 
专利文献1：JP特开平9-205343号公报 
专利文献2：JP特开2000-77972号公报 
发明内容
本发明是抑制了由乱真导致的损耗的产生的弹性波谐振器、弹性波滤波器及采用其的天线共用器。 
本发明的弹性波谐振器具备：第一弹性波谐振子，其具有设置在压电基板上表面的第一叉指换能器(interdigital transducer)电极；和第二弹性波谐振子，其具有设置在压电基板上表面的第二叉指换能器电极；第一弹性波谐振子和第二弹性波谐振子连接，构成第一弹性波谐振子的多个第一梳形电极的交叉幅度比构成第二弹性波谐振子的多个第二梳形电极的交叉幅度大。 
根据这样的结构，能够实现横向模式乱真的影响较少且损耗降低的弹性波谐振器。 
附图说明
图1是本发明的实施方式1的弹性波谐振器的上表面图。 
图2是本发明的实施方式1的弹性波谐振器的导纳特性图。 
图3是本发明的实施方式1的弹性波谐振器的通过特性图。 
图4是采用了本发明的实施方式1的弹性波谐振器的天线共用器的结构图。 
图5是本发明的实施方式2的弹性波谐振器的上表面图。 
图6是本发明的实施方式2的弹性波谐振器的导纳特性图。 
图7是本发明的实施方式2的弹性波谐振器的通过特性图。 
图8是本发明的实施方式3的弹性波谐振器的上表面图。 
图9是本发明的实施方式3的弹性波谐振器的导纳特性图。 
图10是现有弹性波谐振器的上表面图。 
图11是现有弹性波谐振器的导纳特性图。 
图12是现有弹性波谐振器的通过特性图。 
图13是现有其他弹性波谐振器的电路结构图。 
图14是现有其他弹性波谐振器的导纳特性图。 
图15是现有其他弹性波谐振器的通过特性图。 
符号说明： 
1压电基板 
2输入端子 
3连接线路 
4、5输出端子 
10天线共用器 
11发送滤波器 
12接收滤波器
13、15放大器
14天线元件 
100、300第一弹性波谐振子 
110、210、311～315、411～415叉指换能器电极 
111、114、121、131、211、214、221、231汇流条(bus bar) 
112、113、122、132、212、213、222、232梳形电极 
120、130、220、230、316、317、416、417栅状反射器(grating reflector) 
200、400第二弹性波谐振子 
具体实施方式
以下，参照附图说明本发明的实施方式。另外，本发明不被这些实施 方式所限定。 
(实施方式1) 
图1是本发明实施方式1的弹性波滤波器的上表面图。如图1所示，本实施方式的弹性波滤波器具备：由铌酸锂构成的压电基板1；和设置在压电基板1的上表面的第一弹性波谐振子100及第二弹性波谐振子200。第一弹性波谐振子100和第二弹性波谐振子200被级联连接。 
第一弹性波谐振子100具备：叉指换能器电极110和栅状反射器120、130。栅状反射器120、130按照夹持叉指换能器电极110的方式配置在弹性波传输路径上。 
叉指换能器电极110具备：汇流条111、与汇流条111电连接的相同长度的多个梳形电极112。多个梳形电极112按照周期P1设置在汇流条111上。此外，叉指换能器电极110具备与汇流条114电连接的相同长度的多个梳形电极113。多个梳形电极113按照周期P1设置在汇流条114上。梳形电极112和梳形电极113相互配置不同，并按照交叉幅度(2个梳形电极重合的长度)L1进行交叉。汇流条111与输入端子2电连接。 
栅状反射器120具备与汇流条121电连接的多个梳形电极122。多个梳形电极122按照周期P1/2设置在汇流条121上。栅状反射器130具备与汇流条131电连接的多个梳形电极132。多个梳形电极132按照周期P1/2设置在汇流条131上。 
同样地，第二弹性波谐振子200具备：叉指换能器电极210和栅状反射器220、230。栅状反射器220及栅状反射器230按照夹持叉指换能器电极210的方式配置在弹性波传输路径上。 
叉指换能器电极210具备与汇流条211电连接的多个梳形电极212。多个梳形电极212按照周期P2设置在汇流条211上。此外，叉指换能器电极210具备与汇流条214电连接的多个梳形电极213。多个梳形电极213按照周期P2设置在汇流条214上。梳形电极212和梳形电极213相互配置不同，并按照交叉幅度L2进行交叉。此外，梳形电极212和梳形电极213的交叉幅度L2比第一弹性波谐振子100的交叉幅度L1小。汇流条214与输出端子4电连接。 
栅状反射器220具备与汇流条221电连接的多个梳形电极222。多个 梳形电极222按照周期P2/2设置在汇流条221上。栅状反射器230具备与汇流条231电连接的多个梳形电极232。多个梳形电极232按照周期P2/2设置在汇流条231上。 
第一弹性波谐振子100及第二弹性波谐振子200形成通过连接线路3而电连接的级联连接。另外，也可以省略连接线路3而直接连接汇流条114和汇流条211。在该情况下，由于能够省略连接线路3，所以能够实现弹性波谐振子的小型化。 
这样，通过使形成第一弹性波谐振子100的叉指换能器电极110的梳形电极112及梳形电极113的交叉幅度L1、与形成第二弹性波谐振子200的叉指换能器电极210的梳形电极212及梳形电极213的交叉幅度L2不同，能够得到以下所示的效果。 
当采用在由铌酸锂构成的压电基板1上构成的弹性波谐振子时，作为使谐振子性能劣化的原因之一，有横向模式乱真的产生。所谓横向模式乱真是在与弹性波传输方向正交的方向上出现驻波后在通频带内生成的乱真。这里，如现有技术，如果第一弹性波谐振子100及第二弹性波谐振子200具有相等的交叉幅度，则如前所述，其横向模式乱真的产生频率一致。其结果，在通频带内生成深乱真，成为损耗的原因。 
进一步地，在第一弹性波谐振子100和第二弹性波谐振子200未发生声耦合(acoustic coupling)的情况下，这些横向模式乱真的产生频率完全一致，该损耗的问题就更为深刻。 
但是，在本实施方式中，使交叉幅度L1和交叉幅度L2不同。根据本申请人可知，通过使交叉幅度L1和交叉幅度L2不同，从而能够使横向模式乱真的产生在第一弹性波谐振子100及第二弹性波谐振子200中分散至不同频带中。 
即，通过按照每个弹性波谐振子来改变交叉幅度，就能够有效使乱真的产生频率分散。其结果，能够实现横向模式乱真的影响较少且降低了损耗的弹性波谐振器。此外，基于变迹(apodize)的结构不同，各弹性波谐振子的传输路径不会由于虚拟电极(dummy electrode)而受到妨碍，不成为Q值劣化的原因。由此，在通频带中，就得到损耗较少且特性良好的弹性波滤波器。 
在图2及图3中说明该情况。图2是本实施方式中的弹性波谐振器的导纳特性图。图3是本实施方式的弹性波谐振器的通过特性图。对图2所示的本实施方式的结构中的导纳的频率特性和图11所示的现有结构中的导纳的频率特性进行比较。比较的结果，根据本实施方式可知，谐振频率A和反谐振频率B之间出现的横向模式乱真S被分散，横向模式乱真S的每一个的导纳Y11的绝对值降低。更进一步地，对图3所示的本实施方式的结构中的通过特性和图12所示的现有结构中的通过特性进行比较。比较的结果，根据本实施方式可知，横向模式乱真S被分散，横向模式乱真S的每一个的插入损失S21的绝对值降低。由于以上理由，根据本实施方式，能够降低弹性波谐振器及弹性波滤波器的损耗。 
更进一步地，在图1所示的第一弹性波谐振子100的对数N1和第二弹性波谐振子200的对数N2之间，优选满足N1＜N2这样的条件。即，优选由构成第一弹性波谐振子100的梳形电极112和梳形电极113所成的配对的数目即对数N1比由构成第二弹性波谐振子200的梳形电极212和梳形电极213所成的配对的数目即对数N2少。第一弹性波谐振子100的静电容量C1与对数N1和交叉幅度L1之积成比例。同样地，第二弹性波谐振子200的静电容量C2与对数N2和交叉幅度L2之积成比例。由此，如果第一弹性波谐振子100的对数N1及第二弹性波谐振子200的对数N2相同，则根据交叉幅度L1＞交叉幅度L2的关系，静电容量C1＞静电容量C2。一般，施加在第二弹性波谐振子200上的电压与第一弹性波谐振子100和第二弹性波谐振子200的静电容量比C2/C1成反比例。因此，在静电容量C1＞静电容量C2的情况下，施加在第二弹性波谐振子200上的电压比施加在第一弹性波谐振子100上的电压高，耐电力性恶化。因此，通过满足对数N1＜对数N2的关系，能够缓和静电容量C1和静电容量C2之比，且能够降低施加在构成第二弹性波谐振子200的叉指换能器电极210的梳形电极213的每一根上的电压，并能够提高耐电力性。 
更进一步地，优选满足静电容量C1＞C2的条件。即使在弹性波谐振子具有同一静电容量的情况下，交叉幅度较长且对数较少的弹性波谐振子与交叉幅度较短且对数较多的弹性波谐振子相比，由于梳形电极的电阻损耗(resistance loss)而导致的发热，耐电力性较差。因此，在对数N1、 N2的条件设定中，通过设静电容量C1＞C2，能够控制施加在各谐振器上的电压，从而提高耐电力性。 
另外，通过使第一弹性波谐振子100的间距(pitch)P1和第二弹性波谐振子200间距P2相等，并使弹性波谐振子的谐振频率一致，能够将损耗抑制到最小。相反，通过使间距P1和间距P2不同，能够加宽通频带及衰减频带(attenuation band)的频带宽，并使设计自由度变大。 
另外，在本实施方式中，说明了对第一及第二弹性波谐振子100、200进行2段级联连接的弹性波谐振器，但是本实施方式也适用于对3段以上的弹性波谐振子进行级联连接的弹性波谐振器。 
另外，在采用本实施方式的弹性波谐振器构成弹性波滤波器的情况下，能够有效抑制在通频带内产生的横向模式乱真，从而能够降低损耗。 
另外，优选将图1所示的压电基板1的旋转Y板的切割角设为-30°～+30°左右。通过将切割角设为该范围内，能够实现广频带的弹性波滤波器。 
另外，通过用弹性波波长的15％以上厚度的SiO2薄膜(氧化膜)覆盖第一及第二叉指换能器电极110、210内的至少一个，能够降低弹性波的损耗，进一步地，也能够改善温度特性。由此，能够构成在广频带中损耗被降低且温度特性优异的弹性波滤波器。 
图4是采用由本实施方式的弹性波谐振器构成的弹性波滤波器而构成的天线共用器的结构图。在图4中，天线共用器10具备发送滤波器11和接收滤波器12。发送滤波器11及接收滤波器12中的至少一个是由本实施方式的弹性波谐振器构成的弹性波滤波器。发送滤波器11通过放大器13与天线元件14连接。接收滤波器12连接在天线元件14和放大器15之间。 
天线共用器10经由放大器13将发送信号中由发送滤波器11决定的规定频带的信号从天线元件14中发送。此外，天线共用器10接收到达天线元件14的接收信号中由接收滤波器12决定的规定频带的信号，并经由放大器15将其取入内部。 
由这种结构构成的天线共用器10，如上所述，由于能够有效抑制乱真，从而能够降低损耗。 
另外，在采用在谐振频率A和反谐振频率B之间存在多个横向模式 乱真S的程度这样大的耦合系数的压电基板1的情况下，基于本实施方式方法的横向模式乱真的抑制，例如，在采用铌酸锂系化合物、或铌酸钾系化合物作为压电基板1的情况下尤为有效。这是由于，在谐振频率A和反谐振频率B之间只存在单个横向模式乱真S而谐振频率A和反谐振频率B的频率间隔较窄的情况下，通过将横向模式乱真错开至谐振频率A和反谐振频率B之间以外，能够容易地抑制横向模式乱真。 
(实施方式2) 
实施方式2与实施方式1的不同在于将叉指换能器电极110和叉指换能器电极210并联连接这一点。 
图5是表示本发明实施方式2的弹性波滤波器的上表面图。如图5所示，本实施方式所示的弹性波滤波器具备：由铌酸锂构成的压电基板1；和设置在压电基板1上表面的第一弹性波谐振子100和第二弹性波谐振子200。第一弹性波谐振子100和第二弹性波谐振子200并联连接。 
第一弹性波谐振子100具备：叉指换能器电极110和栅状反射器120、130。栅状反射器120、130按照夹持叉指换能器电极110的方式配置在弹性波传输路径上。 
叉指换能器电极110具备：汇流条111；和与汇流条111电连接的相同长度的多个梳形电极112。多个梳形电极112按照周期P1设置在汇流条111上。此外，叉指换能器电极110具备：汇流条114；和与汇流条114电连接的相同长度的多个梳形电极113。多个梳形电极113按照周期P1设置在汇流条114上。 
梳形电极112和梳形电极113按照交叉幅度L1进行交叉。汇流条111与输入端子2电连接，汇流条114与输出端子4电连接。 
栅状反射器120具备与汇流条121电连接的多个梳形电极122。多个梳形电极122按照周期P1/2设置在汇流条121上。栅状反射器130具备与汇流条131电连接的多个梳形电极132。多个梳形电极132按照周期P1/2设置在汇流条131上。 
同样地，第二弹性波谐振子200具备：叉指换能器电极210和栅状反射器220、230。栅状反射器220、230按照夹持叉指换能器电极210的方式配置在弹性波传输路径上。 
叉指换能器电极210具备：汇流条211；和与汇流条211电连接的相同长度的多个梳形电极112。多个梳形电极212按照周期P2设置在汇流条211上。此外，叉指换能器电极210具备：汇流条214；和与汇流条214电连接的相同长度的多个梳形电极213。多个梳形电极213按照周期P2设置在汇流条214上。 
梳形电极212和梳形电极213按照交叉幅度L2进行交叉。梳形电极212和梳形电极213的交叉幅度L2比第一弹性波谐振子100的交叉幅度L1小。汇流条211与输入端子2通过连接线路3电连接，汇流条214与输出端子4通过连接线路3电连接。由此，第一弹性波谐振子100和第二弹性波谐振子200被并联连接。 
栅状反射器220具备与汇流条221电连接的多个梳形电极222。多个梳形电极222按照周期P2/2设置在汇流条221上。栅状反射器230具备与汇流条231电连接的多个梳形电极232。多个梳形电极232按照周期P2/2设置在汇流条231上。 
这样，通过使形成第一弹性波谐振子100的梳形电极112和梳形电极113的交叉幅度L1、与形成第二弹性波谐振子200的梳形电极212和梳形电极213的交叉幅度L2不同，能够得到以下所示的效果。 
在本实施方式中，与实施方式1相同，使交叉幅度L1和交叉幅度L2不同。由此，能够使横向模式乱真的产生频率在第一及第二弹性波谐振子100、200中分散至不同频带中，使横向模式乱真分散。采用图6及图7说明这种情况。图6是本实施方式的弹性波谐振器的导纳特性图。图7是本实施方式的弹性波谐振器的通过特性图。将图6所示的本实施方式的结构中的导纳的频率特性与图14所示的现有结构中的导纳的频率特性进行比较。比较的结果，根据本实施方式可知，谐振频率A和反谐振频率B之间出现的横向模式乱真S被分散，横向模式乱真S的每一个的绝对值降低。更进一步地，对图7所示的本实施方式的通过特性和图15所示的现有结构中的通过特性进行比较。比较的结果，在本实施方式中可知，与图15相比，横向模式乱真S被分散，横向模式乱真S的每一个的绝对值降低。由于以上理由，在本实施方式的弹性波谐振子中损耗能够被降低。 
这里，通过使交叉幅度L1＞交叉幅度L2，第一及第二弹性波谐振子 100、200的静电容量C1、C2满足静电容量C1＞静电容量C2。因此，对于第一及第二弹性波谐振子100、200的对数N1、N2，优选通过设对数N2＞对数N1，从而缓和C1和C2之比。 
更进一步地，本实施方式的结构不仅在由2个栅状反射器夹持1个叉指换能器电极的两侧的弹性波谐振子中，而且在传输路径上配置2个以上的叉指换能器电极的结构中，对横向模式乱真S的抑制都是有效的。 
另外，通过使第一弹性波谐振子100的间距P1和第二弹性波谐振子200的间距P2相等，并使第一及第二弹性波谐振子100、200的谐振频率一致，能够将损耗抑制到最小。相反，通过使间距P1和间距P2不同，能够加宽通频带及衰减频带的频带宽，并使设计自由度变大。 
另外，在本实施方式中，说明了对第一及第二弹性波谐振子100、200并联连接的结构，但是也能够将3个以上的弹性波谐振子并联连接。 
另外，在采用本实施方式的弹性波谐振子构成弹性波滤波器的情况下，能够有效抑制在通频带内产生的横向模式乱真S，从而能够降低损耗。 
另外，优选将图5所示的压电基板1的旋转Y板的切割角设为-30°～+30°左右。通过将切割角设为该范围内，能够实现广频带的弹性波滤波器。 
另外，通过用弹性波波长的15％以上厚度的SiO2薄膜覆盖第一及第二叉指换能器电极110、210内的至少一个，能够降低弹性波的损耗，进一步地，也能够改善温度特性，所以优选构成在广频带中损耗被降低且温度特性优异的弹性波滤波器。 
另外，通过采用本结构来构成发送滤波器和接收滤波器，从而能够构成损耗被降低的弹性波天线共用器。 
另外，在采用在谐振频率A和反谐振频率B之间存在多个横向模式乱真S的程度这样大的耦合系数的压电基板1的情况下，基于本实施方式方法的横向模式乱真的抑制，例如，在采用铌酸锂系化合物、或铌酸钾系化合物作为压电基板1的情况下尤为有效。这是由于，在谐振频率A和反谐振频率B之间只存在单个横向模式乱真S而谐振频率A和反谐振频率B的频率间隔较窄的情况下，通过将横向模式乱真错开至谐振频率A和反谐振频率B之间以外，能够容易地抑制横向模式乱真。 
(实施方式3) 
参照附图说明本发明实施方式3的弹性波谐振子。实施方式3是在2个栅状反射器之间配置多个叉指换能器电极。 
图8是本发明实施方式3的弹性波谐振子的上表面图。在图8中，第一弹性波谐振子300在压电基板上表面具备：交叉幅度L1的叉指换能器电极311、312、313、314、315；和栅状反射器316、317。叉指换能器电极311、312、313、314、315按照交叉幅度L1(第一弹性波谐振子300的梳形电极的交叉幅度L1)配置在弹性波传输路径上。叉指换能器电极311、312、313、314、315的各个梳形电极分别按照间距P8、P9、P10、P11、P12配置。栅状反射器316、317按照夹持叉指换能器电极311、312、313、314、315的方式配置。叉指换能器电极311、313、315与输入端子2电连接。叉指换能器电极312、314与输出端子4电连接。 
第二弹性波谐振子400在压电基板上表面具备：叉指换能器电极411、412、413、414、415；和栅状反射器416、417。叉指换能器电极411、412、413、414、415按照交叉幅度L2(第二弹性波谐振子400的梳形电极的交叉幅度L2)配置在弹性波传输路径上。叉指换能器电极411、412、413、414、415的各个梳形电极分别按照间距P3、P4、P5、P6、P7配置。栅状反射器416、417按照夹持叉指换能器电极411、412、413、414、415的方式配置。叉指换能器电极411、413、415与输入端子2电连接。叉指换能器电极412、414与输出端子5电连接。这里，叉指换能器电极411、412、413、414、415(第二弹性波谐振子400)的交叉幅度L2比叉指换能器电极311、312、313、314、315(第一弹性波谐振子300)的交叉幅度L1小。 
通过这样的结构，如图9所示，横向模式乱真S能够被分散，每一个的绝对值能够被降低。在图9中，虚线表示现有的导纳特性。实线表示本实施方式的导纳特性。如果对这些进行比较则可知，实线所示的横向模式乱真S比虚线所示的横向模式乱真S降低。 
在实施方式3中，针对每个具有5个叉指换能器电极的2个弹性波谐振子300、400进行了说明，但是叉指换能器电极的数目不限定为5个，也能得到乱真抑制效果。 
另外，通过使第一弹性波谐振子300的叉指换能器电极311、312、313、 314、315的交叉幅度完全相等，从而能够构成损失较少的弹性波谐振器。此外，通过使叉指换能器电极311、312、313、314、315的交叉幅度不同，从而能够增大设计自由度。这在第二弹性波谐振子400的叉指换能器电极411、412、413、414、415中也同样。 
另外，通过使第一弹性波谐振子300的间距P8、P9、P10、P11、P12和弹性波谐振子400的间距P3、P4、P5、P6、P7相等(即，所有的间距相等)，并使2个弹性波谐振子300、400的谐振频率一致，从而能够将损耗抑制到最小。相反，通过使间距P8和间距P3的组、间距P9和间距P4的组、间距P10和间距P5的组、间距P11和间距P6的组、间距P12和间距P7的组内至少1组的间距与其他组的间距不同，从而能够调整第一弹性波谐振子300和第二弹性波谐振子400的平衡度。 
另外，在本实施方式中，针对2个弹性波谐振子300、400并联连接的结构进行了说明，但是也能够并联连接3个以上的弹性波谐振子。 
另外，在采用本实施方式的弹性波谐振子来构成弹性波滤波器的情况下，能够有效抑制在通频带内产生的横向模式乱真，并能够降低损耗。 
另外，优选设图5所示的压电基板1的旋转Y板的切割角为-30°～+30°左右。通过设切割角为该范围，能够实现广频带的弹性波滤波器。 
另外，通过用弹性波波长的15％以上厚度的SiO2薄膜覆盖第一及第二叉指换能器电极(311、312、313、314、315)、(411、412、413、414、415)内至少一个，能够降低弹性波的损耗，进一步地，也能够改善温度特性。所以，能够构成在广频带中损耗被降低且温度特性优异的弹性波滤波器。 
另外，与实施方式1、2相同，通过采用本实施方式构成发送滤波器和接收滤波器，从而能够构成损耗被降低的弹性波天线共用器。 
在以上的实施方式中，例示了采用铌酸锂作为压电材料，但是本发明不限于此，也能够选择钽酸锂等符合弹性波谐振器等的所希望的用途、特性的规定的压电材料。 
另外，在采用在谐振频率A和反谐振频率B之间存在多个横向模式乱真S的程度这样大的耦合系数的压电基板1的情况下，基于本实施方式方法的横向模式乱真的抑制，例如，在采用铌酸锂系化合物、或铌酸钾系 化合物作为压电基板1的情况下尤为有效。这是由于，在谐振频率A和反谐振频率B之间只存在单个横向模式乱真S而谐振频率A和反谐振频率B的频率间隔较窄的情况下，通过将横向模式乱真错开至谐振频率A和反谐振频率B之间以外，能够容易地抑制横向模式乱真。 
工业上的可利用性 
本发明涉及的弹性波谐振器、弹性波滤波器能够抑制横向模式乱真所导致的损耗的产生，所以在移动电话等各种通信设备中是有用的。 

Claims (7)

1.一种弹性波谐振器，具备：
第一弹性波谐振子，其具有设置在压电基板上表面的第一叉指换能器电极；和第二弹性波谐振子，其具有设置在所述压电基板上表面的第二叉指换能器电极，
构成所述第一弹性波谐振子的梳形电极的对数比构成所述第二弹性波谐振子的梳形电极的对数小，所述第一弹性波谐振子和所述第二弹性波谐振子级联连接，
构成所述第一弹性波谐振子的多个第一梳形电极的交叉幅度比构成所述第二弹性波谐振子的多个第二梳形电极的交叉幅度大，
所述第一弹性波谐振子的静电容量比所述第二弹性波谐振子的静电容量大。
2.根据权利要求1所述的弹性波谐振器，其特征在于，
所述第一梳形电极的间距与所述第二梳形电极的间距不同。
3.一种弹性波谐振器，具备：
第一弹性波谐振子，其具有设置在压电基板上表面的第一叉指换能器电极；和第二弹性波谐振子，其具有设置在所述压电基板上表面的第二叉指换能器电极，
所述第一弹性波谐振子和所述第二弹性波谐振子并联连接，
构成所述第一弹性波谐振子的多个第一梳形电极的交叉幅度比构成所述第二弹性波谐振子的多个第二梳形电极的交叉幅度大，
构成所述第一弹性波谐振子的梳形电极的对数比构成所述第二弹性波谐振子的梳形电极的对数小，
所述第一弹性波谐振子的所述多个第一梳形电极的间距和所述第二弹性波谐振子的所述多个第二梳形电极的间距不同。
4.根据权利要求3所述的弹性波谐振器，其特征在于，
所述第一弹性波谐振子的静电容量比所述第二弹性波谐振子的静电容量大。
5.根据权利要求1或3所述的弹性波谐振器，其特征在于，
所述压电基板由铌酸锂构成。
6.一种弹性波滤波器，
至少具有1个权利要求1至权利要求4中任一项所述的弹性波谐振器。
7.一种天线共用器，
具备发送滤波器和接收滤波器，所述发送滤波器及所述接收滤波器的至少1个是权利要求6所述的弹性波滤波器。
CN2008801139616A 2007-11-06 2008-11-05 弹性波谐振器、弹性波滤波器及采用其的天线共用器 Active CN101842981B (zh)

Applications Claiming Priority (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007-288351 2007-11-06
JP2007288351 2007-11-06
JP2007296523 2007-11-15
JP2007-296523 2007-11-15
PCT/JP2008/003173 WO2009060594A1 (ja) 2007-11-06 2008-11-05 弾性波共振器、弾性波フィルタおよびこれを用いたアンテナ共用器

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN101842981A CN101842981A (zh) 2010-09-22
CN101842981B true CN101842981B (zh) 2013-12-11

Family

ID=40625503

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2008801139616A Active CN101842981B (zh) 2007-11-06 2008-11-05 弹性波谐振器、弹性波滤波器及采用其的天线共用器

Country Status (3)

Country Link
JP (2) JP4569713B2 (zh)
CN (1) CN101842981B (zh)
WO (1) WO2009060594A1 (zh)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102009032840B4 (de) 2009-07-13 2015-02-05 Epcos Ag SAW-Filterschaltung mit verbesserter ESD-Festigkeit
JP5394847B2 (ja) * 2009-08-06 2014-01-22 太陽誘電株式会社 分波器
JP5562063B2 (ja) * 2010-02-22 2014-07-30 京セラ株式会社 弾性表面波装置
JP2011205625A (ja) 2010-03-02 2011-10-13 Panasonic Corp ラダー型フィルタ
DE102010046794B4 (de) 2010-09-28 2015-07-16 Epcos Ag Mit akustischen Wellen arbeitendes Filter mit verringerten Nichtlinearitäten
JP5776334B2 (ja) * 2011-05-31 2015-09-09 セイコーエプソン株式会社 応力検出素子、センサーモジュール、電子機器、及び把持装置
CN108292913B (zh) * 2015-12-25 2021-08-31 株式会社村田制作所 弹性波装置
WO2018043607A1 (ja) * 2016-09-02 2018-03-08 株式会社村田製作所 弾性波フィルタ装置、高周波フロントエンド回路及び通信装置
US11489513B2 (en) 2018-11-16 2022-11-01 Skyworks Solutions, Inc. Multi-mode surface acoustic wave filter
DE102019121866A1 (de) * 2019-08-14 2021-02-18 RF360 Europe GmbH SAW-Resonator-Kaskade

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1294781A (zh) * 1998-03-23 2001-05-09 埃普科斯股份有限公司 声表面波滤波器

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05335879A (ja) * 1992-05-28 1993-12-17 Fujitsu Ltd 弾性表面波素子
JPH09294049A (ja) * 1996-04-25 1997-11-11 Meidensha Corp 弾性表面波フィルタ
JP3239064B2 (ja) * 1996-05-28 2001-12-17 富士通株式会社 弾性表面波装置
JPH1084245A (ja) * 1996-09-10 1998-03-31 Hitachi Ltd 弾性表面波素子
JP3699595B2 (ja) * 1998-08-31 2005-09-28 京セラ株式会社 弾性表面波フィルタ
JP4352572B2 (ja) * 2000-04-03 2009-10-28 パナソニック株式会社 アンテナ共用器
JP4109877B2 (ja) * 2001-03-04 2008-07-02 和彦 山之内 弾性表面波機能素子
JP3534080B2 (ja) * 2001-03-23 2004-06-07 株式会社村田製作所 弾性表面波フィルタ装置
JP3980323B2 (ja) * 2001-10-26 2007-09-26 沖電気工業株式会社 弾性表面波分波器
JP4056762B2 (ja) * 2002-02-25 2008-03-05 富士通メディアデバイス株式会社 弾性表面波装置
JP4303178B2 (ja) * 2004-08-31 2009-07-29 富士通メディアデバイス株式会社 弾性表面波装置
JP5025963B2 (ja) * 2006-02-16 2012-09-12 パナソニック株式会社 電子部品とその製造方法及びこの電子部品を用いた電子機器
JP2008035007A (ja) * 2006-07-27 2008-02-14 Fujitsu Media Device Kk フィルタ

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1294781A (zh) * 1998-03-23 2001-05-09 埃普科斯股份有限公司 声表面波滤波器

Also Published As

Publication number Publication date
JP5246205B2 (ja) 2013-07-24
WO2009060594A1 (ja) 2009-05-14
CN101842981A (zh) 2010-09-22
JP2010252359A (ja) 2010-11-04
JPWO2009060594A1 (ja) 2011-03-17
JP4569713B2 (ja) 2010-10-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101842981B (zh) 弹性波谐振器、弹性波滤波器及采用其的天线共用器
US6815868B2 (en) Surface acoustic wave apparatus and communication unit
US7902940B2 (en) Duplexer
US6828878B2 (en) Surface acoustic wave device and communication apparatus utilizing a resonator with a dummy electrode
EP1251638B1 (en) Surface acoustic wave filter apparatus and communications apparatus
US7876176B2 (en) Acoustic wave filter device and duplexer
US8476991B2 (en) Elastic wave resonator, elastic wave filter, and antenna sharing device using the same
KR20100130602A (ko) 탄성파 필터 및 이를 이용한 듀플렉서 및 전자 기기
JP3685102B2 (ja) 弾性表面波フィルタ、通信装置
KR100340286B1 (ko) 탄성 표면파 필터
KR100600481B1 (ko) 탄성 표면파 장치 및 통신 장치
US6771145B2 (en) Surface acoustic wave device
US9608596B2 (en) Acoustic wave device and antenna duplexer including same
US7042313B2 (en) Surface acoustic wave device and communication device using the same
US11146300B2 (en) Multiplexer, high-frequency front-end circuit, and communication device
JP3838128B2 (ja) 弾性表面波装置、および、これを搭載した通信装置
US6292071B1 (en) Surface acoustic wave filter for improving flatness of a pass band and a method of manufacturing thereof
JPH11312951A (ja) 弾性表面波フィルタ
JP3520420B2 (ja) 弾性表面波装置、通信装置
US6720847B2 (en) Longitudinally-coupled resonator surface acoustic wave filter and communication apparatus using the same
WO1996028886A1 (fr) Filtre a ondes acoustiques de surface
JP3478280B2 (ja) 弾性表面波フィルタ、通信装置
JP2024042195A (ja) マルチプレクサ

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
ASS Succession or assignment of patent right

Owner name: SKYWORKS PANASONIC FILTRATE SOLUTIONS JAPAN CO., L

Free format text: FORMER OWNER: MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO, LTD.

Effective date: 20150202

C41 Transfer of patent application or patent right or utility model
TR01 Transfer of patent right

Effective date of registration: 20150202

Address after: Osaka Japan

Patentee after: PANASONIC CORPORATION

Address before: Osaka Japan

Patentee before: Matsushita Electric Industrial Co., Ltd.

C56 Change in the name or address of the patentee
CP01 Change in the name or title of a patent holder

Address after: Osaka Japan

Patentee after: Japan Industrial Co., Ltd.

Address before: Osaka Japan

Patentee before: PANASONIC CORPORATION