JP5153889B2 - 弾性表面波フィルタおよびデュプレクサ - Google Patents
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Description
Digital Transducer:IDT)を備える弾性表面波フィルタおよびこれを備えるデュプレクサに関する。
また本発明の第2の態様において、弾性表面波フィルタは、前記複数の第1電極指のそれぞれと接続される第1共通電極と、前記複数の第2電極指のそれぞれと接続される第2共通電極と、前記複数の第3電極指のそれぞれと接続される第3共通電極と、前記複数の第4電極指のそれぞれと接続される第4共通電極と、をさらに備え、前記第2直列接続型IDT電極の前記複数の第3電極指のうち、前記第1直列接続型IDT電極に臨んで配置されている電極指が、前記第1直列接続型IDT電極の前記第2共通電極と前記第2直列接続型IDT電極の前記第4共通電極との間に位置する。
図1は、本発明の第1実施形態である弾性表面波フィルタ10を示す平面図である。弾性表面波フィルタ10は、圧電基板11、直列接続型IDT電極(以下、直列IDTとも称する)12を含んで構成される。
以上の工程を経て、各直列IDT12および反射器19が形成される。
Thermal CVD)装置を用いて、圧電基板11の主面上に、シリカ(SiO2)から成る保護膜を成膜する。保護膜を成膜した後、レジストを再度塗布する。次に、入力端子21用パッドおよび出力端子23用パッドを形成する部分のレジストを感光させて除去する。
Temperature Co-fired Ceramics;略称:LTCC)基板などによって実現される。
図1に示した弾性表面波フィルタを以下の条件でモデル化した。
実施例では、隣接する直列IDT間において、入出力電極の電極指と、接地電極の電極指とが隣接するように配置した。
隣接する直列IDT間において、浮き電極の電極指と、入出力電極の電極指とが隣接し、浮き電極の電極指と、接地電極の電極指とが隣接するように配置した以外は実施例と同様にした。
11 圧電基板
12,34,41,66,74 直列IDT
13,35,42,67,75 入出力電極
14,36,43,68,76 第1浮き電極
16,38,45,70,78 接地電極
17,39,46,71,79 第2浮き電極
100 デュプレクサ
101 送信用フィルタ
102 受信用フィルタ
Claims (8)
- 複数の第1電極指を有する入出力電極および複数の第2電極指を有し、電気的に浮き状態とされた第1浮き電極を含む第1IDT電極と、複数の第3電極指を有する接地電極および複数の第4電極指を有するとともに前記第1浮き電極と接続され、電気的に浮き状態とされた第2浮き電極を含む第2IDT電極と、を含む直列接続型IDT電極を複数備え、
前記複数の直列接続型IDT電極は第1直列接続型IDT電極と前記第1直列接続型IDT電極に隣接する第2直列接続型IDT電極とを有し、前記第1直列接続型IDT電極の前記第1IDT電極と前記第2直列接続型IDT電極の前記第2IDT電極とが隣り合うように配置されており、
前記第1直列接続型IDT電極の前記複数の第1電極指の少なくとも1つが、前記第2直列接続型IDT電極に臨んで配置され、
前記第1直列接続型IDT電極の前記複数の第3電極指の少なくとも1つが、前記第2直列接続型IDT電極に臨んで配置され、
前記第2直列接続型IDT電極の前記複数の第1電極指の少なくとも1つが、前記第1直列接続型IDT電極に臨んで配置され、
前記第2直列接続型IDT電極の前記複数の第3電極指の少なくとも1つが、前記第1直列接続型IDT電極に臨んで配置されている弾性表面波フィルタ。 - 前記複数の第1電極指のうち隣接する2つの第1電極指の間に前記複数の第2電極指の1つが配置され、前記複数の第3電極指のうち隣接する2つの第3電極指の間に前記複数の第4電極指の1つが配置されている請求項1記載の弾性表面波フィルタ。
- 前記第1直列接続型IDT電極の前記入出力電極に接続され且つアンバランス信号が入力または出力される第1外部端子と、
前記第2直列接続型IDT電極の前記入出力電極に接続され且つアンバランス信号が出力または入力される第2外部端子と、をさらに備える、請求項1記載の弾性表面波フィルタ。 - 前記第1直列接続型IDT電極の前記入出力電極に接続され且つバランス信号が入力または出力される第3外部端子と、
前記第2直列接続型IDT電極の前記入出力電極に接続され且つアンバランス信号が出力または入力される第4外部端子と、をさらに備える、請求項1記載の弾性表面波フィルタ。 - 前記複数の第1電極指のそれぞれと接続される第1共通電極と、前記複数の第2電極指のそれぞれと接続される第2共通電極と、前記複数の第3電極指のそれぞれと接続される第3共通電極と、前記複数の第4電極指のそれぞれと接続される第4共通電極と、をさらに備える、請求項1に記載の弾性表面波フィルタ。
- 前記第2直列接続型IDT電極の前記複数の第3電極指のうち、前記第1直列接続型IDT電極に臨んで配置されている電極指が、前記第1直列接続型IDT電極の前記第2共通電極と前記第2直列接続型IDT電極の前記第4共通電極との間に位置する、請求項5に記載の弾性表面波フィルタ。
- 複数の第1電極指を有する入出力電極および複数の第2電極指を有し、電気的に浮き状態とされた第1浮き電極を含む第1IDT電極と、複数の第3電極指を有する接地電極および複数の第4電極指を有するとともに前記第1浮き電極と接続され、電気的に浮き状態とされた第2浮き電極を含む第2IDT電極と、を含む直列接続型IDT電極を複数備え、
前記複数の直列接続型IDT電極は第1直列接続型IDT電極と前記第1直列接続型IDT電極に隣接する第2直列接続型IDT電極とを有し、前記第1直列接続型IDT電極の前記第1IDT電極と前記第2直列接続型IDT電極の前記第2IDT電極とが隣り合うように配置されており、
前記第1直列接続型IDT電極の前記複数の第1電極指の少なくとも1つが、前記第2直列接続型IDT電極に臨んで配置され、
前記第2直列接続型IDT電極の前記複数の第3電極指の少なくとも1つが、前記第1直列接続型IDT電極に臨んで配置され、
前記複数の第1電極指のそれぞれと接続される第1共通電極と、前記複数の第2電極指のそれぞれと接続される第2共通電極と、前記複数の第3電極指のそれぞれと接続される第3共通電極と、前記複数の第4電極指のそれぞれと接続される第4共通電極と、をさらに備え、
前記第2直列接続型IDT電極の前記複数の第3電極指のうち、前記第1直列接続型IDT電極に臨んで配置されている電極指が、前記第1直列接続型IDT電極の前記第2共通電極と前記第2直列接続型IDT電極の前記第4共通電極との間に位置する弾性表面波フィルタ。 - 送信用フィルタと、
受信用フィルタと、を備え、
前記送信用フィルタ及び前記受信用フィルタの少なくとも一方が請求項1〜6のいずれか1つに記載の弾性表面波フィルタである、デュプレクサ。
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