JP2000323953A - 横結合二重モード圧電フィルタ - Google Patents
横結合二重モード圧電フィルタInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 横結合二重モード圧電フィルタにおける対称
３次モードに起因するスプリアスを抑圧する手段を得
る。 【解決手段】 圧電基板上に表面波の伝搬方向に沿って
第一のＩＤＴ電極と第二のＩＤＴ電極とを併置した横結
合二重モード圧電フィルタにおいて、第一のＩＤＴ電極
の開口部と第二のＩＤＴ電極の開口部とを互いに異なる
ように構成した横結合二重モード圧電フィルタ。
３次モードに起因するスプリアスを抑圧する手段を得
る。 【解決手段】 圧電基板上に表面波の伝搬方向に沿って
第一のＩＤＴ電極と第二のＩＤＴ電極とを併置した横結
合二重モード圧電フィルタにおいて、第一のＩＤＴ電極
の開口部と第二のＩＤＴ電極の開口部とを互いに異なる
ように構成した横結合二重モード圧電フィルタ。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は弾性表面波フィルタ
に関し、特に三次モードに起因するスプリアスを抑圧し
た横結合型二重モード圧電フィルタに関する。
に関し、特に三次モードに起因するスプリアスを抑圧し
た横結合型二重モード圧電フィルタに関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、弾性表面波デバイスは通信分野で
広く利用され、高性能、小型、量産性等の優れた特徴を
有することから特に携帯電話等に多く用いられている。
図６は従来の横結合型二重モード圧電フィルタ（以下、
二重モードフィルタと称す）の構成を示す平面図であっ
て、圧電基板11上に２つのＩＤＴ電極12、13をこれらが
励起する弾性表面波の伝搬方向と直角に、且つ相互に並
列に近接配置すると共にこれらＩＤＴ電極の両端部に反
射器15、16を配置して、二重モードフィルタを構成す
る。なお、ＩＤＴ電極12と13の内側のバスバーは互いに
接して共通バスバー14とするのが一般的である。ＩＤＴ
電極１２、１３はそれぞれ互いに間挿し合う複数本の電
極指を有する一対のくし形電極により形成され、ＩＤＴ
電極１２の一方のくし形電極は入力端子INに接続すると
共に、他方のくし形電極（共通バスバー14側）は接地さ
れる。さらに、ＩＤＴ電極１３の一方のくし形電極は出
力端子OUTに接続されると共に、他方のくし形電極（共
通バスバー14側）は接地する構成となっている。
広く利用され、高性能、小型、量産性等の優れた特徴を
有することから特に携帯電話等に多く用いられている。
図６は従来の横結合型二重モード圧電フィルタ（以下、
二重モードフィルタと称す）の構成を示す平面図であっ
て、圧電基板11上に２つのＩＤＴ電極12、13をこれらが
励起する弾性表面波の伝搬方向と直角に、且つ相互に並
列に近接配置すると共にこれらＩＤＴ電極の両端部に反
射器15、16を配置して、二重モードフィルタを構成す
る。なお、ＩＤＴ電極12と13の内側のバスバーは互いに
接して共通バスバー14とするのが一般的である。ＩＤＴ
電極１２、１３はそれぞれ互いに間挿し合う複数本の電
極指を有する一対のくし形電極により形成され、ＩＤＴ
電極１２の一方のくし形電極は入力端子INに接続すると
共に、他方のくし形電極（共通バスバー14側）は接地さ
れる。さらに、ＩＤＴ電極１３の一方のくし形電極は出
力端子OUTに接続されると共に、他方のくし形電極（共
通バスバー14側）は接地する構成となっている。
【０００３】ＩＤＴ電極12とアースとの間に高周波電圧
を印加すると、前記第一の共振器と第二の共振器との間
で音響結合が生じ、ＩＤＴ電極12、13上には表面波の伝
搬方向と直交する方向に、振動変位分布が対称な１次モ
ード（共振周波数をf1）、反対称な２次モード（共振周
波数f2）が励起され、この１次モードと２次モードを利
用すれば二重モードフィルタを得ることができ、その帯
域幅は（f2−f1）に比例することがよく知られている。
ところがこのとき１次および２次モードのみならずさら
に高次の３次、５次・・といったモードの振動も励起さ
れるため、フィルタの中心周波数より高周波側にこの高
次モードの共振がスプリアスとして現れ、阻止減衰量を
劣化させる。
を印加すると、前記第一の共振器と第二の共振器との間
で音響結合が生じ、ＩＤＴ電極12、13上には表面波の伝
搬方向と直交する方向に、振動変位分布が対称な１次モ
ード（共振周波数をf1）、反対称な２次モード（共振周
波数f2）が励起され、この１次モードと２次モードを利
用すれば二重モードフィルタを得ることができ、その帯
域幅は（f2−f1）に比例することがよく知られている。
ところがこのとき１次および２次モードのみならずさら
に高次の３次、５次・・といったモードの振動も励起さ
れるため、フィルタの中心周波数より高周波側にこの高
次モードの共振がスプリアスとして現れ、阻止減衰量を
劣化させる。
【０００４】図７は米国のセルラーシステム（AMPS）に
用いられるＩＦフィルタのフィルタ特性を示す図であっ
て、圧電基板11にＳＴカット水晶基板を用い、ＩＤＴ電
極12、13をそれぞれ７０対、反射器14、15をそれぞれ24
0本、ＩＤＴ電極の交差長Ｘをそれぞれ8.8λ（λは励起
される表面波の波長）、電極膜厚を3.0%λとし、中心周
波数を85.38MHzに設定した二重モードフィルタを２段縦
続接続したものである。図７から明らかなように、３dB
帯域幅は±25kHz程度と規格を満足する特性が得られて
いる。
用いられるＩＦフィルタのフィルタ特性を示す図であっ
て、圧電基板11にＳＴカット水晶基板を用い、ＩＤＴ電
極12、13をそれぞれ７０対、反射器14、15をそれぞれ24
0本、ＩＤＴ電極の交差長Ｘをそれぞれ8.8λ（λは励起
される表面波の波長）、電極膜厚を3.0%λとし、中心周
波数を85.38MHzに設定した二重モードフィルタを２段縦
続接続したものである。図７から明らかなように、３dB
帯域幅は±25kHz程度と規格を満足する特性が得られて
いる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
二重モードフィルタにおいては中心周波数より高周波側
に３次モードに起因して、図７にＳ３として示すように
45dB程度のスプリアスが発生し、製造のバラツキによ
り、次に挙げるAMPSのＩＦフィルタ仕様を必ずしも満た
さないという問題があった。 １）F0±60kHzにて25dB以上（但し、F0は中心周波数） ２）F0±120kHzにて40dB以上 ３）F0±240kHzにて45dB以上 ３次モードによるスプリアスを抑圧する方法としては、
電極膜厚を薄くして高次モードの閉じ込めを弱くする手
段、２段縦続接続するフィルタの中心周波数を互いに少
しずらす手段、ＩＤＴ電極に重み付けをする手段等があ
る。しかし、電極膜厚を薄くすると反射器の本数が多く
なり、要求される小型化と逆行することになる。また、
中心周波数の異なるフィルタ同志を縦続接続すると減衰
傾度が劣化すると共に、パスバンド内にリップルが生じ
る虞がある。また、ＩＤＴ電極に重み付けを施すと、フ
ィルタのインピーダンスが大きくなり、フィルタをセッ
トに用いる場合に終端条件が難しくなるという問題が新
たに生じる。本発明は上記問題を解決するためになされ
たものであって、３次モードによるスプリアスを抑圧し
た二重モードフィルタを提供することを目的とする。
二重モードフィルタにおいては中心周波数より高周波側
に３次モードに起因して、図７にＳ３として示すように
45dB程度のスプリアスが発生し、製造のバラツキによ
り、次に挙げるAMPSのＩＦフィルタ仕様を必ずしも満た
さないという問題があった。 １）F0±60kHzにて25dB以上（但し、F0は中心周波数） ２）F0±120kHzにて40dB以上 ３）F0±240kHzにて45dB以上 ３次モードによるスプリアスを抑圧する方法としては、
電極膜厚を薄くして高次モードの閉じ込めを弱くする手
段、２段縦続接続するフィルタの中心周波数を互いに少
しずらす手段、ＩＤＴ電極に重み付けをする手段等があ
る。しかし、電極膜厚を薄くすると反射器の本数が多く
なり、要求される小型化と逆行することになる。また、
中心周波数の異なるフィルタ同志を縦続接続すると減衰
傾度が劣化すると共に、パスバンド内にリップルが生じ
る虞がある。また、ＩＤＴ電極に重み付けを施すと、フ
ィルタのインピーダンスが大きくなり、フィルタをセッ
トに用いる場合に終端条件が難しくなるという問題が新
たに生じる。本発明は上記問題を解決するためになされ
たものであって、３次モードによるスプリアスを抑圧し
た二重モードフィルタを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明に係る横結合二重モード圧電フィルタの請求項
１記載の発明は、圧電基板上に２つのＩＤＴ電極をこれ
らが励起する弾性表面波の伝搬方向と直角に、且つ相互
に並列に近接配置すると共にこれらＩＤＴ電極の両端部
に反射器を配置した横結合二重モード圧電フィルタにお
いて、前記２つのＩＤＴ電極の開口部の寸法が互いに異
なるように構成したことを特徴とする横結合二重モード
圧電フィルタである。請求項２記載の発明は、圧電基板
上に２つのＩＤＴ電極をこれらが励起する弾性表面波の
伝搬方向と直角に、且つ相互に並列に近接配置すると共
にこれらＩＤＴ電極の両端部に反射器を配置した横結合
二重モード圧電フィルタにおいて、一方のＩＤＴ電極の
開口長をＷ１、他方のＩＤＴ電極の開口長をＷ２とした
とき、０．３５≦Ｗ１／（Ｗ１＋Ｗ２）＜０．５を満足
するよう構成したことを特徴とする横結合二重モード圧
電フィルタである。
に本発明に係る横結合二重モード圧電フィルタの請求項
１記載の発明は、圧電基板上に２つのＩＤＴ電極をこれ
らが励起する弾性表面波の伝搬方向と直角に、且つ相互
に並列に近接配置すると共にこれらＩＤＴ電極の両端部
に反射器を配置した横結合二重モード圧電フィルタにお
いて、前記２つのＩＤＴ電極の開口部の寸法が互いに異
なるように構成したことを特徴とする横結合二重モード
圧電フィルタである。請求項２記載の発明は、圧電基板
上に２つのＩＤＴ電極をこれらが励起する弾性表面波の
伝搬方向と直角に、且つ相互に並列に近接配置すると共
にこれらＩＤＴ電極の両端部に反射器を配置した横結合
二重モード圧電フィルタにおいて、一方のＩＤＴ電極の
開口長をＷ１、他方のＩＤＴ電極の開口長をＷ２とした
とき、０．３５≦Ｗ１／（Ｗ１＋Ｗ２）＜０．５を満足
するよう構成したことを特徴とする横結合二重モード圧
電フィルタである。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下本発明を図面に示した実施の
形態に基づいて詳細に説明する。図１は本発明に係る横
結合型二重フィルタの構成を示す平面図であって、圧電
基板上に２つのＩＤＴ電極２、３をこれらが励起する弾
性表面波の伝搬方向と直角に、且つ相互に並列に近接配
置すると共にこれらＩＤＴ電極の両端部に反射器５、６
を配置する。なお、図１においてはＩＤＴ電極２及び３
のそれぞれの内側のバスバーは互いに接して共通バスバ
ー４とした場合を示している。ＩＤＴ電極２、３はそれ
ぞれ互いに間挿し合う複数本の電極指を有する一対のく
し形電極により形成され、ＩＤＴ電極２の一方のくし形
電極は入力端子INに接続すると共に、他方のくし形電
極、即ち共通バスバー4に接続されたくし形電極は接地
される。さらに、ＩＤＴ電極３の一方のくし形電極は出
力端子OUTに接続されると共に、他方の共通バスバー4側
のくし形電極は接地する構成となっている。本発明の特
徴はＩＤＴ電極２、３のそれぞれの開口長W1、W2及び交
差長X1、X2を互いに異ならせたことにある。
形態に基づいて詳細に説明する。図１は本発明に係る横
結合型二重フィルタの構成を示す平面図であって、圧電
基板上に２つのＩＤＴ電極２、３をこれらが励起する弾
性表面波の伝搬方向と直角に、且つ相互に並列に近接配
置すると共にこれらＩＤＴ電極の両端部に反射器５、６
を配置する。なお、図１においてはＩＤＴ電極２及び３
のそれぞれの内側のバスバーは互いに接して共通バスバ
ー４とした場合を示している。ＩＤＴ電極２、３はそれ
ぞれ互いに間挿し合う複数本の電極指を有する一対のく
し形電極により形成され、ＩＤＴ電極２の一方のくし形
電極は入力端子INに接続すると共に、他方のくし形電
極、即ち共通バスバー4に接続されたくし形電極は接地
される。さらに、ＩＤＴ電極３の一方のくし形電極は出
力端子OUTに接続されると共に、他方の共通バスバー4側
のくし形電極は接地する構成となっている。本発明の特
徴はＩＤＴ電極２、３のそれぞれの開口長W1、W2及び交
差長X1、X2を互いに異ならせたことにある。
【０００８】図１に示すようにＩＤＴ電極2、3の開口長
Ｗ１、Ｗ２を互いに異ならせ、二重モードフィルタの高
次モードによるスプリアスを測定したところ、開口長が
等しい（W1=W2）場合に比べて改善されていることを見
出した。図２は、二重モードフィルタの全開口長W（=W1
+W2）に対するＩＤＴ電極3の開口長W2の比、即ち開口長
比（=W2/W）を変化させて、２段縦続接続二重モードフ
ィルタにおける３次モードによるスプリアスS3を測定し
た曲線である。図２から明らかなようにスプリアスS3に
よる減衰量が、従来の二重モードフィルタの開口長比W2
/W =0.5に比べて大きく改善されることが判明した。図
２では開口長比W2/W が0.5より小さいな場合を描いた
が、W2/W が0.5より大きな場合はW2/W =0.5の軸に対し
て曲線が対称となることが容易に予想される。
Ｗ１、Ｗ２を互いに異ならせ、二重モードフィルタの高
次モードによるスプリアスを測定したところ、開口長が
等しい（W1=W2）場合に比べて改善されていることを見
出した。図２は、二重モードフィルタの全開口長W（=W1
+W2）に対するＩＤＴ電極3の開口長W2の比、即ち開口長
比（=W2/W）を変化させて、２段縦続接続二重モードフ
ィルタにおける３次モードによるスプリアスS3を測定し
た曲線である。図２から明らかなようにスプリアスS3に
よる減衰量が、従来の二重モードフィルタの開口長比W2
/W =0.5に比べて大きく改善されることが判明した。図
２では開口長比W2/W が0.5より小さいな場合を描いた
が、W2/W が0.5より大きな場合はW2/W =0.5の軸に対し
て曲線が対称となることが容易に予想される。
【０００９】ここで、３次モードによるスプリアスが抑
圧される理由について検討してみると、ＩＤＴ電極2と
アースとの間に高周波電圧を印加すると、ＩＤＴ電極
2、3上には表面波の伝搬方向と直交する方向に、振動変
位分布が対称な１次モード、反対称な２次モード、対称
な３次モード等が励起されることは従来の二重モードフ
ィルタと同様であるが、図１に示す共通バスバー4の中
心とＩＤＴ2、3の中心と異なるため、３次モードの振動
変位によって生ずる電荷をＩＤＴ電極2、3が収集する量
と、従来の二重モードフィルタにおいてＩＤＴ電極が収
集する電荷量とが異なることになる。即ち、図１の構成
では、ＩＤＴ電極2、3による電荷収集が３次モードに対
しては相殺されて少なくなるので、その励振強度が弱ま
るものと推定される。
圧される理由について検討してみると、ＩＤＴ電極2と
アースとの間に高周波電圧を印加すると、ＩＤＴ電極
2、3上には表面波の伝搬方向と直交する方向に、振動変
位分布が対称な１次モード、反対称な２次モード、対称
な３次モード等が励起されることは従来の二重モードフ
ィルタと同様であるが、図１に示す共通バスバー4の中
心とＩＤＴ2、3の中心と異なるため、３次モードの振動
変位によって生ずる電荷をＩＤＴ電極2、3が収集する量
と、従来の二重モードフィルタにおいてＩＤＴ電極が収
集する電荷量とが異なることになる。即ち、図１の構成
では、ＩＤＴ電極2、3による電荷収集が３次モードに対
しては相殺されて少なくなるので、その励振強度が弱ま
るものと推定される。
【００１０】図３は、圧電基板にＳＴカット水晶基板を
用い、ＩＤＴ電極2、3をそれぞれ７０対、反射器4、5を
それぞれ240本、交差長Ｘ1、X2をそれぞれ9.6λ、8.0λ
（λは励起される表面波の波長）、開口長比W2/Wを0.45
8、電極膜厚を3.0%λとし、中心周波数を85.38MHzに設
定した２段縦続接続二重モードフィルタのフィルタ特性
である。この図から明らかなように、３次モードによる
スプリアスS3は64dBと、従来のフィルタ（W2/W=0.5）の
スプリアスS3が45dB程度であるのと比較して、9dB程改
善されていることが分かる。
用い、ＩＤＴ電極2、3をそれぞれ７０対、反射器4、5を
それぞれ240本、交差長Ｘ1、X2をそれぞれ9.6λ、8.0λ
（λは励起される表面波の波長）、開口長比W2/Wを0.45
8、電極膜厚を3.0%λとし、中心周波数を85.38MHzに設
定した２段縦続接続二重モードフィルタのフィルタ特性
である。この図から明らかなように、３次モードによる
スプリアスS3は64dBと、従来のフィルタ（W2/W=0.5）の
スプリアスS3が45dB程度であるのと比較して、9dB程改
善されていることが分かる。
【００１１】図４は本発明に係る他の実施例の構成を示
す図であり、図１に示した構成に比べてＩＤＴ電極2'の
交差長X1'を短くし、ＩＤＴ電極3'の交差長X2'とほぼ同
じにしたものである。このようにＩＤＴ電極2'の基板端
部寄りのバスバーと共通バスバー4'に接続する電極指の
間隙を開けても、図１の構成の二重モードフィルタの場
合と同様な効果が得られることが、実験の結果判明し
た。
す図であり、図１に示した構成に比べてＩＤＴ電極2'の
交差長X1'を短くし、ＩＤＴ電極3'の交差長X2'とほぼ同
じにしたものである。このようにＩＤＴ電極2'の基板端
部寄りのバスバーと共通バスバー4'に接続する電極指の
間隙を開けても、図１の構成の二重モードフィルタの場
合と同様な効果が得られることが、実験の結果判明し
た。
【００１２】図５は本発明に係る他の実施例の構成を示
す図でって、図１に示した構成において共通バスバー4
を中央にて分割して平衡型二重モードフィルタを構成し
た例である。このように構成すれば、平衡型横結合二重
モードフィルタにおいて３次モードに起因するスプリア
スを抑圧したフィルタを得ることができる。
す図でって、図１に示した構成において共通バスバー4
を中央にて分割して平衡型二重モードフィルタを構成し
た例である。このように構成すれば、平衡型横結合二重
モードフィルタにおいて３次モードに起因するスプリア
スを抑圧したフィルタを得ることができる。
【００１３】以上は圧電基板にＳＴカット水晶基板を用
いた場合について説明したが、本発明は水晶のみに限定
するものではなく、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチ
ウム、ランガサイト、四硼酸リチウム等の圧電結晶にも
適用できることは云うまでもない。
いた場合について説明したが、本発明は水晶のみに限定
するものではなく、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチ
ウム、ランガサイト、四硼酸リチウム等の圧電結晶にも
適用できることは云うまでもない。
【００１４】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成した
ので、３次モードによるスプリアスを従来のものより大
きく抑圧できたので、本フィルタを例えば、ＡＭＰＳシ
ステム用携帯電話のＩＦフィルタとして用いれば中間周
波数部の特性を改善する上で優れた効果を奏す。
ので、３次モードによるスプリアスを従来のものより大
きく抑圧できたので、本フィルタを例えば、ＡＭＰＳシ
ステム用携帯電話のＩＦフィルタとして用いれば中間周
波数部の特性を改善する上で優れた効果を奏す。
【図１】本発明に係る横結合二重モード圧電フィルタの
構成を示す平面図である。
構成を示す平面図である。
【図２】開口長比W2/Wと３次モードによるスプリアスの
大きさとの関係を示す図である。
大きさとの関係を示す図である。
【図３】本発明に係る横結合二重モード圧電フィルタの
フィルタ特性の一例を示す図である。
フィルタ特性の一例を示す図である。
【図４】本発明の他の実施例の横結合二重モード圧電フ
ィルタの構成を示す図である。
ィルタの構成を示す図である。
【図５】本発明の他の実施例の平衡型横結合二重モード
圧電フィルタの構成を示す図である。
圧電フィルタの構成を示す図である。
【図６】従来の横結合二重モード圧電フィルタの構成を
示す図である。
示す図である。
【図７】従来の横結合二重モード圧電フィルタのフィル
タのフィルタ特性の一例を示す図である。
タのフィルタ特性の一例を示す図である。
１・・圧電基板 ２、２'、３、３'、２"、３"・・ＩＤＴ電極 ４、４'・・共通バスバー ５、５'、６、６'、５"、６"・・グレーティング反射器 Ｗ、Ｗ'、Ｗ"、Ｗ１、Ｗ２、Ｗ'、Ｗ１'、Ｗ２'、Ｗ
１"、Ｗ２"・・開口長 Ｘ１、Ｘ２、Ｘ１'、Ｘ２'、Ｘ１"、Ｘ２"・・交差長 ＩＮ、ＩＮ1、ＩＮ２・・入力 ＯＵＴ、ＯＵＴ1、ＯＵＴ２・・出力
１"、Ｗ２"・・開口長 Ｘ１、Ｘ２、Ｘ１'、Ｘ２'、Ｘ１"、Ｘ２"・・交差長 ＩＮ、ＩＮ1、ＩＮ２・・入力 ＯＵＴ、ＯＵＴ1、ＯＵＴ２・・出力
Claims (2)
- 【請求項１】 圧電基板上に２つのＩＤＴ電極をこれら
が励起する弾性表面波の伝搬方向と直角に、且つ相互に
並列に近接配置すると共にこれらＩＤＴ電極の両端部に
反射器を配置した横結合二重モード圧電フィルタにおい
て、 前記２つのＩＤＴ電極の開口部の寸法が互いに異なるよ
うに構成したことを特徴とする横結合二重モード圧電フ
ィルタ。 - 【請求項２】 圧電基板上に２つのＩＤＴ電極をこれら
が励起する弾性表面波の伝搬方向と直角に、且つ相互に
並列に近接配置すると共にこれらＩＤＴ電極の両端部に
反射器を配置した横結合二重モード圧電フィルタにおい
て、 一方のＩＤＴ電極の開口長をＷ１、他方のＩＤＴ電極の
開口長をＷ２としたとき、０．３５≦Ｗ１／（Ｗ１＋Ｗ
２）＜０．５を満足するよう構成したことを特徴とする
横結合二重モード圧電フィルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11128912A JP2000323953A (ja) | 1999-05-10 | 1999-05-10 | 横結合二重モード圧電フィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11128912A JP2000323953A (ja) | 1999-05-10 | 1999-05-10 | 横結合二重モード圧電フィルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000323953A true JP2000323953A (ja) | 2000-11-24 |
Family
ID=14996449
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11128912A Pending JP2000323953A (ja) | 1999-05-10 | 1999-05-10 | 横結合二重モード圧電フィルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000323953A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006311180A (ja) * | 2005-04-28 | 2006-11-09 | Fujitsu Media Device Kk | 弾性表面波フィルタおよび分波器 |
| JP2016082570A (ja) * | 2014-10-16 | 2016-05-16 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波デバイス、フィルタ、及び分波器 |
-
1999
- 1999-05-10 JP JP11128912A patent/JP2000323953A/ja active Pending
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