JPH06268476A

JPH06268476A - ２段接続型多電極弾性表面波装置

Info

Publication number: JPH06268476A
Application number: JP5060793A
Authority: JP
Inventors: Koji Kawakatsu; 孝治川勝; Eiji Iegi; 英治家木
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1993-03-11
Filing date: 1993-03-11
Publication date: 1994-09-22

Abstract

(57)【要約】【目的】ボンディングワイヤーの数を低減することが
でき、かつ挿入損失を効果的に低減し得る構造を備えた
２段接続型多電極弾性表面波装置を提供する。【構成】圧電基板上に互いに接続されてなる第１，第
２の多電極型弾性表面波フィルタＡ，Ｂが構成されてお
り、第１，第２の多電極ＳＡＷフィルタＡ，Ｂの互いに
接続される部分のＩＤＴが、分割ＩＤＴ８４，８６，９
１，９３で構成されており、第１，第２の分割くし歯電
極８４ｂ，８４ｃ，８６ｂ，８６ｃ，９１ｂ，９１ｃ，
９３ｂ，９３ｃがアース電位に接続される他方のくし歯
電極８４ａ，８６ａ，９１ａ，９３ａに対して平衡とさ
れており、ＩＤＴ８３〜８７間及びＩＤＴ９０〜９４間
の間隙が電極ランド９８ａ〜９８ｈで埋められている、
２段接続型多電極弾性表面波フィルタ８１。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、表面波伝播方向に沿っ
て比較的多数のインターデジタルトランスデューサ（以
下、ＩＤＴ）を並設した構造を有する多電極弾性表面波
フィルタを２段接続してなる、２段接続型多電極弾性表
面波装置に関し、特に、各ＩＤＴ間の圧電基板上におけ
る電気的接続構造が改良された２段接続型多電極弾性表
面波装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、挿入損失を低減するために、表面
波伝播方向に比較的多数のＩＤＴを並設し、その両側に
反射器を形成してなるＳＡＷフィルタが公知であり、多
電極型ＳＡＷフィルタまたはＩＩＤＴと称されている。

【０００３】また、通過帯域外減衰量を十分な大きさと
するために、多電極ＳＡＷフィルタを同一圧電基板上に
おいて２段接続した２段接続型の多電極ＳＡＷフィルタ
が提案されている。この従来の２段接続型多電極ＳＡＷ
フィルタの一例を、図２に示す。

【０００４】図２において、２段接続型多電極ＳＡＷフ
ィルタ１は、矩形の圧電基板２を有し、該圧電基板２上
において第１，第２の多電極型ＳＡＷフィルタＡ及びＢ
が構成されている。すなわち、第１の多電極型ＳＡＷフ
ィルタＡでは、表面波伝播方向に沿って、複数のＩＤＴ
３〜７が所定の間隔を隔てて並設されており、その両側
に反射器８，９が配置されている。同様に、第２の多電
極型ＳＡＷフィルタＢにおいても、複数のＩＤＴ１０〜
１４が表面波伝播方向に沿って併設されており、その両
側に反射器１５，１６が配置されている。

【０００５】第１の多電極ＳＡＷフィルタＡでは、ＩＤ
Ｔ３，５，７の一方のくし歯電極が圧電基板２上に形成
された配線パターンにより共通接続されており、入力端
として用いるために、ボンディングワイヤー１７ａが電
気的に接続される。他方、第２の多電極型ＳＡＷフィル
タＢでは、ＩＤＴ１０，１２，１４が圧電基板２上に形
成された導電パターンにより共通に接続されており、か
つ出力端として用いるためにボンディングワイヤー１７
ｂが電気的に接続される。

【０００６】さらに、ＩＤＴ３，５，７，１０，１２，
１４の他方のくし歯電極がボンディングワイヤー１７ｃ
〜１７ｈにより、それぞれ、アース電位に電気的に接続
される。

【０００７】また、段間接続は、ＩＤＴ４，６の一方の
くし歯電極と、ＩＤＴ１１，１３の一方のくし歯電極と
を配線パターンにより電気的に接続することにより行わ
れており、ＩＤＴ４，６，１１，１３の他方のくし歯電
極は、図示のように、それぞれ、ボンディングワイヤー
１７ｉ〜１７ｌによりそれぞれアース電位に電気的に接
続される。

【０００８】従って、図２に示した２段接続型多電極Ｓ
ＡＷフィルタ１は、合計１２本のボンディングワイヤー
を用いなければ使用することができず、ボンディングワ
イヤーの接続作業が非常に煩雑であった。

【０００９】そこで、ボンディングワイヤーの接続数を
低減する構造として、図３に示す２段接続型多電極ＳＡ
Ｗフィルタ２１が提案されている。ここでは、ＩＤＴ２
３，２５，２７のコールド側のくし歯電極すなわちアー
ス電位に電気的に接続されるくし歯電極が、段間接続部
を構成するためのＩＤＴ２４，２６のコールド側くし歯
電極と、ＩＤＴ間に形成された電極指よりも幅の広い電
極ランド２８ａ〜２８ｄにより圧電基板２上において電
気的に接続されている。

【００１０】同様に、第２の多電極ＳＡＷフィルタＢに
おいても、ＩＤＴ３０〜３４のコールド側のくし歯電極
が、電極ランド２８ｅ〜２８ｈにより共通接続されてい
る。さらに、段間接続部において、電極ランド２８ｂ，
２８ｃが、電極ランド２８ｆ，２８ｇと電気的に接続さ
れている。

【００１１】従って、使用に際して接続する必要のある
ボンディングワイヤーは、入力端及び出力端と接続する
ためのボンディングワイヤー３７ａ，３７ｂと、アース
電位に接続すべきボンディングワイヤーすなわちＩＤＴ
２３，２５，２７，３０，３２，３４の一方のくし歯電
極に接続されるボンディングワイヤー３８ｃ〜３８ｈ並
びに段間接続部に接続されるボンディングワイヤー３７
ｉの９本のボンディングワイヤーを接続するだけであ
る。

【００１２】よって、図２に示した多電極ＳＡＷフィル
タ１に比べて、ボンディングワイヤーの数を低減し得る
ため、生産性及び信頼性を高め得る。また、上記電極ラ
ンド２８ａ〜２８ｈがＩＤＴ間を埋めるように配置され
ているため、挿入損失を低減することができる。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図３に
示した２段接続型多電極ＳＡＷフィルタでは、段間の接
続にあたり、ＩＤＴ間の非常に狭い隙間で配線パターン
を形成しなければならない。すなわち、電極ランド２８
ｂ，２８ｃ，２８ｆ，２８ｇ間を接続するに際し、周囲
の逆の電位に接続されるくし歯電極等に接触しないよう
に、接続用配線パターンを非常に細くしなければならな
かった。そのため、配線抵抗が高くならざるを得ず、フ
ィルタの挿入損失が大きくなるという欠点があった。こ
の配線抵抗を低めるには、ＩＤＴ間の間隔を広くすれば
よいが、その場合には、表面波の伝播距離が長くなり、
かえって挿入損失が増大することになる。

【００１４】本発明の目的は、ボンディングワイヤーの
数を低減することができるだけでなく、挿入損失も効果
的に低減し得る２段接続型多電極ＳＡＷ装置を提供する
ことにある。

【００１５】

【課題を解決するための手段】本発明は、圧電基板上
に、第１，第２の多電極型ＳＡＷフィルタを構成し、第
１，第２の多電極型ＳＡＷフィルタ間を接続してなる２
段接続型ＳＡＷ装置に関し、以下の構成を備えることを
特徴とする。

【００１６】すなわち、本発明では、上記第１，第２の
多電極型ＳＡＷフィルタの互いに接続される部分のＩＤ
Ｔが、一方のくし歯電極を表面波伝播方向に沿って２分
割した第１，第２の分割くし歯電極を有する直列接続型
の分割ＩＤＴにより構成されている。また、上記第１，
第２の分割くし歯電極が、アース電位に接続される他方
のくし歯電極に対して平衡とされている。上記分割ＩＤ
Ｔの表面波伝播方向両端に位置する電極指は、段間の接
続部分に接続されない電極指とされている。

【００１７】さらに、入出力用ＩＤＴの表面波伝播方向
両端の電極指がアース電位に接続される側とされてお
り、かつ該電極指は、入出力ＩＤＴと上記分割ＩＤＴと
の間をうずめるように形成されておりかつ電極指より相
対的に幅の広い電極ランドを介して、上記分割ＩＤＴの
アース電位に接続される側のくし歯電極と電気的に接続
されている。

【００１８】

【作用】段間接続部分に用いられるＩＤＴが、上記分割
ＩＤＴで構成されており、各分割ＩＤＴの第１，第２の
分割くし歯電極間が、それぞれ、他方側の多電極ＳＡＷ
フィルタの分割ＩＤＴの対応の分割くし歯電極に配線パ
ターンにより電気的に接続される。よって、段間接続部
のホット側は、単純な配線パターンにより電気的に接続
され得る。

【００１９】さらに、上記分割ＩＤＴの表面波伝播方向
両端に位置する電極指がコールド側とされており、電極
ランドを介して入出力用ＩＤＴの表面波伝播方向両端の
電極指と電気的に接続されているため、分割ＩＤＴの上
記アース電位に接続される他方のくし歯電極と、アース
電位との電気的接続を、入出力用ＩＤＴのアース電位に
接続されるくし歯電極をアース電位に接続することによ
り果たすことができるので、アース電位に接続すべきボ
ンディングワイヤーの数を低減することができると共
に、段間接続部のコールド側の接続構造を簡略化するこ
とができる。

【００２０】

【実施例】以下、図面を参照しつつ、本発明をなす契機
となった２段接続型多電極ＳＡＷフィルタ及び本発明の
一実施例にかかる２段接続型多電極弾性表面波フィルタ
を説明することにより、本発明を明らかにする。本願発
明者らは、２段接続型多電極ＳＡＷフィルタにおいて、
ボンディングワイヤーの数を低減すると共に圧電基板上
における配線パターンの抵抗を低めるものとして、図４
に示す２段接続型多電極ＳＡＷフィルタ４１を開発し
た。

【００２１】図４の２段接続型多電極ＳＡＷフィルタ４
１では、矩形の圧電基板２上において構成された第１，
第２の多電極型ＳＡＷフィルタＡ，Ｂの段間接続部分に
用いられるＩＤＴ４４，４６，５１，５３を、表面波伝
播方向に沿って一方のくし歯電極が分割された直列接続
型の分割ＩＤＴにより構成した。例えば、ＩＤＴ４４を
例にとると、分割ＩＤＴ４４は、くし歯電極４４ａと組
み合わされるくし歯電極が、第１，第２の分割くし歯電
極４４ｂ，４４ｃとで構成されている。他の分割ＩＤＴ
４６，５１，５３も同様に構成されているため、くし歯
電極については、相当の参照番号を付することにする。

【００２２】よって、ＩＤＴ４４，５１間の接続は、第
１分割くし歯電極４４ｂと、第１分割くし歯電極５１ｂ
とを配線パターンにより接続することにより、並びに第
２分割くし歯電極４４ｃ，５１ｃ同士を配線パターンに
より接続することにより行われている。さらに、ＩＤＴ
４６，５３間の接続も同様に行われており、上記第２く
し歯電極４４ｃ，５１ｃと、第１分割くし歯電極４６
ｂ，５３ｂとが、配線パターンにより共通接続され、さ
らにボンディングワイヤー５７ｉによりアース電位に電
気的に接続される。

【００２３】その他の構成については、図２に示した従
来の２段接続型ＳＡＷフィルタと同様であるため、相当
の部分については相当の参照番号を付することとする。
２段接続型多電極ＳＡＷフィルタ４１では、段間接続部
が、上記のように分割ＩＤＴ４４，４６，５１，５３を
用いて構成されているため、ボンディングワイヤーの数
を、５７ａ〜５７ｉの９本にすることができるため、図
２に示した多電極ＳＡＷフィルタ１に比べてボンディン
グワイヤーの数を低減することができる。しかも、段間
接続部においては、図３に示した２段接続型多電極ＳＡ
Ｗフィルタ２１では、ＩＤＴ間の狭い領域において配線
パターンを形成しなければならなかったのに対し、２段
接続型多電極ＳＡＷフィルタ４１では、そのような狭い
領域に配線パターンを形成する必要がないため、配線抵
抗の増大も防止し得る。

【００２４】しかしながら、実際に２段接続型多電極Ｓ
ＡＷフィルタ４１を動作させたところ、挿入損失は十分
に低くはならなかった。これは、ＩＤＴ間の領域が、電
極ランドで埋められていないためと考えられる。そこ
で、図４に示した２段接続型多電極ＳＡＷフィルタ４１
を改良し、ＩＤＴ間を電極ランドでうずめることによ
り、挿入損失の低減を図った。図５は、このような観点
から考案された２段接続型多電極ＳＡＷフィルタ６１を
示す。

【００２５】２段接続型多電極ＳＡＷフィルタ６１で
は、電極ランド７８ａ〜７８ｈがＩＤＴ間に配置され、
それによって挿入損失の低減が図られる。その他の構成
については、図４に示した多電極ＳＡＷフィルタ４１と
同様であるため、相当の部分については相当の参照番号
を付する。

【００２６】しかしながら、２段接続型多電極ＳＡＷフ
ィルタ６１では、上記電極ランド７８ａ〜７８ｈにより
挿入損失の低減を図ろうとしたものであるが、実際に
は、図５の矢印Ｃ〜Ｆで示すＩＤＴ間の領域では、両側
の電極指が異なる電位に接続されるものであるため、電
極ランド７８ａ，７８ｄ，７８ｅ，７８ｈの幅を十分に
広くすることができず、従ってＩＤＴ間の領域をうずめ
きれていない。その結果、ＩＤＴ間の領域をうずめきれ
ない分だけ、挿入損失を低減する効果を十分に得ること
ができなかった。

【００２７】本発明は、上述した図４及び図５に示した
２段接続型多電極弾性表面波フィルタ４１，６１をさら
に改良することにより成されたものである。すなわち、
図５に示した２段接続型多電極ＳＡＷフィルタ６１の欠
点を解消し、ＩＤＴ間の領域を電極ランドにより確実に
うずめ、それによって挿入損失を確実に低減し得ること
を可能としたものである。

【００２８】図１は、本発明の一実施例にかかる２段接
続型多電極ＳＡＷフィルタを示す模式的平面図である。
２段接続型多電極ＳＡＷフィルタ８１は、矩形の圧電基
板８２上に、第１，第２の多電極型ＳＡＷフィルタＡ，
Ｂを構成し、両者を接続した構造を有する。

【００２９】第１の多電極型ＳＡＷフィルタＡでは、表
面波伝播方向に沿って複数のＩＤＴ８３〜８７が併設さ
れている。同様に、第２の多電極型ＳＡＷフィルタＢに
おいても、複数のＩＤＴ９０〜９４が表面波伝播方向に
沿って並べられている。これらのＩＤＴ８３，８７の両
側及びＩＤＴ９０〜９４の両側には、それぞれ、反射器
８８，８９及び反射器９５，９６が配置されている。

【００３０】ＩＤＴ８３，８５，８７は、一方のくし歯
電極の配線パターン１０１により共通接続されており、
入力端とボンディングワイヤー９７ａにより電気的に接
続される。他方、ＩＤＴ８３，８５，８７の他方のくし
歯電極は、それぞれ、ボンディングワイヤー９７ｂ〜９
７ｄによりアース電位に電気的に接続される。同様に、
第２の多電極型ＳＡＷフィルタＢにおいても、ＩＤＴ９
０，９２，９４の一方のくし歯電極が配線パターン１０
２により共通接続され、出力端とボンディングワイヤー
９７ｅにより出力端に電気的に接続される。さらに、Ｉ
ＤＴ９０，９２，９４の他方のくし歯電極は、ボンディ
ングワイヤー９７ｆ〜９７ｈによりアース電位に電気的
に接続される。

【００３１】さらに、段間接続部を構成するためのＩＤ
Ｔ８４，８６，９１，９３は、図５に示した多電極ＳＡ
Ｗフィルタ６１の場合と同様に分割ＩＤＴで構成されて
いる。すなわち、分割ＩＤＴ８４を例にとると、一方の
くし歯電極８４ａと組み合わされるくし歯電極が、表面
波伝播方向に２分割された第１，第２の分割くし歯電極
８４ｂ，８４ｃを有するように構成されている。他の分
割ＩＤＴ８６，９１，９３についても、同様に構成され
ているため、各くし歯電極に相当の参照番号を付するこ
ととする。

【００３２】段間接続部においては、ＩＤＴ８４の第
１，第２の分割くし歯電極８４ｂ，８４ｃが、それぞ
れ、ＩＤＴ９１の第１，第２の分割くし歯電極９１ｂ，
９１ｃと配線パターンにより電気的に接続されている。
同様に、ＩＤＴ８６とＩＤＴ９３との接続部分において
も、第１，第２分割くし歯電極８６ｂ，８６ｃが、第
１，第２分割くし歯電極９３ｂ，９３ｃと、それぞれ、
配線パターンにより電気的に接続されている。他方、各
分割ＩＤＴ８４，８６，９１，９３の分割型ではないく
し歯電極８４ａ，８６ａ，９１ａ，９３ａは、それぞ
れ、表面波伝播方向両端に位置する電極指が、段間接続
部には接続されない電極指とされており、電極ランド９
８ａ，９８ｂ，９８ｃ，９８ｄ，９８ｅ，９８ｆ，９８
ｇ，９８ｈを兼ねるように、相対的に幅が広くされてい
る。すわなち、くし歯電極８０ａ，８６ａ，９１ａ，９
３ａの表面波伝播方向両端の電極指は、他の電極指に比
べて幅が広くされて、上記電極ランド９８ａ〜９８ｈを
構成している。

【００３３】さらに、上記電極ランド９８ａ〜９８ｈに
は、分割ＩＤＴ８４，８６，９１，９３の両側のＩＤＴ
のくし歯電極の表面波伝播方向に沿って端部に位置する
電極指に連ねられている。例えば、電極ランド９８ａを
例にとると、ＩＤＴ８３のくし歯電極８３ｂに電気的に
接続されている。言い換えれば、入出力用ＩＤＴ８３，
８５，８７，９０，９２，９４の表面波伝播方向両端の
電極指がアース電位に接続される側とされており、かつ
上記電極ランド９８ａ〜９８ｈにより、分割ＩＤＴ８
４，８６，９１，９３のアース電位に接続される側のく
し歯電極８４ａ，８６ａ，９１ａ，９３ａと電気的に接
続されている。

【００３４】上記電極ランド９８ａ〜９８ｈの両側に位
置する電極指がいずれもアース電位に接続される側と電
極指とされているため、図示のように、電極ランド９８
ａ〜９８ｈは、両側のＩＤＴ間の隙間を完全に埋めきる
ように形成されている。よって、本実施例の２段接続型
多電極ＳＡＷフィルタでは、上記電極ランド９８ａ〜９
８ｈが、両側のＩＤＴ間の間隙を埋めきるように形成さ
れているため、挿入損失が効果的に低減されている。

【００３５】第１，第２の分割くし歯電極８４ｂ，８４
ｃは、アース電位に対して平衡とされており、接続部に
接続されないくし歯電極８４ａの電極指がＩＤＴの表面
波伝播方向両端に位置するようにされているため、くし
歯電極８４ａをアース電位に電気的に接続する側とする
ことが可能とされている。従って、ＩＤＴ８４のＩＤＴ
８３，８５との間の間隙を、上記電極ランド９８ａ，９
８ｂで埋めきることが可能とされている。

【００３６】なお、上記電極ランド９８ａ〜９８ｈは、
電流が流れる部分ではないため、配線抵抗については問
題とはならない。しかも、段間接続部においては、上述
した配線パターンにより分割ＩＤＴの第１，第２のくし
歯電極間を電気的に接続するだけであるため、段間接続
部における配線パターンの抵抗が増大することもない。

【００３７】なお、コイルやコンデンサでインピーダン
ス整合を行う必要のない、例えば５０Ω系で使用し得る
ＳＡＷフィルタでは、電極のインピーダンスは純抵抗で
ある５０Ωに近い。このようなＳＡＷフィルタにおい
て、ＩＤＴを上記のように分割直列接続型とした場合、
電極インピーダンスは５０Ωからずれるが、インピーダ
ンスについては、純抵抗にに近く、上記のように２段接
続する妨げとはならない。

【００３８】なお、上記実施例では、段間接続に用いる
ＩＤＴのみを直列接続型の分割ＩＤＴで構成したが、入
出力側ＩＤＴも分割ＩＤＴで構成してもよい。さらに、
各ＩＤＴについては、公知の重み付けを施してもよい。
さらに、上記反射器８８，８９，９５，９６は必ずしも
設けずともよく、さらに第１，第２の弾性表面波フィル
タにおけるＩＤＴの数についても、３以上であれば任意
の数とすることができる。また、上記実施例は、２段接
続型多電極ＳＡＷフィルタについて示したが、遅延線型
のＳＡＷ発振子として使用することもできる。

【００３９】

【発明の効果】本発明によれば、段間接続部のＩＤＴが
分割ＩＤＴで構成されており、第１，第２の分割くし歯
電極が、アース電位に接続される他方のくし歯電極に対
して平衡とされており、前記分割ＩＤＴの表面波伝播方
向両端に位置する電極指が段間接続部分には接続され
ず、ＩＤＴ間を埋めるように形成された電極ランドに電
気的に接続されており、かつ入出力用ＩＤＴの表面波伝
播方向の両端に位置する電極指も上記電極ランドに電気
的に接続されるように構成されている。従って、各ＩＤ
Ｔ間の領域を電極ランドに埋めきることができるため、
挿入損失が効果的に低減される。

【００４０】しかも、段間接続部分については、第１，
第２の分割くし歯電極を相互に電気的に接続することに
より段間の接続が行われることになるため、段間接続部
に必要なボンディングワイヤーの数を効果的に低減する
ことができる。よって、使用に際してボンディングワイ
ヤーの接続作業を簡略化することができるため、弾性表
面波装置の信頼性及び生産性も高め得る。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例の２段接続型多電極弾性表面波フィルタ
を模式的に示す平面図。

【図２】従来の２段接続型多電極弾性表面波フィルタの
一例を示す模式的平面図。

【図３】従来の２段接続型多電極弾性表面波フィルタの
他の例を示す模式的平面図。

【図４】本発明をなす契機となった２段接続型多電極弾
性表面波フィルタの一例を示す模式的平面図。

【図５】本発明をなす契機となった２段接続型多電極弾
性表面波フィルタの他の例を示す模式的平面図。

【符号の説明】

８１…２段接続型多電極弾性表面波フィルタ８２…圧電基板８３，８５，８７，９０，９２，９４…入出力用ＩＤＴ８４，８６，９１，９３…分割ＩＤＴ８４ａ，８６ａ，９１ａ，９３ａ…くし歯電極８４ｂ，８４ｃ，８６ｂ，８６ｃ，９１ｂ，９１ｃ，９
３ｂ，９３ｃ…第１，第２の分割くし歯電極９８ａ〜９８ｈ…電極ランド

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】圧電基板上に、第１，第２の多電極型弾
性表面波フィルタを構成し、第１，第２の多電極型弾性
表面波フィルタ間を接続してなる２段接続型多電極弾性
表面波装置において、前記第１，第２の多電極型弾性表面波フィルタの互いに
接続される部分のインターデジタルトランスデューサ
が、一方のくし歯電極を表面波伝播方向に２分割した第
１，第２の分割くし歯電極とした構造を有する直列接続
型の分割インターデジタルトランスデューサにより構成
されており、第１，第２の分割くし歯電極が、アース電位に接続され
る他方のくし歯電極に対して平衡とされており、前記分割インターデジタルトランスデューサの表面波伝
播方向両端に位置する電極指が、段間の接続部分に接続
されない電極指とされており、入出力用インターデジタルトランスデューサの表面波伝
播方向両端の電極指がアース電位に接続される側とされ
ており、入出力インターデジタルトランスデューサと前記分割イ
ンターデジタルトランスデューサの間を埋めるように形
成されており、かつ前記電極指より相対的に幅の広い電
極ランドを介して、前記入出力用インターデジタルトラ
ンスデューサの表面波伝播方向両端の電極指が、前記分
割インターデジタルトランスデューサのアース電位に接
続される側のくし歯電極に電気的に接続されていること
を特徴とする、２段接続型多電極弾性表面波フィルタ。