JP4292937B2

JP4292937B2 - 弾性表面波フィルタ装置

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Publication number: JP4292937B2
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Inventors: 俊成是枝
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Publication date: 2009-07-08
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Description

本発明は、第１，第２の弾性表面波フィルタ素子が圧電基板上において縦続接続されており、かつ一対の平衡入力端子及び一対の平衡出力端子を有する弾性表面波フィルタ装置に関し、より詳細には、第１，第２の弾性表面波フィルタ素子を電気的に接続している部分の構造が改良された弾性表面波フィルタ装置に関する。

従来、複数の弾性表面波フィルタ素子を圧電基板上において接続してなる多段構成の弾性表面波フィルタ装置が種々提案されている。例えば、下記の特許文献１には、多段接続型のＳＡＷ多重モードフィルタが開示されている。図６〜図８は、特許文献１に開示されている２段接続型のＳＡＷ２重モードフィルタを示す各模式的平面図である。

図６に示す２重モードフィルタ１０１では、圧電基板１０２上に第１のＳＡＷ２重モードフィルタ素子１０３と、第２のＳＡＷ２重モードフィルタ素子１０４とが構成されている。第１の２重モードＳＡＷフィルタ素子１０３は、表面波伝搬方向に直交する方向に配置されたインターデジタルトランスデューサ１０３ａ，１０３ｂを有する。インターデジタルトランスデューサ１０３ａ，１０３ｂの表面波伝搬方向両側には、それぞれ、反射器１０３ｃ，１０３ｄ，１０３ｅ，１０３ｆが配置されている。ＳＡＷ２重モードフィルタ素子１０４も、ＳＡＷ２重モードフィルタ素子１０３と同様に構成されている。ＳＡＷ２重モードフィルタ素子１０３，１０４を接続するために、接続用電極１０５が設けられている。接続用電極１０５は、屈曲部１０５ａを有する。

そして、接続用電極１０５の両側に、アース電位に接続されるシールド電極１０６，１０７，１０８，１０９が配置されている。シールド電極１０６，１０９は、端部１０６ａ，１０９ａが、接続用電極１０５の屈曲により生じた凹部に入り込むように延ばされている。シールド電極１０６，１０９の端部１０６ａ，１０９ａが、ＳＡＷ２重モードフィルタ素子１０３，１０４を結ぶ方向において重なり合うように配置されているため、第１，第２の２重モードＳＡＷフィルタ素子１０３，１０４間における直達波の伝搬を効果的に抑制し得るとされている。

特許文献１に記載の発明では、上記シールド電極１０６，１０９のように、第１，第２のＳＡＷ２重モードフィルタ素子間の直達波の伝搬を抑制するために、シールド電極が第１，第２のＳＡＷ２重モードフィルタ素子間を結ぶ方向において重なり合うように配置されている。このような構造の変形例は、図７及び図８のＳＡＷ２重モードフィルタ装置１１１，１１２においても示されている。すなわち、図７に示すＳＡＷ２重モードフィルタ装置１１１では、シールド電極１１３，１１４の端部が接続用電極１０５の屈曲により生じた凹部に入り込むように延ばされており、各シールド電極１１３，１１４が第１，第２のＳＡＷ２重モードフィルタ素子１０３，１０４を結ぶ方向において重なり合うように配置されている。

図８に示すＳＡＷ２重モードフィルタ装置１１２においても、シールド電極１１５，１１６の端部が接続用電極１０５の屈曲により生じた凹部に入り込むように形成されており、シールド電極１１５，１１６が第１，第２のＳＡＷ２重モードフィルタ素子を結ぶ方向において重なり合うように配置されている。なお、ＳＡＷ２重モードフィルタ装置１１２では、シールド電極１１５，１１６は、独立にアース電位に接続されている。

他方、下記の特許文献２には、図９に示す弾性表面波フィルタ装置１２１が開示されている。弾性表面波フィルタ装置１２１では、圧電基板１２２上において、第１の弾性表面波フィルタ素子１２３及び第２の弾性表面波フィルタ素子１２４が構成されている。第１，第２の弾性表面波フィルタ素子１２３，１２４は、上記特許文献１に記載のＳＡＷ２重モードフィルタ素子１０３，１０４と同様に構成されている。もっとも、弾性表面波フィルタ装置１２１では、接続用電極１２５は、第１，第２の弾性表面波素子１２３，１２４を結ぶ方向において直線状に延ばされている。また、接続用電極１２５の両側に、シールド電極１２６，１２７が形成されている。
特開昭６２−６１４１３号特開平１１−３０８０７２号

特許文献１に記載の構成では、第１，第２のＳＡＷ２重モードフィルタ素子１０３，１０４間における直達波の伝搬を抑制し、良好な特性を得るために、接続用電極１０５の両側のシールド電極１０６，１０９などが、第１，第２の２重モードＳＡＷフィルタ素子１０３，１０４を結ぶ方向において重なり合うように配置されている。そして、シールド電極同士を第１，第２のＳＡＷ２重モードフィルタ素子を結ぶ方向において重なり合うように配置することを可能とするために、接続用電極１０５が屈曲されている。

従って、接続用電極１０５の長さが長くならざるを得なかった。そのため、接続用電極１０５による抵抗分が増大し、帯域内損失が悪化するという問題があった。

他方、特許文献２に記載されている弾性表面波フィルタ装置１２１では、接続用電極１２５は直線状とされており、その長さは短くされている。しかしながら、シールド電極１２６，１２７が接続用電極１２５を隔てて配置されている。言い換えれば、シールド電極１２６とシールド電極１２７との間の間隔は、接続用電極１２５の幅方向寸法よりも大きくされている。そのため、第１，第２のＳＡＷフィルタ素子１２３，１２４間における直達波の伝搬を効果的に抑制することが困難であった。

加えて、特許文献１，２に記載の構成は、いずれも、１つの入力端子と１つの出力端子とを有する多段接続型の弾性表面波フィルタ装置における段間接続部のシールドパターンが改良された構造に関するものである。

近年、電子機器においては、平衡入出力構成を有する弾性表面波フィルタ装置が求められており、このような平衡入出力端子を有する弾性表面波フィルタ装置が種々提案されている。このような平衡入出力端子電極を有する多段接続型の弾性表面波フィルタ装置においても、接続部のシールド構造の改善によりフィルタ特性の向上を図ることが望まれている。

本発明の目的は、上述した従来技術の現状に鑑み、平衡入出力端子電極を有する複数段構成の弾性表面波フィルタ装置において、段間接続用の接続用電極の長さをさほど長くすることなく、直達波の伝搬を効果的に抑制することができる構造を備えた弾性表面波フィルタ装置を提供することにある。

本発明に係る弾性表面波フィルタ装置は、圧電基板と、前記圧電基板上に構成された第１の弾性表面波フィルタ素子と、前記圧電基板上に構成された第２の弾性表面波フィルタ素子と、前記第１，第２の弾性表面波フィルタ素子を縦続接続している接続用電極と、前記第１の弾性表面波フィルタ素子に接続された第１，第２の平衡入力端子電極と、前記第２の弾性表面波フィルタ素子に接続された第１，第２の平衡出力端子電極と、前記接続用電極の両側に配置された第１，第２のシールド電極とを備え、前記接続用電極が、第１の弾性表面波フィルタ素子に接続されておりかつ第１，第２の弾性表面波フィルタ素子を結ぶ方向に延びる第１の電極部分と、前記第１の電極部分に連ねられており、かつ前記第１，第２の弾性表面波フィルタ素子を結ぶ方向と交差する方向であって、第１のシールド電極から遠ざかる方向に延びる第２の電極部分と、第２の電極部分に連ねられており、第１の電極部分よりも第２のシールド電極側に配置されておりかつ前記第１，第２の弾性表面波フィルタ素子を接続する方向に延びる第３の電極部分とを有し、前記第１のシールド電極が、前記接続用電極の第１のシールド電極側端縁に近接するように延ばされており、前記第２のシールド電極が、前記接続用電極の第２のシールド電極側端縁に近接するように延ばされており、前記第１，第２のシールド電極が前記第１，第２の弾性表面波フィルタ素子を結ぶ方向において重なり合わないように配置されていることを特徴とする。

本発明に係る弾性表面波フィルタ装置のある特定の局面では、前記第１の平衡入力端子電極と、前記第２の平衡出力端子電極とが、前記第１，第２の弾性表面波フィルタ素子間の領域において、第１，第２のシールド電極が設けられている部分の表面波伝搬方向外側に配置されている。

本発明に係る弾性表面波フィルタ装置の他の特定の局面では、前記第１，第２の平衡入力端子電極及び第１，第２の平衡出力端子電極が、前記第１，第２の弾性表面波フィルタ素子間の領域及び該領域の表面波伝搬方向外側の領域には配置されておらず、前記第１の平衡入力端子電極が、前記第１，第２の弾性表面波フィルタ素子間の中心を通り、かつ第１，第２の弾性表面波フィルタ素子を結ぶ方向と直交する方向に延びる仮想中心線の一方側に、前記第２の平衡出力端子電極が該仮想中心線の他方側に配置されており、前記第１の平衡入力端子電極と第１の弾性表面波フィルタ素子とを接続する第１の配線電極と、前記第２の平衡出力端子電極と前記第２の弾性表面波フィルタ素子とを接続している第２の配線電極とをさらに備える。

本発明に係る弾性表面波フィルタ装置のさらに他の特定の局面では、前記各シールド電極の面積が、前記第１，第２の平衡入力端子電極または第１，第２の平衡出力端子電極の面積の３／１０以上とされている。

本発明に係る弾性表面波フィルタ装置のさらに別の特定の局面では、前記第１，第２の弾性表面波フィルタ素子が、表面波伝搬方向に沿って配置された第１，第２のインターデジタルトランスデューサと、第１，第２のインターデジタルトランスデューサの設けられている領域の表面波伝搬方向両側に配置された第１，第２の反射器とを有する縦結合共振子型弾性表面波フィルタ素子である。

本発明に係る弾性表面波フィルタ装置のさらに別の特定の局面では、前記第１，第２の平衡入力端子電極が、前記第１の弾性表面波フィルタ素子の第１のインターデジタルトランスデューサに接続されており、前記第１，第２の平衡出力端子電極が、前記第２弾性表面波フィルタ素子の第２のインターデジタルトランスデューサに電気的に接続されており、前記第１の弾性表面波フィルタ素子の第２のインターデジタルトランスデューサと、前記第２の弾性表面波フィルタ素子の第１のインターデジタルトランスデューサとが前記接続用電極により電気的に接続されている。

本発明に係る弾性表面波フィルタ装置のさらに他の特定の局面では、前記接続用電極の第２の電極部分が、前記第１，第２の弾性表面波フィルタ素子を結ぶ方向と直交する方向に延びている。

本発明に係る弾性表面波フィルタ装置のさらに別の特定の局面では、前記接続用電極の第２の電極部分が、前記第１，第２の弾性表面波フィルタ素子を結ぶ方向に斜目に交差するように延びている。

本発明に係る弾性表面波フィルタ装置では、接続用電極は、接続方向に延びる第１，第３の電極部分と、第１，第３の電極部分間に配置された第２の電極部分とを有し、第２の電極部分が接続方向と交差するように延びている。そして、第１，第２のシールド電極が、上記接続用電極の端縁に沿うように配置されており、かつ第１，第２のシールド電極が上記接続方向において重なり合わないように配置されている。従って、接続用電極の長さをさほど長くすることなく、すなわち接続用電極による抵抗分の増大をまねくことなく、第１，第２の弾性表面波フィルタ素子間の直達波の伝搬を効果的に抑制することができる。

よって、平衡入出力端子電極を備える複数段構成の弾性表面波フィルタ装置において、挿入損失の劣化をまねくことなく、直達波による帯域外減衰量の劣化を防止することができ、良好なフィルタ特性を有する弾性表面波フィルタ装置を提供することが可能となる。

第１の平衡入力端子電極と、第２の平衡出力端子電極とが、段間接続部において、第１，第２のシールド電極が設けられている部分の表面波伝搬方向外側に配置されている場合には、チップサイズの大型化をまねくことなく、本発明の弾性表面波フィルタ装置を構成することができる。

第１，第２の平衡入力端子電極及び第１，第２の平衡出力端子電極が、段間接続部の表面波伝搬方向外側の領域に配置されておらず、第１の平衡入力端子電極が、第１，第２の弾性表面波フィルタ素子間の中心に対して、第２の平衡出力端子電極と対向するように配置されており、第１の平衡入力端子電極が、第１の配線電極により第１の弾性表面波フィルタ素子と接続されており、第２の平衡出力端子電極が第２の配線電極により第２の弾性表面波フィルタ素子に電気的に接続されている場合には、チップサイズの大型化をまねくものの、第１の平衡入力端子電極と第２の平衡出力端子電極との距離が増大するため、両者の間の直達波の伝搬も効果的に抑制される。従って、帯域外減衰量をより一層拡大することが可能となる。

各シールド電極の面積が、平衡入出力端子電極の面積の３／１０以上である場合には、帯域外減衰量をより一層改善することが可能となる。

第１，第２の弾性表面波フィルタ素子が、第１，第２のインターデジタルトランスデューサと、第１，第２のインターデジタルトランスデューサの設けられている領域の表面波伝搬方向外側に配置された第１，第２の反射器とを有する縦結合共振子型弾性表面波フィルタ素子である場合には、本発明に従って低損失であり、かつ帯域外減衰量が改善された縦結合共振子型の複数段構成の弾性表面波フィルタ装置を提供することが可能となる。

以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。

図１は、本発明の第１の実施形態に係る弾性表面波フィルタ装置を示す模式的平面図である。弾性表面波フィルタ装置１は、圧電基板２を用いて構成されている。圧電基板２は、ＬｉＮｂＯ₃、ＬｉＴａＯ₃もしくは水晶などの圧電単結晶あるいは圧電セラミックスにより構成され得る。

圧電基板２の上面２ａには、第１，第２の弾性表面波フィルタ素子３，４が構成されている。第１，第２の弾性表面波フィルタ素子３，４は、縦結合共振子型弾性表面波共振子フィルタとして構成されている。すなわち、弾性表面波フィルタ素子３は、表面波伝搬方向に沿って配置された第１，第２のインターデジタルトランスデューサ（以下、ＩＤＴ）５，６を有する。各ＩＤＴ５，６は、互いに間挿し合う複数本の電極指を有する。

ＩＤＴ５，６が設けられている領域の表面波伝搬方向両側には、第１，第２の反射器７，８が配置されている。

同様に、第２の弾性表面波フィルタ素子４も、第１，第２のＩＤＴ９，１０及び第１，第２の反射器１１，１２を有する。

第１の弾性表面波フィルタ素子３の第１のＩＤＴ５の一方のバスバー５ａが第１の平衡入力端子電極１３に電気的に接続されている。また、第１のＩＤＴ５の他方のバスバー５ｂに第２の平衡入力端子電極１４が電気的に接続されている。本実施形態では、バスバー５ａが、段間部、すなわち第１，第２の弾性表面波フィルタ素子３，４の接続部分側に位置している。そして、第１の平衡入力端子電極１３は、この段間部において、段間部の表面波伝搬方向外側に配置されている。

他方、第２のＩＤＴ６の一方のバスバー６ｂは、アース電位に接続される。また、第２のＩＤＴ６の他方のバスバー６ａは、接続用電極１５の一端に接続されている。接続用電極１５の他端は、第２の弾性表面波フィルタ素子４の第１のＩＤＴ９の一方のバスバー９ｂに電気的に接続されている。第１のＩＤＴ９の他方のバスバー９ａは、アース電極１６に電気的に接続されている。また、第２の弾性表面波フィルタ素子４では、第２のＩＤＴ１０の一方のバスバー１０ａが、第１の平衡出力端子電極１７に接続されており、他方のバスバー１０ｂが、第２の平衡出力電極１８に電気的に接続されている。第２の平衡出力端子電極１８は、段間部の表面波伝搬方向外側の領域に配置されている。

さらに、段間部においては、接続用電極１５の両側に、第１，第２のシールド電極２１，２２が配置されている。

圧電基板２上に形成されている上述した各種電極は、Ａｌ、Ｃｕなどの適宜の金属もしくは合金により構成され得る。

本実施形態の弾性表面波フィルタ装置１の特徴は、第１，第２の弾性表面波フィルタ素子３，４を接続している接続用電極１５は、第１，第２の弾性表面波フィルタ素子３，４を結ぶ方向（以下、この方向を接続方向と略す）に延びる第１の電極部分１５ａ，接続方向と直交する方向に延びる第２の電極部分１５ｂ及び接続方向に延びる第３の電極部分１５ｃを有し、この接続電極１５の形状に応じて第１，第２のシールド電極２１，２２の形状が工夫されていることにある。

すなわち、第１の電極部分１５ａは、第１の弾性表面波フィルタ素子３の第２のＩＤＴ６のバスバー６ａに接続されている部分であり、第１のシールド電極２１側に配置されている。第２の電極部分１５ｂは、第１の電極部分１５ａに連ねられており、上記接続方向と直交する方向に延びている。そして、第２の電極部分１５ｂの他端が、第３の電極部分１５ｃに連ねられている。第３の電極部分１５ｃは、上記接続方向に伸び、かつ第２のシールド電極２２側に配置されている。

言い換えれば、第２の電極部分１５ｂは、第１の電極部分１５ａの先端から、第１のシールド電極２１から遠ざかる方向に上記接続方向と交差する方向に延ばされている。

そして、第１のシールド電極２１の接続用電極１５側に延びている端部２１ａは、第３の電極部分１５ａの第１のシールド電極２１側の端縁に近接するように延ばされている。同様に、第２のシールド電極２２の接続用電極１５側の端部２２ａは、第１の電極部分１５ａの第２のシールド電極２２側の端縁に近接するように延ばされている。

すなわち、第１，第２のシールド電極２１，２２の接続用電極１５側の端縁は、接続用電極１５の各端縁に沿うように近接配置されている。

また、第１，第２のシールド電極２１，２２は、接続方向において重なり合わないように配置されている。本実施形態では、第１のシールド電極２１の端部２１ａと、第２のシールド電極２２の端部２２ａとが、上記のように接続方向において重なり合わないように配置されている。従って、上記第２の電極部分１５ｂの長さ、すなわち上記接続方向と直交する方向の長さをさほど長くせずともよい。よって、接続用電極１５の長さを、特許文献１に記載の接続用電極１０５に比べて短くし得るため、接続用電極１５による抵抗分の増大を抑制することができる。

加えて、第１，第２のシールド電極２１，２２の端部２１ａ，２２ａが、それぞれ、接続用電極１５の第３の電極部分１５ｃの第１のシールド電極側端縁及び第１の電極部分１５ａの第２のシールド電極側端縁に近接するように延ばされているため、第２の弾性表面波フィルタ素子３，４間における直達波の伝搬を効果的に抑制することができる。

よって、本実施形態によれば、一対の平衡入力端子電極及び一対の平衡出力端子電極を有する複数段構成の弾性表面波フィルタ装置において、帯域内損失の劣化をまねくことなく、直達波の伝搬による周波数特性の劣化を効果的に抑制することができる。

図２は本発明の第２の実施形態に係る弾性表面波フィルタ装置を示す模式的平面図である。弾性表面波フィルタ装置３１では、第１，第２のシールド電極４１，４２が、第１，第２の弾性表面波フィルタ素子３，４間の領域を埋めるように形成されていること、並びに第１の平衡入力端子電極３３及び第２の平衡出力端子電極３８が、段間接続部の表面波伝搬方向外側の領域外に配置されていることを除いては、第１の実施形態の弾性表面波フィルタ装置１と同様に構成されている。

すなわち、第１の平衡入力端子電極３３は、第１，第２の弾性表面波フィルタ素子３，４の接続方向中心を通る仮想中心線Ａよりも第２の弾性表面波フィルタ素子４側に配置されている。また、第２の平衡出力端子電極３８は、上記仮想中心線よりも第１の弾性表面波フィルタ素子３側に配置されている。

本実施形態では、上記第１の平衡入力端子電極３３及び第２の平衡出力端子電極３８は、上記仮想中心線を介して対向するように配置されている。

また、第１の平衡入力端子電極３３は、第１の配線電極３４を介して、第１のＩＤＴ５のバスバー５ａに電気的に接続されている。また、第２の平衡出力端子電極３８は、第２の配線電極３９により、第２の弾性表面波フィルタ素子４の第２のＩＤＴ１０のバスバー１０ｂに電気的に接続されている。

上記第１，第２の配線電極３４，３９は、図示のように、段間接続部の表面波伝搬方向両側に配置されている。

本実施形態でも、接続用電極１５及び第１，第２のシールド電極４１，４２が、第１の実施形態と同様に構成されているため、接続用電極の長さをさほど長くせずとも、第１，第２のシールド電極４１，４２により直達波の伝搬を効果的に抑制することができる。

従って、第１の実施形態の場合と同様に、直達波によるフィルタ特性の劣化が生じ難い、良好なフィルタ特性を有する、しかも平衡入出力端子を有する多段接続型の弾性表面波フィルタ装置を提供することができる。

第２の実施形態の弾性表面波フィルタ装置３１では、第１の平衡入力端子電極３３及び第２の平衡出力端子電極３８が上記のように配置されているため、第１の弾性表面波フィルタ装置１に比べてチップサイズが大きくなるという問題が存在する。しかしながら、チップサイズに余裕がある場合には、第２の実施形態のように構成されてもよく、その場合であっても、第１の実施形態の弾性表面波フィルタ装置１と同様に、接続用電極１５による抵抗の増大をまねくことなく、直達波によるフィルタ特性の劣化を抑制することができる。

しかも、第１の平衡入力端子電極３３と、第２の平衡出力端子電極３８とが上記のように仮想中心線を介して対向されているため、両者の距離が隔てられている。従って、第１の平衡入力端子電極３３と第２の平衡出力端子電極３８との距離が大きくなることにより、平衡端子電極間に伝搬する直達波をより一層効果的に抑制することができる。

従って、第１の実施形態の弾性表面波フィルタ装置１と、第２の実施形態の弾性表面波フィルタ装置３１とを比較した場合、相当の構成においては、帯域外減衰量は、第２の実施形態の弾性表面波フィルタ装置の方がより効果的に改善され得ることが本願発明者の実験により確かめられている。

なお、第２の実施形態では、第１，第２の配線電極３４，３９は、第１，第２のシールド電極４２，４３が設けられている領域の表面波伝搬方向外側に配置されていたが、図３に示す変形例から明らかなように、第１，第２の配線電極３４Ａ，３９Ａはシールド電極４１，４２が設けられている領域の表面波伝搬方向外側に配置されておらずともよい。

すなわち、図３に示す変形例では、配線電極３４Ａ，３９Ａは、それぞれ、電気的に接続されているバスバー５ａ，１０ｂから、表面波伝搬方向と直交する方向において上記仮想線Ａとは反対側に延ばされている。このように、配線電極３４Ａ，３９Ａは、段間接続部側に延ばされておらずともよい。

また、図２から明らかなように、第１の平衡入力端子電極３３及び第２の平衡出力端子電極３８が、上記のように段間接続部外に配置されているため、シールド電極４２，４３の面積を大きくすることができ、それによって帯域外減衰量をより一層改善することも可能である。

本発明においては、上記のように段間接続部に設けられた第１，第２のシールド電極の面積を、平衡入出力端子電極の面積の３／１０以上とすることが好ましく、それによって、帯域外減衰量をより一層低減することができる。これを、図４を参照して説明する。

図４の横軸は、図１に示した実施形態の弾性表面波フィルタ装置１におけるシールド電極２１，２２の面積と、平衡入出力端子電極の面積との比を示し、縦軸は帯域外減衰量変化量を示す。なお、帯域外減衰量変化量とは、シールド電極を設けない場合の帯域外減衰量に対してシールド電極２１，２２を配置した場合の帯域外減衰量の変化量を意味する値である。

図４から明らかなように、シールド電極２１，２２の面積と、平衡入出力端子電極の面積との比を、０．３以上、すなわち３／１０以上とすれば、帯域外減衰量が２．５ｄＢ以上に改善され得ることがわかる。なお、この実験例では、弾性表面波フィルタ装置１として、水晶基板を用い、中心周波数２４３．９５ＭＨｚの弾性表面波フィルタ装置１を構成した場合の結果である。

このように、上記電極面積比を３／１０以上としたことにより、帯域外減衰量が効果的に改善され得るのは、第１，第２の弾性表面波フィルタ素子３，４間で発生する直達波の伝搬が抑制され得るだけでなく、入出力平衡化に対応するために必要な平衡入出力端子電極間の直達波の伝搬も効果的に抑制されるためと考えられる。

従って、本発明においては、一対の平衡入力端子電極及び一対の平衡出力端子電極を有する多段接続型の弾性表面波フィルタ装置において、第１，第２のシールド電極の面積を、平衡入出力端子電極の面積の０．３以上とすることにより、平衡入力端子電極と平衡出力端子電極との間の直達波の伝搬をも効果的に抑制することができ、より一層良好なフィルタ特性を得ることができる。

図５は、本発明の弾性表面波フィルタ装置の変形例を示す模式的平面図である。

図５に示す弾性表面波フィルタ装置５１は、図１に示した弾性表面波フィルタ装置１の変形例である。異なるところは、弾性表面波フィルタ装置５１では、接続用電極５５が、第１の電極部分５５ａと第３の電極部分５５ｃとの間の第２の電極部分５５ｂが、上記接続方向に対して斜目に交差するように、かつ第１のシールド電極２１から遠ざかる方向に延ばされていることにある。そのため、第１，第２のシールド電極２１，２２の第２の電極部分５５ｂに近接している端縁は、第２の電極部分５５ｂと同様に、上記接続方向に対して斜目方向に延ばされている。その他の点については、弾性表面波フィルタ装置５１は、弾性表面波フィルタ装置１と同様に構成されている。

このように、本発明においては、接続用電極の第２の電極部分は、接続方向と必ずしも直交しておらずともよい。

さらに、第１，第２のシールド電極は、ＩＤＴや反射器とは別に、独立にアース電位に接続されてもよい。

また、上述した実施形態及び変形例では、第１，第２の弾性表面波フィルタ素子は縦結合共振子型弾性表面波フィルタ素子であったが、他の構造の弾性表面波フィルタ素子を用いてもよい。さらに、第１，第２の弾性表面波フィルタ素子に加えて、さらに１以上の弾性表面波フィルタ素子が縦続接続されてもよい。

本発明の第１の実施形態に係る弾性表面波フィルタ装置の平面図。本発明の第２の実施形態に係る弾性表面波フィルタ装置の平面図。第２の実施形態の弾性表面波フィルタ装置の変形例の平面図。第１の実施形態の弾性表面波フィルタ装置において、シールド電極の面積と平衡入出力端子電極の面積との比を変化させた場合の帯域外減衰量変化量の変化を示す図。本発明の第１の実施形態の変形例の弾性表面波フィルタ装置を示す平面図。従来の弾性表面波フィルタ装置の一例を示す平面図。従来の弾性表面波フィルタ装置の他の例を示す平面図。従来の弾性表面波フィルタ装置のその他の例を示す平面図。従来の弾性表面波フィルタ装置のさらに他の例を示す平面図。

符号の説明

１…弾性表面波フィルタ装置
２…圧電基板
３，４…第１，第２の弾性表面波フィルタ素子
５，６…第１，第２のＩＤＴ
７，８…第１，第２の反射器
９，１０…第１，第２のＩＤＴ
１１，１２…第１，第２の反射器
１３，１４…第１，第２の平衡入力端子電極
１５…接続用電極
１５ａ〜１５ｃ…第１〜第３の電極部分
１６…アース電極
１７，１８…第１，第２の平衡出力端子電極
２１，２２…第１，第２のシールド電極
３１…弾性表面波フィルタ装置
３３…第１の平衡入力端子電極
３４，３４Ａ…第１の配線電極
３８…第２の平衡出力端子電極
３９，３９Ａ…第２の配線電極
４２，４３…第１，第２のシールド電極
５１…弾性表面波フィルタ装置
５５…接続用電極
５５ａ，５５ｃ…第１，第３の電極部分
５５ｂ…第２の電極部分

Claims

圧電基板と、
前記圧電基板上に構成された第１の弾性表面波フィルタ素子と、
前記圧電基板上に構成された第２の弾性表面波フィルタ素子と、
前記第１，第２の弾性表面波フィルタ素子を縦続接続している接続用電極と、
前記第１の弾性表面波フィルタ素子に接続された第１，第２の平衡入力端子電極と、前記第２の弾性表面波フィルタ素子に接続された第１，第２の平衡出力端子電極と、
前記接続用電極の両側に配置された第１，第２のシールド電極とを備え、
前記接続用電極が、第１の弾性表面波フィルタ素子に接続されておりかつ第１，第２の弾性表面波フィルタ素子を結ぶ方向に延びる第１の電極部分と、前記第１の電極部分に連ねられており、かつ前記第１，第２の弾性表面波フィルタ素子を結ぶ方向と交差する方向であって、第１のシールド電極から遠ざかる方向に延びる第２の電極部分と、第２の電極部分に連ねられており、第１の電極部分よりも第２のシールド電極側に配置されておりかつ前記第１，第２の弾性表面波フィルタ素子を接続する方向に延びる第３の電極部分とを有し、
前記第１のシールド電極が、前記接続用電極の第１のシールド電極側端縁に近接するように延ばされており、前記第２のシールド電極が、前記接続用電極の第２のシールド電極側端縁に近接するように延ばされており、前記第１，第２のシールド電極が前記第１，第２の弾性表面波フィルタ素子を結ぶ方向において重なり合わないように配置されている、弾性表面波フィルタ装置。
前記第１の平衡入力端子電極と、前記第２の平衡出力端子電極とが、前記第１，第２の弾性表面波フィルタ素子間の領域において、第１，第２のシールド電極が設けられている部分の表面波伝搬方向外側に配置されている、請求項１に記載の弾性表面波フィルタ装置。
前記第１，第２の平衡入力端子電極及び第１，第２の平衡出力端子電極が、前記第１，第２の弾性表面波フィルタ素子間の領域及び該領域の表面波伝搬方向外側の領域には配置されておらず、前記第１の平衡入力端子電極が、前記第１，第２の弾性表面波フィルタ素子間の中心を通り、かつ第１，第２の弾性表面波フィルタ素子を結ぶ方向と直交する方向に延びる仮想中心線の一方側に、前記第２の平衡出力端子電極が該仮想中心線の他方側に配置されており、
前記第１の平衡入力端子電極と第１の弾性表面波フィルタ素子とを接続する第１の配線電極と、前記第２の平衡出力端子電極と前記第２の弾性表面波フィルタ素子とを接続している第２の配線電極とをさらに備える、請求項１に記載の弾性表面波フィルタ装置。
前記各シールド電極の面積が、前記第１，第２の平衡入力端子電極または第１，第２の平衡出力端子電極の面積の３／１０以上である、請求項１〜３のいずれか１項に記載の弾性表面波フィルタ装置。
前記第１，第２の弾性表面波フィルタ素子が、表面波伝搬方向に沿って配置された第１，第２のインターデジタルトランスデューサと、第１，第２のインターデジタルトランスデューサの設けられている領域の表面波伝搬方向両側に配置された第１，第２の反射器とを有する縦結合共振子型弾性表面波フィルタ素子である、請求項１〜４のいずれかに記載の弾性表面波フィルタ装置。
前記第１，第２の平衡入力端子電極が、前記第１の弾性表面波フィルタ素子の第１のインターデジタルトランスデューサに接続されており、前記第１，第２の平衡出力端子電極が、前記第２弾性表面波フィルタ素子の第２のインターデジタルトランスデューサに電気的に接続されており、前記第１の弾性表面波フィルタ素子の第２のインターデジタルトランスデューサと、前記第２の弾性表面波フィルタ素子の第１のインターデジタルトランスデューサとが前記接続用電極により電気的に接続されている、請求項１〜５のいずれか１項に記載の弾性表面波フィルタ装置。
前記接続用電極の第２の電極部分が、前記第１，第２の弾性表面波フィルタ素子を結ぶ方向と直交する方向に延びている、請求項１〜６のいずれか１項に記載の弾性表面波フィルタ装置。
前記接続用電極の第２の電極部分が、前記第１，第２の弾性表面波フィルタ素子を結ぶ方向に斜目に交差するように延びている、請求項１〜７のいずれか１項に記載の弾性表面波フィルタ装置。