JPWO2008038502A1 - 弾性境界波フィルタ装置 - Google Patents

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毅 山根
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Abstract

通過帯域よりも高域側の周波数域におけるリップルを小さくすることが可能とされている弾性境界波フィルタ装置を提供する。圧電体と、圧電体に積層された誘電体との間の境界に電極構造が設けられており、該境界を伝搬するＳＨ型の弾性境界波を利用した弾性境界波フィルタ装置１００であって、上記電極構造として第１のＩＤＴ１１３と、ＩＤＴ１１３の境界波伝搬方向両側に配置された第２，第３のＩＤＴ１１２，１１４とを有する縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部を有し、２つのＩＤＴが境界波伝搬方向において隣り合っている部分において、ＩＤＴ１１２，１１３に狭ピッチ電極指部１１２Ａ，１１３Ａが設けられており、第１のＩＤＴに設けられて狭ピッチ電極指部１１３Ａの電極指の周期が、第２，第３のＩＤＴ１１２，１１４に設けられた狭ピッチ電極指部１１２Ａ，１１４Ａの電極指の周期と異なっている、弾性境界波フィルタ装置１００。

Description

本発明は、例えば携帯電話機の帯域フィルタなどに用いられる弾性境界波フィルタ装置に関し、より詳細には、複数のＩＤＴが弾性境界波伝搬方向に配置された縦結合共振子型の弾性境界波フィルタ装置に関する。
従来、携帯電話機の帯域フィルタなどに弾性表面波フィルタ装置が広く用いられている。例えば、下記の特許文献１には、図７に示す電極構造を有する弾性表面波フィルタ装置が開示されている。
図７に示す弾性表面波フィルタ装置１００１は、圧電基板１００２を有する。圧電基板１００２上に、図示の電極構造を形成することにより第１，第２の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部１０１１，１０１２が構成されている。縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部１０１１では、中央に第１のＩＤＴ１０１４が、第１のＩＤＴの表面波伝搬方向両側に、第２，第３のＩＤＴ１０１３，１０１５が配置されている。ＩＤＴ１０１３〜１０１５が配置されている領域の表面波伝搬方向両側に、反射器１０１６，１０１７が配置されている。
同様に、第２の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部１０１２においても、中央に配置された第１のＩＤＴ１０１９の表面波伝搬方向両側に第２，第３のＩＤＴ１０１８，１０２０が配置されており、ＩＤＴ１０１８〜１０２０が設けられている領域の両側に反射器１０２１，１０２２が配置されている。第１の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部１０１１の第１のＩＤＴ１０１４の一方端に入力端子が接続されている。ＩＤＴ１０１３，１０１５の一端が第２の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部１０１２の第２，第３のＩＤＴ１０１８，１０２０の一端に信号ラインにより接続されている。第２の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部１０１２の中央の第１のＩＤＴ１０１９の一端が出力端子に接続されている。ＩＤＴ１０１３〜１０１５及びＩＤＴ１０１８〜１０２０の上記入力端子、出力端子及び信号ラインに接続されている端部とは反対側の端部は全てアース電位に接続されている。
弾性表面波フィルタ装置１００１では、ＩＤＴ１０１３〜１０１５及びＩＤＴ１０１８〜１０２０において、表面波伝搬方向において２つのＩＤＴが隣り合っている部分において、各ＩＤＴに狭ピッチ電極指部が設けられている。例えば、ＩＤＴ１０１３を例にとると、ＩＤＴ１０１３のＩＤＴ１０１４側の端部に位置する電極指１０１３ａ及び電極指１０１３ａのすぐ内側に配置されている電極指１０１３ｂを含む部分の電極指ピッチが相対的に狭くされており、それによって狭ピッチ電極指部が構成されている。狭ピッチ電極指部の電極指ピッチは、ＩＤＴ１０１３の狭ピッチ電極指部以外の電極指部の電極指ピッチよりも小さくされている。
縦結合共振子型弾性表面波フィルタ装置１００１では、２つのＩＤＴが隣り合っている部分において各ＩＤＴに狭ピッチ電極指部が設けられているため、通過帯域における挿入損失を低減することができるとされている。
特開２００６−８７１４５号公報
近年、音速が異なる２つの媒質間の境界を伝搬する弾性境界波を利用した弾性境界波フィルタ装置が注目されている。弾性境界波装置の電極構造としては、弾性表面波フィルタ装置の電極構造を適宜利用することができる。
しかしながら、特許文献１に記載のような縦結合共振子型弾性表面波フィルタ装置と同様の電極構造を用いて弾性境界波フィルタ装置を形成した場合、上記狭ピッチ電極指部を設けることにより通過帯域内における挿入損失を低減することはできるものの、通過帯域よりも高域側の周波数域において、所望でない大きなスプリアスの現れることがあった。従って、上記のような構造の弾性境界波フィルタ装置は、通過帯域よりも高域側においてスプリアスの発生が好ましくない用途に用いることはできなかった。
本発明の目的は、上述した従来技術の欠点を解消し、狭ピッチ電極指部を設けることにより通過帯域における挿入損失を低減することができるだけでなく、通過帯域よりも高域側の周波数域における所望でないスプリアスを効果的に小さくすることが可能とされている縦結合共振子型の弾性境界波フィルタ装置を提供することにある。
本発明は、上述した課題を解決するためなされたものであり、本願の第１の発明に係る弾性境界波フィルタ装置は、圧電体と、前記圧電体に積層された誘電体と、前記圧電体と前記誘電体との間の境界に配置された電極構造とを備え、該境界を伝搬するＳＨ型弾性境界波を利用した弾性境界波フィルタ装置であって、前記電極構造は、第１のＩＤＴと、第１のＩＤＴの弾性境界波伝搬方向両側に設けられた第２，第３のＩＤＴとを有し、それによって、縦結合共振子型の弾性境界波フィルタ部が構成されており、第１〜第３のＩＤＴにおいて、２つのＩＤＴが隣り合っている部分において、一方のＩＤＴの他方のＩＤＴ側端部に配置された電極指を含む一部の電極指の周期が、該前記一部に隣接する部分の電極指の周期よりも小さくされており、それによって狭ピッチ電極指部が設けられており、前記第１のＩＤＴに設けられた狭ピッチ電極指部及び前記第２，第３のＩＤＴに設けられた狭ピッチ電極指部の内少なくとも１箇所における電極指の周期が残りの狭ピッチ電極指部の電極指部の周期と異なっていることを特徴とする。
本願の第２の発明に係る弾性境界波フィルタ装置は、圧電体と、前記圧電体に積層された誘電体と、前記圧電体と前記誘電体との間の境界に配置された電極構造とを備え、該境界を伝搬するＳＨ型弾性境界波を利用した弾性境界波フィルタ装置であって、前記電極構造は、第１のＩＤＴと、第１のＩＤＴの弾性境界波伝搬方向両側に配置された第２，第３のＩＤＴとをそれぞれが有する第１，第２の縦結合共振子型フィルタ部を構成しており、前記第１〜第３のＩＤＴにおいて、２つのＩＤＴが隣り合っている部分において、一方のＩＤＴの他方のＩＤＴ側端部に配置された電極指を含む一部の電極指の周期が、該一部の電極指に隣接する部分の電極指の周期よりも小さくされており、それによって狭ピッチ電極指部が形成されており、前記第１の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部における入力信号に対する出力信号の位相に対して、前記第２の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部の入力信号に対する出力信号の位相が１８０°異なるように、第１，第２の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部の第１〜第３のＩＤＴの極性が定められており、不平衡端子と第１，第２の平衡端子とを備え、第１，第２の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部の入力端が不平衡端子に接続されており、第１，第２の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部の出力端が、それぞれ、第１，第２の平衡端子に接続されており、前記第１のＩＤＴの狭ピッチ電極指部及び前記第２，第３のＩＤＴの狭ピッチ電極指部の内少なくとも１箇所における電極指の周期が残りの狭ピッチ電極指部の電極指部の周期と異なっていることを特徴とする。
本願の第３の発明は、圧電体と、前記圧電体に積層された誘電体と、前記圧電体と前記誘電体との間の境界に配置された電極構造とを備え、該境界を伝搬するＳＨ型弾性境界波を利用した弾性境界波フィルタ装置であって、前記電極構造は、第１のＩＤＴと、第１のＩＤＴの弾性境界波伝搬方向両側に配置された第２，第３のＩＤＴとをそれぞれが有する第１，第２の縦結合共振子型フィルタ部を構成しており、前記第１〜第３のＩＤＴにおいて、２つのＩＤＴが隣り合っている部分において、一方のＩＤＴの他方のＩＤＴ側端部に配置された電極指を含む一部の電極指の周期が、該一部の電極指に隣接する部分の電極指の周期よりも小さくされており、それによって狭ピッチ電極指部が形成されており、前記第１の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部における入力信号に対する出力信号の位相に対して、前記第２の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部の入力信号に対する出力信号の位相が１８０°異なるように、第１，第２の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部の第１〜第３のＩＤＴの極性が定められており、不平衡端子と第１，第２の平衡端子とを備え、第１，第２の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部の入力端が不平衡端子に接続されており、第１，第２の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部の出力端が、それぞれ、第１，第２の平衡端子に接続されており、前記第１の縦結合共振子型フィルタ部における第１〜第３のＩＤＴの狭ピッチ電極指部における電極指の周期が等しくされており、前記第２の縦結合共振子型フィルタ部における第１〜第３のＩＤＴの狭ピッチ電極指部における電極指の周期が等しくされており、前記第１の縦結合共振子型フィルタ部における第１〜第３のＩＤＴの狭ピッチ電極指部における電極指の周期と、前記第２の縦結合共振子型フィルタ部における第１〜第３のＩＤＴの狭ピッチ電極指部における電極指の周期が異ならされていることを特徴とする。
第２または第３の発明の弾性境界波フィルタ装置のある特定の局面では、前記第１の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部と同一に設計された第３，第５の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部と、前記第２の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部と同一に設計された第４，第６の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部とをさらに備え、前記第１〜第６の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部の入力端が前記不平衡端子に接続されており、前記第１，第３，第５の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部の出力端が前記第１の平衡端子に接続されており、前記第２，第４，第６の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部の出力端が第２の平衡端子に接続されている。この場合には、第１の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部に並列に第３，第５の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部が接続されており、第２の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部に第４，第６の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部が並列に接続されているので、耐電力性を高めることができ、かつより低損失の弾性境界波フィルタ装置を提供することができる。
第１，第２の発明に係る弾性境界波フィルタ装置では、好ましくは、前記第１のＩＤＴの狭ピッチ電極指部の電極指の本数と、前記第２，第３のＩＤＴにおける狭ピッチ電極指部の電極指の本数とが異なっている。この場合には、ＩＤＴの電極指の本数を調整することによって、上記不要スプリアスをより効果的に低減することが可能となる。
本発明に係る弾性境界波フィルタ装置のさらに他の特定の局面では、前記第１〜第３のＩＤＴが設けられている領域の弾性境界波伝搬方向両側に配置された第４，第５のＩＤＴがさらに備えられており、それによって、５ＩＤＴ型の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部が構成されている。従って、耐電力性をより一層高めることができ、かつ低損失の弾性境界波フィルタ装置を提供することができる。
（発明の効果）
第１の発明に係る弾性境界波フィルタ装置では、第１〜第３のＩＤＴに狭ピッチ電極指部が設けられているので、通過帯域内における挿入損失を低減することが可能となる。加えて、第１〜第３のＩＤＴの狭ピッチ電極指部の内、少なくとも１つの狭ピッチ電極指部の周期が、残りの狭ピッチ電極指部の電極指の周期と異なっているため、少なくとも１つの狭ピッチ電極指部によるフィルタ特性への影響と、残りの狭ピッチ電極指部によるフィルタ特性の影響とが異なることとなるため、通過帯域高域側に現れる所望でないスプリアスを小さくすることができる。
同様に、第２の発明によれば、第１〜第３のＩＤＴをそれぞれ有する第１，第２の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部において、第１〜第３のＩＤＴに狭ピッチ電極指部が設けられているため、通過帯域内における挿入損失を低減することができ、しかも、第１〜第３のＩＤＴの狭ピッチ電極指部の内、少なくとも１つの狭ピッチ電極指部の周期が、残りの狭ピッチ電極指部の電極指の周期と異なっているため、通過帯域よりも高域側に現れる所望でないスプリアスを小さくすることが可能となる。
第１，第２の発明において、第１〜第３のＩＤＴの狭ピッチ電極指部の少なくとも１つの狭ピッチ電極指部の電極指の周期が、残りの狭ピッチ電極指部の周期と異なっていることにより高域側のスプリアスが抑圧されるのは、以下の理由によると考えられる。ＳＨ型の弾性境界波を利用した弾性境界波フィルタ装置では、圧電体のカット角及びＩＤＴの規格化膜厚＝（ＩＤＴの膜厚／ＩＤＴの波長）は、スプリアスとなるストンリー波の電気機械結合係数が小さくなる範囲とされるのが普通である。他方、ＩＤＴの膜厚は一様であり、従って狭ピッチ電極指部を設けた場合であっても狭ピッチ電極指部の膜厚と、ＩＤＴの残りの部分の膜厚は同じ厚さに形成されるのが普通である。その結果、狭ピッチ電極指部の規格化膜厚は、ストンリー波の電気機械結合係数が小さくなる範囲から規格化膜厚が大きい方向にずれることとなる。そのため、狭ピッチ電極指部において、ストンリー波がある強度で受励振されることになり、通過帯域よりも高域側の周波数域に上記のようなスプリアスが現れていると考えられる。
これに対して、本願の第１，第２の発明では、少なくとも１つの狭ピッチ電極指部における電極指の周期が、残りの狭ピッチ電極指部の電極指の周期と異なっているため、少なくとも１つの狭ピッチ電極指部により受励振されるストンリー波と、残りの狭ピッチ電極指部において受励振されるストンリー波の周波数域がずらされることになるため、通過帯域高域側に現れるスプリアスが分散され、それによってスプリアスが小さくされているものと考えられる。
よって、本願の第１，第２の発明によれば、通過帯域よりも高域側の周波数域におけるスプリアスを抑制でき、通過帯域の高域側において大きなスプリアスが現れることが好ましくない用途に好適な弾性境界波フィルタ装置を提供することが可能となる。
第３の発明に係る弾性境界波フィルタ装置では、平衡−不平衡変換機能を有し、第１，第２の縦結合共振子型フィルタ部が、それぞれ第１，第２の平衡端子に接続されている構成において、第１の縦結合共振子型フィルタ部における第１〜第３のＩＤＴの狭ピッチ電極指部の電極指の周期と、第２の縦結合共振子型フィルタ部における第１〜第３のＩＤＴの狭ピッチ電極指部における電極指の周期が異なっているので、通過帯域よりも高域側に表われる所望でないスプリアスを小さくすることが可能となる。すなわち、第１の縦結合共振子型フィルタ部における狭ピッチ電極指部のフィルタ特性への影響と、第２の縦結合共振子型フィルタ部における狭ピッチ電極指部のフィルタ特性への影響が異なるため、高域側におけるスプリアスを分散させて、高域側におけるスプリアスを小さくすることが可能とされている。
図１は、本発明の第１の実施形態に係る弾性境界波フィルタ装置の電極構造を示す模式的平面図である。 図２は、本発明の第１の実施形態の弾性境界波フィルタ装置の模式的正面断面図である。 図３は、実施形態及び比較例として用意した弾性境界波フィルタ装置のフィルタ特性を示す図である。 図４は、本発明の第２の実施形態に係る弾性境界波フィルタ装置の電極構造を示す模式的平面図である。 図５は、本発明の第３の実施形態に係る弾性境界波フィルタ装置の電極構造を示す模式的平面図である。 図６は、変形例に係る弾性境界波フィルタ装置の電極構造を示す模式的平面図である。 図７は、従来の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ装置の電極構造を示す模式的平面図である。
符号の説明
１００…弾性境界波フィルタ装置
１０１…圧電基板
１０２…ＳｉＯ２膜
１０２ａ，１０２ｂ…開口
１０３…電極構造
１０４ａ，１０４ｂ…導電パターン
１０５ａ，１０５ｂ…外部電極
１０６…不平衡端子
１０７，１０８…第１，第２の平衡端子
１１０，１２０…第１，第２の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部
１１１，１２１，１１５，１２５…反射器
１１２，１２２…第２のＩＤＴ
１１３，１２３…第１のＩＤＴ
１１３ａ…電極指
１１４，１２４…第３のＩＤＴ
１１２Ａ，１１３Ａ，１１３Ｂ，１１４Ａ…狭ピッチ電極指部
１２２Ａ，１２３Ａ，１２３Ｂ，１２４Ｂ…狭ピッチ電極指部
１３０，１４０…弾性境界波共振子
１５０，１６０…弾性境界波共振子
２００…弾性境界波フィルタ装置
２１０，２２０…第３，第４の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部
２１１，２１５…反射器
２１２，２１４…第２，第３のＩＤＴ
２１３…第１のＩＤＴ
２１３Ａ，２１３Ｂ…狭ピッチ電極指部
２１２Ａ，２１４Ａ…狭ピッチ電極指部
２２１，２２５…反射器
２２２，２２４…第２，第３のＩＤＴ
２２３…第１のＩＤＴ
２２１Ａ，２２４Ａ…狭ピッチ電極指部
２２３Ａ，２２３Ｂ…狭ピッチ電極指部
３００…弾性境界波フィルタ装置
３１０…縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部
３１１，３１７…反射器
３１２…第４のＩＤＴ
３１２Ａ…狭ピッチ電極指部
３１３…第２のＩＤＴ
３１３Ａ，３１３Ｂ…狭ピッチ電極指部
３１４…第１のＩＤＴ
３１４ａ，３１４ｂ…第１，第２の分割ＩＤＴ部
３１４Ａ，３１４Ｂ…狭ピッチ電極指部
３１５…第３のＩＤＴ
３１５Ａ，３１５Ｂ…狭ピッチ電極指部
３１６…第５のＩＤＴ
３１６Ａ…狭ピッチ電極指部
３２０〜３４０…弾性境界波共振子
４００…弾性境界波フィルタ装置
４１０…縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部
４１１，４１７…反射器
４１２…第４のＩＤＴ
４１２Ａ…狭ピッチ電極指部
４１３…第２のＩＤＴ
４１３Ａ，４１３Ｂ…狭ピッチ電極指部
４１４…第１のＩＤＴ
４１４Ａ，４１４Ｂ…狭ピッチ電極指部
４１５…第３のＩＤＴ
４１５Ａ，４１５Ｂ…狭ピッチ電極指部
４１６…第５のＩＤＴ
４１６Ａ…狭ピッチ電極指部
４２０，４３０…弾性境界波共振子
以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。
図１は、本発明の第１の実施形態に係る縦結合共振子型の弾性境界波フィルタ装置の電極構造を示す模式的平面図であり、図２は該弾性境界波フィルタ装置の模式的正面断面図である。
図２に示すように、弾性境界波フィルタ装置１００は、Ｙ軸を１５°±１０°回転した面を主面とするＬｉＮｂＯ３からなる圧電基板１０１を有する。圧電基板１０１上に、誘電体１０２が積層されている。誘電体１０２は、本実施形態では、酸化ケイ素からなる。酸化ケイ素としては、ＳｉＯ２などを好適に用いることができる。もっとも、誘電体１０２は、酸化ケイ素以外の窒化ケイ素などの他の誘電体材料により構成されていてもよい。
圧電基板１０１と誘電体１０２との境界に電極構造１０３が形成されている。この電極構造１０３が、図１に模式的に示されている。
図２に示すように、誘電体１０２には、複数の開口１０２ａ，１０２ｂが設けられている。開口１０２ａ，１０２ｂに、電極構造１０３の一部が露出している。そして、開口１０２ａ，１０２ｂに、導電パターン１０４ａ，１０４ｂが設けられている。導電パターン１０４ａ，１０４ｂは、開口内に露出している電極構造に電気的に接続されており、かつ開口外の誘電体１０２の上面に至っている。そして、導電パターン１０４ａ，１０４ｂは、外部電極１０５ａ，１０５ｂに電気的に接続されている。外部電極１０５ａ，１０５ｂは、後述する不平衡端子や平衡端子あるいはアース電位に接続される端子に相当する。
弾性境界波フィルタ装置１００は、上記圧電基板１０１と、誘電体１０２との境界を伝搬する、ＳＨ型弾性境界波を利用した縦結合共振子型の弾性境界波フィルタ装置である。
弾性境界波フィルタ装置１００は、ＳＨ型の弾性境界波を利用した縦結合共振子型のフィルタ装置であり、本実施形態では、通過帯域は１９３０ＭＨｚ〜１９９０ＭＨｚであるＧＳＭ１９００ＭＨｚ帯受信フィルタとして用いられているものである。
図１に示すように、弾性境界波フィルタ装置１００の電極構造では、不平衡端子１０６と、第１，第２の平衡端子１０７，１０８との間に図示の電極構造が設けられている。
不平衡端子１０６に、１ポート型弾性境界波共振子１３０を介して、第１の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部１１０が接続されている。また、第１の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部１１０は、１ポート型弾性境界波共振子１５０を介して第１の平衡端子１０７に接続されている。
１ポート型弾性境界波共振子１３０，１５０は、いずれも、ＩＤＴと、該ＩＤＴの弾性境界波伝搬方向両側に配置された反射器を有する。
他方、第１の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部１１０は、中央に配置された第１のＩＤＴ１１３と、第１のＩＤＴ１１３の弾性境界波伝搬方向両側に配置された第２，第３のＩＤＴ１１２，１１４と、第１〜第３のＩＤＴ１１３，１１２，１１４が配置されている領域の弾性境界波伝搬方向両側に配置された反射器１１１，１１５とを有する。
縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部１１０は、上記のように３ＩＤＴ型の縦結合共振子型フィルタである。そして、第１，第２のＩＤＴ１１２，１１３が隣り合っている部分及び第１，第３のＩＤＴ１１３，１１４が隣り合っている部分において、ＩＤＴ１１２〜１１４には、それぞれ、狭ピッチ電極指部が設けられている。
すなわち、第２のＩＤＴ１１２と第１のＩＤＴ１１３とが隣り合っている部分を例にとると、第２のＩＤＴ１１２の第１のＩＤＴ１１３側端部の複数本の電極指１１２ａが設けられている部分の電極指ピッチが、相対的に電極指の周期が短い狭ピッチ電極指部１１２Ａである。狭ピッチ電極指部１１２Ａに隣接するＩＤＴ１１２の残りの部分の電極指ピッチに比べて、狭ピッチ電極指部１１２Ａの電極指の周期が短くされている。
他方、第１のＩＤＴ１１３においても、第２のＩＤＴ１１２側の端部に、狭ピッチ電極指部１１３Ａが設けられている。狭ピッチ電極指部１１３Ａは、複数本の電極指１１３ａを有し、電極指の周期は、狭ピッチ電極指部１１３Ａに隣接するＩＤＴ１１３の電極指ピッチよりも相対的に短くされている。なお、第１のＩＤＴ１１３では、第３のＩＤＴ１１４側にも、狭ピッチ電極指部１１３Ｂが設けられている。
第１の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部では、ＩＤＴ１１２〜１１４に、狭ピッチ電極指部１１２Ａ，１１３Ａ，１１３Ｂ，１１４Ａが形成されていることになる。
本実施例では、第１の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部１１０の狭ピッチ電極指部１１２Ａ，１１３Ａ，１１３Ｂ，１１４Ａの電極指のピッチが、第２の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部１２０の狭ピッチ電極指部１２２Ａ，１２３Ａ，１２３Ｂ，１２４Ａの電極指ピッチよりも小さくされている。
図１に示すように、不平衡端子１０６には、１ポート型弾性境界波共振子１４０を介して第２の縦結合共振子型の弾性境界波フィルタ部１２０も接続されている。また、第２の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部１２０は、１ポート型弾性境界波共振子１６０を介して第２の平衡端子１０８に接続されている。
１ポート型弾性境界波共振子１４０，１６０は、１ポート型弾性境界波共振子１３０，１５０と同様に構成されている。
他方、第２の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部１２０は、中央に配置された第１のＩＤＴ１２３と、第１のＩＤＴ１２３の弾性境界波伝搬方向両側に配置された第２，第３のＩＤＴ１２２，１２４と、反射器１２１，１２５とを有する。
第２の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部１２０は、中央の第１のＩＤＴ１２３の極性が、第１の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部１１０の第１のＩＤＴ１１３の極性と反転されていることを除いては同様に構成されている。すなわち、第２の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部１２０においても、第１，第２のＩＤＴ１２３，１２２が隣り合っている部分及び第１，第３のＩＤＴ１２３，１２４が隣り合っている部分において、各ＩＤＴ１２２〜１２４に狭ピッチ電極指部１２２Ａ，１２３Ａ，１２３Ｂ，１２４Ａが形成されている。
縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部１２０においても、第１，第３のＩＤＴの狭ピッチ電極指部１２２Ａ，１２４Ａの電極指のピッチは、第１のＩＤＴ１２３の狭ピッチ電極指部１２３Ａ，１２３Ｂの電極指のピッチよりも短くされている。
なお、弾性境界波フィルタ装置１００では第１，第２の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部における弾性境界波伝搬方向は、ψ＝２０°とし、１ポート型弾性境界波共振子１３０，１４０における弾性境界波伝搬方向ψ＝１０°とし、１ポート型弾性境界波共振子１５０，１６０における弾性境界波伝搬方向はψ＝３０°とされている。すなわち、これらの弾性境界波の伝搬方向を異ならせることにより、電気機械結合係数を適切な値とすることが可能とされている。
もっとも、本発明においては、縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部と、弾性境界波共振子の境界波伝搬方向は異ならせる必要は必ずしもなく、また弾性境界波共振子１３０，１４０，１５０，１６０は必ずしも設けられずともよい。
縦結合共振子型弾性境界波フィルタ装置１００では、不平衡端子１０６と、第１，第２の平衡端子１０７，１０８との間に上記電極構造が形成されているので、平衡−不平衡変換機能を有する帯域フィルタを得ることができる。そして、第１，第２の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部１１０，１２０では、狭ピッチ電極指部１１２Ａ，１１３Ａ，１１３Ｂ，１１４Ａ，１２２Ａ，１２３Ａ，１２３Ｂ及び１２４Ａが設けられているので、ＩＤＴ同士が隣り合っている部分の連続性が高められて、通過帯域内における挿入損失の低減を図ることができる。
これは、特許文献１に記載の弾性表面波フィルタ装置の場合と同様に、狭ピッチ電極指部を設けたことによる効果である。
前述したように、本実施形態では、さらに、第１の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部１１０の狭ピッチ電極指部１１２Ａ，１１３Ａ，１１３Ｂ，１１４Ａにおける電極指ピッチが、第２の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部１２０の狭ピッチ電極指部１２２Ａ，１２３Ａ，１２３Ｂ，１２４Ａにおける電極指のピッチよりも小さくされている。それによって、通過帯域よりも高域側の周波数域における不要スプリアスを効果的に低減することができる。これを図３を参照して説明する。
図３は、上記実施形態の縦結合共振子型の弾性境界波フィルタ装置のフィルタ特性と、比較のために用意した比較例の弾性境界波フィルタ装置のフィルタ特性を示す。上記実施形態の弾性境界波フィルタ装置では、狭ピッチ電極指部以外のＩＤＴの電極指の周期λを１．６７５μｍとし、第１の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部１１０の狭ピッチ電極指部１１２Ａ，１１３Ａ，１１３Ｂ，１１４Ａの電極指の周期を１．４６６３４μｍ、第２の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部１２０の狭ピッチ電極指部１２２Ａ，１２３Ａ，１２３Ｂ，１２４Ａの電極指の周期を１．４８６３４μｍとした。
他方、比較のために用意した比較例の弾性境界波フィルタ装置では、狭ピッチ電極指部の電極指ピッチを全て１．４７６３４μｍとし、残りの主電極部の電極指の周期を１．６７５μｍとしたことを除いては、上記実施例と同様として弾性境界波フィルタ装置を作製した。なお、実施例、比較例のいずれも狭ピッチ電極指部１１２Ａ，１１３Ａ，１１３Ｂ，１１４Ａ，１２２Ａ，１２３Ａ，１２３Ｂ，１２４Ａの電極指の本数を３本とした。図３の実線が実施形態の結果を、破線が比較例の結果を示す。
図３から明らかなように、通過帯域であるＰＣＳ受信帯である１９３０〜１９９０ＭＨｚよりも高域側である２１９０ＭＨｚ付近において、比較例では、大きなスプリアスが現れていた。これに対して、本実施形態の弾性境界波フィルタ装置では、２１９０ＭＨｚ付近のスプリアスが非常に小さくなり、スプリアスが３ｄＢ程度改善されていることがわかる。また、２１９０ＭＨｚ付近における減衰量は、２８．４ｄＢから実施形態によれば３１．５ｄＢまで改善していることがわかる。
上記のように、２１９０ＭＨｚ付近、すなわち通過帯域よりも高域側におけるスプリアスが改善される理由は以下の通りであると考えられる。
上記スプリアスは、ＳＨ型弾性境界波に対してスプリアスとなるストンリー波に起因する不要モードである。そして、弾性境界波フィルタ装置を設計する際には、ＳＨ波を利用する場合、ＩＤＴの膜厚は、ストンリー波の電気機械結合係数が小さい膜厚とされるのが普通である。ＩＤＴの膜厚を問題とする場合、規格化膜厚＝（電極膜厚／電極の周期）で表される数値によって、上記ストンリー波の電気機械結合係数が小さい範囲を設定する。しかしながら、上記規格化膜厚は電極指の周期に依存するため、狭ピッチ電極指部では、ストンリー波がある強度で励受信されることとなり、上記のようなスプリアスが現れざるを得なかった。
これに対して、本実施形態では、第１の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部１１０の狭ピッチ電極指部１１２Ａ，１１３Ａ，１１３Ｂ，１１４Ａの電極指の周期と、第２の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部１２０の狭ピッチ電極指部１２２Ａ，１２３Ａ，１２３Ｂ，１２４Ａの電極指の周期とが異なっているので、上記スプリアスの現れる位置がずれ、それによって、スプリアスの大きさが小さくなっているものと考えられる。
よって、本実施形態によれば、例えばＰＣＳ受信用帯域フィルタのように、通過帯域よりも高域側、例えば送信側の通過帯域において所望でないスプリアスが現れないことが強く求められる用途に好適なフィルタ装置を提供することが可能となる。
なお、上記実施形態では、第１の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部１１０の狭ピッチ電極指部の電極指の周期を、第２の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部の狭ピッチ電極指部の電極指の周期よりも小さくしていたが、逆に、第２の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部の狭ピッチ電極指部の電極指の周期よりも大きくしてもよい。
なお、第１の実施形態では、第１の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部の狭ピッチ電極指部の周期と、第２の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部の狭ピッチ電極指部の電極指の周期を異ならせていたが、第１の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部１１０において、少なくとも１つの狭ピッチ電極指部の電極指の周期を、残りの狭ピッチ電極指部の電極指の周期と異ならせてもよく、第２の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部においても、少なくとも１つの狭ピッチ電極指部の電極指の周期を、残りの狭ピッチ電極指部の周期と異ならせてもよい。
すなわち、本発明は、上記のように、狭ピッチ電極指部によりフィルタ特性に表われるスプリアスを分散させて、通過帯域高域側におけるスプリアスの大きさを小さくしたことに特徴を有する。従って、１つの縦結合共振子型弾性境界波フィルタにおいて、例えば第１のＩＤＴ１１３の狭ピッチ電極指部の電極指の周期を、第２，第３のＩＤＴの狭ピッチ電極指部の電極指の周期よりも大きくしたり、あるいは小さくしてもよい。そして、第１，第２の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部が設けられている上記実施形態では、第１，第２の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部の少なくとも一方において、上記のように、少なくとも１つの狭ピッチ電極指部の電極指の周期を、残りの狭ピッチ電極指部の電極指の周期と異ならせることにより、高域側におけるスプリアスを分散させて、スプリアスを小さくすることができる。
さらに、このような変形例では、狭ピッチ電極指部の電極指の周期を異ならせるだけでなく、電極指の本数をも異ならせることによって、上記スプリアスを分散させて、より一層スプリアスを小さくすることが可能となる。従って、少なくとも１つの狭ピッチ電極指部の電極指の周期を、残りの狭ピッチ電極指部の周期と異ならせる変形例では、好ましくは、例えば、第１のＩＤＴの狭ピッチ電極指部の電極指の本数と、第２，第３のＩＤＴにおける狭ピッチ電極指部の電極指の本数とを異ならせることが望ましい。
もっとも、本発明では、第１のＩＤＴの狭ピッチ電極指部の電極指の本数と、第２，第３のＩＤＴの狭ピッチ電極指部の電極指の本数は等しくされていてもよい。
図４は、本発明の第２の実施形態に係る弾性境界波フィルタ装置の電極構造を示す模式的平面図である。
図１に示した実施形態の弾性境界波フィルタ装置では、第１，第２の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部１１０，１２０の前段及び後段に１ポート型弾性境界波共振子が接続されていたが、図４に示す弾性境界波フィルタ装置２００では不平衡端子１０６に第１，第２の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部１１０，１２０が直接接続されている。そして、第１，第２の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部１１０，１２０の後段に、それぞれ第３，第４の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部２１０，２２０が接続されている。縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部２１０，２２０は、縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部１１０，１２０と同様に、３ＩＤＴ型の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部である。
もっとも、縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部２１０，２２０は、第１の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部１１０とほぼ同様に構成されている。すなわち、縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部２１０における後述のＩＤＴ２１２〜２１４と、縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部２２０における後述のＩＤＴ２２２〜２２４と、第１の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部１１０におけるＩＤＴ１１２〜１１４とは、対応するＩＤＴ同士の極性は同じとされている。
そして、第１の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部１１０の第２，第３のＩＤＴ１１２，１１４の一端がそれぞれ第３の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部２１０の第２，第３のＩＤＴ２１２，２１４の一端に接続されている。ＩＤＴ２１２，２１４の他端はアース電位に接続されている。中央の第１のＩＤＴ２１３の一端がアース電位に、他端が第１の平衡端子１０７に接続されている。同様に、第４の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部２２０の第２，第３のＩＤＴ２２２，２２４の一端が、第２の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部１２０の第２，第３のＩＤＴ１２２，１２４に接続されており、他端がアース電位に接続されている。第１のＩＤＴ２２３の一端がアース電位に、他端が第２の平衡端子１０８に接続されている。
本変形例の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ装置２００では、第３，第４の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部２１０，２２０においても、ＩＤＴ同士が隣り合っている部分に狭ピッチ電極指部２１２Ａ，２１３Ａ，２１３Ｂ，２１４Ａ，２２２Ａ，２２３Ａ，２２３Ｂ，２２４Ａが設けられている。そして、狭ピッチ電極指部２１３Ａ，２１３Ｂ，２１２Ａ，２１４Ａにおける電極指の周期が、狭ピッチ電極指部２２３Ａ，２２３Ｂ，２２２Ａ，２２４Ａの電極指の周期と異なっている。
本実施形態の弾性境界波フィルタ装置２００においても、第１の実施形態と同様に、狭ピッチ電極指部の電極指の周期が分散されているため、通過帯域よりも高域側におけるスプリアスを抑圧することが可能とされている。
図５は、本発明の第３の実施形態に係る弾性境界波フィルタ装置の電極構造を示す模式的平面図である。
第３の実施形態の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ装置３００では、不平衡端子１０６に、５ＩＤＴ型の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部３１０が接続されている。すなわち、縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部３１０は、弾性境界波伝搬方向中央に配置された第１のＩＤＴ３１４を有する。ＩＤＴ３１４は、一方のバスバーを分割することにより境界波伝搬方向に分割されて設けられた第１，第２の分割ＩＤＴ部３１４ａ，３１４ｂを有する。ＩＤＴ３１４の境界波伝搬方向両側に、第２，第３のＩＤＴ３１３，３１５が配置されており、ＩＤＴ３１３〜３１５が設けられている領域の境界波伝搬方向両側に、第４，第５のＩＤＴ３１２，３１６が配置されている。そして、ＩＤＴ３１２〜３１６が配置されている領域の境界波伝搬方向両側に、反射器３１１，３１７が配置されている。ここでは、不平衡端子１０６とアース電位との間に、１ポート型弾性境界波共振子３２０が接続されている。また、不平衡端子１０６には、縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部３１０の第２，第３のＩＤＴ３１３，３１５の各一端が共通接続されて電気的に接続されている。ＩＤＴ３１３，３１５の他端はアース電位に接続されている。
他方、第４のＩＤＴ３１２の一端と、分割ＩＤＴ部３１４ａとが共通接続されて、１ポート型弾性境界波共振子３３０を介して第１の平衡端子１０７に接続されている。ＩＤＴ３１２の他端はアース電位に接続されている。また、第２の分割ＩＤＴ部３１４ｂと、第５のＩＤＴ３１６の一端とが共通接続されて、１ポート型弾性境界波共振子３４０を介して第２の平衡端子１０８に電気的に接続されている。ＩＤＴ３１６の他端はアース電位に接続されている。また、ＩＤＴ３１４の共通バスバー側はアース電位に接続されている。
本実施形態の弾性境界波フィルタ装置３００においても、ＩＤＴ３１２〜３１６が配置されている部分において、隣り合っているＩＤＴにおいて、それぞれ狭ピッチ電極指部３１２Ａ，３１３Ａ，３１３Ｂ，３１４Ａ，３１４Ｂ，３１５Ａ，３１５Ｂ，３１６Ａが設けられている。従って、平衡度が改善されている。
加えて、第１のＩＤＴ３１４の狭ピッチ電極指部３１４Ａ，３１４Ｂの電極指の周期と、第２，第３のＩＤＴ３１３，３１５のＩＤＴ３１４側端部の狭ピッチ電極指部３１３Ｂ，３１５Ａの電極指の周期とが異なっている。従って、狭ピッチ電極指部の存在により生じるスプリアスが分散され、通過帯域高域側におけるスプリアスの大きさを低減することが可能とされている。
また、第４，第５のＩＤＴ３１２，３１６の狭ピッチ電極指部３１２Ａ，３１６Ａの電極指の周期は、狭ピッチ電極指部３１３Ａ，３１５Ｂの電極指の周期と異なっている。すなわち、ＩＤＴ同士が隣り合っている部分において、両側の狭ピッチ電極指部の電極指の周期は異ならされている。上記のように、隣り合うＩＤＴ間において、両側の狭ピッチ電極指部の電極指の周期を、ＩＤＴ同士が隣り合っている全ての部分において異ならせることにより、通過帯域高域側のスプリアスをより効果的に分散させることができ、それによって、スプリアスをより一層効果的に小さくすることが可能となる。
なお、本実施形態では、平衡−不平衡変換機能を実現するために、ＩＤＴ３１３の極性に対しＩＤＴ３１５の極性が反転されている。もっとも、５ＩＤＴ型の縦結合共振子型弾性境界波フィルタにおいて平衡−不平衡変換機能を実現するための複数のＩＤＴの極性については、平衡−不平衡変換機能を実現し得る限り、適宜変更することができる。
例えば、図６に示す変形例の弾性境界波フィルタ装置４００では、不平衡端子１０６と第１，第２の平衡端子１０７，１０８間に５ＩＤＴ型の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ４１０が配置されている。ここでは、縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部４１０は、中央に配置された第１のＩＤＴ４１４と第１のＩＤＴ４１４の境界波伝搬方向両側に配置された第２，第３のＩＤＴ４１３，４１５と、ＩＤＴ４１３〜４１５が設けられている領域の境界波伝搬方向両側に配置された第４，第５のＩＤＴ４１２，４１６と、反射器４１１，４１７とを有する。
そして、第１のＩＤＴ４１４の一端と、第４，第５のＩＤＴ４１２，４１６の各一端とが共通接続され、１ポート型弾性境界波共振子４２０を介して不平衡端子１０６に接続されている。ＩＤＴ４１２，４１４，４１６の各他端はアース電位に接続されている。他方、第２のＩＤＴ４１３の極性に対して、第３のＩＤＴ４１５の極性が反転されている。そして、ＩＤＴ４１３，４１５の各一端がアース電位に接続されており、ＩＤＴ４１３の他端が第１の平衡端子１０７に、第３のＩＤＴ４１５の他端が第２の平衡端子１０８に接続されている。なお、第１，第２の平衡端子１０７，１０８間には、１ポート型弾性境界波共振子４３０が接続されている。
本変形例においても、ＩＤＴ４１３の極性に対してＩＤＴ４１５の極性が反転されているので、平衡−不平衡変換機能が実現されている。
また、本変形例においても、ＩＤＴ同士が隣り合っている部分において、両側のＩＤＴにそれぞれ狭ピッチ電極指部が設けられており、両側の狭ピッチ電極指部の電極指の周期が異ならされている。より具体的には、第１のＩＤＴ４１４は、両側に、狭ピッチ電極指部４１４Ａ，４１４Ｂを有する。第１，第２のＩＤＴ４１３，４１４が隣り合っている部分では、ＩＤＴ４１３のＩＤＴ４１４側の端部に設けられた狭ピッチ電極指部４１３Ｂの電極指の周期と、ＩＤＴ４１４の狭ピッチ電極指部４１４Ａの電極指の周期とが異なっている。同様に、ＩＤＴ４１２に設けられた狭ピッチ電極指部４１２Ａと、ＩＤＴ４１３の狭ピッチ電極指部４１３Ａとにおいても、電極指の周期が異ならされている。このように、狭ピッチ電極指部４１２Ａ，４１３Ａとが隣り合っている部分、狭ピッチ電極指部４１３Ｂと狭ピッチ電極指部４１４Ａとが隣り合っている部分、狭ピッチ電極指部４１４Ｂと、狭ピッチ電極指部４１５Ａとが隣り合っている部分、狭ピッチ電極指部４１５Ｂと狭ピッチ電極指部４１６Ａとが隣り合っている部分のいずれにおいても、両側の狭ピッチ電極指部の電極指の周期が異ならされており、それによって、スプリアスが分散されて、スプリアスを小さくすることが可能とされている。
なお、上記実施形態及び変形例では、圧電体はＹ軸を１５°±１０°回転した面を主面とするＬｉＮｂＯ３より構成されていたが、他の結晶角のＬｉＮｂＯ３を用いてもよく、あるいはＬｉＴａＯ３や水晶などの他の圧電材料を用いて圧電体を形成してもよい。

Claims (6)

  1. 圧電体と、
    前記圧電体に積層された誘電体と、
    前記圧電体と前記誘電体との間の境界に配置された電極構造とを備え、該境界を伝搬するＳＨ型弾性境界波を利用した弾性境界波フィルタ装置であって、
    前記電極構造は、第１のＩＤＴと、第１のＩＤＴの弾性境界波伝搬方向両側に設けられた第２，第３のＩＤＴとを有し、それによって、縦結合共振子型の弾性境界波フィルタ部が構成されており、
    第１〜第３のＩＤＴにおいて、２つのＩＤＴが隣り合っている部分において、一方のＩＤＴの他方のＩＤＴ側端部に配置された電極指を含む一部の電極指の周期が、該前記一部に隣接する部分の電極指の周期よりも小さくされており、それによって狭ピッチ電極指部が設けられており、
    前記第１のＩＤＴに設けられた狭ピッチ電極指部及び前記第２，第３のＩＤＴに設けられた狭ピッチ電極指部の内少なくとも１箇所における電極指の周期が残りの狭ピッチ電極指部の電極指部の周期と異なっていることを特徴とする、弾性境界波フィルタ装置。
  2. 圧電体と、
    前記圧電体に積層された誘電体と、
    前記圧電体と前記誘電体との間の境界に配置された電極構造とを備え、該境界を伝搬するＳＨ型弾性境界波を利用した弾性境界波フィルタ装置であって、
    前記電極構造は、第１のＩＤＴと、第１のＩＤＴの弾性境界波伝搬方向両側に配置された第２，第３のＩＤＴとをそれぞれが有する第１，第２の縦結合共振子型フィルタ部を構成しており、
    前記第１〜第３のＩＤＴにおいて、２つのＩＤＴが隣り合っている部分において、一方のＩＤＴの他方のＩＤＴ側端部に配置された電極指を含む一部の電極指の周期が、該一部の電極指に隣接する部分の電極指の周期よりも小さくされており、それによって狭ピッチ電極指部が形成されており、
    前記第１の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部における入力信号に対する出力信号の位相に対して、前記第２の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部の入力信号に対する出力信号の位相が１８０°異なるように、第１，第２の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部の第１〜第３のＩＤＴの極性が定められており、
    不平衡端子と第１，第２の平衡端子とを備え、第１，第２の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部の入力端が不平衡端子に接続されており、第１，第２の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部の出力端が、それぞれ、第１，第２の平衡端子に接続されており、
    前記第１のＩＤＴの狭ピッチ電極指部及び前記第２，第３のＩＤＴの狭ピッチ電極指部の内少なくとも１箇所における電極指の周期が残りの狭ピッチ電極指部の電極指部の周期と異なっていることを特徴とする、弾性境界波フィルタ装置。
  3. 圧電体と、
    前記圧電体に積層された誘電体と、
    前記圧電体と前記誘電体との間の境界に配置された電極構造とを備え、該境界を伝搬するＳＨ型弾性境界波を利用した弾性境界波フィルタ装置であって、
    前記電極構造は、第１のＩＤＴと、第１のＩＤＴの弾性境界波伝搬方向両側に配置された第２，第３のＩＤＴとをそれぞれが有する第１，第２の縦結合共振子型フィルタ部を構成しており、
    前記第１〜第３のＩＤＴにおいて、２つのＩＤＴが隣り合っている部分において、一方のＩＤＴの他方のＩＤＴ側端部に配置された電極指を含む一部の電極指の周期が、該一部の電極指に隣接する部分の電極指の周期よりも小さくされており、それによって狭ピッチ電極指部が形成されており、
    前記第１の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部における入力信号に対する出力信号の位相に対して、前記第２の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部の入力信号に対する出力信号の位相が１８０°異なるように、第１，第２の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部の第１〜第３のＩＤＴの極性が定められており、
    不平衡端子と第１，第２の平衡端子とを備え、第１，第２の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部の入力端が不平衡端子に接続されており、第１，第２の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部の出力端が、それぞれ、第１，第２の平衡端子に接続されており、
    前記第１の縦結合共振子型フィルタ部における第１〜第３のＩＤＴの狭ピッチ電極指部における電極指の周期が等しくされており、
    前記第２の縦結合共振子型フィルタ部における第１〜第３のＩＤＴの狭ピッチ電極指部における電極指の周期が等しくされており、
    前記第１の縦結合共振子型フィルタ部における第１〜第３のＩＤＴの狭ピッチ電極指部における電極指の周期と、前記第２の縦結合共振子型フィルタ部における第１〜第３のＩＤＴの狭ピッチ電極指部における電極指の周期が異ならされている、弾性境界波フィルタ装置。
  4. 前記第１の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部と同一に設計された第３，第５の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部と、
    前記第２の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部と同一に設計された第４，第６の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部とをさらに備え、
    前記第１〜第６の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部の入力端が前記不平衡端子に接続されており、前記第１，第３，第５の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部の出力端が前記第１の平衡端子に接続されており、前記第２，第４，第６の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部の出力端が第２の平衡端子に接続されている、請求項２または３に記載の弾性境界波フィルタ装置。
  5. 前記第１のＩＤＴの狭ピッチ電極指部の電極指の本数と、前記第２，第３のＩＤＴにおける狭ピッチ電極指部の電極指の本数とが異なっている、請求項１，２または４に記載の弾性境界波フィルタ装置。
  6. 前記第１〜第３のＩＤＴが設けられている領域の弾性境界波伝搬方向両側に配置された第４，第５のＩＤＴをさらに備え、それによって、５ＩＤＴ型の縦結合共振子型弾性境界波フィルタ部が構成されている、請求項１〜５のいずれか１項に記載の弾性境界波フィルタ装置。
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