JP2000312133A - 弾性表面波装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は良好な帯域特性を有するとともに、
高次モードの振動によるスプリアス信号が抑制された帯
域外特性を有する弾性表面波装置を提供する。 【解決手段】 反射器１３（２３）、入力用ＩＤＴ１
１、２１及び出力用ＩＤＴ１２、２２、反射器１４（２
４）から成る複数の弾性表面波フィルタ１０、２０を互
いに接続した弾性表面波装置において、前記すだれ状電
極指１２ａ、１３ａ、２３ａ、２４ａからなる反射器電
極１２、１３、２３、２４は、電極幅ｈと電極間隔幅ａ
との比率ｈ／（ａ＋ｈ）が、各弾性表面波フィルタ１
０、２０で相違している。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、弾性表面波装
置、特に縦結合共振器型弾性表面波装置に関するもので
ある。

【０００２】

【従来の技術】従来の縦結合共振器型弾性表面波装置を
構成する弾性表面波フィルタは、圧電基板上に入力用イ
ンターデジタル電極（入力用ＩＤＴ）と出力用インター
デジタル電極（出力用ＩＤＴ）を弾性表面波（ＳＡＷ）
の伝搬方向に沿って配置し、これらの入力用ＩＤＴ、出
力用ＩＤＴを挟んで両側にすだれ状の第１及び第２反射
器電極（単に反射器という）を配置して構成されてい
る。一般に入力用ＩＤＴ及び出力用ＩＤＴは、互いに異
なる電位となる電極指が互いに噛み合って構成されてい
る。そして、各電極指の幅及び電極指の間隔は、１／４
λ（波長λ：１次モードの定在波の波長）となるように
設定されている。

【０００３】このような弾性表面波フィルタは、圧電基
板上に形成した複数の縦結合型共振器型の弾性表面波フ
ィルタであり、入力用ＩＤＴ、出力用ＩＤＴを一つの反
射器で挟持した、一対の反射器内で所定弾性波の振動エ
ネルギ−を閉じこめるようにしたものがある。そして、
一対の反射器には通過周波数域を形成する１次モード、
２次モード以外に、より高次モードの振動も定在波とし
て存在することになる。

【０００４】このような構造の弾性表面波フィルタを複
数用いた弾性表面波装置としては、例えば減衰レベルを
大きくするために、２つの弾性表面波フィルタを複数直
列接続した弾性表面波装置が知られている（特開平９−
２９４０４９）。この概略図を図７に示す。

【０００５】図７において、１は圧電基板、１０は第１
の弾性表面波フィルタであり、１１は入力用ＩＤＴ、１
２は出力用ＩＤＴ、１３は入力用ＩＤＴ１１に近接した
反射器、１４は出力用ＩＤＴ１２に近接した反射器電極
である。また、２０は第２の弾性表面波フィルタであ
り、２１は入力用ＩＤＴ、２２は出力用ＩＤＴ、２３は
入力用ＩＤＴ２１に近接した反射器、２４は出力用ＩＤ
Ｔ２１に近接したすだれ状反射器である。

【０００６】そして、図７においては、第１の弾性表面
波フィルタ１０の出力用ＩＤＴ１２の一方の電極指１２
ａと第２の弾性表面波フィルタ２０の入力用ＩＤＴ２１
の他方の櫛状電極指２１ｂとは接続導体膜３０によって
接続され、これによって両弾性表面波フィルタ１０、２
０とが直列的に接続されている。

【０００７】また、別の構造としては、例えば挿入損失
を小さくするために、複数の縦結合共振器型の弾性表面
波フィルタを互いに並列接続した弾性表面波装置が知ら
れている（特開平６−３３４４７６）。その概略図を図
８に示す。

【０００８】図８において、第１の弾性表面波フィルタ
１０の入力側ＩＤＴ１１の一方の電極指１１ａと第２の
弾性表面波フィルタ２０の入力用ＩＤＴ２１の他方の電
極指２１ｂとは接続導体膜３１によって、また、第１の
弾性表面波フィルタ１０の出力側ＩＤＴ１２の一方の電
極指１２ａと第２の弾性表面波フィルタ２０の出力用Ｉ
ＤＴ２２の他方の電極指２２ｂとは接続導体膜３２によ
って、両弾性表面波フィルタ１０、２０とが並列的に接
続されている。

【０００９】図７の直列接続された弾性表面波フィルタ
１０、２０において、例えば反射器と入出力用ＩＤＴと
の間の電極指ピッチ、即ち、反射器と入出力用ＩＤＴと
の近接しあう電極指間のピッチがすべで同一の寸法とな
っており、少なくとも互いに接続しあう弾性表面波フィ
ルタ１０、２０で同一となっていた。

【００１０】尚、図８の並列接続された弾性表面波装置
についても同様である。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】しかし、図７で示す直
列接続して成る弾性表面波装置を開示した特開平９−２
９４０４９号では、入力用ＩＤＴ１１、２１出力用ＩＤ
Ｔ１２、２２の交叉電極指の対数、交叉幅、電極ピッチ
等、通過帯域を形成する１次、２次モード共振に直接影
響を与えるパラメータを変化させるため、通過帯域の特
性を変化してしまうという問題があり、良好な通過帯域
特性を維持したままスプリアスのみを効果的に抑圧する
ことができなかった。

【００１２】また、図８で示す並列接続して成る弾性表
面波装置を開示した特開平６−３３４４７６では、通過
帯域の肩特性（減衰極特性）の改善が可能であるもの
の、スプリアスの抑圧手法については開示されていな
い。

【００１３】即ち、１次、２次モード共振を利用した二
重モードフィルタを構成しようとした場合、１次、２次
モード以外の高次モードがスプリアスとして存在するた
め、良好な減衰特性を得られないという問題点が存在
し、このような高次モードがスプリアスを抑制し、良好
な減衰量を得ることができなかった。

【００１４】本発明は、上述した問題点に鑑みて案出さ
れたものであり、良好な帯域特性を有するとともに、高
次モードの振動によるスプリアス信号が抑制された帯域
外特性を有する弾性表面波装置を提供するものである。

【００１５】

【課題を解決するための手段】本発明は、圧電基板上
に、複数のすだれ状電極指の反射器電極と、異なる電位
の電極指が互いに噛合する入力用インターデジタル電極
と、異なる電位の電極指が互いに噛合する出力用インタ
ーデジタル電極とから構成される複数の弾性表面波フィ
ルタを互いに接続して形成して成る弾性表面波装置にお
いて、前記すだれ状電極指からなる反射器電極は、電極
指幅ｈと隣接する電極指間の間隔ａとしたとき、電極比
率ｈ／（ａ＋ｈ）が、互いに接続しあう弾性表面波フィ
ルタ間で異なることを特徴とする弾性表面波装置であ
る。

【００１６】また、第２の発明は、前記複数の弾性表面
波フィルタは直列接続されて構成された弾性表面波装置
である。

【００１７】そして、一つの弾性表面波フィルタの反射
器電極における電極比率（ｈ／（ａ＋ｈ））をη₁ 、他
の弾性表面波フィルタの反射器電極における電極比率を
η₂、電極比率η₁ とη₂ との差の絶対値をΔηｓとし
た時、Δηｓが０．０２≦Δηｓ≦０．０６を満たす。

【００１８】また、第３の発明は、前記複数の弾性表面
波フィルタは並列接続されて構成された弾性表面波装置
である。

【００１９】そして、一つの弾性表面波フィルタの反射
器電極における電極比率（ｈ／（ａ＋ｈ））をη₁ 、他
の弾性表面波フィルタの反射器電極における電極比率を
η₂、電極比率η₁ とη₂ との差の絶対値をΔηｐとし
た時、Δηｐが、 ０．０２≦Δηｐ≦０．０８ を満たすように設定されている。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の弾性表面波装置を
図面に基づいて説明する。

【００２１】図１は本発明の複数の弾性表面波フィルタ
が直列接続した弾性表面波装置の平面概略図であり、図
２は複数の弾性表面波フィルタが並列接続した弾性表面
波装置の平面概略図である。尚、従来と同一部分は同一
符号を付す。

【００２２】図において、１は圧電基板、１０は第１の
弾性表面波フィルタであり、１１は入力用交叉指状電極
（以下、単に入力用ＩＤＴという）、１２は出力用交叉
指状電極（以下、単に出力用ＩＤＴという）、１３は入
力用ＩＤＴ１１に近接した第１のすだれ状反射器電極
（以下、単に反射器という）、１４は出力用ＩＤＴ１２
に近接した第２のすだれ状反射器電極（以下、単に反射
器という）である。また、２０は第２の弾性表面波フィ
ルタであり、２１は入力用ＩＤＴ、２２は出力用ＩＤ
Ｔ、２３は入力用ＩＤＴ２１に近接したすだれ状反射器
電極、２４は出力用ＩＤＴ２２に近接したすだれ状反射
器電極である。

【００２３】圧電基板１は、ニオブ酸リチウム、タンタ
ル酸リチウム、四ホウ酸リチウムなどの圧電単結晶基
板、水晶基板、ＰＺ（ジルコン酸鉛）、ＰＺＴ（チタン
酸ジルコン酸鉛）などの圧電セラミック基板などから成
る。この圧電単結晶基板、水晶基板においては、結晶軸
及び伝搬方向に応じて所定カットが施されており、ま
た、圧電セラミック基板においては伝搬方向に応じて所
定方向の分極処理が施されている。

【００２４】このような圧電基板１上には、弾性表面波
の伝搬方向にそって、第１の弾性表面波フィルタ１０
は、第１の反射器１３、入力用ＩＤＴ１１、出力用ＩＤ
Ｔ１２、第２の反射器１４が配置されて構成され、ま
た、第２の弾性表面波フィルタ２０は、第１の反射器２
３、入力用ＩＤＴ２１、出力用ＩＤＴ２２、第２の反射
器２４が配置されて、複数の弾性表面波フィルタ１０、
２０が形成されて構成されている。

【００２５】また、反射器１３、１４、２３、２４は複
数の電極指が平行に並設されてなり、各電極指の両端部
は共通バーによって接続され、全体としてすだれ状とな
っている。

【００２６】具体的には、第１の弾性表面波フィルタ１
０の反射器１３、１４は、隣接する電極指の間隔ａ₁ を
有して電極幅ｈ₁ の複数の電極指で１３ａ、１４ａとで
構成されている。また、第２の弾性表面波フィルタ２０
の反射器２３、２４は、隣接する電極指の間隔ａ₂ を有
して電極幅ｈ₂ の複数の電極指で２３ａ、２４ａとで構
成されている。

【００２７】また、第１の弾性表面波フィルタ１０にお
いて、入力用ＩＤＴ１１は、異なる電位の一対の櫛状電
極指１１ａ、１１ｂが互いに噛み合って構成されてい
る。また、出力用ＩＤＴ１２は、異なる電位の一対の櫛
状電極指１２ａ、１２ｂが互いに噛み合って構成されて
いる。第２の弾性表面波フィルタ２０においても、入力
用ＩＤＴ２１及び出力用ＩＤＴ２２は、異なる電位の一
対の櫛状電極指２１ａ、２１ｂ、２２ａ、２２ｂが互い
に噛み合って構成されている。

【００２８】その配列方向が弾性表面波の伝搬方向に設
定されている。即ち、圧電基板１のカット方向や分極方
向が整えられ、且つ反射器１３、入力用ＩＤＴ１１、出
力用ＩＤＴ１２、反射器１４を構成する各電極指が伝搬
方向と直交する方向に延びている。また、第２の弾性表
面波フィルタ２０（図１で下段側）も同様の構成となっ
ている。このことから第１の弾性表面波フィルタ１０、
第２の弾性表面波フィルタ２０は、縦結合型の弾性表面
波フィルタと言える。

【００２９】例えば、弾性表面波フィルタ１０、２０に
おいて、圧電基板１上に形成される反射器１３、１４、
２３、２４、入力用ＩＤＴ１１、２１、出力用ＩＤＴ１
２、２２を構成する各電極指は、薄膜金属の被着と選択
的な除去によるフォトリソグラフィ技術によって形成さ
れる。

【００３０】また、各電極１１ａ〜２２ｂは、例えばア
ルミニウムからなり、その膜厚は弾性表面波の波長λ
（１次モードの定在波）及び基板の特性によって概略規
定される膜厚（規格化膜厚）に設定されている。

【００３１】入力用ＩＤＴ１１、２１、出力用ＩＤＴ２
１、２２は、互いに異なる電位の複数の電極指が互いに
噛み合うようにして構成されており、例えば隣接しあう
異なる電位の電極指１１ａと１１ｂ、１２ａと１２ｂ、
２１ａと２１ｂ、２２ａと２２ｂの幅、電極指間の間隔
は各々１／４λに設定されている。即ち、電極指のピッ
チでは１／２λ（０．５λ）となっている。

【００３２】尚、図１では、第１の弾性表面波フィルタ
１０において、入力用ＩＤＴ１１を構成する一方電極
指、例えば１１ａはホット側となっており、他方の電極
指１１ｂは接地側となっている。また、電極指１１ａ
は、反射器１３に接続されている。また、出力用ＩＤＴ
１２の他方電極指、例えば１２ｂは例えば接地されてお
り、一方の電極指１１ｂはホット側となっている。

【００３３】そして、入力用ＩＤＴ１１及び反射器１３
には、反射器１３の信号側入力パッド１３ｂが、入力用
ＩＤＴ１１の電極指１１ｂにはグランド電極パッド１１
ｃ、出力用ＩＤＴ１２には、グランド電極パッド１２ｃ
が形成され、夫々外部回路に接続されている。

【００３４】第２の弾性表面波フィルタ２０において、
入力用ＩＤＴ２１を構成する一方電極指、例えば２１ａ
は接地側となっており、他方の電極指２１ｂはホット側
となっている。また、出力用ＩＤＴ２２の他方電極指、
例えば２２ｂは例えば接地されており、一方の電極指２
２ａはホット側となっている。そして、接地側の電極指
２２ｂは、反射器２４に接続されている。

【００３５】そして、入力用ＩＤＴ２１の電極指２１ａ
及び反射器２４には、グランド電極パッド２１ｃ、２４
ｂが形成され、出力用ＩＤＴ２２の電極指２２ａには信
号側出力パッド２２ｃが形成され、夫々外部回路に接続
されている。

【００３６】そして、第１の弾性表面波フィルタ１０と
第２の弾性表面波フィルタ２０とは互いに接続用導体膜
３０によって直列的に接続されている。例えば、第１の
弾性表面波フィルタ１０の出力用ＩＤＴ１２の一方側の
電極指１２ａは、接続用導体膜３０によって、第２の弾
性表面波フィルタ２０の入力用ＩＤＴ２１の他方側の電
極指２１ｂに電気的に接続されている。

【００３７】この接続用導体膜３０は、図に示すように
導体パターンで形成することができる。即ち、各種電極
１１〜２４の同一形成工程で、金属薄膜の選択的除去に
より形成することができる。尚、接続用導体膜３０以外
の接続手段としては、例えば直接ボンディングワイヤで
接続したり、例えば外部回路の配線パターンを介して間
接的にボンディングワイヤで接続したり、また、外部回
路基板の配線パターンに接続される半田バンプなどで接
続してもよい。

【００３８】上述の弾性表面波装置では、第１の弾性表
面波フィルタ１０の入力用ＩＤＴ１１に入力された信号
が、直列接続された第２弾性表面波フィルタ２０の出力
用ＩＤＴ２２から出力されることになり、全体で一つの
フィルタ回路を構成している。

【００３９】本発明の特徴的なことは、第１の弾性表面
波フィルタ１０を構成する前記反射器１３、１4 を構成
する電極化比率（金属化領域比率：メタライズレシオ）
η₁と第２の弾性表面波フィルタ２０を構成する前記反
射器２３、２4 を構成する金属化領域比率η₂ とで相違
させていることである。金属化領域比率（メタライズレ
シオ）ηとは、反射器を構成する複数の電極指におい
て、その電極指の幅をｈ、隣接しあう電極指の間隔ａと
した場合、η＝ｈ／（ａ＋ｈ）で表される。即ち、反射
器における弾性表面波の伝搬方向における金属化領域比
率である。そして、メタライズレシオηを小さくする
と、反射器におけるモード結合係数が変化して、その結
果、通過帯域より低周波側に存在する縦高次モードスプ
リアスの周波数を高周波側にシフトさせることができ
る。

【００４０】そして、第１の弾性表面波フィルタ１０に
おける反射器１３、１４のη₁ と、第２の弾性表面波フ
ィルタ２０における反射器２３、２４のメタライズレシ
オη₂ とを相違させている。

【００４１】特に、図１に示すように直列接続しあう第
１の弾性表面波フィルタ１０と第２の弾性表面波フィル
タ２０とのメタライズレシオη₁ 、η₂ とが相違させる
ことにより、第１又は第２の弾性表面波フィルタ１０、
２０との間の高次モードスプリアス、特に縦３次モード
をはじめとする、反射器間の多重反射に起因する振動モ
ードの周波数を互いに相違させることになり、２つのフ
ィルタ１０、２０の特性が合成されてなる装置全体の通
過帯域特性上、高次スプリアスのレベルが互いに相殺さ
れて低下され、良好な減衰極性を得ることができる。

【００４２】本発明者は、第１の弾性表面波フィルタ１
０を構成する反射器１３、１４のメタライズレシオη₁
を同一値にし、また、第２の弾性表面波フィルタ２０を
構成する反射器２３、２４のメタライズレシオη₂ を同
一値にし、また、第１及び第２の弾性表面波フィルタ１
０、２０を構成する入力用ＩＤＴ１１、２１、出力用Ｉ
ＤＴ１２、２２の形状を同一にした直列接続しあう弾性
表面波装置を作成するとともに、第１の弾性表面波フィ
ルタ１０のメタライズレシオη₁ と第２の弾性表面波フ
ィルタ２０のメタライズレシオη₂ とを相違させ、その
相違差の絶対値Δηｓを０〜０．０８の範囲に変化させ
た。そして、特に、通過帯域特性の低周波側に発生する
スプリアスの抑圧状態を調べた。

【００４３】なお、第１及び第２の弾性表面波フィルタ
１０、２０において、入力用ＩＤＴ１１、２１、出力用
ＩＤＴ１２、２２の対数を２５５本、反射器１３、１
４、２３、２４の電極指１３ａ、１４ａ、２３ａ、２４
ａを１３０本、交叉幅１３λ、規格化膜厚約３％の条件
にて測定した。

【００４４】その結果、図３、図４に示すように、Δη
ｓが大きくなると、規格化周波数（実周波数／中心周波
数）０．９９８６〜０．９９８８（無単位）付近に発生
する高次モードスプリアスが、高周波数側にシフトする
とともに、そのレベルが低下する傾向を示す。具体的に
は、通過帯域の特性を拡大した特性図である図４に示す
ように、特性ａ（Δηｓ＝０）では、０．９９８６付近
で大きなスペリアスが発生し、特性ｂ（Δηｓ＝０．０
２）、特性ｃ（Δηｓ＝０．０４）、特性ｄ（Δηｓ＝
０．０６）、特性ｅ（Δηｓ＝０．０８）になるに従
い、そのスペリアスは抑制されることになる。

【００４５】その結果、第１の発明のように弾性表面波
装置のメタライズレシオの差の絶対値をΔηｓが０でな
い場合（特性ｂ〜ｅ）は、従来の弾性表面波装置のよう
にΔηｓ＝０に比較して、０．９９８６近傍に発生して
いた高次モードの振動によるスプリアス（減衰量−１２
ｄＢ）を、特性ｂ〜ｆでは−１３ｄＢよりも充分大きな
減衰量のスプリアスに抑制できる。これより、帯域近傍
におけるスプリアスを充分に抑制できる選択性の優れた
特性の弾性表面波装置となる。

【００４６】しかし、メタライズレシオの差の絶対値を
Δηｓが０．０８０と大きくし過ぎると、スプリアス
は、高周波側にシフトし過ぎて、逆に通過帯域が狭くな
り、挿入損失を悪化する傾向を示している。

【００４７】その結果、第２の発明のように、図１に示
す直列接続しあう第１の弾性表面波フィルタ１０と第２
の弾性表面波フィルタ２０の反射器１３（１４）と２３
（２４）とのメタライズレシオの差の絶対値Δηｓの適
正範囲は、０．０２≦Δηｓ≦０．０６の範囲（特性ｂ
〜ｄ）とすることが望ましい。

【００４８】メタライズレシオの差の絶対値のΔηｓが
０．０２未満では、上述したように、通過帯域の低域に
発生するスプリアスを充分に減衰させることが困難とな
る。

【００４９】例えば、−１３ｄＢよりも大きな減衰量は
期待できない。その結果、選択性が不良な弾性表面波装
置となる。

【００５０】メタライズレシオの差の絶対値Δηｓが大
きくなるに従い通過帯域が狭くなる傾向を示しめしてい
る。例えばメタライズレシオの差の絶対値のΔηｓが
０．０６を越えると通過帯域の特性劣化が生じる為、良
好な通過帯域特性が得られない。

【００５１】以上により、第１の弾性表面波フィルタ１
０と第２の弾性表面波フィルタ２０とが直列的に接続さ
れた弾性表面波装置において、フィルタ特性（選択性）
を良好となる時には、反射器のメタライズレシオηを互
いに相違させることが重要となり、そのメタライズレシ
オ差の絶対値Δηｓを０．０２≦Δη≦０．０６とする
ことが重要である。

【００５２】尚、３素子や４素子など多段に接続しても
同様の効果を得ることができる。

【００５３】図２は、縦結合型第１の弾性表面波フィル
タ１０と第２の弾性表面波フィルタ２０とが互いに並列
的に接続された弾性表面波装置である。尚、第１の弾性
表面波フィルタ１０と第２の弾性表面波フィルタ２０を
構成する反射器、入力用ＩＤＴ、出力用ＩＤＴについて
は、図１と同一符号を付す。

【００５４】図２では、第１の弾性表面波フィルタ１０
と第２の弾性表面波フィルタ２０ととが並列接続されて
いる。即ち、第１の弾性表面波フィルタ１０の入力用Ｉ
ＤＴ１１を構成する一方電極指１１ａと第２の弾性表面
波フィルタ２０の入力用ＩＤＴ２１を構成する他方電極
指２１ｂとが入力側導体膜３１によって接続されてい
る。また、第１の弾性表面波フィルタ１０の出力用ＩＤ
Ｔ１２を構成する一方電極指１２ａと第２の弾性表面波
フィルタ２０の出力用ＩＤＴ２２を構成する他方電極指
２２ａとが出力側導体膜３２によって接続されている。

【００５５】そして、第１の弾性表面波フィルタ１０の
入力用ＩＤＴ１１の一方の電極指１１ａは、反射器１３
に接続し、第２の弾性表面波フィルタ２０の入力用ＩＤ
Ｔ２１の他方の電極指２１ｂは、反射器２３に接続して
いる。そして、反射器１３、２３の電極パットが入力信
号電位パッド１３ｄ、２３ｄとなり、外部回路に接続す
る。

【００５６】また、第１の弾性表面波フィルタ１０の出
力用ＩＤＴ１２の一方の電極指１２ａは、反射器１４に
接続し、第２の弾性表面波フィルタ２０の出力用ＩＤＴ
２２の他方の電極指２２ｂは、反射器２４に接続してい
る。そして、反射器１４、２４の電極パットが出力信号
電位パッド１４ｃ、２４ｃとなり、外部回路に接続す
る。

【００５７】尚、図２において、入力側接続導体膜３
１、出力側接続導体膜３２は、各種電極１１〜２４を形
成する際に、同一金属材料で、同一工程にて形成され
る。

【００５８】そして、第１の弾性表面波フィルタ１０の
反射器１３、１４は、隣接する電極指の間隔ａ₃ を有し
て電極幅ｈ₃ の複数の電極指で１３ａ、１４ａとで構成
されている。また、第２の弾性表面波フィルタ２０の反
射器２３、２４は、隣接する電極指の間隔ａ₄ を有して
電極幅ｈ₄ の複数の電極指で２３ａ、２４ａとで構成さ
れている。

【００５９】上述の弾性表面波装置では、第１の弾性表
面波フィルタ１０の入力用ＩＤＴ１１及び第２の弾性表
面波フィルタ２０の入力用ＩＤＴ２１に共通的に入力し
た信号が、第１の弾性表面波フィルタ１０の出力用ＩＤ
Ｔ１２と第２の弾性表面波フィルタ２０の出力用ＩＤＴ
２２とが合成されて出力されることになる。これによ
り、全体で一つのフィルタ回路を構成している。

【００６０】本発明の特徴的なことは、第１の弾性表面
波フィルタ１０を構成する前記反射器１３、１4 のメタ
ライズレシオη₁ と、第２の弾性表面波フィルタ２０を
構成する前記反射器２３、２4 のメタライズレシオη₂
とが相違していることである。即ち、第１の弾性表面波
フィルタ１０における反射器１３、１４のη₁ と、第２
の弾性表面波フィルタ２０における反射器２３、２４の
メタライズレシオη₂とを相違させている。

【００６１】このように、並列接続しあう第１の弾性表
面波フィルタ１０及び第２の弾性表面波フィルタ２０の
メタライズレシオη₁ 、η₂ とが相違による通過帯域特
性の低周波側の近傍の高次スプリアス及び通過帯域の特
性について調べた。

【００６２】尚、第１及び第２の弾性表面波フィルタ１
０、２０において、入力用ＩＤＴ１１、２１、出力用Ｉ
ＤＴ１２、２２の対数を２５５本、反射器１３、１４、
２３、２４の電極指１３ａ、１４ａ、２３ａ、２４ａを
１３０本、交叉幅１３λ、規格化膜厚約３％の条件にて
測定した。

【００６３】その結果、図５、図６に示すように、両フ
ィルタ１０、２０のメタライズレシオη₁ 、η₂ の差の
絶対値Δηを増加させることにより、０．９９７〜０．
９９７５付近に発生する高次モードスプリアスが、高周
波数側にシフトできるとともに、そのレベルが低下する
傾向を示す。

【００６４】具体的には、通過帯域の特性を拡大した特
性図である図６において、特性ｆ（Δη＝０）では、
０．９９７１付近で大きなスペリアスが発生し、特性ｇ
（Δη＝０．０２）、特性ｈ（Δη＝０．０４）、特性
ｉ（Δη＝０．０６）、特性ｊ（Δη＝０．０８）、特
性ｋ（Δη＝０．１０）になるに従い、そのスペリアス
は抑制されることになる。

【００６５】その結果、第１の発明のように弾性表面波
装置のメタライズレシオの差の絶対値をΔηｐが０でな
い場合（特性ｇ〜ｋ）は、従来の弾性表面波装置のよう
にΔηｐ＝０に比較して、０．９９７１近傍に発生して
いた高次モードの振動によるスプリアス（減衰量−１
５．８ｄＢ）を、特性ｇ〜ｋでは−１６．５ｄＢよりも
充分大きな減衰量のスプリアスに抑制できる。これよ
り、帯域近傍におけるスプリアスを充分に抑制できる選
択性の優れた特性の弾性表面波装置となる。

【００６６】しかし、メタライズレシオの差の絶対値Δ
ηｐが０．０８を越えて、例えば０．１０になると、ス
プリアスが高周波側にシフトし過ぎて、逆に通過帯域が
狭くなり、減衰量を悪化する傾向を示している。

【００６７】その結果、第３の発明のように、図２に示
す並列接続しあう第１の弾性表面波フィルタ１０と第２
の弾性表面波フィルタ２０の反射器１３（１４）と２３
（２４）とのメタライズレシオの差の絶対値Δηｐの適
正範囲は、０．０２≦Δηｐ≦０．０８の範囲（特性ｇ
〜ｋ）とすることが望ましい。

【００６８】メタライズレシオの差のΔηｐが０．０２
未満では、上述したように、通過帯域の低域に発生する
スプリアスを充分に減衰させることが困難となる。例え
ば、−１６ｄＢよりも大きな減衰量は期待できない。そ
の結果、選択性が不良な弾性表面波装置となる。

【００６９】メタライズレシオの絶対値の差Δηｐが大
きくなるに従い通過帯域が狭くなる傾向を示しめしてい
る。例えばメタライズレシオの絶対値の差Δηｐが０．
０８を越えると通過帯域の特性劣化が生じる為、良好な
通過帯域特性が得られない。

【００７０】以上により、第１の弾性表面波フィルタ１
０と第２の弾性表面波フィルタ２０とが並列的に接続さ
れた弾性表面波装置において、フィルタ特性（選択性）
を良好となる時には、反射器のメタライズレシオηを互
いに相違させることが重要となり、そのメタライズレシ
オ差の絶対値Δηｐを０．０２≦Δηｐ≦０．０８とす
ることが重要である。

【００７１】上述のように、通過帯域の低周波側近傍に
発生する縦高次モードのスプリアスを抑制する手法につ
いて、本発明は、反射器のメタライズレシオを第１の弾
性表面波フィルタと第２の弾性表面波フィルタとで相違
させている。

【００７２】このような作用効果は、入力用ＩＤＴ、出
力用ＩＤＴの形状、電極指間のピッチや交叉長を制御し
ても行なえるが、仮に入力用ＩＤＴ、出力用ＩＤＴを制
御した場合には、フィルタ特性全体のフィルタ特性を大
きく変動してしまう。例えば、図３や図５において、通
過帯域から離れた例えば１．０１付近のピークや０．９
９５付近のピークの減衰量が大きく変動してしまい、根
本的なフィルタ特性の変動となるため、入力用ＩＤＴ、
出力用ＩＤＴの形状の制御に無関係な本発明はフィルタ
特性の設計上有利となる。

【００７３】なお、本発明者は、３素子以上に他段に接
続しても同様の効果を得ることができることを確認し
た。

【００７４】

【発明の効果】以上のように、弾性表面波フィルタを構
成する反射器の電極指幅と隣接すしあう電極指の間隔と
の比率（メタライズレシオ）を、互いに接続しあう弾性
表面波フィルタ間で相違させている。これにより、通過
帯域の低域側近傍に発生する高次モード振動によるスプ
リアスのレベルを低下させ、良好な減衰特性を得ること
ができる。

【００７５】特に、互いに直列接続された弾性表面波装
置においては、メタライズレシオの差の絶対値Δηｓ
を、０．０２≦Δηｓ≦０．０６とすることにより、さ
らに、互いに並列接続された弾性表面波装置において
は、メタライズレシオの差の絶対値Δηｐを、０．０２
≦Δηｐ≦０．０８とすることにより、帯域特性の劣化
を抑えることができる。

【００７６】しかも、反射器内の制御であるため、フィ
ルタ特性全体の大きな変動がないため、特性を安定化さ
せた状態で良好な減衰特性、帯域特性を得ることができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の弾性表面波装置、即ち、弾性表面波フ
ィルタが互いに直列接続した弾性表面波装置の平面図で
ある。

【図２】本発明の弾性表面波装置、即ち、弾性表面波フ
ィルタが互いに並列接続した弾性表面波装置の平面図で
ある。

【図３】図１に示す弾性表面波装置におけるメタライズ
レシオの差の絶対値Δηｓの違いによる減衰特性を示す
特性図である。

【図４】図３の通過帯域部分の特性図である。

【図５】図２に示す弾性表面波装置におけるメタライズ
レシオの差の絶対値Δηｐの違いによる減衰特性を示す
特性図である。

【図６】図５の通過帯域部分の特性図である。

【図７】従来の弾性表面波装置、即ち、弾性表面波フィ
ルタが互いに直列接続した弾性表面波装置の平面図であ
る。

【図８】従来の弾性表面波装置、即ち、弾性表面波フィ
ルタが互いに並列接続した弾性表面波装置の平面図であ
る。

【符号の説明】

１０・・・第１の弾性表面波フィルタ ２０・・・第２の弾性表面波フィルタ １・・・圧電基板 １１・・・入力用ＩＤＴ １２・・・出力用ＩＤＴ １３、１４反射器 ｈ、ｈ₁ 、ｈ₂ 、ｈ₃ 、ｈ₄ ・・・・電極指幅 ａ、ａ₁ 、ａ₂ 、ａ₃ 、ａ₄ ・・・・電極指の間隔

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 圧電基板上に、複数のすだれ状電極指の
   反射器電極と、異なる電位の電極指が互いに噛合する入
   力用インターデジタル電極と、異なる電位の電極指が互
   いに噛合する出力用インターデジタル電極とから構成さ
   れる複数の弾性表面波フィルタを互いに接続して形成し
   て成る弾性表面波装置において、 前記すだれ状電極指からなる反射器電極は、電極指幅ｈ
   と隣接する電極指間の間隔ａとしたとき、電極比率ｈ／
   （ａ＋ｈ）が、互いに接続しあう弾性表面波フィルタ間
   で異なることを特徴とする弾性表面波装置。
2. 【請求項２】 前記複数の弾性表面波フィルタは直列接
   続されており、一つの弾性表面波フィルタの反射器電極
   における電極比率（ｈ／（ａ＋ｈ））をη₁ 、該一つの
   弾性表面波フィルタに接続される他の弾性表面波フィル
   タの反射器電極における電極比率をη₂ 、電極比率η₁
   とη₂ との差の絶対値をΔηｓとした時、Δηｓが ０．０２≦Δηｓ≦０．０６ を満たすことを特徴とする請求項１に記載の弾性表面波
   装置。
3. 【請求項３】 前記複数の弾性表面波フィルタは並列接
   続されており、一つの弾性表面波フィルタの反射器電極
   における電極比率（ｈ／（ａ＋ｈ））をη₁ 、該一つの
   弾性表面波フィルタに接続される他の弾性表面波フィル
   タの反射器電極における電極比率をη₂ 、電極比率η₁
   とη₂ との差の絶対値をΔηｐとした時、Δηｐが、 ０．０２≦Δηｐ≦０．０８ を満たすことを特徴とする請求項１に記載の弾性表面波
   装置。