RU208596U1 - Трехпреобразовательный веерный фильтр на поверхностных акустических волнах - Google Patents

Трехпреобразовательный веерный фильтр на поверхностных акустических волнах Download PDF

Info

Publication number
RU208596U1
RU208596U1 RU2021123482U RU2021123482U RU208596U1 RU 208596 U1 RU208596 U1 RU 208596U1 RU 2021123482 U RU2021123482 U RU 2021123482U RU 2021123482 U RU2021123482 U RU 2021123482U RU 208596 U1 RU208596 U1 RU 208596U1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
fan
shaped
idt
idts
output
Prior art date
Application number
RU2021123482U
Other languages
English (en)
Inventor
Сергей Александрович Доберштейн
Original Assignee
Акционерное общество "Омский научно-исследовательский институт приборостроения" (АО "ОНИИП")
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Акционерное общество "Омский научно-исследовательский институт приборостроения" (АО "ОНИИП") filed Critical Акционерное общество "Омский научно-исследовательский институт приборостроения" (АО "ОНИИП")
Priority to RU2021123482U priority Critical patent/RU208596U1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU208596U1 publication Critical patent/RU208596U1/ru

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02Details
    • H03H9/125Driving means, e.g. electrodes, coils
    • H03H9/145Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02Details
    • H03H9/125Driving means, e.g. electrodes, coils
    • H03H9/145Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
    • H03H9/14544Transducers of particular shape or position
    • H03H9/14588Horizontally-split transducers
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/46Filters
    • H03H9/64Filters using surface acoustic waves
    • H03H9/6423Means for obtaining a particular transfer characteristic
    • H03H9/6433Coupled resonator filters

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)

Abstract

Полезная модель относится к области радиоэлектроники и может быть использована в устройствах селекции радиосигналов. Технический результат - уменьшение искажений амплитудно-частотной характеристики трехпреобразовательного веерного фильтра на поверхностных акустических волнах (ПАВ) без увеличения вносимых потерь. В трехпреобразовательном веерном фильтре на ПАВ, содержащем пьезоэлектрический звукопровод, на рабочей поверхности которого в одном акустическом канале размещены входной веерный встречно-штыревой преобразователь (ВШП), выходные веерные ВШП с расщепленными электродами, период, ширина и зазор P1между которыми изменяются вдоль апертуры W веерных ВШП, выходные веерные ВШП соединены электрически последовательно и расположены симметрично на одинаковом расстоянии от входного веерного ВШП, согласно полезной модели введены фазовращатель со сдвигом фаз на 90°, металлизированные экраны между входным и выходными веерными ВШП, при этом входной веерный ВШП и один из выходных веерных ВШП выполнены симметричными, а другой выходной веерный ВШП выполнен антисимметричным, выходные веерные ВШП соединены через фазовращатель со сдвигом фаз на 90°, расстояния S между входным и выходными веерными ВШП выбраны минимальными, а зазор Р2между металлизированными экранами и веерными ВШП изменяется вдоль апертуры W веерных ВШП и выбран равным зазору P1между смежными электродами веерных ВШП. 5 ил.

Description

Полезная модель относится к области радиоэлектроники и может быть использована в устройствах селекции радиосигналов.
Известен трехпреобразовательный веерный фильтр на поверхностных акустических волнах (ПАВ), содержащий пьезоэлектрический звукопровод на рабочей поверхности которого в одном акустическом канале, размещен входной веерный встречно-штыревой преобразователь (ВШП), выходные веерные ВШП с расщепленными электродами, выходные веерные ВШП соединены электрически последовательно, наклонены и расположены симметрично на одинаковом расстоянии от входного веерного ВШП [1]. Такая симметричная схема уменьшает вносимые потери (ВП) на двунаправленность излучения входного веерного ВШП, подавляет паразитный сигнал тройного прохождения (СТП) и уменьшает пульсации амплитудно-частотной характеристики (АЧХ) в относительной полосе пропускания Δf/f0 около 5%. Однако вносимые потери (ВП=10дБ) и относительная полоса пропускания (Δf/f0=5%) ограничены материалом пьезоэлектрического звукопровода (используется пьезокерамика с большими потерями на распространение ПАВ) и топологией фильтра (наклонные выходные веерные ВШП затруднительно использовать для больших Δf/f0>5%).
Наиболее близким техническим решением является трехпреобразовательный веерный фильтр на ПАВ, содержащий пьезоэлектрический звукопровод, на рабочей поверхности которого в одном акустическом канале размещены входной веерный ВШП, выходные веерные ВШП с расщепленными электродами, период, ширина и зазор P1 между которыми изменяются вдоль апертуры W веерных ВШП. Выходные веерные ВШП соединены электрически последовательно и расположены симметрично на одинаковом расстоянии от входного верного ВШП [2]. Данное техническое решение позволяет уменьшить ВП до 6-8 дБ за счет использования пьезоэлектрических звукопроводов с пренебрежимо малыми потерями на распространение (срезы YZ, YX/128° LiNbCO3, XY/112° LiTaO3) или с малыми потерями на распространение (срезы YX/64°, YX/41° LiNbO3, YX/42° LiTaO3). Расширить полосу пропускания, увеличив Δf/f0 до 10-55%, возможно за счет устранения наклона выходных веерных ВШП и использования пьезоэлектрических звукопроводов с высоким значением k2=4,5-17% для рэлеевских ПАВ (срезы YZ, YX/128° LiNbO3, XY/112° LiTaO3) и вытекающих ПАВ (срезы YX/64°, YX/41° LiNbO3, YX/42° LiTaO3), где k - коэффициент электромеханической связи. Однако достигнутый уровень искажений (пульсаций) АЧХ 3 дБ является большим и обусловлен недостаточным подавлением СТП в полосе пропускания.
Задачей полезной модели является уменьшение искажений АЧХ трехпреобразовательного веерного фильтра на ПАВ без увеличения вносимых потерь.
Поставленная задача достигается тем, что в трехпреобразовательном веерном фильтре на ПАВ, содержащем пьезоэлектрический звукопровод, на рабочей поверхности которого в одном акустическом канале размещены входной веерный ВШП, выходные веерные ВШП с расщепленными электродами, период, ширина и зазор P1 между которыми изменяются вдоль апертуры W веерных ВШП, выходные веерные ВШП соединены электрически последовательно и расположены симметрично на одинаковом расстоянии от входного веерного ВШП, согласно полезной модели введены фазовращатель со сдвигом фаз на 90°, металлизированные экраны между входным и выходными веерными ВШП, при этом входной веерный ВШП и один из выходных веерных ВШП выполнены симметричными, а другой выходной веерный ВШП выполнен антисимметричным, выходные веерные ВШП соединены через фазовращатель со сдвигом фаз на 90°, расстояния S между входным и выходными веерными ВШП выбраны минимальными, а зазор Р2 между металлизированными экранами и веерными ВШП изменяется вдоль апертуры W веерных ВШП и выбран равным зазору P1 между смежными электродами веерных ВШП.
Предлагаемый трехпреобразовательный веерный фильтр на ПАВ представлен на фиг. 1. На фиг. 2 приведена измеренная АЧХ фильтра-прототипа на срезе YX/42° LiNbO3. На фиг. 3 показана измеренная АЧХ фильтра-прототипа на срезе YX/41° LiNbO3. На фиг. 4 дана измеренная АЧХ предлагаемого фильтра на срезе YX/42° LiTaO3. На фиг. 5 представлена измеренная АЧХ предлагаемого фильтра на срезе YX/41° LiNbO3.
Трехпреобразовательный веерный фильтр на ПАВ содержит пьезоэлектрический звукопровод 1, на котором размещен входной веерный ВШП 2, выходные веерные ВШП 3 и ВШП 4 с расщепленными электродами, период, ширина и зазор P1 между которыми изменяются вдоль апертуры W веерных ВШП. Входной веерный ВШП 2 и выходной веерный ВШП 4 выполнены симметричными, а выходной веерный ВШП 3 выполнен антисимметричным. Выходные веерные ВШП 3 и ВШП 4 соединены через фазовращатель 5. Между веерными ВШП 2, ВШП 3 и ВШП 4 размещены металлизированные экраны 6. Расстояния S между входными веерными ВШП 2 и выходными веерными ВШП 3 и ВШП 4 выбраны минимальными, а зазор Р2 между экранами 6 и веерными ВШП 2, ВШП 3 и ВШП 4 изменяется вдоль апертуры W веерных ВШП и выбран равным зазору P1 между смежными электродами веерных ВШП 2, ВШП 3 и ВШП 4.
Принцип работы предлагаемого трехпреобразовательного фильтра на ПАВ подобен принципу, используемому в известном устройстве (прототипе) и основан на эффекте формирования прямоугольной АЧХ веерными ВШП, на уменьшении ВП и подавлении СТП в трехпреобразовательной структуре в широкой полосе частот, а также на уменьшении потерь на распространение вытекающих ПАВ. Известно, что эффективное подавление СТП осуществляется в симметричной трехпреобразовательной ПАВ-структуре при полном согласовании с нагрузками по входу и выходу, но только на центральной частоте f0 [3]. В широкополосных трехпреобразовательных фильтрах на ПАВ эффективное подавление СТП осуществляется на всех частотах полосы пропускания выполнением выходных ВШП с симметричной и антисимметричной конфигурацией электродов [4]. Применительно для веерного трехпреобразовательного фильтра эта идея сводится к следующему. Входной веерный ВШП 2 и выходной веерный ВШП 4 выполнены симметричными, а выходной веерный ВШП 3 выполнен антисимметричным. Поскольку веерные ВШП 3 и ВШП 4 размещены на одинаковом расстоянии S от входного веерного ВШП 2, но имеют симметричную и антисимметричную конфигурацию электродов, то сигналы от этих преобразователей будут отличаться по фазе на 90° для всех частот полосы пропускания фильтра [4]. Сигналы тройного прохождения будут отличаться по фазе на 180° и эффективно подавляться. Последнее очень важно для веерной структуры, поскольку подавление СТП в этом случае не зависит от частоты и эффективно во всей широкой полосе пропускания веерного фильтра. Для того, чтобы полезные сигналы не отличались по фазе (складывались в фазе) на выходе фильтра необходимо между выходными веерными ВШП 3 и ВШП 4 подключить фазовращатель 5 со сдвигом фаз Δϕ=90° (фиг. 1) [4]. В качестве фазовращателя может использоваться одна индуктивность [5]. Таким образом в предлагаемом фильтре СТП подавлен во всей широкой полосе пропускания фильтра и искажения (пульсации) АЧХ минимальны.
ВП трехпреобразовательного фильтра на ПАВ зависят от потерь на распространение акустических волн и в общем случае определяются расстоянием между входным ВШП и выходным ВШП. Для рэлеевских ПАВ (срезы YZ, YX/128° LiNbO, XY/112° LiTaO3) потери на распространение пренебрежимо малы, однако для широкополосных ПАВ фильтров с Δf/f0>10% на вытекающих ПАВ (срезы YX/64°, YX/41° LiNbO3, YX/42° LiTaO3) необходимо минимизировать потери на распространение акустических волн. Для этого в предлагаемом фильтре расстояния S между входным веерным ВШП 2 и выходными веерными ВШП 3 и ВШП 4 выбраны минимальными (фиг. 1). Кроме того, потери на распространение вытекающих ПАВ на упомянутых срезах звукопровода минимальны под металлизированной поверхностью [6]. Следовательно, в предлагаемом фильтре все свободное пространство между ВШП 2, ВШП 3 и ВШП 4 должно быть покрыто металлом. Для этой цепи введены металлизированные экраны 6 (фиг. 1). Зазор Р2 между металлизированными экранами 6 и веерными ВШП 2, ВШП 3 и ВШП 4 изменяется вдоль апертуры W веерных ВШП и должен быть равен зазору P1 между смежными электродами веерных ВШП 2, ВШП 3 и ВШП 4 для создания равных условий распространения акустических волн в топологии фильтра для всех рабочих частот веерного фильтра, обеспечения минимума ВП и малых искажений (пульсаций) АЧХ в полосе пропускания.
Таким образом, использование предложенного технического решения позволяет обеспечить достижение поставленной задачи - уменьшение искажений АЧХ без увеличения вносимых потерь трехпреобразовательного веерного фильтра за счет увеличения подавления СТП и уменьшения потерь на распространение акустических волн.
Экспериментальная проверка предложенного технического решения осуществлялась на трехпреобразовательных веерных фильтрах на звукопроводах среза YX/42° LiTaO3 (k2=6%) и среза YX/41° LiNbO3 (k2=17%) на вытекающих ПАВ. Сначала измерялись фильтры, изготовленные по топологии прототипа с симметричными входным веерным ВШП и выходными веерными ВШП. АЧХ фильтра на срезе YX/42° LiTaO3 с расщепленными электродами на центральную частоту f0=129 МГц с полосой пропускания 28 МГц по уровню -4 дБ (Δf/f0=21,6%) в тракте 50 Ом с LC-согласованием представлена на фиг. 2. Получены ВП 10,7 дБ, пульсации АЧХ 3 дБ в полосе пропускания, коэффициент прямоугольности Kn=1,37 по уровням -4 дБ и -30 дБ, затухание в полосе задерживания 30-40 дБ. АЧХ фильтра на срезе YX/41° LiNbO3 показана на фиг. 3. В тракте 50 Ом с LC-согласованием фильтр на частоту f0=64,7 МГц обеспечил ВП 12,1 дБ, пульсации АЧХ 3 дБ в полосе пропускания 35 МГц по уровню -5 дБ (Δf/f0=55%), Kп=1,4 по уровням -5 дБ и -40 дБ, затухание в полосе задерживания >40 дБ. Как видно из графиков АЧХ (фиг. 2 и фиг. 3) ВП и пульсации в полосе пропускания обоих фильтров большие и обусловлены потерями на распространение вытекающих ПАВ (в прототипах отсутствуют металлизированные экраны между входным и выходными веерными ВШП, расстояния между входным и выходными веерными ВШП выбраны неминимальными) и недостаточным подавлением СТП в широкой полосе пропускания. На фиг. 4 дана АЧХ предложенного фильтра на срезе YX/42° LiTaO3 на f0=128,5 МГц в тракте 50 Ом с LC-согласованием. Получены ВП 7 дБ, малые пульсации АЧХ 1 дБ в полосе пропускания 27 МГц по уровню -4 дБ, Kn=1,37 по уровням -4 дБ и -30 дБ, затухание в полосе задерживания 30-40 дБ. АЧХ предложенного фильтра на срезе YX/41° LiNbO3 представлена на фиг. 5. В тракте 50 Ом с LC-согласованием фильтр на частоту f0=65,5 МГц обеспечил ВП=8 дБ, малые пульсации около 1 дБ в полосе пропускания 39,5 МГц по уровню -5 дБ (Δf/f0=60%), Kn=1,47 по уровням -5 дБ и -30 дБ, затухание в полосе задерживания >40 дБ. В обоих фильтрах входной веерный ВШП и один из выходных веерных ВШП выполнены симметричными, а другой выходной веерный ВШП выполнен антисимметричным. Расстояние между входным веерным и выходными веерными ВШП выбраны минимальными. Между этими ВШП введены металлизированные экраны с зазором, который изменяется вдоль апертуры веерных ВШП и равен зазору между смежными электродами веерных ВШП. В качестве фазовращателя на Δϕ=90° использовалась моточная катушка индуктивности. Как видно из сравнения графиков АЧХ на фиг. 2 и фиг. 4, на фиг. 3 и фиг. 5 предложенные трехпреобразовательные веерные фильтры на ПАВ на звукопроводах разных срезов YX/42° LiTaO3 и YX/41° LiNbO3 обеспечивают уменьшение искажений(пульсаций) АЧХ без увеличения потерь по сравнению с известными устройствами.
Источники информации
1. Патент США №4203082, МКИ НО3Н9/04, НКИ 333/194, 1980.
2. Веерный фильтр на поверхностных акустических волнах: пат. 201785 Рос. Федерация / С.А. Доберштейн - №2020128359; заявл. 24.08.2020, опубл. 13.01.2021, Бюл. №2.
3. Поверхностные акустические волны/ под ред. А. Олинера, Москва: Мир, 1981. С. 128.
4. K.Н. Yen, et al, "Low-Loss Low-Ripple SAW Filters Using Three Bidirectional Centrosymmetric Transducers", Electron. Lett., vol. 18, №10, pp. 403-404, 13th May 1982.
5. K. Yamanouchi, F.M. Nyffeller, and K. Shibayama, "Low Insertion Loss Acoustic Surface Wave Filter Using Group-Type Uniderectional Interdigital Transducer", Proc. IEEE Ultrason. Symp., 1975 pp. 317-321.
6. K. Yamanouchi and M. Takeuchi "Applications for Piezoelectric Leaky Surface Waves" Proc. IEEE Ultrason. Symp., 1990, pp. 11-18.

Claims (1)

  1. Трехпреобразовательный веерный фильтр на поверхностных акустических волнах, содержащий пьезоэлектрический звукопровод, на рабочей поверхности которого в одном акустическом канале размещены входной веерный встречно-штыревой преобразователь (ВШП), выходные веерные ВШП с расщепленными электродами, период, ширина и зазор P1 между которыми изменяются вдоль апертуры W веерных ВШП, выходные веерные ВШП соединены электрически последовательно и расположены симметрично на одинаковом расстоянии от входного веерного ВШП, отличающийся тем, что в него введены фазовращатель со сдвигом фаз на 90°, металлизированные экраны между входным и выходными веерными ВШП, при этом входной веерный ВШП и один из выходных веерных ВШП выполнены симметричными, а другой выходной веерный ВШП выполнен антисимметричным, выходные веерные ВШП соединены через фазовращатель со сдвигом фаз на 90°, расстояния S между входным и выходными веерными ВШП выбраны минимальными, а зазор Р2 между металлизированными экранами и веерными ВШП изменяется вдоль апертуры W веерных ВШП и выбран равным зазору P1 между смежными электродами веерных ВШП.
RU2021123482U 2021-08-04 2021-08-04 Трехпреобразовательный веерный фильтр на поверхностных акустических волнах RU208596U1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2021123482U RU208596U1 (ru) 2021-08-04 2021-08-04 Трехпреобразовательный веерный фильтр на поверхностных акустических волнах

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2021123482U RU208596U1 (ru) 2021-08-04 2021-08-04 Трехпреобразовательный веерный фильтр на поверхностных акустических волнах

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU208596U1 true RU208596U1 (ru) 2021-12-27

Family

ID=80039708

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2021123482U RU208596U1 (ru) 2021-08-04 2021-08-04 Трехпреобразовательный веерный фильтр на поверхностных акустических волнах

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU208596U1 (ru)

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4203082A (en) * 1977-06-03 1980-05-13 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Surface acoustic wave filter
RU2093954C1 (ru) * 1994-09-13 1997-10-20 Омский научно-исследовательский институт приборостроения Самосогласованный кольцевой фильтр на поверхностных акустических волнах
RU2157046C2 (ru) * 1998-12-24 2000-09-27 Омский научно-исследовательский институт приборостроения Фильтр на поверхностных акустических волнах
RU2158475C1 (ru) * 1999-04-29 2000-10-27 Швец Валерий Борисович Реверсный преобразователь с естественной направленностью излучения поверхностных акустических волн (варианты)
SU1753918A1 (ru) * 1990-04-09 2001-08-27 Ленинградский научно-исследовательский институт "Вектор" Устройство на поверхностных акустических волнах
US20060244550A1 (en) * 2005-04-28 2006-11-02 Fujitsu Media Devices Limited Surface acoustic wave filter and duplexer using the same
EP0854571B1 (en) * 1997-01-20 2008-09-03 Murata Manufacturing Co., Ltd. Surface acoustic wave filter
RU2340080C2 (ru) * 2006-12-18 2008-11-27 Открытое акционерное общество "Научно-призводственное обьединение "ЭРКОН" (ОАО "НПО ЭРКОН") Фильтр на поверхностных акустических волнах
RU201785U1 (ru) * 2020-08-24 2021-01-13 Акционерное общество "Омский научно-исследовательский институт приборостроения" (АО "ОНИИП") Веерный фильтр на поверхностных акустических волнах

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4203082A (en) * 1977-06-03 1980-05-13 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Surface acoustic wave filter
SU1753918A1 (ru) * 1990-04-09 2001-08-27 Ленинградский научно-исследовательский институт "Вектор" Устройство на поверхностных акустических волнах
RU2093954C1 (ru) * 1994-09-13 1997-10-20 Омский научно-исследовательский институт приборостроения Самосогласованный кольцевой фильтр на поверхностных акустических волнах
EP0854571B1 (en) * 1997-01-20 2008-09-03 Murata Manufacturing Co., Ltd. Surface acoustic wave filter
RU2157046C2 (ru) * 1998-12-24 2000-09-27 Омский научно-исследовательский институт приборостроения Фильтр на поверхностных акустических волнах
RU2158475C1 (ru) * 1999-04-29 2000-10-27 Швец Валерий Борисович Реверсный преобразователь с естественной направленностью излучения поверхностных акустических волн (варианты)
US20060244550A1 (en) * 2005-04-28 2006-11-02 Fujitsu Media Devices Limited Surface acoustic wave filter and duplexer using the same
RU2340080C2 (ru) * 2006-12-18 2008-11-27 Открытое акционерное общество "Научно-призводственное обьединение "ЭРКОН" (ОАО "НПО ЭРКОН") Фильтр на поверхностных акустических волнах
RU201785U1 (ru) * 2020-08-24 2021-01-13 Акционерное общество "Омский научно-исследовательский институт приборостроения" (АО "ОНИИП") Веерный фильтр на поверхностных акустических волнах

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CA2183281C (en) Surface acoustic wave filter
US6104260A (en) Surface acoustic wave filter with first and second filter tracks and balanced or unbalanced terminals
EP0184508A2 (en) Surface acoustic wave transducer
JPH08265087A (ja) 弾性表面波フィルタ
WO2021002321A1 (ja) 弾性波フィルタおよびマルチプレクサ
JP6760480B2 (ja) エクストラクタ
JP2000261288A (ja) 弾性表面波フィルタ、デュプレクサ、通信機装置
US6462633B1 (en) Surface acoustic wave device including parallel connected main and sub-filters
RU208596U1 (ru) Трехпреобразовательный веерный фильтр на поверхностных акустических волнах
RU201785U1 (ru) Веерный фильтр на поверхностных акустических волнах
Heighway et al. Balanced bridge SAW impedance element filters
JPH021403B2 (ru)
JPH10276062A (ja) 弾性表面波デバイス
Hashimoto Surface acoustic wave (SAW) devices
JP4031686B2 (ja) 弾性表面波フィルタ
JP3315913B2 (ja) 弾性表面波フィルタ
Lin et al. Improved frequency responses of SAW filters with interdigitated interdigital transducers on ZnO/Diamond/Si layered structure
JPH04207615A (ja) 縦結合二重モードリーキーsawフィルタ
RU109620U1 (ru) Фильтр на поверхностных акустических волнах
JPH0879000A (ja) 弾性表面波フィルタ
Heighway et al. Impedance element SAW filters
Li et al. Optimal design of an RSPUDT-based SAW filter with constant group delay
RU2157046C2 (ru) Фильтр на поверхностных акустических волнах
RU2242838C2 (ru) Фильтр на поверхностных акустических волнах
JPH09246901A (ja) 弾性表面波共振子フィルタ