JP2004328387A

JP2004328387A - 弾性表面波装置

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Publication number: JP2004328387A
Application number: JP2003120350A
Authority: JP
Inventors: Hideki Matsuda; 英樹松田
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2003-04-24
Filing date: 2003-04-24
Publication date: 2004-11-18

Abstract

【課題】狭帯域化を図って中間周波数高めた場合であっても、挿入損失の悪化が生じ難い、横結合型２重モード共振子型弾性表面波フィルタを２段縦続接続した構造を有する弾性表面波装置を提供する。
【解決手段】圧電基板２上に、縦続接続された第１，第２の横結合２重モード共振子型弾性表面波フィルタ３，４が構成されており、各横結合２重モード共振子型弾性表面波フィルタ３，４は、ＩＤＴ電極と、ＩＤＴ電極が設けられている領域の表面波伝搬方向両側に設けられたグレーティング反射器電極とを有する２つの１ポート型弾性表面波型共振子３１，３２，４１，４２が表面波伝搬方向と直交する方向に近接して配置されており、弾性表面波の波長λ_Ｒとしたときに、電極の規格化膜厚ｈ／λ_Ｒが０．００２以上、０．０２８の範囲にあり、結合長Ｇが１．４３λ_Ｒ以上１．５５λ_Ｒ以下とされている、弾性表面波装置１。
【選択図】図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、第１，第２の横結合２重モード共振子型弾性表面波フィルタが２段縦続接続されている構造を有する弾性表面波装置に関し、例えば、ＡＭＰＳ／ＣＤＭＡ８００ＭＨｚ／ＰＣＳ方式のトリプルバンド携帯電話機の第１中間周波数段における帯域フィルタとして好適に用いられる弾性表面波装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
米国で用いられているＡＭＰＳ／ＣＤＭＡ８００ＭＨｚ／ＰＣＳ方式のトリプルバンド携帯電話機では、ＡＭＰＳ部／ＣＤＭＡ部の第１中間周波数段の周波数は、従来、８５．３８ＭＨｚであり、ＰＣＳ部では２１０．３８ＭＨｚであった。この場合、それぞれの第１中間周波数段用フィルタでは、異なる特性が要求されていたため、合計３個のフィルタが必要であった。
【０００３】
しかしながら、近年、第１中間周波数段の周波数を１８３．６０ＭＨｚに統一し、ＣＤＭＡ部及びＰＣＳ部の第１中間周波数段のフィルタを共通化することにより、共通化された１個のフィルタで、ＡＭＰＳ部のフィルタと合わせて、２個のフィルタで回路が構成されてきている。それによって、部品点数の削減によりコストダウンを図ることができ、かつ携帯電話機の小型化を図ることができる。
【０００４】
ところで、ＡＭＰＳ部の第１中間周波数段用フィルタでは、従来から弾性表面波フィルタと水晶フィルタとが用いられてきた。弾性表面波フィルタは、水晶フィルタに比べて大きいものの、低価格であるという利点を有する。弾性表面波フィルタでは、水晶基板などの圧電性を有する基板の表面に、フォトリソグラフィーによりＩＤＴ電極が形成される。ＩＤＴ電極の電極指の周期は、表面波の波長λに等しい。表面波の波長λは、伝搬速度Ｖと、所望とする周波数ｆとにより、λ＝Ｖ／ｆにより求められる。
【０００５】
また、弾性表面波フィルタは、大別すると、トランスバーサル型弾性表面波フィルタと、共振子型弾性表面波フィルタとに分類される。ＡＭＰＳ部の第１中間周波数段に用いられるフィルタは、この内、共振子型弾性表面波フィルタであり、特に２個の弾性表面波共振子を結合することにより構成された横結合型の共振子型弾性表面波フィルタである。
【０００６】
従来の横結合型共振子型弾性表面波フィルタの一例を図１５に示す。横結合型共振子型弾性表面波フィルタ１０１では、１ポート型ＳＡＷ共振子１０２，１０３が表面波伝搬方向と直交する方向、すなわち横方向に近接配置されている。各１ポート型ＳＡＷ共振子１０２，１０３は、圧電基板１０４上に、ＩＤＴ電極１０２ａ、グレーティング反射器電極１０２ｂ，１０２ｃ、及びＩＤＴ電極１０３ａ及びグレーティング反射器電極１０３ｂ，１０３ｃを形成することにより構成されている。横結合型共振子型弾性表面波フィルタ１０１では、入力端子１０５に入力信号を加えられると、図１６の（ａ）及び（ｂ）において模式的に示す定在波が励起される。なお、図１６（ａ）及び（ｂ）の横軸Ａは、ＩＤＴ電極の電極指の延びる方向に相当し、図１６（ａ）では、横０次モードの定在波Ｂが、図１６（ｂ）では、横１次モードの定在波Ｃが示されている。
【０００７】
このように横方向に結合した分布を有する定在波Ｂ，Ｃの共振モードを用いてフィルタ特性が得られる。パッケージの寸法や挿入損失との兼ね合いにより、図１５に示した横結合型弾性表面波フィルタ１０１を２段縦続接続した構造を用いるのが一般的である。
【０００８】
横結合型弾性表面波フィルタの通過帯域幅は、横０次モードと、横１次モードのモード間周波数間隔Δｆによって決定される。モード間周波数間隔Δｆは、ＩＤＴ電極により励振される表面波が横方向に結合する程度によって決定される。そして、横方向の結合の程度は、図１７に示すように、横結合型弾性表面波フィルタを多数の導波路と見なしたときの各導波路領域の幅と、弾性表面波の伝搬速度によって支配される。なお、弾性表面波の伝搬速度は、ＩＤＴ電極の膜厚及びデューティ比によっても変化する。従って、横結合型弾性表面波フィルタの設計に際しては、電極膜厚やデューティ比を考慮しつつ、各導波路の幅、特に電極指交叉幅Ｅ１，Ｅ２、結合長Ｇの設定が重要となる。
【０００９】
他方、下記の特許文献１には、上記のような横結合２重モード共振子型弾性表面波フィルタにおいて、ＩＤＴ電極のデューティを０．６８以上とすれば、減衰量を改善し得る旨が開示されている。
【００１０】
また、下記の特許文献２〜４では、弾性表面波共振子のＩＤＴ電極の膜厚やデューティ比の値を特定の範囲とすることにより、Ｑ値を制御したり、容量比γを低めたりし得ることが記載されている。
【００１１】
【特許文献１】
特開平７−３０３６３号公報
【特許文献２】
特開昭５７−１７０６１５号公報
【特許文献３】
特開昭５８−６６１８号公報
【特許文献４】
特開昭５９−１３５９１７号公報
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
上述したＡＭＰＳ／ＣＤＭＡ８００ＭＨｚ／ＰＣＳ方式の携帯電話機のＡＭＰＳ部の１８３．６０ＭＨｚの第１中間周波数段用帯域フィルタでは、隣接チャンネル周波数（１８３．６０ＭＨｚ±６０ｋＺｚ）における減衰量は１０ｄＢ程度であった。一般に、中間周波数が高くなるにつれて、フィルタの帯域幅は広くなる。従って、８５．３ＭＨｚから、１８３．６０ＭＨｚに中間周波数を高めるように、弾性表面波フィルタの設計を変更しただけでは、１８３．６０ＭＨｚ±６０ｋＨｚにおいて１０ｄＢ程度の減衰量を得ることはできない。よって、中間周波数が１８３．６０ＭＨｚのフィルタでは、帯域をより一層狭めなければならない。
【００１３】
横結合型の弾性表面波フィルタにおいて、狭帯域化を図るには、電極指交叉幅Ｅ１，Ｅ２を大きくする方法、あるいは結合長Ｇを大きくする方法が用いられる。しかしながら、狭帯域化を図ると、横結合共振子型弾性表面波フィルタのＱが低下し、挿入損失が悪化するという問題があった。特に、中心周波数が１８３．６０ＭＨｚのフィルタを構成した場合には、帯域がかなり狭くなるため、挿入損失の悪化量はかなり大きくなると予想される。
【００１４】
他方、挿入損失については、ＩＤＴの電極膜厚やデューティ比も影響する。水晶基板のような電気機械結合係数や音響アドミタンスが小さい圧電基板を用いた弾性表面波フィルタでは、小型化を図る場合に、電気的特性の劣化を防ぐために、電極膜厚を厚くしたり、デューティ比を大きくしたりするのが普通である。これは、ＩＤＴ電極やグレーティング反射器電極を構成する電極指１本当りの反射率を高め、それによって表面波の閉じ込め量が劣化するのを防止するためである。但し、電極膜厚を厚くし過ぎたり、デューティ比を大きくしたりし過ぎると、表面波の伝搬損失が大きくなり、逆に挿入損失が大きくなるという問題があった。
【００１５】
上述した特許文献１に記載の横結合型弾性表面波フィルタでは、ＩＤＴ電極のデューティ比を０．６８以上とすることにより、減衰量の改善を図ることが示されているものの、上記のような狭帯域化を図った場合の挿入損失の悪化について何ら言及されていない。
【００１６】
また、特許文献１では、ＩＤＴ電極のデューティ比を０．６８以上とすることにより、帯域外減衰量を改善し得る旨が示されているだけであり、電極膜厚と結合長などの関係については言及されていない。
【００１７】
他方、特許文献２〜４では、弾性表面波共振子のＩＤＴ電極膜厚やデューティ比について言及されているだけであり、横結合型共振子型弾性表面波フィルタにおける上記問題点は何ら示されていない。
【００１８】
すなわち、ＡＭＰＳ部の第１中間周波数段用の１８３．６０ＭＨｚ帯フィルタのような超狭帯域の弾性表面波フィルタにおける電極設計条件、ＩＤＴ電極の膜厚、及びデューティ比について言及されている先行技術はこれまで存在しなかった。
【００１９】
本発明の目的は、帯域幅が非常に狭い狭帯域の横結合型共振子型弾性表面波フィルタ装置において、挿入損失の低減を図ることを可能とする構造を提供することにある。
【００２０】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る弾性表面波装置は、水晶基板と、前記水晶基板に構成されており、縦続接続された第１，第２の横結合２重モード共振子型弾性表面波フィルタとを備え、前記各横結合２重モード共振子型弾性表面波フィルタが、ＩＤＴ電極と、ＩＤＴ電極が設けられている領域の表面波伝搬方向両側に設けられた第１，第２のグレーティング反射器電極とを有する２つの１ポート型弾性表面波共振子が表面波伝搬方向と直交する方向に近接して配置されている構造を有し、前記ＩＤＴ電極及びグレーティング反射器電極がＡｌまたはＡｌを主成分とする電極層を有し、前記弾性表面波の波長をλ_Ｒとしたときに、波長λ_Ｒで規格化された電極膜厚ｈ／λ_Ｒが０．００２≦ｈ／λ_Ｒ≦０．０２８の範囲にあり、かつ結合長Ｇが１．４３λ_Ｒ≦Ｇ≦１．５５λ_Ｒとされていることを特徴とする。
【００２１】
本発明に係る弾性表面波装置のある特定の局面では、前記第１，第２の横結合２重モード共振子型弾性表面波フィルタにおける電極指交叉幅が８λ_Ｒ以上とされている。
【００２２】
本発明に係る弾性表面波装置のさらに他の特定の局面では、前記ＩＤＴ電極及びグレーティング反射器電極のデューティ比Ｄが、０．６８≦Ｄ≦０．７２の範囲とされている。
【００２３】
本発明に係る弾性表面波装置のさらに別の特定の局面では、前記グレーティング反射器電極の電極指の本数が１５４本以上である。
本発明に係る弾性表面波装置のさらに他の特定の局面では、前記弾性表面波装置の５ｄＢ帯域幅を中心周波数で除算した値が０．０３３５〜０．０３６６の範囲内とされている。
【００２４】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施例を説明することにより、本発明を明らかにする。
【００２５】
図１は、本発明の一実施形態に係る弾性表面波装置の電極構造を示す模式的平面図である。弾性表面波装置１は、圧電基板２上に図１に示した電極構造を形成することにより構成されている。圧電基板２上において、第１，第２の横結合型共振子型弾性表面波フィルタ３，４が構成されている。第１，第２の横結合型共振子型弾性表面波フィルタ３，４は縦続接続されており、第１の横結合型共振子型弾性表面波フィルタ３に入力端子５が、第２の横結合型共振子型弾性表面波フィルタ４に出力端子６が接続されている。
【００２６】
第１の横結合型共振子型弾性表面波フィルタ３は、１ポート型弾性表面波共振子３１と、１ポート型弾性表面波共振子３２とを表面波伝搬方向と直交する方向、すなわち横方向において近接配置することにより構成されている。同様に、第２の横結合型共振子型弾性表面波フィルタ４は、１ポート型弾性表面波共振子４１と、１ポート型弾性表面波共振子４２とを表面波伝搬方向と直交する方向に近接配置することにより構成されている。
【００２７】
各弾性表面波共振子３１，３２，４１，４２は、それぞれ、ＩＤＴ電極３１ａ，３２ａ，４１ａ，４２ａと、グレーティング反射器電極３１ｂ，３１ｃ，３２ｂ，３２ｃ，４１ｂ，４１ｃ，４２ｂ，４２ｃとを有する。グレーティング反射器電極３１ｂ，３１ｃは、ＩＤＴ電極３１ａが設けられている領域の表面波伝搬方向両側に配置されている。同様に、グレーティング反射器電極３２ｂ，３２ｃ，４１ｂ，４１ｃ及び４２ｂ，４２ｃも、ＩＤＴ電極３２ａ，４１ａ，４２ａが設けられている各領域の表面波伝搬方向両側に配置されている。
【００２８】
ＩＤＴ電極３１ａ，３２ａ，４１ａ，４２ａは、互いに間挿し合う数本の電極指を有する。グレーティング反射器電極３２ｂ，３２ｃ，４１ｂ，４１ｃ，４２ｂ，４２ｃは、互いに短絡された複数本の電極指を有する。
【００２９】
第１の横結合型共振子型弾性表面波フィルタ３では、電極指交叉幅Ｅ１，Ｅ２は等しくされている。また、結合長Ｇは、図示のように、１ポート型弾性表面波共振子３１，３２間の領域の表面波伝搬方向と直交する方向の寸法をいうものとする。
【００３０】
ＡＭＰＳ部の第１中間周波数段用の中間周波数が１８３．６０ＭＨｚの狭帯域の弾性表面波フィルタを構成するために、弾性表面波装置１と同様の電極構造を有し、但し、電極膜厚ｈ／λ_Ｒを種々異ならせた弾性表面波装置を作製した。なお、弾性表面波装置において、圧電基板２としては、矩形板状の水晶基板を用い、ＩＤＴ電極３１ａ，３２ａ，４１ａ，４２ａ及びグレーティング反射器電極３１ｂ，３１ｃ〜４２ｂ，４２ｃを構成する電極材料として、Ａｌを主成分とする合金を用いた。また、励振される表面波はレイリー波である。
【００３１】
また、ＩＤＴ電極３１ａ，３２ａ，４１ａ，４２ａにおける電極指交叉幅は、全て１１λ_Ｒ、電極指の対数は１１５対とした。グレーティング反射器電極３１ｂ，３１ｃ〜４１ｂ，４２ｃにおいて、電極指の本数は、それぞれ１７４本とした。さらに、デューティ比、すなわち電極指の幅の電極指と電極指間ギャップの合計に対する割合は０．７とした。
【００３２】
なお、電極指交叉幅１１λ_Ｒとしたのは、以下の理由による。すなわち、上記弾性表面波装置１において、電極指交叉幅を種々異ならせ、挿入損失の変化を調べたところ、図２に示す結果が得られた。なお、ここでは、電極膜厚ｈ／λ_Ｒは０．０３２とした。図２から明らかなように、電極指交叉幅を８λ_Ｒ以上とすることにより、挿入損失を６ｄＢ以下とし得ることがわかる。これは、電極指交叉幅を拡げることにより、表面波の横方向の閉じ込めが良好に行われているためである。よって、電極指交叉幅を８λ_Ｒ以上とすることにより、挿入損失を改善することができる。なお、本明細書における挿入損失の値は、０ｄＢを基準としたときの最小損失点における減衰量を意味するものとする。
【００３３】
図２から明らかなように、交叉幅を８λ_Ｒ以上とすることが好ましく、また交叉幅を大きくするほど挿入損失の低減を図り得ることに鑑み、上記のように電極指交叉幅を１１λ_Ｒとした。なお、１１λ_Ｒは、５．０×７．０ｍｍのセラミックパッケージに入る最大チップサイズを採用した圧電基板を用いた場合の電極指交叉幅のほぼ最大値である。交叉幅は大きい程好ましいが、水晶基板の寸法により制限される。すなわち、小型化を図るには、交叉幅の最大値は水晶基板の寸法に応じた最大限の値となる。
【００３４】
次に、上記のように、電極膜厚を種々異ならせた場合の電極膜厚と挿入損失の関係を図３に示す。なお、ここでは、電極の規格化膜厚を、ｈ／λ_Ｒ＝０．０２、０．０２２、０．０２４、０．０２６、０．０２８、０．０３０及び０．０３２と変化させた。下記の表１に、ｈ／λ_Ｒと、電極の膜厚の絶対値を示す。
【００３５】
【表１】

【００３６】
図３は、種々の電極膜厚弾性表面波装置における電極膜厚ｈ／λ_Ｒと挿入損失の関係を示す図である。
図３から明らかなように、ｈ／λ_Ｒが約０．０２４において、挿入損失が最も小さくなることがわかる。電極膜厚ｈ／λ_Ｒが０．０２４より厚い場合には、伝搬損失が大きくなることにより、挿入損失が悪化し、逆に、０．０２４よりも薄い場合には、表面波の閉じ込めが弱くなり、エネルギーの漏洩が増大するため、挿入損失が悪化していることがわかる。従って、最も好ましくは、電極膜厚をｈ／λ_Ｒ＝０．０２４とすることにより、挿入損失を効果的に低減することができる。また、電極膜厚ｈ／λ_Ｒは０．０２０〜０．０２８の範囲であれば、挿入損失が５．５ｄＢ以下となり、必要上問題のない良好な特性の得られることがわかる。なお、図４〜６は、電極膜厚ｈ／λ_Ｒが０．０２０、０．０２４、０．０２６及び０．０２８の場合の弾性表面波装置１の伝送特性を示す図である。
【００３７】
また、図４〜６における内側の特性曲線は、縦軸の右側の拡大スケールで示した伝送特性を示す。
上記結果を考慮し、電極膜厚ｈ／λ_Ｒを約０．０２４とし、結合長Ｇを種々異ならせた弾性表面波装置を作製し、帯域幅について検討した。使用した圧電基板、電極指交叉幅、電極指の対数及び反射器電極の電極指の本数及びデューティ比は上述した電極膜厚を異ならせた実験と同一とした。
【００３８】
なお、目標特性は、中間周波数が１８３．６０ＭＨｚであり、５ｄＢ帯域幅が中間周波数±１１ｋＨｚ以上であり、中間周波数±６０ｋＨｚにおける減衰量は１１ｄＢ以上である。
【００３９】
上記目標特性である５ｄＢ帯域幅、１１ｄＢ帯域幅、並びに５ｄＢ帯域幅を１８３．６０ＭＨｚで除算した値を下記の表２に示す。
また、図７に、上記のように結合長Ｇが１．４３λ_Ｒから１．５５λ_Ｒの間で異ならせた弾性表面波装置１の挿入損失を示す。
【００４０】
使用温度範囲における周波数の温度特性や基板実装のためのリフローハンダ付けに際しての周波数シフト量などを考慮すると、５ｄＢ帯域幅は約６０〜６７ｋＨｚ、１１ｄＢ帯域幅は約７６〜８４ｋＨｚであることが目標特性に対して適切である。
【００４１】
【表２】

【００４２】
表２の結果から、５ｄＢ帯域幅、１１ｄＢ帯域幅共に結合長１．４３λ_Ｒが結合長の下限となる。他方、挿入損失の兼ね合いを考慮すると、結合長Ｇは１．５５λ_Ｒ以下とすることが好ましいことがわかる。すなわち、結合長が１．４３λ_Ｒ〜１．５５λ_Ｒの範囲であれば、図７からも明らかなように、挿入損失も５．５ｄＢ以下とさほど大きくない。
【００４３】
なお、上記各実験例では、デューティ比は０．７とした。そこで、次にデューティ比を変化させて、他は同じ条件とし、種々の弾性表面波装置を作製し、ウェハー段階における中心周波数を測定した。結果を図８に示す。なお、図８の中心周波数は、ウェハー上の弾性表面波装置の中心周波数の平均値である。
【００４４】
図８から明らかなように、デューティ比が０．７において、中心周波数が極小になる２次曲線が得られることがわかる。従って、デューティ比を０．７とすることが最も好ましく、また図８から、デューティ比が０．６８以上、０．７２以下の範囲であれば、周波数平均値のばらつきが約１０ｋＨｚ以下に制限され得ることがわかる。従って、デューティ比を０．６８以上、０．７２以下とすることにより、周波数ずれによる良品率の悪化を抑制することができ、かつドライエッチングによるウェハー単位の周波数調整に必要な工程を少なくし得ることがわかる。
【００４５】
デューティ比が０．６８以上、０．７２以下の場合の上記弾性表面波装置の挿入損失の変化を図９に示す。また、デューティ比が０．６８、０．７０及び０．７２のときの弾性表面波装置の伝送特性を図１０〜図１２に示す。
【００４６】
図１０〜図１２から明らかなように、デューティ比を０．６８以上、０．７２以下とすることにより良好な共振特性が得られることがわかる。
上記各実験例から明らかなように、電極指交叉幅を８λ_Ｒ以上、電極膜厚ｈ／λ_Ｒを０．０２〜０．０２８、並びにデューティ比を０．６８〜０．７２の範囲にすることにより、ＡＭＰＳ／ＣＤＭＡ８００ＭＨｚ／ＰＣＳ方式のトリプルバンド携帯電話機に用いられるＡＭＰＳ部の第１中間周波数段用フィルタとして、伝送特性が良好であり、安価な弾性表面波装置を提供し得ることがわかる。
【００４７】
次に、グレーティング反射器電極の電極指の本数を変化させた場合の実験例につき、説明する。
結合長Ｇが１．５１λ_Ｒである弾性表面波装置１において、グレーティング反射器電極の本数を減らした場合の挿入損失の影響を調べた。図１３は、その結果を示し、１段の横結合型共振子型弾性表面波フィルタ当り、左右のグレーティング反射器電極の本数を、１０本ずつ、２０本ずつ、３０本ずつ及び５０本ずつ減らした場合の挿入損失の変化を示す。また、左右２０本ずつ電極指を減らした場合の伝送特性を図１４に示す。
【００４８】
図１３から明らかなように、左右２０本ずつの電極指をグレーティング反射器電極において減らした場合の伝送特性において挿入損失の悪化量は０．５ｄＢ以内に納まっており、実用上問題のないことがわかる。
【００４９】
よって、グレーティング反射器電極の本数を１５４本以上とすることにより、特性の悪化を招くことなく、弾性表面波装置１のコストを低減することができる。すなわち、フィルタ１段当り左右２０本ずつ反射器電極の電極指の本数を削減できた場合、表面波の波長が約１７μｍであるため、１７×２０＝３４０μｍだけ弾性表面波装置１の長手方向寸法を小さくすることができる。弾性表面波装置の小型化を図ることができるので、ウェハー１枚当りの弾性表面波装置の個数を増加させることができて、それによって弾性表面波装置１のコストの低減を図ることができる。
【００５０】
【発明の効果】
本発明に係る弾性表面波装置は、第１，第２の横結合２重モード共振子型弾性表面波フィルタが縦続接続されている構成において、電極膜厚ｈ／λ_Ｒが０．００２以上、０．０２８以下の範囲にあり、かつ結合長Ｇが１．４３λ_Ｒ以上、１．５５λ_Ｒとされているため、狭帯域化を図った場合であっても、挿入損失を著しく抑制することができ、それによって狭帯域かつ低損失の弾性表面波装置を提供することができる。
【００５１】
よって、例えばＡＭＰＳ／ＣＤＭＡ８００ＭＨｚ／ＰＣＳ方式のトリプルモード携帯電話機のＡＭＰＳの第１中間周波数段のフィルタとして最適な弾性表面波装置を提供することができる。
【００５２】
また、電極指交叉幅が８λ_Ｒ以上であれば、挿入損失をより一層効果的に低減することができる。
また、デューティ比が０．６８〜０．７２の範囲にある場合には、挿入損失の低減を図りつつ、中間周波数のばらつきを小さくすることができ、弾性表面波装置のコストの低減を果たすことも可能となる。
【００５３】
グレーティング反射器電極の本数は、１５４本以上の場合には、挿入損失の悪化は０．５ｄＢ以内に納まっており、実用上問題はない。
弾性表面波装置の５ｄＢ帯域幅を中間周波数で除算した値が０．０３３５〜０．０３６６の範囲にある場合は、ＡＭＰＳ／ＣＤＭＡ８００ＭＨｚ／ＰＣＳ方式のトリプルモード携帯電話機のＡＭＰＳ部第１中間周波数段のフィルタとして最適な弾性表面波装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係る弾性表面波装置の電極構造を示す模式的平面図。
【図２】電極指交叉幅を変化させた場合の挿入損失の変化を示す図。
【図３】電極の規格化膜厚ｈ／λ_Ｒを変化させた場合の挿入損失の変化示す図。
【図４】電極膜厚が０．０２の場合の伝送特性を示す図。
【図５】電極膜厚が０．０２４の場合の伝送特性を示す図。
【図６】電極膜厚が０．０２８の場合の伝送特性を示す図。
【図７】電極膜厚ｈ／λ_Ｒが０．０２４である弾性表面波装置において結合長Ｇを変化させた場合の挿入損失の変化を示す図。
【図８】電極膜厚ｈ／λ_Ｒ＝０．０２４、結合長Ｇ＝１．５１λ_Ｒの弾性表面波装置において、デューティ比を変化させた場合のウェハー上における中心周波数平均値の変化を示す図。
【図９】電極膜厚ｈ／λ_Ｒ＝０．０２４かつ結合長Ｇ＝１．５１λ_Ｒの弾性表面波装置におけるデューティ比を変化させた場合の挿入損失の変化を示す図。
【図１０】電極膜厚ｈ／λ_Ｒ＝０．０２４かつ結合長Ｇ＝１．５１λ_Ｒの弾性表面波装置において、デューティ比が０．６８の場合の伝送特性を示す図。
【図１１】電極膜厚ｈ／λ_Ｒ＝０．０２４かつ結合長Ｇ＝１．５１λ_Ｒの弾性表面波装置において、デューティ比が０．７０の場合の伝送特性を示す図。
【図１２】電極膜厚ｈ／λ_Ｒ＝０．０２４かつ結合長Ｇ＝１．５１λ_Ｒの弾性表面波装置において、デューティ比が０．７２の場合の伝送特性を示す図。
【図１３】反射器電極の電極指を削減した数と、挿入損失変化量との関係を示す図。
【図１４】反射器電極の電極指を２０本削減する前及び削減した後の弾性表面波装置の伝送特性を示す図。
【図１５】従来の横結合型弾性表面波フィルタの一例を示す模式的平面図。
【図１６】図１５に示した横結合型弾性表面波フィルタにおいて生じる定在波を説明するための各模式図。
【図１７】横結合型弾性表面波フィルタにおける交叉幅及び結合長を説明するための模式的平面図。
【符号の説明】
１…弾性表面波装置
２…圧電基板
３，４…第１，第２の横結合型共振子型弾性表面波フィルタ
５…入力端子
６…出力端子
３１，３２，４１，４２…１ポート型弾性表面波共振子
３１ａ，３２ａ，４１ａ，４２ａ…ＩＤＴ電極
３１ｂ，３１ｃ，３２ｂ，３２ｃ，４１ｂ，４１ｃ，４２ｂ，４２ｃ…グレーティング反射器電極

Claims

水晶基板と、前記水晶基板に構成されており、縦続接続された第１，第２の横結合２重モード共振子型弾性表面波フィルタとを備え、
前記各横結合２重モード共振子型弾性表面波フィルタが、ＩＤＴ電極と、ＩＤＴ電極が設けられている領域の表面波伝搬方向両側に設けられた第１，第２のグレーティング反射器電極とを有する２つの１ポート型弾性表面波共振子が表面波伝搬方向と直交する方向に近接して配置されている構造を有し、
前記ＩＤＴ電極及びグレーティング反射器電極がＡｌまたはＡｌを主成分とする電極層を有し、
前記弾性表面波の波長をλ_Ｒとしたときに、波長λ_Ｒで規格化された電極膜厚ｈ／λ_Ｒが０．００２≦ｈ／λ_Ｒ≦０．０２８の範囲にあり、かつ結合長Ｇが１．４３λ_Ｒ≦Ｇ≦１．５５λ_Ｒとされている、弾性表面波装置。
前記第１，第２の横結合２重モード共振子型弾性表面波フィルタにおける電極指交叉幅が８λ_Ｒ以上であることを特徴とする請求項１に記載の弾性表面波装置。
前記ＩＤＴ電極及びグレーティング反射器電極のデューティ比Ｄが、０．６８≦Ｄ≦０．７２の範囲にある、請求項１または２に記載の弾性表面波装置。
前記グレーティング反射器電極の電極指の本数が１５４本以上である、請求項１〜３のいずれかに記載の弾性表面波装置。
前記弾性表面波装置の５ｄＢ帯域幅を中心周波数で除算した値が０．０３３５〜０．０３６６の範囲にある請求項１〜４のいずれかに記載の弾性表面波装置。