JP6421748B2 - 弾性波装置 - Google Patents

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Description

本発明は、弾性波装置に関する。
従来、弾性波装置が携帯電話機のフィルタなどに広く用いられている。下記の特許文献１には、ＩＤＴ電極を有する弾性波装置の一例が示されている。上記ＩＤＴ電極のバスバーは、下層配線と、下層配線上に積層された上層配線とを有する。
特開２００２−１００９５２号公報
近年、弾性波装置のより一層の小型化要求に応えるため、弾性波共振子が、弾性波伝搬方向に垂直な方向において互いにより一層近づけて配置されるのに伴って、隣り合っているＩＤＴ電極のバスバー間の距離が短くなってきている。一方で、ラダー型フィルタなどにおいては、フィルタ特性を高めるために、弾性波共振子のＩＤＴ電極の、弾性波伝搬方向に沿う寸法が大きくなっており、バスバーも長くなってきている。このため、特許文献１の、２層バスバーを採用した横長のＩＤＴ電極を有する弾性波共振子を近接配置すると、バスバーの形成不良が生じ易く、また、互いのバスバー同士が短絡するおそれがある。よって、ＩＤＴ電極同士を充分に近づけて配置することが困難であり、弾性波装置の小型化を充分に図ることができなかった。
本発明の目的は、ＩＤＴ電極同士が隣り合っている部分におけるバスバーの形成不良が生じ難く、かつ小型化を進めることができる、弾性波装置を提供することにある。
本発明に係る弾性波装置は、圧電基板と、前記圧電基板に構成されており、ＩＤＴ電極をそれぞれ有する複数の弾性波素子とを備え、前記複数の弾性波素子のうち第１の弾性波素子の前記ＩＤＴ電極が、対向し合っている第１，第２のバスバーを有し、第２の弾性波素子の前記ＩＤＴ電極が、対向し合っている第３，第４のバスバーを有し、前記第２のバスバーと前記第３のバスバーとが略平行に延びており、かつ弾性波伝搬方向に垂直な方向においてギャップを介して配置されており、前記第２，第３のバスバーが第１の電極層と、該第１の電極層上に少なくともその一部が積層されている第２の電極層とを有し、前記第２のバスバーの前記第２の電極層が、少なくとも１箇所において、弾性波伝搬方向に交差する方向に分断されている。
本発明に係る弾性波装置のある特定の局面では、前記第２のバスバーの前記第２の電極層が、弾性波伝搬方向に垂直な方向に分断されている。
本発明に係る弾性波装置の他の特定の局面では、前記第３のバスバーの前記第２の電極層が、少なくとも１箇所において、弾性波伝搬方向に交差する方向に分断されている。この場合には、第２，第３のバスバーの形成不良がより一層生じ難い。
本発明に係る弾性波装置のさらに他の特定の局面では、前記第３のバスバーの前記第２の電極層が、弾性波伝搬方向に垂直な方向に分断されている。
本発明に係る弾性波装置の別の特定の局面では、前記第２のバスバーの前記第２の電極層が分断されている部分からの、前記第２のバスバーの前記第２の電極層が分断されている方向の延長線上において、前記第３のバスバーの前記第２の電極層が分断されている。
本発明に係る弾性波装置のさらに別の特定の局面では、前記複数の弾性波素子が直列腕共振子及び複数の並列腕共振子を含み、前記第１，第２の弾性波素子がいずれも前記並列腕共振子である。この場合には、並列腕共振子の弾性波伝搬方向における長さを長くしても、並列腕共振子のバスバーの形成不良が生じ難い。よって、弾性波装置のフィルタ特性を高めることができ、かつ小型化をより一層進めることができる。
本発明に係る弾性波装置のさらに別の特定の局面では、第１の帯域通過型フィルタと、前記第１の帯域通過型フィルタとは通過帯域が異なる第２の帯域通過型フィルタとを有し、前記第１の帯域通過型フィルタが前記第１，第２の弾性波素子のうち少なくとも一方を含む。
本発明に係る弾性波装置のさらに別の特定の局面では、前記第１の帯域通過型フィルタが前記第１，第２の弾性波素子のうち一方を含み、前記第２の帯域通過型フィルタが前記第１，第２の弾性波素子のうち他方を含む。この場合には、第１の帯域通過型フィルタと第２の帯域通過型フィルタとの距離をより一層短くすることができる。従って、弾性波装置の小型化をより一層進めることができる。
本発明の弾性波装置によれば、ＩＤＴ電極同士が隣り合っている部分におけるバスバーの形成不良が生じ難く、かつ小型化を進めることができる。
本発明の第１の実施形態に係る弾性波装置の略図的平面図である。 本発明の第１の実施形態に係る弾性波装置の回路図である。 本発明の第１の実施形態における直列腕共振子の電極構成を示す平面図である。 本発明の第１の実施形態における第１，第２の縦結合共振子型弾性波フィルタの電極構成を示す平面図である。 本発明の第１の実施形態に係る弾性波装置の略図的拡大平面図である。 本発明の第１の実施形態に係る弾性波装置の製造方法を説明するための、第１，第２の弾性波素子に相当する部分の略図的平面図である。 本発明の第１の実施形態に係る弾性波装置の製造方法を説明するための、第１，第２の弾性波素子に相当する部分の略図的平面図である。 本発明の第１の実施形態に係る弾性波装置の製造方法を説明するための、第１，第２の弾性波素子に相当する部分の略図的平面図である。 本発明の第１の実施形態及び比較例における第１の帯域通過型フィルタの挿入損失を示す図である。 本発明の第２の実施形態に係る弾性波装置の略図的平面図である。
以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。
なお、本明細書に記載の各実施形態は、例示的なものであり、異なる実施形態間において、構成の部分的な置換または組み合わせが可能であることを指摘しておく。
図１は、本発明の第１の実施形態に係る弾性波装置の略図的平面図である。図２は、第１の実施形態に係る弾性波装置の回路図である。なお、図１では、各弾性波共振子及び各縦結合共振子型弾性波フィルタを、多角形に２本の対角線を引いた略図で示す。後述する図５、図６、図８及び図１０においても同様である。
本実施形態に係る弾性波装置は、図１に示すデュプレクサ１である。デュプレクサ１は圧電基板２を有する。圧電基板２は、ＬｉＮｂＯ３またはＬｉＴａＯ３などの圧電単結晶や、適宜の圧電セラミックスなどからなる。
デュプレクサ１は、圧電基板２に構成されている第１の帯域通過型フィルタ３ａと、第１の帯域通過型フィルタ３ａとは通過帯域が異なる第２の帯域通過型フィルタ３ｂとを有する。第１の帯域通過型フィルタ３ａは送信フィルタであり、第２の帯域通過型フィルタ３ｂは受信フィルタである。
デュプレクサ１は、圧電基板２上に設けられており、アンテナに接続されるアンテナ端子５を有する。第１，第２の帯域通過型フィルタ３ａ，３ｂは、アンテナ端子５に共通接続されている。
なお、第１の帯域通過型フィルタ３ａは、本発明の一実施形態に係る弾性波装置である。
第１，第２の帯域通過型フィルタ３ａ，３ｂは、複数の弾性波素子を有する。複数の弾性波素子は、ＩＤＴ電極をそれぞれ有する。より具体的には、図２に示すように、第１の帯域通過型フィルタ３ａは、複数の弾性波素子としての、直列腕共振子Ｓ１〜Ｓ４及び並列腕共振子Ｐ１〜Ｐ３を有する。第１の帯域通過型フィルタ３ａはラダー型フィルタである。
図３は、第１の実施形態における直列腕共振子Ｓ１の電極構成を示す平面図である。
直列腕共振子Ｓ１は、圧電基板上に設けられたＩＤＴ電極１０Ａを有する。ＩＤＴ電極１０Ａの弾性波伝搬方向両側に反射器１１Ａ，１１Ａが設けられている。同様に、図２に示す直列腕共振子Ｓ２〜Ｓ４、並列腕共振子Ｐ１〜Ｐ３及び後述する弾性波共振子Ｓ１１，Ｐ１１も、ＩＤＴ電極及び一対の反射器を有する。
他方、第２の帯域通過型フィルタ３ｂは、複数の弾性波素子としての第１，第２の縦結合共振子型弾性波フィルタ７ａ，７ｂ及び弾性波共振子Ｓ１１，Ｐ１１を有する。
図４は、第１の実施形態における第１，第２の縦結合共振子型弾性波フィルタの電極構成を示す平面図である。
第１の縦結合共振子型弾性波フィルタ７ａは、ＩＤＴ電極１０Ｂａ〜１０Ｂｃを有する。ＩＤＴ電極１０Ｂａ〜１０Ｂｃの弾性波伝搬方向両側に反射器１１Ｂ，１１Ｂが設けられている。第２の縦結合共振子型弾性波フィルタ７ｂは、ＩＤＴ電極１０Ｃａ〜１０Ｃｃを有する。ＩＤＴ電極１０Ｃａ〜１０Ｃｃの弾性波伝搬方向両側に反射器１１Ｃ，１１Ｃが設けられている。
図５は、第１の実施形態に係る弾性波装置の略図的拡大平面図である。
ここで、第１の帯域通過型フィルタの並列腕共振子Ｐ１は、本発明における第１の弾性波素子である。並列腕共振子Ｐ１のＩＤＴ電極は、対向し合っている第１，第２のバスバー９ａ，９ｂを有する。他方、直列腕共振子Ｓ１は、本発明における第２の弾性波素子である。直列腕共振子Ｓ１のＩＤＴ電極は、対向し合っている第３，第４のバスバー９ｃ，９ｄを有する。
第１〜第４のバスバー９ａ〜９ｄは、長さ方向をそれぞれ有する。第２のバスバー９ｂと第３のバスバー９ｃとは平行に延びている。なお、第２のバスバー９ｂが延びる方向と第３のバスバー９ｃが延びる方向とは、略平行であってもよい。本実施形態では、該長さ方向は、並列腕共振子Ｐ１及び直列腕共振子Ｓ１の弾性波伝搬方向に平行な方向である。第２のバスバー９ｂと第３のバスバー９ｃとは、長さ方向に垂直な方向において、ギャップを隔てて配置されている。
第２，第３のバスバー９ｂ，９ｃは、第１の電極層と、第１の電極層上に積層されている第２の電極層とを有する。本実施形態では、第１，第４のバスバー９ａ，９ｄも、第１の電極層と、第１の電極層上に積層されている第２の電極層とを有する。それによって、電気抵抗を低くすることができる。なお、少なくとも、第２，第３のバスバー９ｂ，９ｃが第１，第２の電極層を有していればよい。また、第２の電極層は、少なくともその一部が第１の電極層上に積層されていればよい。
もっとも、好ましくは、第１，第２の帯域通過型フィルタにおいて、全ての弾性波素子におけるＩＤＴ電極のバスバーが、上記第１，第２の電極層に相当する電極層を有することが望ましい。それによって、電気抵抗をより一層低くすることができる。
第２のバスバー９ｂは、第２の電極層が、第２のバスバー９ｂの長さ方向に垂直な方向に分断されている、分断部９Ｂを有する。第２のバスバー９ｂの第１の電極層は、分断部９Ｂにおいて露出している。
同様に、第３のバスバー９ｃも、第２の電極層が、第３のバスバー９ｃの長さ方向に垂直な方向に分断されている、分断部９Ｃを有する。より具体的には、第３のバスバー９ｃの第２の電極層は、第２のバスバー９ｂの分断部９Ｂからの、第２のバスバー９ｂの第２の電極層が分断されている方向の延長線上において、分断されている。第３のバスバー９ｃの第１の電極層は、分断部９Ｃにおいて露出している。
本実施形態の特徴は、第２のバスバー９ｂの第２の電極層及び第３のバスバー９ｃの第２の電極層が上記のように分断されていることにある。それによって、ＩＤＴ電極同士が隣り合っている部分におけるバスバーの形成不良が生じ難い。しかも、デュプレクサ１の小型化を進めることができる。これを、デュプレクサ１の構成の詳細及び製造方法とともに、以下において説明する。
図２に示すように、第１の帯域通過型フィルタ３ａは、入力端子４を有する。直列腕共振子Ｓ１〜Ｓ４は、入力端子４とアンテナ端子５との間に互いに直列に接続されている。
入力端子４に最も近い直列腕共振子Ｓ１と直列腕共振子Ｓ２との間の接続点とグラウンド電位との間には、並列腕共振子Ｐ１が接続されている。直列腕共振子Ｓ２と直列腕共振子Ｓ３との間の接続点とグラウンド電位との間には、並列腕共振子Ｐ２が接続されている。直列腕共振子Ｓ３と直列腕共振子Ｓ４との間の接続点とグラウンド電位との間には、並列腕共振子Ｐ３が接続されている。なお、第１の帯域通過型フィルタ３ａの回路構成は特に限定されない。
第２の帯域通過型フィルタ３ｂは、出力端子６を有する。第１，第２の縦結合共振子型弾性波フィルタ７ａ，７ｂは、アンテナ端子５と出力端子６との間に互いに並列に接続されている。アンテナ端子５と第１の縦結合共振子型弾性波フィルタ７ａとの間には、特性調整用の弾性波共振子Ｓ１１が接続されている。アンテナ端子５と特性調整用の弾性波共振子Ｓ１１との間の接続点とグラウンド電位との間には、特性調整用の弾性波共振子Ｐ１１が接続されている。なお、第２の帯域通過型フィルタ３ｂの回路構成は特に限定されない。
図１に示すように、圧電基板２上には、複数のグラウンド端子８が設けられている。複数のグラウンド端子８は、グラウンド電位に接続される。
以下において、第１の実施形態に係る弾性波装置としての、デュプレクサ１の製造方法の一例を説明する。
図６は、第１の実施形態に係る弾性波装置の製造方法を説明するための、第１，第２の弾性波素子に相当する部分の略図的平面図である。図７は、第１の実施形態に係る弾性波装置の製造方法を説明するための、第１，第２の弾性波素子に相当する部分の略図的平面図である。図８は、第１の実施形態に係る弾性波装置の製造方法を説明するための、第１，第２の弾性波素子に相当する部分の略図的平面図である。なお、図６〜図８においては、圧電基板上における第１，第２の弾性波素子以外の電極構成は省略している。また、上述したように、第１及び第２の弾性波素子は、図５に示した並列腕共振子Ｐ１及び直列腕共振子Ｓ１である。図７においては、後述するレジストパターンが形成されている部分を、斜線部により示す。
図６に示すように、圧電基板２を用意する。次に、圧電基板２上に金属膜を形成する。金属膜は、例えば、スパッタリング法やＣＶＤ法などにより形成することができる。次に、フォトリソグラフィ法により、金属膜をパターニングし、第１の配線層１２を形成する。第１の配線層１２は、各ＩＤＴ電極及び反射器の一層目の電極を含む。これにより、上記第１〜第４のバスバーの第１の電極層９ａ１〜９ｄ１を形成する。
次に、図７に示すように、圧電基板２上に上記第１の配線層の一部を覆うように、レジストパターン１３を形成する。レジストパターン１３は、各ＩＤＴ電極の電極指を覆っている。レジストパターン１３は、第１〜第４のバスバーの第１の電極層９ａ１〜９ｄ１上において開口している部分を有する。この開口している部分に、後述する工程において、第１〜第４のバスバーの第２の電極層が形成される。
レジストパターン１３の厚みは、図６に示した第１の配線層１２の厚みよりも厚いことが好ましい。それによって、第１〜第４のバスバーの第２の電極層の厚みを厚くすることができ、電気抵抗をより一層低くすることができる。
レジストパターン１３は、第２のバスバーの第１の電極層９ｂ１と、第３のバスバーの第１の電極層９ｃ１との間に位置し、第１の電極層９ｂ１，９ｃ１に沿って延びている幅狭部１３ａを有する。幅狭部１３ａは、第２，第３のバスバーの第１の電極層９ｂ１，９ｃ１が対向している部分の全長にわたっている。なお、幅狭部１３ａの幅は、幅狭部１３ａが延びる方向を横断する方向の長さである。第２のバスバーと第３のバスバーとの距離が短いほど、幅狭部１３ａの幅は狭くなる。
図７に示す工程では、レジストパターン１３を、幅狭部１３ａを補強する補強部１３ｂ，１３ｃを有するように形成する。より具体的には、補強部１３ｂを第２のバスバーの第１の電極層９ｂ１上に形成する。補強部１３ｂは、幅狭部１３ａとレジストパターン１３の他の部分とを接続する。同様に、補強部１３ｃを第３のバスバーの第１の電極層９ｃ１上に形成する。補強部１３ｃも、幅狭部１３ａとレジストパターン１３の他の部分とを接続する。後述するように、補強部１３ｂ及び補強部１３ｃに相当する部分において、第２のバスバーの第２の電極層及び第３のバスバーの第２の電極層がそれぞれ分断される。
幅狭部１３ａは、幅が狭く、厚みが厚いほど、位置ずれなどの形成不良が生じ易い。さらに、幅狭部１３ａの長さが長いほど、形成不良が生じ易い。ここで、幅狭部１３ａは、補強部１３ｂ，１３ｃにより補強されている。そのため、第２のバスバーと第３のバスバーとの距離を短くしても、上記形成不良が抑制される。しかも、第２，第３のバスバーを長くしても、幅狭部１３ａの形成不良は抑制される。それによって、レジストパターン１３によりパターニングされる第２，第３のバスバーの形成不良が抑制される。
このように、補強部１３ｂ，１３ｃを設け、第２，第３のバスバーの第２の電極層を分断することにより、第２，第３のバスバーの形成不良が抑制される。
なお、少なくとも、補強部１３ｂ及び補強部１３ｃのうちいずれか一方を１箇所形成すればよい。この場合においても、幅狭部１３ａの位置ずれは生じ難い。あるいは、補強部１３ｂまたは補強部１３ｃを複数形成してもよい。
次に、圧電基板２上のレジストパターン１３に覆われている部分及び覆われていない部分に、金属膜を形成する。次に、レジストパターン１３を剥離する。これにより、図８に示すように、第１〜第４のバスバー９ａ〜９ｄの第２の電極層９ａ２〜９ｄ２を形成する。
上記剥離において、図７に示したレジストパターン１３の補強部１３ｂ，１３ｃ上における上記金属膜は除去される。それによって、第２，第３のバスバー９ｂ，９ｃの分断部９Ｂ，９Ｃが形成される。これにより、並列腕共振子Ｐ１及び直列腕共振子Ｓ１が形成される。なお、上記に示した各工程において、他の各弾性波共振子及び各縦結合共振子型弾性波フィルタも同時に形成される。
上述したように、レジストパターン１３の幅狭部１３ａの幅を狭くしても、幅狭部１３ａの位置ずれは生じ難い。よって、第２，第３のバスバー９ｂ，９ｃの長さ方向に垂直な方向における、第２，第３のバスバー９ｂ，９ｃの距離が短い場合においても、第２の電極層９ｂ２，９ｃ２の形成不良が生じ難い。また、第２，第３のバスバー９ｂ，９ｃを長くしても、第２の電極層９ｂ２，９ｃ２の形成不良は生じ難い。従って、第２のバスバー９ｂと第３のバスバー９ｃとの短絡も生じ難い。さらに、デュプレクサ１の小型化を進めることができる。
図１に戻り、デュプレクサ１においては、並列腕共振子Ｐ１及び直列腕共振子Ｓ１の弾性波伝搬方向に沿う長さが、直列腕共振子Ｓ２〜Ｓ４の弾性波伝搬方向に沿う長さよりも長い。これにより、並列腕共振子Ｐ１及び直列腕共振子Ｓ１におけるＩＤＴ電極の電極指の対数を多くすることができ、例えば、Ｑ値などのフィルタ特性を高めることができる。このとき、図１に示すように、並列腕共振子Ｐ１及び直列腕共振子Ｓ１を弾性波伝搬方向に垂直な方向に隣接して配置することにより、デュプレクサ１の小型化を好適に図ることができる。さらに、本実施形態では、並列腕共振子Ｐ１及び直列腕共振子Ｓ１の上記方向の距離を短くすることができる。従って、フィルタ特性を高めることができ、かつデュプレクサ１の小型化をより一層進めることができる。
並列腕共振子Ｐ１及び直列腕共振子Ｓ１における第２，第３のバスバー９ｂ，９ｃの第２の電極層が分断されている位置や方向は、特に限定されない。第２，第３のバスバー９ｂ，９ｃの第２の電極層は、互いに対向し合っている位置において分断されていればよい。第２，第３のバスバー９ｂ，９ｃは、長さ方向に垂直な方向以外の、長さ方向に交差する方向に分断されていてもよい。また、第２，第３のバスバー９ｂ，９ｃの第２の電極層のうちいずれか一方が、少なくとも１箇所において分断されていればよい。これらの場合においても、第２，第３のバスバー９ｂ，９ｃの形成不良が生じ難い。
ここで、第１の実施形態の構成を有するデュプレクサと、比較例のデュプレクサとを作製し、第１の帯域通過型フィルタの挿入損失を比較した。なお、比較例のデュプレクサは、第１の実施形態における第２，第３のバスバーの第２の電極層に相当する部分が分断されていない点以外においては、第１の実施形態のデュプレクサと同様の構成を有する。
なお、第１の実施形態及び比較例のデュプレクサの直列腕共振子Ｓ１〜Ｓ４、並列腕共振子Ｐ１〜Ｐ３及び弾性波共振子Ｓ１１，Ｐ１１の各ＩＤＴ電極の仕様を、下記の表１に示す。第１，第２の縦結合共振子型弾性波フィルタ７ａ，７ｂの各ＩＤＴ電極の仕様を、下記の表２に示す。また、各反射器の仕様を、表１及び表２に示す。
Figure 0006421748
Figure 0006421748
図９は、第１の実施形態及び比較例における第１の帯域通過型フィルタの挿入損失を示す図である。実線は第１の実施形態の結果を示し、破線は比較例の結果を示す。
図９に示すように、第１の実施形態における第１の帯域通過型フィルタの挿入損失は、比較例の第１の帯域通過型フィルタの挿入損失とほぼ同じであることがわかる。よって、第１の実施形態によれば、弾性波の回折による損失や、電気抵抗の増大を招くことなく、上記効果を得られることがわかる。
図１０は、第２の実施形態に係る弾性波装置の略図的平面図である。
本実施形態の弾性波装置は、図１０に示すデュプレクサ２１である。デュプレクサ２１は、第１，第２の帯域通過型フィルタ２３ａ，２３ｂが、いずれも本発明における第１，第２の弾性波素子を有する点で、第１の実施形態と異なる。上記以外の点においては、デュプレクサ２１は、第１の実施形態のデュプレクサ１と同様の構成を有する。
より具体的には、第１の帯域通過型フィルタ２３ａの並列腕共振子Ｐ３が上記第１の弾性波素子であり、第２の帯域通過型フィルタ２３ｂの弾性波共振子Ｓ１１が上記第２の弾性波素子である。並列腕共振子Ｐ３と弾性波共振子Ｓ１１とは、弾性波伝搬方向に垂直な方向において隣接している。並列腕共振子Ｐ３は、対向し合っている第１，第２のバスバー２９ａ，２９ｂを有する。弾性波共振子Ｓ１１は、対向し合っている第３，第４のバスバー２９ｃ，２９ｄを有する。第２のバスバー２９ｂと第３のバスバー２９ｃとは平行に延びている。第２，第３のバスバー２９ｂ，２９ｃは、長さ方向に垂直な方向においてギャップを介して配置されている。
第２，第３のバスバー２９ｂ，２９ｃは、第１の電極層と、第１の電極層上に少なくともその一部が積層されている第２の電極層とを有する。第２，第３のバスバー２９ｂ，２９ｃの第２の電極層は、第１の実施形態における第２，第３のバスバー９ｂ，９ｃと同様に分断されている。このように、第２，第３のバスバー２９ｂ，２９ｃは、分断部２９Ｂ，２９Ｃを有する。
デュプレクサ２１は、第１の実施形態のデュプレクサ１と同様に製造することができる。ここで、第２，第３のバスバー２９ｂ，２９ｃは、並列腕共振子Ｐ１及び直列腕共振子Ｓ１における第２，第３のバスバー９ｂ，９ｃと同様に製造することができる。よって、本実施形態では、第１の実施形態の効果に加えて、並列腕共振子Ｐ３及び弾性波共振子Ｓ１１の第２，第３のバスバー２９ｂ，２９ｃの形成不良も生じ難い。
さらに、第１の帯域通過型フィルタ２３ａと第２の帯域通過型フィルタ２３ｂとの距離をより一層短くすることができる。従って、デュプレクサ２１の小型化をより一層進めることができる。
本発明は、デュプレクサには限られず、個々の帯域通過型フィルタにも好適に適用することができる。また、本発明は、３個以上の帯域通過型フィルタを有するマルチプレクサなどにも好適に適用することができる。
１…デュプレクサ
２…圧電基板
３ａ，３ｂ…第１，第２の帯域通過型フィルタ
４…入力端子
５…アンテナ端子
６…出力端子
７ａ，７ｂ…第１，第２の縦結合共振子型弾性波フィルタ
８…グラウンド端子
９ａ〜９ｄ…第１〜第４のバスバー
９ａ１〜９ｄ１…第１の電極層
９ａ２〜９ｄ２…第２の電極層
９Ｂ，９Ｃ…分断部
１０Ａ，１０Ｂａ〜１０Ｂｃ，１０Ｃａ〜１０Ｃｃ…ＩＤＴ電極
１１Ａ〜１１Ｃ…反射器
１２…第１の配線層
１３…レジストパターン
１３ａ…幅狭部
１３ｂ，１３ｃ…補強部
２１…デュプレクサ
２３ａ，２３ｂ…第１，第２の帯域通過型フィルタ
２９ａ〜２９ｄ…第１〜第４のバスバー
２９Ｂ，２９Ｃ…分断部
Ｓ１〜Ｓ４…直列腕共振子
Ｓ１１…弾性波共振子
Ｐ１〜Ｐ３…並列腕共振子
Ｐ１１…弾性波共振子

Claims (8)

  1. 圧電基板と、
    前記圧電基板に構成されており、ＩＤＴ電極をそれぞれ有する複数の弾性波素子と、
    を備え、
    前記複数の弾性波素子のうち第１の弾性波素子の前記ＩＤＴ電極が、複数本の電極指と、対向し合っている第１，第２のバスバーを有し、第２の弾性波素子の前記ＩＤＴ電極が、複数本の電極指と、対向し合っている第３，第４のバスバーを有し、
    前記第２のバスバーと前記第３のバスバーとが略平行に延びており、かつ弾性波伝搬方向に垂直な方向においてギャップを介して配置されており、
    前記第２，第３のバスバーが第１の電極層と、該第１の電極層上に少なくともその一部が積層されている第２の電極層と、を有し、前記第１の電極層が、前記第１または前記第２の弾性波素子の前記電極指と一体に設けられており、
    前記第２のバスバーの前記第２の電極層が、少なくとも１箇所において、弾性波伝搬方向に交差する方向に分断されている、弾性波装置。
  2. 前記第２のバスバーの前記第２の電極層が、弾性波伝搬方向に垂直な方向に分断されている、請求項１に記載の弾性波装置。
  3. 前記第３のバスバーの前記第２の電極層が、少なくとも１箇所において、弾性波伝搬方向に交差する方向に分断されている、請求項１または２に記載の弾性波装置。
  4. 前記第３のバスバーの前記第２の電極層が、弾性波伝搬方向に垂直な方向に分断されている、請求項３に記載の弾性波装置。
  5. 前記第２のバスバーの前記第２の電極層が分断されている部分からの、前記第２のバスバーの前記第２の電極層が分断されている方向の延長線上において、前記第３のバスバーの前記第２の電極層が分断されている、請求項３または４のいずれか１項に記載の弾性波装置。
  6. 前記複数の弾性波素子が直列腕共振子及び複数の並列腕共振子を含み、前記第１，第２の弾性波素子のうち一方が前記直列腕共振子であり、他方が前記並列腕共振子である、請求項１〜５のいずれか１項に記載の弾性波装置。
  7. 第１の帯域通過型フィルタと、前記第１の帯域通過型フィルタとは通過帯域が異なる第２の帯域通過型フィルタと、を有し、
    前記第１の帯域通過型フィルタが前記第１，第２の弾性波素子のうち少なくとも一方を含む、請求項１〜６のいずれか１項に記載の弾性波装置。
  8. 前記第１の帯域通過型フィルタが前記第１，第２の弾性波素子のうち一方を含み、前記第２の帯域通過型フィルタが前記第１，第２の弾性波素子のうち他方を含む、請求項７に記載の弾性波装置。
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