JP3227925B2 - 弾性表面波フィルタ - Google Patents
弾性表面波フィルタInfo
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- JP3227925B2 JP3227925B2 JP20593993A JP20593993A JP3227925B2 JP 3227925 B2 JP3227925 B2 JP 3227925B2 JP 20593993 A JP20593993 A JP 20593993A JP 20593993 A JP20593993 A JP 20593993A JP 3227925 B2 JP3227925 B2 JP 3227925B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、弾性表面波（ＳＡＷ）
共振子を複数個使用した横モード結合形弾性表面波フィ
ルタに関する。
共振子を複数個使用した横モード結合形弾性表面波フィ
ルタに関する。
【０００２】
【従来の技術】ＳＡＷ共振子は、例えば、図３に示すよ
うに、水晶等の圧電基板１面に一対の短冊形電極膜で構
成されるインター・ディジタル・トランスジューサ（Ｉ
ＤＴ）電極２と、このＩＤＴ電極２の両側に夫々短冊形
電極膜で構成される反射器３、４を配置して共振器を構
成する。
うに、水晶等の圧電基板１面に一対の短冊形電極膜で構
成されるインター・ディジタル・トランスジューサ（Ｉ
ＤＴ）電極２と、このＩＤＴ電極２の両側に夫々短冊形
電極膜で構成される反射器３、４を配置して共振器を構
成する。
【０００３】また、該共振器が励起する弾性表面波の伝
搬方向（インター・ディジタル・トランスジューサ電極
と反射器の配列方向）に垂直に分布する横モードといわ
れる振動モードを利用し、多重モードフイルタと呼ばれ
る弾性表面波フイルタとしても利用される。
搬方向（インター・ディジタル・トランスジューサ電極
と反射器の配列方向）に垂直に分布する横モードといわ
れる振動モードを利用し、多重モードフイルタと呼ばれ
る弾性表面波フイルタとしても利用される。
【０００４】この弾性表面波フィルタの基本構成を図４
に示す。同図は圧電基板１１の表面に２つのＳＡＷ共振
子１２と１３を並列配置した構成にされる。このフィル
タの動作原理は、ＳＡＷ共振子を近接配置することによ
り、同図に示す０次モードと１次モードで励振し、これ
により夫々のモードの周波数差を通過帯域とするフィル
タを得る。
に示す。同図は圧電基板１１の表面に２つのＳＡＷ共振
子１２と１３を並列配置した構成にされる。このフィル
タの動作原理は、ＳＡＷ共振子を近接配置することによ
り、同図に示す０次モードと１次モードで励振し、これ
により夫々のモードの周波数差を通過帯域とするフィル
タを得る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来の構成において、
フィルタ特性に広帯域のものが要求されてきている。例
えば、比帯域幅（１００＊通過帯域／中心周波数）で
０.２％程度のものが要求される。
フィルタ特性に広帯域のものが要求されてきている。例
えば、比帯域幅（１００＊通過帯域／中心周波数）で
０.２％程度のものが要求される。
【０００６】横モード結合形ＳＡＷフィルタ構成で通過
帯域幅を広げる方法は、いくつか知られているが、図４
中に示すように、ＳＡＷ共振子１２，１３間の結合ギャ
ップＧを狭くする方法が広帯域化の効果も大きく、適用
できる周波数範囲も広くなる。
帯域幅を広げる方法は、いくつか知られているが、図４
中に示すように、ＳＡＷ共振子１２，１３間の結合ギャ
ップＧを狭くする方法が広帯域化の効果も大きく、適用
できる周波数範囲も広くなる。
【０００７】しかし、フィルタの中心周波数が高くなっ
てくると、１波長程度の結合ギャップＧも狭いものが要
求され、ＳＡＷ共振子１２，１３の互いの電極パターン
の寸法も小さくなってその形成が難しくなってくる。例
えば、高周波かつ広帯域のフィルタデバイスでは、結合
ギャップＧにサブミクロンのオーダのものが要求され、
パターン形成を困難にすると共に歩留まりを悪くする問
題があった。
てくると、１波長程度の結合ギャップＧも狭いものが要
求され、ＳＡＷ共振子１２，１３の互いの電極パターン
の寸法も小さくなってその形成が難しくなってくる。例
えば、高周波かつ広帯域のフィルタデバイスでは、結合
ギャップＧにサブミクロンのオーダのものが要求され、
パターン形成を困難にすると共に歩留まりを悪くする問
題があった。
【０００８】本発明の目的は、弾性表面波共振子間に所
期の結合ギャップを得ながら電極パターンの形成を容易
にする横モード結合形弾性表面波フィルタを提供するこ
とにある。
期の結合ギャップを得ながら電極パターンの形成を容易
にする横モード結合形弾性表面波フィルタを提供するこ
とにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記課題の解
決を図るため、圧電基板の表面に複数の弾性表面波共振
子を結合ギャップを有して並列に近接配置し、弾性表面
波共振子間に複数モードの励振を得て各モードの周波数
差を通過帯域とする横モード結合形弾性表面波フィルタ
において、前記各弾性表面波共振子の一方の結合ギャッ
プ側の端部面を覆う絶縁膜を設け、この絶縁膜の上に他
方の弾性表面波共振子の結合ギャップ側の端部を形成し
た構造を特徴とする。
決を図るため、圧電基板の表面に複数の弾性表面波共振
子を結合ギャップを有して並列に近接配置し、弾性表面
波共振子間に複数モードの励振を得て各モードの周波数
差を通過帯域とする横モード結合形弾性表面波フィルタ
において、前記各弾性表面波共振子の一方の結合ギャッ
プ側の端部面を覆う絶縁膜を設け、この絶縁膜の上に他
方の弾性表面波共振子の結合ギャップ側の端部を形成し
た構造を特徴とする。
【００１０】
【００１１】
【作用】結合ギャップを形成するのに、弾性表面波共振
子のそれぞれの端部を絶縁膜を介して互いにオーバラッ
プさせることにより、所期の寸法の結合ギャップを得る
のに弾性表面波共振子の端部のパターン形成の上での制
約を無くす。
子のそれぞれの端部を絶縁膜を介して互いにオーバラッ
プさせることにより、所期の寸法の結合ギャップを得る
のに弾性表面波共振子の端部のパターン形成の上での制
約を無くす。
【００１２】
【００１３】
【実施例】図１は、本発明の一実施例を示す弾性表面波
フィルタの要部構成を示す断面図である。
フィルタの要部構成を示す断面図である。
【００１４】圧電基板１１の表面にＳＡＷ共振子１２、
１３を形成するのに、一方のＳＡＷ共振子１２の結合ギ
ャップ側の端部１２Ａ面を覆う絶縁膜１４を設け、この
絶縁膜１４の上に他方のＳＡＷ共振子１３の結合ギャッ
プ側の端部１３Ａを形成した構造にされる。
１３を形成するのに、一方のＳＡＷ共振子１２の結合ギ
ャップ側の端部１２Ａ面を覆う絶縁膜１４を設け、この
絶縁膜１４の上に他方のＳＡＷ共振子１３の結合ギャッ
プ側の端部１３Ａを形成した構造にされる。
【００１５】この構造を得るには、圧電基板１１面にＳ
ＡＷ共振子１２を形成した後、その端部１２Ａを酸化処
理又はその表面に成膜処理することにより絶縁膜１４を
形成し、次いで絶縁膜１４部位を端部１３ＡとするＳＡ
Ｗ共振子１３を形成することで済む。
ＡＷ共振子１２を形成した後、その端部１２Ａを酸化処
理又はその表面に成膜処理することにより絶縁膜１４を
形成し、次いで絶縁膜１４部位を端部１３ＡとするＳＡ
Ｗ共振子１３を形成することで済む。
【００１６】なお、ＳＡＷ共振子１２と１３の端部１２
Ａと１３Ａの上下関係を逆にした構造でも良い。
Ａと１３Ａの上下関係を逆にした構造でも良い。
【００１７】本実施例によれば、ＳＡＷ共振子１２と１
３の間の横モードでの弾性表面波の伝搬は、基板１１を
介して行われる。そして、両ＳＡＷ共振子１２、１３間
の結合ギャップは、それぞれの端部１２Ａと１３Ａが絶
縁膜１４で絶縁されることから互いにオーバラップして
形成でき、電極形成の幅や位置の制約が大幅に緩和さ
れ、サブミクロンの結合ギャップ形成を容易にし、さら
には負の結合ギャップ形成が可能となる。
３の間の横モードでの弾性表面波の伝搬は、基板１１を
介して行われる。そして、両ＳＡＷ共振子１２、１３間
の結合ギャップは、それぞれの端部１２Ａと１３Ａが絶
縁膜１４で絶縁されることから互いにオーバラップして
形成でき、電極形成の幅や位置の制約が大幅に緩和さ
れ、サブミクロンの結合ギャップ形成を容易にし、さら
には負の結合ギャップ形成が可能となる。
【００１８】図２は、本発明の他の実施例を示す平面図
（ａ）と側断面図（ｂ）である。同図が図４と異なる部
分は、ＳＡＷ共振子１２、１３が対峙する端部面に絶縁
膜１５を設けたことにある。この絶縁膜１５は、幅が結
合ギャップＧと同程度にされる。
（ａ）と側断面図（ｂ）である。同図が図４と異なる部
分は、ＳＡＷ共振子１２、１３が対峙する端部面に絶縁
膜１５を設けたことにある。この絶縁膜１５は、幅が結
合ギャップＧと同程度にされる。
【００１９】本実施例において、絶縁膜１５が形成され
た部分は、他の部分に比べて基板が厚くなる。この質量
効果によって弾性表面波の伝搬エネルギーが集中し易く
なる。このことから、モード間の結合を強くすることが
でき、従来と同程度の結合ギャップ寸法にしながら帯域
の広いフィルタを構成できる。
た部分は、他の部分に比べて基板が厚くなる。この質量
効果によって弾性表面波の伝搬エネルギーが集中し易く
なる。このことから、モード間の結合を強くすることが
でき、従来と同程度の結合ギャップ寸法にしながら帯域
の広いフィルタを構成できる。
【００２０】換言すれば、従来と同じ帯域のフィルタを
構成するのに、結合ギャップを大きくすることができ、
電極の形成を容易にする。
構成するのに、結合ギャップを大きくすることができ、
電極の形成を容易にする。
【００２１】さらに、絶縁膜１５の幅及び厚さで結合ギ
ャップを微調整できることから、所期の結合ギャップを
得るのを容易にし、製造歩留まりも高めることができ
る。
ャップを微調整できることから、所期の結合ギャップを
得るのを容易にし、製造歩留まりも高めることができ
る。
【００２２】
【発明の効果】以上のとおり、本発明によれば、横モー
ド結合形弾性表面波フィルタを構成する各弾性表面波共
振子の一方の結合ギャップ側の端部面を覆う絶縁膜を設
け、この絶縁膜の上に他方の弾性表面波共振子の結合ギ
ャップ側の端部を形成した構造としたため、弾性表面波
共振子の両端部を互いにオーバラップさせた構成にして
高い周波数かつ広い帯域のフィルタ構造のための結合ギ
ャップを得るのを容易にし、また共振子の電極パターン
形成を容易にする効果がある。
ド結合形弾性表面波フィルタを構成する各弾性表面波共
振子の一方の結合ギャップ側の端部面を覆う絶縁膜を設
け、この絶縁膜の上に他方の弾性表面波共振子の結合ギ
ャップ側の端部を形成した構造としたため、弾性表面波
共振子の両端部を互いにオーバラップさせた構成にして
高い周波数かつ広い帯域のフィルタ構造のための結合ギ
ャップを得るのを容易にし、また共振子の電極パターン
形成を容易にする効果がある。
【００２３】
【図１】本発明の一実施例を示す要部断面図。
【図２】本発明の他の実施例を示す構成図。
【図３】弾性表面波共振子の構成図。
【図４】従来の横モード結合形フィルタの基本構成図。
１、１１…圧電基板 ２…ＩＤＴ電極 ３、４…反射器 １２、１３…弾性表面波共振子 １４、１５…絶縁膜
Claims (1)
- 【請求項１】 圧電基板の表面に複数の弾性表面波共振
子を結合ギャップを有して並列に近接配置し、弾性表面
波共振子間に複数モードの励振を得て各モードの周波数
差を通過帯域とする横モード結合形弾性表面波フィルタ
において、 前記各弾性表面波共振子の一方の結合ギャップ側の端部
面を覆う絶縁膜を設け、この絶縁膜の上に他方の弾性表
面波共振子の結合ギャップ側の端部を形成した構造を特
徴とする弾性表面波フィルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20593993A JP3227925B2 (ja) | 1993-08-20 | 1993-08-20 | 弾性表面波フィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20593993A JP3227925B2 (ja) | 1993-08-20 | 1993-08-20 | 弾性表面波フィルタ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0758584A JPH0758584A (ja) | 1995-03-03 |
| JP3227925B2 true JP3227925B2 (ja) | 2001-11-12 |
Family
ID=16515229
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20593993A Expired - Fee Related JP3227925B2 (ja) | 1993-08-20 | 1993-08-20 | 弾性表面波フィルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3227925B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6421748B2 (ja) * | 2015-12-25 | 2018-11-14 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
-
1993
- 1993-08-20 JP JP20593993A patent/JP3227925B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0758584A (ja) | 1995-03-03 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |